JP2012170889A - Chemical solution application method and chemical solution application apparatus - Google Patents

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Sonoko Kawase
園子 川瀬
Hiroaki Nishikubo
宏昭 西窪
Junichi Masuo
純一 増尾
Hiroshi Iwasa
博司 岩佐
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique which, when a chemical solution is applied to a substrate by using a droplet jet system, can apply the chemical solution thereto in an amount just equal to the required amount.SOLUTION: The control unit 60 of a chemical solution application apparatus 1 relatively moves an application head 31 and a substrate sheet 90, while it applies a control signal to the laminated piezoelectric element of the application head 31 to jet a chemical solution from the nozzle of the application head 31 to the substrate sheet 90 to thereby practice an application treatment. Prior to the application treatment, the control unit 60 gains information on a change in the amount of droplets jetted from the nozzle, resulting from a change in the frequency of a control signal which drives the laminated piezoelectric element and determines according to the information on the change the relative movement speed at which the application head 31 and the substrate sheet 90 are relatively moved in the application treatment and the frequency of the control signal applied to the laminated piezoelectric element 320.

Description

この発明は、塗布対象物とする媒体へ薬液を塗布する技術に関する。   The present invention relates to a technique for applying a chemical solution to a medium to be applied.

皮膚等に貼着して使用される貼付剤は、例えば、不織布や樹脂シート等の媒体上に薬剤を塗布することにより製造される。貼付剤の製造は、例えば、バーコーター、ダイコーター等を用いて帯状の媒体に薬剤を展延塗布(いわゆるベタ塗り)し、そこから必要な部分を打ち抜くとともに、不要な部分を除去することにより行われていた(例えば、特許文献1〜3参照)。   The patch used by being attached to the skin or the like is produced, for example, by applying a drug on a medium such as a nonwoven fabric or a resin sheet. The patch is manufactured by, for example, spreading and applying a medicine to a belt-shaped medium (so-called solid coating) using a bar coater, a die coater, etc., punching out a necessary part from it, and removing an unnecessary part. (For example, refer patent documents 1-3).

特開2009−108006号公報JP 2009-108006 A 特開2006−223611号公報JP 2006-223611 A 特開平3−85160号公報JP-A-3-85160

従来の貼付剤の製造技術では、不要部分に塗布されていた高価な薬剤も除去されることになるため、薬剤の使用効率が悪く、貼付剤の製造コストがその分高くなるという問題があった。   In conventional patch manufacturing technology, expensive drugs applied to unnecessary parts are also removed, so there is a problem that the use efficiency of the drugs is poor and the manufacturing cost of the patch is increased accordingly. .

そこで、媒体への塗布手段として液滴ジェット方式を用いて、必要部分だけ塗布液を塗布可能とすることができれば、不要部分に塗布される薬剤の量が大幅に低減され、薬剤の製造コストを低減することが可能となる。   Therefore, if the droplet jet method can be used as the medium application means and the coating liquid can be applied only to the necessary part, the amount of the medicine applied to the unnecessary part can be greatly reduced, and the manufacturing cost of the medicine can be reduced. It becomes possible to reduce.

ところで、液滴ジェット方式を貼付剤の製造用途に用いる場合(すなわち、液滴ジェット方式を用いて媒体へ薬液を塗布する場合)、液滴ジェット方式を印刷用途に用いる場合(すなわち、液滴ジェット方式を用いて紙などの媒体へインクを塗布して画像形成する場合)よりもはるかに高精度に、塗布される液滴の量を制御することが必要となってくる。   By the way, when the droplet jet method is used for patch production (ie, when a chemical solution is applied to a medium using the droplet jet method), when the droplet jet method is used for printing (ie, droplet jet). It is necessary to control the amount of applied droplets with much higher accuracy than in the case where an image is formed by applying ink to a medium such as paper using a method.

すなわち、液滴ジェット方式が印刷用途で用いられる場合、液滴ジェットヘッドから吐出される液滴量が微小に(例えば、10%〜20%程度)変動し、これによって、媒体上に塗布されるインクの量が目標量よりも僅かに多く(あるいは、僅かに少なく)なっても、ほとんど問題にはならない。というのも、このような微小な変動が印刷物の濃度に与える影響は目視でわからない程度のものであり、印刷品質に与える影響は無視することができるからである。   That is, when the droplet jet method is used for printing, the amount of droplets ejected from the droplet jet head fluctuates slightly (for example, about 10% to 20%), and is thus applied onto the medium. Even if the amount of ink is slightly larger (or slightly smaller) than the target amount, there is almost no problem. This is because the influence of such minute fluctuations on the density of the printed matter is such that it cannot be visually recognized, and the influence on the print quality can be ignored.

一方、液滴ジェット方式が貼付剤の製造用途で用いられる場合、このような誤差は許されない。媒体上に薬液が目標量だけ正確に塗布されないと、貼付剤の品質(たとえば、貼付剤の効能)に深刻な影響が出てしまうからである。   On the other hand, when the droplet jet method is used for manufacturing a patch, such an error is not allowed. This is because the chemical quality (for example, the efficacy of the patch) will be seriously affected if the chemical solution is not accurately applied on the medium by the target amount.

この発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、液滴ジェット方式を用いて媒体へ薬液を塗布するにあたって、薬液を求められる量だけ正確に塗布可能とする技術を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a technique that enables a chemical solution to be accurately applied in a required amount when a chemical solution is applied to a medium using a droplet jet method. And

請求項1に記載の発明は、駆動素子が設けられたノズルを備える塗布ヘッドから、前記塗布ヘッドに対して相対的に移動する媒体に向けて薬剤を含む薬液の液滴を吐出させることにより、前記媒体に前記薬液を塗布する薬液塗布方法であって、a)前記駆動素子に与える制御信号の周波数の変化に伴う、前記ノズルから吐出される液滴量の変動情報を取得する工程と、b)塗布処理において前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させる相対移動速度と、当該塗布処理において前記駆動素子に与える制御信号の周波数とを、前記変動情報を用いて決定する工程と、c)前記b)工程で決定された相対移動速度で前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させつつ、前記b)工程で決定された周波数の制御信号を前記駆動素子に与えて前記ノズルから前記媒体に向けて前記薬液の液滴を吐出させることによって、塗布処理を実行させる工程と、を備える。   According to the first aspect of the present invention, a liquid droplet of a chemical solution containing a drug is ejected from a coating head including a nozzle provided with a driving element toward a medium that moves relative to the coating head. A chemical liquid application method for applying the chemical liquid to the medium, wherein a) obtaining fluctuation information of a droplet amount ejected from the nozzle in accordance with a change in frequency of a control signal given to the drive element; b ) Determining a relative movement speed for relatively moving the coating head and the medium in the coating process and a frequency of a control signal to be given to the drive element in the coating process using the variation information; c ) While relatively moving the coating head and the medium at the relative movement speed determined in the step b), a control signal having the frequency determined in the step b) is given to the drive element before By ejecting droplets of the drug solution toward the medium from a nozzle, and a step of executing a coating process.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の薬液塗布方法であって、前記変動情報が、周波数の複数の代表値のそれぞれと、周波数を当該代表値とした制御信号を前記駆動素子に与えた場合に前記ノズルから吐出される液滴量とを対応付けて記憶したテーブルの形で保持されており、前記b)工程において、前記複数の代表値のそれぞれについて、周波数を当該代表値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を前記変動情報に基づいて算出し、当該算出された値を当該代表値と対にしてパラメータ候補として取得し、前記複数の代表値に基づいて取得された複数の前記パラメータ候補のうち、オペレータにより選択された一のパラメータ候補において対にされている前記代表値と前記算出された値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する。   Invention of Claim 2 is the chemical | medical solution application method of Claim 1, Comprising: The said fluctuation | variation information is each of the several representative value of a frequency, and the control signal which used the frequency as the said representative value is said drive element Is stored in the form of a table in which the amount of liquid droplets discharged from the nozzle is stored in association with each other, and in step b), for each of the plurality of representative values, the frequency is set to the representative value. As a parameter candidate by calculating a value of a relative movement speed at which a chemical solution of a target application amount can be applied to the medium based on the variation information, and pairing the calculated value with the representative value. Of the plurality of parameter candidates acquired and acquired based on the plurality of representative values, the calculation is performed with the representative value paired in one parameter candidate selected by an operator. And the value, determined respectively and the frequency and the relative movement speed in the coating process.

請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の薬液塗布方法であって、前記変動情報が、周波数の複数の代表値のそれぞれと、周波数を当該代表値とした制御信号を前記駆動素子に与えた場合に前記ノズルから吐出される液滴量とを対応付けて記憶したテーブルの形で保持されており、前記b)工程において、前記複数の代表値のうち、オペレータが周波数の値として選択した一の代表値について、周波数を当該代表値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を前記変動情報に基づいて算出し、オペレータにより選択された前記代表値と前記算出された値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する。   Invention of Claim 3 is the chemical | medical solution coating method of Claim 1 or 2, Comprising: The said fluctuation | variation information is each of the some representative value of a frequency, and the control signal which made the frequency the said representative value is the said signal. When the driving element is applied, the amount of droplets ejected from the nozzle is stored in the form of a corresponding table, and in the step b), the operator sets the frequency of the representative value among the plurality of representative values. For one representative value selected as a value, when performing a coating process using the frequency as the representative value, a value of a relative movement speed at which a chemical solution of a target application amount can be applied to the medium is calculated based on the variation information, and an operator The representative value selected by (1) and the calculated value are determined as the frequency and the relative movement speed in the coating process, respectively.

請求項4に記載の発明は、請求項1から3のいずれかに記載の薬液塗布方法であって、d)オペレータが目標塗布量の変更を指示した場合に、周波数を現状の設定値のままとしつつ前記媒体に指示された新たな目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を算出し、当該算出された値を前記塗布処理における新たな相対移動速度に再決定する工程と、e)前記駆動素子に与える制御信号の周波数を変化させずに前記ノズルから前記媒体に向けて前記薬液の液滴を吐出させつつ、前記d)工程で再決定された前記新たな相対移動速度で前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させることによって、前記塗布処理を実行させる工程と、を備える。   Invention of Claim 4 is the chemical | medical solution application | coating method in any one of Claim 1 to 3, Comprising: When an operator instruct | indicates the change of a target application quantity, a frequency is made into the present setting value. While calculating the value of the relative movement speed capable of applying the chemical solution of the new target application amount instructed to the medium, and re-determining the calculated value as a new relative movement speed in the application process, e) While discharging the liquid droplet of the chemical liquid from the nozzle toward the medium without changing the frequency of the control signal applied to the drive element, the new relative movement speed re-determined in the step d) And a step of executing the coating process by relatively moving the coating head and the medium.

請求項5に記載の発明は、請求項1または4に記載の薬液塗布方法であって、前記変動情報が、前記駆動素子に与える制御信号の周波数の変化に伴う、前記ノズルから吐出される液滴量の変動を表す関数の形で保持されており、前記b)工程において、オペレータが周波数の値として入力した値について、周波数を当該入力値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を前記変動情報に基づいて算出し、前記入力値と前記算出された値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する。   Invention of Claim 5 is a chemical | medical solution application method of Claim 1 or 4, Comprising: The liquid discharged from the said nozzle with the change of the frequency of the control signal which the said fluctuation | variation information gives to the said drive element The value is stored in the form of a function representing the fluctuation of the drop amount, and the target application amount is applied to the medium when the application process is performed using the frequency as the input value in the step b). The value of the relative movement speed at which the chemical solution can be applied is calculated based on the variation information, and the input value and the calculated value are determined as the frequency and the relative movement speed, respectively, in the application process.

請求項6に記載の発明は、請求項1、4、5のいずれかに記載の薬液塗布方法であって、前記変動情報が、前記駆動素子に与える制御信号の周波数の変化に伴う、前記ノズルから吐出される液滴量の変動を表す関数の形で保持されており、前記b)工程において、オペレータが相対移動速度の値として入力した値について、相対移動速度を前記入力値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な制御信号の周波数の値を前記変動情報に基づいて算出し、前記算出された値と前記入力値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する。   Invention of Claim 6 is a chemical | medical solution application | coating method in any one of Claim 1,4,5, Comprising: The said fluctuation information is the said nozzle accompanying the change of the frequency of the control signal given to the said drive element. Is stored in the form of a function representing the variation in the amount of liquid droplets discharged from the liquid, and the coating process is performed using the relative movement speed as the input value for the value input by the operator as the value of the relative movement speed in the step b). When performing, a frequency value of a control signal capable of applying a chemical solution of a target application amount to the medium is calculated based on the variation information, and the calculated value and the input value are calculated as the frequency in the application process. The relative movement speed is determined respectively.

請求項7に記載の発明は、媒体に向けて、駆動素子が設けられたノズルから薬剤を含む薬液を液滴として吐出する塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させる相対移動機構と、前記駆動素子に与える制御信号の周波数の変化に伴う、前記ノズルから吐出される液滴量の変動情報を記憶する変動情報記憶部と、塗布処理に先立って、当該塗布処理において前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させる相対移動速度と、当該塗布処理において前記駆動素子に与える制御信号の周波数とを、前記変動情報を用いて決定するパラメータ決定部と、前記相対移動機構を制御して、前記パラメータ決定部により決定された相対移動速度で前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させつつ、前記パラメータ決定部により決定された周波数の制御信号を前記駆動素子に与えて前記ノズルから前記媒体に向けて前記薬液の液滴を吐出させることによって、塗布処理を実行させる塗布処理制御部と、を備える。   According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a coating head that discharges a chemical solution containing a drug as droplets from a nozzle provided with a drive element toward a medium, and a relative movement of the coating head and the medium. A movement information, a fluctuation information storage unit that stores fluctuation information of a droplet amount discharged from the nozzle in accordance with a change in the frequency of a control signal applied to the driving element, and the application process prior to the application process, A parameter determining unit that determines a relative movement speed for relatively moving the coating head and the medium, and a frequency of a control signal to be applied to the drive element in the coating process, using the variation information; and the relative movement mechanism And the parameter determination unit determines the relative movement speed determined by the parameter determination unit while relatively moving the coating head and the medium. By ejecting droplets of the drug solution toward the medium from the nozzles to the control signal of the frequency applied to the driving element, and a coating processing control unit for executing the application process.

請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の薬液塗布装置であって、前記変動情報が、周波数の複数の代表値のそれぞれと、周波数を当該代表値とした制御信号を前記駆動素子に与えた場合に前記ノズルから吐出される液滴量とを対応付けて記憶したテーブルの形で保持されており、前記パラメータ決定部が、前記複数の代表値のそれぞれについて、周波数を当該代表値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を前記変動情報に基づいて算出し、当該算出された値を当該代表値と対にしてパラメータ候補として取得し、前記複数の代表値に基づいて取得された複数の前記パラメータ候補のうち、オペレータにより選択された一のパラメータ候補において対にされている前記代表値と前記算出された値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する。   The invention according to claim 8 is the chemical liquid coating apparatus according to claim 7, wherein the variation information includes a plurality of representative values of the frequency and a control signal having the frequency as the representative value. Is stored in the form of a table in which the amount of liquid droplets ejected from the nozzle is stored in association with each other, and the parameter determination unit sets the frequency for each of the plurality of representative values. As a parameter candidate by calculating a value of a relative movement speed at which a chemical solution of a target application amount can be applied to the medium based on the variation information, and pairing the calculated value with the representative value. Among the plurality of parameter candidates acquired and acquired based on the plurality of representative values, the representative value and the calculated value paired in one parameter candidate selected by an operator A value is determined respectively and the frequency and the relative movement speed in the coating process.

請求項9に記載の発明は、請求項7または8に記載の薬液塗布装置であって、前記変動情報が、周波数の複数の代表値のそれぞれと、周波数を当該代表値とした制御信号を前記駆動素子に与えた場合に前記ノズルから吐出される液滴量とを対応付けて記憶したテーブルの形で保持されており、前記パラメータ決定部が、前記複数の代表値のうち、オペレータが周波数の値として選択した一の代表値について、周波数を当該代表値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を前記変動情報に基づいて算出し、オペレータにより選択された前記代表値と前記算出された値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する。   Invention of Claim 9 is a chemical | medical solution coating device of Claim 7 or 8, Comprising: The said fluctuation | variation information is each of the several representative value of a frequency, and the control signal which used the frequency as the said representative value is said control signal. When it is given to the drive element, it is held in the form of a table that stores the amount of liquid droplets ejected from the nozzles in association with each other, and the parameter determination unit sets the frequency of the representative value among the plurality of representative values. For one representative value selected as a value, when performing a coating process using the frequency as the representative value, a value of a relative movement speed at which a chemical solution of a target application amount can be applied to the medium is calculated based on the variation information, and an operator The representative value selected by (1) and the calculated value are determined as the frequency and the relative movement speed in the coating process, respectively.

請求項10に記載の発明は、請求項7から9のいずれかに記載の薬液塗布装置であって、前記パラメータ決定部が、オペレータが前記目標塗布量の変更を指示した場合に、周波数を現状の設定値のままとしつつ前記媒体に指示された新たな目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を算出し、当該算出された値を前記塗布処理における新たな相対移動速度に再決定し、前記塗布処理制御部が、前記駆動素子に与える制御信号の周波数を変化させずに前記ノズルから前記媒体に向けて前記薬液の液滴を吐出させつつ、前記パラメータ決定部が再決定した前記新たな相対移動速度で前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させることによって、前記塗布処理を実行させる。   A tenth aspect of the present invention is the chemical solution coating apparatus according to any one of the seventh to ninth aspects, wherein the parameter determining unit sets the frequency when the operator instructs to change the target coating amount. The relative movement speed value at which a new target application amount of the chemical solution instructed on the medium can be applied is calculated while the set value remains unchanged, and the calculated value is reset to the new relative movement speed in the application process. The parameter determination unit re-determined while discharging the chemical liquid droplets from the nozzle toward the medium without changing the frequency of the control signal given to the drive element. The coating process is executed by relatively moving the coating head and the medium at the new relative movement speed.

請求項11に記載の発明は、請求項7または10に記載の薬液塗布装置であって、前記変動情報が、前記駆動素子に与える制御信号の周波数の変化に伴う、前記ノズルから吐出される液滴量の変動を表す関数の形で保持されており、前記パラメータ決定部が、オペレータが周波数の値として入力した値について、周波数を当該入力値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を前記変動情報に基づいて算出し、前記入力値と前記算出された値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する。   Invention of Claim 11 is a chemical | medical solution coating device of Claim 7 or 10, Comprising: The liquid discharged from the said nozzle with the change of the frequency of the control signal which the said fluctuation | variation information gives to the said drive element The value is stored in the form of a function representing the variation of the drop amount, and the parameter determination unit applies the target application amount to the medium when the operator inputs the frequency as the frequency value and performs the application process using the frequency as the input value. The value of the relative movement speed at which the chemical solution can be applied is calculated based on the variation information, and the input value and the calculated value are determined as the frequency and the relative movement speed, respectively, in the application process.

