JP2012160569A - Antenna transporter and array antenna-type plasma cvd system - Google Patents

Antenna transporter and array antenna-type plasma cvd system Download PDF

Info

Publication number
JP2012160569A
JP2012160569A JP2011019167A JP2011019167A JP2012160569A JP 2012160569 A JP2012160569 A JP 2012160569A JP 2011019167 A JP2011019167 A JP 2011019167A JP 2011019167 A JP2011019167 A JP 2011019167A JP 2012160569 A JP2012160569 A JP 2012160569A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
array antenna
antenna
vacuum chamber
antenna unit
connectors
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011019167A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5582050B2 (en
Inventor
Hiroyuki Ogawa
宏幸 小川
Hirotsugu Chishina
裕嗣 千品
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IHI Corp filed Critical IHI Corp
Priority to JP2011019167A priority Critical patent/JP5582050B2/en
Publication of JP2012160569A publication Critical patent/JP2012160569A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5582050B2 publication Critical patent/JP5582050B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To simplify maintenance work of an array antenna unit.SOLUTION: The plasma CVD system comprises: a vacuum chamber whose internal pressure can be reduced to a vacuum condition, and which is supplied with a material gas from a gas-supply source; a plurality of connectors provided in the vacuum chamber, and electrically connected with a high frequency power source; an array antenna unit which has a plurality of electrode rods 51 connectable with the plurality of connectors respectively, and generates plasma in response to supply of electric power from the high frequency power source; and an antenna transporter 70. The antenna transporter 70 is movable within the vacuum chamber, and has an antenna holding member 73 operable to removably hold the array antenna unit, and an air cylinder 76 operable to move the array antenna unit held by the antenna holding member 73 up and down. The antenna holding member 73 has a load-receiving part 77 operable to swingably hold the array antenna unit.

Description

本発明は、真空チャンバ内でプラズマを発生させて基板表面に薄膜を生成するアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置、および、このアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置にアンテナを搬送するアンテナ搬送体に関する。   The present invention relates to an array antenna type plasma CVD apparatus that generates a thin film on a substrate surface by generating plasma in a vacuum chamber, and an antenna carrier that conveys an antenna to the array antenna type plasma CVD apparatus.

従来、特許文献１〜３に示されるアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置が知られている。これらのアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、内部を真空状態に減圧可能な真空チャンバを有しており、この真空チャンバの天井壁に、高周波電源に電気的に接続された複数のコネクタが配設されている。また、真空チャンバ内には、複数本の電極棒を有するアレイアンテナユニットが設けられており、このアレイアンテナユニットの電極棒が、複数のコネクタそれぞれに接続されている。   Conventionally, an array antenna type plasma CVD apparatus disclosed in Patent Documents 1 to 3 is known. These array antenna type plasma CVD apparatuses have a vacuum chamber that can be evacuated to a vacuum state, and a plurality of connectors electrically connected to a high-frequency power source are disposed on the ceiling wall of the vacuum chamber. ing. An array antenna unit having a plurality of electrode rods is provided in the vacuum chamber, and the electrode rods of the array antenna unit are connected to the plurality of connectors.

そして、真空状態に減圧された真空チャンバ内に、基板を保持する基板搬送用の台車を搬送するとともに、当該基板をアレイアンテナユニットに臨ませた状態で、真空チャンバ内に材料ガスを供給しつつ、電極棒に高周波電力を供給する。これにより、真空雰囲気中にプラズマが発生するとともに、プラズマによって分解された材料ガスの成分が基板の表面に付着し、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜などの薄膜が基板表面に生成されることとなる。   Then, a substrate carriage for holding the substrate is transferred into the vacuum chamber whose pressure has been reduced to a vacuum state, and the material gas is supplied into the vacuum chamber with the substrate facing the array antenna unit. The high frequency power is supplied to the electrode rod. As a result, plasma is generated in a vacuum atmosphere, the component of the material gas decomposed by the plasma adheres to the surface of the substrate, and a thin film such as an amorphous silicon film or a microcrystalline silicon film is generated on the substrate surface. It becomes.

特開２００７−２６２５４１号公報JP 2007-262541 A 特開２００３−８６５８１号公報JP 2003-86581 A 特開２００３−１０９７９８号公報JP 2003-109798 A

上記のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置においては、基板表面に薄膜を生成する成膜処理の過程で、電極棒の表面に皮膜が付着することから、アレイアンテナユニットを定期的にメンテナンスする必要がある。ところが、従来のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置においては、メンテナンスの際に、各電極棒を１本ずつ、コネクタから取り外したり、あるいは新たな電極棒をコネクタに接続したりしなければならなかった。そのため、メンテナンスの際には、多数の電極棒の着脱作業や搬送作業が煩雑となってメンテナンスに長時間を要してしまい、装置の稼働停止時間が長期化して稼働率が低下することがあった。   In the above array antenna type plasma CVD apparatus, a film adheres to the surface of the electrode rod in the process of forming a thin film on the surface of the substrate. Therefore, it is necessary to periodically maintain the array antenna unit. However, in the conventional array antenna type plasma CVD apparatus, at the time of maintenance, each electrode bar must be removed from the connector one by one or a new electrode bar must be connected to the connector. For this reason, during the maintenance, the work of attaching and detaching a large number of electrode rods and the transportation work become complicated, and it takes a long time for the maintenance. It was.

本発明は、アレイアンテナユニットのメンテナンス作業を簡素化することができるアンテナ搬送体およびアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置を提供することを目的としている。   An object of the present invention is to provide an antenna carrier and an array antenna type plasma CVD apparatus that can simplify maintenance work of an array antenna unit.

上記課題を解決するために、本発明のアンテナ搬送体は、真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、真空チャンバに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、真空チャンバ内で複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、電極棒がコネクタに接続された状態で高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、アレイアンテナユニットを着脱自在に掛け止めするとともに、アレイアンテナユニットを掛け止めした状態でコネクタと電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、を備えたアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置に、アレイアンテナユニットを搬送するアンテナ搬送体であって、アレイアンテナユニットを着脱自在に保持するアンテナ保持部材と、アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットを、真空チャンバに設けられた複数のコネクタの接続方向に変位させる変位手段と、を備え、アンテナ保持部材は、アレイアンテナユニットを揺動可能に保持してなることを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problems, an antenna carrier of the present invention is electrically connected to a high-frequency power source provided in a vacuum chamber in which a material gas is supplied from a gas supply source into an interior that can be decompressed to a vacuum state. It has a plurality of possible connectors and a plurality of electrode rods that can be connected to each of the plurality of connectors in the vacuum chamber, and plasma is generated by supplying power from a high-frequency power source with the electrode rods connected to the connectors An array antenna type comprising: an array antenna unit to be attached; and an antenna hooking means for detachably hooking the array antenna unit and maintaining the connector and the electrode rod in a connected state while the array antenna unit is hooked An antenna carrier for carrying an array antenna unit to a plasma CVD apparatus, the array antenna unit An detachably holding antenna holding member, and a displacement means for displacing the array antenna unit held by the antenna holding member in a connecting direction of a plurality of connectors provided in the vacuum chamber, the antenna holding member comprising: The array antenna unit is held swingably.

また、本発明のアンテナ搬送体は、複数のコネクタが、真空チャンバの内部上方に設けられるとともに、電極棒を鉛直方向下方から上方に向かって接続可能に配置され、変位手段は、アレイアンテナユニットを鉛直方向に上昇または下降させてなることを特徴とする。   In the antenna carrier of the present invention, a plurality of connectors are provided in the upper part of the vacuum chamber, and the electrode rods are arranged so as to be connectable from the lower side to the upper side in the vertical direction. It is characterized by being raised or lowered in the vertical direction.

また、本発明のアンテナ搬送体は、アレイアンテナユニットの荷重を受けるアンテナ保持部材の荷重受け部は、鉛直方向上方に臨む受け面と、受け面上に載置され、アレイアンテナユニットの荷重を受け面に作用させる揺動部と、を備え、受け面および揺動部の接触部位のうちのいずれか一方は、いずれか他方に向かって突出する湾曲面状の接触部を有するとともに、受け面および揺動部のいずれか他方は、平面状、または湾曲面状の接触部よりも曲率の小さい湾曲面状の凹みを有する、ことを特徴とする。   In the antenna carrier of the present invention, the load receiving portion of the antenna holding member that receives the load of the array antenna unit is placed on the receiving surface facing upward in the vertical direction, and the load of the array antenna unit. A rocking portion that acts on the surface, and either one of the contact surface and the contact portion of the rocking portion has a curved surface-shaped contact portion that protrudes toward the other, and the receiving surface and Any one of the swinging portions has a curved surface-shaped recess having a curvature smaller than that of the planar or curved surface-shaped contact portion.

また、本発明のアンテナ搬送体は、アンテナ保持部材が、荷重受け部が上端に設けられた支柱を、所定の間隔を維持して複数本配置してなり、これら複数本の支柱にアレイアンテナユニットを懸架して保持可能であることを特徴とする。   In the antenna carrier of the present invention, the antenna holding member is formed by arranging a plurality of support columns having a load receiving portion provided at the upper end thereof at a predetermined interval, and the array antenna unit is provided on the plurality of support columns. Can be suspended and held.

また、本発明のアンテナ搬送体は、変位手段が、真空チャンバに設けられた複数のコネクタの接続方向に伸縮ロッドを伸縮させるエアシリンダによって構成されてなることを特徴とする。   Moreover, the antenna carrier of the present invention is characterized in that the displacing means is constituted by an air cylinder that expands and contracts the telescopic rod in the connecting direction of the plurality of connectors provided in the vacuum chamber.

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、真空チャンバに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、真空チャンバ内で複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、電極棒がコネクタに接続された状態で高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、アレイアンテナユニットを着脱自在に保持するアンテナ保持部材、および、当該アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットを、真空チャンバに設けられた複数のコネクタの接続方向に変位させる変位手段を有し、真空チャンバ内を移動可能なアンテナ搬送体と、アンテナ搬送体によって真空チャンバ内の所定位置に搬送され、かつ、変位手段によって複数のコネクタの接続方向に変位したアレイアンテナユニットを着脱自在に真空チャンバ内に掛け止めするとともに、アレイアンテナユニットを掛け止めした状態でコネクタと電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、を備え、アンテナ保持部材は、アレイアンテナユニットを揺動可能に保持してなることを特徴とする。   Further, the array antenna type plasma CVD apparatus of the present invention includes a vacuum chamber in which a material gas is supplied from a gas supply source to an inside that can be decompressed to a vacuum state, and a plurality of plasma antennas that are provided in the vacuum chamber and can be electrically connected to a high-frequency power source. Array antenna having a plurality of electrode rods connectable to each of the plurality of connectors in the vacuum chamber, and generating plasma by supplying power from a high-frequency power source with the electrode rods connected to the connectors A unit, an antenna holding member for detachably holding the array antenna unit, and a displacement means for displacing the array antenna unit held by the antenna holding member in a connecting direction of a plurality of connectors provided in the vacuum chamber. The antenna carrier that can move in the vacuum chamber, and the antenna carrier The array antenna unit transported to a predetermined position and displaced in the connecting direction of the plurality of connectors by the displacing means is detachably hooked in the vacuum chamber, and the connector and the electrode are held while the array antenna unit is hooked. Antenna holding means for maintaining the rod in a connected state, and the antenna holding member holds the array antenna unit in a swingable manner.

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、複数のコネクタが、真空チャンバの内部上方に設けられるとともに、電極棒を鉛直方向下方から上方に向かって接続可能に配置され、変位手段は、アレイアンテナユニットを鉛直方向に上昇または下降させてなることを特徴とする。   In the array antenna type plasma CVD apparatus of the present invention, a plurality of connectors are provided inside the vacuum chamber, and the electrode rods are arranged so as to be connectable from below in the vertical direction. The antenna unit is raised or lowered in the vertical direction.

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、アレイアンテナユニットの荷重を受けるアンテナ保持部材の荷重受け部が、鉛直方向上方に臨む受け面と、受け面上に載置され、アレイアンテナユニットの荷重を受け面に作用させる揺動部と、を備え、受け面および揺動部の接触部位のうちのいずれか一方は、いずれか他方に向かって突出する湾曲面状の接触部を有するとともに、受け面および揺動部のいずれか他方は、平面状、または湾曲面状の接触部よりも曲率の小さい湾曲面状の凹みを有する、ことを特徴とする。   In the array antenna type plasma CVD apparatus of the present invention, the load receiving portion of the antenna holding member that receives the load of the array antenna unit is placed on the receiving surface facing upward in the vertical direction, and the receiving surface of the array antenna unit. A swinging portion that acts on the load receiving surface, and either one of the contact portion of the receiving surface and the swinging portion has a curved surface-like contact portion that protrudes toward the other, The other of the receiving surface and the rocking portion has a concave portion having a curved surface shape with a smaller curvature than the contact portion having a flat surface shape or a curved surface shape.

