JP2012174954A - Semiconductor light-emitting device and light source device using the same - Google Patents

Semiconductor light-emitting device and light source device using the same Download PDF

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Kazuhiko Yamanaka
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve a light source device which can mount a plurality of semiconductor light-emitting devices at high density, reduce the number of components such as a heat sink, and efficiently radiate heat generated from the semiconductor light-emitting elements.SOLUTION: A semiconductor light-emitting device 100 comprises a base 121 made of metal which can radiate light by using a semiconductor material and has a polygon planar shape of a principal surface, and a semiconductor light-emitting element 110 mounted on the principal surface of the base 121. The base 121 has fitting parts 150a, 150b, 151a and 151b on lateral faces thereof, which are capable of being fitted with bases 121 of other semiconductor light-emitting devices 100 each having the same structure.

Description

本発明は半導体発光装置及びそれを用いた光源装置に関し、特に、互いに嵌合できる半導体発光装置及びそれを用いた光源装置に関する。   The present invention relates to a semiconductor light emitting device and a light source device using the same, and more particularly to a semiconductor light emitting device that can be fitted to each other and a light source device using the same.

半導体材料を用いて光を出射することができる半導体レーザ装置等の半導体発光装置は、安価、小型及び長寿命等の特徴を有する。特に、半導体レーザ装置等のように導波路を有する半導体発光装置は、指向性が優れているという特徴がある。そこで、このような半導体発光装置を光源として用いたプロジェクタ及び液晶バックライト等のディスプレイ装置の開発が進んでいる。また、このような半導体発光装置を産業用途に応用することも進んでいる。例えば、半導体レーザ装置を光源とするレーザスクライブ装置及びレーザアニール装置は実用化が進んでいる。これらの装置に用いる光源装置は、光出力が1ワット以上の高い光出力を必要とするため、例えば、半導体発光素子が実装された半導体発光装置には、高い放熱特性が要求され、このような半導体発光装置が複数搭載された光源装置が用いられる。   A semiconductor light emitting device such as a semiconductor laser device that can emit light using a semiconductor material has features such as low cost, small size, and long life. In particular, a semiconductor light-emitting device having a waveguide, such as a semiconductor laser device, is characterized by excellent directivity. Accordingly, development of display devices such as projectors and liquid crystal backlights using such a semiconductor light emitting device as a light source is in progress. Further, such semiconductor light emitting devices are also being applied to industrial applications. For example, a laser scribing apparatus and a laser annealing apparatus using a semiconductor laser device as a light source are being put into practical use. Since the light source device used in these devices requires a high light output with a light output of 1 watt or more, for example, a semiconductor light emitting device on which a semiconductor light emitting element is mounted is required to have high heat dissipation characteristics. A light source device on which a plurality of semiconductor light emitting devices are mounted is used.

従来の半導体発光装置及び光源装置について図10〜図13を参照しながら説明する。TO型パッケージと呼ばれる金属パッケージがキャップにより封止された構成を有する、従来の汎用型半導体レーザ装置が特許文献1等に提示されている。図10に示すように、第1の従来例に係る半導体発光装置900は、半導体発光素子901、ステム910及びキャップ920により構成される。ステム910は、基台911、該基台911の上に形成された素子搭載台912及び外部電源(図示せず)と接続されたリード913により構成されている。キャップ920は、開口部921a及びフランジ部921bを有するカバー921と、開口部921aを塞ぐように形成された光取り出し窓922とにより構成されている。   A conventional semiconductor light emitting device and light source device will be described with reference to FIGS. A conventional general-purpose semiconductor laser device having a configuration in which a metal package called a TO-type package is sealed with a cap is proposed in Patent Document 1 and the like. As shown in FIG. 10, the semiconductor light emitting device 900 according to the first conventional example includes a semiconductor light emitting element 901, a stem 910, and a cap 920. The stem 910 includes a base 911, an element mounting base 912 formed on the base 911, and leads 913 connected to an external power source (not shown). The cap 920 includes a cover 921 having an opening 921a and a flange 921b, and a light extraction window 922 formed so as to close the opening 921a.

素子搭載台912にはサブマウント902が形成され、サブマウント902に半導体発光素子901が搭載されている。半導体発光素子901は、ボンディングワイヤ930によって任意のリードに対して電気的に接続されている。半導体発光素子901から発生した光は、光取り出し窓922を通って半導体発光装置900の外部に放出される。また、フランジ部921bはステム910の基台911の主面に対して溶接されている。このため、キャップ920の内部は気密に封止されている。   A submount 902 is formed on the element mounting base 912, and the semiconductor light emitting element 901 is mounted on the submount 902. The semiconductor light emitting element 901 is electrically connected to an arbitrary lead by a bonding wire 930. Light generated from the semiconductor light emitting element 901 is emitted to the outside of the semiconductor light emitting device 900 through the light extraction window 922. The flange portion 921b is welded to the main surface of the base 911 of the stem 910. For this reason, the inside of the cap 920 is hermetically sealed.

このような半導体発光装置を複数備えている従来の光源装置が特許文献2等に提示されている。図11及び図12に示すように、第2の従来例に係る光源装置940は、複数の半導体発光装置941により構成されている。各半導体発光装置941は、放熱板942及び保持体943に形成された貫通孔944にそれぞれ収まるように取り付けられ、放熱板942と保持体943とに挟まれるように実装されている。放熱板942及び保持体943は、取り付け台945に固定されている。半導体発光装置941から発生した光は、コリメートレンズ946及び集光レンズ947を通って、光源装置940の外部に放出される。放熱板942の一部は、半導体発光装置941のステムの基台の背面の一部と接触している。各半導体発光装置941から発生した熱は、この接触面を経由して放熱板942に伝導され、大気中に放出される。   A conventional light source device including a plurality of such semiconductor light emitting devices is presented in Patent Document 2 and the like. As shown in FIGS. 11 and 12, the light source device 940 according to the second conventional example includes a plurality of semiconductor light emitting devices 941. Each semiconductor light emitting device 941 is mounted so as to be accommodated in a through hole 944 formed in the heat sink 942 and the holder 943, and is mounted so as to be sandwiched between the heat sink 942 and the holder 943. The heat sink 942 and the holding body 943 are fixed to a mounting base 945. Light generated from the semiconductor light emitting device 941 is emitted to the outside of the light source device 940 through the collimating lens 946 and the condenser lens 947. A part of the heat sink 942 is in contact with a part of the back surface of the base of the stem of the semiconductor light emitting device 941. The heat generated from each semiconductor light emitting device 941 is conducted to the heat radiating plate 942 via this contact surface and released into the atmosphere.