請求項12に記載の発明は、請求項7、10、11のいずれかに記載の薬液塗布装置であって、前記変動情報が、前記駆動素子に与える制御信号の周波数の変化に伴う、前記ノズルから吐出される液滴量の変動を表す関数の形で保持されており、前記パラメータ決定部が、オペレータが相対移動速度の値として入力した値について、相対移動速度を前記入力値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液可能な前記制御信号の周波数の値を前記変動情報に基づいて算出し、前記算出された値と前記入力値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する。   A twelfth aspect of the present invention is the chemical solution coating apparatus according to any one of the seventh, tenth, and eleventh aspects, wherein the variation information is accompanied by a change in frequency of a control signal given to the drive element. Is stored in the form of a function that represents the variation in the amount of droplets discharged from the printer, and the parameter determination unit performs the coating process using the relative movement speed as the input value for the value input by the operator as the value of the relative movement speed. When performing, a frequency value of the control signal capable of a chemical solution with a target application amount on the medium is calculated based on the variation information, and the calculated value and the input value are calculated using the frequency in the application process and the frequency The relative movement speed is determined respectively.

請求項1,7に記載の発明によると、塗布処理において、塗布ヘッドと媒体とを相対的に移動させる速度と、駆動素子に与える制御信号の周波数とを、制御信号の周波数の変化に伴う液滴量の変動を加味して決定するので、媒体へ薬液を求められる量だけ正確に塗布することができる。   According to the first and seventh aspects of the present invention, in the coating process, the speed at which the coating head and the medium are moved relative to each other and the frequency of the control signal applied to the drive element are set according to the change in the frequency of the control signal. Since the determination is made taking into account fluctuations in the amount of droplets, the chemical solution can be accurately applied to the medium in the required amount.

請求項2、8に記載の発明によると、複数のパラメータ候補のうち、オペレータが選択したパラメータ候補を採用する。したがって、オペレータが所望するとおりの態様(例えば、オペレータが所望するとおりの処理速度、解像度)で、塗布処理を行うことができる。   According to the second and eighth aspects of the present invention, the parameter candidate selected by the operator among the plurality of parameter candidates is adopted. Therefore, the coating process can be performed in a manner desired by the operator (for example, a processing speed and resolution desired by the operator).

請求項3、9に記載の発明によると、周波数の複数の代表値のうち、オペレータが選択した値を塗布処理における制御信号の周波数として採用するので、オペレータが所望するとおりの態様で塗布処理を行うことができる。   According to the invention described in claims 3 and 9, since the value selected by the operator among the plurality of representative values of the frequency is adopted as the frequency of the control signal in the coating process, the coating process is performed in a manner desired by the operator. It can be carried out.

請求項4、10に記載の発明によると、オペレータが目標塗布量の変更を指示した場合に、駆動素子に与える制御信号の周波数を変化させずに、塗布ヘッドと媒体とを相対的に移動させる相対移動速度を変更することによって、塗布量を変更する。この構成によると、ノズルから単位時間あたりに吐出される液滴量が変化しないので、簡易かつ正確に、塗布される薬液の量を新たな塗布量に変更することができる。   According to the fourth and tenth aspects of the present invention, when the operator instructs to change the target application amount, the application head and the medium are relatively moved without changing the frequency of the control signal applied to the drive element. The coating amount is changed by changing the relative movement speed. According to this configuration, since the amount of liquid droplets ejected from the nozzle per unit time does not change, the amount of chemical liquid to be applied can be changed to a new application amount simply and accurately.

請求項5、11に記載の発明によると、オペレータが入力した値を塗布処理における制御信号の周波数とするので、オペレータが所望するとおりの態様で塗布処理を行うことができる。   According to the fifth and eleventh aspects of the present invention, since the value input by the operator is used as the frequency of the control signal in the coating process, the coating process can be performed in a manner desired by the operator.

請求項6、12に記載の発明によると、オペレータが入力した値を、塗布処理における相対移動速度とするので、オペレータが所望するとおりの態様で塗布処理を行うことができる。   According to the sixth and twelfth aspects of the present invention, since the value input by the operator is used as the relative movement speed in the coating process, the coating process can be performed in a manner desired by the operator.

薬液塗布装置の要部構成の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of principal part structure of a chemical | medical solution coating device. 薬液塗布装置の要部構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the principal part structure of a chemical | medical solution coating device. 制御部の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of a control part. 塗布ヘッドの断面図である。It is sectional drawing of a coating head. 塗布ヘッドの断面図である。It is sectional drawing of a coating head. 制御信号の波形の一例を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically an example of the waveform of a control signal. 貼付剤の製造工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing process of a patch. 制御信号の駆動周波数の変化に伴うドロップマスの変動の様子を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the mode of the fluctuation | variation of the drop mass accompanying the change of the drive frequency of a control signal. 変動情報テーブルの構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of a fluctuation | variation information table. 塗布処理のパラメータを決定する処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of the process which determines the parameter of an application | coating process. パラメータの値の組み合わせを算出する処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of a process which calculates the combination of the value of a parameter. パラメータ候補を一覧表示する画面の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the screen which displays a parameter candidate list. 塗布処理のパラメータを決定する処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of the process which determines the parameter of an application | coating process. パラメータを再決定する処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of the process which re-decides a parameter. パラメータを再決定する処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of the process which re-decides a parameter. 変動情報関数を例示する図である。It is a figure which illustrates a variation information function. 塗布処理のパラメータを決定する処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of the process which determines the parameter of an application | coating process.

以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態に係る薬液塗布装置について詳細に説明する。薬液塗布装置は、基材シートに薬剤を塗布して貼付剤を製造する装置である。   Hereinafter, a chemical solution coating apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The chemical solution coating apparatus is an apparatus that manufactures a patch by applying a drug to a base sheet.

<1.装置構成>
薬液塗布装置1の構成について、図1、図2を参照しながら説明する。図1は、薬液塗布装置の要部構成の一部を示す図である。図2は、薬液塗布装置1の要部構成を模式的に示す図である。
<1. Device configuration>
The configuration of the chemical solution coating apparatus 1 will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a diagram showing a part of the main configuration of the chemical liquid coating apparatus. FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a main configuration of the chemical solution coating apparatus 1.

薬液塗布装置1は、予め粘着剤が塗られた帯状の支持体92上に塗布対象物(ここでは、円形の基材シート)90を一定間隔で貼設し、その基材シート90上に薬液を塗布する装置である。   The chemical solution coating apparatus 1 pastes an object to be coated (here, a circular base sheet) 90 on a belt-like support 92 previously coated with an adhesive at regular intervals, and the chemical solution is placed on the base sheet 90. Is a device for coating.

薬液塗布装置1は、図2に示すように、帯状の支持体92を水平方向に沿って搬送する搬送機構10と、搬送される支持体92上に貼設された基材シート90の位置を検出する位置検出センサ20と、基材シート90に薬剤を含む薬液を吹き付けて塗布する塗布ユニット30と、塗布ユニット30に薬液を送給する薬液送給部40と、基材シート90に塗布した薬液を乾燥させる乾燥ユニット50とを備える。また、薬液塗布装置1は、装置に設けられた上記の各要素を制御する制御部60を備える。   As shown in FIG. 2, the chemical coating apparatus 1 is configured to determine the position of the transport mechanism 10 that transports the belt-shaped support body 92 along the horizontal direction, and the position of the base sheet 90 affixed on the transported support body 92. The position detection sensor 20 to be detected, the coating unit 30 that sprays and applies a chemical solution containing a drug to the base sheet 90, the chemical solution feeding unit 40 that feeds the chemical solution to the coating unit 30, and the base sheet 90. And a drying unit 50 for drying the chemical solution. Moreover, the chemical | medical solution coating device 1 is provided with the control part 60 which controls said each element provided in the apparatus.

<搬送機構10>
搬送機構10は、長尺の帯状の支持体92が巻回された送りローラ11を備える。搬送機構10は、図示を省略するテンションローラや補助ローラをも備えており、送りローラ11から送り出された支持体92を水平方向に沿って搬送する。支持体92は、塗布ユニット30に基材シート90を順次搬送供給する役割を担うものであり、ネル生地、織布、メリヤス、不織布、樹脂フィルムなどにて形成することができる。支持体92の幅は例えば60mmである。この実施の形態においては、送りローラ11に巻回された支持体92の片面全面に予め粘着剤91が積層されており(図7参照)、搬送機構10は、粘着剤91の層が既に形成された支持体92を送りローラ11から送り出し、粘着剤層が上側を向くように支持体92を搬送する。
<Transport mechanism 10>
The transport mechanism 10 includes a feed roller 11 around which a long belt-like support 92 is wound. The transport mechanism 10 is also provided with a tension roller and an auxiliary roller (not shown), and transports the support 92 sent out from the feed roller 11 along the horizontal direction. The support 92 plays a role of sequentially transporting and supplying the base sheet 90 to the coating unit 30 and can be formed of flannel cloth, woven cloth, knitted fabric, non-woven cloth, resin film, or the like. The width of the support 92 is 60 mm, for example. In this embodiment, the adhesive 91 is previously laminated on the entire surface of one side of the support 92 wound around the feed roller 11 (see FIG. 7), and the transport mechanism 10 has already formed a layer of the adhesive 91. The support 92 is fed from the feed roller 11 and conveyed so that the pressure-sensitive adhesive layer faces upward.

また、薬液塗布装置1は、送りローラ11の近傍に図示を省略するシート供給機構を備えており、そのシート供給機構によって送りローラ11から送り出された支持体92に塗布対象物となる円板形状の基材シート90を供給する。薬剤を直接担持する基材シート90は、薬剤に対する不透過性を有する樹脂材料(例えば、PET(ポリエチレンテレフタレート)、PP(ポリプロピレン)、PE(ポリエチレン)等)により形成されている。   Further, the chemical liquid coating apparatus 1 includes a sheet supply mechanism (not shown) in the vicinity of the feed roller 11, and a disk shape that is an object to be coated on the support 92 that is fed from the feed roller 11 by the sheet supply mechanism. The base material sheet 90 is supplied. The base sheet 90 that directly carries the drug is formed of a resin material that is impermeable to the drug (for example, PET (polyethylene terephthalate), PP (polypropylene), PE (polyethylene), etc.).

また、薬液塗布装置1は、エンコーダ12を備えている。エンコーダ12は、支持体92が搬送機構10により所定距離だけ搬送される毎にパルス信号を出力する。エンコーダ12としては、例えば、支持体92の搬送量に応じて回転し、所定の回転量毎にパルス信号を出力するロータリーエンコーダを用いることができる。   Further, the chemical solution coating apparatus 1 includes an encoder 12. The encoder 12 outputs a pulse signal each time the support 92 is transported by a predetermined distance by the transport mechanism 10. As the encoder 12, for example, a rotary encoder that rotates according to the conveyance amount of the support 92 and outputs a pulse signal for each predetermined rotation amount can be used.

<位置検出センサ20>
位置検出センサ20は、基材シート90の搬送方向について塗布ユニット30よりも上流側に設けられている。位置検出センサ20は、塗布ヘッド31から薬液の液滴が吹き付けられる前に、支持体92上における基材シート90の位置を検出する。位置検出センサ20によって検出された基材シート90の位置情報に基づいて、その基材シート90に正確に薬液の液滴が吹き付けられるように制御部60が塗布ヘッド31の薬液吐出位置を制御する。位置検出センサ20としては、反射式若しくは透過式の光学式センサ、または、超音波センサなどの各種センサを用いることができる。また、位置検出センサ20に代えて撮像カメラを設け、その撮像カメラによって支持体92上面を撮像して得られた画像データを処理することによって基材シート90の位置を検出するようにしてもよい。
<Position detection sensor 20>
The position detection sensor 20 is provided on the upstream side of the coating unit 30 in the conveyance direction of the base sheet 90. The position detection sensor 20 detects the position of the base material sheet 90 on the support 92 before the liquid droplets of the chemical liquid are sprayed from the application head 31. Based on the position information of the base sheet 90 detected by the position detection sensor 20, the control unit 60 controls the chemical liquid discharge position of the coating head 31 so that the liquid droplets of the chemical liquid are accurately sprayed on the base sheet 90. . As the position detection sensor 20, various sensors such as a reflection type or transmission type optical sensor or an ultrasonic sensor can be used. Further, an imaging camera may be provided in place of the position detection sensor 20, and the position of the base sheet 90 may be detected by processing image data obtained by imaging the upper surface of the support 92 with the imaging camera. .

<塗布ユニット30>
塗布ユニット30は、搬送機構10によって搬送される基材シート90に薬剤を含む薬液を塗布する機能部であり、機械的に固定して内包された塗布ヘッド31を備える。
<Coating unit 30>
The coating unit 30 is a functional unit that applies a chemical solution containing a drug to the base sheet 90 transported by the transport mechanism 10 and includes a coating head 31 that is mechanically fixed and contained.

塗布ヘッド31は、薬剤を含む薬液を微滴化して微小液滴を生成し、その液滴を搬送機構10によって搬送される基材シート90の上面に吹き付ける。具体的には、塗布ヘッド31は、搬送方向TDに垂直な方向(支持体92の幅方向)に沿って、支持体92の全幅と同等かそれ以上の幅を有する。また、塗布ヘッド31の下面には、複数個のノズル311(図4参照)が設けられている。複数個のノズル311は、搬送方向TDに垂直な方向に沿って、所定のピッチで一列に配列される。後に詳細に説明するように、制御部60は、積層圧電素子320の駆動部321に電圧を印加することにより、ノズル311から薬液を吐出させる。なお、支持体92の幅方向におけるノズル311の配列ピッチは、これが小さいほど薬液塗布の精度を向上させることができるため、なるべく小さくすることが好ましい。塗布ヘッド31の具体的な内部構造については、後に説明する。   The coating head 31 atomizes the chemical liquid containing the medicine to generate fine droplets, and sprays the droplets onto the upper surface of the base sheet 90 conveyed by the conveyance mechanism 10. Specifically, the coating head 31 has a width equal to or greater than the entire width of the support body 92 along a direction (width direction of the support body 92) perpendicular to the transport direction TD. A plurality of nozzles 311 (see FIG. 4) are provided on the lower surface of the coating head 31. The plurality of nozzles 311 are arranged in a line at a predetermined pitch along a direction perpendicular to the transport direction TD. As will be described in detail later, the control unit 60 applies a voltage to the driving unit 321 of the multilayer piezoelectric element 320 to discharge the chemical solution from the nozzle 311. The arrangement pitch of the nozzles 311 in the width direction of the support 92 is preferably as small as possible because the smaller this is, the higher the accuracy of chemical application. A specific internal structure of the coating head 31 will be described later.

なお、塗布ユニット30には、塗布ユニット30に設けられた塗布ヘッド31を加熱または冷却して薬液の温調を行う温調部(図示省略)を付設してもよい。温調部としては、所定温度の温調水を導入する温調配管、または、ヒータを用いることができる。薬液の粘度および表面張力は薬液の温度にも依存するところ、温調部により薬液の温調を行うことによって薬液の粘度および表面張力が液滴ジェット方式のノズルから噴出可能な適正範囲内に収まるように調整することができる。また、薬液の粘度および表面張力が変化すると、ノズルの先端付近に形成される薬液のメニスカス量が変化し、ノズルから噴出される液滴の量が変化するという問題も生じるところ、温調部により塗布ヘッド31内の薬液の温度を一定(例えば20℃)に保つことによって、ノズルから噴出される液滴の量も一定にすることができる。温調部は、塗布ヘッド31内に内蔵してもよい。   The application unit 30 may be provided with a temperature adjustment unit (not shown) for adjusting the temperature of the chemical solution by heating or cooling the application head 31 provided in the application unit 30. As the temperature control unit, a temperature control pipe for introducing temperature-controlled water at a predetermined temperature or a heater can be used. The viscosity and surface tension of the chemical solution also depend on the temperature of the chemical solution. By adjusting the temperature of the chemical solution using the temperature control unit, the viscosity and surface tension of the chemical solution fall within the appropriate range that can be ejected from a droplet jet type nozzle. Can be adjusted as follows. In addition, when the viscosity and surface tension of the chemical solution change, the amount of meniscus of the chemical solution formed near the tip of the nozzle also changes, causing the problem that the amount of liquid droplets ejected from the nozzle also changes. By keeping the temperature of the chemical in the coating head 31 constant (for example, 20 ° C.), the amount of liquid droplets ejected from the nozzle can also be made constant. The temperature adjustment unit may be built in the coating head 31.

<薬液送給部40>
薬液送給部40は、塗布ユニット30に薬液を送給する。薬液送給部40は、薬液を貯留する薬液タンク41を備える。薬液タンク41は、供給配管42を介して塗布ユニット30の塗布ヘッド31と連通接続されている。供給配管42の経路途中には異物除去フィルターおよび脱気フィルター(いずれも図示省略)が介挿されている。薬液タンク41は、常に一定量の薬液を貯留しており、調合タンク(図示省略)から適宜薬液タンク41に薬液が補充される。
<Chemical liquid feeding unit 40>
The chemical liquid feeding unit 40 feeds the chemical liquid to the application unit 30. The chemical solution feeding unit 40 includes a chemical solution tank 41 that stores the chemical solution. The chemical tank 41 is connected to the application head 31 of the application unit 30 through a supply pipe 42. A foreign substance removal filter and a deaeration filter (both not shown) are inserted in the route of the supply pipe 42. The chemical liquid tank 41 always stores a certain amount of chemical liquid, and the chemical liquid tank 41 is appropriately replenished with chemical liquid from a preparation tank (not shown).