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、アンテナ保持部材が、荷重受け部が上端に設けられた支柱を、所定の間隔を維持して複数本配置してなり、これら複数本の支柱にアレイアンテナユニットを懸架して保持可能であることを特徴とする。   In the array antenna type plasma CVD apparatus of the present invention, the antenna holding member is formed by arranging a plurality of support columns having a load receiving portion provided at the upper end thereof at a predetermined interval. The array antenna unit can be suspended and held.

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、変位手段が、真空チャンバに設けられた複数のコネクタの接続方向に伸縮ロッドを伸縮させるエアシリンダによって構成されてなることを特徴とする。   In the array antenna type plasma CVD apparatus of the present invention, the displacing means is constituted by an air cylinder that extends and retracts an extendable rod in a connecting direction of a plurality of connectors provided in a vacuum chamber.

本発明によれば、アレイアンテナユニットの取り付け作業を容易に行うことが可能となり、メンテナンス作業を簡素化することができる。揺動   According to the present invention, the mounting operation of the array antenna unit can be easily performed, and the maintenance operation can be simplified. Rocking

真空チャンバの正面側を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the front side of a vacuum chamber. 真空チャンバの背面側を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the back side of a vacuum chamber. 真空チャンバの正面側の断面を模式的に示すである。It is a schematic cross section of the front side of the vacuum chamber. 真空チャンバ１の右側面図である。3 is a right side view of the vacuum chamber 1. FIG. アレイアンテナユニットの斜視図である。It is a perspective view of an array antenna unit. 図５の部分拡大図である。It is the elements on larger scale of FIG. （ａ）は図６のＶＩＩ（ａ）−ＶＩＩ（ａ）線断面図、（ｂ）は図６のＶＩＩ（ｂ）−ＶＩＩ（ｂ）線断面図である。(A) is the VII (a) -VII (a) sectional view taken on the line of FIG. 6, (b) is the VII (b) -VII (b) sectional view taken on the line of FIG. （ａ）は図６の上面図、（ｂ）は第１アンテナ側コネクタの斜視図である。(A) is a top view of FIG. 6, (b) is a perspective view of a first antenna side connector. アレイアンテナユニットが掛け止められた状態の真空チャンバの正面側断面図である。It is front sectional drawing of the vacuum chamber of the state by which the array antenna unit was latched. アレイアンテナユニットが掛け止められた状態の真空チャンバの右側面図である。It is a right view of the vacuum chamber in the state where the array antenna unit is hooked. 基板搬送体の斜視図である。It is a perspective view of a board | substrate conveyance body. 基板搬送体の上面図である。It is a top view of a board | substrate conveyance body. 基板搬送体の右側面図である。It is a right view of a board | substrate conveyance body. 基板搬送体が搬入された状態の真空チャンバの右側面図である。It is a right view of the vacuum chamber in the state in which the board | substrate conveyance body was carried in. （ａ）はアンテナ搬送体の斜視図、（ｂ）は（ａ）の一点鎖線部分の拡大図である。(A) is a perspective view of an antenna carrier, and (b) is an enlarged view of an alternate long and short dash line portion of (a). 図１５（ｂ）の部分拡大図である。It is the elements on larger scale of FIG.15 (b). アンテナ搬送体にアレイアンテナユニットが保持されたときの、調整部材とアレイアンテナユニットとの関係を説明する図である。It is a figure explaining the relationship between an adjustment member and an array antenna unit when an array antenna unit is hold | maintained at the antenna conveyance body. アレイアンテナユニットがアンテナ搬送体に保持された状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state by which the array antenna unit was hold | maintained at the antenna conveyance body. 真空チャンバ内にアレイアンテナユニットを掛け止める過程を説明する図である。It is a figure explaining the process which latches an array antenna unit in a vacuum chamber. アンテナ搬送体を搬出する過程を説明する概念図である。It is a conceptual diagram explaining the process of carrying out an antenna carrier.

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The dimensions, materials, and other specific numerical values shown in the embodiments are merely examples for facilitating the understanding of the invention, and do not limit the present invention unless otherwise specified. In the present specification and drawings, elements having substantially the same function and configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted, and elements not directly related to the present invention are not illustrated. To do.

（真空チャンバの構成）
まず、図１〜図４を用いて、本実施形態のアレイアンテナ式（誘導結合型）プラズマＣＶＤ装置の真空チャンバの構造について説明する。図１は、真空チャンバの正面側を示す斜視図、図２は、真空チャンバの背面側を示す斜視図である。 (Configuration of vacuum chamber)
First, the structure of the vacuum chamber of the array antenna type (inductively coupled) plasma CVD apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view showing the front side of the vacuum chamber, and FIG. 2 is a perspective view showing the back side of the vacuum chamber.

図１および図２に示すように、真空チャンバ１は、筐体２を備えて構成されている。この筐体２は、図中ｙ方向に対面配置された天井部２ａおよび底面部２ｂと、図中ｘ方向に対面配置された右側面部２ｃおよび左側面部２ｄと、図中ｚ方向に対面配置された正面部２ｅおよび背面部２ｆと、を備えている。以下では、天井部２ａ側を真空チャンバ１の上方または上面とし、右側面部２ｃ側を真空チャンバ１の右方または右側面とし、左側面部２ｄ側を真空チャンバ１の左方または左側面として説明する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the vacuum chamber 1 includes a housing 2. The housing 2 is arranged facing the ceiling 2a and the bottom 2b facing in the y direction in the figure, the right side 2c and the left side 2d facing in the x direction in the figure, and in the z direction in the figure. A front part 2e and a back part 2f. In the following description, the ceiling 2a side is defined as the upper or upper surface of the vacuum chamber 1, the right side 2c side is defined as the right or right side of the vacuum chamber 1, and the left side 2d side is defined as the left or left side of the vacuum chamber 1. .

正面部２ｅおよび背面部２ｆには、それぞれフロント開口部３およびリヤ開口部４が形成されており、これらフロント開口部３およびリヤ開口部４を開閉するフロント開閉扉５およびリヤ開閉扉６がそれぞれ設けられている。また、右側面部２ｃにも右開口部７が形成されており、この右開口部７を開閉する開閉扉８が設けられている。さらに、左側面部２ｄにも左開口部９が形成されているが、この左開口部９は、不図示の基板搬送チャンバに接続可能となっている。この左開口部９には、真空チャンバ１と基板搬送チャンバとを真空状態を維持したまま接続したり、あるいはその接続状態を遮断したりする不図示のゲートバルブが設けられている。そして、このゲートバルブを閉じるとともに、フロント開閉扉５、リヤ開閉扉６および開閉扉８を閉じることにより、筐体２の内部に、外部から完全に密閉された内部空間１０が形成されることとなる。   A front opening 3 and a rear opening 4 are formed in the front part 2e and the back part 2f, respectively. A front opening / closing door 5 and a rear opening / closing door 6 for opening and closing the front opening 3 and the rear opening 4 are respectively provided. Is provided. A right opening 7 is also formed in the right side surface 2c, and an open / close door 8 for opening and closing the right opening 7 is provided. Further, a left opening 9 is formed in the left side surface portion 2d. The left opening 9 can be connected to a substrate transfer chamber (not shown). The left opening 9 is provided with a gate valve (not shown) for connecting the vacuum chamber 1 and the substrate transfer chamber while maintaining a vacuum state or blocking the connection state. Then, by closing the gate valve and closing the front opening / closing door 5, the rear opening / closing door 6, and the opening / closing door 8, an internal space 10 that is completely sealed from the outside is formed inside the housing 2. Become.

また、天井部２ａには、３列のコネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃが設けられている。これらコネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、複数のコネクタが図中ｘ方向に沿って直列配置されたものであり、図中ｚ方向に所定の間隔を維持している。   The ceiling portion 2a is provided with three rows of connector groups 11a, 11b, and 11c. In these connector groups 11a, 11b, and 11c, a plurality of connectors are arranged in series along the x direction in the figure, and a predetermined interval is maintained in the z direction in the figure.

図３は、真空チャンバ１の正面側の断面を模式的に示す図である。この図に示すように、コネクタ群１１ａは、高周波電力を供給する高周波電源１２の供給側（非接地側）に電気的に接続された第１天井側コネクタ１３と、高周波電源１２の接地側に電気的に接続された第２天井側コネクタ１４と、が所定の間隔を維持して交互に設けられている。これら第１天井側コネクタ１３および第２天井側コネクタ１４は、その接続部が鉛直方向下方（底面部２ｂ）に向けられており、後述するアレイアンテナユニットの電極棒が、鉛直方向下方から上方に向かって接続可能なように配置されている。   FIG. 3 is a diagram schematically showing a cross section of the front side of the vacuum chamber 1. As shown in this figure, the connector group 11 a includes a first ceiling-side connector 13 electrically connected to a supply side (non-grounded side) of a high-frequency power source 12 that supplies high-frequency power, and a ground side of the high-frequency power source 12. The second ceiling-side connectors 14 that are electrically connected are alternately provided while maintaining a predetermined interval. The first ceiling side connector 13 and the second ceiling side connector 14 have their connecting portions directed downward in the vertical direction (bottom surface portion 2b), and the electrode rods of the array antenna unit, which will be described later, are directed upward from below in the vertical direction. It is arranged so that it can be connected.

また、詳しくは後述するが、第２天井側コネクタ１４にはガス供給源１５が接続されており、このガス供給源１５から供給される材料ガスが、第２天井側コネクタ１４に接続されたアレイアンテナユニットの電極棒から真空チャンバ１内に噴出可能となっている。なお、ここではコネクタ群１１ａについて説明したが、コネクタ群１１ｂ、１１ｃも上記と同様の構成となっている。さらに、筐体２の天井部２ａには真空ポンプ１６が接続されており、内部空間１０を密閉した状態で真空ポンプ１６を駆動することにより、真空チャンバ１内が真空状態に減圧可能となっている。   As will be described in detail later, a gas supply source 15 is connected to the second ceiling-side connector 14, and the material gas supplied from the gas supply source 15 is connected to the second ceiling-side connector 14. It can be ejected from the electrode rod of the antenna unit into the vacuum chamber 1. Although the connector group 11a has been described here, the connector groups 11b and 11c have the same configuration as described above. Further, a vacuum pump 16 is connected to the ceiling 2a of the housing 2, and the vacuum chamber 1 can be decompressed to a vacuum state by driving the vacuum pump 16 with the internal space 10 sealed. Yes.

また、筐体２の底面部２ｂには、右側面部２ｃから左側面部２ｄまで図中ｘ方向に沿って延在するガイドレール１７が設けられている。図４は、真空チャンバ１の右側面図であるが、この図に示すように、ガイドレール１７は、正面部２ｅ近傍と背面部２ｆ近傍とにそれぞれ設けられており、したがって、図中ｚ方向に間隔を維持して一対配置されることとなる。これら一対のガイドレール１７は、後述する基板やアレイアンテナユニットを真空チャンバ１内に搬入したり、あるいは真空チャンバ１内から搬出したりする際の案内として機能するものである。   In addition, a guide rail 17 extending along the x direction in the drawing is provided on the bottom surface portion 2b of the housing 2 from the right side surface portion 2c to the left side surface portion 2d. FIG. 4 is a right side view of the vacuum chamber 1. As shown in this figure, the guide rails 17 are provided in the vicinity of the front portion 2e and the vicinity of the back portion 2f, respectively. Thus, a pair is arranged with the interval maintained. The pair of guide rails 17 function as a guide when a board or an array antenna unit described later is carried into or out of the vacuum chamber 1.

（アレイアンテナユニットの構成）
次に、図５〜図８を用いてアレイアンテナユニットの構成について説明する。図５は、アレイアンテナユニット３０の斜視図であり、図６は、図５の部分拡大図である。これらの図に示すように、アレイアンテナユニット３０は、アンテナ支持部材３１を備えており、このアンテナ支持部材３１に複数本の誘導結合型電極５０が支持されている。 (Configuration of array antenna unit)
Next, the configuration of the array antenna unit will be described with reference to FIGS. 5 is a perspective view of the array antenna unit 30, and FIG. 6 is a partially enlarged view of FIG. As shown in these drawings, the array antenna unit 30 includes an antenna support member 31, and a plurality of inductively coupled electrodes 50 are supported on the antenna support member 31.