このような構成では、半導体発光装置から発生した熱を放熱する経路を確保するために、放熱板は重要である。一方、製造コストを低減するために、部品点数の削減も重要である。   In such a configuration, the heat sink is important in order to secure a path for radiating the heat generated from the semiconductor light emitting device. On the other hand, in order to reduce manufacturing costs, it is also important to reduce the number of parts.

そこで、ステムの基台を放熱板とする従来の半導体発光装置が特許文献3等に提示されている。図13に示すように、第3の従来例に係る半導体発光装置970は、ステム980、キャップ990及び半導体発光素子(図中、キャップ990の内部に配置されている。)によって構成されている。半導体発光装置970は、図10に示す装置の構成とほぼ同一であるが、ステム980の基台981の形状が異なる。半導体発光装置970では、基台981が大きく張り出した形状となっており、図10に示す装置よりもその表面積が大きい。これにより、基台981自体が放熱板の機能を有するようになるため、このような半導体発光装置を用いた光源装置では放熱板が不要となる。   Thus, a conventional semiconductor light emitting device using a stem base as a heat radiating plate is presented in Patent Document 3 and the like. As shown in FIG. 13, a semiconductor light emitting device 970 according to a third conventional example is constituted by a stem 980, a cap 990, and a semiconductor light emitting element (disposed inside the cap 990 in the figure). The semiconductor light emitting device 970 is substantially the same as the configuration of the device shown in FIG. 10, but the shape of the base 981 of the stem 980 is different. In the semiconductor light emitting device 970, the base 981 has a shape that protrudes greatly, and its surface area is larger than that of the device shown in FIG. Thereby, since the base 981 itself has a function of a heat sink, a heat sink is unnecessary in the light source device using such a semiconductor light emitting device.

特開2009−135235号公報JP 2009-135235 A 特開2010−198772号公報JP 2010-198772 A 特開2009−43878号公報JP 2009-43878 A

しかしながら、第2の従来例に係る光源装置には、実装密度を上げられないという問題が生じる。前記のように個々の半導体発光装置は、放熱板と保持体とに挟まれており、放熱板の機械的強度を保つためには、半導体発光装置同士の間は最低でも1mm程度離す必要がある。また、放熱板及び保持体は、用いる半導体発光装置の数に応じてそれぞれ設けられる必要がある。このため、部品を共通化してコストを削減することができない。   However, the light source device according to the second conventional example has a problem that the mounting density cannot be increased. As described above, the individual semiconductor light emitting devices are sandwiched between the heat sink and the holder, and in order to maintain the mechanical strength of the heat sink, it is necessary to separate the semiconductor light emitting devices by at least about 1 mm. . Moreover, the heat sink and the holder need to be provided according to the number of semiconductor light emitting devices to be used. For this reason, it is not possible to reduce the cost by using common parts.

また、第3の従来例に係る半導体発光装置は、ステムの基台自体が放熱板として機能するため、光源装置を形成する際に放熱板を必要としないが、基台の主面の表面積が大きいため、複数の半導体発光装置を用いた光源装置では、実装密度を高くすることができない。   In the semiconductor light emitting device according to the third conventional example, since the stem base itself functions as a heat sink, a heat sink is not required when forming the light source device, but the surface area of the main surface of the base is small. Since it is large, the mounting density cannot be increased in a light source device using a plurality of semiconductor light emitting devices.

本発明は前記の問題に鑑み、その目的は、複数の半導体発光装置を高密度で実装することができ、放熱板等の部材を削減でき、且つ、半導体発光素子から発生する熱を効率良く放熱することが可能な光源装置を得ることにある。   In view of the above-described problems, the present invention has an object to mount a plurality of semiconductor light emitting devices at a high density, to reduce members such as a heat radiating plate, and to efficiently dissipate heat generated from the semiconductor light emitting element. The object is to obtain a light source device capable of doing this.

本発明は、前記の目的を達成するために、複数の半導体発光装置を、互いに嵌合できる構成とする。   In order to achieve the above object, the present invention has a configuration in which a plurality of semiconductor light emitting devices can be fitted to each other.

具体的に、本発明に係る半導体発光装置は、主面の平面形状が多角形であり、金属からなる基台と、基台の主面の上に搭載された半導体発光素子とを備え、基台は、その側面に、同一の構成を有する他の半導体発光装置の基台と嵌合可能な嵌合部を有している。   Specifically, a semiconductor light emitting device according to the present invention includes a base made of metal, the planar shape of the main surface of which is a polygon, and a semiconductor light emitting element mounted on the main surface of the base. The base has a fitting portion on its side surface that can be fitted with a base of another semiconductor light emitting device having the same configuration.

本発明に係る半導体発光装置によると、同一の構成を有する他の半導体発光装置の基台と嵌合可能な嵌合部を有しているため、半導体発光装置を高密度で実装することができる。その結果、放熱板等の部材を削減でき、且つ、半導体発光素子から発生する熱を効率良く放熱することが可能な光源装置を容易に得ることができる。   According to the semiconductor light emitting device of the present invention, the semiconductor light emitting device can be mounted at a high density because the semiconductor light emitting device has the fitting portion that can be fitted to the base of another semiconductor light emitting device having the same configuration. . As a result, it is possible to easily obtain a light source device that can reduce members such as a heat radiating plate and efficiently radiate heat generated from the semiconductor light emitting element.

本発明に係る半導体発光装置において、嵌合部は、基台の側面に形成された凹部及び凸部からなり、複数の前記半導体発光装置を組み付ける際に、隣り合う一方の半導体発光装置における凹部と他方の半導体発光装置における凸部が嵌合し、一方の半導体発光装置における凸部と他方の半導体発光装置における凹部が嵌合して、複数の半導体発光装置が組み付けられてもよい。   In the semiconductor light emitting device according to the present invention, the fitting portion includes a concave portion and a convex portion formed on the side surface of the base, and when the plurality of semiconductor light emitting devices are assembled, the concave portion in one adjacent semiconductor light emitting device and A plurality of semiconductor light emitting devices may be assembled by fitting a convex portion in the other semiconductor light emitting device and fitting a convex portion in one semiconductor light emitting device and a concave portion in the other semiconductor light emitting device.