ここで、薬液とは薬剤を含む液体である。貼付剤に用いられる薬剤の具体的な種類は特に限定されるものではないが、皮膚を通して投与し得るもの、すなわち経皮吸収可能な薬剤が好ましい。そのような薬剤として、より具体的には、インドメタシン、ケトプロフェン、フルルビプロフェン、イブプロフェン、ビロキシカム、サリチル酸メチル、サリチル酸グリコール、l-メントール、dl-カンフル、ノニル酸ワリニリルアシド、カプサイシンなどの鎮痛消炎剤があげられる。また、ニトログリセリン、ニフェジピン、イソソルバイドナイトレートなどの冠血管拡張剤、または、プロカテロール、ツロブテロールなどの喘息薬を薬剤として使用してもよい。さらに、上記の他にも薬剤としては、全身性麻酔薬、催眠・鎮静薬、抗てんかん薬、鎮暈薬、精神神経用薬、骨格筋弛緩薬、自律神経用薬、鎮痙薬、抗パーキンソン薬、抗ヒスタミン薬、強心薬、不整脈用薬、利尿薬、血圧降下薬、血管収縮薬、末梢血管拡張薬、動脈硬化用薬、循環器用薬、呼吸促進薬、鎮咳去痰薬、ホルモン薬、化膿性疾患用外用薬、鎮痛・鎮痒・収斂・消炎用薬、寄生性皮膚疾患用薬、止血用薬、痛風治療用薬、糖尿病用薬、抗悪性腫瘍用薬、抗生物質、化学療法薬、麻薬、抗うつ用薬、禁煙補助薬(ニコチン)などを使用することができる。   Here, the chemical solution is a liquid containing a drug. Although the specific kind of the drug used for the patch is not particularly limited, a drug that can be administered through the skin, that is, a drug that can be absorbed through the skin is preferable. More specifically, analgesic and anti-inflammatory agents such as indomethacin, ketoprofen, flurbiprofen, ibuprofen, viloxicam, methyl salicylate, glycol salicylate, l-menthol, dl-camphor, valinylyl nonylate, capsaicin, etc. can give. In addition, coronary vasodilators such as nitroglycerin, nifedipine and isosorbide nitrate, or asthma drugs such as procaterol and tulobuterol may be used as drugs. In addition to the above, the drugs include general anesthetics, hypnotics / sedatives, antiepileptics, antipruritics, psychiatric drugs, skeletal muscle relaxants, autonomic drugs, antispasmodics, antiparkinson drugs, Antihistamine, cardiotonic, arrhythmic, diuretic, antihypertensive, vasoconstrictor, peripheral vasodilator, arteriosclerosis, cardiovascular, respiratory stimulant, antitussive expectorant, hormone, purulent disease Topical medicine, analgesic / antipruritic / astringent / anti-inflammatory medicine, parasitic skin disease medicine, hemostatic medicine, gout treatment medicine, diabetes medicine, anti-malignant tumor medicine, antibiotics, chemotherapeutic medicine, narcotic, anti Depressants, smoking cessation aids (nicotine), etc. can be used.

このような薬剤が溶媒中に溶解されて薬液とされている。溶媒としては、薬剤の性質に応じて、水、または、アルコールを用いることができる。薬剤が溶媒中に溶解された所定濃度の薬液が調合タンクにて調合され、その薬液が調合タンクから供給されて薬液タンク41に貯留される。薬液タンク41に貯留されている薬液は、塗布ヘッド31が薬液を噴出したときにノズル内に生じる毛管現象によって各ノズルに送給される。薬液の送給過程において、供給配管42を流れる薬液から異物および気泡が異物除去フィルターおよび脱気フィルターによってそれぞれ取り除かれる。なお、薬液には、基材シート90への密着性を高めるバインダー、および/または、添加剤がさらに含まれていてもよい。また、薬液には、薬液の粘度および表面張力を調整するために薬剤の溶媒が添加されてもよい。また、薬液には、薬液の乾燥速度を低下させるために保湿剤が添加されてもよい。   Such a drug is dissolved in a solvent to form a drug solution. As the solvent, water or alcohol can be used depending on the properties of the drug. A chemical solution having a predetermined concentration in which a drug is dissolved in a solvent is prepared in a preparation tank, and the chemical solution is supplied from the preparation tank and stored in the chemical tank 41. The chemical solution stored in the chemical solution tank 41 is fed to each nozzle by a capillary phenomenon generated in the nozzle when the coating head 31 ejects the chemical solution. In the process of supplying the chemical liquid, foreign substances and bubbles are removed from the chemical liquid flowing through the supply pipe 42 by the foreign substance removal filter and the degassing filter, respectively. In addition, the chemical | medical solution may further contain the binder and / or additive which improve the adhesiveness to the base material sheet 90. FIG. In addition, a chemical solvent may be added to the chemical solution in order to adjust the viscosity and surface tension of the chemical solution. In addition, a moisturizing agent may be added to the chemical solution in order to reduce the drying rate of the chemical solution.

また、薬液送給部40は、薬液タンク41から供給配管42を介して塗布ユニット30の塗布ヘッド31に負圧を付与する負圧ポンプ(図示省略)を備えてもよい。ノズルに供給された薬液は、そのままでは自重でノズルの先端付近に液滴ジェット方式に適したメニスカスを形成できないところ、負圧ポンプによって吐出方向とは逆向きの負圧を薬液に与えておけば、薬液を若干ノズル内に引き戻して適正なメニスカスを形成することができる。さらに、薬液タンク41の下部に、薬液タンク41内の薬液の温度を所定温度(例えば20℃)に温調するための温調機(図示省略)を付設してもよい。   Further, the chemical liquid feeding unit 40 may include a negative pressure pump (not shown) that applies a negative pressure from the chemical liquid tank 41 to the coating head 31 of the coating unit 30 via the supply pipe 42. The chemical solution supplied to the nozzle itself is under its own weight and cannot form a meniscus suitable for the droplet jet method near the tip of the nozzle, but if a negative pressure opposite to the discharge direction is applied to the chemical solution by a negative pressure pump The chemical solution can be slightly pulled back into the nozzle to form an appropriate meniscus. Furthermore, a temperature controller (not shown) for adjusting the temperature of the chemical solution in the chemical solution tank 41 to a predetermined temperature (for example, 20 ° C.) may be provided below the chemical solution tank 41.

<乾燥ユニット50>
乾燥ユニット50は、塗布ユニット30よりも基材シート90の搬送方向下流側に設けられている。乾燥ユニット50は、その内側を通過する基材シート90に塗布されている薬液を乾燥させる。乾燥ユニット50としては、基材シート90の表面に常温のドライエアーまたは加熱したドライエアー(温風)を送風するものなど公知の種々の乾燥装置を用いることができる。また、乾燥ユニット50としては、単なる熱風(特段の除湿を行っていない)を供給する熱風乾燥炉や遠赤外線ヒータを用いた乾燥炉を用いるようにしてもよい。
<Drying unit 50>
The drying unit 50 is provided on the downstream side of the coating unit 30 in the conveyance direction of the base sheet 90. The drying unit 50 dries the chemical applied to the base sheet 90 that passes through the inside of the drying unit 50. As the drying unit 50, various known drying devices such as one that blows normal temperature dry air or heated dry air (hot air) onto the surface of the base sheet 90 can be used. Further, as the drying unit 50, a hot air drying furnace that supplies mere hot air (without special dehumidification) or a drying furnace using a far infrared heater may be used.

<制御部60>
制御部60は、薬液塗布装置1に設けられた上記の種々の動作機構を制御する。制御部60の構成について、図3を参照しながら具体的に説明する。図3は、制御部60の構成例を示すブロック図である。
<Control unit 60>
The control unit 60 controls the various operation mechanisms provided in the chemical solution coating apparatus 1. The configuration of the control unit 60 will be specifically described with reference to FIG. FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration example of the control unit 60.

制御部60のハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様である。すなわち、制御部60は、各種演算処理を行うCPU61、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるROM62、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるRAM63、および、処理プログラムPやデータなどを記憶しておく固定ディスク64をバスライン69に接続して構成されている。   The configuration of the control unit 60 as hardware is the same as that of a general computer. That is, the control unit 60 stores a CPU 61 that performs various arithmetic processes, a ROM 62 that is a read-only memory that stores basic programs, a RAM 63 that is a readable and writable memory that stores various information, and a processing program P and data. The fixed disk 64 is connected to a bus line 69.

また、バスライン69には、上述したエンコーダ12、位置検出センサ20、および、塗布ヘッド31がインターフェイス(I/F)65を介して接続されている。これら以外の薬液塗布装置1の各種動作機構も図示を省略するインターフェイスを介してバスライン69に接続されている。制御部60のCPU61は、固定ディスク64に格納されている処理プログラムPを実行することにより、これら塗布ヘッド31などの各動作機構を制御して貼付剤製造処理を進行させる。   Further, the encoder 12, the position detection sensor 20, and the coating head 31 described above are connected to the bus line 69 via an interface (I / F) 65. Various operation mechanisms of the chemical solution coating apparatus 1 other than these are also connected to the bus line 69 through an interface (not shown). The CPU 61 of the control unit 60 executes the processing program P stored in the fixed disk 64, thereby controlling each operation mechanism such as the coating head 31 to advance the patch manufacturing process.

また、バスライン69には、表示装置66および入力装置67が電気的に接続されている。表示装置66は、例えば液晶ディスプレイ等を用いて構成されており、処理結果やメッセージ等の種々の情報を表示する。入力装置67は、例えばキーボードやマウス等を用いて構成されており、コマンドやパラメータ等の入力を受け付ける。装置のオペレータは、表示装置66に表示された内容を確認しつつ入力装置67からコマンドやパラメータ等の入力を行うことができる。なお、表示装置66と入力装置67とを一体化してタッチパネルとして構成するようにしてもよい。   A display device 66 and an input device 67 are electrically connected to the bus line 69. The display device 66 is configured using, for example, a liquid crystal display or the like, and displays various information such as processing results and messages. The input device 67 is configured using, for example, a keyboard and a mouse, and receives input of commands, parameters, and the like. The operator of the device can input commands and parameters from the input device 67 while confirming the contents displayed on the display device 66. Note that the display device 66 and the input device 67 may be integrated into a touch panel.

さらに、バスライン69には、DVDやCDなどの記録媒体RMから記録内容を読み取る読取装置68が接続されている。処理プログラムPは、記録媒体RMから読取装置68によって読み出されて固定ディスク64に格納されるようにしてもよい。   Further, a reading device 68 that reads the recorded content from a recording medium RM such as a DVD or a CD is connected to the bus line 69. The processing program P may be read from the recording medium RM by the reading device 68 and stored in the fixed disk 64.

以上が、薬液塗布装置1の主たる構成要素である。なお、上記の構成以外にも薬液塗布装置1は、詳説を省略する種々の機構を備えている。例えば、乾燥ユニット50よりもさらに下流側には、薬液が塗布された基材シート90に剥離ライナーを貼り合わせる機構や支持体92を裁断する機構が設けられている。   The above is the main component of the chemical solution coating apparatus 1. In addition to the above configuration, the chemical solution coating apparatus 1 includes various mechanisms that omit detailed description. For example, on the further downstream side of the drying unit 50, a mechanism for attaching a release liner to the base sheet 90 coated with a chemical solution and a mechanism for cutting the support 92 are provided.

<2.塗布ヘッド31>
ここで、塗布ヘッド31についてより具体的に説明する。塗布ヘッド31は、液滴ジェット方式によって薬液を噴出する液滴ジェットヘッドである。この実施の形態においては、塗布ヘッド31は、駆動方式が積層ピエゾドロップオンデマンド方式のインクジェットヘッドであるとする。
<2. Application head 31>
Here, the coating head 31 will be described more specifically. The coating head 31 is a droplet jet head that ejects a chemical solution by a droplet jet method. In this embodiment, it is assumed that the coating head 31 is a multilayer piezo drop-on-demand ink jet head.

<2−1.構成>
塗布ヘッド31の構成について、図4、図5を参照しながら説明する。図4は、塗布ヘッド31の側断面図である。また、図5は、塗布ヘッド31を図4の矢印K方向からみた断面図である。
<2-1. Configuration>
The configuration of the coating head 31 will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a side sectional view of the coating head 31. FIG. 5 is a cross-sectional view of the coating head 31 as seen from the direction of the arrow K in FIG.

塗布ヘッド31は、ベース310と、ベース310に固定された積層圧電素子320とを備える。ベース310は、例えば、チタン酸バリウム系セラミックからなり、その上面には、積層圧電素子320が2列に配置されている。   The coating head 31 includes a base 310 and a laminated piezoelectric element 320 fixed to the base 310. The base 310 is made of, for example, a barium titanate ceramic, and laminated piezoelectric elements 320 are arranged in two rows on the upper surface thereof.

積層圧電素子320は、例えば、厚み10〜50μm/1層のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の圧電層と、厚み数μm/1層の銀・パラジウム(AgPd)からなる内部電極層とを交互に積層することにより形成される。内部電極層は両端で外部電極に接続する。   The laminated piezoelectric element 320 includes, for example, a lead zirconate titanate (PZT) piezoelectric layer having a thickness of 10 to 50 μm / layer and an internal electrode layer made of silver / palladium (AgPd) having a thickness of several μm / layer alternately. It is formed by laminating. The internal electrode layer is connected to the external electrode at both ends.

積層圧電素子320は、図5に示すように、ハーフカットのダイシング加工により櫛歯上に分割された部分を備え、各部分は、1つ毎に駆動部321、あるいは、支持部322(非駆動部)として使用される。外部電極の外側はハーフカットのダイシング加工で分割されるように、切り欠き等の加工により長さを制限しており、これらは複数の個別電極となる。他方はダイシングでは分割されずに導通しており共通電極となる。駆動部321の個別電極にはFPC330(図4参照)が半田接合されている。また、共通電極は積層圧電素子の端部に電極層を設けて回し込んでFPC330のGnd電極に接合している。FPC330にはドライバICが実装されており、これにより駆動部321へ印加される電圧(駆動電圧K)を制御している。   As shown in FIG. 5, the multilayer piezoelectric element 320 includes portions divided on comb teeth by half-cut dicing, and each portion is driven by a drive unit 321 or a support unit 322 (non-drive). Part). The length of the outside of the external electrode is limited by cutting or the like so as to be divided by half-cut dicing, and these become a plurality of individual electrodes. The other is not divided by dicing but is conductive and becomes a common electrode. An FPC 330 (see FIG. 4) is soldered to the individual electrodes of the drive unit 321. Further, the common electrode is provided with an electrode layer at the end of the laminated piezoelectric element, and is wound around to join the Gnd electrode of the FPC 330. A driver IC is mounted on the FPC 330, thereby controlling the voltage (drive voltage K) applied to the drive unit 321.

積層圧電素子320には、振動板340が接合される。振動板340は、薄膜のダイヤフラム部341と、ダイヤフラム部341の中央部に形成された島状凸部(アイランド部)342とを備える。また、振動板340には、後述するフレーム350の共通液室351と連通する流入口343が形成される。凸部342は、積層圧電素子320の駆動部321と接合される。振動板340は、例えば、電鋳工法によるNiメッキ膜を2層重ねて形成される。また、ダイヤフラム部341の厚みは例えば、3μm、幅は例えば、35μm(片側)である。また、振動板340(具体的には、凸部342)と積層圧電素子320の駆動部321との結合、および、振動板340と後述するフレーム350との結合は、ギャップ材を含んだ接着層344をパターニングすることにより行うことができる。   A diaphragm 340 is joined to the laminated piezoelectric element 320. The diaphragm 340 includes a thin film diaphragm portion 341 and an island-shaped convex portion (island portion) 342 formed at the center of the diaphragm portion 341. The diaphragm 340 is formed with an inlet 343 that communicates with a common liquid chamber 351 of a frame 350 described later. The convex part 342 is joined to the driving part 321 of the laminated piezoelectric element 320. The diaphragm 340 is formed by, for example, stacking two Ni plating films by an electroforming method. The diaphragm portion 341 has a thickness of, for example, 3 μm and a width of, for example, 35 μm (one side). Further, the coupling between the vibration plate 340 (specifically, the convex portion 342) and the driving unit 321 of the laminated piezoelectric element 320 and the coupling between the vibration plate 340 and the frame 350 described later are an adhesive layer including a gap material. This can be done by patterning 344.

振動板340における、積層圧電素子320が接合された面と同じ側の面には、フレーム350が接合される。フレーム350の内部には、彫り込みにより共通液室351が形成される。共通液室351は、振動板340に形成された流入口343と連通する。フレーム350は、例えば、樹脂成形により得ることができる。   A frame 350 is joined to the surface of the diaphragm 340 on the same side as the surface to which the laminated piezoelectric element 320 is joined. A common liquid chamber 351 is formed inside the frame 350 by engraving. The common liquid chamber 351 communicates with an inflow port 343 formed in the vibration plate 340. The frame 350 can be obtained by resin molding, for example.

振動板340における、積層圧電素子320、および、フレーム350が接合された面とは逆側の面には、流路板360が接合される。流路板360の内部には、彫り込みにより加圧液室361が形成される。加圧液室361内には、流体抵抗部362が配置される。また、流路板360の内部には、加圧液室361を後述するノズル311に連通させる連通口363が形成される。流路板360は、例えば、シリコン単結晶基板を用いて形成される。また、流体抵抗部362、加圧液室361となる彫り込み、および、連通口363となる貫通口は、エッチング工法でパターニングすることにより形成することができる。この場合、エッチングで残された部分が加圧液室361の隔壁3611となる。また、エッチング幅を狭くする部分を設け、これを流体抵抗部362とすることができる。   A flow path plate 360 is joined to the surface of the vibration plate 340 opposite to the surface to which the laminated piezoelectric element 320 and the frame 350 are joined. A pressurized liquid chamber 361 is formed in the flow path plate 360 by engraving. A fluid resistance unit 362 is disposed in the pressurized liquid chamber 361. In addition, a communication port 363 that allows the pressurized liquid chamber 361 to communicate with a nozzle 311 described later is formed inside the flow path plate 360. The flow path plate 360 is formed using, for example, a silicon single crystal substrate. Further, the engraving that becomes the fluid resistance portion 362 and the pressurized liquid chamber 361 and the through-hole that becomes the communication port 363 can be formed by patterning by an etching method. In this case, the portion left by etching becomes the partition wall 3611 of the pressurized liquid chamber 361. Further, a portion for narrowing the etching width can be provided, and this can be used as the fluid resistance portion 362.

流路板360における、振動板340と接合された面とは逆側の面には、ノズル板370が接合される。ノズル板370は、金属材料、例えば、電鋳工法によるNiメッキ膜等で形成したものであり、液滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル311が多数形成される。ノズル311の内部形状(内側形状)は、ホーン形状(略円柱形状又は略円錘台形状でもよい)とされる。また、このノズル311の径は液滴の出口側の直径において、例えば20μm〜35μmとされる。また各列のノズルピッチは例えば、300dpiとされる。また、ノズル板370の吐出面(ノズル表面側)には、吐出される薬液に対して撥水性を有する表面処理を施した撥水層372が設けられる。撥水層372としては、例えば、フッ素樹脂、シリコン樹脂等の樹脂層、Ni/PTFE共析膜等の金属/樹脂複合膜などを用いることができる。   The nozzle plate 370 is bonded to the surface of the flow path plate 360 opposite to the surface bonded to the vibration plate 340. The nozzle plate 370 is formed of a metal material, for example, an Ni plating film formed by an electroforming method, and a large number of nozzles 311 that are fine discharge ports for causing droplets to fly are formed. The internal shape (inner shape) of the nozzle 311 is a horn shape (may be a substantially cylindrical shape or a substantially frustum shape). The diameter of the nozzle 311 is, for example, 20 μm to 35 μm in the diameter on the outlet side of the droplet. The nozzle pitch of each row is set to 300 dpi, for example. Further, a water repellent layer 372 is provided on the discharge surface (nozzle surface side) of the nozzle plate 370, which has been subjected to a surface treatment having water repellency for the discharged chemical liquid. As the water repellent layer 372, for example, a resin layer such as a fluororesin or a silicon resin, a metal / resin composite film such as a Ni / PTFE eutectoid film, or the like can be used.