この誘導結合型電極５０は、第１電極棒５１と第２電極棒５２とが、接続金具５３によって電気的に接続されたアンテナ素子であり、アンテナ支持部材３１の長手方向に沿って複数本支持されている。具体的には、両電極棒５１、５２は、その長手方向に直交する水平方向に所定の間隔を維持して交互に直列配置された状態で、その上端部がアンテナ支持部材３１に支持されている。これにより、両電極棒５１、５２は、それらの長手方向を鉛直方向に沿わせた状態で、アンテナ支持部材３１に垂下支持されることとなる。   This inductively coupled electrode 50 is an antenna element in which a first electrode bar 51 and a second electrode bar 52 are electrically connected by a connection fitting 53, and a plurality of inductive coupling electrodes 50 are supported along the longitudinal direction of the antenna support member 31. Has been. Specifically, the upper ends of the electrode rods 51 and 52 are supported by the antenna support member 31 in a state where the electrode rods 51 and 52 are alternately arranged in series while maintaining a predetermined interval in the horizontal direction orthogonal to the longitudinal direction. Yes. Thereby, both the electrode rods 51 and 52 are suspended and supported by the antenna support member 31 in a state in which their longitudinal directions are along the vertical direction.

図７（ａ）は、図６のＶＩＩ（ａ）−ＶＩＩ（ａ）線断面図であり、図７（ｂ）は、図６のＶＩＩ（ｂ）−ＶＩＩ（ｂ）線断面図である。これらの図に示すように、アンテナ支持部材３１は、断面Ｕ字形の部材によって構成されており、その開口を鉛直方向下方に臨ませている。このアンテナ支持部材３１は、図７（ｂ）からも明らかなように、その幅方向中央にアンテナ支持孔３２が形成されている。このアンテナ支持孔３２は、図７（ａ）および図８（ａ）に示すとおり、アンテナ支持部材３１の長手方向に沿って形成される長孔形状をなしており、このアンテナ支持孔３２に、第１電極棒５１および第２電極棒５２が交互に垂下支持されている。   7A is a cross-sectional view taken along line VII (a) -VII (a) in FIG. 6, and FIG. 7B is a cross-sectional view taken along line VII (b) -VII (b) in FIG. As shown in these drawings, the antenna support member 31 is formed of a member having a U-shaped cross section, and its opening faces downward in the vertical direction. As is clear from FIG. 7B, the antenna support member 31 has an antenna support hole 32 formed at the center in the width direction. As shown in FIGS. 7A and 8A, the antenna support hole 32 has a long hole shape formed along the longitudinal direction of the antenna support member 31. In the antenna support hole 32, The first electrode rod 51 and the second electrode rod 52 are supported in a suspended manner alternately.

より詳細に説明すると、第１電極棒５１の上端部には、真空チャンバ１の天井部２ａに設けられた第１天井側コネクタ１３に接続可能な第１アンテナ側コネクタ５４が固定されている。また、第２電極棒５２の上端部には、真空チャンバ１の天井部２ａに設けられた第２天井側コネクタ１４に接続可能な第２アンテナ側コネクタ５５が固定されている。   More specifically, the first antenna-side connector 54 that can be connected to the first ceiling-side connector 13 provided on the ceiling 2 a of the vacuum chamber 1 is fixed to the upper end of the first electrode bar 51. A second antenna-side connector 55 that can be connected to the second ceiling-side connector 14 provided on the ceiling 2 a of the vacuum chamber 1 is fixed to the upper end of the second electrode rod 52.

図８（ａ）は、図６の上面図であり、図８（ｂ）は、第１アンテナ側コネクタ５４の斜視図である。ただし、図８（ａ）においては、後述するカバー部材３３を取り外した状態を示している。この図に示すとおり、第１アンテナ側コネクタ５４は、円筒状の本体５４ａを備えており、この本体５４ａの底面部５４ｂに、第１電極棒５１が貫通した状態で固定されている。また、本体５４ａの開口側には、当該本体５４ａよりも大径のフランジ部５４ｃが設けられている。このフランジ部５４ｃは、アンテナ支持部材３１に形成されたアンテナ支持孔３２の幅よりも大径となる寸法関係を維持している。また、本体５４ａには、円筒状の外周面の対向する一部を面取りした一対の平面部５４ｄ、５４ｄが形成されている。これら平面部５４ｄ、５４ｄは、その対向間隔がアンテナ支持孔３２の幅よりも僅かに小さくなる寸法関係を維持している。   FIG. 8A is a top view of FIG. 6, and FIG. 8B is a perspective view of the first antenna-side connector 54. However, FIG. 8A shows a state in which a cover member 33 described later is removed. As shown in this figure, the first antenna-side connector 54 includes a cylindrical main body 54a, and is fixed to the bottom surface portion 54b of the main body 54a with the first electrode rod 51 penetrating therethrough. A flange portion 54c having a larger diameter than that of the main body 54a is provided on the opening side of the main body 54a. The flange portion 54 c maintains a dimensional relationship that has a larger diameter than the width of the antenna support hole 32 formed in the antenna support member 31. The main body 54a is formed with a pair of flat surface portions 54d and 54d having chamfered portions facing each other on the cylindrical outer peripheral surface. The planar portions 54d and 54d maintain a dimensional relationship in which the facing distance is slightly smaller than the width of the antenna support hole 32.

したがって、アンテナ支持孔３２の上方から第１アンテナ側コネクタ５４を挿入すると、本体５４ａがアンテナ支持孔３２を挿通するとともに、フランジ部５４ｃがアンテナ支持部材３１の上面に接触して掛け止められ、これによって第１電極棒５１がアンテナ支持部材３１に垂下支持されることとなる。   Therefore, when the first antenna side connector 54 is inserted from above the antenna support hole 32, the main body 54a is inserted through the antenna support hole 32, and the flange portion 54c is brought into contact with the upper surface of the antenna support member 31, and is latched. As a result, the first electrode rod 51 is suspended and supported by the antenna support member 31.

また、このとき、平面部５４ｄ、５４ｄ間の幅は、アンテナ支持部材３１の幅方向に対する第１アンテナ側コネクタ５４の移動を、第１天井側コネクタ１３に接続可能な範囲内に制限する寸法関係を維持している。しかも、アンテナ支持部材３１に支持された第１アンテナ側コネクタ５４に回転応力が作用したとしても、平面部５４ｄ、５４ｄがアンテナ支持孔３２の内周縁に接触し、第１アンテナ側コネクタ５４の回転が制限される。このようにして、第１電極棒５１は、アンテナ支持部材３１の幅方向の位置決めがなされて直列配置されるとともに、全ての第１電極棒５１が同一方向を向いて垂下支持されることとなる。   At this time, the width between the flat portions 54 d and 54 d is a dimensional relationship that restricts the movement of the first antenna-side connector 54 in the width direction of the antenna support member 31 within a range that can be connected to the first ceiling-side connector 13. Is maintained. In addition, even if rotational stress acts on the first antenna-side connector 54 supported by the antenna support member 31, the flat portions 54 d and 54 d come into contact with the inner peripheral edge of the antenna support hole 32, and the first antenna-side connector 54 rotates. Is limited. In this way, the first electrode rods 51 are positioned in series with the antenna support member 31 positioned in the width direction, and all the first electrode rods 51 are supported hanging down in the same direction. .

なお、ここでは第１アンテナ側コネクタ５４について説明したが、第２アンテナ側コネクタ５５の構成も上記第１アンテナ側コネクタ５４と同様である。つまり、第２アンテナ側コネクタ５５は、本体５５ａと、底面部５５ｂと、フランジ部５５ｃと、一対の平面部５５ｄ、５５ｄと、を備えており、底面部５５ｂに第２電極棒５２が貫通した状態で固定されている。   Although the first antenna side connector 54 has been described here, the configuration of the second antenna side connector 55 is the same as that of the first antenna side connector 54. That is, the second antenna-side connector 55 includes a main body 55a, a bottom surface portion 55b, a flange portion 55c, and a pair of flat surface portions 55d and 55d, and the second electrode rod 52 penetrates the bottom surface portion 55b. It is fixed in the state.

そして、本体５５ａの開口側には、当該本体５５ａよりも大径のフランジ部５５ｃが設けられている。このように、この第２アンテナ側コネクタ５５も、上記第１アンテナ側コネクタ５４と同様に、回転およびアンテナ支持部材３１の幅方向に対する移動が制限され、第２電極棒５２も直列配置されるとともに、全ての第２電極棒５２が同一方向を向いて垂下支持されることとなる。   And the flange part 55c larger diameter than the said main body 55a is provided in the opening side of the main body 55a. As described above, the second antenna-side connector 55 is also restricted from rotating and moving in the width direction of the antenna support member 31 as in the case of the first antenna-side connector 54, and the second electrode rod 52 is also arranged in series. All the second electrode rods 52 are supported in a suspended manner in the same direction.

また、図７（ａ）に示すように、各第１電極棒５１は、その外周にセラミックスまたは樹脂などの誘電体からなる外筒５６を備えている。一方、各第２電極棒５２は円筒形状をなしており、その長手方向に延在するガス供給路５２ａが内部に形成されている。また、各第２電極棒５２は、上述したように、ガス供給路５２ａに垂直に連通する噴出孔５２ｂを備えている。この第２電極棒５２は、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１内に掛け止められたときに、第２天井側コネクタ１４に接続されて、上記したガス供給源１５とガス供給路５２ａとが連通する関係をなしている。   As shown in FIG. 7A, each first electrode bar 51 includes an outer cylinder 56 made of a dielectric material such as ceramics or resin on the outer periphery thereof. On the other hand, each second electrode rod 52 has a cylindrical shape, and a gas supply path 52a extending in the longitudinal direction is formed inside. Further, as described above, each of the second electrode rods 52 includes the ejection holes 52b that communicate with the gas supply path 52a perpendicularly. The second electrode rod 52 is connected to the second ceiling side connector 14 when the array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1, and the gas supply source 15 and the gas supply path 52a communicate with each other. Have a relationship.

したがって、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１内に掛け止められた状態で、ガス供給源１５から材料ガスが供給されることにより、噴出孔５２ｂから真空チャンバ１の内部空間１０に向けて材料ガスが噴出することとなる。   Accordingly, when the material gas is supplied from the gas supply source 15 in a state where the array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1, the material gas is directed from the ejection holes 52 b toward the internal space 10 of the vacuum chamber 1. It will be ejected.

なお、図５〜図８に示すように、アンテナ支持部材３１には、両アンテナ側コネクタ５４、５５を被覆する断面Ｕ字形のカバー部材３３が固定されている。このカバー部材３３には、両アンテナ側コネクタ５４、５５の本体５４ａ、５５ａに一致する円形の貫通孔３３ａが複数設けられている。これにより、各アンテナ側コネクタ５４、５５の本体５４ａ、５５ａの開口、すなわち、両電極棒５１、５２の上端は、カバー部材３３の貫通孔３３ａを介して上方に臨むこととなる。   As shown in FIGS. 5 to 8, a cover member 33 having a U-shaped cross section covering the antenna-side connectors 54 and 55 is fixed to the antenna support member 31. The cover member 33 is provided with a plurality of circular through holes 33a that coincide with the main bodies 54a, 55a of the antenna-side connectors 54, 55. As a result, the openings of the main bodies 54 a and 55 a of the antenna-side connectors 54 and 55, that is, the upper ends of both the electrode bars 51 and 52 face upward through the through-holes 33 a of the cover member 33.

また、アンテナ支持部材３１の幅方向両側面には防着パネル３４が設けられており、また、アンテナ支持部材３１の上面には、上方に垂直に起立し、先端にテーパが形成された位置決めピン３５が設けられている。この位置決めピン３５は、複数本の第１電極棒５１および第２電極棒５２のうち、もっとも外側に位置する電極棒よりもさらにアンテナ支持部材３１の長手方向外方に設けられている。さらに、アンテナ支持部材３１の長手方向両端部近傍には、掛止孔３６が貫通形成されている。この掛止孔３６は、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１に掛け止めるためのものである。   In addition, an adhesion preventing panel 34 is provided on both side surfaces of the antenna support member 31 in the width direction. On the upper surface of the antenna support member 31 is a positioning pin that stands vertically upward and is tapered at the tip. 35 is provided. The positioning pin 35 is provided further outward in the longitudinal direction of the antenna support member 31 than the electrode rod located on the outermost side among the plurality of first electrode rods 51 and second electrode rods 52. Further, a hooking hole 36 is formed in the vicinity of both ends in the longitudinal direction of the antenna support member 31. The retaining hole 36 is for retaining the array antenna unit 30 on the vacuum chamber 1.