本発明に係る半導体発光装置において、基台は、銅又はアルミニウムを主成分として含む金属からなることが好ましい。   In the semiconductor light emitting device according to the present invention, the base is preferably made of a metal containing copper or aluminum as a main component.

このようにすると、基台の熱伝導率を高くし、半導体発光素子から生じる熱を効率的に外部へ放出することができる。また、プレス加工による基台の作製を容易にし、低コストで大量に基台を作製することが可能となる。   If it does in this way, the heat conductivity of a base can be made high and the heat | fever which arises from a semiconductor light-emitting element can be discharge | released outside efficiently. In addition, the base can be easily manufactured by press working, and the base can be manufactured in large quantities at low cost.

本発明に係る光源装置は、前記の半導体発光装置を複数備え、複数の半導体発光装置は、基台の側面において互いに嵌合している。   A light source device according to the present invention includes a plurality of the semiconductor light emitting devices, and the plurality of semiconductor light emitting devices are fitted to each other on the side surface of the base.

本発明に係る光源装置によると、半導体発光装置の発光点の密度を高くすることができ、放熱板等の部材を削減でき、且つ、半導体発光装置から発生する熱を効率良く放熱することが可能となる。   According to the light source device of the present invention, the density of the light emitting points of the semiconductor light emitting device can be increased, members such as a heat sink can be reduced, and the heat generated from the semiconductor light emitting device can be efficiently radiated. It becomes.

本発明に係る光源装置は、複数の半導体発光装置を固定する固定部材をさらに備え、固定部材は、その一部が複数の半導体発光装置の基台の側面と嵌合するように形成されていることが好ましい。   The light source device according to the present invention further includes a fixing member for fixing the plurality of semiconductor light emitting devices, and the fixing member is formed so that a part thereof is fitted to a side surface of the base of the plurality of semiconductor light emitting devices. It is preferable.

このようにすると、基台の側面同士の接触がより確実となり、放熱性を向上できる。   If it does in this way, the contact of the side surfaces of a base will become more reliable, and heat dissipation can be improved.

本発明に係る光源装置において、基台の側面同士は、半田材により接着されていることが好ましい。   In the light source device according to the present invention, it is preferable that the side surfaces of the base are bonded to each other with a solder material.

このようにすると、特定の固定部材を用いることなく、自立強度が高い複数の半導体発光装置を用いた光源装置を形成することができる。   In this way, it is possible to form a light source device using a plurality of semiconductor light emitting devices with high self-standing strength without using a specific fixing member.

本発明に係る半導体発光装置及びそれを用いた光源装置によると、複数の半導体発光装置の発光点の密度を高くすることができ、部品点数を削減し、且つ、半導体発光装置から発生する熱を効率良く放熱することができる。   According to the semiconductor light emitting device and the light source device using the semiconductor light emitting device according to the present invention, the density of the light emitting points of the plurality of semiconductor light emitting devices can be increased, the number of parts can be reduced, and the heat generated from the semiconductor light emitting device can be reduced. Heat can be radiated efficiently.

(a)及び(b)は本発明の第1の実施形態に係る半導体発光装置を示し、(a)は平面図であり、(b)は(a)のIb−Ib線における断面図である。(A) And (b) shows the semiconductor light-emitting device concerning the 1st Embodiment of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing in the Ib-Ib line | wire of (a). . 本発明の第1の実施形態に係る半導体発光装置を示し、図1(a)のII−II線における断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. 1A, showing the semiconductor light emitting device according to the first embodiment of the present invention. (a)及び(b)は本発明の第1の実施形態に係る半導体発光装置を示す斜視図である。(A) And (b) is a perspective view which shows the semiconductor light-emitting device based on the 1st Embodiment of this invention. (a)及び(b)は本発明の第1の実施形態に係る半導体発光装置を用いた光源装置を示し、(a)は模式的な断面図であり、(b)は模式的な平面図である。(A) And (b) shows the light source device using the semiconductor light-emitting device concerning the 1st Embodiment of this invention, (a) is typical sectional drawing, (b) is typical top view It is. (a)及び(b)は本発明の第1の実施形態に係る半導体発光装置を用いた光源装置を示し、(a)は模式的な断面図であり、(b)は模式的な平面図である。(A) And (b) shows the light source device using the semiconductor light-emitting device concerning the 1st Embodiment of this invention, (a) is typical sectional drawing, (b) is typical top view It is. (a)及び(b)は本発明の第2の実施形態に係る半導体発光装置を示し、(a)は平面図であり、(b)は(a)のVIb-VIb線における断面図である。(A) And (b) shows the semiconductor light-emitting device concerning the 2nd Embodiment of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing in the VIb-VIb line | wire of (a). . 本発明の第2の実施形態に係る半導体発光装置を用いた光源装置を示す模式的な平面図である。It is a typical top view which shows the light source device using the semiconductor light-emitting device concerning the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態に係る半導体発光装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the semiconductor light-emitting device concerning the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態に係る半導体発光装置を用いた光源装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the light source device using the semiconductor light-emitting device concerning the 3rd Embodiment of this invention. 第1の従来例に係る半導体発光装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the semiconductor light-emitting device concerning a 1st prior art example. 第2の従来例に係る半導体発光装置を用いた光源装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the light source device using the semiconductor light-emitting device concerning a 2nd prior art example. 第2の従来例に係る半導体発光装置を用いた光源装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the light source device using the semiconductor light-emitting device concerning a 2nd prior art example. 第3の従来例に係る半導体発光装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the semiconductor light-emitting device concerning a 3rd prior art example.