<2−2.動作態様>
続いて、塗布ヘッド31の動作態様について、図4、図5に加え、図6を参照しながら説明する。図6は、制御信号Qの波形の一例を模式的に示す図である。
<2-2. Mode of operation>
Next, the operation mode of the coating head 31 will be described with reference to FIG. 6 in addition to FIGS. FIG. 6 is a diagram schematically showing an example of the waveform of the control signal Q. As shown in FIG.

塗布ヘッド31は、積層圧電素子320の駆動部321に制御信号Qが与えられることによって、液滴を吐出する。すなわち、塗布ヘッド31において、積層圧電素子320の駆動部321に制御信号Qが印加されると、駆動部321に積層方向の変位が生起し、振動板340を介して加圧液室361が加圧され、その内部の圧力が上昇する。これによって、ノズル311から1滴(1ドロップ)の液滴が吐出される。   The coating head 31 ejects droplets when a control signal Q is given to the driving unit 321 of the multilayer piezoelectric element 320. That is, in the coating head 31, when the control signal Q is applied to the drive unit 321 of the multilayer piezoelectric element 320, displacement in the stacking direction occurs in the drive unit 321, and the pressurized liquid chamber 361 is applied via the vibration plate 340. Pressure increases. Accordingly, one droplet (one drop) is ejected from the nozzle 311.

液滴の吐出が終了すると、これに伴って、加圧液室361内の圧力が低減し、薬液の流れの慣性と駆動パルスの放電過程によって加圧液室361内に負圧が発生する。すると、薬液タンク41から供給され、共通液室351に流入した薬液が、共通液室351から、流入口343、および、流体抵抗部362を経て、加圧液室361内に充填される。   When the discharge of the liquid droplets is completed, the pressure in the pressurized liquid chamber 361 is reduced accordingly, and a negative pressure is generated in the pressurized liquid chamber 361 due to the inertia of the flow of the chemical liquid and the discharge process of the driving pulse. Then, the chemical liquid supplied from the chemical liquid tank 41 and flowing into the common liquid chamber 351 is filled into the pressurized liquid chamber 361 from the common liquid chamber 351 through the inflow port 343 and the fluid resistance portion 362.

流体抵抗部362は、吐出後の残留圧力振動の減衰に効果が有る反面、表面張力による再充填(リフィル)に対して抵抗になる。流体抵抗部を適宜に選択することで、残留圧力の減衰とリフィル時間のバランスが取れ、次のインク滴吐出動作に移行するまでの時間(駆動周期)を短くできる。   The fluid resistance unit 362 has an effect on the attenuation of the residual pressure vibration after ejection, but becomes resistant to refilling (refill) due to surface tension. By appropriately selecting the fluid resistance portion, it is possible to balance the attenuation of the residual pressure and the refill time, and to shorten the time (drive cycle) until the transition to the next ink droplet ejection operation.

図6に例示されるように、制御信号Qは、一定周期で送出されるパルス信号である。ここで、ノズル311から単位時間に吐出される液滴(ドロップ)の個数は制御信号Qの周波数(以下「駆動周波数」という)Fと一致する。つまり、1個のノズル311から単位時間あたりに吐出される液滴の重さ(以下「単位吐出量」という)Rは、ノズル311から吐出される1ドロップの液滴の重さ(以下「ドロップマス」という)Mに駆動周波数Fを乗じた値となる(単位吐出量R=ドロップマスM×駆動周波数F)。   As illustrated in FIG. 6, the control signal Q is a pulse signal transmitted at a constant period. Here, the number of droplets discharged from the nozzle 311 per unit time coincides with the frequency (hereinafter referred to as “driving frequency”) F of the control signal Q. That is, the weight of droplets discharged per unit time from one nozzle 311 (hereinafter referred to as “unit discharge amount”) R is the weight of one drop of droplets discharged from nozzle 311 (hereinafter referred to as “drop”). It is a value obtained by multiplying M by a driving frequency F (unit discharge amount R = drop mass M × driving frequency F).

なお、制御信号Qにおいて、パルス波における高電位と低電位との電位差(駆動電圧K)を大きくすると、ノズル311から吐出される際の液滴の速度が大きくなり、ドロップマスMも大きくなる。ここで、安定した塗布性能を実現するためには、ノズル311から吐出される際の液滴の速度が、約7(m/s)となっていることが好ましい。そこで、薬液塗布装置1においては、制御信号Qの駆動電圧Kは、ノズル311から吐出される液滴の速度が目標速度(例えば、7(m/s))となるような値に予め調整され、当該値に固定される。   In the control signal Q, when the potential difference (drive voltage K) between the high potential and the low potential in the pulse wave is increased, the speed of the droplet when ejected from the nozzle 311 increases, and the drop mass M also increases. Here, in order to realize a stable coating performance, it is preferable that the speed of the liquid droplets ejected from the nozzle 311 is about 7 (m / s). Therefore, in the chemical solution applicator 1, the drive voltage K of the control signal Q is adjusted in advance to a value such that the speed of the droplet ejected from the nozzle 311 becomes a target speed (for example, 7 (m / s)). , The value is fixed.

<3.貼付剤の製造処理>
上記の構成を有する薬液塗布装置1において行われる貼付剤の製造処理の流れを、図7を参照しながら説明する。図7は、薬液塗布装置1における貼付剤の製造工程を説明するための図である。
<3. Manufacturing process of patch>
The flow of the manufacturing process of the patch performed in the chemical solution coating apparatus 1 having the above configuration will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a diagram for explaining a manufacturing process of the patch in the chemical solution coating apparatus 1.

なお、以下の処理は、制御部60のCPU61が処理プログラムPを実行して薬液塗布装置1の各動作機構を制御することによって進行する。すなわち、制御部60には、薬液塗布装置1が備える各動作機構を制御することによって、塗布処理を実行させる「塗布処理制御部601」としての機能が実現される(図2参照)。   Note that the following processing proceeds when the CPU 61 of the control unit 60 executes the processing program P to control each operation mechanism of the chemical coating apparatus 1. That is, the control unit 60 realizes a function as an “application processing control unit 601” for executing the application process by controlling each operation mechanism provided in the chemical solution applying apparatus 1 (see FIG. 2).

塗布処理制御部601は、搬送機構10に、予め決定された搬送速度Vで支持体92を水平方向に沿って搬送開始させるとともに、シート供給機構(図示省略)に支持体92の上面に一定間隔で円板形状の基材シート90を供給開始させる。送りローラ11から送り出されて水平方向に搬送される支持体92の上面には粘着剤91の層が予め形成されており、供給された基材シート90は支持体92上に貼設される。つまり、支持体92上に貼設された基材シート90が、塗布ヘッド31に対して搬送速度Vで相対移動することになる。支持体92上に貼設されたそれぞれの基材シート90の位置は位置検出センサ20によって検出されて塗布処理制御部601に伝達される。   The coating processing control unit 601 causes the transport mechanism 10 to start transporting the support 92 along the horizontal direction at a predetermined transport speed V, and causes the sheet supply mechanism (not shown) to have a fixed interval on the upper surface of the support 92. Then, the supply of the disk-shaped base sheet 90 is started. A layer of adhesive 91 is formed in advance on the upper surface of the support 92 that is fed from the feed roller 11 and conveyed in the horizontal direction, and the supplied base sheet 90 is stuck on the support 92. That is, the base sheet 90 affixed on the support 92 moves relative to the coating head 31 at the transport speed V. The position of each base material sheet 90 affixed on the support 92 is detected by the position detection sensor 20 and transmitted to the coating processing control unit 601.

塗布処理制御部601は、位置検出センサ20から取得した位置情報に基づいて塗布ヘッド31を制御して、ノズル311から、レシピにて指定された種類の薬液の液滴を基材シート90に向けて吐出させる。具体的には、塗布処理制御部601は、塗布ヘッド31の積層圧電素子320に、予め決定された駆動周波数Fの制御信号Qを与える。すると、塗布ヘッド31は、与えられた制御信号Qに従って、薬剤を含む薬液を微滴化して微小液滴を生成し、生成された液滴を、搬送機構10によって搬送される基材シート90に向けて吐出する。これにより、基材シート90に薬剤層95が形成されることになる。   The application processing control unit 601 controls the application head 31 based on the position information acquired from the position detection sensor 20, and directs droplets of the chemical liquid of the type specified in the recipe from the nozzle 311 toward the base sheet 90. To discharge. Specifically, the coating process control unit 601 gives a control signal Q having a predetermined driving frequency F to the laminated piezoelectric element 320 of the coating head 31. Then, according to the given control signal Q, the coating head 31 atomizes the chemical liquid containing the medicine to generate a fine droplet, and the generated droplet is transferred to the base sheet 90 conveyed by the conveyance mechanism 10. Dispense towards. As a result, the drug layer 95 is formed on the base sheet 90.

ただし、基材シート90にどのような塗布パターンで薬剤層を形成するかは例えばレシピにより指定されており、塗布処理制御部601は、レシピにて指定された塗布パターンが記述された2値の画像データを後述する一連の処理により取得する。そして、当該取得した画像データに基づいて塗布ヘッド31に設けられた全てのノズル311についてオン/オフのタイミングを制御する。すなわち、ある領域(画像データにおいて「1」とされている領域)に薬液を吹き付けるときには、その領域に対応するノズル311の積層圧電素子320に制御信号Qを印加して当該ノズル311から薬液の液滴を噴出させる。これによって、基材シート90に1ラインずつ薬液の塗布パターンが形成されていく。なお、塗布ヘッド31からの薬液の吐出タイミングは、例えば、エンコーダ12からのパルス信号に基づいて特定される。これによって、基材シート90に、レシピに指定された塗布パターンで薬剤層95が形成されることになる。   However, what kind of application pattern is to be formed on the base sheet 90 is specified by a recipe, for example, and the application processing control unit 601 has a binary value describing the application pattern specified by the recipe. Image data is acquired by a series of processes described later. Then, on / off timing is controlled for all nozzles 311 provided in the coating head 31 based on the acquired image data. That is, when a chemical solution is sprayed onto a certain region (a region that is set to “1” in the image data), a control signal Q is applied to the laminated piezoelectric element 320 of the nozzle 311 corresponding to that region, and the chemical solution from the nozzle 311 is applied. Let the drops spout out. Thereby, the application pattern of the chemical solution is formed on the base sheet 90 line by line. In addition, the discharge timing of the chemical | medical solution from the coating head 31 is specified based on the pulse signal from the encoder 12, for example. As a result, the drug layer 95 is formed on the base sheet 90 with the application pattern specified in the recipe.

薬剤層95が形成された基材シート90は乾燥ユニット50に搬送され、ここで薬液の乾燥処理を施される。さらにその後、基材シート90には剥離ライナーが貼り合わされ、支持体92が所定のサイズに裁断されて貼付剤とされる。以上の処理によって、貼付剤が製造される。   The base material sheet 90 on which the drug layer 95 is formed is conveyed to the drying unit 50 where the chemical solution is dried. Thereafter, a release liner is bonded to the base sheet 90, and the support 92 is cut into a predetermined size to obtain a patch. The patch is manufactured by the above processing.

<4.パラメータの決定>
上述したとおり、薬液塗布装置1の制御部60において実現される塗布処理制御部601は、塗布ヘッド31と基材シート90とを相対的に移動させつつ(具体的には、搬送機構10に基材シート90を搬送させつつ)、塗布ヘッド31から基材シート90に向けて薬液の液滴を吐出させることによって、塗布処理を実行させる。ところで、この塗布処理においては、基材シート90上に薬剤が求められる量だけ正確に塗布される必要がある。ここで、基材シート90に塗布される薬液の量は、各ノズル311から単位時間あたりに吐出される液滴の量(単位吐出量R)、塗布ヘッド31と基材シート90との相対移動速度(具体的には、基材シート90の搬送速度V))等から規定される。ただし、上述したとおり、単位吐出量Rは、塗布ヘッド31に印加される制御信号Qの周波数(駆動周波数F)とノズル311から吐出される液滴のドロップマスMとから規定される。したがって、基材シート90上に薬剤が求められる量だけ正確に塗布されるためには、塗布処理におけるパラメータ(具体的には、塗布処理において塗布ヘッド31に印加する制御信号Qの駆動周波数Fの値、および、塗布処理において搬送機構10に基材シート90を搬送させる搬送速度Vの値)が適切な値に決定されている必要がある。制御部60には、塗布処理に先立って、これらのパラメータを決定する「パラメータ決定部602」としての機能が実現される(図2参照)。パラメータ決定部602は、例えば、CPU61がROM62上のプログラムPを実行することにより実現される。
<4. Determination of parameters>
As described above, the coating processing control unit 601 realized in the control unit 60 of the chemical liquid coating apparatus 1 moves the coating head 31 and the base sheet 90 relatively (specifically, based on the transport mechanism 10). While the material sheet 90 is being conveyed), the application process is executed by discharging droplets of the chemical solution from the application head 31 toward the base sheet 90. By the way, in this application process, it is necessary to apply the medicine on the substrate sheet 90 by the required amount accurately. Here, the amount of the chemical applied to the base sheet 90 is the amount of droplets discharged from each nozzle 311 per unit time (unit discharge amount R), and the relative movement between the coating head 31 and the base sheet 90. Speed (specifically, the conveyance speed V of the base sheet 90)) and the like. However, as described above, the unit discharge amount R is defined by the frequency (drive frequency F) of the control signal Q applied to the coating head 31 and the drop mass M of the droplets discharged from the nozzle 311. Therefore, in order to accurately apply the medicine on the base sheet 90 in the required amount, the parameters in the coating process (specifically, the drive frequency F of the control signal Q applied to the coating head 31 in the coating process) The value and the value of the conveyance speed V that causes the conveyance mechanism 10 to convey the base sheet 90 in the coating process) need to be determined to be appropriate values. In the control unit 60, a function as a “parameter determination unit 602” for determining these parameters is realized prior to the coating process (see FIG. 2). The parameter determination unit 602 is realized by the CPU 61 executing the program P on the ROM 62, for example.

<4−1.変数の関係>
パラメータ決定部602について具体的に説明する前に、パラメータの決定に関連する各種の変数の関係について説明する。上述したとおり、塗布ヘッド31は、基材シート90に対して搬送速度Vで相対移動しながら薬液の液滴を吐出して、基材シート90上に薬剤層95を形成する。ここで、基材シート90上において、単位面積にあたりに塗布される薬液の重さ(以下「塗布量」という)Aは、搬送速度Vと、ノズル311の単位吐出量Rとを用いて、下記(式1)で表される。ただし、(式1)中、「A」は塗布量、「R」は単位吐出量R、「V」は搬送速度Vである。また、「d」は、塗布ヘッド31におけるノズル311の配列ピッチ(以下「ノズルピッチd」という)であり、装置に固有の定数である。
<4-1. Relationship of variables>
Before specifically describing the parameter determination unit 602, the relationship between various variables related to parameter determination will be described. As described above, the coating head 31 discharges the liquid droplets of the chemical liquid while moving relative to the base sheet 90 at the transport speed V, thereby forming the drug layer 95 on the base sheet 90. Here, the weight (hereinafter referred to as “application amount”) A of the chemical solution applied per unit area on the base sheet 90 is expressed as follows using the conveyance speed V and the unit discharge amount R of the nozzle 311. It is represented by (Formula 1). However, in (Formula 1), “A” is the coating amount, “R” is the unit discharge amount R, and “V” is the conveyance speed V. “D” is an arrangement pitch of the nozzles 311 in the coating head 31 (hereinafter referred to as “nozzle pitch d”), and is a constant unique to the apparatus.

A=(1/d)×(R/V) ・・・(式1)
ここで、上述したとおり、単位吐出量Rは、ドロップマスMに制御信号Qの駆動周波数Fを乗じた値である(R=M×F)。
A = (1 / d) × (R / V) (Formula 1)
Here, as described above, the unit discharge amount R is a value obtained by multiplying the drop mass M by the drive frequency F of the control signal Q (R = M × F).

ところで、従来においては、ドロップマスMは、塗布ヘッド31に印加される制御信号Qの駆動電圧Kのみに依存する値とみなされていた。したがって、駆動電圧Kが一定値に固定されている場合、駆動周波数Fが変化しても、ドロップマスMは一定のままとみなされていた。このようにみなした場合、塗布量Aは、「c」を定数として、下記(式2)で表されることになる。ただし、(式2)中、「F」は駆動周波数Fである。   Conventionally, the drop mass M is regarded as a value that depends only on the drive voltage K of the control signal Q applied to the coating head 31. Therefore, when the driving voltage K is fixed to a constant value, the drop mass M is considered to be constant even if the driving frequency F changes. In this way, the coating amount A is expressed by the following (formula 2), where “c” is a constant. However, in (Formula 2), “F” is the drive frequency F.

A=c×(F/V) ・・・(式2)
この場合、塗布量Aを例えばn倍にしたい場合、搬送速度Vを変化させずに駆動周波数Fをn倍に変更すればよいことになる。ところが、実際は、搬送速度Vを変化させずに駆動周波数Fをn倍すると、塗布量Aが元のn倍より僅かに多く(あるいは、僅かに少なく)なってしまう。この誤差の原因は、駆動周波数Fの変化に伴って、ドロップマスMが微小に変動するという事情にある。
A = c × (F / V) (Formula 2)
In this case, when it is desired to increase the coating amount A by, for example, n times, the drive frequency F may be changed to n times without changing the conveyance speed V. However, in practice, if the driving frequency F is multiplied by n without changing the transport speed V, the coating amount A is slightly larger (or slightly smaller) than the original n times. The cause of this error is that the drop mass M fluctuates slightly as the drive frequency F changes.

