JP2012210617A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置において、被洗浄体に付着性の強い汚れが付いていたとしても、洗浄媒体の滞留を低減して移動させることができ、洗浄品質を向上させることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】気流を前記洗浄媒体および前記被洗浄体に吹きつける洗浄ノズルが非定常的な気流を発生させることにより、気流の向きや強さを変化させることができ、被洗浄体に貼り付いた洗浄媒体に対して様々な方向から気流を作用させることができるようにした。
【選択図】図１

Description

本発明は、被洗浄体に付着した付着物の除去を行なう洗浄装置に関するもので、薄片状の洗浄媒体を用いて付着物を除去する装置に関する。

複写機、ファクシミリ、プリンタ等の事務機器の分野においては、資源循環型社会実現のため、使用済みの製品またはユニットをユーザから回収して、これらに用いられている部品を新たな製品に再使用したり、材料として利用したりするリサイクル活動を積極的に行っている。
これらの製品またはユニットに用いられている部品を再利用するためには、これらを部品に分解し、部品に付着している種々の付着物を除去して清浄化する必要がある。
例えば、トナーを用いる記録装置においては、部品に付着している微粒子粉体であるトナーを除去して清浄化する工程が必要であり、この清浄化のコストや環境負荷を減らすことが、リサイクル活動において大きな課題となっている。
清浄化のために用いる水や溶剤を使用した湿式の洗浄方法の場合には、微粒子粉体を含んだ廃液の処理および洗浄後の乾燥処理のエネルギー消費や環境負荷が大きく高コストである。

また、水や溶剤を使用しない乾式の洗浄方法、例えばエアブローによる乾式の洗浄方法の場合には、付着力の強いトナーに対しては洗浄能力が十分ではないため人手によるウェス拭きなどの後工程が必要であり、高コストある。

このような理由により、清浄化は製品の部品を再利用する製品リユース・リサイクルにおけるボトルネック工程の１つとなっている。

この問題を解決するため、本出願人は特許文献１に記載されているように固体の洗浄媒体を利用した乾式の洗浄方法を提案した。

特許文献１においては、軽量で飛翔しやすい薄片状の洗浄媒体を気流により洗浄槽内で高速飛翔・循環させることで、洗浄媒体を被洗浄体に連続して接触させ、汚れを除去する技術が記載されている。

しかしながら、この特許文献１に記載された技術においては、被洗浄体の面積や長さが大きい場合には、一度に広い面積に気流を吹き付けると気流の力が分散し十分な洗浄品質が得られなかったり、洗浄媒体が気流の流速の遅い箇所に滞留して洗浄媒体の循環が円滑に行なわれないという課題があった。

そこで、本出願人は、特許文献２および特許文献３に記載されているように、洗浄媒体が飛翔する空間のサイズを被洗浄体のサイズより小さくできる技術を提案した。これらの技術においては、洗浄媒体が飛翔する小さな空間内に気流を集中させることにより、気流の流速と洗浄媒体の空間密度を高め、高い洗浄効率と洗浄品質が得られるものである。

しかしながら、被洗浄体に油やグリスのように、粘度が高く流動性が低い液体や半固体
の付着性の強い汚れが付着している場合には、次のような課題があり、上記の特許文献２または特許文献３に記載の技術によっては解決が難しいものであった。
（１）付着性の強い汚れの場合、被洗浄体に洗浄媒体自身が貼り付いて動かなくなる場合があり、これを引き剥がすためにより強い気流が必要であった。より強い気流を得るために流量を増やすと、洗浄媒体が外部に漏れやすくなったり、圧縮空気の消費量が増大したりするという問題点があった。
（２）付着性の強い汚れの場合、洗浄媒体に汚れが蓄積しやすく、十分な洗浄品質を保つためには定期的に洗浄媒体を交換する必要があった。更に、汚れた洗浄媒体は付着性が強いため洗浄媒体を、洗浄空間から完全に排出することが容易ではなかった。

特開２００７−０２９９４５号公報 特開２００９−２２６３９４号公報 特開２０１０−０２３０２５号公報

このように、粘度が高く流動性が低い液体や半固体の付着性の強い汚れの除去においては、充分な洗浄が行なえないという課題があった。

これに対して本発明は、薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを洗浄する装置において、上記のような特に付着性の強い汚れを除去するのに適した洗浄装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための手段である本発明の特徴は次の通りである。

本発明の洗浄装置は、薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置において、少なくとも一部が通気性部材で形成され、内部に洗浄媒体を閉じ込め該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて洗浄を行なう洗浄空間が形成された内チャンバーと、非通気性部材で形成され、内側に前記内チャンバーを包み込んで前記内チャンバー内に気体を流通させる空間が形成された外チャンバーと、前記内チャンバー内において気流を前記洗浄媒体および前記被洗浄体に吹きつける洗浄ノズルと前記外チャンバー内の空気を吸引する吸引手段を備え、前記外チャンバーと前記内チャンバーそれぞれには、前記被洗浄体が通過可能な開口部が形成されており、前記洗浄ノズルが非定常的な気流を発生させることを特徴とする。

本発明の洗浄装置は更に、前期被洗浄体が前期内チャンバー内へ通過できる開口部が、前記外チャンバーと前記内チャンバーに形成され、前記吸引手段による吸引が、外チャンバー内を外チャンバーの外側に対して陰圧に保つものであることを特徴とする。

本発明の洗浄装置は更に、前記非定常的な気流を、洗浄ノズルの方向の変化により発生させることを特徴とする。

本発明の洗浄装置は更に、前記洗浄ノズルが複数の洗浄ノズルであり、該複数の洗浄ノズルから断続的に気流を発生させるとともに該複数の洗浄ノズルから噴出する気流の組み合わせを変化させることにより、前記非定常的な気流を発生させることを特徴とする。

本発明の洗浄装置は更に、前記洗浄媒体の形状を非平面形状としたことを特徴とする。

本発明の洗浄装置は更に、洗浄媒体に切込み部を形成したことを特徴とする。

本発明の洗浄装置は更に、前記内チャンバーに、前記外チャンバーの外部と連通し、開閉状態が切り替え可能な洗浄媒体の投入口と排出口を設け、前記投入口に洗浄媒体を一定量供給する定量供給手段を接続したものであり、該定量供給手段はフィルム状材料を切断加工して洗浄媒体を製造する装置であって、洗浄媒体の一定量の確保が加工完了の前段階の計量により行なわれることを特徴とする。
本発明の洗浄方法は、薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置における洗浄方法であって、少なくとも一部が通気性部材で形成された内チャンバー内に前記洗浄媒体を投入する第１の工程と、該第１の工程において投入した洗浄媒体を前記内チャンバー内に閉じ込め、該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて被洗浄体の汚れを除去するとともに、非通気性部材で形成され内側に前記内チャンバーを包み込んだ外チャンバー内の気体を吸引する第２の工程と、該第２の工程において使用した洗浄媒体に気流を吹きつけるとともに外チャンバー内の気体を吸引して、該洗浄媒体を内チャンバーから排出する第３の工程の各工程を順に繰り返すことを特徴とする。

