JP2012189219A - 高能力の物理的吸着剤からなる流体貯蔵ならびに搬送システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】吸着性流体の吸着親和性を有する固相物理的吸着媒体を保持するよう、また吸着性流体を選択的に流入ならびに流出させるよう構成、配置された貯蔵ならびに計量分配用容器からなる。この流体の吸着親和性を備える固相物理的吸着媒体は、内部気体圧力で前記貯蔵ならびに計量分配用容器に配置し、そして流体を前記固相物理的吸着媒体上に物理的に吸着させる。計量分配アセンブリーは前記貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通して連結される。この計量分配アセンブリーは、前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部に、内圧以下の圧力を供給して、前記固相物理的吸着媒体からの流体の脱着と、脱着流体の前記計量分配アセンブリーを通る流体に流れを起こさせる。
【選択図】図1
Description
本発明の他の目的ならびに利点は後述の開示ならびに請求の範囲からさらに十分明白になるであろう。
脱着可能な収着質の割合={(収着質の重量−脱着後に残留する収着質の重量)/(収着質の重量)}×100%
前記脱着可能の収着質の割合は少なくとも15%くらいで、少なくとも25%くらいが好ましく、さらに好ましくは少なくとも50%くらい、最も好ましくは少なくとも60%くらいである。
Cw=(圧力650トル、温度25℃における1リットルの吸着剤に対するアルシンガスのgで示す重量)−(圧力50トル、温度25℃における1リットルの吸着剤に対するアルシンガスのgで示す重量)
[式中、アルシンはこのようなCw特徴に対する基準流体であり、そして吸着剤のリットル基準は説明の通り、空隙もしくは間空隙を含む吸着媒体のベッドのベッド形態におけるリットル容積である]。この点で、増大する作業能力は圧力を1トルという低い値に下げることで可能であることを注目すべきである。
圧力(トル) 最小限の充填量(吸着剤1リットル当りのアルシンのg数)
25 30
50 62
100 105
200 145
300 168
400 177
500 185
550 188
650 〜192
圧力(トル) 充填量(吸着剤1リットル当りのアルシンのg数)
25 30−106
50 62−138
100 105−185
200 145−232
300 168−263
400 177−288
500 185−308
550 188−315
650 192−330
圧力(トル) 最小限の充填量(吸着剤1リットル当りのアルシンのg数)
25 35− 60
50 75−100
100 100−115
200 160−175
300 200−220
400 225−245
500 240−260
550 250−275
650 260−300
・固相物理的吸着媒体を保持し、該吸着媒体を選択的に流入、流出させるよう構成、配置した貯蔵ならびに計量分配用容器と;
・1200トル以下の内部流体圧力で該貯蔵ならびに計量分配用容器に配置した吸着材料と;
・前記吸着材料上に物理的に吸着された収着質流体と;
前記貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通して連結され、吸着材料からの流体の差熱および/または差圧脱着の後、脱着ずみ流体の選択的求めに応じて計量分配できるように構成、配置された計量分配アセンブリーと;
からなり、前記計量分配アセンブリーが:
(I)前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部に、前記内圧以下の圧力を供給して流体を吸着材料から脱着させ、また脱着ずみ流体の流れを前記計量分配アセンブリーを通して前記容器から流させ;および/または
(II)熱的に脱着させた流体をそれに通して流せるよう、かつ吸着材料を加熱して流体を脱着させて、脱着ずみ流体が容器から前記計量分配アセンブリーに流入するようにさせる手段を構成するよう、構成、配置していることを特徴とする。
・固相物理的吸着媒体を保持し、気体を選択的に流入ならびに流出させるよう構成、配置した貯蔵ならびに計量分配用容器と;
・内部気体圧力で前記貯蔵ならびに計量分配用容器に配置された吸着材料と;
・前記吸着材料上に物理的に吸着された収着質流体と;
・前記貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通して連結し、かつ前記吸着材料からの流体の差熱および/または差圧媒介脱着の後、脱着ずみ流体の選択的求めに応じて計量分配するよう構成、配置された計量分配アセンブリーと;
からなり、前記計量分配アセンブリーが:
(I)前記貯蔵ならび計量分配用容器の外部に、前記内圧以下の圧力を供給して流体を吸着剤材料から脱着し、また脱着ずみ流体の流れを前記計量分配アセンブリーに通して前記容器から流させ;および/または
(II)熱的に脱着した流体をそれに通して流せるよう、かつ吸着材料を加熱して流体をそれから脱着させて、脱着ずみ流体が容器から前記計量分配アセンブリーに流入するようにさせる手段からなるよう、構成、配置したことを特徴とする。
潜在的に適切な化学吸着剤材料の例は、
(A)共有結合しないが、それと関連した支持体と、前記汚染物の存在下で反応性がある陰イオンを供給してこのような汚染物を除去させる効果がある化合物とを含み該化合物が、
(i)対応プロトン化カルボアニオン化合物が約22乃至約36のpKa値を有するカルボアニオン源化合物と、
(ii)前記カルボアニオン源化合物の収着質気体との反応により形成された陰イオン源化合物と、からなる群の1種以上より選ばれる掃去剤と、
(B)
(i)1g当り約50乃至約1000m2の範囲の表面面積を有し、最高少なくとも約250℃の温度まで熱的に安定した不活性支持体と、
(ii)前記支持体上に、支持体1リットル当り約0.01乃至約1.0モルの濃度で存在し、ナトリウム、カリウム、ルビジウムならびにセシウムと、その混合物および合金から選ばれる族IA金属の支持体上の脱着と、前記支持体上のその熱分解により形成された活性掃去種とからなる掃去剤、
からなる群より選ばれる掃去剤を含む。