図8には、2種類の薬液A,Bのそれぞれについて、制御信号Qの駆動周波数Fの変化に伴うドロップマスMの変動の様子が模式的に示されている。ただし、ここでは、制御信号Qの駆動電圧Kは一定とされている。ここに示されるように、ドロップマスMは、駆動周波数Fの変化に応じて不規則に変動する。また、この変動の態様は、薬液の種類によって様々に異なったものとなる。また、この変動の態様は、塗布ヘッド31の特性によっても異なったものとなる。   FIG. 8 schematically shows how the drop mass M fluctuates with changes in the drive frequency F of the control signal Q for each of the two types of chemicals A and B. However, here, the drive voltage K of the control signal Q is constant. As shown here, the drop mass M fluctuates irregularly according to changes in the driving frequency F. Moreover, the mode of this variation varies depending on the type of chemical solution. Further, this variation mode varies depending on the characteristics of the coating head 31.

例えば、図8に例示される薬液Aにおいて、駆動周波数Fが「2000(Hz)」の場合のドロップマスMは、「7.40×10-9(g/drop)」である。この場合、単位吐出量Rは、「14.8×10-6(g/sec)」となる。一方、駆動周波数Fがその2倍の「4000(Hz)」となると、ドロップマスMが「6.60×10-9(g/drop)」に変化する。この場合、単位吐出量Rは、「26.4×10-6(g/sec)」となる。つまり、駆動周波数Fを2倍しても、単位吐出量Rは約1.8倍にしかならない。この場合、塗布量Aを2倍にしようとして、搬送速度Vを変化させずに駆動周波数Fを2倍にしても、実際は、元の塗布量の約1.8倍の塗布量しか得られていないことになってしまう。 For example, in the drug solution A illustrated in FIG. 8, the drop mass M when the drive frequency F is “2000 (Hz)” is “7.40 × 10 −9 (g / drop)”. In this case, the unit discharge amount R is “14.8 × 10 −6 (g / sec)”. On the other hand, when the driving frequency F becomes “4000 (Hz)”, which is twice that, the drop mass M changes to “6.60 × 10 −9 (g / drop)”. In this case, the unit discharge amount R is “26.4 × 10 −6 (g / sec)”. That is, even if the drive frequency F is doubled, the unit discharge amount R is only about 1.8 times. In this case, even if the driving frequency F is doubled without changing the transport speed V in order to double the coating amount A, only about 1.8 times the original coating amount is actually obtained. It will not be.

つまり、求められる量の薬液を正確に塗布するためには、駆動周波数Fの変化に伴うドロップマスMの変動を考慮して、塗布処理のパラメータ(搬送速度Vの値、駆動周波数Fの値)を決定する必要がある。   In other words, in order to accurately apply the required amount of the chemical solution, application processing parameters (values of the conveyance speed V and values of the driving frequency F) are considered in consideration of fluctuations in the drop mass M accompanying changes in the driving frequency F. Need to be determined.

<4−2.変動情報>
制御部60の備える記憶装置(例えば固定ディスク64)には、駆動周波数Fの変化に伴うドロップマスMの変動を示す情報(変動情報)が保持されており、パラメータ決定部602は、この変動情報を用いて塗布処理のパラメータを決定する。ただし、上述したとおり、駆動周波数Fの変化に伴うドロップマスMの変動の態様は、薬液の種類、および、塗布ヘッド31の特性によって様々に異なったものとなる。そこで、制御部60には、自装置において使用可能性のある各種の薬液のそれぞれについて、当該薬液を自装置が備える塗布ヘッド31から吐出させた場合の、駆動周波数Fの変化に伴うドロップマスMの変動情報が保持されている。
<4-2. Fluctuation information>
The storage device (for example, the fixed disk 64) provided in the control unit 60 holds information (variation information) indicating the variation of the drop mass M associated with the change in the drive frequency F, and the parameter determination unit 602 includes the variation information. Is used to determine the parameters of the coating process. However, as described above, the manner in which the drop mass M fluctuates with the change in the drive frequency F varies depending on the type of chemical and the characteristics of the coating head 31. Accordingly, the control unit 60 causes the drop mass M associated with the change in the driving frequency F when each of the various chemical solutions that can be used in the own device to be discharged from the coating head 31 provided in the own device. Fluctuation information is held.

なお、変動情報は、装置の出荷時に固定ディスク64に格納されてもよい。また、記録媒体RMから読取装置68によって読み出されて固定ディスク64に格納されてもよい。また、オペレータが入力装置67を介して入力した情報を制御部60が受け付けて、固定ディスク64に格納してもよい。   Note that the fluctuation information may be stored in the fixed disk 64 at the time of shipment of the apparatus. Further, it may be read from the recording medium RM by the reading device 68 and stored in the fixed disk 64. Further, the information input by the operator via the input device 67 may be received by the control unit 60 and stored in the fixed disk 64.

図9には、固定ディスク64に保持される変動情報が模式的に示されている。この実施の形態においては、変動情報はテーブル(変動情報テーブルT)の形で保持される。   FIG. 9 schematically shows variation information held in the fixed disk 64. In this embodiment, the variation information is held in the form of a table (variation information table T).

固定ディスク64には、1以上の変動情報テーブルTが格納されており、各変動情報テーブルTには、互いに異なる種類の薬液の変動情報が記述されている。なお、図9においては、4個の変動情報テーブルT(すなわち、4種類の薬液についての変動情報テーブルT)が保持される様子が示されているが、さらに多数の(あるいは、小数の)変動情報テーブルTが保持されてもよい。   The fixed disk 64 stores one or more variation information tables T, and each variation information table T describes variation information of different types of chemical solutions. Note that FIG. 9 shows that four variation information tables T (that is, variation information tables T for four types of chemical solutions) are held, but a larger number (or a smaller number) of variations. An information table T may be held.

各変動情報テーブルTにおいては、駆動周波数の複数の代表値f(i)(i=1,2,・・・)と、複数の代表値f(i)(i=1,2,・・・)のそれぞれと対応するドロップマスMの値m(i)(i=1,2,・・・)とが、対応付けられて記憶される。ただし、代表値f(i)と対応するドロップマスMの値m(i)とは、駆動周波数Fを当該代表値f(i)とした制御信号Qを積層圧電素子320に与えた場合に、ノズル311から吐出される液滴のドロップマスMの値である。例えば、図9に例示される変動情報テーブルTによると、薬液Aにおいて、駆動周波数Fを代表値f(1)=2000(Hz)とした制御信号Qを積層圧電素子320に与えた場合に、ノズル311から吐出される液滴のドロップマスMの値m(1)は、「7.50×10-9(g/drop)」であることがわかる。 In each variation information table T, a plurality of representative values f (i) (i = 1, 2,...) And a plurality of representative values f (i) (i = 1, 2,...). ) And the corresponding value m (i) (i = 1, 2,...) Of the drop mass M are stored in association with each other. However, the value m (i) of the drop mass M corresponding to the representative value f (i) is obtained when the control signal Q having the driving frequency F as the representative value f (i) is given to the multilayer piezoelectric element 320. This is the value of the drop mass M of the liquid droplets ejected from the nozzle 311. For example, according to the variation information table T illustrated in FIG. 9, in the chemical solution A, when the control signal Q having the drive frequency F as the representative value f (1) = 2000 (Hz) is given to the laminated piezoelectric element 320, It can be seen that the value m (1) of the drop mass M of the droplet discharged from the nozzle 311 is “7.50 × 10 −9 (g / drop)”.

なお、各変動情報テーブルTにおいてはさらに細かい刻み幅(あるいは、さらに粗い刻み幅)で駆動周波数Fの代表値f(i)が保持されてもよい。また、刻み幅は一定でなくともよい。また、さらに広い数値範囲(あるいは、さらに狭い数値範囲)で代表値f(i)が保持されてもよい。後に明らかになるように、各テーブルTに保持される代表値f(i)の個数が多くなるほど、オペレータが選択可能なパラメータ候補の数が多くなる。   In each variation information table T, the representative value f (i) of the drive frequency F may be held with a finer step size (or a coarser step size). Further, the step size need not be constant. Further, the representative value f (i) may be held in a wider numerical range (or a narrower numerical range). As will become clear later, as the number of representative values f (i) held in each table T increases, the number of parameter candidates that can be selected by the operator increases.

<4−3.パラメータの決定>
パラメータ決定部602は、塗布処理の実行に先立って、固定ディスク64に保持された変動情報テーブルTを用いて、当該塗布処理のパラメータ(駆動周波数Fの値、搬送速度Vの値)を決定する。以下において、パラメータ決定部602がパラメータを決定する処理の流れについて具体的に説明する。なお、以下においては、パラメータを決定する処理の態様を2種類説明する。薬液塗布装置1においては、以下に説明する2つの態様のうちのどちらの態様でパラメータが決定されてもよい。また、オペレータがどちらの態様でパラメータを決定するかを選択できる構成としてもよい。
<4-3. Determination of parameters>
Prior to executing the coating process, the parameter determination unit 602 uses the variation information table T held on the fixed disk 64 to determine the parameters of the coating process (values of the driving frequency F and the conveyance speed V). . Hereinafter, the flow of processing in which the parameter determination unit 602 determines parameters will be specifically described. In the following, two types of processing modes for determining parameters will be described. In the chemical solution coating apparatus 1, the parameter may be determined by any one of the two modes described below. Moreover, it is good also as a structure which can select in which aspect an operator determines a parameter.

<4−3−1.第1の態様>
第1の態様に係る処理の流れについて、図10を参照しながら具体的に説明する。図10は、当該処理の流れを示す図である。
<4-3-1. First Aspect>
The processing flow according to the first aspect will be specifically described with reference to FIG. FIG. 10 is a diagram showing the flow of the processing.

パラメータ決定部602は、まず、レシピに基づいて(あるいは、オペレータからの入力に基づいて)、塗布処理において基材シート90に塗布すべき薬液の種類(対象薬液)、および、基材シート90に塗布すべき薬液の量(目標塗布量)Arを特定する(ステップS11)。   The parameter determination unit 602 first determines the type of chemical solution (target chemical solution) to be applied to the base sheet 90 in the coating process based on the recipe (or based on the input from the operator) and the base sheet 90. The amount (target application amount) Ar of the chemical solution to be applied is specified (step S11).

続いて、パラメータ決定部602は、対象薬液の変動情報を取得する(ステップS12)。具体的には、対象薬液の変動情報を記述した変動情報テーブル(対象変動情報テーブル)Tを、固定ディスク64から読み出す。   Subsequently, the parameter determination unit 602 obtains variation information of the target chemical solution (Step S12). Specifically, a fluctuation information table (target fluctuation information table) T describing fluctuation information of the target chemical solution is read from the fixed disk 64.

続いて、パラメータ決定部602は、対象変動情報テーブルTを用いて、基材シート90に目標塗布量Arの薬液を塗布可能な、駆動周波数Fの値と搬送速度Vの値との組み合わせを算出し、これをパラメータ候補として取得する(ステップS13)。   Subsequently, the parameter determination unit 602 uses the target variation information table T to calculate a combination of the value of the driving frequency F and the value of the conveyance speed V that can apply the chemical solution of the target application amount Ar to the base sheet 90. This is acquired as a parameter candidate (step S13).

ステップS13の処理について、図11を参照しながら具体的に説明する。図11は、当該処理を説明するための図である。   The process of step S13 will be specifically described with reference to FIG. FIG. 11 is a diagram for explaining the processing.

パラメータ決定部602は、対象変動情報テーブルTに保持されている複数の駆動周波数の代表値f(i)(i=1,2,・・・)のうちのいずれかを読み出してこれを対象代表値f(i)とし、対象代表値f(i)と対になる搬送速度の値(以下「搬送速度v(i)」と示す)を算出する。「対象代表値f(i)と対になる搬送速度v(i)」とは、制御信号Qの駆動周波数Fを対象代表値f(i)として塗布処理を行う場合に、目標塗布量Arの薬液を塗布可能な搬送速度Vの値である。すなわち、駆動周波数Fが対象代表値f(i)であるような制御信号Qを与えて塗布ヘッド31から液滴を吐出させた場合に、基材シート90に目標塗布量Arの薬液を塗布するために必要な搬送速度Vの値である。   The parameter determination unit 602 reads out one of the representative values f (i) (i = 1, 2,...) Of the plurality of drive frequencies held in the target variation information table T and uses this as the target representative. As a value f (i), a transport speed value (hereinafter referred to as “transport speed v (i)”) that is paired with the target representative value f (i) is calculated. The “conveying speed v (i) paired with the target representative value f (i)” is the target application amount Ar when the application processing is performed with the drive frequency F of the control signal Q as the target representative value f (i). It is the value of the conveyance speed V which can apply | coat a chemical | medical solution. That is, when a droplet is ejected from the coating head 31 by giving a control signal Q such that the drive frequency F is the target representative value f (i), a chemical solution with a target coating amount Ar is applied to the base sheet 90. This is the value of the conveyance speed V required for this.

対象代表値f(i)と対になる搬送速度v(i)を算出する態様を具体的に説明する。まず、パラメータ決定部602は、対象変動情報テーブルTを参照して、駆動周波数Fが対象代表値f(i)であるような制御信号Qを与えて塗布ヘッド31から液滴を吐出させた場合の単位吐出量r(i)を算出する。ただし、単位吐出量r(i)は、対象代表値f(i)に、これと対応するドロップマスMの値m(i)(すなわち、対象変動情報テーブルTにおいて対象代表値f(i)と対応付けられているドロップマスMの値m(i))を乗じた値により与えられる。   A mode of calculating the conveyance speed v (i) that is paired with the target representative value f (i) will be specifically described. First, when the parameter determination unit 602 refers to the target variation information table T and gives a control signal Q such that the drive frequency F is the target representative value f (i), the droplets are ejected from the coating head 31. The unit discharge amount r (i) is calculated. However, the unit discharge amount r (i) corresponds to the target representative value f (i) and the value m (i) of the drop mass M corresponding thereto (that is, the target representative value f (i) in the target variation information table T). It is given by a value obtained by multiplying the value m (i)) of the associated drop mass M.

続いて、パラメータ決定部602は、算出された単位吐出量r(i)と、上記(式1)とに基づいて、目標塗布量Arを達成可能な搬送速度v(i)を算出する。すなわち、目標塗布量Arを達成可能な搬送速度v(i)は、下記(式3)で与えられる。   Subsequently, the parameter determination unit 602 calculates a conveyance speed v (i) that can achieve the target application amount Ar based on the calculated unit discharge amount r (i) and the above (Equation 1). That is, the conveyance speed v (i) that can achieve the target coating amount Ar is given by the following (formula 3).

v(i)=(1/d)×(r(i)/Ar) ・・・(式3)
パラメータ決定部602は、算出された搬送速度v(i)を、対象代表値f(i)と対にして、1つのパラメータ候補p(i)として取得する。パラメータ候補p(i)は、目標塗布量Arの薬液を塗布可能なパラメータの組み合わせとなっている。
v (i) = (1 / d) × (r (i) / Ar) (Formula 3)
The parameter determination unit 602 acquires the calculated transport speed v (i) as a single parameter candidate p (i) in a pair with the target representative value f (i). The parameter candidate p (i) is a combination of parameters capable of applying the chemical solution of the target application amount Ar.

例えば、対象薬液が「薬液A」であり、目標塗布量Arが「8.55×10-6(g/mm2)」であるとする。また、ノズルピッチdが「0.08467(mm)」であるとする。この場合、代表値f(2)=4000(Hz)と対になる搬送速度v(2)は次のように算出される。すなわち、駆動周波数Fが対象代表値f(2)=4000(Hz)であるような制御信号Qを与えて塗布ヘッド31から液滴を吐出させた場合の単位吐出量r(2)は、対象変動情報テーブルTを参照することにより「26.4×10-9(g/sec)」と算出される(4000(drop/sec)×6.60×10-6(g/drop)=26.4×10-9(g/sec))。そして、算出された単位吐出量r(2)に基づいて、目標塗布量Arを達成可能な搬送速度v(2)は、「36.47(mm/sec)」と算出される(v(i)=(1/0.08467(mm))×(26.4×10-9(g/sec)/8.55×10-6(g/mm2)))。パラメータ決定部602は、算出された搬送速度v(2)の値「36.47(mm/sec)」を、対象代表値f(2)の値「4000(Hz)」と対にして、1つのパラメータ候補p(2)=(4000(Hz),36.47(mm/sec))として取得する。パラメータ候補p(2)は、目標塗布量Ar=8.55×10-6(g/mm2)の薬液を塗布可能なパラメータの組み合わせとなっている。 For example, it is assumed that the target chemical solution is “chemical solution A” and the target application amount Ar is “8.55 × 10 −6 (g / mm 2 )”. Further, it is assumed that the nozzle pitch d is “0.08467 (mm)”. In this case, the conveyance speed v (2) paired with the representative value f (2) = 4000 (Hz) is calculated as follows. That is, the unit discharge amount r (2) in the case where droplets are discharged from the coating head 31 by giving a control signal Q such that the drive frequency F is the target representative value f (2) = 4000 (Hz) is the target By referring to the fluctuation information table T, “26.4 × 10 −9 (g / sec)” is calculated (4000 (drop / sec) × 6.60 × 10 −6 (g / drop) = 26. 4 × 10 −9 (g / sec)). Based on the calculated unit discharge amount r (2), the conveyance speed v (2) that can achieve the target application amount Ar is calculated as “36.47 (mm / sec)” (v (i ) = (1 / 0.08467 (mm)) × (26.4 × 10 −9 (g / sec) /8.55×10 −6 (g / mm 2 ))). The parameter determination unit 602 pairs the calculated transport speed v (2) value “36.47 (mm / sec)” with the target representative value f (2) value “4000 (Hz)” and sets 1 Two parameter candidates p (2) = (4000 (Hz), 36.47 (mm / sec)) are acquired. The parameter candidate p (2) is a combination of parameters capable of applying a chemical solution having a target application amount Ar = 8.55 × 10 −6 (g / mm 2 ).

パラメータ決定部602は、対象変動情報テーブルTに保持されている複数の代表値f(i)(i=1,2,・・・)の全てについて、各代表値f(i)と対になる搬送速度v(i)を算出して、パラメータ候補p(i)を取得する。つまり、対象変動情報テーブルTにおいて保持されている複数の代表値f(i)(i=1,2,・・・)と同数個のパラメータ候補p(i)(i=1,2,・・・)が取得されることになる。   The parameter determination unit 602 makes a pair with each representative value f (i) for all of the plurality of representative values f (i) (i = 1, 2,...) Held in the target variation information table T. The conveyance speed v (i) is calculated to obtain the parameter candidate p (i). That is, the same number of parameter candidates p (i) (i = 1, 2,...) As the plurality of representative values f (i) (i = 1, 2,...) Held in the target variation information table T.・) Will be acquired.