本発明の洗浄方法は、薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置における洗浄方法であって、少なくとも一部が通気性部材で形成された内チャンバー内に前記洗浄媒体を投入する第１の工程と、該第１の工程において投入した洗浄媒体を前記内チャンバー内に閉じ込め、該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて被洗浄体の汚れを除去するとともに、非通気性部材で形成され内側に前記内チャンバーを包み込んだ外チャンバー内の気体を吸引する第２の工程と、該第２の工程において使用した洗浄媒体に気流を吹きつけるとともに外チャンバー内の気体を吸引して、該洗浄媒体を内チャンバーから排出する第３の工程の各工程を同時に行なうことを特徴とする。

本発明は、薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置において、気流を前記洗浄媒体および前記被洗浄体に吹きつける洗浄ノズルが非定常的な気流を発生させることにより、気流の向きや強さを変化させることができ、被洗浄体に貼り付いた洗浄媒体に対して様々な方向から気流を作用させることができる。よって、被洗浄体に付着性の強い汚れが付いていたとしても、洗浄媒体の滞留を低減させ、移動させることができ、洗浄品質を向上させることができる。

洗浄装置の第１の実施形態を示す正面図および側面図 洗浄装置の第１の実施形態を示す断面図 洗浄装置の第１の実施形態の動作状態を示す断面図 洗浄装置の第１の実施形態における集塵装置の接続状態を示す図 洗浄装置の第１の実施形態におけるスリット部分の気流を示す図 洗浄装置の第１の実施形態にける洗浄媒体の付着状況と気流を示す図 洗浄装置の第１の実施形態における定量供給装置を示す図 洗浄媒体の例を示す斜視図 洗浄媒体の例を示す斜視図 洗浄媒体の例を示す斜視図 洗浄媒体の例を示す斜視図 洗浄媒体の例を示す斜視図 洗浄装置の第２の実施形態を示す断面図 洗浄装置の第２の実施形態における洗浄ノズルの制御パターンを示す図

≪洗浄装置の第１の実施形態≫
本発明の実施形態について説明する。

図１から図３は本発明に係る洗浄装置の第１の実施形態を示しており、図１の（Ａ）および（Ｂ）は洗浄装置の正面図および側面図を示し、図２の（Ａ）および（Ｂ）は図１におけるＡＡ断面図およびＢＢ断面図を示している。

図３の（Ａ）および（Ｂ）は洗浄装置の動作状態を示すもので図１におけるＢＢ断面図を示している。

図１から図３において、３は６面を有する立方体の外チャンバーであり内部に洗浄媒体２の飛翔のための気体を流通させる空間を形成するものである。この外チャンバー３の内部に洗浄空間を形成する内チャンバー４が設けられている。

外チャンバー３には側面のうち対向する二つの面に、排気口５ａと排気口５ｂがそれぞれ設けられており、側面のうち他の対向する二つの面に開口部６ａと開口部６ｂがそれぞれ設けられている。

外チャンバー３の開口部６ａおよび開口部６ｂが設けられている面の外側にはそれぞれスライド板７ａおよびスライド板７ｂが取付けられている。-
スライド板７ａおよびスライド板７ｂには、下部にそれぞれ回転ノズル８ａおよび回転ノズル８ｂが取り付けられており、スライド板７ａの上部には洗浄媒体投入口９が設けられ、スライド板７ｂの上部には洗浄媒体排出口１０が設けられている。

スライド板７ａおよびスライド板７ｂは、外チャンバー３の外面に密着してそれぞれが独立して上下方向にスライド可能に取りつけられており、スライド板７ａを、回転ノズル８ａまたは洗浄媒体投入口９が開口部６ａと接合してそれぞれが開口部６ａと連通する位置に移動させることができ、スライド板７ｂを、回転ノズル８ｂまたは洗浄媒体排出口１０が開口部６ｂと接合してそれぞれが開口部６ｂと連通する位置に移動させることができる。

すなわち、スライド板７ａスライド板７ａの移動により、開口部６ａおよび開口部６ｂの連通状態を切り換えることができる。

この移動のためにスライド板７ａおよびスライド板７ｂには、モータやエアシリンダ等のアクチュエータ等の駆動手段および駆動力を伝達してスライド板７ａおよびスライド板７ｂを移動させる駆動力伝達手段（図示せず）が接続されている。
１１は被洗浄体１を挟んで上下方向に搬送する送りローラであり、被洗浄体１は、送りローラ１１により外チャンバー３と内チャンバー４を貫通して上下方向の一方にまたは往復方向に移動し、この移動の過程で被洗浄体１の内チャンバー４内を通過する部分が洗浄される。

この送りローラ１１にはモータ等の回転駆動手段および駆動力伝達機構（図示せず）が接続されている。

内チャンバー４は六面を有する立方体で、その外側を外チャンバー３によって包み込まれるように配置されている。この内チャンバー４の内部に、洗浄媒体２を閉じ込め飛翔させて洗浄を行なう洗浄空間が形成される。

内チャンバー４を形成する６面のうち、スライド板７ａおよびスライド版７ｂ側の開口部６ａおよび開口部６ｂを有する２面は、外チャンバー３の面が内チャンバー４の面として用いられており、残りの上下面および外チャンバー３の排気口５ａおよび排気口５ｂに面する２つの側面はパンチング板やメッシュからなる通気面１２に形成されている。
すなわち、開口部６ａおよび開口部６ｂは内チャンバー４が外部と連通するものであり、排気口５ａおよび排気口５ｂは外チャンバー３が外部と連通するものである。

内チャンバー４の通気面１２は、洗浄媒体２は通過できないが気流は通過できるもので、パンチング板の開口穴やメッシュのサイズは、洗浄に用いることができる通常サイズの洗浄媒体２は通過できないが、被洗浄体１から除去した汚れや劣化により分断されて小さくなった洗浄媒体２は通過できるような大きさのものである。

内チャンバー４内には、開口部６ａおよび開口部６ｂに回転ノズル８ａおよび８ｂが接合した状態において開口部６ａおよび開口部６ｂを介して、被洗浄体１の両面に向けて回転ノズル８ａおよび回転ノズル８ｂから気流が噴射され、これにより洗浄媒体２を被洗浄体１に吹き付けて洗浄を行う。