(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態に係る半導体発光装置について図1〜図3を参照しながら説明する。
(First embodiment)
A semiconductor light emitting device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

図1〜図3に示すように、第1の実施形態の半導体発光装置100は、大別して、半導体発光素子110、ステム120及びキャップ130により構成されている。ステム120は、基台121、該基台121の主面の上に形成された素子搭載台122、基台121の主面の上において素子搭載台122を囲むように形成されたシールリング127により構成されている。また、ステム120は、例えば、基台121を貫通するように形成されたリード123a、123b及び基台121の素子搭載台122が形成された面と反対側の面に形成されたリード123cを含む。   As shown in FIGS. 1 to 3, the semiconductor light emitting device 100 of the first embodiment is roughly composed of a semiconductor light emitting element 110, a stem 120, and a cap 130. The stem 120 includes a base 121, an element mounting base 122 formed on the main surface of the base 121, and a seal ring 127 formed so as to surround the element mounting base 122 on the main surface of the base 121. It is configured. Further, the stem 120 includes, for example, leads 123a and 123b formed so as to penetrate the base 121 and leads 123c formed on the surface of the base 121 opposite to the surface on which the element mounting base 122 is formed. .

ステム120の素子搭載台122にはサブマウント111が形成されており、サブマウント111に半導体発光素子110が搭載されている。シールリング127を介して基台121の上には、半導体発光素子110を覆うようにキャップ130が形成されている。キャップ130は、開口部131a及びフランジ部131bを有するカバー131と、開口部131aを塞ぐように形成された光取り出し窓132とにより構成されている。なお、キャップ130のフランジ部131bがシールリング127と接着されている。半導体発光素子110の光出射面は、キャップ130の開口部131aに向くように配置されている。サブマウント111には、窒化アルミニウム(AlN)及び炭化珪素(SiC)等の高熱伝導性のセラミック材料が用いられている。半導体発光素子110及びサブマウント111の表面には、金(Au)等からなる電極(図示せず)が形成されている。これらの電極を介して半導体発光素子110とサブマウント111とは電気的に接続されている。また、サブマウント111の表面に形成された電極は、ボンディングワイヤ140aによりリード123aと接続されている。一方、半導体発光素子110の表面に形成された電極は、ボンディングワイヤ140bによりリード123bと接続され、半導体発光素子110への通電経路が確保されている。リード123a、123bを外部電源(図示せず)と接続し、通電することによって半導体発光素子110による発光が得られる。半導体発光素子110から出力された光は、光取り出し窓132を通過して、キャップ130の開口部131aから半導体発光装置100の外部に取り出される。   A submount 111 is formed on the element mounting base 122 of the stem 120, and the semiconductor light emitting element 110 is mounted on the submount 111. A cap 130 is formed on the base 121 via the seal ring 127 so as to cover the semiconductor light emitting device 110. The cap 130 includes a cover 131 having an opening 131a and a flange 131b, and a light extraction window 132 formed so as to close the opening 131a. The flange portion 131b of the cap 130 is bonded to the seal ring 127. The light emitting surface of the semiconductor light emitting device 110 is disposed so as to face the opening 131 a of the cap 130. For the submount 111, a ceramic material having high thermal conductivity such as aluminum nitride (AlN) and silicon carbide (SiC) is used. Electrodes (not shown) made of gold (Au) or the like are formed on the surfaces of the semiconductor light emitting device 110 and the submount 111. The semiconductor light emitting device 110 and the submount 111 are electrically connected through these electrodes. Further, the electrode formed on the surface of the submount 111 is connected to the lead 123a by the bonding wire 140a. On the other hand, the electrode formed on the surface of the semiconductor light emitting device 110 is connected to the lead 123b by the bonding wire 140b, and an energization path to the semiconductor light emitting device 110 is secured. When the leads 123a and 123b are connected to an external power source (not shown) and energized, the semiconductor light emitting device 110 can emit light. The light output from the semiconductor light emitting element 110 passes through the light extraction window 132 and is extracted from the opening 131 a of the cap 130 to the outside of the semiconductor light emitting device 100.

図1(a)に示すように、ステム120の基台121は、主面側から見た平面形状は四角形である。基台121の4つの側面160a、161a、160b及び161bには、それぞれ嵌合部である凸部150a、151a及び凹部150b、151bが形成されている。ここで、凸部150aと凹部150bとは互いに嵌合するように寸法が設計されている。例えば、図1(a)に示す半導体発光装置100の隣に、同一の向きに半導体発光装置100と同一の構成を有する他の半導体発光装置を並べて接触させる場合、一方の装置の側面160aと他方の装置の側面160bとにおいて、一方の装置の凸部150aと他方の装置の凹部150bとが対向して嵌合する。その結果、一方の装置の側面160aと他方の装置の側面160bとは接触する。同様に、一方の装置の側面161aと他方の装置の側面161bとにおいても、一方の装置の凸部151aと他方の装置の凹部151bとが嵌合することにより接触する。   As shown in FIG. 1A, the base 121 of the stem 120 has a quadrangular planar shape as viewed from the main surface side. On the four side surfaces 160a, 161a, 160b and 161b of the base 121, convex portions 150a and 151a and concave portions 150b and 151b, which are fitting portions, are formed, respectively. Here, the dimension is designed so that the convex part 150a and the recessed part 150b may fit each other. For example, when another semiconductor light-emitting device having the same configuration as that of the semiconductor light-emitting device 100 is arranged next to the semiconductor light-emitting device 100 shown in FIG. On the side surface 160b of the device, the convex portion 150a of one device and the concave portion 150b of the other device are fitted to face each other. As a result, the side surface 160a of one device contacts the side surface 160b of the other device. Similarly, on the side surface 161a of one device and the side surface 161b of the other device, the convex portion 151a of one device and the concave portion 151b of the other device are brought into contact with each other.

半導体発光素子110は、通電時に光と共に熱を発生する。半導体発光素子110に対する投入電力が光出力に変換される割合(電力−光変換効率)は、通常、50%以下である。光に変換されなかった電力の大部分は、ジュール熱として半導体発光素子110から放出される。その熱は、熱伝導によってサブマウント111及び素子搭載台122を経由して、基台121に伝わって、半導体発光装置100の外部に放出される。半導体発光素子110から生じた熱を効率良く半導体発光装置100の外部に放出するために、ステム120を構成する基台121及び素子搭載台122には高い熱伝導性が求められる。さらに、ステム120はプレス加工によって安価で大量に作製される必要がある。このため、ステム120には熱伝導性に加えて、プレス加工が容易であることが求められる。これらを達成できる材料として、銅(Cu)若しくは銅を主成分とする合金、又はアルミニウム(Al)若しくはアルミニウムを主成分とする合金が適している。本発明では、基台121の材料に熱伝導率が高い無酸素銅(OFCu)を用いている。   The semiconductor light emitting device 110 generates heat together with light when energized. The ratio (power-light conversion efficiency) that the input power to the semiconductor light emitting device 110 is converted into the optical output is usually 50% or less. Most of the electric power that has not been converted into light is emitted from the semiconductor light emitting device 110 as Joule heat. The heat is transmitted to the base 121 via the submount 111 and the element mounting table 122 by heat conduction, and is released to the outside of the semiconductor light emitting device 100. In order to efficiently release the heat generated from the semiconductor light emitting element 110 to the outside of the semiconductor light emitting device 100, the base 121 and the element mounting base 122 constituting the stem 120 are required to have high thermal conductivity. Furthermore, the stem 120 needs to be manufactured in a large amount at a low cost by pressing. For this reason, in addition to thermal conductivity, the stem 120 is required to be easily pressed. As a material that can achieve these, copper (Cu) or an alloy containing copper as a main component, or aluminum (Al) or an alloy containing aluminum as a main component is suitable. In the present invention, oxygen-free copper (OFCu) having a high thermal conductivity is used as the material of the base 121.

一方、キャップ130を構成するカバー131には、鉄(Fe)−ニッケル(Ni)合金、Fe−Ni−コバルト(Co)合金(Kovar)等の鉄を含む合金が用いられる。これらの材料は、光取り出し窓132に用いられる光学ガラスと熱膨張係数が近い特性を有している。低融点ガラスを用いて、キャップ130の開口部131aを塞ぐように光取り出し窓132を取り付ける工程では、両者の熱膨張係数が近いことが求められる。両者の熱膨張係数が大きく異なると、熱歪みによって空隙が発生し、キャップ130が本来有する機能である気密性が損なわれる。本実施形態では、キャップ130のカバー131にはFe−Ni−Co合金を用いている。   On the other hand, an alloy containing iron such as iron (Fe) -nickel (Ni) alloy, Fe-Ni-cobalt (Co) alloy (Kovar) is used for the cover 131 constituting the cap 130. These materials have characteristics that are close to the thermal expansion coefficient of the optical glass used for the light extraction window 132. In the step of attaching the light extraction window 132 so as to close the opening 131a of the cap 130 using low melting point glass, it is required that the thermal expansion coefficients of both are close. If the thermal expansion coefficients of the two are greatly different, a gap is generated due to thermal strain, and the airtightness that is a function inherent to the cap 130 is impaired. In this embodiment, an Fe—Ni—Co alloy is used for the cover 131 of the cap 130.

半導体発光装置100の組み立て工程では、ステム120の基台121とキャップ130との溶接は、電流印加による方法を用いることが簡便である。この方法を用いるためには、溶接箇所の材料同士は同一である、又は組成が類似している必要がある。本発明による半導体発光装置100では、基台121にはOFCuを用いているため、キャップ130のカバー131であるFe−Ni−Co合金とは材料が大きく異なる。そこで、基台121の主面の上には、Fe−Ni−Co合金からなるシールリング127を銀ろう付けにより取り付けている。これにより、キャップ130を電流印加による加熱溶接によって、ステム120に簡単に取り付けられるようになっている。   In the assembly process of the semiconductor light emitting device 100, it is easy to use a method of applying an electric current for welding the base 121 of the stem 120 and the cap 130. In order to use this method, it is necessary that the materials of the welded portions are the same or have similar compositions. In the semiconductor light emitting device 100 according to the present invention, since the base 121 uses OFCu, the material is significantly different from the Fe—Ni—Co alloy that is the cover 131 of the cap 130. Therefore, a seal ring 127 made of an Fe—Ni—Co alloy is attached on the main surface of the base 121 by silver brazing. Thereby, the cap 130 can be easily attached to the stem 120 by heat welding by applying an electric current.

次に、本発明の第1の実施形態に係る複数の半導体発光装置が組み付けられて構成された光源装置について図4及び図5を参照しながら説明する。図4及び図5では、シールリング127及びフランジ部131bを省略している。   Next, a light source device configured by assembling a plurality of semiconductor light emitting devices according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 and 5. 4 and 5, the seal ring 127 and the flange portion 131b are omitted.

図4(a)及び(b)に示すように、光源装置200を構成する複数の半導体発光装置100のそれぞれの基台121は、それらの側面同士において接触している。複数の半導体発光装置100は、全て同一の向きに揃えて二次元的に配置されている。このため、基台121の側面に形成された凸部150aと凹部150b及び凸部151aと凹部151bとはそれぞれ対抗して嵌合している。その結果、隣接する半導体発光装置100の基台121の側面同士は接触している。さらに、複数の半導体発光装置100のそれぞれの相対的な位置は、凸部150a、151aと凹部150b、151bとの嵌合によって決まるため、複数の半導体発光装置100のそれぞれの位置合わせをする必要がない。また、複数の半導体発光装置100の基台121がそれぞれ機械的に接続しているため、これら全ての基台121自体が放熱板の機能を有している。図13に示した第3の従来例の技術では、放熱板等が必要であったが、本実施形態の構成にすると、放熱板等は必要ない。   As shown in FIGS. 4A and 4B, the respective bases 121 of the plurality of semiconductor light emitting devices 100 constituting the light source device 200 are in contact with each other on their side surfaces. The plurality of semiconductor light emitting devices 100 are two-dimensionally arranged in the same direction. For this reason, the convex part 150a and the recessed part 150b formed in the side surface of the base 121, and the convex part 151a and the recessed part 151b are engaged with each other. As a result, the side surfaces of the bases 121 of the adjacent semiconductor light emitting devices 100 are in contact with each other. Furthermore, since the relative position of each of the plurality of semiconductor light emitting devices 100 is determined by the fitting of the convex portions 150a and 151a and the concave portions 150b and 151b, it is necessary to align each of the plurality of semiconductor light emitting devices 100. Absent. Further, since the bases 121 of the plurality of semiconductor light emitting devices 100 are mechanically connected to each other, all of the bases 121 themselves have a function of a heat sink. In the technique of the third conventional example shown in FIG. 13, a heat radiating plate or the like is necessary. However, in the configuration of this embodiment, a heat radiating plate or the like is not necessary.