再び図10を参照する。ステップS13の処理が終了すると、続いて、パラメータ決定部602は、ステップS13で取得された複数のパラメータ候補p(i)(i=1,2,・・・)を表示装置66に一覧表示させて(ステップS14)、オペレータにいずれかのパラメータ候補を選択させる。図12には、この一覧表示画面の構成例が示されている。ここでは、複数のパラメータ候補p(i)(i=1,2,・・・)のそれぞれについて、各パラメータ候補p(i)で組み合わされている駆動周波数(すなわち、いずれかの代表値f(i))と搬送速度v(i)とが対になって表示される。   Refer to FIG. 10 again. When the processing in step S13 is completed, the parameter determination unit 602 subsequently causes the display device 66 to display a list of the plurality of parameter candidates p (i) (i = 1, 2,...) Acquired in step S13. (Step S14), the operator is allowed to select any parameter candidate. FIG. 12 shows a configuration example of this list display screen. Here, for each of a plurality of parameter candidates p (i) (i = 1, 2,...), The driving frequency combined with each parameter candidate p (i) (that is, any representative value f ( i)) and the conveyance speed v (i) are displayed in pairs.

なお、一覧表示画面には、駆動周波数f(i)、および、搬送速度v(i)に加え、当該駆動周波数f(i)に対応するドロップマスm(i)、目標塗布量Ar、搬送方向ピッチ(基材シート90の搬送方向(ノズル311の配列方向と直交する方向)について、塗布される液滴のピッチであり、搬送速度v(i)を周波数f(i)で割った値により得られる。)、搬送方向解像度(基材シート90の搬送方向について、1インチあたりに塗布される液滴の個数であり、25.4(mm/inch)を搬送方向ピッチで割った値により得られる。)、ノズルピッチd、ノズル数(単位長さあたりのノズル311の個数)等を表示することも好ましい。これらを表示しておけば、オペレータは、例えば、搬送方向に沿う解像度等も参考にしながら、好ましいパラメータを選択することができる。   In the list display screen, in addition to the driving frequency f (i) and the conveyance speed v (i), the drop mass m (i) corresponding to the driving frequency f (i), the target application amount Ar, and the conveyance direction are displayed. The pitch (the transport direction of the base sheet 90 (the direction orthogonal to the arrangement direction of the nozzles 311)) is the pitch of the applied droplets, and is obtained by dividing the transport speed v (i) by the frequency f (i). ), Transport direction resolution (the number of droplets applied per inch in the transport direction of the base sheet 90, and obtained by dividing 25.4 (mm / inch) by the transport direction pitch) .), Nozzle pitch d, number of nozzles (number of nozzles 311 per unit length), and the like are also preferably displayed. If these are displayed, the operator can select preferable parameters with reference to, for example, the resolution along the transport direction.

再び図10を参照する。オペレータが、入力装置67を介して、一覧表示されたパラメータ候補p(i)(i=1,2,・・・)のいずれかを選択すると(ステップS15でYES)、パラメータ決定部602は当該選択操作を受け付けて、選択されたパラメータ候補p(i)において対にされている駆動周波数f(i)と搬送速度v(i)とを、塗布処理に係るパラメータに決定する(ステップS16)。すなわち、選択されたパラメータ候補p(i)の搬送速度v(i)を、塗布処理において搬送機構10を駆動する際の搬送速度Vの値に決定する。また、選択されたパラメータ候補p(i)の駆動周波数f(i)を、塗布処理において塗布ヘッド31を制御する制御信号Qの駆動周波数Fの値に決定する。   Refer to FIG. 10 again. When the operator selects any of the parameter candidates p (i) (i = 1, 2,...) Displayed in a list via the input device 67 (YES in step S15), the parameter determination unit 602 In response to the selection operation, the driving frequency f (i) and the conveyance speed v (i) paired in the selected parameter candidate p (i) are determined as parameters relating to the coating process (step S16). That is, the conveyance speed v (i) of the selected parameter candidate p (i) is determined as the value of the conveyance speed V when driving the conveyance mechanism 10 in the coating process. Further, the drive frequency f (i) of the selected parameter candidate p (i) is determined as the value of the drive frequency F of the control signal Q for controlling the coating head 31 in the coating process.

<4−3−2.第2の態様>
第2の態様に係る処理の流れについて、図13を参照しながら具体的に説明する。図13は、当該処理の流れを示す図である。
<4-3-2. Second Aspect>
The processing flow according to the second aspect will be specifically described with reference to FIG. FIG. 13 is a diagram showing the flow of the processing.

パラメータ決定部602は、まず、レシピに基づいて(あるいは、オペレータからの入力に基づいて)、対象薬液、および、目標塗布量Arを特定する(ステップS21)。   The parameter determination unit 602 first specifies the target chemical solution and the target application amount Ar based on the recipe (or based on the input from the operator) (step S21).

続いて、パラメータ決定部602は、対象薬液の変動情報を取得する(ステップS22)。具体的には、対象薬液の変動情報を記述した変動情報テーブル(対象変動情報テーブル)Tを、固定ディスク64から読み出す。   Subsequently, the parameter determination unit 602 obtains variation information of the target chemical solution (Step S22). Specifically, a fluctuation information table (target fluctuation information table) T describing fluctuation information of the target chemical solution is read from the fixed disk 64.

続いて、パラメータ決定部602は、対象変動情報テーブルTに保持されている複数の駆動周波数の代表値f(i)(i=1,2,・・・)を表示装置66に一覧表示させて、オペレータにいずれかの代表値f(i)を選択させる(ステップS23)。   Subsequently, the parameter determination unit 602 causes the display device 66 to display a list of representative values f (i) (i = 1, 2,...) Of a plurality of drive frequencies held in the target variation information table T. The operator is allowed to select any representative value f (i) (step S23).

オペレータが、入力装置67を介して、一覧表示された複数の代表値f(i)(i=1,2,・・・)のいずれかを選択すると(ステップS23でYES)、パラメータ決定部602は当該選択操作を受け付けて、選択された駆動周波数の代表値f(i)を、塗布処理に係るパラメータに決定する(ステップS24)。すなわち、選択された代表値f(i)を、塗布処理において塗布ヘッド31を制御する制御信号Qの駆動周波数Fの値に決定する。   When the operator selects any of the plurality of representative values f (i) (i = 1, 2,...) Displayed in a list via the input device 67 (YES in step S23), the parameter determination unit 602. Accepts the selection operation, and determines the representative value f (i) of the selected drive frequency as a parameter relating to the coating process (step S24). That is, the selected representative value f (i) is determined as the value of the drive frequency F of the control signal Q for controlling the coating head 31 in the coating process.

続いて、パラメータ決定部602は、選択された代表値f(i)と対になる搬送速度Vの値(搬送速度v(i))を算出する(ステップS25)。すなわち、制御信号Qの駆動周波数Fを選択された代表値f(i)として塗布処理を行う場合に、目標塗布量Arの薬液を塗布可能な搬送速度Vの値を算出する。代表値f(i)と対になる搬送速度v(i)を算出する態様は、上述した通りである。   Subsequently, the parameter determination unit 602 calculates the value of the conveyance speed V (conveyance speed v (i)) that is paired with the selected representative value f (i) (step S25). That is, when the application process is performed using the drive frequency F of the control signal Q as the selected representative value f (i), the value of the conveyance speed V at which the chemical solution of the target application amount Ar can be applied is calculated. The mode of calculating the conveyance speed v (i) that is paired with the representative value f (i) is as described above.

選択された代表値f(i)と対になる搬送速度v(i)が算出されると、パラメータ決定部602は、当該算出された搬送速度v(i)を、塗布処理に係るパラメータに決定する(ステップS26)。すなわち、算出された搬送速度v(i)を、塗布処理において搬送機構10を駆動する際の搬送速度Vの値に決定する。   When the transport speed v (i) that is paired with the selected representative value f (i) is calculated, the parameter determination unit 602 determines the calculated transport speed v (i) as a parameter related to the coating process. (Step S26). That is, the calculated conveyance speed v (i) is determined as the value of the conveyance speed V when driving the conveyance mechanism 10 in the coating process.

<4−4.パラメータの再決定>
パラメータ決定部602が塗布処理のパラメータ(駆動周波数Fの値、搬送速度Vの値)を決定すると、塗布処理制御部601が薬液塗布装置1の各部を制御することにより、決定されたパラメータで塗布処理が開始される。塗布処理制御部601の制御下で行われる塗布処理の具体的な態様は上述したとおりである。
<4-4. Redetermination of parameters>
When the parameter determining unit 602 determines the parameters of the coating process (the value of the driving frequency F and the value of the conveyance speed V), the coating process control unit 601 controls each part of the chemical solution coating apparatus 1 to apply with the determined parameters. Processing begins. The specific mode of the coating process performed under the control of the coating process control unit 601 is as described above.

ところで、パラメータ決定部602は、塗布処理が実行されている間にオペレータから目標塗布量Arの変更指示(あるいは、駆動周波数Fの変更指示)を受け付けると、パラメータを再決定する。以下において、パラメータ決定部602がパラメータを再決定する処理の流れについて具体的に説明する。   By the way, when the parameter determination unit 602 receives an instruction to change the target application amount Ar (or an instruction to change the drive frequency F) from the operator while the application process is being executed, the parameter determination unit 602 determines the parameters again. Hereinafter, the flow of processing in which the parameter determination unit 602 re-determines parameters will be described in detail.

<4−4−1.目標塗布量の変更が指示された場合>
オペレータが、目標塗布量Arの変更を指示した場合に、パラメータ決定部602がパラメータを再決定する処理の流れについて、図14を参照しながら具体的に説明する。図14は、当該処理の流れを示す図である。
<4-4-1. When an instruction to change the target application amount is given>
The flow of processing in which the parameter determination unit 602 re-determines the parameter when the operator instructs to change the target application amount Ar will be specifically described with reference to FIG. FIG. 14 is a diagram showing the flow of the processing.

オペレータが入力装置67を介して新たな目標塗布量(以下「新たな目標塗布量Ar’」と示す)を入力した場合、パラメータ決定部602は、当該入力を受け付ける(ステップS31)。   When the operator inputs a new target application amount (hereinafter referred to as “new target application amount Ar ′”) via the input device 67, the parameter determination unit 602 receives the input (step S31).

続いて、パラメータ決定部602は、駆動周波数Fを現状の設定値のままとしつつ(すなわち、制御信号Qの駆動周波数Fを変更せずに)、基材シート90に新たな目標塗布量Ar’の薬液を塗布可能な搬送速度Vの値(以下「新たな搬送速度v’」と示す)を算出する(ステップS32)。制御信号Qの駆動周波数Fが変更されない場合、ノズル311の単位吐出量Rは変化しない。したがって、上記(式1)に基づいて、新たな目標塗布量Ar’の薬液を塗布可能な新たな搬送速度v’は、下記(式4)で与えられることになる。ただし、(式4)中、「v」は現在設定中の搬送速度Vを表す。また、「Ar」は変更前の目標塗布量Ar、「Ar’」は新たな目標塗布量Ar’である。   Subsequently, the parameter determination unit 602 keeps the drive frequency F at the current set value (that is, without changing the drive frequency F of the control signal Q), and adds a new target application amount Ar ′ to the base sheet 90. The value of the conveyance speed V at which the chemical solution can be applied (hereinafter referred to as “new conveyance speed v ′”) is calculated (step S32). When the drive frequency F of the control signal Q is not changed, the unit discharge amount R of the nozzle 311 does not change. Therefore, based on the above (Formula 1), a new transport speed v ′ at which a new target coating amount Ar ′ can be applied is given by the following (Formula 4). However, in (Equation 4), “v” represents the currently set conveyance speed V. “Ar” is the target application amount Ar before change, and “Ar ′” is the new target application amount Ar ′.

v’=(Ar/Ar’)×v ・・・(式4)
すなわち、新たな目標塗布量Ar’が元の目標塗布量Arのx倍であったとすれば、現在設定中の搬送速度Vを(1/x)倍した値を、新たな搬送速度v’として取得することになる。
v ′ = (Ar / Ar ′) × v (Formula 4)
That is, if the new target application amount Ar ′ is x times the original target application amount Ar, a value obtained by multiplying the currently set transfer speed V by (1 / x) is set as the new transfer speed v ′. Will get.

新たな搬送速度v’が算出されると、パラメータ決定部602は、当該算出された新たな搬送速度v’を、塗布処理に係る新たなパラメータに再決定する(ステップS33)。すなわち、塗布処理において搬送機構10を駆動する際の搬送速度Vを、算出された新たな搬送速度v’に再決定する。   When the new transport speed v ′ is calculated, the parameter determination unit 602 re-determines the calculated new transport speed v ′ as a new parameter related to the coating process (step S33). That is, the transport speed V when driving the transport mechanism 10 in the coating process is re-determined to the calculated new transport speed v ′.

パラメータ決定部602が塗布処理のパラメータ(ここでは、搬送速度Vの値)を再決定すると、塗布処理制御部601が薬液塗布装置1の各部を制御することにより、決定された新たなパラメータの下で塗布処理を実行させる。すなわち、塗布処理制御部601は、積層圧電素子320に与える制御信号Qの駆動周波数Fを変化させずに(すなわち、現状の設定値のままの駆動周波数Fの制御信号Qを積層圧電素子320に与えて)ノズル311から基材シート90に向けて薬液の液滴を吐出させつつ、搬送機構10に基材シート90を搬送させる搬送速度Vを再決定された新たな搬送速度v’に変更して、塗布処理を実行させる。搬送速度Vの変更後は、塗布処理において基材シート90に塗布される薬液の量が、新たな目標塗布量Ar’に変更されることになる。   When the parameter determination unit 602 re-determines the parameters of the coating process (here, the value of the conveyance speed V), the coating process control unit 601 controls each unit of the chemical solution coating apparatus 1 to determine the new parameters that have been determined. The coating process is executed at. That is, the coating process control unit 601 does not change the drive frequency F of the control signal Q given to the multilayer piezoelectric element 320 (that is, the control signal Q of the drive frequency F with the current set value is supplied to the multilayer piezoelectric element 320. (Giving) While the liquid droplets of the chemical solution are ejected from the nozzle 311 toward the base sheet 90, the transport speed V for transporting the base sheet 90 to the transport mechanism 10 is changed to the newly determined transport speed v '. Then, the coating process is executed. After the change in the conveyance speed V, the amount of the chemical applied to the base sheet 90 in the application process is changed to a new target application amount Ar ′.

<4−4−2.駆動周波数の変更が指示された場合>
オペレータが、駆動周波数Fの変更を指示した場合に、パラメータ決定部602がパラメータを再決定する処理の流れについて、図15を参照しながら具体的に説明する。図15は、当該処理の流れを示す図である。
<4-4-2. When instructed to change drive frequency>
A process flow in which the parameter determination unit 602 re-determines the parameter when the operator instructs to change the drive frequency F will be specifically described with reference to FIG. FIG. 15 is a diagram showing the flow of the processing.

オペレータが駆動周波数Fの変更指示を入力した場合、パラメータ決定部602は、当該指示に応じて、対象変動情報テーブルTに保持されている複数の駆動周波数の代表値f(i)(i=1,2,・・・)を表示装置66に一覧表示させて、オペレータにいずれかの代表値f(i)を選択させる(ステップS41)。   When the operator inputs an instruction to change the driving frequency F, the parameter determining unit 602 responds to the instruction with the representative values f (i) (i = 1) of the plurality of driving frequencies held in the target variation information table T. , 2,... Are displayed as a list on the display device 66, and the operator is allowed to select any representative value f (i) (step S41).

オペレータが、入力装置67を介して、一覧表示された複数の代表値f(i)(i=1,2,・・・)のいずれかを選択すると(ステップS41でYES)、パラメータ決定部602は当該選択操作を受け付けて、選択された駆動周波数の代表値f(i)を、塗布処理に係る新たなパラメータに再決定する(ステップS42)。すなわち、塗布処理において塗布ヘッド31を制御する制御信号Qの駆動周波数Fを、選択された代表値f(i)に再決定更する。   When the operator selects any of the plurality of representative values f (i) (i = 1, 2,...) Displayed in a list via the input device 67 (YES in step S41), the parameter determination unit 602 is selected. Accepts the selection operation, and re-determines the representative value f (i) of the selected drive frequency as a new parameter for the coating process (step S42). That is, the drive frequency F of the control signal Q for controlling the coating head 31 in the coating process is redetermined to the selected representative value f (i).

続いて、パラメータ決定部602は、選択された代表値f(i)と対になる搬送速度Vの値(搬送速度v(i))を算出する(ステップS43)。すなわち、制御信号Qの駆動周波数Fを選択された代表値f(i)として塗布処理を行う場合に、目標塗布量Arの薬液を塗布可能な搬送速度Vの値を算出する。代表値f(i)と対になる搬送速度v(i)を算出する態様は、上述した通りである。   Subsequently, the parameter determination unit 602 calculates a value of the conveyance speed V (conveyance speed v (i)) that is paired with the selected representative value f (i) (step S43). That is, when the application process is performed using the drive frequency F of the control signal Q as the selected representative value f (i), the value of the conveyance speed V at which the chemical solution of the target application amount Ar can be applied is calculated. The mode of calculating the conveyance speed v (i) that is paired with the representative value f (i) is as described above.

選択された代表値f(i)と対になる搬送速度v(i)が算出されると、パラメータ決定部602は、当該算出された搬送速度v(i)を、塗布処理に係る新たなパラメータに再決定する(ステップS44)。すなわち、塗布処理において搬送機構10を駆動する際の搬送速度Vを、算出された新たな搬送速度v(i)に再決定する。   When the transport speed v (i) that is paired with the selected representative value f (i) is calculated, the parameter determination unit 602 uses the calculated transport speed v (i) as a new parameter for the coating process. (Step S44). That is, the transport speed V when driving the transport mechanism 10 in the coating process is redetermined to the calculated new transport speed v (i).

パラメータ決定部602が塗布処理のパラメータ(ここでは、駆動周波数Fと搬送速度Vの各値)を再決定すると、塗布処理制御部601が薬液塗布装置1の各部を制御することにより、決定された新たなパラメータの下で塗布処理を実行させる。すなわち、塗布処理制御部601は、積層圧電素子320に与える制御信号Qの駆動周波数Fを再決定された新たな代表値f(i)に変更するとともに、搬送機構10に基材シート90を搬送させる搬送速度Vを再決定された新たな搬送速度v(i)に変更して、塗布処理を実行させる。搬送速度Vおよび駆動周波数Fの変更後においても、塗布処理において基材シート90に塗布される薬液の量は、元の目標塗布量Arのまま維持されることになる。   When the parameter determination unit 602 re-determines the parameters of the coating process (here, the values of the drive frequency F and the conveyance speed V), the coating process control unit 601 is determined by controlling each unit of the chemical solution coating apparatus 1. The coating process is executed under the new parameters. That is, the coating process control unit 601 changes the drive frequency F of the control signal Q given to the laminated piezoelectric element 320 to the new representative value f (i) determined again, and transports the base sheet 90 to the transport mechanism 10. The transfer speed V to be changed is changed to the newly determined new transfer speed v (i), and the coating process is executed. Even after the change of the conveyance speed V and the driving frequency F, the amount of the chemical applied to the base sheet 90 in the application process is maintained at the original target application amount Ar.

