JP2012192511A - ウェハ研磨支援装置、制御方法、及びプログラム - Google Patents
ウェハ研磨支援装置、制御方法、及びプログラム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ウェハを研磨する研磨機構の特性を表す複数の物理量を式の要素とする統計モデルに基づいて研磨レートを推定し、その推定結果を用いてウェハの研磨処理を行うウェハ研磨装置200における研磨部材の劣化の推定を行う研磨部材劣化推定部160と、研磨部材劣化推定部160が推定した研磨レートと、研磨部材の劣化の推定結果とに基づいて、研磨部材の交換を判定する研磨部材交換判定部170とを備える。
【選択図】図4
Description
110 データ収集部
120 データ格納部
130 研磨データ取得部
140 変換部
150 予測部
160 研磨部材劣化推定部
161 初期集合生成部
162 研磨ベクトル生成部
163 マハラノビス距離算出部
170 研磨部材交換判定部
200 ウェハ研磨装置
210 研磨テーブル
220 テーブルモータ
230 研磨ヘッド
240 ヘッドモータ
250 ドレッサーヘッド
260 ドレッサーモータ
270 スラリー供給器
280 温度計
801 ホスト・コントローラ
802 CPU
803 RAM
804 グラフィック・コントローラ
805 表示装置
806 入出力コントローラ
807 通信インターフェース
808 ハードディスクドライブ
809 CD−ROMドライブ
810 ROM
811 フレキシブルディスク・ドライブ
812 入出力チップ
891 ネットワーク通信装置
892 CD−ROM
893 フレキシブルディスク
Claims (5)
- ウェハの研磨を支援するウェハ研磨支援装置であって、
ウェハを研磨する研磨機構の特性を表す複数の物理量を式の要素とする統計モデルに基づいて研磨レートを推定し、その推定結果を用いてウェハの研磨処理を行うウェハ研磨装置における研磨部材の劣化の推定を行う研磨部材劣化推定部と、
前記研磨部材劣化推定部が推定した研磨レートと、前記研磨部材の劣化の推定結果とに基づいて、前記研磨部材の交換を判定する研磨部材交換判定部と
を備えるウェハ研磨支援装置。 - 前記研磨部材劣化推定部は、
前記研磨部材の劣化特性を表す複数の物理量から前記研磨部材の劣化していない正常状態を示す物理量の集合を生成し、前記集合の平均及び分散を算出する初期集合生成部と、
ウェハ研磨時の前記物理量から多次元ベクトルを生成する研磨ベクトル生成部と、
前記初期集合生成部が生成した前記集合の平均及び分散と、前記研磨ベクトル生成部が生成した多次元ベクトルとに基づいて、マハラノビス距離を算出するマハラノビス距離算出部と
を備える請求項1に記載のウェハ研磨支援装置。 - 前記初期集合生成部は、前記研磨部材の劣化特性を表す複数の物理量として、研磨による発熱量情報として研磨部分における温度情報と、研磨機構部分に複数設けられたモータのうち少なくとも一つの前記モータのトルク情報とを用いる
請求項2記載のウェハ研磨支援装置。 - ウェハの研磨を支援するウェハ研磨支援装置を制御する制御方法であって、
ウェハを研磨する研磨機構の特性を表す複数の物理量を式の要素とする統計モデルに基づいて研磨レートを推定し、その推定結果を用いてウェハの研磨処理を行うウェハ研磨装置における研磨部材の劣化の推定を行う研磨部材劣化推定段階と、
前記研磨部材劣化推定段階において推定された研磨レートと、前記研磨部材の劣化の推定結果とに基づいて、前記研磨部材の交換を判定する研磨部材交換判定段階と
を備える制御方法。 - ウェハの研磨を支援するウェハ研磨支援装置用のプログラムであって、前記ウェハ研磨支援装置を、
ウェハを研磨する研磨機構の特性を表す複数の物理量を式の要素とする統計モデルに基づいて研磨レートを推定し、その推定結果を用いてウェハの研磨処理を行うウェハ研磨装置における研磨部材の劣化の推定を行う研磨部材劣化推定部、
前記研磨部材劣化推定部が推定した研磨レートと、前記研磨部材の劣化の推定結果とに基づいて、前記研磨部材の交換を判定する研磨部材交換判定部
として機能させるプログラム。
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