一般に、従来型パッケージのステムの基台は、直径が5.8mmの円形で作られることが多い。そこで、本実施形態では、比較のために半導体発光装置100の基台121の大きさを5.8mm×5.8mmとした。図11及び図12に示した従来の半導体発光装置を用いた光源装置では、隣接する半導体発光装置同士の間には1mmの隙間が必要であった。その結果、半導体発光装置の発光点の間隔は6.8mmとなる。一方、本実施形態に係る光源装置200では、半導体発光装置100同士を密着させて配置することができる。このため、半導体発光装置100の発光点の間隔は5.8mmとなり、より高密度の実装が可能となる。   In general, the stem base of a conventional package is often made in a circular shape with a diameter of 5.8 mm. Therefore, in this embodiment, the size of the base 121 of the semiconductor light emitting device 100 is set to 5.8 mm × 5.8 mm for comparison. In the light source device using the conventional semiconductor light emitting device shown in FIGS. 11 and 12, a 1 mm gap is necessary between adjacent semiconductor light emitting devices. As a result, the interval between the light emitting points of the semiconductor light emitting device is 6.8 mm. On the other hand, in the light source device 200 according to the present embodiment, the semiconductor light emitting devices 100 can be arranged in close contact with each other. For this reason, the interval between the light emitting points of the semiconductor light emitting device 100 is 5.8 mm, and mounting with higher density is possible.

この光源装置200をプロジェクタ等の装置に搭載する場合には、図5(a)及び(b)に示すように、光源装置200の周縁部に配置された半導体発光装置100の基台121の側面を光源装置200の外側から内側に押さえるように搭載することが好ましい。具体的に、図5(b)に示すように、光源装置200の周縁部の四つの側面を構成する基台121に対向するように、固定部材である取り付け板210a、210b、211a及び211bを取り付けて、それぞれ図中の矢印の方向に押し付けるように光源装置200を固定する。これにより、光源装置200を構成する複数の半導体発光装置100の基台121の側面同士の密着性が向上することにより、基台121同士の間の熱伝導の効率を向上することができる。   When the light source device 200 is mounted on a device such as a projector, as shown in FIGS. 5A and 5B, the side surface of the base 121 of the semiconductor light emitting device 100 disposed at the peripheral portion of the light source device 200. Is preferably mounted so as to be pressed from the outside to the inside of the light source device 200. Specifically, as shown in FIG. 5B, the mounting plates 210a, 210b, 211a, and 211b, which are fixing members, are arranged so as to face the base 121 that forms the four side surfaces of the peripheral portion of the light source device 200. The light source device 200 is fixed so as to be attached and pressed in the directions of the arrows in the drawing. Thereby, the adhesiveness of the side surfaces of the bases 121 of the plurality of semiconductor light emitting devices 100 constituting the light source device 200 is improved, so that the efficiency of heat conduction between the bases 121 can be improved.

取り付け板210a、210b、211a及び211bによる光源装置200の固定ができない場合は、隣接する基台121の側面同士を半田付けにより接着させることも可能である。但し、半導体発光素子110及びサブマウント111の素子搭載台122への実装温度(約300℃)を超えない温度で半田付けをする必要がある。なお、半田付けには、SnAgCu及びSnZnBi等の鉛フリーの半田材を用いることが好ましい。このような半田付けによって、光源装置200を構成する複数の半導体発光装置100のそれぞれが固定されるため、光源装置200の機械的な強度が増大する。   When the light source device 200 cannot be fixed by the mounting plates 210a, 210b, 211a, and 211b, the side surfaces of the adjacent bases 121 can be bonded together by soldering. However, it is necessary to perform soldering at a temperature that does not exceed the mounting temperature (about 300 ° C.) of the semiconductor light emitting device 110 and the submount 111 on the device mounting base 122. For soldering, it is preferable to use a lead-free solder material such as SnAgCu and SnZnBi. Since each of the plurality of semiconductor light emitting devices 100 constituting the light source device 200 is fixed by such soldering, the mechanical strength of the light source device 200 increases.

本発明の第1の実施形態に係る半導体発光装置及びそれを用いた光源装置によると、半導体発光装置の発光点の密度を高くすることができ、部品点数を削減し、且つ、半導体発光素子で発生する熱を効率良く放熱することが可能となる。   According to the semiconductor light emitting device and the light source device using the same according to the first embodiment of the present invention, the density of the light emitting points of the semiconductor light emitting device can be increased, the number of parts can be reduced, and the semiconductor light emitting device It is possible to efficiently dissipate the generated heat.

(第2の実施形態)
以下に、本発明の第2の実施形態に係る半導体発光装置について図6を参照しながら説明する。本実施形態において、第1の実施形態と同一の部材については同一の符号を付けることにより説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
(Second Embodiment)
A semiconductor light emitting device according to the second embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. In the present embodiment, the same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted, and only different portions will be described.

図6(a)及び(b)に示すように、第2の実施形態に係る半導体発光装置300は、第1の実施形態と比較して、ステム320の基台321の形状が異なっている。具体的に、本実施形態では、基台321は、主面側から見た平面形状は六角形である。基台321の六つの側面には、それぞれ凸部350a、351a及び352a並びに凹部350b、351b及び352bが形成されている。また、凸部350aと凹部350b、凸部351aと凹部351b及び凸部352aと凹部352bとは、それぞれ嵌合するように設計されている。   As shown in FIGS. 6A and 6B, the semiconductor light emitting device 300 according to the second embodiment is different in the shape of the base 321 of the stem 320 compared to the first embodiment. Specifically, in this embodiment, the planar shape of the base 321 viewed from the main surface side is a hexagon. Convex portions 350a, 351a, and 352a and concave portions 350b, 351b, and 352b are formed on the six side surfaces of the base 321, respectively. Moreover, the convex part 350a and the recessed part 350b, the convex part 351a and the recessed part 351b, and the convex part 352a and the recessed part 352b are designed so that it may each fit.

次に、第2の実施形態に係る複数の半導体発光装置300が組み付けられて構成された光源装置400について図7を参照しながら説明する。図7では、シールリング127及びフランジ部131bを省略している。   Next, a light source device 400 configured by assembling a plurality of semiconductor light emitting devices 300 according to the second embodiment will be described with reference to FIG. In FIG. 7, the seal ring 127 and the flange portion 131b are omitted.

図7に示すように、本実施形態に係る複数の半導体発光装置300を互いに同一の向きに二次元的に並べると、凸部350aと凹部350b、凸部351aと凹部351b及び凸部352aと凹部352bとがそれぞれ隣接するように配置することができる。ここで、隣接する凸部と凹部とはそれぞれ嵌合するように設計されている。光源装置400を構成する複数の半導体発光装置300のうちの一つの半導体発光装置300に着目すると、60°ずつ六方向に他の半導体発光装置300が隣接し、周期的に並んでいる。   As shown in FIG. 7, when a plurality of semiconductor light emitting devices 300 according to the present embodiment are two-dimensionally arranged in the same direction, a convex portion 350a and a concave portion 350b, a convex portion 351a and a concave portion 351b, and a convex portion 352a and a concave portion. 352b can be arranged adjacent to each other. Here, the adjacent convex part and concave part are designed to fit each other. When attention is paid to one semiconductor light-emitting device 300 among the plurality of semiconductor light-emitting devices 300 constituting the light source device 400, other semiconductor light-emitting devices 300 are adjacent to each other in six directions by 60 ° and are arranged periodically.

本発明の第2の実施形態に係る半導体発光装置及びそれを用いた光源装置によると、半導体発光装置の発光点の密度をより高くすることができ、部品点数を削減し、且つ、半導体発光素子で発生する熱を効率良く放熱することが可能となる。本実施形態において、基台の主面側から見た平面形状は六角形であるが、これに限らず、三角形等の多角形であってもよく、平面充填が可能な多角形であることが好ましい。また、装置の目的及び大きさ等の条件によって半導体発光装置のステムの基台の外形は変更しても構わない。   According to the semiconductor light emitting device and the light source device using the same according to the second embodiment of the present invention, the density of the light emitting points of the semiconductor light emitting device can be increased, the number of components can be reduced, and the semiconductor light emitting element It is possible to efficiently dissipate the heat generated in. In the present embodiment, the planar shape viewed from the main surface side of the base is a hexagon, but is not limited thereto, and may be a polygon such as a triangle, or a polygon that can be filled in a plane. preferable. Further, the outer shape of the base of the stem of the semiconductor light emitting device may be changed according to conditions such as the purpose and size of the device.

(第3の実施形態)
以下に、本発明の第3の実施形態に係る半導体発光装置について図8を参照しながら説明する。本実施形態において、第1の実施形態と同一の部材については同一の符号を付けることにより説明を省略し、異なる部材についてのみ説明する。
(Third embodiment)
A semiconductor light emitting device according to the third embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. In the present embodiment, the same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, the description thereof is omitted, and only different members are described.

図8に示すように、第3の実施形態に係る半導体発光装置500は、第1の実施形態と比較してステム520の基台521の形状が異なっている。具体的に、基台521の側面に設けられた凸部550a、551a及び凹部550b、551bの形状は台形状である。なお、凸部550aと凹部550b及び凸部551aと凹部551bとは互いに隣接したときに嵌合可能な形状である。ここで、凸部550aにおいて、基台521の中心に近い部分の幅550a1は、基台の外周部に近い部分の幅550a2よりも小さい。すなわち、凸部550aの幅は、基台521の中心に近いほど小さくなっている。また、凹部550bにおいて、基台521の外周部に近い部分の幅550b1は、基台521の中心に近い部分の幅550b2よりも小さい。すなわち、凹部550bの幅は、基台521の中心に近いほど大きくなっている。凸部551a及び凹部551bも同様の寸法の関係とする。   As shown in FIG. 8, the semiconductor light emitting device 500 according to the third embodiment is different in the shape of the base 521 of the stem 520 from the first embodiment. Specifically, the shapes of the convex portions 550a and 551a and the concave portions 550b and 551b provided on the side surface of the base 521 are trapezoidal. The convex portion 550a and the concave portion 550b and the convex portion 551a and the concave portion 551b have shapes that can be fitted when adjacent to each other. Here, in the convex portion 550a, the width 550a1 of the portion close to the center of the base 521 is smaller than the width 550a2 of the portion close to the outer peripheral portion of the base. That is, the width of the convex portion 550a is smaller as it is closer to the center of the base 521. In the recess 550b, the width 550b1 of the portion near the outer periphery of the base 521 is smaller than the width 550b2 of the portion near the center of the base 521. That is, the width of the concave portion 550b increases as the distance from the center of the base 521 increases. The convex portion 551a and the concave portion 551b have the same dimensional relationship.

次に、第3の実施形態に係る複数の半導体発光装置500が組み付けられて構成された光源装置について図9を参照しながら説明する。   Next, a light source device configured by assembling a plurality of semiconductor light emitting devices 500 according to the third embodiment will be described with reference to FIG.

図9に示すように、第3の実施形態に係る複数の半導体発光装置500を同一の向きに二次元的に並べることにより光源装置600が構成されている。光源装置600を構成する複数の半導体発光装置500は、その側面同士が嵌合することによって接続されている。ここで、隣接する基台521の側面において、凸部と凹部の形状が台形状であるため、基台521の主面の面内方向の引っ張りによって、半導体発光装置同士は互いに外れない。   As shown in FIG. 9, a light source device 600 is configured by two-dimensionally arranging a plurality of semiconductor light emitting devices 500 according to the third embodiment in the same direction. The plurality of semiconductor light emitting devices 500 constituting the light source device 600 are connected by fitting the side surfaces thereof. Here, on the side surface of the adjacent base 521, the shape of the convex portion and the concave portion is trapezoidal, so that the semiconductor light emitting devices are not separated from each other by pulling in the in-plane direction of the main surface of the base 521.

本発明の第3の実施形態に係る半導体発光装置及びそれを用いた光源装置によると、半導体発光装置の発光点の密度を高くすることができ、部品点数を削減し、且つ、半導体発光素子で発生する熱を効率良く放熱することが可能となる。さらに、特別な機械的支持部材を用いることなく、より自立強度が高い光源装置を得ることができる。   According to the semiconductor light emitting device and the light source device using the same according to the third embodiment of the present invention, the density of the light emitting points of the semiconductor light emitting device can be increased, the number of parts can be reduced, and the semiconductor light emitting element can be used. It is possible to efficiently dissipate the generated heat. Furthermore, a light source device with higher self-standing strength can be obtained without using a special mechanical support member.

本発明に係る半導体発光装置は、複数の半導体発光装置の発光点の密度を高くすることができ、部品点数を削減し且つ半導体発光装置から発生する熱を効率良く放熱することができ、特に、互いに嵌合できる半導体発光装置及びそれを用いた光源装置等に有用である。   The semiconductor light emitting device according to the present invention can increase the density of light emitting points of a plurality of semiconductor light emitting devices, reduce the number of components, and can efficiently dissipate heat generated from the semiconductor light emitting device. It is useful for a semiconductor light emitting device that can be fitted to each other and a light source device using the same.

100、300、500 半導体発光装置
110 半導体発光素子
111 サブマウント
120、320、520 ステム
121、321、521 基台
122 素子搭載台
123a、123b、123c リード
127 シールリング
130 キャップ
131 カバー
131a 開口部
131b フランジ部
132 光取り出し窓
140a、140b ボンディングワイヤ
150a、151a、350a、351a、352a、550a、551a 凸部(嵌合部)
150b、151b、350b、351b、352b、550b、551b 凹部(嵌合部)
160a 基台側面
160b 基台側面
161a 基台側面
162b 基台側面
200、400、600 光源装置
210a、210b、211c、211d 取り付け板(固定部材)
100, 300, 500 Semiconductor light emitting device 110 Semiconductor light emitting element 111 Submount 120, 320, 520 Stem 121, 321, 521 Base 122 Element mounting base 123a, 123b, 123c Lead 127 Seal ring 130 Cap 131 Cover 131a Opening 131b Flange Part 132 Light extraction window 140a, 140b Bonding wire 150a, 151a, 350a, 351a, 352a, 550a, 551a Convex part (fitting part)
150b, 151b, 350b, 351b, 352b, 550b, 551b Recessed portion (fitting portion)
160a Base side surface 160b Base side surface 161a Base side surface 162b Base side surface 200, 400, 600 Light source device 210a, 210b, 211c, 211d Mounting plate (fixing member)

Claims (6)

半導体材料を用いて光を出射することができる半導体発光装置であって、
主面の平面形状が多角形であり、金属からなる基台と、
前記基台の主面の上に搭載された半導体発光素子とを備え、
前記基台は、その側面に、前記半導体発光装置と同一の構成を有する他の半導体発光装置の基台と嵌合可能な嵌合部を有していることを特徴とする半導体発光装置。
A semiconductor light emitting device capable of emitting light using a semiconductor material,
The plane shape of the main surface is polygonal, a base made of metal,
A semiconductor light emitting element mounted on the main surface of the base,
2. The semiconductor light emitting device according to claim 1, wherein the base has a fitting portion on a side surface of the base that can be fitted to a base of another semiconductor light emitting device having the same configuration as the semiconductor light emitting device.
前記嵌合部は、前記基台の側面に形成された凹部及び凸部からなり、
複数の前記半導体発光装置を組み付ける際に、隣り合う一方の半導体発光装置における凹部と他方の半導体発光装置における凸部が嵌合し、一方の半導体発光装置における凸部と他方の半導体発光装置における凹部が嵌合して、複数の半導体発光装置が組み付けられることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置。
The fitting portion includes a concave portion and a convex portion formed on the side surface of the base.
When assembling a plurality of the semiconductor light emitting devices, the concave portion in one adjacent semiconductor light emitting device and the convex portion in the other semiconductor light emitting device are fitted, and the convex portion in one semiconductor light emitting device and the concave portion in the other semiconductor light emitting device The semiconductor light emitting device according to claim 1, wherein a plurality of semiconductor light emitting devices are assembled.
前記基台は、銅又はアルミニウムを主成分として含む金属からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置。   The semiconductor light-emitting device according to claim 1, wherein the base is made of a metal containing copper or aluminum as a main component. 請求項1〜3のうちのいずれか1項に記載の半導体発光装置を複数備え、
前記複数の半導体発光装置は、前記基台の側面において互いに嵌合していることを特徴とする光源装置。
A plurality of the semiconductor light emitting devices according to any one of claims 1 to 3,
The light source device, wherein the plurality of semiconductor light emitting devices are fitted to each other on a side surface of the base.
前記複数の半導体発光装置を固定する固定部材をさらに備え、
前記固定部材は、その一部が前記複数の半導体発光装置の前記基台の側面と嵌合するように形成されていることを特徴とする請求項4に記載の光源装置。
A fixing member for fixing the plurality of semiconductor light emitting devices;
5. The light source device according to claim 4, wherein a part of the fixing member is formed to be fitted to a side surface of the base of the plurality of semiconductor light emitting devices.
前記基台の側面同士は、半田材により接着されていることを特徴とする請求項4に記載の光源装置。   The light source device according to claim 4, wherein the side surfaces of the base are bonded to each other with a solder material.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015145608A1 (en) * 2014-03-26 2015-10-01 株式会社島津製作所 Laser device
JP2016082139A (en) * 2014-10-20 2016-05-16 リンテック株式会社 Separation device and separation method
JP2017139444A (en) * 2016-01-29 2017-08-10 セイコーエプソン株式会社 Light source device, method for manufacturing light source device, and projector
JP2019110291A (en) * 2017-12-19 2019-07-04 シャープ株式会社 Light source module

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015145608A1 (en) * 2014-03-26 2015-10-01 株式会社島津製作所 Laser device
JPWO2015145608A1 (en) * 2014-03-26 2017-04-13 株式会社島津製作所 Laser equipment
JP2016082139A (en) * 2014-10-20 2016-05-16 リンテック株式会社 Separation device and separation method
JP2017139444A (en) * 2016-01-29 2017-08-10 セイコーエプソン株式会社 Light source device, method for manufacturing light source device, and projector
JP2019110291A (en) * 2017-12-19 2019-07-04 シャープ株式会社 Light source module

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