<5.効果>
上記の実施の形態に係る薬液塗布装置1によると、パラメータ決定部602が、塗布処理において、塗布ヘッド31と基材シート90とを相対的に移動させる速度(具体的には、基材シート90を移動させる搬送速度V)と、積層圧電素子320に与える制御信号Qの駆動周波数Fとを、変動情報(すなわち、制御信号Qの駆動周波数Fの変化に伴うドロップマスMの変動を記述する情報)を加味して決定するので、基材シート90へ薬液を求められる量だけ正確に塗布することができる。
<5. Effect>
According to the chemical solution coating apparatus 1 according to the above embodiment, the parameter determining unit 602 relatively moves the coating head 31 and the base sheet 90 in the coating process (specifically, the base sheet 90). And the driving frequency F of the control signal Q given to the laminated piezoelectric element 320 are fluctuation information (that is, information describing the fluctuation of the drop mass M accompanying the change of the driving frequency F of the control signal Q). Therefore, the chemical solution can be accurately applied to the base sheet 90 by the required amount.

また、パラメータを決定する上記第1の態様によると、複数のパラメータ候補p(i)(i=1,2,・・・)のうち、オペレータが選択したパラメータ候補p(i)を塗布処理のパラメータとして採用する。したがって、オペレータが所望するとおりの態様で、塗布処理を行うことができる。例えば、オペレータは、定められた時間内に塗布処理を完了させたい場合は、それを実現可能な搬送速度Vの値を有するパラメータ候補p(i)を選択すればよい。また例えば、オペレータは、定められた解像度で塗布処理を実行させたい場合は、それを実現可能な搬送速度Vと駆動周波数Fとの組み合わせを有するパラメータ候補p(i)を選択すればよい。   Further, according to the first mode for determining the parameter, the parameter candidate p (i) selected by the operator among the plurality of parameter candidates p (i) (i = 1, 2,...) Is subjected to the coating process. Adopt as a parameter. Therefore, the coating process can be performed in a manner desired by the operator. For example, if the operator wants to complete the coating process within a predetermined time, the operator may select a parameter candidate p (i) having a value of the conveyance speed V that can realize this. Further, for example, when the operator wants to execute the coating process at a predetermined resolution, the operator may select a parameter candidate p (i) having a combination of the conveyance speed V and the driving frequency F that can realize the application process.

また、パラメータを決定する上記第2の態様によると、複数の代表値f(i)(i=1,2,・・・)のうち、オペレータが選択した値を塗布処理における制御信号Qの駆動周波数Fとして採用するので、オペレータが所望するとおりの態様で塗布処理を行うことができる。   Further, according to the second aspect for determining the parameter, the value selected by the operator among the plurality of representative values f (i) (i = 1, 2,...) Is driven by the control signal Q in the coating process. Since it is adopted as the frequency F, the coating process can be performed in a manner desired by the operator.

また、パラメータ決定部602は、オペレータが目標塗布量Arの変更を指示した場合に、塗布処理において積層圧電素子320に与える制御信号Qの駆動周波数Fを変化させずに、塗布ヘッド31と基材シート90とを相対的に移動させる速度(具体的には、搬送速度V)を変更することによって、塗布量を変更する。この構成によると、ノズル311の単位吐出量Rが変化しないので、簡易かつ正確に、塗布される薬液の量を新たな塗布量に変更することができる。   Further, the parameter determination unit 602 does not change the drive frequency F of the control signal Q given to the laminated piezoelectric element 320 in the coating process when the operator instructs to change the target coating amount Ar, and the coating head 31 and the base material. The coating amount is changed by changing the speed at which the sheet 90 is moved relatively (specifically, the conveyance speed V). According to this configuration, since the unit discharge amount R of the nozzle 311 does not change, the amount of chemical liquid to be applied can be changed to a new application amount simply and accurately.

<6.変動情報の保持態様に係る変形例>
上記の実施の形態においては、変動情報は、テーブルの形で保持されていたが、変動情報は必ずしもテーブルの形で保持されなくともよい。
<6. Modified example of variation information holding mode>
In the above embodiment, the fluctuation information is held in the form of a table, but the fluctuation information does not necessarily have to be held in the form of a table.

図16には、固定ディスク64に保持される変動情報の別の構成例が模式的に示されている。ここでは、変動情報は関数(変動情報関数H)の形で保持される。   FIG. 16 schematically shows another configuration example of the variation information held on the fixed disk 64. Here, the variation information is held in the form of a function (variation information function H).

固定ディスク64には、1以上の変動情報関数Hが記憶されており、各変動情報関数Hには、互いに異なる種類の薬液の変動情報を表している。なお、図16においては、4個の変動情報関数H(すなわち、4種類の薬液についての変動情報関数H)が保持される様子が示されているが、さらに多数の(あるいは、小数の)変動情報関数Hが保持されてもよい。   One or more variation information functions H are stored in the fixed disk 64, and each variation information function H represents variation information of different types of chemical solutions. Note that FIG. 16 shows that four variation information functions H (that is, variation information functions H for four types of chemical solutions) are retained, but a larger number (or a small number) of variations. The information function H may be held.

各変動情報関数Hは、ノズル311に設けられた積層圧電素子320に与える制御信号Qの駆動周波数Fの変化に伴う、ノズル311から吐出されるドロップマスMの変動を表している。なお、変動情報関数Hは、当該変動を近似的に表すものであってもよい。   Each variation information function H represents a variation in the drop mass M ejected from the nozzle 311 in accordance with a change in the drive frequency F of the control signal Q given to the laminated piezoelectric element 320 provided in the nozzle 311. Note that the variation information function H may approximately represent the variation.

変動情報が変動情報関数Hの形で保持されている場合、パラメータ決定部602は、固定ディスク64に保持された変動情報関数Hを用いて、塗布処理のパラメータ(駆動周波数Fの値、搬送速度Vの値)を決定する。当該処理の流れについて、図17を参照しながら具体的に説明する。図17は、当該処理の流れを示す図である。   When the fluctuation information is held in the form of the fluctuation information function H, the parameter determination unit 602 uses the fluctuation information function H held on the fixed disk 64 to apply the coating processing parameters (the value of the driving frequency F, the conveyance speed). V value) is determined. The processing flow will be specifically described with reference to FIG. FIG. 17 is a diagram showing the flow of the processing.

パラメータ決定部602は、まず、レシピに基づいて(あるいは、オペレータからの入力に基づいて)、対象薬液、および、目標塗布量Arを特定する(ステップS51)。   First, the parameter determination unit 602 specifies the target chemical solution and the target application amount Ar based on the recipe (or based on the input from the operator) (step S51).

続いて、パラメータ決定部602は、対象薬液の変動情報を取得する(ステップS52)。具体的には、対象薬液の変動情報を記述した変動情報関数(対象変動情報関数)Hを、固定ディスク64から読み出す。   Subsequently, the parameter determination unit 602 obtains the fluctuation information of the target chemical solution (Step S52). Specifically, the fluctuation information function (target fluctuation information function) H describing the fluctuation information of the target chemical solution is read from the fixed disk 64.

続いて、パラメータ決定部602は、オペレータから、搬送速度Vの値、駆動周波数Fの値のうちのいずれか一方の入力を受け付ける(ステップS53)。オペレータは、搬送速度Vの値、あるいは、駆動周波数Fの値として、任意の数値を指定することができる。   Subsequently, the parameter determination unit 602 accepts an input of one of the value of the conveyance speed V and the value of the drive frequency F from the operator (step S53). The operator can specify an arbitrary numerical value as the value of the conveyance speed V or the value of the driving frequency F.

いま、ステップS53において、オペレータが、入力装置67を介して、駆動周波数Fの値を入力したとする(ステップS54でYES)。この場合、パラメータ決定部602は、当該入力操作を受け付けて、入力された値(以下「入力値f(j)」と示す)を、塗布処理に係るパラメータに決定する(ステップS55)。すなわち、入力値f(j)を、塗布処理において塗布ヘッド31を制御する制御信号Qの駆動周波数Fの値に決定する。   Now, in step S53, it is assumed that the operator inputs the value of the drive frequency F via the input device 67 (YES in step S54). In this case, the parameter determination unit 602 receives the input operation, and determines the input value (hereinafter referred to as “input value f (j)”) as a parameter related to the coating process (step S55). That is, the input value f (j) is determined as the value of the drive frequency F of the control signal Q for controlling the coating head 31 in the coating process.

続いて、パラメータ決定部602は、入力値f(j)と対になる搬送速度Vの値(以下「搬送速度v(j)」と示す)を算出する(ステップS56)。すなわち、制御信号Qの駆動周波数Fを入力値f(j)として塗布処理を行う場合に、目標塗布量Arの薬液を塗布可能な搬送速度Vの値を算出する。   Subsequently, the parameter determination unit 602 calculates a value of the conveyance speed V (hereinafter referred to as “conveyance speed v (j)”) that is paired with the input value f (j) (step S56). That is, when the application process is performed using the drive frequency F of the control signal Q as the input value f (j), the value of the conveyance speed V at which the chemical solution of the target application amount Ar can be applied is calculated.

入力値f(j)と対になる搬送速度v(j)を算出する態様を具体的に説明する。まず、パラメータ決定部602は、対象変動情報関数Hを参照して、駆動周波数Fが入力値f(j)であるような制御信号Qを与えて塗布ヘッド31から液滴を吐出させた場合の単位吐出量r(j)を算出する。ただし、単位吐出量r(j)は、入力値f(j)に、これと対応するドロップマスMの値m(j)(すなわち、対象変動情報関数Hにおいて入力値f(j)に対して与えられるドロップマスMの値m(j))を乗じた値により与えられる。   A mode in which the conveyance speed v (j) that is paired with the input value f (j) is calculated will be specifically described. First, the parameter determination unit 602 refers to the target variation information function H, gives a control signal Q such that the drive frequency F is the input value f (j), and ejects droplets from the coating head 31. A unit discharge amount r (j) is calculated. However, the unit discharge amount r (j) corresponds to the input value f (j) and the value m (j) of the drop mass M corresponding thereto (that is, the input value f (j) in the target variation information function H). It is given by a value obtained by multiplying the value m (j)) of the given drop mass M.

続いて、パラメータ決定部602は、算出された単位吐出量r(j)と、上記(式1)とに基づいて、目標塗布量Arを達成可能な搬送速度v(j)を算出する。すなわち、目標塗布量Arを達成可能な搬送速度v(j)は、下記(式5)で与えられる。   Subsequently, the parameter determination unit 602 calculates a conveyance speed v (j) that can achieve the target application amount Ar based on the calculated unit discharge amount r (j) and the above (Equation 1). That is, the conveyance speed v (j) that can achieve the target application amount Ar is given by the following (formula 5).

v(j)=(1/d)×(r(j)/Ar) ・・・(式5)
入力値f(j)と対になる搬送速度v(j)が算出されると、パラメータ決定部602は、当該算出された搬送速度v(j)を、塗布処理に係るパラメータに決定する(ステップS57)。すなわち、算出された搬送速度v(j)を、塗布処理において搬送機構10を駆動する際の搬送速度Vの値に決定する。これにより、塗布処理に係るパラメータ(搬送速度Vの値、駆動周波数Fの値)がそれぞれ決定されることになる。
v (j) = (1 / d) × (r (j) / Ar) (Formula 5)
When the conveyance speed v (j) that is paired with the input value f (j) is calculated, the parameter determination unit 602 determines the calculated conveyance speed v (j) as a parameter related to the coating process (Step S1). S57). That is, the calculated conveyance speed v (j) is determined as the value of the conveyance speed V when driving the conveyance mechanism 10 in the coating process. As a result, the parameters (the value of the conveyance speed V and the value of the driving frequency F) relating to the coating process are determined.

一方、ステップS53において、オペレータが、入力装置67を介して、搬送速度Vの値を入力したとする(ステップS54でNO)。この場合、パラメータ決定部602は、当該入力操作を受け付けて、入力された値(以下「入力値v(j)」と示す)を、塗布処理に係るパラメータに決定する(ステップS58)。すなわち、入力値v(j)を、塗布処理において搬送機構10を駆動する際の搬送速度Vの値に決定する。   On the other hand, in step S53, it is assumed that the operator inputs the value of the conveyance speed V via the input device 67 (NO in step S54). In this case, the parameter determining unit 602 receives the input operation, and determines the input value (hereinafter referred to as “input value v (j)”) as a parameter related to the coating process (step S58). That is, the input value v (j) is determined as the value of the conveyance speed V when driving the conveyance mechanism 10 in the coating process.

続いて、パラメータ決定部602は、入力値v(j)と対になる駆動周波数Fの値(以下「駆動周波数f(j)」と示す)を算出する(ステップS59)。ここで、「入力値v(j)と対になる駆動周波数f(j)」とは、搬送速度Vを入力値v(j)として塗布処理を行う場合に、目標塗布量Arの薬液を塗布可能な駆動周波数Fの値である。   Subsequently, the parameter determining unit 602 calculates a value of the driving frequency F (hereinafter, referred to as “driving frequency f (j)”) that is paired with the input value v (j) (step S59). Here, the “driving frequency f (j) paired with the input value v (j)” means that the chemical solution of the target application amount Ar is applied when the application process is performed with the conveyance speed V as the input value v (j). This is a possible drive frequency F value.

入力値v(j)と対になる駆動周波数f(j)を算出する態様を具体的に説明する。まず、パラメータ決定部602は、上記(式1)に基づいて、搬送速度Vが入力値v(j)である場合に、目標塗布量Arを達成するために必要な単位吐出量r(j)を算出する。すなわち、目標塗布量Arを達成可能するために必要な単位吐出量r(j)は、下記(式6)で与えられる。   A mode in which the drive frequency f (j) that is paired with the input value v (j) is calculated will be specifically described. First, the parameter determination unit 602 determines the unit discharge amount r (j) necessary to achieve the target application amount Ar when the conveyance speed V is the input value v (j) based on the above (Equation 1). Is calculated. That is, the unit discharge amount r (j) necessary to achieve the target application amount Ar is given by the following (formula 6).

r(j)=d×Ar×v(j) ・・・(式6)
必要な単位吐出量r(j)が算出されると、パラメータ決定部602は、対象変動情報関数Hを参照して、算出された単位吐出量r(j)を与える駆動周波数Fの値を特定する。すなわち、その駆動周波数Fの値に、これと対応するドロップマスMの値(すなわち、対象変動情報関数Hにおいてその駆動周波数Fの値に対して与えられるドロップマスMの値)を乗じた値が、単位吐出量r(j)となるような駆動周波数の値を特定する。そして、特定された駆動周波数Fの値を、入力値v(j)と対になる駆動周波数f(j)として取得する。
r (j) = d × Ar × v (j) (Formula 6)
When the necessary unit discharge amount r (j) is calculated, the parameter determination unit 602 refers to the target variation information function H and specifies the value of the drive frequency F that gives the calculated unit discharge amount r (j). To do. That is, a value obtained by multiplying the value of the drive frequency F by the value of the drop mass M corresponding thereto (that is, the value of the drop mass M given to the value of the drive frequency F in the target variation information function H). Then, the value of the driving frequency that becomes the unit discharge amount r (j) is specified. Then, the specified value of the driving frequency F is acquired as the driving frequency f (j) paired with the input value v (j).

入力値v(j)と対になる駆動周波数f(j)が取得されると、パラメータ決定部602は、当該取得された駆動周波数f(j)を、塗布処理に係るパラメータに決定する(ステップS60)。すなわち、取得された駆動周波数fを、塗布処理において塗布ヘッド31を制御する制御信号Qの駆動周波数Fの値に決定する。これにより、塗布処理に係るパラメータ(搬送速度Vの値、駆動周波数Fの値)がそれぞれ決定されることになる。   When the driving frequency f (j) paired with the input value v (j) is acquired, the parameter determination unit 602 determines the acquired driving frequency f (j) as a parameter related to the coating process (step S60). That is, the obtained drive frequency f is determined as the value of the drive frequency F of the control signal Q for controlling the coating head 31 in the coating process. As a result, the parameters (the value of the conveyance speed V and the value of the driving frequency F) relating to the coating process are determined.

なお、ここでも、パラメータ決定部602が塗布処理のパラメータ(駆動周波数Fの値、搬送速度Vの値)を決定すると、塗布処理制御部601が薬液塗布装置1の各部を制御することにより、決定されたパラメータで塗布処理が開始される。また、パラメータ決定部602は、塗布処理が実行されている間にオペレータから、駆動周波数Fの変更指示、あるいは、搬送速度Vの変更指示を受け付けると、上記のステップS53〜ステップS60を実行することによりパラメータを再決定する。   In this case as well, when the parameter determination unit 602 determines the parameters for the coating process (the value of the driving frequency F and the value of the conveyance speed V), the coating process control unit 601 determines the parameters by controlling each unit of the chemical solution coating apparatus 1. The coating process is started with the set parameters. In addition, when the parameter determination unit 602 receives an instruction to change the drive frequency F or an instruction to change the conveyance speed V from the operator while the coating process is being executed, the parameter determination unit 602 executes the above steps S53 to S60. Re-determine parameters.

上記の態様によると、オペレータが入力した値を塗布処理における制御信号Qの駆動周波数Fとして採用するので、オペレータが所望するとおりの態様で塗布処理を行うことができる。また、オペレータが入力した値を、塗布処理において塗布ヘッド31と基材シート90とを相対的に移動させる相対移動速度(具体的には、搬送速度V)として採用するので、オペレータが所望するとおりの態様で塗布処理を行うことができる。   According to the above aspect, since the value input by the operator is adopted as the drive frequency F of the control signal Q in the coating process, the coating process can be performed in a mode desired by the operator. Further, the value input by the operator is adopted as a relative movement speed (specifically, the conveyance speed V) for relatively moving the coating head 31 and the base sheet 90 in the coating process. The coating treatment can be carried out in the manner of

<7.その他の変形例>
上記の実施の形態に係る薬液塗布装置1の各構成要素は、上記に説明した態様に限らない。例えば、上記の各実施の形態においては、制御部60はCPU61を備える構成としたが、これを例えばFPGAに代えてもよい。
<7. Other variations>
Each component of the chemical | medical solution coating device 1 which concerns on said embodiment is not restricted to the aspect demonstrated above. For example, in each of the embodiments described above, the control unit 60 includes the CPU 61, but this may be replaced with, for example, an FPGA.