図９は、アレイアンテナユニット３０が掛け止められた状態の真空チャンバ１の正面側断面図である。この図に示すように、真空チャンバ１の天井部２ａには、右側面部２ｃおよび左側面部２ｄ近傍それぞれに、鉛直方向に貫通するとともに鉛直方向下方にテーパが形成された位置決め孔１８が設けられている。また、この位置決め孔１８よりも図中ｘ方向外方には、下方に垂下する掛止ピン１９が固定されている。上記の位置決め孔１８は、アレイアンテナユニットの位置決めピン３５に対応しており、上記の掛止ピン１９は、アレイアンテナユニット３０の掛止孔３６に対応している。   FIG. 9 is a front sectional view of the vacuum chamber 1 in a state where the array antenna unit 30 is hooked. As shown in this figure, the ceiling portion 2a of the vacuum chamber 1 is provided with positioning holes 18 penetrating in the vertical direction and tapered downward in the vertical direction in the vicinity of the right side surface portion 2c and the left side surface portion 2d. Yes. Further, a latch pin 19 that hangs downward is fixed to the outside of the positioning hole 18 in the x direction in the figure. The positioning hole 18 corresponds to the positioning pin 35 of the array antenna unit, and the locking pin 19 corresponds to the locking hole 36 of the array antenna unit 30.

アレイアンテナユニット３０の取り付け方法の詳細については後述するが、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際には、位置決め孔１８に位置決めピン３５を挿通させるように、アレイアンテナユニット３０を天井部２ａの下方から上方に持ち上げる。すると、掛止ピン１９にアレイアンテナユニット３０の掛止孔３６が挿通するとともに、このとき、天井部２ａに設けられた第１天井側コネクタ１３および第２天井側コネクタ１４のそれぞれが、アレイアンテナユニット３０の第１アンテナ側コネクタ５４および第２アンテナ側コネクタ５５のそれぞれに嵌合する。この状態で、掛止ピン１９の下方からボルト等の固定手段を固定することにより、図示のように、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１の天井部２ａに掛け止められることとなる。   Although details of the method of attaching the array antenna unit 30 will be described later, when the array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1, the array antenna unit 30 is mounted on the ceiling so that the positioning pins 35 are inserted into the positioning holes 18. Lift up from below the part 2a. Then, the latch holes 36 of the array antenna unit 30 are inserted into the latch pins 19, and at this time, the first ceiling-side connector 13 and the second ceiling-side connector 14 provided on the ceiling portion 2 a are respectively connected to the array antenna. The unit 30 is fitted into each of the first antenna side connector 54 and the second antenna side connector 55. In this state, by fixing a fixing means such as a bolt from below the latch pin 19, the array antenna unit 30 is latched on the ceiling portion 2 a of the vacuum chamber 1 as shown in the figure.

図１０は、アレイアンテナユニット３０が掛け止められた状態の真空チャンバ１の右側面図である。上記したとおり、天井部２ａには、コネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃが３列設けられており、これらコネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃに、アレイアンテナユニット３０が接続可能となっている。したがって、全てのコネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃにアレイアンテナユニット３０が接続されると、図示のように、３体のアレイアンテナユニット３０が、図中ｚ方向に所定の間隔を維持して位置することとなる。   FIG. 10 is a right side view of the vacuum chamber 1 with the array antenna unit 30 hooked. As described above, the ceiling portion 2a is provided with three rows of connector groups 11a, 11b, and 11c, and the array antenna unit 30 can be connected to the connector groups 11a, 11b, and 11c. Therefore, when the array antenna unit 30 is connected to all the connector groups 11a, 11b, and 11c, as shown in the figure, the three array antenna units 30 are positioned at a predetermined interval in the z direction in the figure. It will be.

そして、上記のようにアレイアンテナユニット３０が掛け止められた真空チャンバ１内には、基板を保持する基板搬送体が搬入される。この基板搬送体について、図１１〜図１３を用いて説明する。   Then, a substrate carrier holding the substrate is carried into the vacuum chamber 1 where the array antenna unit 30 is hooked as described above. This board | substrate conveyance body is demonstrated using FIGS. 11-13.

（基板搬送体の構成）
図１１は基板搬送体６０の斜視図、図１２は基板搬送体６０の上面図、図１３は基板搬送体６０の右側面図である。これらの図に示すように、基板搬送体６０は、基台６１を備えており、この基台６１の幅方向（図中ｚ方向）両端に車輪６２が複数設けられている。この車輪６２は、基板搬送体６０が図中ｘ方向に一直線上に移動可能となるように設けられており、真空チャンバ１内において、上記したガイドレール１７上を転動することにより、基板搬送体６０の真空チャンバ１内での移動を可能としている。 (Configuration of substrate carrier)
11 is a perspective view of the substrate transport body 60, FIG. 12 is a top view of the substrate transport body 60, and FIG. 13 is a right side view of the substrate transport body 60. As shown in these drawings, the substrate transport body 60 includes a base 61, and a plurality of wheels 62 are provided at both ends in the width direction (z direction in the figure) of the base 61. The wheel 62 is provided so that the substrate transport body 60 can move in a straight line in the x direction in the drawing, and the substrate 62 is transported by rolling on the guide rail 17 described above in the vacuum chamber 1. The body 60 can be moved in the vacuum chamber 1.

また、基台６１には、当該基台６１から上方に起立する薄板状の基板保持部材６３が設けられている。この基板保持部材６３は、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜を付着させる対象となる基板Ｗを着脱自在に保持することが可能となっており、基板搬送体６０の搬送方向に直交する方向（図中ｚ方向）に所定の間隔を維持して６つ設けられている。   The base 61 is provided with a thin plate-like substrate holding member 63 that stands upward from the base 61. The substrate holding member 63 can detachably hold the substrate W to which the amorphous silicon film or the microcrystalline silicon film is attached, and is in a direction orthogonal to the transport direction of the substrate transport body 60 ( Six are provided at predetermined intervals in the z direction in the figure.

そして、基台６１の下面には、当該基台６１の幅方向中央位置に固定されたラック６４が設けられている。このラック６４は、基板搬送体６０の搬送方向に沿って設けられており、図２に示すように、真空チャンバ１の底部に設けられ、駆動モータ２０によって回転駆動する駆動ピニオン２１に噛み合うようになっている。また、こうした駆動モータ２０および駆動ピニオン２１は、真空チャンバ１に接続される基板搬送チャンバにも同様に設けられている。したがって、駆動モータ２０を駆動して駆動ピニオン２１を回転駆動すると、駆動ピニオン２１の回転動力がラック６４の直線運動に変換され、これによって基板搬送体６０が、基板搬送チャンバや真空チャンバ１内を移動することとなる。   On the lower surface of the base 61, a rack 64 fixed at the center position in the width direction of the base 61 is provided. The rack 64 is provided along the transfer direction of the substrate transfer body 60, and is provided at the bottom of the vacuum chamber 1 and meshes with the drive pinion 21 rotated by the drive motor 20 as shown in FIG. It has become. The drive motor 20 and the drive pinion 21 are also provided in the substrate transfer chamber connected to the vacuum chamber 1 in the same manner. Therefore, when the drive motor 20 is driven and the drive pinion 21 is rotationally driven, the rotational power of the drive pinion 21 is converted into the linear motion of the rack 64, whereby the substrate transport body 60 moves inside the substrate transport chamber and the vacuum chamber 1. Will move.

図１４は、基板搬送体６０が搬入された状態の真空チャンバ１の右側面図である。この図に示すように、基板搬送体６０が真空チャンバ１内に搬入された状態では、１体のアレイアンテナユニット３０に対して、その幅方向（図中ｚ方向）両側に基板Ｗが所定の間隔を維持して対面する。以下に、成膜処理の手順について説明する。   FIG. 14 is a right side view of the vacuum chamber 1 in a state in which the substrate transport body 60 is loaded. As shown in this figure, in a state where the substrate transport body 60 is carried into the vacuum chamber 1, the substrate W is placed on both sides in the width direction (z direction in the figure) with respect to one array antenna unit 30. Keep facing each other and face each other. The procedure of the film forming process will be described below.

（成膜処理）
まず、真空チャンバ１の内部空間１０を密閉するとともに、真空ポンプ１６を駆動して内部空間１０を真空状態に減圧する。この状態で、ゲートバルブを介して真空チャンバ１に接続され、内部が真空状態に維持された基板搬送チャンバから真空チャンバ１内に基板搬送体６０を搬入する。そして、ガス供給源１５から第２電極棒５２に材料ガスを供給して、噴出孔５２ｂから真空チャンバ１内に材料ガスを噴出させる。この状態で、高周波電源１２によって誘導結合型電極５０に高周波電力を供給すると、アレイアンテナユニット３０の周辺にプラズマが発生し、このプラズマによって分解された材料ガスの成分が基板Ｗの表面に付着する。このようにして、基板Ｗの表面に、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜などの薄膜が成膜されることとなる。 (Deposition process)
First, the internal space 10 of the vacuum chamber 1 is sealed, and the vacuum pump 16 is driven to decompress the internal space 10 to a vacuum state. In this state, the substrate transfer body 60 is carried into the vacuum chamber 1 from the substrate transfer chamber connected to the vacuum chamber 1 through the gate valve and maintained in a vacuum state. Then, the material gas is supplied from the gas supply source 15 to the second electrode rod 52, and the material gas is ejected into the vacuum chamber 1 from the ejection hole 52b. When high frequency power is supplied to the inductively coupled electrode 50 by the high frequency power source 12 in this state, plasma is generated around the array antenna unit 30, and the component of the material gas decomposed by the plasma adheres to the surface of the substrate W. . In this manner, a thin film such as an amorphous silicon film or a microcrystalline silicon film is formed on the surface of the substrate W.

そして、上記のようにして成膜処理が終了したら、真空チャンバ１から基板搬送チャンバに基板搬送体６０を搬出するとともに、新たな基板Ｗが保持された基板搬送体６０を真空チャンバ１内に搬入し、以後、上記の各工程が繰り返し行われることとなる。   When the film forming process is completed as described above, the substrate transfer body 60 is unloaded from the vacuum chamber 1 to the substrate transfer chamber, and the substrate transfer body 60 holding a new substrate W is transferred into the vacuum chamber 1. Thereafter, the above steps are repeatedly performed.

ここで、成膜処理を行う過程では、アレイアンテナユニット３０の誘導結合型電極５０、より具体的には、第１電極棒５１および第２電極棒５２の表面に皮膜が付着するため、定期的にアレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１から取り外してメンテナンスする必要がある。以下では、アレイアンテナユニット３０のメンテナンスに際して、当該アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１に搬入したり、あるいは真空チャンバ１から搬出したりするアンテナ搬送体の構成を説明し、その後、アレイアンテナユニット３０の着脱方法について説明する。   Here, in the process of performing the film forming process, since the film adheres to the surfaces of the inductively coupled electrodes 50 of the array antenna unit 30, more specifically, the first electrode rod 51 and the second electrode rod 52, the film is periodically processed. In addition, the array antenna unit 30 needs to be removed from the vacuum chamber 1 for maintenance. In the following, the configuration of the antenna carrier that carries the array antenna unit 30 into and out of the vacuum chamber 1 during maintenance of the array antenna unit 30 will be described. The attachment / detachment method will be described.

（アンテナ搬送体の構成）
図１５（ａ）は、アンテナ搬送体７０の斜視図であり、図１５（ｂ）は、図１５（ａ）の一点鎖線の部分拡大図である。この図に示すように、アンテナ搬送体７０は、上記した基板搬送体６０と同様に基台７１を備えており、この基台７１の幅方向（図中ｚ方向）両端に車輪７２が複数設けられている。この車輪７２は、アンテナ搬送体７０が図中ｘ方向に一直線上に移動可能となるように設けられており、真空チャンバ１内において、上記したガイドレール１７上を転動することにより、アンテナ搬送体７０の真空チャンバ１内での移動を可能としている。 (Configuration of antenna carrier)
FIG. 15A is a perspective view of the antenna carrier 70, and FIG. 15B is a partially enlarged view of a dashed line in FIG. 15A. As shown in this figure, the antenna carrier 70 includes a base 71 as in the case of the substrate carrier 60 described above, and a plurality of wheels 72 are provided at both ends in the width direction (z direction in the figure) of the base 71. It has been. The wheels 72 are provided so that the antenna carrier 70 can move in a straight line in the x direction in the figure. The wheels 72 roll on the guide rail 17 in the vacuum chamber 1, thereby The body 70 can be moved in the vacuum chamber 1.