外チャンバー３は、内チャンバー４の外側を包み込むように配置されており、内チャンバー４の通気面１２を通過した気流、被洗浄体１から除去した汚れ、および劣化により分断されて小さくなった洗浄媒体２等を排気口５ａおよび排気口５ｂから排出する機能を果たす。

外チャンバー３の排気口５ａおよび排気口５ｂには図４に示すように集塵機１３が接続されている。

集塵機１３は、外チャンバー３内の気体を吸引して、被洗浄体１から除去した汚れおよび内チャンバー４の通気面１２を通過した小さくなった洗浄媒体２を、フィルタ１３ａにより回収するものである。

集塵機１３には、排気口５ａおよび排気口５ｂの他にスライド板７ａおよびスライド板７ｂの洗浄媒体排出口１０が接続されている。これらと集塵機１３とは３方弁１４を介して接続され、集塵機１３の吸引力を排気口５ａおよび排気口５ｂ側に作用させるか、洗浄媒体排出口１０側に作用させるかを切り換えられる構成となっている。

洗浄媒体２による洗浄中には、３方弁１４を排気口５ａおよび排気口５ｂ側に切り換えて、被洗浄体１から除去した汚れおよび内チャンバー４の通気面１２を通過した小さくなった洗浄媒体２を、集塵機１３により回収する。

なお、１５は洗浄媒体回収器であり、所定サイズより大きい洗浄媒体２、例えばあまり使用されずに内チャンバー４から漏出して排出された洗浄媒体２や、後述するように内チャンバー４のスリットの隙間から漏出した洗浄媒体２を、再利用するためにこの洗浄媒体回収器１５により分離回収する。

外チャンバー３と内チャンバー４には、それぞれの上下面に、平板状の被洗浄体１が外チャンバー３と内チャンバー４を貫通して上下方向に通過できるスリット１６およびスリット１７が設けられている。

図５に示すように、この構造においては、被洗浄体１から除去した汚れや劣化した洗浄媒体２は矢印Ａで示す気流によって内チャンバー４の通気面１２を通過して外チャンバー３内へ移動するとともに、矢印Ｂで示す気流によって内チャンバー４のスリット１７の隙間を通過して外チャンバー３側に移動する。また、使用中のまだ劣化していない洗浄媒体２が同様に矢印Ｃで示すように内チャンバー４のスリット１７の隙間から外チャンバー３側に漏出することがある。

一方、外チャンバー３内の気体は排気口５ａおよび排気口５ｂを介して集塵機１３により吸引されているので、内チャンバー４から外チャンバー３内へ流入してきた気体は矢印Ｄで示すように排気口５ａおよび排気口５ｂ側へ移動する。

また、外チャンバー３内は、集塵機１３の吸引により、外チャンバー３の外側に対して陰圧となっているので、矢印Ｅで示すように外チャンバー３の外側から外チャンバー３のスリット１６の隙間を通って外チャンバー３内へ流入する気流が生じる。

この気流はその流速が大きいため、外チャンバー３のスリット１６の隙間から洗浄媒体２等が外チャンバー３の外側に漏出することはなく、このことは外チャンバー３と内チャンバー４のスリット１６およびスリット１７に被洗浄体１が存在しないときも同様である。

外チャンバー３内へ流入してきた気体は矢印Ｆで示すように排気口５ａおよび排気口５ｂ側へ移動し、排気口５ａおよび排気口５ｂから排出された洗浄媒体２、汚れ等は、洗浄媒体回収器１５または集塵機１３により回収される。

スライド板７ａおよびスライド板７ｂには回転ノズル８ａおよび回転ノズル８ｂが取り付けられている。

回転ノズル８ａおよび回転ノズル８ｂは、可撓性チューブノズルを用いた回転式ノズルであり、スライド板７ａおよびスライド板７ｂには開口部６ａおよび開口部６ｂと同じ径の開口面を有する円錐状の回転ガイド１８ａおよび回転ガイド１８ｂが形成されている。

回転ノズル８ａおよび回転ノズル８ｂの可撓性チューブノズルは、高圧気体供給装置（図示せず）に接続され、供給される高圧気体により回転ガイド１８ａおよび回転ガイド１８ｂのガイドの範囲において変位しながら、気体を噴射する。
この変位としては、例えば特開２００６−２４６９２８号公報または特開２００８−２５３８９２号公報に記載されているように、ガイドの内周に沿って旋回したり、ガイドの内側の直径方向に周期的に振幅したり、またはガイド内を振幅しながら旋廻する等がある。

なお、回転ノズル８ａおよび回転ノズル８ｂの回転範囲に洗浄媒体２が侵入して回転の妨げとならないように、回転ノズル８ａおよび回転ノズル８ｂが内チャンバー４と接合する箇所には洗浄媒体２の侵入防止用メッシュ１９を設けている。

被洗浄体１の汚れが付着性の強い汚れの場合、図６に示すように、洗浄媒体２が汚れ１ａによって被洗浄体１に付着し動かなくなってしまい、洗浄媒体２が同じ場所にとどまり続ける滞留が生じる場合がある。なお、滞留としては流速の小さい場所で洗浄媒体２が動かなくなってしまう場合もある。

このような場合には、洗浄媒体２の真上から付着面に垂直に気流を吹きつけた場合（気流ａの場合）には、洗浄媒体２を動かす力は弱いが、気流を洗浄媒体２から離れた位置に付着面に垂直に吹きつけた場合（気流ｂの場合）や、付着面に対し斜めから気流を吹き付けた場合（気流ｃの場合）には洗浄媒体２を被洗浄体１から剥がす力が作用するため、比較的容易に洗浄媒体２を動かすことが可能である。

すなわち、付着性の強い汚れでも内チャンバー４内や被洗浄体１に洗浄媒体２を滞留させないためには、洗浄ノズルは、様々な場所に向けて、様々な角度で噴射することが求められる。

すなわち、洗浄ノズルとして非定常的な気流を発生させるものが求められる。
非定常的な気流とは、時間とともに噴射状態が変化する気流のことで、断続的に噴射する気流や時間的に噴射の強弱がある気流、時間とともに噴射の向きが変化する気流などを指すものである。

この要求に対しては、気流の噴射方向が周期的に変動する回転式ないし揺動式のノズルを用いた場合、気流を一箇所に集中させ、気流の噴射方向を変えることで広い面積をカバーできるため、気流の消費量を抑えて強い気流を作用させることができる。
さらに、噴射された直接の気流の他、内チャンバー４の壁面で反射した気流も加わり、様々な方向から気流を作用させることができる。