また、上記の実施の形態においては、塗布ヘッド31において液滴を吐出する方式として、積層ピエゾドロップオンデマンド方式のインクジェットヘッドを用いていたが、液滴を吐出する方式はこれに限定されるものではなく、制御信号Qを印加することにより微小液滴を生成して噴出するものであればよい。   In the above-described embodiment, a multilayer piezo drop on-demand ink jet head is used as a method for ejecting droplets in the coating head 31, but the method for ejecting droplets is limited to this. Instead, any device that generates and ejects microdroplets by applying the control signal Q may be used.

また、上記の実施の形態に係る薬液塗布装置1においては、基材シート90を塗布ヘッド31に対して相対的に移動させることによって、基材シート90と塗布ヘッド31とを相対的に移動させていたが、基材シート90を動かさずに、基材シート90に対して塗布ヘッド31を相対的に移動させることによって、基材シート90と塗布ヘッド31とを相対的に移動させてもよい。   Moreover, in the chemical solution coating apparatus 1 according to the above-described embodiment, the base sheet 90 and the coating head 31 are moved relatively by moving the base sheet 90 relative to the coating head 31. However, the base sheet 90 and the coating head 31 may be moved relatively by moving the coating head 31 relative to the base sheet 90 without moving the base sheet 90. .

また、上記の実施の形態に係る薬液塗布装置1において、塗布ユニット30が、塗布ヘッド31を複数個備えてもよい。1個の塗布ユニット30に複数個の塗布ヘッド31を設けることによって、解像度を高めることができる。例えば、300dpiの塗布ヘッド31をそのノズルが互い違いになるように配置すれば、600dpiの解像度を実現することができる。また、薬液塗布装置1において、1以上の塗布ヘッド31を備える塗布ユニット30を複数個設けてもよい。   In the chemical solution coating apparatus 1 according to the above-described embodiment, the coating unit 30 may include a plurality of coating heads 31. By providing a plurality of coating heads 31 in one coating unit 30, the resolution can be increased. For example, if the 300 dpi coating head 31 is arranged so that its nozzles are staggered, a resolution of 600 dpi can be realized. Further, in the chemical solution coating apparatus 1, a plurality of coating units 30 including one or more coating heads 31 may be provided.

また、上記の実施の形態に係る薬液塗布装置1は、粘着剤91が積層された支持体92上に供給された基材シート90上に、薬液を塗布する構成であったが、粘着剤91に直接薬液を塗布して、粘着剤91に薬液を含浸させる構成であってもよい。この場合、粘着剤(粘着層)91は、ゴム系粘着剤、ビニル系粘着剤、アクリル系粘着剤等とする。   Moreover, although the chemical | medical solution coating device 1 which concerns on said embodiment was a structure which apply | coats a chemical | medical solution on the base material sheet 90 supplied on the support body 92 with which the adhesive 91 was laminated | stacked, the adhesive 91 Alternatively, the chemical solution may be directly applied to the adhesive 91 and impregnated with the chemical solution. In this case, the adhesive (adhesive layer) 91 is a rubber adhesive, a vinyl adhesive, an acrylic adhesive, or the like.

1 薬液塗布装置
10 搬送機構
31 塗布ヘッド
311 ノズル
320 積層圧電素子
60 制御部
601 塗布処理制御部
602 パラメータ決定部
90 基材シート
95 薬剤層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Chemical solution coating device 10 Conveyance mechanism 31 Coating head 311 Nozzle 320 Multilayer piezoelectric element 60 Control part 601 Application | coating process control part 602 Parameter determination part 90 Base material sheet 95 Drug layer

Claims (12)

駆動素子が設けられたノズルを備える塗布ヘッドから、前記塗布ヘッドに対して相対的に移動する媒体に向けて薬剤を含む薬液の液滴を吐出させることにより、前記媒体に前記薬液を塗布する薬液塗布方法であって、
a)前記駆動素子に与える制御信号の周波数の変化に伴う、前記ノズルから吐出される液滴量の変動情報を取得する工程と、
b)塗布処理において前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させる相対移動速度と、当該塗布処理において前記駆動素子に与える制御信号の周波数とを、前記変動情報を用いて決定する工程と、
c)前記b)工程で決定された相対移動速度で前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させつつ、前記b)工程で決定された周波数の制御信号を前記駆動素子に与えて前記ノズルから前記媒体に向けて前記薬液の液滴を吐出させることによって、塗布処理を実行させる工程と、
を備える薬液塗布方法。
A chemical solution for applying the chemical solution to the medium by discharging a liquid droplet of the chemical solution containing the drug from a coating head including a nozzle provided with a drive element toward a medium that moves relative to the coating head. Application method comprising:
a) obtaining fluctuation information of a droplet amount ejected from the nozzle in accordance with a change in frequency of a control signal applied to the drive element;
b) determining a relative movement speed for relatively moving the coating head and the medium in the coating process, and a frequency of a control signal to be given to the driving element in the coating process, using the variation information;
c) While relatively moving the coating head and the medium at the relative movement speed determined in the step b), the nozzle is supplied with a control signal having the frequency determined in the step b) to the driving element. A step of performing a coating process by discharging droplets of the chemical solution from the medium toward the medium; and
A chemical solution application method comprising:
請求項1に記載の薬液塗布方法であって、
前記変動情報が、
周波数の複数の代表値のそれぞれと、周波数を当該代表値とした制御信号を前記駆動素子に与えた場合に前記ノズルから吐出される液滴量とを対応付けて記憶したテーブルの形で保持されており、
前記b)工程において、
前記複数の代表値のそれぞれについて、周波数を当該代表値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を前記変動情報に基づいて算出し、当該算出された値を当該代表値と対にしてパラメータ候補として取得し、
前記複数の代表値に基づいて取得された複数の前記パラメータ候補のうち、オペレータにより選択された一のパラメータ候補において対にされている前記代表値と前記算出された値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する、
薬液塗布方法。
It is the chemical | medical solution application method of Claim 1, Comprising:
The variation information is
Each of the plurality of representative values of the frequency is held in the form of a table in which the amount of droplets ejected from the nozzle is stored in association with each other when a control signal having the frequency as the representative value is given to the drive element. And
In the step b)
For each of the plurality of representative values, when performing a coating process using the frequency as the representative value, a value of a relative movement speed at which a target application amount of the chemical solution can be applied to the medium is calculated based on the variation information, and the calculation is performed. The obtained value is paired with the representative value to obtain as a parameter candidate,
Among the plurality of parameter candidates acquired based on the plurality of representative values, the representative value paired in one parameter candidate selected by the operator and the calculated value are used in the application process. The frequency and the relative movement speed are determined respectively.
Chemical solution application method.
請求項1または2に記載の薬液塗布方法であって、
前記変動情報が、
周波数の複数の代表値のそれぞれと、周波数を当該代表値とした制御信号を前記駆動素子に与えた場合に前記ノズルから吐出される液滴量とを対応付けて記憶したテーブルの形で保持されており、
前記b)工程において、
前記複数の代表値のうち、オペレータが周波数の値として選択した一の代表値について、周波数を当該代表値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を前記変動情報に基づいて算出し、
オペレータにより選択された前記代表値と前記算出された値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する、
薬液塗布方法。
It is the chemical | medical solution application method of Claim 1 or 2,
The variation information is
Each of the plurality of representative values of the frequency is held in the form of a table in which the amount of droplets ejected from the nozzle is stored in association with each other when a control signal having the frequency as the representative value is given to the drive element. And
In the step b)
Of the plurality of representative values, for one representative value selected by the operator as a frequency value, the relative movement speed at which the target application amount of the chemical can be applied to the medium when the application process is performed using the frequency as the representative value. A value is calculated based on the variation information,
The representative value selected by an operator and the calculated value are respectively determined as the frequency and the relative movement speed in the coating process.
Chemical solution application method.
請求項1から3のいずれかに記載の薬液塗布方法であって、
d)オペレータが目標塗布量の変更を指示した場合に、
周波数を現状の設定値のままとしつつ前記媒体に指示された新たな目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を算出し、当該算出された値を前記塗布処理における新たな相対移動速度に再決定する工程と、
e)前記駆動素子に与える制御信号の周波数を変化させずに前記ノズルから前記媒体に向けて前記薬液の液滴を吐出させつつ、前記d)工程で再決定された前記新たな相対移動速度で前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させることによって、前記塗布処理を実行させる工程と、
を備える薬液塗布方法。
It is a chemical | medical solution application method in any one of Claim 1 to 3,
d) When the operator instructs to change the target application amount,
Calculate the value of the relative movement speed at which the chemical solution of the new target application amount instructed to the medium can be applied while keeping the frequency at the current set value, and use the calculated value as the new relative movement in the application process. Re-determining the speed,
e) While discharging the liquid droplet of the chemical liquid from the nozzle toward the medium without changing the frequency of the control signal applied to the drive element, the new relative movement speed re-determined in the step d) A step of performing the application process by relatively moving the application head and the medium; and
A chemical solution application method comprising:
請求項1または4に記載の薬液塗布方法であって、
前記変動情報が、
前記駆動素子に与える制御信号の周波数の変化に伴う、前記ノズルから吐出される液滴量の変動を表す関数の形で保持されており、
前記b)工程において、
オペレータが周波数の値として入力した値について、周波数を当該入力値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を前記変動情報に基づいて算出し、
前記入力値と前記算出された値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する、
薬液塗布方法。
It is a chemical | medical solution application method of Claim 1 or 4,
The variation information is
Held in the form of a function representing the variation in the amount of liquid droplets ejected from the nozzle in accordance with the change in the frequency of the control signal applied to the drive element,
In the step b)
For the value input by the operator as the frequency value, when performing the coating process using the frequency as the input value, the value of the relative movement speed capable of applying the target application amount of the chemical solution to the medium is calculated based on the variation information,
The input value and the calculated value are determined as the frequency and the relative movement speed in the coating process, respectively.
Chemical solution application method.
請求項1、4、5のいずれかに記載の薬液塗布方法であって、
前記変動情報が、
前記駆動素子に与える制御信号の周波数の変化に伴う、前記ノズルから吐出される液滴量の変動を表す関数の形で保持されており、
前記b)工程において、
オペレータが相対移動速度の値として入力した値について、相対移動速度を前記入力値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な制御信号の周波数の値を前記変動情報に基づいて算出し、
前記算出された値と前記入力値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する、
薬液塗布方法。
It is a chemical | medical solution application method in any one of Claims 1, 4, and 5,
The variation information is
Held in the form of a function representing the variation in the amount of liquid droplets ejected from the nozzle in accordance with the change in the frequency of the control signal applied to the drive element,
In the step b)
With respect to the value input as the value of the relative movement speed by the operator, the value of the frequency of the control signal capable of applying the target application amount of the chemical solution to the medium is used as the variation information when the application process is performed using the relative movement speed as the input value. Based on
The calculated value and the input value are determined as the frequency and the relative movement speed in the coating process, respectively.
Chemical solution application method.
媒体に向けて、駆動素子が設けられたノズルから薬剤を含む薬液を液滴として吐出する塗布ヘッドと、
前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させる相対移動機構と、
前記駆動素子に与える制御信号の周波数の変化に伴う、前記ノズルから吐出される液滴量の変動情報を記憶する変動情報記憶部と、
塗布処理に先立って、当該塗布処理において前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させる相対移動速度と、当該塗布処理において前記駆動素子に与える制御信号の周波数とを、前記変動情報を用いて決定するパラメータ決定部と、
前記相対移動機構を制御して、前記パラメータ決定部により決定された相対移動速度で前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させつつ、前記パラメータ決定部により決定された周波数の制御信号を前記駆動素子に与えて前記ノズルから前記媒体に向けて前記薬液の液滴を吐出させることによって、塗布処理を実行させる塗布処理制御部と、
を備える薬液塗布装置。
An application head that discharges a chemical solution containing a drug as droplets from a nozzle provided with a drive element toward a medium;
A relative movement mechanism for relatively moving the coating head and the medium;
A variation information storage unit that stores variation information of the amount of liquid droplets ejected from the nozzle in accordance with a change in frequency of a control signal applied to the driving element;
Prior to the coating process, a relative movement speed for relatively moving the coating head and the medium in the coating process and a frequency of a control signal given to the drive element in the coating process are determined using the variation information. A parameter determining unit to determine;
The relative movement mechanism is controlled so that the coating head and the medium are relatively moved at the relative movement speed determined by the parameter determination unit, and the control signal having the frequency determined by the parameter determination unit is transmitted. An application process control unit configured to execute an application process by ejecting liquid droplets of the chemical solution from the nozzle toward the medium by being supplied to a drive element;
A chemical application device comprising:
請求項7に記載の薬液塗布装置であって、
前記変動情報が、
周波数の複数の代表値のそれぞれと、周波数を当該代表値とした制御信号を前記駆動素子に与えた場合に前記ノズルから吐出される液滴量とを対応付けて記憶したテーブルの形で保持されており、
前記パラメータ決定部が、
前記複数の代表値のそれぞれについて、周波数を当該代表値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を前記変動情報に基づいて算出し、当該算出された値を当該代表値と対にしてパラメータ候補として取得し、
前記複数の代表値に基づいて取得された複数の前記パラメータ候補のうち、オペレータにより選択された一のパラメータ候補において対にされている前記代表値と前記算出された値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する、
薬液塗布装置。
It is a chemical | medical solution coating device of Claim 7, Comprising:
The variation information is
Each of the plurality of representative values of the frequency is held in the form of a table in which the amount of droplets ejected from the nozzle is stored in association with each other when a control signal having the frequency as the representative value is given to the drive element. And
The parameter determination unit
For each of the plurality of representative values, when performing a coating process using the frequency as the representative value, a value of a relative movement speed at which a target application amount of the chemical solution can be applied to the medium is calculated based on the variation information, and the calculation is performed. The obtained value is paired with the representative value to obtain as a parameter candidate,
Among the plurality of parameter candidates acquired based on the plurality of representative values, the representative value paired in one parameter candidate selected by the operator and the calculated value are used in the application process. The frequency and the relative movement speed are determined respectively.
Chemical solution applicator.
請求項7または8に記載の薬液塗布装置であって、
前記変動情報が、
周波数の複数の代表値のそれぞれと、周波数を当該代表値とした制御信号を前記駆動素子に与えた場合に前記ノズルから吐出される液滴量とを対応付けて記憶したテーブルの形で保持されており、
前記パラメータ決定部が、
前記複数の代表値のうち、オペレータが周波数の値として選択した一の代表値について、周波数を当該代表値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を前記変動情報に基づいて算出し、
オペレータにより選択された前記代表値と前記算出された値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する、
薬液塗布装置。
It is a chemical | medical solution application apparatus of Claim 7 or 8,
The variation information is
Each of the plurality of representative values of the frequency is held in the form of a table in which the amount of droplets ejected from the nozzle is stored in association with each other when a control signal having the frequency as the representative value is given to the drive element. And
The parameter determination unit
Of the plurality of representative values, for one representative value selected by the operator as a frequency value, the relative movement speed at which the target application amount of the chemical can be applied to the medium when the application process is performed using the frequency as the representative value. A value is calculated based on the variation information,
The representative value selected by an operator and the calculated value are respectively determined as the frequency and the relative movement speed in the coating process.
Chemical solution applicator.
請求項7から9のいずれかに記載の薬液塗布装置であって、
前記パラメータ決定部が、
オペレータが前記目標塗布量の変更を指示した場合に、
周波数を現状の設定値のままとしつつ前記媒体に指示された新たな目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を算出し、当該算出された値を前記塗布処理における新たな相対移動速度に再決定し、
前記塗布処理制御部が、
前記駆動素子に与える制御信号の周波数を変化させずに前記ノズルから前記媒体に向けて前記薬液の液滴を吐出させつつ、前記パラメータ決定部が再決定した前記新たな相対移動速度で前記塗布ヘッドと前記媒体とを相対的に移動させることによって、前記塗布処理を実行させる、
薬液塗布装置。
A chemical solution coating apparatus according to any one of claims 7 to 9,
The parameter determination unit
When an operator instructs to change the target application amount,
Calculate the value of the relative movement speed at which the chemical solution of the new target application amount instructed to the medium can be applied while keeping the frequency at the current set value, and use the calculated value as the new relative movement in the application process. Redetermined to speed,
The coating process control unit
The application head at the new relative movement speed re-determined by the parameter determination unit while discharging the liquid droplet of the chemical liquid from the nozzle toward the medium without changing the frequency of the control signal applied to the drive element. And moving the medium relative to each other to cause the coating process to be executed.
Chemical solution applicator.
請求項7または10に記載の薬液塗布装置であって、
前記変動情報が、
前記駆動素子に与える制御信号の周波数の変化に伴う、前記ノズルから吐出される液滴量の変動を表す関数の形で保持されており、
前記パラメータ決定部が、
オペレータが周波数の値として入力した値について、周波数を当該入力値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液を塗布可能な相対移動速度の値を前記変動情報に基づいて算出し、
前記入力値と前記算出された値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する、
薬液塗布装置。
It is a chemical | medical solution application device of Claim 7 or 10,
The variation information is
Held in the form of a function representing the variation in the amount of liquid droplets ejected from the nozzle in accordance with the change in the frequency of the control signal applied to the drive element,
The parameter determination unit
For the value input by the operator as the frequency value, when performing the coating process using the frequency as the input value, the value of the relative movement speed capable of applying the target application amount of the chemical solution to the medium is calculated based on the variation information,
The input value and the calculated value are determined as the frequency and the relative movement speed in the coating process, respectively.
Chemical solution applicator.
請求項7、10、11のいずれかに記載の薬液塗布装置であって、
前記変動情報が、
前記駆動素子に与える制御信号の周波数の変化に伴う、前記ノズルから吐出される液滴量の変動を表す関数の形で保持されており、
前記パラメータ決定部が、
オペレータが相対移動速度の値として入力した値について、相対移動速度を前記入力値として塗布処理を行う場合に前記媒体に目標塗布量の薬液可能な前記制御信号の周波数の値を前記変動情報に基づいて算出し、
前記算出された値と前記入力値とを、前記塗布処理における前記周波数と前記相対移動速度とにそれぞれ決定する、
薬液塗布装置。
It is a chemical | medical solution coating device in any one of Claims 7, 10, and 11,
The variation information is
Held in the form of a function representing the variation in the amount of liquid droplets ejected from the nozzle in accordance with the change in the frequency of the control signal applied to the drive element,
The parameter determination unit
Based on the variation information, the frequency value of the control signal that can be applied to the medium with the target application amount when the application process is performed using the relative movement speed as the input value for the value input by the operator as the value of the relative movement speed. To calculate
The calculated value and the input value are determined as the frequency and the relative movement speed in the coating process, respectively.
Chemical solution applicator.
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