また、基台７１には、アレイアンテナユニット３０を保持する３つのアンテナ保持部材７３が、アンテナ搬送体７０の搬送方向に直交する水平方向に間隔を維持して設けられている。このアンテナ保持部材７３は、アンテナ搬送体７０の搬送方向両端において基台７１に固定されたスライド装置７４と、このスライド装置７４から上方に垂直に起立する一対の支柱７５ａ、７５ｂと、を備えている。これら一対の支柱７５ａ、７５ｂは、スライド装置７４によって、アンテナ搬送体７０の搬送方向（ｘ方向）に直交する水平方向（ｚ方向）にスライド可能に構成されている。   In addition, the base 71 is provided with three antenna holding members 73 that hold the array antenna unit 30 while maintaining a gap in the horizontal direction orthogonal to the transfer direction of the antenna carrier 70. The antenna holding member 73 includes a slide device 74 that is fixed to the base 71 at both ends of the antenna carrier 70 in the carrying direction, and a pair of support columns 75a and 75b that stand vertically upward from the slide device 74. Yes. The pair of support columns 75 a and 75 b are configured to be slidable in a horizontal direction (z direction) orthogonal to the transport direction (x direction) of the antenna transport body 70 by the slide device 74.

一対の支柱７５ａ、７５ｂそれぞれには、伸縮ロッド７６ａを鉛直方向に伸縮させるエアシリンダ７６（本発明の変位手段に相当する）が収容されている。そして、このエアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａ先端には、荷重受け部７７を介して薄板状の調整部材７８の両端部が載置されており、これによって、調整部材７８が一対の支柱７５ａ、７５ｂに懸架されることとなる。   Each of the pair of support columns 75a and 75b accommodates an air cylinder 76 (corresponding to the displacement means of the present invention) for expanding and contracting the telescopic rod 76a in the vertical direction. At both ends of the telescopic rod 76a of the air cylinder 76, both end portions of a thin plate-like adjusting member 78 are placed via a load receiving portion 77, whereby the adjusting member 78 becomes a pair of support columns 75a and 75b. Will be suspended.

図１６は、図１５（ａ）の部分拡大図である。この図に示すように、伸縮ロッド７６ａの先端には、荷重受け部７７が設けられている。この荷重受け部７７は、伸縮ロッド７６ａの先端に固定され、上方に凹状の受け面７９ａを臨ませる受け部７９と、受け面７９ａ上に載置され、調整部材７８の下面に一体的に設けられた揺動部８０と、によって構成される。これら受け部７９および揺動部８０は、ステンレスなどの金属によって構成されているが、例えば樹脂など金属以外の材料で構成しても構わない。   FIG. 16 is a partially enlarged view of FIG. As shown in this figure, a load receiving portion 77 is provided at the tip of the telescopic rod 76a. The load receiving portion 77 is fixed to the distal end of the telescopic rod 76 a and is placed on the receiving surface 79 a so that the concave receiving surface 79 a faces upward, and is provided integrally on the lower surface of the adjusting member 78. And the oscillating portion 80 formed. The receiving portion 79 and the swinging portion 80 are made of metal such as stainless steel, but may be made of a material other than metal such as resin.

揺動部８０は、半球状の球面部８０ａを、受け部７９の受け面７９ａに接触させているが、このとき、受け面７９ａの曲率が球面部８０ａの曲率よりも小さくなっている。したがって、球面部８０ａと受け面７９ａとの間には隙間が形成され、これによって揺動部８０が受け部７９に対して揺動可能となっている。換言すれば、上記の荷重受け部７７の構成により、調整部材７８が水平方向に移動したり傾いたりすることが可能となっている。ただし、揺動部８０が受け面７９ａ上で所定角度傾くと、調整部材７８が受け部７９の外周縁に接触し、それ以上の傾きが制限されるようになっている。つまり、調整部材７８は、受け部７９から脱落しない範囲内で傾斜が許容されるように設計されている。   In the swinging portion 80, the hemispherical spherical surface portion 80a is in contact with the receiving surface 79a of the receiving portion 79. At this time, the curvature of the receiving surface 79a is smaller than the curvature of the spherical surface portion 80a. Therefore, a gap is formed between the spherical surface portion 80 a and the receiving surface 79 a, so that the swinging portion 80 can swing with respect to the receiving portion 79. In other words, the configuration of the load receiving portion 77 described above allows the adjustment member 78 to move or tilt in the horizontal direction. However, when the swinging portion 80 is inclined at a predetermined angle on the receiving surface 79a, the adjustment member 78 comes into contact with the outer peripheral edge of the receiving portion 79, and the inclination beyond that is limited. That is, the adjustment member 78 is designed to be allowed to tilt within a range that does not fall off the receiving portion 79.

図１７は、アンテナ搬送体７０にアレイアンテナユニット３０が保持されたときの、調整部材７８とアレイアンテナユニット３０との関係を説明する図である。調整部材７８は、アンテナ搬送体７０の搬送方向に沿って延在する延在部７８ａ、および、この延在部７８ａから水平方向に交差（本実施形態では直交）する方向に突出する複数の移動制限部７８ｂを備えてなる、平面が櫛状をなす薄板部材によって構成されている。この複数の移動制限部７８ｂは、延在部７８ａの長手方向すなわちアンテナ搬送体７０の搬送方向に所定の間隔を維持して設けられている。   FIG. 17 is a diagram illustrating the relationship between the adjustment member 78 and the array antenna unit 30 when the array antenna unit 30 is held on the antenna carrier 70. The adjustment member 78 extends in the conveying direction of the antenna carrier 70, and a plurality of movements projecting from the extending portion 78a in a direction intersecting in the horizontal direction (orthogonal in the present embodiment). The flat surface formed by the limiting portion 78b is formed of a thin plate member having a comb shape. The plurality of movement restricting portions 78b are provided at predetermined intervals in the longitudinal direction of the extending portion 78a, that is, in the conveying direction of the antenna carrier 70.

そして、図示のように、アレイアンテナユニット３０をアンテナ搬送体７０に保持させると、アレイアンテナユニット３０のアンテナ支持部材３１の下面と、調整部材７８の上面とが、面接触状態で圧接する。これにより、アレイアンテナユニット３０の荷重が調整部材７８を介して荷重受け部７７に作用し、アレイアンテナユニット３０がアンテナ搬送体７０のアンテナ保持部材７３に保持されることとなる。   As shown in the figure, when the array antenna unit 30 is held by the antenna carrier 70, the lower surface of the antenna support member 31 of the array antenna unit 30 and the upper surface of the adjustment member 78 are in pressure contact with each other in a surface contact state. Thereby, the load of the array antenna unit 30 acts on the load receiving portion 77 via the adjustment member 78, and the array antenna unit 30 is held by the antenna holding member 73 of the antenna carrier 70.

また、アレイアンテナユニット３０がアンテナ保持部材７３に保持された状態では、隣り合う移動制限部７８ｂの間隔に、第１アンテナ側コネクタ５４の本体５４ａ、および、第２アンテナ側コネクタ５５の本体５５ａが交互に臨んで位置するようになっている。このとき、移動制限部７８ｂの間隔は、第１アンテナ側コネクタ５４の本体５４ａ、および、第２アンテナ側コネクタ５５の本体５５ａの直径よりも僅かに大きく形成されている。これにより、移動制限部７８ｂは、隣り合う第１電極棒５１（第１アンテナ側コネクタ５４）と第２電極棒５２（第２アンテナ側コネクタ５５）との対向面間に臨んで、アンテナ搬送体７０の搬送方向に対する両電極棒５１、５２の移動を制限することとなる。   In the state where the array antenna unit 30 is held by the antenna holding member 73, the main body 54a of the first antenna-side connector 54 and the main body 55a of the second antenna-side connector 55 are spaced apart from each other by the movement restriction portions 78b adjacent to each other. It is designed to be located alternately. At this time, the distance between the movement restricting portions 78b is slightly larger than the diameter of the main body 54a of the first antenna side connector 54 and the main body 55a of the second antenna side connector 55. As a result, the movement restricting portion 78b faces the opposing surface between the adjacent first electrode rod 51 (first antenna side connector 54) and the second electrode rod 52 (second antenna side connector 55), and the antenna carrier. The movement of both electrode rods 51 and 52 with respect to the conveyance direction 70 is limited.

なお、調整部材７８は、延在部７８ａが両電極棒５１、５２の一方の側にのみ設けられており、アンテナ搬送体７０の搬送方向（ｘ方向）に直交する水平方向（ｚ方向）への両電極棒５１、５２の移動を制限する機能は備えていない。つまり、調整部材７８は、少なくとも両電極棒５１、５２の移動をアンテナ搬送体７０の搬送方向（ｘ方向）に制限することとなる。   The adjustment member 78 has an extending portion 78a provided only on one side of the electrode rods 51 and 52, and extends in the horizontal direction (z direction) orthogonal to the conveyance direction (x direction) of the antenna carrier 70. The function of restricting the movement of the electrode rods 51 and 52 is not provided. That is, the adjustment member 78 restricts at least the movement of the electrode bars 51 and 52 in the transport direction (x direction) of the antenna transport body 70.

これに対して、すでに説明したとおり、搬送方向に直交する水平方向への両電極棒５１、５２の移動は、アンテナ支持部材３１のアンテナ支持孔３２によって制限されている（図８参照）。このとき、アンテナ支持孔３２は、アンテナ支持部材３１の長手方向に連続する長孔形状に形成されているため、アレイアンテナユニット３０においては、両電極棒５１、５２の配列方向への移動が制限されていない。つまり、アンテナ支持部材３１は、両電極棒５１、５２の移動をアンテナ搬送体７０の搬送方向に直交する水平方向にのみ制限している。   On the other hand, as already described, the movement of both electrode bars 51 and 52 in the horizontal direction orthogonal to the transport direction is limited by the antenna support hole 32 of the antenna support member 31 (see FIG. 8). At this time, since the antenna support hole 32 is formed in a long hole shape that is continuous in the longitudinal direction of the antenna support member 31, in the array antenna unit 30, movement of both electrode bars 51 and 52 in the arrangement direction is restricted. It has not been. That is, the antenna support member 31 restricts the movement of the electrode rods 51 and 52 only in the horizontal direction orthogonal to the conveyance direction of the antenna carrier 70.

図１８は、アレイアンテナユニット３０がアンテナ搬送体７０に保持された状態を示す斜視図である。この図に示すように、アレイアンテナユニット３０がアンテナ搬送体７０に保持された状態では、搬送方向（図中ｘ方向）への両電極棒５１、５２の移動が、アンテナ搬送体７０（調整部材７８）によって制限され、搬送方向に直交する水平方向（図中ｚ方向）への両電極棒５１、５２の移動が、アレイアンテナユニット３０（アンテナ支持部材３１）によって制限されている。   FIG. 18 is a perspective view showing a state where the array antenna unit 30 is held by the antenna carrier 70. As shown in this figure, in a state where the array antenna unit 30 is held by the antenna carrier 70, the movement of the electrode rods 51 and 52 in the carrying direction (x direction in the figure) 78), and the movement of both electrode bars 51 and 52 in the horizontal direction (z direction in the figure) orthogonal to the transport direction is limited by the array antenna unit 30 (antenna support member 31).

アレイアンテナユニット３０は、高温の真空チャンバ１内に置かれるため、アンテナ支持部材３１が熱膨張する。そこで、搬送方向に直交する水平方向への両電極棒５１、５２の移動を制限しながらも、アンテナ支持孔３２を長孔形状にすることによって、熱膨張時の逃げを確保し、部材間の干渉を防ぐようにしている。しかしながら、上記のように熱膨張時の逃げを確保すると、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際に、各電極棒５１、５２の位置がずれてしまい、これら各電極棒５１、５２を各天井側コネクタ１３、１４に接続する作業が煩雑になってしまう。   Since the array antenna unit 30 is placed in the high-temperature vacuum chamber 1, the antenna support member 31 is thermally expanded. Therefore, while restricting the movement of the electrode rods 51 and 52 in the horizontal direction perpendicular to the transport direction, the antenna support hole 32 has a long hole shape to ensure escape during thermal expansion, and between the members. I try to prevent interference. However, if the escape at the time of thermal expansion is ensured as described above, when the array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1, the positions of the electrode bars 51, 52 are shifted, and the electrode bars 51, 52 are shifted. The operation of connecting the cables to the ceiling side connectors 13 and 14 becomes complicated.