化学吸着材料はそれを用いる時、別のベッドとして吸着材料のベッドと流体流れ連通して利用できるか、あるいは別の方法として、化学吸着剤を貯蔵ならびに計量分配用容器に、吸着材料のベッドを無作為あるいは選択的に通して分散できる。
・物理的に前記流体試薬の吸着親和力を有する吸着材料を含む貯蔵ならびに計量分配用容器を準備する工程と;
・流体試薬を吸着材料上に物理的吸着的に充填させて収着質流体充填の吸着材料を生成する工程と;
・減圧(差圧)脱着および/または吸着材料の加熱により収着質流体充填の吸着材料から収着質流体を脱着する工程と;
・脱着ずみ流体を貯蔵ならびに計量分配用容器から計量分配する工程と;
からなる。
・炭素吸着材料を保持し、容器に対し流入ならびに流出させる流体を選択的に流すよう構成、配置された貯蔵ならびに計量分配用容器と;
・内部流体圧力で前記貯蔵ならびに計量分配用容器に配置された炭素吸着材料と;
・炭素吸着材料上に物理的に吸着された収着質流体と;
・前記貯蔵ならびに計量分配用容器と流体流れ連通して連結し、かつ前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部に前記内圧以下の圧力を供給して、収着質気体の前記炭素吸着材料からの脱着と、その内部を通る脱着ずみ気体の気体流れを行うよう構成、配置された計量分配アセンブリーと;
・前記計量分配アセンブリーに連結して、脱着ずみ気体の加圧と、結果として加圧された気体の排出用クライオポンプと;
からなる。
・炭素吸着材料を保持する貯蔵ならびに計量分配用容器を準備する工程と;
・前記流体を炭素吸着材料上で吸着させる工程と;
・前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部に、内圧以下の圧力を発生させて、収着質流体の炭素吸着材料からの脱着と、前記貯蔵ならびに計量分配用容器からの脱着ずみ流体を流出させる工程と;
・脱着ずみ流体を貯蔵ならびに計量分配用容器から、貯蔵ならびに計量分配用容器から流出させた脱着ずみ流体の圧力以上の所定の圧力でクライオポンプする工程と;
からなる。
圧力(トル) 最小限の充填量(吸着剤1リットル当りのアルシンのg数)
25 30
50 62
100 105
200 145
300 168
400 177
500 185
550 188
650 192
圧力(トル) 充填量(吸着剤1リットル当りのアルシンのg数)
25 30−106
50 62−138
100 105−185
200 145−232
300 168−263
400 177−288
500 185−308
550 188−315
650 192−330
圧力(トル) 最小限の充填量(吸着剤1リットル当りのアルシンのg数)
25 35
50 75
100 100
200 160
300 200
400 225
500 240
550 250
650 〜300
圧力(トル) 充填量(吸着剤1リットル当りのアルシンのg数)
25 35− 60
50 75−100
100 100−115
200 160−175
300 200−220
400 225−245
500 240−260
550 250−275
650 260−300
前記ガスボンベ10は、物理的に吸着された気体成分、例えばその表面(気孔と同様に吸着媒体の外面も含む)で吸着されたアルシンもしくはホスフィンを入れる。
Cw=(650トルの圧力と25℃の温度で1リットルの吸着剤上のgで表示するアルシンガスの重量)−(50トルの圧力と25℃の温度で1リットルの吸着剤上のg表示のアルシンガスの重量)、として測定された吸着作業能力、Cwは、
(278−70=吸着剤1リットル当り208gのアルシン)
となる。
しかしながら、吸着作用の熱のため真等温線の達成はできなかった。ボンベは定温度流体に浸漬されたとはいえ、前記流体と吸着剤の間の熱交換の速度は十分に速くなく、充填工程中は人工的に高圧をつくり出す結果となった。このことは図4に示され、充填の後の非平衡状態を明示している。
11 熱交換通路
12 マニホールド
13 入口管路
14 ボンベ用弁
15 排出管路
16 ボンベ隔離弁
17 ベッド
20 分岐パージ管路
22 パージ隔離弁
30 気体濾過器
32 圧力変換器
34 分岐取付け体
36 バイパス導管
38 バイパス隔離弁
40 気体流れオン/オフ弁
42 マス・フロー制御器
44 連結取付け体
46 排出管路
48 流量制御器
50 連結取付け体
52 素子
54 他端
200 貯蔵並びに計量分配システム
204 貯蔵並びに計量分配用容器
206 弁ヘッド
208 手動作動器
210 カップリング
212 計量分配導管
214 圧力変換器
222 濾過器
224 カップリング
300 貯蔵並びに計量分配システム
302 貯蔵並びに計量分配用容器
304 弁ヘッド
306 手動作動器ホイール
307 流量制御弁
308 VCR濾過ガスケット
309 流量制御弁
310 圧力変換器
311 弁
312 流れ導管
314 逆止め弁
320 スパン・ゲージ
322 流量制御器
324 バイパス弁
325 バイパス導管
326 マニホールド導管
330 カップリング
346 壁体
350 吸着材料
352 内容積
360 多孔質中心チューブ
400 クライオポンプ式貯蔵並びに搬送システム装置
402 ボンベ
404 弁ヘッドアセンブリー
406 隔離弁
408、409 導管
410 隔離弁
412 マス・フロー制御器
414 隔離弁
415、416 クライオポンプ
418 隔離弁
420 中圧ボンベ
422 隔離弁
424 加熱素子
426 液体窒素出口
428 入口
430 製品計量分配調整器アセンブリー
434 排出口
502 貯蔵並びに計量分配システム
504 貯蔵並びに計量分配用容器
506 ボンベ弁
508 気体ボンベ隔離弁
510 圧力変換器
512 流れ管路
514 不活性パージ気体源
516 T字型コネクター
518 不活性気体パージ管路
520 気体パージ隔離弁
522 接続管路
524 マス・フロー制御器
526 気体オン/オフ弁
530 管路
532、536 弁
534 冷却受け容器
538 真空装置
Claims (70)
- 吸着性流体の貯蔵ならびに計量分配用の吸着・脱着装置であって、
・固相炭素の物理的吸着媒体を保持するように、また流体を選択的に容器に流入また容器から流出させるよう構成、配置した貯蔵ならびに計量分配用容器と;