このように内チャンバー４内や被洗浄体１に洗浄媒体２を滞留させず、循環させることができるので、洗浄効率、洗浄品質を高くすることができる。

洗浄ノズルの噴射方向の回転や揺動の方法としては、
(1)洗浄ノズルから噴出する気流の力を利用する方法（モータ等の外部駆動力を不要にできる）。
(2)モータ等の外部駆動力を用いる方法 （回転や揺動の周期や範囲を制御できる）
など、適した方法を選択することができる。この実施形態においては、洗浄ノズルとして、上記のように可撓性チューブノズルを用いた回転ノズル８ａおよび回転ノズル８ｂを用いている。

スライド板７ａの洗浄媒体投入口９には、洗浄媒体２の定量供給装置２０が接続される。

図７は定量供給装置２０の例を示すもので、シート状またはロール状原反のフィルム状材料を、加工ユニット２０ａにより切断、折り曲げ加工して洗浄媒体２を製造し、加工済みの洗浄媒体２を供給の一定量ごとに供給部２０ｂに保持して、内チャンバー４内に投入するものである。

この例においては洗浄媒体２の加工装置を定量供給装置２０として用いており、例えば洗浄媒体２の一定量を材料段階等、加工完了の前段階で、重量、大きさ等を計量することにより供給の定量性と安定性を確保することが比較的容易である。
なお、加工装置を用いないで、加工済みの洗浄媒体２を供給するようにしてもよい。

定量供給装置２０としては、各種の粉粒体の定量供給装置の中から、洗浄媒体２の特性にあったものを選定して用いることもできる。ただし、薄片状の洗浄媒体２の場合には一般的な粉粒体に比べてかさ密度が一定になりにくく流動性も悪いため、粉粒体の定量供給装置を用いた場合には供給の定量性と安定性を充分に確保する必要がある。

スライド板７ｂの洗浄媒体排出口１０には、上記したように、図４に示すように集塵機１３が接続されている。洗浄媒体排出中には、上記のように３方弁１４を洗浄媒体排出口１０側に切り換えて、使用後の被洗浄体１を集塵機１３により吸引する。

本発明の実施形態において用いる洗浄媒体２の例を、図８から図１２に示す。

図に示す洗浄媒体２は、面積が1〜1000mm²、厚み1〜500μｍ程度の樹脂フィルム、布、紙、金属、セラミクス等の薄片を、種々の形態に加工したものである。

なお、洗浄媒体を総称する場合には洗浄媒体２とし、ここに示す特定の形態を指す場合にはそれぞれに符号をつけて説明する。

図８に示す洗浄媒体２１は、平面状の薄片を折って全面に山折り部２１ａと谷折り部２１ｂを連続的に形成し、凹凸および高さを有するようにしたものである。

図９に示す洗浄媒体２２は、平面状の薄片の内側の位置に１対の切り込み２２ａ、２２ｂを設け、この切り込み２２ａ、２２ｂの間および切り込み２２ａ、２２ｂと隣接する辺の間に、山折り部２２ｃ、２２ｄ、２２ｅおよび谷折り部２２ｆ，２２ｇ，２２ｈを形成して、凹凸および高さを有するようにしたものである。図９においては切り込みは１対しか形成していないが、切り込みを３以上形成して、同様の形状を薄片の全面に形成するようにしてもよい。

図１０に示す洗浄媒体２３は、平面状の薄片の対向する辺から内側に向かう１対の切り込み２３ａ，２３ｂを形成し、切込み２３ａ，２３ｂにより分離された各部分を折って、辺と並行な方向の山折り部２３ｃ、２３ｄと谷折り部２３ｅ，２３ｆを形成して、凹凸および高さを有するようにしたものである。図９の場合と同様に同様の形状を薄片の全面に形成するようにしてもよい。

図１１に示す洗浄媒体２４は、平面状の薄片に、二等辺直角三角形の直角に交差する２辺を切り込んだ切り込み２４ａを形成し、二等辺直角三角形の残りの斜辺を上方へ折り曲げて立ち上がり部２４ｂを形成したものを多数形成して、凹凸および高さを有するようにしたものである。

図１２に示す洗浄媒体２５および２６は、平面状の薄片を円筒または四角筒状に形成して全体を立方体とし、その周面に四角形の３辺を切り込み、残りの１辺を上方へ折り曲げて立ち上がり部２５ａまたは２６ａを形成して、凹凸および高さを有するようにしたものである。

油やグリスのような付着性の強い汚れを除去する場合には、図６に示すように洗浄媒体２が被洗浄体１や内チャンバー４に接触する接触部Ｘの面積を減らすことにより、付着力を低減することができ、除去が容易となる。

図８から図１２に示す洗浄媒体２１〜２６は、山折り部と谷折り部、立ち上がり部、および筒状形状により、凹凸および高さを有する非平面形状または立体的な形状としたものであり、これにより被洗浄体１との接触部Ｘの面積を減らすことができ、更に、付着した洗浄媒体と被洗浄体１の付着面との間に気流が入り込みやすいため、気流による力を作用させやすく、分離が容易になる。

また、洗浄媒体２１〜２６を非平面形状または立体的な形状としたことにより、内チャンバー４のスリット１７の隙間から洗浄媒体２１〜２６が漏出しにくくなり、洗浄媒体２１〜２６を有効に利用することができるようになる。

また、図８から図１２に示す洗浄媒体２１〜２６は、切り込み部を形成しているので、使用に伴って破断しやすく、使用とともにチャンバー内で循環しながら切り込み部から破断して細かくなっていく。

また、折り目は、ミシン目のような切り込みとしてもよく、このようにすれば、使用に伴って、ミシン目で分割され細かくなりやすくなる。

なお、折り目以外でもあらかじめ分割したい形状にミシン目を入れておけば、同様にこのミシン目で分割され細かくなりやすくなる。

このような形態にすることにより、使用して汚れが付着した洗浄媒体２１〜２６は、破断により、大きさが小さくなって内チャンバー４のメッシュやパンチング穴等の通気面１２から使用中に排出されるため、洗浄媒体２１〜２６に付着した汚れが被洗浄体１に再付着しにくく、被洗浄体１の洗浄品質を高めることができる。

なお、洗浄媒体２の薄片の形状は、矩形、円形、楕円形、三角形、多角形とすることができ、立体状の形態についても筒状の他種々の形態とすることができる。
また、洗浄媒体２の材質や大きさ、厚みは、被洗浄体１の形状や材質、および被洗浄体１に付着している付着物の性質や付着強度等に応じて適切なものを選択して使用する。

次に第１の実施形態の洗浄装置の動作について説明する。

第１の実施形態の洗浄装置において洗浄は次のような工程により行なわれる。

（１）洗浄媒体投入工程
まず最初に洗浄媒体２を内チャンバー４へ投入する。
この工程においては、図３の（Ａ）に示すように、スライド板７ａを下方位置に移動して開口部６ａに洗浄媒体投入口９を接合させるとともに、スライド板７ｂを上方位置に移動させて開口部６ｂに回転ノズル８ｂを接合させる。
この状態において回転ノズル８ｂは非駆動状態であり、開口部６ｂは回転ノズル８ｂによって蓋をされた閉状態となっている。

そして、図４の３方弁１４を排気口５ａおよび排気口５ｂ側に切り換えて、集塵機１３の吸引力を排気口５ａおよび排気口５ｂ側に作用させる。
これにより、洗浄媒体投入口９に接続された洗浄媒体２の定量供給装置２０の供給部２０ｂから一定量の洗浄媒体２が、洗浄媒体投入口９および開口部６ａを経由して内チャンバー４内へ移動し、内チャンバー４内へ新たな洗浄媒体２が投入される。
この場合、集塵機１３の吸引力により、洗浄媒体２が内チャンバー４から外に漏れることはない。

（２）洗浄工程
所定量の洗浄媒体２が供給されたら、次に、内チャンバー４内に被洗浄体１を搬送するとともに、内チャンバー４内において薄片状の洗浄媒体２を被洗浄体１に吹きつけ、被洗浄体１の汚れを除去する。

この工程においては、図２の（Ａ）および（Ｂ）に示すように、スライド板７ａおよびスライド板７ｂを上方位置に移動して開口部６ａおよび開口部６ｂにそれぞれ回転ノズル８ａおよび回転ノズル８ｂを接合させる。

この状態において、回転ノズル８ａおよび回転ノズル８ｂを駆動させてこれらから気体を噴射させて内チャンバー４内の洗浄媒体２に吹き付ける。同時に、図４の３方弁１４を排気口５ａおよび排気口５ｂ側に切り換えた状態を維持して集塵機１３の吸引力を排気口５ａおよび排気口５ｂ側に作用させる。

そして、薄板状の被洗浄体１を、外チャンバー３の上部のスリット１６から挿入して送りローラ１１で搬送し、内チャンバー４の上下のスリット１７を通過して外チャンバー３の下部のスリット１６まで到達させる。

この間に、内チャンバー４内の洗浄媒体２を被洗浄体１に吹き付けて被洗浄体１の汚れを除去するとともに、被洗浄体１から除去した汚れおよび内チャンバー４の通気面１２を通過した小さくなった洗浄媒体２を、集塵機１３により回収する。

（３）洗浄媒体排出工程
次に、洗浄工程において使用した洗浄媒体２に気流を吹き付けて内チャンバー４から排出する。

この工程においては、図３の（Ｂ）に示すように、スライド板７ｂを下方位置に移動して開口部６ｂに洗浄媒体排出口１０を接合させるとともに、スライド板７ａを上方位置に移動させて開口部６ａに回転ノズル８ａを接合させる。

この状態において回転ノズル８ａは駆動状態を維持しており、回転ノズル８ａから気体を噴射させて内チャンバー４内の洗浄媒体２に吹き付ける。
そして、図４の３方弁１４を、洗浄媒体排出口１０側に切り換えて、集塵機１３の吸引力を洗浄媒体排出口１０側に作用させる。

このように、回転ノズル８ａを駆動させながら洗浄媒体排出口１０より吸引することで、汚れの付着した洗浄媒体２を完全に排出することができる。排出した洗浄媒体２は、集塵機１３により回収される。

≪洗浄装置の第２の実施形態≫
図１３は本件発明に係る洗浄装置の第２の実施形態を示しており、図１３の（Ａ）は正面断面図（（Ｂ）におけるＡＡ断面図）、（Ｂ）は側面断面図（（Ａ）におけるＢＢ断面図）、（Ｃ）は平面断面図（（Ａ）におけるＣＣ断面図）である。

図１３において、５１は外チャンバーであり、断面が縦長楕円形の横円筒の両端面が閉じられたもので、内部に洗浄媒体２の飛翔のための気体を流通させる空間を形成するものである。この外チャンバー５１の中に洗浄空間を形成する内チャンバー５２が設けられている。

内チャンバー５２は外チャンバー５１の中央部に形成された洗浄空間であり、外チャンバー５１の周面のうち中央部の所定範囲の周面が内チャンバー５２の周面として用いられ（なお、この周面を「内チャンバー５２の周面」という）、この周面の左右の両端面は実施形態１の内チャンバー５２の両側面と同様なパンチング板やメッシュからなる通気面５３に形成されている。

内チャンバー５２の周面には、洗浄媒体投入口５５、洗浄媒体投入口５４および洗浄媒体排出口５６が設けられている。

洗浄媒体投入口５５は内チャンバー５２の周面の頂部に設けられ、洗浄媒体投入口５４は洗浄媒体投入口５５より少し下がった位置に設けられ、洗浄媒体排出口５６は底部に設けられている。

洗浄媒体投入口５４および洗浄媒体投入口５５には洗浄媒体２が通過できるスリット状の開口部５４ａおよび５５ａが設けられている。

外チャンバー５１の周面底部の内チャンバー５２の外側の位置、すなわち洗浄媒体排出口５６の両側の位置には排気口５７ａおよび排気口５７ｂが設けられている。

洗浄媒体投入口５４には、洗浄媒体加工手段５８が接続される。

洗浄媒体加工手段５８は、第１の実施形態における定量供給装置２０の加工ユニット２０ａと同様に、シート原反またはロール状の材料を、切断、折り曲げ加工して洗浄媒体２を製造するものであり、洗浄媒体投入口５４の開口部５４ａを介して、製造した洗浄媒体２を一定量ごとに、または製造されるごとに連続的に内チャンバー５２内に投入するものである。

内チャンバー５２の周面のうちの両側面には、８対の洗浄ノズル５９がそれぞれの側面に設置されている。

洗浄媒体投入口５５には、連続供給ができる定量供給装置（図示せず）が接続されるもので、既に加工済みの洗浄媒体２をこの定量供給装置にセットし、一定量ごとにまたは連続的に内チャンバー５２内に投入するものである。

定量供給装置としては、例えば、第１の実施形態において示したように供給部を設けて洗浄媒体２を供給する一定量ごとに供給部に保持し、それを内チャンバー５２内に一定量ごとに投入したり、連続して投入することができる。

また、各種の粉粒体の定量供給装置の中から、洗浄媒体２の特性にあったものを選定して用いることもできる。

洗浄媒体２は必要に応じ、洗浄媒体加工手段５８に接続された洗浄媒体投入口５４または洗浄媒体投入口５５のいずれかから投入される。

洗浄媒体排出口５６および排気口５７ａおよび排気口５７ｂには、第１の実施形態の場合と同様に、図４に示すように集塵機１３が接続されている。

洗浄媒体排出口５６は洗浄動作中には、洗浄媒体排出口５６はシャッター６０で閉じられているが、内チャンバー５２内の洗浄媒体２を排出する際には、シャッター６０を開き、３方弁１４を洗浄媒体排出口５６側に切り換えて、使用後の被洗浄体１を集塵機１３により吸引するともに、洗浄ノズル５９を動作させて様々なパターンの気流を発生させることで、内チャンバー５２内の洗浄媒体２を完全に排出する。

洗浄媒体２による洗浄中には、洗浄ノズル５９を動作させるとともに、３方弁１４を排気口５７ａおよび排気口５７ｂ側に切り換えて、被洗浄体１から除去した汚れおよび内チャンバー５２の通気面５３を通過した小さくなった洗浄媒体２を、集塵機１３により回収する。

洗浄ノズル５９は図１３の（Ｂ）に矢印で示すように、様々な方向に向けて気流を噴射できるようになっている。更にこれらの洗浄ノズル５９は、図１４に示すようにノズル群Ａ、ノズル群Ｂ、ノズル群Ｂ、・・・のようにいくつかにグルーピングされ、それぞれのノズル群毎に個別に動作をＯＮ/ＯＦＦ制御できるようになっている。図１４において実線はノズルＯＮ状態、破線はノズルＯＦＦ状態を示している。

このように、洗浄ノズル５９から断続的に気流を噴射することにより、非定常的な気流を発生させるようにしている。これにより連続的に気流を噴射する場合に比べて、気流に圧力変動が生じるため、付着している洗浄媒体２を剥がす効果がより高くなる。

更に、図１４のような洗浄ノズル５９の制御パターンを用いて、複数のノズル群のＯＮ状態を組み合わせることで、内チャンバー５２内に様々な気流すなわち非定常気流を発生させることができるため、内チャンバー５２内や被洗浄体１に洗浄媒体２を滞留させずに、循環させることができる。

また、同時にすべての洗浄ノズル５９がＯＮとなる場合に比べ、気流の消費量を抑えて強い気流を作用させることができるため、洗浄効率や洗浄品質を高くすることができる。
洗浄ノズル５９のグルーピングは、隣接する洗浄ノズル５９を同一グループにする方法や、離れた位置同士の洗浄ノズル５９を同一グループにする方法がある。
隣接する洗浄ノズル５９を同一グループにせず、離れた位置の洗浄ノズル５９を同一グループにした場合には更に様々な非定常気流を発生さえることができる。

外チャンバー５１と内チャンバー５２には、それぞれの楕円形の両端面に、平板状の被洗浄体１が外チャンバー５１と内チャンバー５２を貫通して左右方向に通過できるスリット６１およびスリット６２が設けられている。
６３は被洗浄体１を載置して搬送する送りローラであり、６４は被洗浄体１を表裏両側から挟んでガイドするガイドローラである。

被洗浄体１は、送りローラ６３により駆動されて、外チャンバー５１と内チャンバー５２を貫通して左右方向の一方にまたは往復方向に移動し、この移動の過程で被洗浄体１の内チャンバー５２内を通過する部分が洗浄される。

この送りローラにはモータ等の回転駆動手段および駆動力伝達機構（図示せず）が接続されている。

この構造においては、第１の実施形態の場合と同様に、被洗浄体１から除去した汚れや劣化した洗浄媒体２が内チャンバー５２のスリット６２の隙間を通過して外チャンバー５１側に移動したり、また同様に使用中の洗浄媒体２が内チャンバー５２のスリット５２の隙間から外チャンバー５１側に漏出することが考えられるが、これらは、外チャンバー５１に設けた排気口５７ａおよび排気口５７ｂより排出される。

この第２の実施形態の洗浄装置において、洗浄は次のような工程により行なわれる。

（１）洗浄媒体投入工程
まず最初に洗浄媒体２を内チャンバー５２へ投入する。
洗浄媒体２は、洗浄媒体加工手段５８において製造したものを洗浄媒体投入口５４を介して投入するか、またあらかじめ製造したものを定量供給装置にセットし、この定量供給装置にセットしたものを洗浄媒体投入口５５を介して投入する。

いずれの場合においても、洗浄媒体２を一定量投入するとともに、図４の３方弁１４を排気口５７ａおよび排気口５７ｂ側に切り換えて、集塵機１３の吸引力を排気口５７ａおよび排気口５７ｂ側に作用させこの状態を所定の時間継続させる。

これにより、洗浄媒体２が洗浄媒体投入口５４または洗浄媒体投入口５５を介して、内チャンバー５２内へ移動し、内チャンバー５２内へ新たな洗浄媒体２が投入される。
この工程においては、洗浄ノズル５９は非駆動状態である。

（２）洗浄工程
内チャンバー５２内へ所定量の洗浄媒体２が供給されたら、次に、平板状の被洗浄体１を、図１３の（Ａ）における右方向から外チャンバー５１のスリット６１および内チャンバー５２のスリット６２を通って外チャンバー５１および内チャンバー５２内に挿入し、内チャンバー５２内を搬送して通過させる。

被洗浄体１は、ガイドローラ６４によって姿勢を垂直に保たれつつ送りローラ６３によって搬送され、内チャンバー５２を通過して外チャンバー５１の反対側のスリット６１まで到達し、この間に汚れが除去される。この状態においては、洗浄ノズル５９を駆動させて、洗浄ノズル５９から断続的に気流を噴射して内チャンバー５２内の洗浄媒体２に吹き付け、これにより洗浄媒体２を被洗浄体１に吹き付ける。

この工程においては、図４の３方弁１４を排気口５７ａおよび排気口５７ｂ側に切り換えた状態を維持して、集塵機１３の吸引力を排気口５７ａおよび排気口５７ｂ側に作用させた状態を維持させる。これにより、被洗浄体１から除去した汚れおよび内チャンバー５２の通気面５３を通過した小さくなった洗浄媒体２を、集塵機１３により回収する。
この洗浄動作中には、洗浄媒体排出口５６はシャッター６０で閉じられている。

（３）洗浄媒体排出工程
次に、洗浄工程において使用した洗浄媒体２を内チャンバー５２から排出する。
この工程において洗浄ノズル５９は駆動状態を維持しており、洗浄ノズル５９から気体を噴射させて内チャンバー５２内の洗浄媒体２に吹き付ける。

またこの工程においては、洗浄媒体排出口５６のシャッター６０を開けて、図４の３方弁１４を、洗浄媒体排出口５６側に切り換えて、集塵機１３の吸引力を洗浄媒体排出口５６側に作用させる。

このように、洗浄ノズル５９を駆動させながら洗浄媒体排出口５６より吸引することで、洗浄後の汚れの付着した洗浄媒体２を排出することができる。排出した洗浄媒体２は、集塵機１３により回収される。

このように第１の実施形態の場合と同様に、上記（１）から（３）の各工程をシーケンシャルに行なう。

また、第２の実施形態においては、上記（１）から（３）の各工程を同時に並行して行なうことができる。この場合には次のように行なう。

（ａ）洗浄媒体２の投入および排出
洗浄媒体２の投入は、洗浄中に連続して行なう。このために洗浄媒体加工手段５８において製造した洗浄媒体２を洗浄媒体投入口５４を介して連続して投入するか、または定量供給装置にセットした洗浄媒体２を洗浄媒体投入口５５を介して連続して投入する。

洗浄媒体２の排出は、洗浄媒体２の投入に合わせて洗浄中に連続して行なう。

なお、各工程を同時に並行して行なう場合には、上記（１）の洗浄媒体投入工程と（３）の洗浄媒体排出工程を同時に行なうことになるが、洗浄力を一定に保つには、洗浄媒体２が内チャンバー５２内に、常時一定量存在するようにすることが必要であり、このためには洗浄媒体２の投入量と排出量を同じ量とする。

逆に、洗浄力を変化させるような場合には、洗浄媒体２の投入量と排出量を異なるようにし、内チャンバー５２内に存在する洗浄媒体２の量を変えるようにする。
例えば最初は洗浄力を強く徐々に弱くする場合には洗浄媒体２の投入量と排出量の差を徐々に変えていき、最初は内チャンバー５２内に存在する洗浄媒体２の量を多くし、この量を徐々に少なくなるようにする。

また、洗浄媒体２の入れ替えに要する時間は、上記（１）の洗浄媒体投入工程および上記（３）洗浄媒体排出工程を別々に行なう場合はこれらを短い時間で行なう方が良いが
これらの工程を同時並行に行なう場合には洗浄媒体２の汚れ程度を考慮して、単位時間あたりの投入量および排出量を設定することができる。例えば汚れの度合いが強い場合には、単位時間あたりの投入量を、単位時間あたりの投入量と洗浄力が比例する範囲内で、多くするようにして洗浄力を強化することができる。

（ｂ）洗浄
洗浄は、内チャンバー５２内へ洗浄媒体２の投入および内チャンバー５２からの洗浄媒体２の排出が行なわれている間に行なわれる。

この洗浄中においては、洗浄ノズル５９は駆動状態であり、洗浄ノズル５９から気体を噴射させて内チャンバー５２内に存在する洗浄媒体２に吹き付け、洗浄媒体２を被洗浄体１に吹き付ける。

上記の各工程をシーケンシャルに行なう場合と同様に、被洗浄体１を内チャンバー５２内に挿入して内チャンバー５２内を通過させ外チャンバー５１の反対側のスリット６１まで到達させる間に、被洗浄体１の汚れが除去される。

洗浄中においては、集塵機１３の吸引力は排気口５７ａおよび排気口５７ｂ側と洗浄媒体排出口５６側の両方に作用させる。

このために、この洗浄方法の場合には、図４に示す構成とは異なり、図４に示す３方弁１４を使用せずに、排気口５７ａおよび排気口５７ｂ側と洗浄媒体排出口５６側が同時に集塵機１３に接続されるような構成を用いる。

このように上記（１）から（３）の各工程を同時に並行して行なう場合には、洗浄媒体２の投入を洗浄中に連続して行ない、かつ洗浄媒体２の排出を洗浄媒体２の投入に合わせて洗浄中に連続して行なって、入れ替えた新たな洗浄媒体２により洗浄を行なうとともに、洗浄後の汚れの付着した洗浄媒体２を排出する。

洗浄媒体２の排出と投入を同時に連続的に行うことにより、内チャンバー５２内の洗浄媒体２の量と汚れ度合いを一定に保つことができるため、洗浄品質を安定化させることができる。また、洗浄力のコントロールを行なうことができる。

なお、本発明の実施形態においては、外チャンバーと内チャンバーそれぞれに、被洗浄体が通過可能なスリット状の開口部を有しているため、大きな被洗浄体であっても内チャンバーの大きさを小さくすることができ、内チャンバー内の洗浄媒体の密度を高めて効率的に洗浄することが可能になる。

また、外チャンバーが内チャンバーを包み込み、外チャンバー内の空気を吸引して陰圧に保つ構成により、内チャンバーから漏れ出た汚れや洗浄媒体があったとしても、外チャンバーの外に漏出させることなく吸引手段で回収することができる。

また、洗浄ノズルの向きを変化させることにより、ノズルを多数配置しなくても内チャンバーの内部に様々な方向の非定常的な気流を作用させることができ、少ないノズルの数で洗浄媒体の滞留を防止でき、装置構成が簡単になる。

また、複数の洗浄ノズルから噴出する気流の組み合わせを変化させることにより、ノズル自体を動かすことなく非定常気流を発生できる。なお、この場合には定常的に吹きつける場合に比べ、総消費流量を抑えて強い気流を発生し、洗浄媒体の滞留を防止できるので、省エネルギー化が可能になる。

また、洗浄媒体の形状を非平面形状としたことにより、内チャンバーに形成した開口部から洗浄媒体が漏れることを防ぐことができる。そして洗浄媒体が内チャンバーから漏れることなく繰り返し使えるため、洗浄媒体の寿命に達するまで有効に利用することができる。

また、洗浄媒体に切り込み部を形成したことにより、使用とともにチャンバー内で循環しながら切り込み部から破断して細かくなっていく。したがって、使用して汚れが付着した洗浄媒体は、大きさが小さくなって自動的に排出されるため、洗浄媒体に付着した汚れが被洗浄体に再付着しにくく、被洗浄体の洗浄品質を高めることができる。

また、洗浄媒体投入口に洗浄媒体の定量供給手段が接続され、前記定量供給手段がフィルムを切断加工する装置とすることで、フィルムの供給量の定量性が確保できる。更に、必要に応じて切断加工することにより、切断加工後のかさばる大量の洗浄媒体を蓄積しておくスペースが必要なくなるため、洗浄装置全体を小型化できる。更に、必要に応じて切断加工することにより、供給量の制御が容易になり、洗浄媒体の減少量に応じた供給量を設定できる。

また、内チャンバー内に前記洗浄媒体を投入する第１の工程と、該第１の工程において投入した洗浄媒体を前記内チャンバー内に閉じ込め、該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて被洗浄体の汚れを除去する第２の工程と、該第２の工程において使用した洗浄媒体を内チャンバーから排出する第３の工程の各工程を順に繰り返すことにより、汚れの付着した洗浄媒体を完全に排出することができ、新たな洗浄媒体を投入することにより、高い洗浄品質が得られる。

また、内チャンバー内に前記洗浄媒体を投入する第１の工程と、該第１の工程において投入した洗浄媒体を前記内チャンバー内に閉じ込め、該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて被洗浄体の汚れを除去する第２の工程と、該第２の工程において使用した洗浄媒体を内チャンバーから排出する第３の工程の各工程を同時に行なうことにより、内チャンバー内の洗浄媒体の量と汚れ度合いを一定に保つことができるため、洗浄品質を安定化させることができる。

また、内チャンバーに洗浄媒体の排出口を設け、開閉状態が切り替え可能であることにより、内チャンバーに設けた洗浄媒体排出口を開状態にして、排出口から吸引しながら洗浄ノズルから気流を噴出させて、内チャンバー内の洗浄媒体を完全に排出することができる。汚れたり劣化したりした洗浄媒体を完全に排出することができるため、洗浄品質を高めることが可能になる。また、洗浄媒体の排出時以外は、洗浄媒体排出口を閉状態とすることで、使用中の洗浄媒体が洗浄媒体排出口に入り込むことを防止できる。

また、内チャンバーに洗浄媒体投入口を設け、投入口の開閉状態が切り替え可能であることにより、吸引手段により内チャンバー内を陰圧にした状態で洗浄媒体投入口を開状態にして、洗浄媒体投入口から内チャンバー内に気流を流入させ、洗浄媒体を内チャンバーへ供給することができる。また、洗浄媒体の供給時以外は、洗浄媒体投入口を閉状態とすることで、使用中の洗浄媒体が洗浄媒体投入口に入り込むことを防止できる。

１ 被洗浄体
１ａ 汚れ
２ ２１ ２２ ２３ ２４ ２５ ２６ 洗浄媒体
３ 外チャンバー
４ 内チャンバー
５ａ ５ｂ 排気口
６ａ ６ｂ 開口部
７ａ ７ｂ スライド板
８ａ ８ｂ 回転ノズル
９ 洗浄媒体投入口
１０ 洗浄媒体排出口
１１ 送りローラ
１２ 通気面
１３ 集塵機
１３ａ フィルタ
１４ ３方弁
１５ 洗浄媒体回収器
１６ スリット
１７ スリット
１８ａ １８ｂ 回転ガイド
１９ 侵入防止用メッシュ
２０ 定量供給装置
２０ａ 加工ユニット
２０ｂ 供給部
Ｘ 接触部
５１ 外チャンバー
５２ 内チャンバー
５３ 通気面
５４ ５５ 洗浄媒体投入口
５４ａ ５５ｂ 開口部
５６ 洗浄媒体排出口
５７ａ ５７ｂ 排気口
５８ 洗浄媒体加工手段
５９ 洗浄ノズル
６０ シャッター
６１ ６２ スリット
６３ 送りローラ
６４ ガイドローラ

Claims (9)

1. 薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置において、
   少なくとも一部が通気性部材で形成され、内部に洗浄媒体を閉じ込め該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて洗浄を行なう洗浄空間が形成された内チャンバーと、
   非通気性部材で形成され、内側に前記内チャンバーを包み込んで前記内チャンバー内に気体を流通させる空間が形成された外チャンバーと、
   前記内チャンバー内において気流を前記洗浄媒体および前記被洗浄体に吹きつける洗浄ノズルと
   前記外チャンバー内の空気を吸引する吸引手段を備え
   前記外チャンバーと前記内チャンバーそれぞれには、前記被洗浄体が通過可能な開口部が形成されており、前記洗浄ノズルが非定常的な気流を発生させることを特徴とする洗浄装置。
2. 請求項１に記載の洗浄装置において、
   前記被洗浄体が前記内チャンバー内へ通過できる開口部が、前記外チャンバーと前記内チャンバーに形成され、前記吸引手段による吸引が、外チャンバー内を外チャンバーの外側に対して陰圧に保つものであることを特徴とする洗浄装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の洗浄装置において、
   前記非定常的な気流を、洗浄ノズルの方向の変化により発生させることを特徴とする洗浄装置。
4. 請求項１または請求項２に記載の洗浄装置において、
   前記洗浄ノズルが複数の洗浄ノズルであり、該複数の洗浄ノズルから断続的に気流を発生させるとともに該複数の洗浄ノズルから噴出する気流の組み合わせを変化させることにより、前記非定常的な気流を発生させることを特徴とする洗浄装置。
5. 請求項１から請求項４のいずれかに記載の洗浄装置において、
   前記洗浄媒体の形状を非平面形状としたことを特徴とする洗浄装置。
6. 請求項１から請求項５のいずれかに記載の洗浄装置において、
   洗浄媒体に切込み部を形成したことを特徴とする洗浄装置。
7. 請求項１から請求項６のいずれかに記載の洗浄装置において、
   前記内チャンバーに、前記外チャンバーの外部と連通し、開閉状態が切り替え可能な洗浄媒体の投入口と排出口を設け、前記投入口に洗浄媒体を一定量供給する定量供給手段を接続したものであり、
   該定量供給手段はフィルム状材料を切断加工して洗浄媒体を製造する装置であって、洗浄媒体の一定量の確保が加工完了の前段階の計量により行なわれることを特徴とする洗浄装置。
8. 薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置における洗浄方法であって、
   少なくとも一部が通気性部材で形成された内チャンバー内に前記洗浄媒体を投入する第１の工程と、
   該第１の工程において投入した洗浄媒体を前記内チャンバー内に閉じ込め、該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて被洗浄体の汚れを除去するとともに、非通気性部材で形成され内側に前記内チャンバーを包み込んだ外チャンバー内の気体を吸引する第２の工程と、
   該第２の工程において使用した洗浄媒体に気流を吹きつけるとともに外チャンバー内の気体を吸引して、該洗浄媒体を内チャンバーから排出する第３の工程の各工程を順に繰り返すことを特徴とする洗浄方法。
9. 薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置における洗浄方法であって、
   少なくとも一部が通気性部材で形成された内チャンバー内に前記洗浄媒体を投入する第１の工程と、
   該第１の工程において投入した洗浄媒体を前記内チャンバー内に閉じ込め、該洗浄媒体を被洗浄体に吹き付けて被洗浄体の汚れを除去するとともに、非通気性部材で形成され内側に前記内チャンバーを包み込んだ外チャンバー内の気体を吸引する第２の工程と、
   該第２の工程において使用した洗浄媒体に気流を吹きつけるとともに外チャンバー内の気体を吸引して、該洗浄媒体を内チャンバーから排出する第３の工程の各工程を同時に行なうことを特徴とする洗浄方法。

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