そこで、本実施形態においては、成膜処理中に外部に搬出されるアンテナ搬送体７０に調整部材７８を設けるとともに、この調整部材７８によって、搬送方向への両電極棒５１、５２の移動を制限することとしている。これにより、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際の位置決め精度を確保することが可能となり、掛け止め時の作業効率を向上することができる。つまり、上記の構成とすることで、成膜処理中における熱膨張時の逃げの確保と、アレイアンテナユニット３０の掛け止め時の位置決め精度と、からなる２つの相反する要求に応えることが可能となっている。以下では、洗浄が必要となったアレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１から取り外された状態において、新たなアレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際の作用について説明する。   Therefore, in the present embodiment, the adjustment member 78 is provided on the antenna carrier 70 that is carried outside during the film forming process, and the movement of the electrode rods 51 and 52 in the conveyance direction is restricted by the adjustment member 78. To do. As a result, it is possible to ensure the positioning accuracy when the array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1, and the working efficiency at the time of hooking can be improved. In other words, with the above-described configuration, it is possible to meet two conflicting requirements consisting of securing escape during thermal expansion during film formation and positioning accuracy when latching the array antenna unit 30. It has become. Hereinafter, the operation when the new array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1 in a state where the array antenna unit 30 that needs to be cleaned is detached from the vacuum chamber 1 will be described.

（アレイアンテナユニットの掛け止め過程）
本実施形態においては、図１に示すように、真空チャンバ１の右側面部２ｃに設けられた右開口部７から、真空チャンバ１内にアンテナ搬送体７０が搬入される。図１において、開閉扉８が開かれると、不図示のアンテナ搬送チャンバが真空チャンバ１に接続可能となっている。このアンテナ搬送チャンバには、真空チャンバ１に設けられたガイドレール１７に接続可能なガイドレールが設けられており、アンテナ搬送チャンバが真空チャンバ１に接続されると、アンテナ搬送チャンバに設けられたガイドレールと、真空チャンバ１に設けられたガイドレール１７とが連続するようになっている。これにより、アンテナ搬送体７０は、アンテナ搬送チャンバから真空チャンバ１内に搬入されることとなる。 (Holding process of array antenna unit)
In the present embodiment, as shown in FIG. 1, an antenna carrier 70 is carried into the vacuum chamber 1 from the right opening 7 provided in the right side surface 2 c of the vacuum chamber 1. In FIG. 1, when the open / close door 8 is opened, an antenna transfer chamber (not shown) can be connected to the vacuum chamber 1. The antenna transfer chamber is provided with a guide rail that can be connected to a guide rail 17 provided in the vacuum chamber 1. When the antenna transfer chamber is connected to the vacuum chamber 1, a guide provided in the antenna transfer chamber is provided. The rail and the guide rail 17 provided in the vacuum chamber 1 are continuous. As a result, the antenna carrier 70 is carried into the vacuum chamber 1 from the antenna carrier chamber.

このように、本実施形態によれば、アンテナ搬送体７０が、基板搬送体６０を搬送するためのガイドレール１７にガイドされて真空チャンバ１内を移動する。換言すれば、基板搬送体６０とアンテナ搬送体７０とで、同一のガイドレール１７を共用しているので、アンテナ搬送体７０をガイドするための専用の部品を真空チャンバ１内に設ける必要がない。したがって、真空チャンバ１すなわちプラズマＣＶＤ装置全体が大型化することがなく、また、コストを抑制しながらも、アレイアンテナユニット３０の搬送作業を簡素化することができる。   Thus, according to the present embodiment, the antenna carrier 70 is guided by the guide rail 17 for carrying the substrate carrier 60 and moves in the vacuum chamber 1. In other words, since the same guide rail 17 is shared by the substrate carrier 60 and the antenna carrier 70, it is not necessary to provide a dedicated component for guiding the antenna carrier 70 in the vacuum chamber 1. . Therefore, the vacuum chamber 1, that is, the entire plasma CVD apparatus is not increased in size, and the transporting operation of the array antenna unit 30 can be simplified while suppressing the cost.

図１９は、真空チャンバ１内にアレイアンテナユニット３０を掛け止める過程を説明する図である。図１９（ａ）は、図１８に示すように、洗浄を完了したアレイアンテナユニット３０を保持するアンテナ搬送体７０が、アンテナ搬送チャンバから真空チャンバ１内に搬入され、不図示のストッパーに接触して所定位置に停止した状態を示している。なお、このストッパーは、アンテナ搬送体７０には接触するが、基板搬送体６０には接触しない位置に設けられている。   FIG. 19 is a diagram illustrating a process of hanging the array antenna unit 30 in the vacuum chamber 1. In FIG. 19A, as shown in FIG. 18, the antenna carrier 70 holding the array antenna unit 30 that has been cleaned is carried into the vacuum chamber 1 from the antenna carrier chamber and comes into contact with a stopper (not shown). The state stopped at a predetermined position is shown. The stopper is provided at a position that contacts the antenna carrier 70 but does not contact the substrate carrier 60.

そして、この状態からエアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａを上方に伸長させると、図１９（ｂ）に示すように、アレイアンテナユニット３０の位置決めピン３５が、真空チャンバ１の天井部２ａに設けられた位置決め孔１８に挿通する。これにより、アレイアンテナユニット３０は、真空チャンバ１に対して位置決めがなされた状態で上昇することとなる。また、アレイアンテナユニット３０が上昇する過程では、天井部２ａに設けられた掛止ピン１９が掛止孔３６に挿通するとともに、第１天井側コネクタ１３が第１アンテナ側コネクタ５４に嵌合し、第２天井側コネクタ１４が第２アンテナ側コネクタ５５に嵌合する。   When the telescopic rod 76a of the air cylinder 76 is extended upward from this state, the positioning pins 35 of the array antenna unit 30 are provided on the ceiling portion 2a of the vacuum chamber 1 as shown in FIG. The positioning hole 18 is inserted. As a result, the array antenna unit 30 is lifted while being positioned with respect to the vacuum chamber 1. In the process of raising the array antenna unit 30, the latch pin 19 provided on the ceiling portion 2 a is inserted into the latch hole 36, and the first ceiling-side connector 13 is fitted to the first antenna-side connector 54. The second ceiling side connector 14 is fitted to the second antenna side connector 55.

このとき、アレイアンテナユニット３０は、荷重受け部７７、すなわち、受け面７９ａと揺動部８０とによる荷重受け構造により、アンテナ搬送体７０に揺動可能に保持されている（図１６参照）。そのため、仮に、アレイアンテナユニット３０が掛け止め位置からずれたとしても、当該アレイアンテナユニット３０を揺動させることにより、所定の掛け止め位置に調整することができる。これにより、位置決めピン３５や位置決め孔１８、あるいは各コネクタ１３、１４、５４、５５の寸法管理が厳密でなかったとしても、確実にアレイアンテナユニット３０を天井部２ａに掛け止めることができる。   At this time, the array antenna unit 30 is swingably held by the antenna carrier 70 by a load receiving portion 77, that is, a load receiving structure including the receiving surface 79a and the swinging portion 80 (see FIG. 16). Therefore, even if the array antenna unit 30 is deviated from the latching position, the array antenna unit 30 can be adjusted to a predetermined latching position by swinging the array antenna unit 30. Thereby, even if the dimensional management of the positioning pin 35, the positioning hole 18, or the connectors 13, 14, 54, 55 is not strict, the array antenna unit 30 can be reliably hung on the ceiling portion 2a.

そして、図１９（ｂ）に示す状態で、アレイアンテナユニット３０の掛止孔３６を挿通した掛止ピン１９に、その下方からボルト等の固定手段を固定することにより、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１内に掛け止められることとなる。このようにして、アレイアンテナユニット３０が掛け止められたら、エアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａを下方に収縮させる。すると、図１９（ｃ）に示すように、支柱７５ａ、７５ｂに懸架された調整部材７８が降下して、アンテナ搬送体７０からアレイアンテナユニット３０が離脱する。   Then, in the state shown in FIG. 19B, the array antenna unit 30 is vacuumed by fixing a fixing means such as a bolt from below to the latch pin 19 inserted through the latch hole 36 of the array antenna unit 30. It is latched in the chamber 1. When the array antenna unit 30 is hooked in this way, the telescopic rod 76a of the air cylinder 76 is contracted downward. Then, as shown in FIG. 19 (c), the adjustment member 78 suspended on the columns 75 a and 75 b is lowered and the array antenna unit 30 is detached from the antenna carrier 70.

ただし、この状態では、真空チャンバ１の天井部２ａから垂下する第１電極棒５１および第２電極棒５２と、支柱７５ａ、７５ｂと、がアンテナ搬送体７０の搬送方向において、同一直線上に位置したままとなっている。また、一対の支柱７５ａ、７５ｂに懸架される調整部材７８の移動制限部７８ｂが、第１電極棒５１および第２電極棒５２に臨んだままの状態となっている。したがって、このままの状態では、アンテナ搬送体７０を真空チャンバ１から搬出することができない。   However, in this state, the first electrode rod 51 and the second electrode rod 52 hanging from the ceiling portion 2a of the vacuum chamber 1 and the columns 75a and 75b are positioned on the same straight line in the conveyance direction of the antenna carrier 70. It has been done. Further, the movement restricting portion 78b of the adjustment member 78 suspended from the pair of support columns 75a and 75b remains facing the first electrode rod 51 and the second electrode rod 52. Therefore, in this state, the antenna carrier 70 cannot be carried out of the vacuum chamber 1.

そこで、図２０に示すように、スライド装置７４を駆動して、一対の支柱７５ａ、７５ｂを、アンテナ搬送体７０の搬送方向に直交する水平方向にスライドさせ、一対の支柱７５ａ、７５ｂを第１電極棒５１および第２電極棒５２の配列直線上から退避させる。これにより、調整部材７８の移動制限部７８ｂも、隣り合う第１電極棒５１および第２電極棒５２の対向面間から退避することとなる。そして、アンテナ搬送体７０を、再びガイドレール１７に沿って真空チャンバ１の外に搬出すれば、メンテナンス作業が終了となる。これにより、基板搬送体６０を真空チャンバ１内に搬入することが可能となり、成膜処理を再開することができる。   Therefore, as shown in FIG. 20, the slide device 74 is driven to slide the pair of support columns 75a and 75b in the horizontal direction orthogonal to the transport direction of the antenna transport body 70, and the pair of support columns 75a and 75b are moved to the first position. The electrode rod 51 and the second electrode rod 52 are retracted from the alignment line. As a result, the movement restricting portion 78b of the adjustment member 78 is also retracted from between the opposing surfaces of the adjacent first electrode rod 51 and second electrode rod 52. Then, when the antenna carrier 70 is carried out of the vacuum chamber 1 along the guide rail 17 again, the maintenance work is completed. As a result, the substrate transfer body 60 can be carried into the vacuum chamber 1 and the film forming process can be resumed.

上記のように、成膜処理中には、アンテナ搬送体７０が真空チャンバ１から搬出されるので、アンテナ搬送体７０には、耐圧性や耐化学物質性の部品を用いる必要がなく、コストを抑制することが可能となる。また、アンテナ搬送体７０を、成膜処理中に真空チャンバ１内に留める必要がないことから、複数の真空チャンバ１が設けられたプラズマＣＶＤ装置であっても、１体のアンテナ搬送体７０を設けるだけでよい。   As described above, since the antenna carrier 70 is unloaded from the vacuum chamber 1 during the film forming process, it is not necessary to use pressure-resistant or chemical-resistant parts for the antenna carrier 70, and cost is reduced. It becomes possible to suppress. Further, since it is not necessary to keep the antenna carrier 70 in the vacuum chamber 1 during the film forming process, even if the plasma CVD apparatus is provided with a plurality of vacuum chambers 1, the single antenna carrier 70 is provided. It is only necessary to provide it.

なお、上記実施形態においては、アレイアンテナユニット３０を揺動可能に保持するために、荷重受け部７７の受け面７９ａを凹状に形成するとともに、この受け面７９ａに接触する揺動部８０を半球状に形成することとしたが、アレイアンテナユニットを揺動可能に保持するための構成はこれに限らない。例えば、受け面７９ａは平面状であってもよいし、また、上記実施形態とは逆に、受け面を凸状に湾曲させるとともに、この凸状の受け面に載置される揺動部を凹状に湾曲させるようにしても構わない。   In the above embodiment, in order to hold the array antenna unit 30 in a swingable manner, the receiving surface 79a of the load receiving portion 77 is formed in a concave shape, and the swinging portion 80 in contact with the receiving surface 79a is formed as a hemisphere. However, the configuration for holding the array antenna unit in a swingable manner is not limited to this. For example, the receiving surface 79a may be planar, or, contrary to the above-described embodiment, the receiving surface is curved in a convex shape, and a swinging portion placed on the convex receiving surface is provided. You may make it curve in a concave shape.

つまり、受け面および揺動部の接触部位のうちのいずれか一方が、いずれか他方に向かって突出する湾曲面状の接触部を有し、受け面および揺動部のいずれか他方が、平面状、または凹状の湾曲面状を有するようにすればよい。このとき、受け面および揺動部の湾曲面は、必ずしも球状に湾曲する必要はなく、いずれか一の水平方向にのみ揺動可能なように湾曲するものであってもよい。   That is, either one of the contact surfaces of the receiving surface and the swinging portion has a curved contact portion protruding toward the other, and the other of the receiving surface and the swinging portion is a flat surface. Or a concave curved surface. At this time, the curved surfaces of the receiving surface and the swinging portion are not necessarily curved in a spherical shape, and may be curved so as to be swingable only in any one horizontal direction.