・内部気体圧力で前記貯蔵ならびに計量分配用容器に配置された固相炭素の物理的吸着媒体と;
・前記固相炭素の物理的吸着媒体上に物理的に吸着された吸着性流体と;
・前記貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通して連結された分配アセンブリーと;からなり、該分配アッセンブリーは
(I)前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部で、前記内圧以下の圧力を供給して、前記固相炭素の物理的吸着媒体からの吸着性流体の脱着と、脱着ずみ流体を前記計量分配アセンブリーを通す流体流れとを供給するか、および/または、
(II)熱的に脱着ずみ流体にそれに通す流れをつくり、かつ炭素吸着材料を加熱して、それからの流体の脱着を行い、脱着ずみ流体が前記容器から前記計量分配アセンブリーに流入させる手段からなるように、
構成、配置されたことを特徴とする吸着・脱着装置。 - 前記炭素吸着材料がアルシンガスに対し、25℃の温度で、圧力関数としての吸着等温線を有し、図1の曲線Aの吸着等温線特性を有することを特徴とする請求項1記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が25℃の温度でアルシンガスの吸着等温線を圧力の関数として有し、次の吸着充填特性:
圧力(トル) 最小限の充填量(吸着剤1リットル当りのアルシンのg数)
25 35
50 75
100 100
200 160
300 200
400 225
500 240
550 250
650 〜300
を有することを特徴とする請求項1記載の装置。 - 前記炭素吸着材料ガス25℃の温度でアルシンガス吸着等温線を圧力の関数として備え、次の吸着充填特性:
圧力(トル) 充填量(吸着剤1リットル当りのアルシンのg数)
25 35− 60
50 75−100
100 100−115
200 160−175
300 200−220
400 225−245
500 240−260
550 250−275
650 260−300
を有することを特徴とする請求項1記載の吸着・脱着装置。 - 前記炭素吸着材料が、吸着材料1g当り約0.2乃至約2.0cm3の範囲の気孔容積を有することを特徴とする請求項1記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料は、約2オングストローム乃至100オングストロームの範囲の直径をもつ気孔からなるその気孔容積の50%以上の主要部分を有することを特徴とする請求項1記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が、約2オングストローム乃至100オングストロームの範囲の直径をもつ気孔からなるその気孔容積の80%以上を有することを特徴とする請求項6記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が、約2オングストローム乃至100オングストロームの範囲の直径をもつ気孔からなるその気孔容積のほぼ全てを有することを特徴とする請求項6記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が約2乃至約20オングストロームの範囲の平均気孔直径を有することを特徴とする請求項1記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が、約2乃至約20オングストロームの前記範囲内で気孔容積の主要部分を有することを特徴とする請求項9記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が、約2乃至約20オングストロームの前記範囲内で少なくとも80%の気孔容積を有することを特徴とする請求項9記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が、約2乃至約20オングストロームの前記範囲内でほぼ全ての気孔容積を有することを特徴とする請求項9記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が、アルシンガスに対して40トルと650トルの圧力で測定した少なくとも100の吸着作業能力、Cwを備えることを特徴とする請求項1記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が、アルシンガスに対して40トルと650トルの圧力で測定した少なくとも180の吸着作業能力、Cwを備えることを特徴とする請求項1記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が、アルシンガスに対して40トルと650トルの圧力で測定した少なくとも200の吸着作業能力、Cwを備えることを特徴とする請求項1記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が、ビーズ、顆粒、ペレット、タブレット、粉末、粒子、押出物、布、ウエブ状材料、ハニカム・マトリックス・モノリス、炭素吸着剤の他の成分との複合材料からなる群より選ばれる形態と、炭素吸着材料の前記形態の微粉砕と圧潰形状を有することを特徴とする請求項1記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が、ビーズ活性化炭素材料からなることを特徴とする請求項1記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が、約0.1mm乃至1cmの直径の範囲の粒径をもつビーズ活性化炭素材料からなることを特徴とする請求項1記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料が、約0.25乃至約2mmの直径の範囲の粒径をもつビーズ活性化炭素材料からなることを特徴とする請求項1記載の吸着・脱着装置。
- 気体の貯蔵ならびに計量分配用の吸着・脱着装置であって、
・固相物理的吸着媒体を保持するよう、また気体を選択的に容器に流入また容器から流出させるよう構成、配置した貯蔵ならびに計量分配用容器と;
・内部気体圧力で前記貯蔵ならびに計量分配用容器に内部気体圧力で配置した炭素吸着材料と;
・前記炭素吸着材料上に物理的に吸着した収着質流体と;
・前記貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通して連絡し、流体の炭素吸着材料からの差熱および/または差圧媒介脱着の後、脱着流体を選択的な要求に応じて分配するため構成、配置された分配用アセンブリーと;からなり、該分配用アセンブリーは、
(I)前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部に、前記内圧以下の圧力を供給して、流体の炭素吸着材料からの脱着と、前記容器から計量分配アセンブリーを通す流れを起こすか、および/または
(II)熱的に脱着ずみ流体をそれに通す流れをつくり、また前記炭素吸着材料を加熱して、それからの流体の脱着を行い、脱着ずみ流体が前記容器から前記計量分配アセンブリーに流入させる手段からなるよう、
構成、配置され、
前記炭素吸着材料が、水、金属および前記貯蔵ならびに計量分配用容器で収着質流体を分解させるには濃度が不十分な酸化物の遷移金属種とからなる群より選ばれる微量成分が全くないことを特徴とする吸着・脱着装置。 - 水と酸化物の遷移金属種からなる群より選ばれる微量成分の前記炭素吸着材料の濃度は、1年後、25℃の温度と前記内圧で収着質流体の5重量%以上を分解させるのに不十分であることを特徴とする請求項20記載の吸着・脱着装置。
- 水と酸化物の遷移金属種からなる群より選ばれる微量成分の前記炭素吸着材料の濃度は、1年後、25℃の温度と前記内圧で収着質流体の1%重量以上を分解するのに不十分であることを特徴とする請求項20記載の吸着・脱着装置。
- 水と酸化物の遷移金属種からなる群より選ばれる微量成分の前記炭素吸着材料の、該炭素吸着材料の重量に対する濃度は、1週間後、貯蔵ならびに計量分配用容器内の温度が25℃で、収着質流体が分解を起こして結果として内圧を25%以上も上昇させるには不十分であることを特徴とする請求項20記載の吸着・脱着装置。
- 水と酸化物の遷移金属種からなる群より選ばれる微量成分の前記炭素吸着材料の、該炭素吸着材料の重量に対する濃度は、1週間後、貯蔵ならびに計量分配用容器内の温度が25℃で、収着質流体が分解を起こして結果として内圧を10%以上も上昇させるには不十分であることを特徴とする請求項20記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料は、該炭素吸着材料の重量に対して、水と酸化物の遷移金属種からなる群より選ばれる微量成分の350重量ppm以下を含むことを特徴とする請求項20記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料は、該炭素吸着材料の重量に対して、水と酸化物の遷移金属種からなる群より選ばれる微量成分の100重量ppm以下を含むことを特徴とする請求項20記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着剤材料は、前記炭素吸着材料は、該炭素吸着材料の重量に対して、水と酸化物の遷移金属種からなる群より選ばれる微量成分の10重量ppm以下を含むことを特徴とする請求項20記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着剤材料は、前記炭素吸着材料は、該炭素吸着材料の重量に対して、水と酸化物の遷移金属種からなる群より選ばれる微量成分の1重量ppm以下を含むことを特徴とする請求項20記載の吸着・脱着装置。
- 前記収着質気体が、シラン、ジボラン、アルシン、ホスフィン、塩素、BCl3、BF3、B2D6、六弗化タングステン、(CH3)3Sb、弗化水素、塩化水素、GeF4、SiF4、重水素化水素化物、沃化水素、臭化水素、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素およびNF3からなる群より選ばれることを特徴とする請求項20記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料はその吸着特性促進の処理を施されたことを特徴とする請求項20記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料は、(1)吸着剤が後続して計量分配されることになる流体で本来充填された時前記吸着媒体への特定の流体の吸着、および/または(2)吸着剤が貯蔵ならびに計量分配用容器から分配のための加工条件にかけられた時流体の脱着、を促進する化学成分で吸着剤の表面を機能化する処理を施されることを特徴とする請求項30記載の吸着・脱着装置。
- 前記炭素吸着材料は、その表面上に施された吸着促進材料による処理を施されたことを特徴とする請求項20記載の吸着・脱着装置。
- 吸着材料の吸着性効力に悪影響を及ぼす汚染物に対する親和力を備える貯蔵ならびに計量分配用容器内の化学吸着材料をさらに含むことを特徴とする請求項20記載の吸着・脱着装置。
- 前記化学吸着剤は:
(A)共有結合しないが、関連した支持体と、汚染物の存在下で反応性がある陰イオンを供給してこのような汚染物を除去させる化合物を含み、該化合物が、
(i)その対応プロトン化カルボアニオン化合物が約22乃至約36のpKa値を有するカルボアニオン源化合物と、
(ii)前記カルボアニオン源化合物の収着質気体との反応により形成された陰イオン源化合物とからなる群の1種以上より選ばれる掃去剤と;
(B)(i)1g当り約50乃至約1000m2の範囲の表面積を有し、最高少なくとも約250℃の温度まで熱的に安定した不活性支持体と、
(ii)該支持体1l当り約0.01乃至約1.0モルの濃度で前記支持体上に存在し、ナトリウム、カリウム、ルビジウムならびにセシウムと、その混合物および合金から選ばれる族1A金属の支持体上の脱着と、前記支持体上のその熱分解により形成された活性掃去剤種と、からなる掃去剤と;
からなる群より選ばれることを特徴とする請求項33記載の吸着・脱着装置。 - 前記化学吸着剤がトリチルリチウムと砒化カリウムからなる群より選ばれることを特徴とする請求項33記載の吸着・脱着装置。
- 前記化学吸着剤が前記貯蔵ならびに計量分配用容器内の前記炭素吸着材料と流体流れ連通して化学吸着材料の個別のベッドとして存在することを特徴とする請求項33記載の吸着・脱着装置。
- 前記化学吸着剤は貯蔵ならびに計量分配用容器にある炭素吸着材料に分散させることを特徴とする請求項33記載の吸着・脱着装置。
- 吸着性流体の貯蔵ならびに計量分配用の吸着・脱着装置であって、
・固相物理的吸着媒体を保持し、また流体を選択的に容器に流入、また容器から流出させるよう構成、配置した貯蔵ならびに計量分配用容器と;
・内部気体圧力で前記貯蔵ならびに計量分配用容器に配置した固相物理的吸着媒体と;
・前記固相物理的吸着媒体上に物理的に吸着された吸着性流体と;
・前記貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通して連結された計量分配アセンブリーと;とからなり、該計量分配アセンブリーは、
(I)前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部に、前記内圧以下の圧力を供給して、前記固相炭素物理的吸着媒体からの吸着性流体の脱着と、脱着ずみ流体を前記計量分配アセンブリーを通す流体流れを供給するか、および/または
(II)熱的に脱着ずみ流体を流し、また前記炭素吸着材料を加熱して、流体の脱着を行い、脱着ずみ流体が前記容器から前記計量分配アセンブリーに流入させる手段からなる、
よう構成、配置された吸着・脱着装置において、
(I)アルシンガスのための吸着媒体の脱着性収着質の割合は、少なくとも15%であること、
(II)アルシンガスに対して40トルと650トルの圧力で測定した少なくとも50の吸着作業能力を備えること、
(III)小型でポータブルの使用場所で使える流体貯蔵ならびに分配システムを構成し、内部気体圧力を1200トル以下としたこと、の少なくとも1つの特性を有することを特徴とする吸着・脱着装置。 - 前記吸着性流体は気体、蒸気、液体、多相流体ならびに流体混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項38記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料が、ビーズ、顆粒、ペレット、タブレット、粉末、粒子、押出物、布もしくはウエブ状材料、ハニカム・マトリックス・モノリス、吸着剤の他の成分との複合材料、上記のものの細砕もしくは粉砕形状のものからなる群より選ばれた形状を有することを特徴とする請求項38記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料が、重合体、ホスホシリケートアルミニウム、クレー、ゼオライト、多孔性珪素、ハニカム・マトリックス材料ならびに炭素材料からなる群より選ばれることを特徴とする請求項38記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着性流体が、シラン、ジボラン、アルシン、ホスフィン、ホスゲン、塩素、BCl3、BF3、B2D6、六弗化タングステン、弗化水素、塩化水素、沃化水素、臭化水素、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、シアン化水素、セレン化水素、テルル化水素、重水素化水素化物、水素化物気体混合物、オルガノ化合物、ならびに有機金属化合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項38記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料がゼオライトと炭素吸着剤からなる群より選ばれることを特徴とする請求項38記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料が活性炭素からなることを特徴とする請求項38記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料がビーズ活性炭素からなることを特徴とする請求項38記載の吸着・脱着装置。
- 前記ビーズ活性炭素が、約0.1〜約1cmの範囲の直径を有することを特徴とする請求項45記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料が直径が約2オングストローム乃至100オングストロームの範囲の直径の気孔からなり、その気孔容積の主要部分を有することを特徴とする請求項38記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料が、吸着剤1l当り吸着されたアルシンのg数で測定され、トルで示す圧力の関数として、25℃の温度でアルシンガス吸着等温線を有し、次の吸着充填特性:
圧力(トル) 最小限の充填量(吸着剤1リットル当りのアルシンのg数)
25 30
50 62
100 105
200 145
300 168
400 177
500 185
550 188
650 192;
を有することを特徴とする請求項38記載の吸着・脱着装置。 - 前記吸着材料が、吸着剤1l当り吸着されたアルシンのg数で測定し、トルで示す圧力の関数として、25℃の温度でアルシンガス吸着等温線を有し、次の吸着充填特性:
圧力(トル) 充填量(吸着剤1リットル当りのアルシンのg数)
25 30−106
50 62−138
100 105−185
200 145−232
300 168−263
400 177−288
500 185−308
550 188−315
650 192−330;
を有することを特徴とする請求項38記載の吸着・脱着装置。 - 吸着性流体の貯蔵ならびに計量分配用の吸着・脱着装置であって、
・固相物理的吸着媒体を保持し、また流体を選択的に容器に流入また容器から流出させるよう構成、配置した貯蔵ならびに計量分配用容器と;
・内部気体圧力で前記貯蔵ならびに計量分配用容器に配置した固相物理的吸着媒体と;
・前記固相物理的吸着媒体上に物理的に吸着された吸着性流体と;
・前記貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通して連結した計量分配アセンブリーと;からなり、該計量分配アセンブリーは、
(I)前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部に、前記内圧以下の圧力を供給して、前記固相炭素物理的吸着媒体からの吸着性流体の脱着と、脱着ずみ流体を前記計量分配アセンブリーを通す流体流れとを供給するか、および/または
(II)熱的に脱着ずみ流体を流し、また前記吸着材料を加熱して、流体の脱着を行い、脱着ずみ流体が前記容器から前記計量分配アセンブリーに流入させる手段からなるよう、構成、配置し、アルシンガスに対する吸着材料の脱着性収着質の割合が少なくとも15%であることを特徴とする吸着・脱着装置。 - 吸着性流体の貯蔵ならびに計量分配用の吸着・脱着装置であって、
・固相物理的吸着媒体を保持し、また流体を選択的に容器に流入また容器から流出させるよう構成、配置した貯蔵ならびに計量分配用容器と;
・内部気体圧力で前記貯蔵ならびに計量分配用容器に配置した固相物理的吸着媒体と;
・前記固相物理的吸着媒体上に物理的に吸着された吸着性流体と;
・前記貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通して連結した計量分配アセンブリーと;からなり、該計量分配アセンブリーは、
(I)前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部に、前記内圧以下の圧力を供給して、前記固相炭素物理的吸着媒体からの吸着性流体の脱着と、脱着ずみ流体を前記計量分配アセンブリーを通す流体流れとを供給するか、および/または
(II)熱的に脱着ずみ流体を流し、また前記吸着材料を加熱して、流体の脱着を行い、脱着ずみ流体が前記容器から前記計量分配アセンブリーに流入させる手段からなるよう、
構成、配置し、アルシンガスに対して圧力40トルと650トルで測定する吸着剤の吸着作業能力を少なくとも50とすることを特徴とする吸着・脱着装置。 - 小型でポータブルの使用場所で使える、吸着性流体の貯蔵ならびに計量分配用の吸着・脱着装置であって、
・固相物理的吸着媒体を保持し、また流体を選択的に容器に流入また容器から流出させるよう構成、配置した貯蔵ならびに計量分配用容器と;
・1200トル以下の内部気体圧力で前記貯蔵ならびに計量分配用容器に配置した固相物理的吸着媒体と;
・前記固相物理的吸着媒体上に物理的に吸着された吸着性流体と;
・前記貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通して連結した計量分配アセンブリーと;からなり、該計量分配アセンブリーは、
(I)前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部に、前記内圧以下の圧力を供給して、前記固相炭素物理的吸着媒体からの吸着性流体の脱着と、脱着ずみ流体を前記計量分配アセンブリーを通す流体流れとを供給するか、および/または
(II)熱的に脱着ずみ流体を流し、また前記吸着材料を加熱して、流体の脱着を行い、脱着ずみ流体が前記容器から前記計量分配アセンブリーに流入させる手段からなるよう、構成、配置されたことを特徴とする吸着・脱着装置。 - 前記吸着性流体が、気体、蒸気、液体、多相流体ならびに流体混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項52記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料が、ビーズ、顆粒、ペレット、タブレット、粉末、粒子、押出物、布もしくはウエブ状材料、ハニカム・ストリックス・モノリス、他の成分との吸着剤の複合材料、上記の細砕形状ならびに上記の粉砕形状からなる群より選ばれることを特徴とする請求項52記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料が、重合体、ホスホシリケートアルミニウム、クレー、ゼオライト、多孔性珪素、ハニカム・マトリックス材料ならびに炭素材料からなる群より選ばれることを特徴とする請求項52記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着性流体が、シラン、ジボラン、アルシン、ホスフィン、ホスゲン、塩素、BCl3、BF3、B2D6、六弗化タングステン、弗化水素、塩化水素、沃化水素、臭化水素、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、シアン化水素、セレン化水素、テルル化水素、高水素化水素化物、水素化物気体化合物、オルガノ化合物ならびに有機金属化合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項52記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料がゼオライトならびに炭素吸着剤からなる群より選ばれることを特徴とする請求項52記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料が活性炭素からなることを特徴とする請求項52記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料がビーズ活性炭素からなることを特徴とする請求項52記載の吸着・脱着装置。
- 前記ビーズ活性化炭素が約0.1乃至約1cmの直径を有することを特徴とする請求項59記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料が、約2オングストローム乃至100オングストロームの範囲の直径の気孔からなり、その気孔容積の主要部分を有することを特徴とする請求項52記載の吸着・脱着装置。
- 前記吸着材料が、吸着剤1l当り吸着されたアルシンのg数で測定され、トルで示された圧力の関数として、25℃の温度でアルシンの気体吸着等温線を有し、次の吸着充填特性:
圧力(トル) 最小限の充填量(吸着剤1リットル当りのアルシンのg数)
25 30
50 62
100 105
200 145
300 168
400 177
500 185
550 188
650 192
を有することを特徴とする請求項52記載の吸着・脱着装置。 - 前記吸着材料が、吸着剤1l当り吸着されたアルシンのg数で測定され、トルで示された圧力の関数として、25℃の温度でアルシン気体吸着等温線を有し、次の吸着充填特性:
圧力(トル) 充填量(吸着剤1リットル当りのアルシンのg数)
25 30−106
50 62−138
100 105−185
200 145−232
300 168−263
400 177−288
500 185−308
550 188−315
650 192−330
を有することを特徴とする請求項52記載の吸着・脱着装置。 - 流体試薬の供給方法であって、
・前記流体試薬に対する物理的親和力を備える炭素吸着材料を含む貯蔵ならびに計量分配用容器を準備する工程と;
・前記流体試薬を炭素吸着材料上に物理的吸着的に充填し、収着質流体充填炭素吸着材料を生成する工程と;
・収着質流体充填の炭素吸着材料から収着質流体を減圧(差圧)脱着および/または吸着材料の加熱により脱着する工程と;
・脱着ずみ流体を貯蔵ならびに計量分配用容器から計量分配する工程と;
からなることを特徴とする流体試薬の供給方法。 - 前記流体試薬が、シラン、ジボラン、アルシン、ホスフィン、塩素、BCl3、BF3、B2D6、六弗化タングステン、(CH3)3Sb、弗化水素、塩化水素、高水素化水素化物、GeF4、SiF4、沃化水素、臭化水素、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素、NF3およびその混合物からなる群より選ばれる流体からなることを特徴とする請求項64記載の流体試薬の供給方法。
- 前記有機金属化合物が、アルミニウム、バリウム、ストロンチウム、ガリウム、インジウム、タングステン、アンチモン、銀、金、パラジウム、ガドリニウム、カルシウム、リチウム、カリウム、セシウム、チタン、イットリウム、ジルコニウム、鉛、タンタリウム、ニオビウム、バナジウム、白金、タリウム、ビスマス、錫、テルル、セレン、ニッケル、亜鉛、タングステン、マンガン、鉄、コバルト、モリブデン、マグネシウム、スカンジウム、クローム、銅、カドミウム、ランタンならびにセリウムからなる群より選ばれる金属成分からなることを特徴とする請求項65記載の流体試薬の供給方法。
- 炭素吸着材料上で吸着性のある流体の貯蔵ならびに分配用の吸着・脱着装置であって、
・炭素吸着材料を保持し、また流体を選択的に容器に流入、また容器から流出させるよう構成、配置した貯蔵ならびに計量分配用容器と;
・内部流体圧力で前記貯蔵ならびに計量分配用容器に配置した炭素吸着材料と;
・前記炭素吸着材料上に物理的に吸着された収着質流体と;
・前記貯蔵ならびに計量分配用容器と流体流れ連通して連結され、該貯蔵ならびに計量分配用容器の外部に、前記内圧以下の圧力を供給して、前記炭素吸着材料からの収着質気体の脱着と、脱着ずみ気体の流れをその内部に通す計量分配アセンブリーと;
・脱着ずみ気体の加圧と、結果的に加圧された気体の排出のため計量分配アセンブリーに連結されたクライオポンプと;
からなることを特徴とする吸着・脱着装置。 - 炭素吸着材料上で吸着性流体の貯蔵ならびに計量分配する方法であって、
・炭素吸着材料を保持する貯蔵ならびに計量分配用容器を準備する工程と;
・このような流体を炭素吸着材料上で吸着する工程と;
・貯蔵ならびに計量分配用容器の外部に内部圧力以下の圧力を発生させて、収着質流体の炭素吸着材料からの脱着と、脱着ずみ流体を貯蔵ならびに計量分配容器からの流れを起こす工程と;
・脱着ずみ流体を貯蔵ならびに計量分配用容器から所定の圧力にクライオポンプする工程と;からなり、前記所定の圧力が貯蔵ならびに計量分配用容器から流出した脱着ずみ流体の圧力より高いことを特徴とする貯蔵ならびに計量分配方法。 - 試薬原料材料用の試薬源と前記試薬源と気体流れ連通して連結するイオン注入装置からなるイオン注入システムであって、前記試薬源が:
・気体の貯蔵ならびに計量分配用の吸着・脱着装置からなり、前記吸着・脱着装置が、
・固相物理的吸着媒体を保持し、また気体を選択的に容器に流入また容器から流出させる貯蔵ならびに計量分配用容器と;
・内部気体圧力で前記貯蔵ならびに計量分配用容器に配置された固相炭素物理的吸着媒体と;
・前記固相炭素物理的吸着媒体上に物理的に吸着された収着質気体と;
・前記貯蔵ならびに計量分配用容器とイオン注入装置とを互いに気体流れ連通して相互に接続し、前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部に、前記内圧以下の圧力を供給して、収着質気体の固相物理的吸着媒体からの脱着と、脱着ずみ気体の計量分配アセンブリーを通すイオン注入装置への気体流れを起こすよう構成、配置された計量分配アセンブリーと;
からなることを特徴とするイオン注入システム。 - イオン注入領域に気体試薬を供給する方法であって、
・前記気体試薬に対し物理的に吸着性親和力のある固相炭素物理的吸着媒体を含む貯蔵ならびに計量分配用容器を準備する工程と;
・収着質気体を前記固相炭素物理的吸着媒体上に物理的吸着可能に充填して、収着質気体充填炭素物理的吸着媒体を生成する工程と;
・収着質気体を収着質気体充填炭素物理的吸着媒体から減圧脱着により選択的に脱着してそれを計量分配する工程と;
・脱着ずみ収着質気体を貯蔵ならびに計量分配用容器からイオン注入領域に流す工程と;
からなることを特徴とする気体試薬を供給する方法。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/650,634 | 1996-05-20 | ||
US08/650,634 US5704965A (en) | 1994-10-13 | 1996-05-20 | Fluid storage and delivery system utilizing carbon sorbent medium |
US08/650,633 | 1996-05-20 | ||
US08/650,633 US5704967A (en) | 1995-10-13 | 1996-05-20 | Fluid storage and delivery system comprising high work capacity physical sorbent |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008199805A Division JP5542315B2 (ja) | 1996-05-20 | 2008-08-01 | 高能力の物理的吸着剤からなる流体貯蔵ならびに搬送システム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012189219A true JP2012189219A (ja) | 2012-10-04 |
JP2012189219A5 JP2012189219A5 (ja) | 2015-02-05 |
JP5700570B2 JP5700570B2 (ja) | 2015-04-15 |
Family
ID=40323523
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008199805A Expired - Lifetime JP5542315B2 (ja) | 1996-05-20 | 2008-08-01 | 高能力の物理的吸着剤からなる流体貯蔵ならびに搬送システム |
JP2012126846A Expired - Lifetime JP5700570B2 (ja) | 1996-05-20 | 2012-06-04 | 吸着性流体の貯蔵ならびに計量分配用の吸着・脱着装置及び流体試薬の供給方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008199805A Expired - Lifetime JP5542315B2 (ja) | 1996-05-20 | 2008-08-01 | 高能力の物理的吸着剤からなる流体貯蔵ならびに搬送システム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5542315B2 (ja) |
KR (1) | KR100271084B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016533881A (ja) * | 2013-08-05 | 2016-11-04 | ヌマット テクノロジーズ,インコーポレイテッド | 電子ガス貯蔵用金属有機構造体 |
JP2018149508A (ja) * | 2017-03-14 | 2018-09-27 | 大陽日酸株式会社 | 酸化エチレン除去方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2985437A1 (fr) * | 2012-01-10 | 2013-07-12 | Alstom Technology Ltd | Procede de filtration d'effluents gazeux d'une installation industrielle |
CA3221975A1 (en) * | 2015-08-14 | 2017-02-23 | Basf Corporation | Adsorbents and methods of making and using adsorbents |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05262502A (ja) * | 1992-01-06 | 1993-10-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 加水分解性の有機ケイ素化合物を含有する塩化水素の精製方法 |
JPH07155366A (ja) * | 1993-12-06 | 1995-06-20 | Japan Tobacco Inc | 脱臭剤 |
WO1996011739A1 (en) * | 1994-10-13 | 1996-04-25 | Advanced Technology Materials, Inc. | Storage and delivery system for gaseous compounds |
-
1997
- 1997-05-20 KR KR1019970707698A patent/KR100271084B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2008
- 2008-08-01 JP JP2008199805A patent/JP5542315B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2012
- 2012-06-04 JP JP2012126846A patent/JP5700570B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05262502A (ja) * | 1992-01-06 | 1993-10-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 加水分解性の有機ケイ素化合物を含有する塩化水素の精製方法 |
JPH07155366A (ja) * | 1993-12-06 | 1995-06-20 | Japan Tobacco Inc | 脱臭剤 |
WO1996011739A1 (en) * | 1994-10-13 | 1996-04-25 | Advanced Technology Materials, Inc. | Storage and delivery system for gaseous compounds |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016533881A (ja) * | 2013-08-05 | 2016-11-04 | ヌマット テクノロジーズ,インコーポレイテッド | 電子ガス貯蔵用金属有機構造体 |
JP2019048294A (ja) * | 2013-08-05 | 2019-03-28 | ヌマット テクノロジーズ,インコーポレイテッド | 電子ガス貯蔵用金属有機構造体 |
JP2018149508A (ja) * | 2017-03-14 | 2018-09-27 | 大陽日酸株式会社 | 酸化エチレン除去方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR19990008173A (ko) | 1999-01-25 |
JP2009008265A (ja) | 2009-01-15 |
JP5700570B2 (ja) | 2015-04-15 |
KR100271084B1 (ko) | 2000-11-01 |
JP5542315B2 (ja) | 2014-07-09 |
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