さらに、アレイアンテナユニットを揺動させる構成は、上記の荷重受け構造によるものに限らない。例えば、上記実施形態において、荷重受け構造を介さずに、支柱７５ａ、７５ｂの上端に直接アレイアンテナユニット３０を懸架させる。そして、アンテナ搬送体７０に所定の振動装置を設け、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際に、上記の振動装置を駆動して、支柱７５ａ、７５ｂまたはアレイアンテナユニット３０を揺動させるようにしてもよい。このようにしても、アレイアンテナユニット３０を掛け止める際に、当該アレイアンテナユニット３０を揺動させることができるので、取り付け容易性を向上することができる。   Further, the configuration for swinging the array antenna unit is not limited to the above-described load receiving structure. For example, in the above-described embodiment, the array antenna unit 30 is directly suspended from the upper ends of the columns 75a and 75b without using the load receiving structure. The antenna carrier 70 is provided with a predetermined vibration device, and when the array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1, the vibration device is driven to swing the support columns 75a and 75b or the array antenna unit 30. You may make it make it. Even in this case, when the array antenna unit 30 is hooked, the array antenna unit 30 can be swung, so that the ease of attachment can be improved.

また、上記実施形態においては、基板搬送体６０およびアンテナ搬送体７０を搬送するためのガイド機構として、真空チャンバ１内にガイドレール１７が設けられるとともに、基板搬送体６０に車輪６２が設けられ、アンテナ搬送体７０に車輪７２が設けられることとした。   Moreover, in the said embodiment, while the guide rail 17 is provided in the vacuum chamber 1 as a guide mechanism for conveying the board | substrate conveyance body 60 and the antenna conveyance body 70, the wheel 62 is provided in the board | substrate conveyance body 60, The wheels 72 are provided on the antenna carrier 70.

しかしながら、これとは逆に、真空チャンバ内に複数のガイドローラを配列するとともに、基板搬送体およびアンテナ搬送体に、上記のガイドローラに摺接する板状の部材を設けるようにしても構わない。また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体と基板搬送体とが同一のガイドレールにガイドされる構成としたが、アンテナ搬送体を搬送するための専用の部品を設けるようにしても構わない。   However, conversely, a plurality of guide rollers may be arranged in the vacuum chamber, and a plate-like member that is in sliding contact with the guide rollers may be provided on the substrate carrier and the antenna carrier. In the above embodiment, the antenna carrier and the substrate carrier are guided by the same guide rail. However, a dedicated component for carrying the antenna carrier may be provided.

また、上記実施形態におけるアレイアンテナユニットやアンテナ保持部材の構成は一例に過ぎない。いずれにしても、アンテナ保持部材は、アレイアンテナユニットを着脱自在に保持するものであればよい。したがって、アンテナ保持部材においては、アレイアンテナユニットに支持される電極棒の移動を制限する調整部材揺動揺動は必須の構成ではない。   In addition, the configurations of the array antenna unit and the antenna holding member in the above embodiment are merely examples. In any case, the antenna holding member only needs to hold the array antenna unit detachably. Therefore, in the antenna holding member, the adjustment member swinging swinging that restricts the movement of the electrode rod supported by the array antenna unit is not an essential configuration.

また、アレイアンテナユニットの構成や、当該アレイアンテナユニットを保持するアンテナ保持部材の構成によっては、アンテナ保持部材をスライドさせるスライド装置も必須ではない。つまり、アンテナ保持部材を搬送方向に直交もしくは交差する方向にスライドさせる目的は、アンテナ搬送体を搬出する際に、アンテナ保持部材とアレイアンテナユニットとの干渉を防ぐことにある。したがって、アンテナ搬送体の搬出にあたって、アンテナ搬送体とアレイアンテナユニットとが干渉しなくなれば、アンテナ保持部材の全部をスライドさせずに、例えば調整部材のみをスライドさせるなど、アンテナ保持部材の一部のみをスライドさせるようにしても構わない。なお、アンテナ保持部材を搬送方向に直交もしくは交差する方向にスライド可能とする場合に、そのスライドを上記実施形態のようにスライド装置によって自動で行うこととしてもよいし、手動によって行うこととしてもよい。このように、アンテナ保持部材の構成は、アレイアンテナユニットの構成に応じて適宜設計すればよい。   Also, depending on the configuration of the array antenna unit and the configuration of the antenna holding member that holds the array antenna unit, a slide device that slides the antenna holding member is not essential. In other words, the purpose of sliding the antenna holding member in a direction orthogonal to or intersecting the transport direction is to prevent interference between the antenna holding member and the array antenna unit when the antenna transport body is carried out. Therefore, when carrying out the antenna carrier, if the antenna carrier and the array antenna unit do not interfere with each other, only a part of the antenna holding member is slid without sliding the whole antenna holding member, for example, only the adjusting member. You may make it slide. When the antenna holding member can be slid in a direction orthogonal to or intersecting the transport direction, the slide may be automatically performed by the slide device as in the above embodiment, or may be manually performed. . As described above, the configuration of the antenna holding member may be appropriately designed according to the configuration of the array antenna unit.

また、上記実施形態においては、変位手段がアレイアンテナユニットを鉛直方向に昇降させる構成としたが、変位手段によるアレイアンテナユニットの変位方向はこれに限らない。つまり、変位手段によってアレイアンテナユニットを変位させる目的は、真空チャンバに設けられたコネクタに、アレイアンテナユニットの電極棒（アンテナ側コネクタ）を一括して接続することにある。したがって、例えば、真空チャンバに設けられたコネクタが、電極棒を水平方向に変位させて接続されるように配置された場合には、変位手段はアレイアンテナユニットを同一の水平方向に変位させることとなる。このように、変位手段は、真空チャンバに設けられた複数のコネクタの接続方向にアレイアンテナユニットを変位させるものを広く含むものである。   In the above embodiment, the displacement means moves the array antenna unit up and down in the vertical direction. However, the displacement direction of the array antenna unit by the displacement means is not limited to this. In other words, the purpose of displacing the array antenna unit by the displacing means is to collectively connect the electrode rods (antenna side connector) of the array antenna unit to the connector provided in the vacuum chamber. Therefore, for example, when the connector provided in the vacuum chamber is arranged so that the electrode rod is displaced in the horizontal direction and connected, the displacing means displaces the array antenna unit in the same horizontal direction. Become. As described above, the displacing means widely includes those that displace the array antenna unit in the connection direction of the plurality of connectors provided in the vacuum chamber.

また、上記実施形態においては、エアシリンダによってアレイアンテナユニットが鉛直方向に昇降する構成としたが、アレイアンテナユニットの変位は手動で行われるようにしても構わない。さらに、アレイアンテナユニットを自動で変位させる変位手段を設ける場合には、エアシリンダに限らず、油圧シリンダや電動シリンダなど、種々の装置によって変位手段を構成することが可能である。ただし、エアシリンダは、他の装置に比べてクッション性が高いので、上述の揺動機構と相まって、アレイアンテナユニットを掛け止める際の移動自由度が増し、取り付け容易性を向上すことができる。   In the above embodiment, the array antenna unit is moved up and down in the vertical direction by the air cylinder. However, the displacement of the array antenna unit may be manually performed. Furthermore, in the case where a displacement means for automatically displacing the array antenna unit is provided, the displacement means can be configured by various devices such as a hydraulic cylinder and an electric cylinder, not limited to an air cylinder. However, since the air cylinder has higher cushioning properties than other devices, in combination with the above-described swing mechanism, the degree of freedom of movement when the array antenna unit is hooked is increased, and the ease of attachment can be improved.

また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体に３体のアレイアンテナユニットが同時に保持可能な構成としたが、アンテナ搬送体に同時に保持可能なアレイアンテナユニットの数は限定されない。また、複数のアレイアンテナユニットを同時に保持する構成とした場合には、アレイアンテナユニットと同数のアンテナ保持部材を設けることとしてもよいし、１つのアンテナ保持部材に複数のアレイアンテナユニットを保持可能な構成としてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although it was set as the structure which can hold | maintain three array antenna units simultaneously at an antenna carrier, the number of array antenna units which can be simultaneously hold | maintained at an antenna carrier is not limited. Further, when a plurality of array antenna units are configured to be held at the same time, the same number of antenna holding members as the array antenna units may be provided, and a plurality of array antenna units can be held on one antenna holding member. It is good also as a structure.

なお、上記実施形態のように、複数のアレイアンテナユニットを同時に保持可能な構成とし、かつ、これらアレイアンテナユニットを変位させる変位手段を設ける場合には、各アレイアンテナユニットを個別に変位可能とすることが望ましい。各アレイアンテナユニットを真空チャンバに掛け止める際には、コネクタの接続状態などを目視確認する必要がある。このとき、複数のアレイアンテナユニットが同時に変位することとなると、作業者から見て相対的に奥側に位置するアレイアンテナユニットの取り付け状況の確認が困難となる。したがって、変位手段によって複数のアレイアンテナユニットを変位させる場合には、変位手段が個別に作動する構成にするとよい。   In addition, when it is set as the structure which can hold | maintain several array antenna units simultaneously like the said embodiment, and the displacement means to displace these array antenna units is provided, each array antenna unit can be displaced individually. It is desirable. When each array antenna unit is hung on the vacuum chamber, it is necessary to visually check the connection state of the connector. At this time, if a plurality of array antenna units are displaced at the same time, it is difficult to confirm the mounting state of the array antenna unit positioned relatively far behind as viewed from the operator. Therefore, when a plurality of array antenna units are displaced by the displacement means, the displacement means may be configured to operate individually.

なお、アンテナ搬送体の搬送は手動で行うこととしてもよいし、基板搬送体と同様に、駆動ピニオンに対応するラックを設けて駆動モータで搬送を実現するなど、駆動装置によって搬送を実現することとしてもよい。さらに、上記実施形態においては、左開口部から真空チャンバ内に基板搬送体が搬入され、右開口部から真空チャンバ内にアンテナ搬送体が搬入されることとしたが、両搬送体の搬入、搬出方向は同じであってもよい。   The antenna carrier may be transported manually, or, like the substrate carrier, a carrier corresponding to the drive pinion may be provided to carry the carrier with a drive motor. It is good. Further, in the above embodiment, the substrate carrier is carried into the vacuum chamber from the left opening, and the antenna carrier is carried into the vacuum chamber from the right opening. The directions may be the same.

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to this embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims, and these are naturally within the technical scope of the present invention. Is done.

本発明は、真空チャンバ内でプラズマを発生させて基板表面に薄膜を生成するアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置に係り、特には、真空チャンバ内にアンテナを搬送するアンテナ搬送体、このアンテナ搬送体を備えたアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置、および真空チャンバ内にアンテナおよび基板を搬送する方法に利用することができる。   The present invention relates to an array antenna type plasma CVD apparatus for generating a thin film on a substrate surface by generating plasma in a vacuum chamber, and in particular, an antenna carrier for carrying an antenna in a vacuum chamber, and the antenna carrier. Further, the present invention can be used for an array antenna type plasma CVD apparatus and a method for transferring an antenna and a substrate into a vacuum chamber.

１ 真空チャンバ
１０ 内部空間
１２ 高周波電源
１３ 第１天井側コネクタ
１４ 第２天井側コネクタ
１５ ガス供給源
１９ 掛止ピン
３０ アレイアンテナユニット
３６ 掛止孔
５０ 誘導結合型電極
５１ 第１電極棒
５２ 第２電極棒
７０ アンテナ搬送体
７３ アンテナ保持部材
７５ａ、７５ｂ 支柱
７６ エアシリンダ
７６ａ 伸縮ロッド
７７ 荷重受け部
７９ 受け部
７９ａ 受け面
８０ 揺動部
８０ａ 半球部
Ｗ 基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum chamber 10 Internal space 12 High frequency power supply 13 1st ceiling side connector 14 2nd ceiling side connector 15 Gas supply source 19 Latch pin 30 Array antenna unit 36 Latch hole 50 Inductive coupling type electrode 51 1st electrode rod 52 2nd Electrode rod 70 Antenna carrier 73 Antenna holding members 75a and 75b Strut 76 Air cylinder 76a Telescopic rod 77 Load receiving portion 79 Receiving portion 79a Receiving surface 80 Swing portion 80a Hemispherical portion W Substrate

Claims (10)

真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、
前記真空チャンバに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、
前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、
前記アレイアンテナユニットを着脱自在に掛け止めするとともに、前記アレイアンテナユニットを掛け止めした状態で前記コネクタと前記電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、
を備えたアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置に、前記アレイアンテナユニットを搬送するアンテナ搬送体であって、
前記アレイアンテナユニットを着脱自在に保持するアンテナ保持部材と、
前記アンテナ保持部材に保持された前記アレイアンテナユニットを、前記真空チャンバに設けられた前記複数のコネクタの接続方向に変位させる変位手段と、を備え、
前記アンテナ保持部材は、前記アレイアンテナユニットを揺動可能に保持してなることを特徴とするアンテナ搬送体。 A vacuum chamber in which a material gas is supplied from a gas supply source into an interior that can be decompressed to a vacuum state;
A plurality of connectors provided in the vacuum chamber and electrically connectable to a high-frequency power source;
An array antenna having a plurality of electrode rods connectable to each of the plurality of connectors in the vacuum chamber, and generating plasma by supplying power from the high-frequency power source while the electrode rods are connected to the connectors Unit,
An antenna latching means for detachably latching the array antenna unit, and maintaining the connector and the electrode rod in a connected state with the array antenna unit latched;
An antenna carrier for carrying the array antenna unit to an array antenna type plasma CVD apparatus comprising:
An antenna holding member for detachably holding the array antenna unit;
Displacement means for displacing the array antenna unit held by the antenna holding member in a connection direction of the plurality of connectors provided in the vacuum chamber,
The antenna holding member is configured to hold the array antenna unit in a swingable manner. 前記複数のコネクタは、前記真空チャンバの内部上方に設けられるとともに、前記電極棒を鉛直方向下方から上方に向かって接続可能に配置され、
前記変位手段は、前記アレイアンテナユニットを鉛直方向に上昇または下降させてなることを特徴とする請求項１記載のアンテナ搬送体。 The plurality of connectors are provided inside the vacuum chamber and disposed so that the electrode rods can be connected upward from the lower side in the vertical direction.
2. The antenna carrier according to claim 1, wherein the displacement means is configured to raise or lower the array antenna unit in a vertical direction. 前記アレイアンテナユニットの荷重を受けるアンテナ保持部材の荷重受け部は、
鉛直方向上方に臨む受け面と、
前記受け面上に載置され、前記アレイアンテナユニットの荷重を前記受け面に作用させる揺動部と、を備え、
前記受け面および揺動部の接触部位のうちのいずれか一方は、いずれか他方に向かって突出する湾曲面状の接触部を有するとともに、前記受け面および揺動部のいずれか他方は、平面状、または前記湾曲面状の接触部よりも曲率の小さい湾曲面状の凹みを有する、ことを特徴とする請求項１または２記載のアンテナ搬送体。 The load receiving portion of the antenna holding member that receives the load of the array antenna unit is:
A receiving surface facing vertically upward;
A swinging portion placed on the receiving surface and causing the load of the array antenna unit to act on the receiving surface;
Either one of the contact surfaces of the receiving surface and the swinging portion has a curved contact portion projecting toward the other, and the other of the receiving surface and the swinging portion is a flat surface. The antenna carrier according to claim 1, wherein the antenna carrier has a shape or a curved surface-shaped recess having a smaller curvature than the curved surface-shaped contact portion. 前記アンテナ保持部材は、
前記荷重受け部が上端に設けられた支柱を、所定の間隔を維持して複数本配置してなり、これら複数本の支柱に前記アレイアンテナユニットを懸架して保持可能であることを特徴とする請求項３記載のアンテナ搬送体。 The antenna holding member is
A plurality of struts provided with the load receiving portion at the upper end are arranged at a predetermined interval, and the array antenna unit can be suspended and held on the plurality of struts. The antenna carrier according to claim 3. 前記変位手段は、真空チャンバに設けられた前記複数のコネクタの接続方向に伸縮ロッドを伸縮させるエアシリンダによって構成されてなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のアンテナ搬送体。   The antenna according to any one of claims 1 to 4, wherein the displacing means is configured by an air cylinder that extends and retracts a telescopic rod in a connection direction of the plurality of connectors provided in a vacuum chamber. Carrier. 真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、
前記真空チャンバに設けられ高周波電源に電気的に接続可能な複数のコネクタと、
前記真空チャンバ内で前記複数のコネクタそれぞれに接続可能な複数本の電極棒を有し、前記電極棒がコネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、
前記アレイアンテナユニットを着脱自在に保持するアンテナ保持部材、および、当該アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットを、前記真空チャンバに設けられた前記複数のコネクタの接続方向に変位させる変位手段を有し、前記真空チャンバ内を移動可能なアンテナ搬送体と、
前記アンテナ搬送体によって前記真空チャンバ内の所定位置に搬送され、かつ、前記変位手段によって前記複数のコネクタの接続方向に変位した前記アレイアンテナユニットを着脱自在に前記真空チャンバ内に掛け止めするとともに、前記アレイアンテナユニットを掛け止めした状態で前記コネクタと前記電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、を備え、
前記アンテナ保持部材は、前記アレイアンテナユニットを揺動可能に保持してなることを特徴とするアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置。 A vacuum chamber in which a material gas is supplied from a gas supply source into an interior that can be decompressed to a vacuum state;
A plurality of connectors provided in the vacuum chamber and electrically connectable to a high-frequency power source;
An array antenna having a plurality of electrode rods connectable to each of the plurality of connectors in the vacuum chamber, and generating plasma by supplying power from the high-frequency power source while the electrode rods are connected to the connectors Unit,
An antenna holding member for detachably holding the array antenna unit, and a displacement means for displacing the array antenna unit held by the antenna holding member in a connection direction of the plurality of connectors provided in the vacuum chamber. An antenna carrier that is movable in the vacuum chamber;
The array antenna unit transported to a predetermined position in the vacuum chamber by the antenna transport body and displaced in the connecting direction of the plurality of connectors by the displacement means is detachably latched in the vacuum chamber; Antenna latching means for maintaining the connector and the electrode rod in a connected state in a state where the array antenna unit is latched; and
The antenna holding member holds the array antenna unit in a swingable manner, and is an array antenna type plasma CVD apparatus. 前記複数のコネクタは、前記真空チャンバの内部上方に設けられるとともに、前記電極棒を鉛直方向下方から上方に向かって接続可能に配置され、
前記変位手段は、前記アレイアンテナユニットを鉛直方向に上昇または下降させてなることを特徴とする請求項６記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置。 The plurality of connectors are provided inside the vacuum chamber and disposed so that the electrode rods can be connected upward from the lower side in the vertical direction.
7. The array antenna type plasma CVD apparatus according to claim 6, wherein the displacing means raises or lowers the array antenna unit in a vertical direction. 前記アレイアンテナユニットの荷重を受けるアンテナ保持部材の荷重受け部は、
鉛直方向上方に臨む受け面と、
前記受け面上に載置され、前記アレイアンテナユニットの荷重を前記受け面に作用させる揺動部と、を備え、
前記受け面および揺動部の接触部位のうちのいずれか一方は、いずれか他方に向かって突出する湾曲面状の接触部を有するとともに、前記受け面および揺動部のいずれか他方は、平面状、または前記湾曲面状の接触部よりも曲率の小さい湾曲面状の凹みを有する、ことを特徴とする請求項６または７記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置。 The load receiving portion of the antenna holding member that receives the load of the array antenna unit is:
A receiving surface facing vertically upward;
A swinging portion placed on the receiving surface and causing the load of the array antenna unit to act on the receiving surface;
Either one of the contact surfaces of the receiving surface and the swinging portion has a curved contact portion projecting toward the other, and the other of the receiving surface and the swinging portion is a flat surface. The array antenna type plasma CVD apparatus according to claim 6, wherein the array antenna type plasma CVD apparatus has a concave shape having a curved shape or a curved surface shape having a smaller curvature than the curved surface-shaped contact portion. 前記アンテナ保持部材は、
前記荷重受け部が上端に設けられた支柱を、所定の間隔を維持して複数本配置してなり、これら複数本の支柱に前記アレイアンテナユニットを懸架して保持可能であることを特徴とする請求項８記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置。 The antenna holding member is
A plurality of struts provided with the load receiving portion at the upper end are arranged at a predetermined interval, and the array antenna unit can be suspended and held on the plurality of struts. The array antenna type plasma CVD apparatus according to claim 8. 前記変位手段は、真空チャンバに設けられた前記複数のコネクタの接続方向に伸縮ロッドを伸縮させるエアシリンダによって構成されてなることを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置。   10. The array according to claim 6, wherein the displacing means is configured by an air cylinder that expands and contracts an expansion / contraction rod in a connection direction of the plurality of connectors provided in a vacuum chamber. Antenna type plasma CVD apparatus.
JP2011019167A 2011-01-31 2011-01-31 Antenna carrier and array antenna type plasma CVD apparatus Expired - Fee Related JP5582050B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011019167A JP5582050B2 (en) 2011-01-31 2011-01-31 Antenna carrier and array antenna type plasma CVD apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011019167A JP5582050B2 (en) 2011-01-31 2011-01-31 Antenna carrier and array antenna type plasma CVD apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012160569A true JP2012160569A (en) 2012-08-23
JP5582050B2 JP5582050B2 (en) 2014-09-03

Family

ID=46840861

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011019167A Expired - Fee Related JP5582050B2 (en) 2011-01-31 2011-01-31 Antenna carrier and array antenna type plasma CVD apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5582050B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012158802A (en) * 2011-01-31 2012-08-23 Ihi Corp Antenna carrier, array antenna type plasma cvd device, and method for carrying antenna for array antenna type plasma cvd device and substrate

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004143592A (en) * 2002-10-04 2004-05-20 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Method and apparatus for depositing thin film, method and device for manufacturing solar battery, and solar battery
JP2004335601A (en) * 2003-05-02 2004-11-25 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Substrate transfer unit of thin film deposition system
JP2005042150A (en) * 2003-07-25 2005-02-17 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Partition wall connector of film-forming apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004143592A (en) * 2002-10-04 2004-05-20 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Method and apparatus for depositing thin film, method and device for manufacturing solar battery, and solar battery
US20060011231A1 (en) * 2002-10-04 2006-01-19 Masashi Ueda Method for forming thin film and apparatus therefor
JP2004335601A (en) * 2003-05-02 2004-11-25 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Substrate transfer unit of thin film deposition system
JP2005042150A (en) * 2003-07-25 2005-02-17 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Partition wall connector of film-forming apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012158802A (en) * 2011-01-31 2012-08-23 Ihi Corp Antenna carrier, array antenna type plasma cvd device, and method for carrying antenna for array antenna type plasma cvd device and substrate

Also Published As

Publication number Publication date
JP5582050B2 (en) 2014-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9777371B2 (en) ALD systems and methods
KR101205416B1 (en) Substrate transfer apparatus and substrate transfer method
KR102135740B1 (en) Substrate process apparatus
JP5482500B2 (en) Substrate processing equipment
CN1841652A (en) Load fixing device, processing system and method
CN101896634B (en) Chamber and film-forming apparatus
KR20200003127A (en) Vacuum processing unit
JP5699644B2 (en) Antenna carrier, array antenna plasma CVD apparatus, and array antenna unit mounting method of array antenna plasma CVD apparatus
JP5582050B2 (en) Antenna carrier and array antenna type plasma CVD apparatus
KR102061373B1 (en) Substrate processing device and method for maintaining same
JP5601228B2 (en) Antenna carrier, array antenna plasma CVD apparatus, and array antenna unit mounting method of array antenna plasma CVD apparatus
JP5533708B2 (en) Antenna carrier, array antenna type plasma CVD apparatus, and antenna and substrate carrying method of array antenna type plasma CVD apparatus
JP5573723B2 (en) Antenna exchange method, antenna carrier system, and antenna carrier device
JP5625991B2 (en) Antenna carrier system and antenna carrier method for array antenna type plasma CVD apparatus
JP5960758B2 (en) Substrate processing system and substrate processing apparatus
KR101562663B1 (en) Apparatus for processing substrate
CN109868461B (en) Sampling system is put to microwave plasma chemistry vapour deposition device
CN111383948A (en) Substrate processing apparatus
TW201205711A (en) Substrate processing apparatus
KR101258350B1 (en) Substrate processing apparatus
JP5780023B2 (en) Plasma CVD apparatus and film forming method using plasma CVD apparatus
US20230178395A1 (en) System for processing substrate and maintenance method thereof
JP6069874B2 (en) Plasma processing equipment
JP2013214445A (en) Plasma processing apparatus
JP5993114B2 (en) Array antenna type plasma CVD equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20131126

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140611

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140617

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140630

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees