JP5601228B2 - Antenna carrier, array antenna plasma CVD apparatus, and array antenna unit mounting method of array antenna plasma CVD apparatus - Google Patents

Antenna carrier, array antenna plasma CVD apparatus, and array antenna unit mounting method of array antenna plasma CVD apparatus Download PDF

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本発明は、真空チャンバ内でプラズマを発生させて基板表面に薄膜を生成するアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置に係り、特には、このアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置にアンテナを搬送するアンテナ搬送体、このアンテナ搬送体を用いたアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置、並びに、アレイアンテナユニットの取り付け方法に関する。   The present invention relates to an array antenna type plasma CVD apparatus for generating a thin film on a substrate surface by generating plasma in a vacuum chamber, and in particular, an antenna carrier for carrying an antenna to the array antenna type plasma CVD apparatus, and the antenna The present invention relates to an array antenna type plasma CVD apparatus using a carrier and a method for attaching an array antenna unit.

従来、特許文献１〜３に示されるアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置が知られている。これらのアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、内部を真空状態に減圧可能な真空チャンバを有しており、この真空チャンバの天井壁に、高周波電源に電気的に接続された複数のコネクタが配設されている。また、真空チャンバ内には、複数本の電極棒を有するアレイアンテナユニットが設けられており、このアレイアンテナユニットの電極棒が、複数のコネクタそれぞれに接続されている。   Conventionally, an array antenna type plasma CVD apparatus disclosed in Patent Documents 1 to 3 is known. These array antenna type plasma CVD apparatuses have a vacuum chamber that can be evacuated to a vacuum state, and a plurality of connectors electrically connected to a high-frequency power source are disposed on the ceiling wall of the vacuum chamber. ing. An array antenna unit having a plurality of electrode rods is provided in the vacuum chamber, and the electrode rods of the array antenna unit are connected to the plurality of connectors.

そして、真空状態に減圧された真空チャンバ内に、基板を保持する基板搬送用の台車を搬送するとともに、当該基板をアレイアンテナユニットに臨ませた状態で、真空チャンバ内に材料ガスを供給しつつ、電極棒に高周波電力を供給する。これにより、真空雰囲気中にプラズマが発生するとともに、プラズマによって分解された材料ガスの成分が基板の表面に付着し、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜などの薄膜が基板表面に生成されることとなる。   Then, a substrate carriage for holding the substrate is transferred into the vacuum chamber whose pressure has been reduced to a vacuum state, and the material gas is supplied into the vacuum chamber with the substrate facing the array antenna unit. The high frequency power is supplied to the electrode rod. As a result, plasma is generated in a vacuum atmosphere, the component of the material gas decomposed by the plasma adheres to the surface of the substrate, and a thin film such as an amorphous silicon film or a microcrystalline silicon film is generated on the substrate surface. It becomes.

特開２００７−２６２５４１号公報JP 2007-262541 A 特開２００３−８６５８１号公報JP 2003-86581 A 特開２００３−１０９７９８号公報JP 2003-109798 A

上記のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置においては、基板表面に薄膜を生成する成膜処理の過程で、電極棒の表面に皮膜が付着することから、アレイアンテナユニットを定期的にメンテナンスする必要がある。ところが、従来のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置においては、メンテナンスの際に、各電極棒を１本ずつ、コネクタから取り外したり、あるいは新たな電極棒をコネクタに接続したりしなければならなかった。そのため、メンテナンスの際には、多数の電極棒の着脱作業や搬送作業が煩雑となってメンテナンスに長時間を要してしまい、装置の稼働停止時間が長期化して稼働率が低下することがあった。   In the above array antenna type plasma CVD apparatus, a film adheres to the surface of the electrode rod in the process of forming a thin film on the surface of the substrate. Therefore, it is necessary to periodically maintain the array antenna unit. However, in the conventional array antenna type plasma CVD apparatus, at the time of maintenance, each electrode bar must be removed from the connector one by one or a new electrode bar must be connected to the connector. For this reason, during the maintenance, the work of attaching and detaching a large number of electrode rods and the transportation work become complicated, and it takes a long time for the maintenance. It was.

本発明は、アレイアンテナユニットのメンテナンス作業を簡素化することができるアンテナ搬送体、アレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置、並びに、アレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアレイアンテナユニット取り付け方法を提供することを目的としている。   An object of the present invention is to provide an antenna carrier, an array antenna type plasma CVD apparatus, and an array antenna unit mounting method for an array antenna type plasma CVD apparatus that can simplify maintenance work of the array antenna unit. .

上記課題を解決するために、本発明のアンテナ搬送体は、真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、高周波電源に電気的に接続可能であって、真空チャンバの内部上方に設けられるとともに、電極棒を鉛直方向下方から上方に向かって接続可能な複数のコネクタと、複数本の電極棒が互いに間隔を維持して配列した状態で一体的に支持され、これら複数本の電極棒が対応するコネクタに接続された状態で高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、アレイアンテナユニットを着脱自在に真空チャンバ内に掛け止めするとともに、アレイアンテナユニットを掛け止めした状態でコネクタと電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、を備えたアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置に、アレイアンテナユニットを搬送するアンテナ搬送体であって、複数本の電極棒を垂下させた状態でアレイアンテナユニットを保持するアンテナ保持部材と、アンテナ保持部材に連結され、当該アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの電極棒の配列方向に長手方向を沿わせて位置する調整部材と、を備え、調整部材は、アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの電極棒の配列方向に延在する延在部、および、この延在部から当該延在部の長手方向に交差する水平方向に突出し、隣り合う電極棒の対向面に臨む移動制限部を有し、移動制限部は、電極棒の対向面から退避可能に設けられていることを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problem, the antenna carrier of the present invention can be electrically connected to a high-frequency power source, and a vacuum chamber in which a material gas is supplied from a gas supply source into a vacuum state that can be decompressed. It is provided in the upper part of the vacuum chamber, and is integrally supported with a plurality of connectors that can connect the electrode rods from the bottom to the top in the vertical direction and a plurality of electrode rods arranged at intervals. An array antenna unit that generates plasma when power is supplied from a high-frequency power source in a state where the plurality of electrode rods are connected to corresponding connectors, and the array antenna unit is detachably latched in the vacuum chamber. Antenna holding means for maintaining the connector and the electrode rod in a connected state with the array antenna unit hooked. An antenna-type plasma CVD apparatus, which is an antenna carrier for carrying an array antenna unit, and is connected to an antenna holding member that holds the array antenna unit in a state where a plurality of electrode rods are suspended; An adjustment member positioned along the longitudinal direction of the array antenna unit electrode rod held by the antenna holding member, and the adjustment member is the electrode rod of the array antenna unit held by the antenna holding member. And an extension part extending in the arrangement direction of the electrode, and a movement restriction part protruding from the extension part in the horizontal direction intersecting the longitudinal direction of the extension part and facing the opposing surface of the adjacent electrode rod, The limiting portion is provided so as to be retractable from the opposing surface of the electrode rod.

また、本発明のアンテナ搬送体は、移動制限部が、電極棒の配列方向に交差する水平方向に退避可能に設けられたことを特徴とする。   Further, the antenna carrier of the present invention is characterized in that the movement restricting portion is provided so as to be retractable in a horizontal direction intersecting with the arrangement direction of the electrode rods.

また、本発明のアンテナ搬送体は、アンテナ保持部材が、基台から鉛直方向上方に延伸するとともに、アレイアンテナユニットに支持される複数本の電極棒のうち両端に位置する電極棒よりも配列方向外側に位置する一対の支柱を備え、調整部材は、一対の支柱に懸架して設けられるとともに、支柱は、電極棒の配列方向に交差する水平方向に移動可能に設けられてなることを特徴とする。   In the antenna carrier of the present invention, the antenna holding member extends vertically upward from the base, and the arrangement direction is more than the electrode bars located at both ends of the plurality of electrode bars supported by the array antenna unit. A pair of struts located outside is provided, the adjustment member is provided to be suspended from the pair of struts, and the struts are provided to be movable in a horizontal direction intersecting the arrangement direction of the electrode rods. To do.

また、本発明のアンテナ搬送体は、移動制限部が、電極棒の配列方向に回動中心軸を一致させて回動可能であることを特徴とする。   Further, the antenna carrier of the present invention is characterized in that the movement restricting portion can be rotated with the rotation center axis coinciding with the arrangement direction of the electrode rods.

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、高周波電源に電気的に接続可能であって、真空チャンバの内部上方に設けられるとともに、電極棒を鉛直方向下方から上方に向かって接続可能な複数のコネクタと、複数本の電極棒が互いに間隔を維持して配列した状態で一体的に支持され、これら複数本の電極棒が対応するコネクタに接続された状態で高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、アレイアンテナユニットを着脱自在に真空チャンバ内に掛け止めするとともに、アレイアンテナユニットを掛け止めした状態でコネクタと電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、アンテナ掛止手段によってアレイアンテナユニットを真空チャンバ内に掛け止め可能な位置まで当該アレイアンテナユニットを搬送するアンテナ搬送体と、を備え、アンテナ搬送体は、複数本の電極棒を垂下させた状態でアレイアンテナユニットを保持するアンテナ保持部材と、アンテナ保持部材に連結され、当該アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの電極棒の配列方向に長手方向を沿わせて位置する調整部材と、を備え、調整部材は、アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの電極棒の配列方向に延在する延在部、および、この延在部から当該延在部の長手方向に交差する水平方向に突出し、隣り合う電極棒の対向面に臨む移動制限部を有し、移動制限部は、電極棒の対向面から退避可能に設けられていることを特徴とする。   The array antenna type plasma CVD apparatus of the present invention can be electrically connected to a vacuum chamber in which a material gas is supplied from a gas supply source into a vacuum capable of being decompressed to a vacuum state, and a high frequency power source. A plurality of connectors that are provided in the upper part of the interior and that can connect the electrode rods from the lower side to the upper side in the vertical direction, and the plurality of electrode rods are integrally supported in a state where they are arranged at intervals. An array antenna unit that generates plasma when power is supplied from a high-frequency power source with the electrode rods connected to the corresponding connectors, and the array antenna unit is detachably hooked in the vacuum chamber, and the array antenna Antenna hooking means for maintaining the connector and electrode rod in a connected state with the unit hooked, and the antenna hook An antenna carrier that transports the array antenna unit to a position where the array antenna unit can be hooked in the vacuum chamber by means, and the antenna carrier is in a state where a plurality of electrode rods are suspended. And an adjustment member connected to the antenna holding member and positioned along the longitudinal direction in the arrangement direction of the electrode rods of the array antenna unit held by the antenna holding member. Are extending in the arrangement direction of the electrode rods of the array antenna unit held by the antenna holding member, and projecting in the horizontal direction intersecting the longitudinal direction of the extension from the extension and adjacent to each other. It has a movement restricting portion facing the opposing surface of the electrode rod, and the movement restricting portion is provided so as to be retractable from the opposing surface of the electrode rod. To.

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、移動制限部が、電極棒の配列方向に交差する水平方向に退避可能に設けられたことを特徴とする。   Moreover, the array antenna type plasma CVD apparatus of the present invention is characterized in that the movement restricting portion is provided so as to be retractable in a horizontal direction intersecting with the arrangement direction of the electrode rods.

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、アンテナ保持部材が、基台から鉛直方向上方に延伸するとともに、アレイアンテナユニットに支持される複数本の電極棒のうち両端に位置する電極棒よりも配列方向外側に位置する一対の支柱を備え、調整部材は、一対の支柱に懸架して設けられるとともに、支柱は、電極棒の配列方向に交差する水平方向に移動可能に設けられてなることを特徴とする。   In the array antenna type plasma CVD apparatus of the present invention, the antenna holding member extends vertically upward from the base, and the electrode rods positioned at both ends of the plurality of electrode rods supported by the array antenna unit. The adjustment member is provided so as to be suspended from the pair of support columns, and the support columns are provided so as to be movable in the horizontal direction intersecting the array direction of the electrode rods. It is characterized by.

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、移動制限部が、電極棒の配列方向に回動中心軸を一致させて回動可能であることを特徴とする。   Moreover, the array antenna type plasma CVD apparatus of the present invention is characterized in that the movement restricting portion can be rotated with the rotation center axis coincided with the arrangement direction of the electrode rods.

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置は、アレイアンテナユニットが、複数本の電極棒の配列方向に延在するとともに、複数本の電極棒を挿通可能なアンテナ支持孔が設けられたアンテナ支持部材を備え、複数本の電極棒は、アンテナ支持孔によって電極棒の配列方向に交差する水平方向への移動および回転が制限されてなることを特徴とする。   Further, the array antenna type plasma CVD apparatus of the present invention has an antenna support in which the array antenna unit extends in the arrangement direction of the plurality of electrode bars and is provided with an antenna support hole through which the plurality of electrode bars can be inserted. The plurality of electrode bars are provided with a member, and the movement and rotation in the horizontal direction intersecting the arrangement direction of the electrode bars are restricted by the antenna support hole.

また、本発明のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアレイアンテナユニット取り付け方法は、複数本の電極棒が互いに間隔を維持して配列した状態で一体的に支持されたアレイアンテナユニットをアンテナ搬送体に保持する工程と、アンテナ搬送体にアレイアンテナユニットが保持された状態で、電極棒の配列方向への移動を制限する移動制限部を、隣り合う電極棒の対向面に臨ませる工程と、電極棒の配列方向への移動が制限されたアレイアンテナユニットを保持したアンテナ搬送体を真空チャンバ内に搬入する工程と、真空チャンバ内に搬入されたアレイアンテナユニットの電極棒それぞれが、高周波電源に電気的に接続された複数のコネクタに一括して接続されるようにアレイアンテナユニットを真空チャンバ内に掛け止めする工程と、真空チャンバ内に掛け止められたアレイアンテナユニットの電極棒の対向面に臨む位置から移動制限部を退避させる工程と、移動制限部を電極棒の対向面に臨む位置から退避させた状態でアンテナ搬送体を真空チャンバ内から搬出する工程と、を含むことを特徴とする。   Also, the array antenna unit mounting method of the array antenna type plasma CVD apparatus of the present invention is such that the antenna carrier holds the array antenna unit that is integrally supported with a plurality of electrode rods arranged at intervals. A process of limiting the movement of the electrode rods in the arrangement direction with the array carrier unit held by the antenna carrier, facing the opposing surface of the adjacent electrode rods, The antenna carrier holding the array antenna unit whose movement in the arrangement direction is restricted is carried into the vacuum chamber, and each electrode rod of the array antenna unit carried into the vacuum chamber is electrically connected to the high frequency power source. A process to latch the array antenna unit in the vacuum chamber so that it can be connected to multiple connected connectors at once. And a step of retracting the movement restricting portion from the position facing the electrode rod facing surface of the array antenna unit held in the vacuum chamber, and a state in which the movement restricting portion is retracted from the position facing the electrode rod facing surface. And unloading the antenna carrier from the vacuum chamber.

本発明によれば、メンテナンスの作業効率が向上するので、装置の稼働停止時間が短縮して稼働率を向上することができる。   According to the present invention, since the maintenance work efficiency is improved, the operation stop time can be shortened and the operation rate can be improved.

真空チャンバの正面側を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the front side of a vacuum chamber. 真空チャンバの背面側を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the back side of a vacuum chamber. 真空チャンバの正面側の断面を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the cross section of the front side of a vacuum chamber. 真空チャンバ１の右側面図である。3 is a right side view of the vacuum chamber 1. FIG. アレイアンテナユニットの斜視図である。It is a perspective view of an array antenna unit. 図５の部分拡大図である。It is the elements on larger scale of FIG. （ａ）は図６のＶＩＩ（ａ）−ＶＩＩ（ａ）線断面図、（ｂ）は図６のＶＩＩ（ｂ）−ＶＩＩ（ｂ）線断面図である。(A) is the VII (a) -VII (a) sectional view taken on the line of FIG. 6, (b) is the VII (b) -VII (b) sectional view taken on the line of FIG. （ａ）は図６の上面図、（ｂ）は第１アンテナ側コネクタの斜視図である。(A) is a top view of FIG. 6, (b) is a perspective view of a first antenna side connector. アレイアンテナユニットが掛け止められた状態の真空チャンバの正面側断面図である。It is front sectional drawing of the vacuum chamber of the state by which the array antenna unit was latched. アレイアンテナユニットが掛け止められた状態の真空チャンバの右側面図である。It is a right view of the vacuum chamber in the state where the array antenna unit is hooked. 基板搬送体の斜視図である。It is a perspective view of a board | substrate conveyance body. 基板搬送体の上面図である。It is a top view of a board | substrate conveyance body. 基板搬送体の右側面図である。It is a right view of a board | substrate conveyance body. 基板搬送体が搬入された状態の真空チャンバの右側面図である。It is a right view of the vacuum chamber in the state in which the board | substrate conveyance body was carried in. （ａ）はアンテナ搬送体の斜視図、（ｂ）は（ａ）の一点鎖線部分の拡大図である。(A) is a perspective view of an antenna carrier, and (b) is an enlarged view of an alternate long and short dash line portion of (a). 図１５（ｂ）の部分拡大図である。It is the elements on larger scale of FIG.15 (b). アンテナ搬送体にアレイアンテナユニットが保持されたときの、調整部材とアレイアンテナユニットとの関係を説明する図である。It is a figure explaining the relationship between an adjustment member and an array antenna unit when an array antenna unit is hold | maintained at the antenna conveyance body. アレイアンテナユニットがアンテナ搬送体に保持された状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state by which the array antenna unit was hold | maintained at the antenna carrier. 真空チャンバ内にアレイアンテナユニットを掛け止める過程を説明する図である。It is a figure explaining the process which latches an array antenna unit in a vacuum chamber. アンテナ搬送体を搬出する過程を説明する概念図である。It is a conceptual diagram explaining the process of carrying out an antenna carrier. アンテナ搬送体の変形例を説明する概念図である。It is a conceptual diagram explaining the modification of an antenna carrier.

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The dimensions, materials, and other specific numerical values shown in the embodiments are merely examples for facilitating the understanding of the invention, and do not limit the present invention unless otherwise specified. In the present specification and drawings, elements having substantially the same function and configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted, and elements not directly related to the present invention are not illustrated. To do.

（真空チャンバの構成）
まず、図１〜図４を用いて、本実施形態のアレイアンテナ式（誘導結合型）プラズマＣＶＤ装置の真空チャンバの構造について説明する。図１は、真空チャンバの正面側を示す斜視図、図２は、真空チャンバの背面側を示す斜視図である。 (Configuration of vacuum chamber)
First, the structure of the vacuum chamber of the array antenna type (inductively coupled) plasma CVD apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view showing the front side of the vacuum chamber, and FIG. 2 is a perspective view showing the back side of the vacuum chamber.

図１および図２に示すように、真空チャンバ１は、筐体２を備えて構成されている。この筐体２は、図中ｙ方向に対面配置された天井部２ａおよび底面部２ｂと、図中ｘ方向に対面配置された右側面部２ｃおよび左側面部２ｄと、図中ｚ方向に対面配置された正面部２ｅおよび背面部２ｆと、を備えている。以下では、天井部２ａ側を真空チャンバ１の上方または上面とし、右側面部２ｃ側を真空チャンバ１の右方または右側面とし、左側面部２ｄ側を真空チャンバ１の左方または左側面として説明する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the vacuum chamber 1 includes a housing 2. The housing 2 is arranged facing the ceiling 2a and the bottom 2b facing in the y direction in the figure, the right side 2c and the left side 2d facing in the x direction in the figure, and in the z direction in the figure. A front part 2e and a back part 2f. In the following description, the ceiling 2a side is defined as the upper or upper surface of the vacuum chamber 1, the right side 2c side is defined as the right or right side of the vacuum chamber 1, and the left side 2d side is defined as the left or left side of the vacuum chamber 1. .

正面部２ｅおよび背面部２ｆには、それぞれフロント開口部３およびリヤ開口部４が形成されており、これらフロント開口部３およびリヤ開口部４を開閉するフロント開閉扉５およびリヤ開閉扉６がそれぞれ設けられている。また、右側面部２ｃにも右開口部７が形成されており、この右開口部７を開閉する開閉扉８が設けられている。さらに、左側面部２ｄにも左開口部９が形成されているが、この左開口部９は、不図示の基板搬送チャンバに接続可能となっている。この左開口部９には、真空チャンバ１と基板搬送チャンバとを真空状態を維持したまま接続したり、あるいはその接続状態を遮断したりする不図示のゲートバルブが設けられている。そして、このゲートバルブを閉じるとともに、フロント開閉扉５、リヤ開閉扉６および開閉扉８を閉じることにより、筐体２の内部に、外部から完全に密閉された内部空間１０が形成されることとなる。   A front opening 3 and a rear opening 4 are formed in the front part 2e and the back part 2f, respectively. A front opening / closing door 5 and a rear opening / closing door 6 for opening and closing the front opening 3 and the rear opening 4 are respectively provided. Is provided. A right opening 7 is also formed in the right side surface 2c, and an open / close door 8 for opening and closing the right opening 7 is provided. Further, a left opening 9 is formed in the left side surface portion 2d. The left opening 9 can be connected to a substrate transfer chamber (not shown). The left opening 9 is provided with a gate valve (not shown) for connecting the vacuum chamber 1 and the substrate transfer chamber while maintaining a vacuum state or blocking the connection state. Then, by closing the gate valve and closing the front opening / closing door 5, the rear opening / closing door 6, and the opening / closing door 8, an internal space 10 that is completely sealed from the outside is formed inside the housing 2. Become.

また、天井部２ａには、３列のコネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃが設けられている。これらコネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、複数のコネクタが図中ｘ方向に沿って直列配置されたものであり、図中ｚ方向に所定の間隔を維持している。   The ceiling portion 2a is provided with three rows of connector groups 11a, 11b, and 11c. In these connector groups 11a, 11b, and 11c, a plurality of connectors are arranged in series along the x direction in the figure, and a predetermined interval is maintained in the z direction in the figure.

図３は、真空チャンバ１の正面側の断面を模式的に示す図である。この図に示すように、コネクタ群１１ａは、高周波電力を供給する高周波電源１２の供給側（非接地側）に電気的に接続された第１天井側コネクタ１３と、高周波電源１２の接地側に電気的に接続された第２天井側コネクタ１４と、が所定の間隔を維持して交互に設けられている。これら第１天井側コネクタ１３および第２天井側コネクタ１４は、その接続部が鉛直方向下方（底面部２ｂ）に向けられており、後述するアレイアンテナユニットの電極棒が、鉛直方向下方から上方に向かって接続可能なように配置されている。   FIG. 3 is a diagram schematically showing a cross section of the front side of the vacuum chamber 1. As shown in this figure, the connector group 11 a includes a first ceiling-side connector 13 electrically connected to a supply side (non-grounded side) of a high-frequency power source 12 that supplies high-frequency power, and a ground side of the high-frequency power source 12. The second ceiling-side connectors 14 that are electrically connected are alternately provided while maintaining a predetermined interval. The first ceiling side connector 13 and the second ceiling side connector 14 have their connecting portions directed downward in the vertical direction (bottom surface portion 2b), and the electrode rods of the array antenna unit, which will be described later, are directed upward from below in the vertical direction. It is arranged so that it can be connected.

また、詳しくは後述するが、第２天井側コネクタ１４にはガス供給源１５が接続されており、このガス供給源１５から供給される材料ガスが、第２天井側コネクタ１４に接続されたアレイアンテナユニットの電極棒から真空チャンバ１内に噴出可能となっている。なお、ここではコネクタ群１１ａについて説明したが、コネクタ群１１ｂ、１１ｃも上記と同様の構成となっている。さらに、筐体２の天井部２ａには真空ポンプ１６が接続されており、内部空間１０を密閉した状態で真空ポンプ１６を駆動することにより、真空チャンバ１内が真空状態に減圧可能となっている。   As will be described in detail later, a gas supply source 15 is connected to the second ceiling-side connector 14, and the material gas supplied from the gas supply source 15 is connected to the second ceiling-side connector 14. It can be ejected from the electrode rod of the antenna unit into the vacuum chamber 1. Although the connector group 11a has been described here, the connector groups 11b and 11c have the same configuration as described above. Further, a vacuum pump 16 is connected to the ceiling 2a of the housing 2, and the vacuum chamber 1 can be decompressed to a vacuum state by driving the vacuum pump 16 with the internal space 10 sealed. Yes.

また、筐体２の底面部２ｂには、右側面部２ｃから左側面部２ｄまで図中ｘ方向に沿って延在するガイドレール１７が設けられている。図４は、真空チャンバ１の右側面図であるが、この図に示すように、ガイドレール１７は、正面部２ｅ近傍と背面部２ｆ近傍とにそれぞれ設けられており、したがって、図中ｚ方向に間隔を維持して一対配置されることとなる。これら一対のガイドレール１７は、後述する基板やアレイアンテナユニットを真空チャンバ１内に搬入したり、あるいは真空チャンバ１内から搬出したりする際の案内として機能するものである。   In addition, a guide rail 17 extending along the x direction in the drawing is provided on the bottom surface portion 2b of the housing 2 from the right side surface portion 2c to the left side surface portion 2d. FIG. 4 is a right side view of the vacuum chamber 1. As shown in this figure, the guide rails 17 are provided in the vicinity of the front portion 2e and the vicinity of the back portion 2f, respectively. Thus, a pair is arranged with the interval maintained. The pair of guide rails 17 function as a guide when a board or an array antenna unit described later is carried into or out of the vacuum chamber 1.

（アレイアンテナユニットの構成）
次に、図５〜図８を用いてアレイアンテナユニットの構成について説明する。図５は、アレイアンテナユニット３０の斜視図であり、図６は、図５の部分拡大図である。これらの図に示すように、アレイアンテナユニット３０は、アンテナ支持部材３１を備えており、このアンテナ支持部材３１に複数本の誘導結合型電極５０が支持されている。 (Configuration of array antenna unit)
Next, the configuration of the array antenna unit will be described with reference to FIGS. 5 is a perspective view of the array antenna unit 30, and FIG. 6 is a partially enlarged view of FIG. As shown in these drawings, the array antenna unit 30 includes an antenna support member 31, and a plurality of inductively coupled electrodes 50 are supported on the antenna support member 31.

この誘導結合型電極５０は、第１電極棒５１と第２電極棒５２とが、接続金具５３によって電気的に接続されたアンテナ素子であり、アンテナ支持部材３１の長手方向に沿って複数本支持されている。具体的には、両電極棒５１、５２は、その長手方向に直交する水平方向に所定の間隔を維持して交互に直列配置された状態で、その上端部がアンテナ支持部材３１に支持されている。これにより、両電極棒５１、５２は、それらの長手方向を鉛直方向に沿わせた状態で、アンテナ支持部材３１に垂下支持されることとなる。   This inductively coupled electrode 50 is an antenna element in which a first electrode bar 51 and a second electrode bar 52 are electrically connected by a connection fitting 53, and a plurality of inductive coupling electrodes 50 are supported along the longitudinal direction of the antenna support member 31. Has been. Specifically, the upper ends of the electrode rods 51 and 52 are supported by the antenna support member 31 in a state where the electrode rods 51 and 52 are alternately arranged in series while maintaining a predetermined interval in the horizontal direction orthogonal to the longitudinal direction. Yes. Thereby, both the electrode rods 51 and 52 are suspended and supported by the antenna support member 31 in a state in which their longitudinal directions are along the vertical direction.

図７（ａ）は、図６のＶＩＩ（ａ）−ＶＩＩ（ａ）線断面図であり、図７（ｂ）は、図６のＶＩＩ（ｂ）−ＶＩＩ（ｂ）線断面図である。これらの図に示すように、アンテナ支持部材３１は、断面Ｕ字形の部材によって構成されており、その開口を鉛直方向下方に臨ませている。このアンテナ支持部材３１は、図７（ｂ）からも明らかなように、その幅方向中央にアンテナ支持孔３２が形成されている。このアンテナ支持孔３２は、図７（ａ）および図８（ａ）に示すとおり、アンテナ支持部材３１の長手方向に沿って形成される長孔形状をなしており、このアンテナ支持孔３２に、第１電極棒５１および第２電極棒５２が交互に垂下支持されている。   7A is a cross-sectional view taken along line VII (a) -VII (a) in FIG. 6, and FIG. 7B is a cross-sectional view taken along line VII (b) -VII (b) in FIG. As shown in these drawings, the antenna support member 31 is formed of a member having a U-shaped cross section, and its opening faces downward in the vertical direction. As is clear from FIG. 7B, the antenna support member 31 has an antenna support hole 32 formed at the center in the width direction. As shown in FIGS. 7A and 8A, the antenna support hole 32 has a long hole shape formed along the longitudinal direction of the antenna support member 31. In the antenna support hole 32, The first electrode rod 51 and the second electrode rod 52 are supported in a suspended manner alternately.

より詳細に説明すると、第１電極棒５１の上端部には、真空チャンバ１の天井部２ａに設けられた第１天井側コネクタ１３に接続可能な第１アンテナ側コネクタ５４が固定されている。また、第２電極棒５２の上端部には、真空チャンバ１の天井部２ａに設けられた第２天井側コネクタ１４に接続可能な第２アンテナ側コネクタ５５が固定されている。   More specifically, the first antenna-side connector 54 that can be connected to the first ceiling-side connector 13 provided on the ceiling 2 a of the vacuum chamber 1 is fixed to the upper end of the first electrode bar 51. A second antenna-side connector 55 that can be connected to the second ceiling-side connector 14 provided on the ceiling 2 a of the vacuum chamber 1 is fixed to the upper end of the second electrode rod 52.

図８（ａ）は、図６の上面図であり、図８（ｂ）は、第１アンテナ側コネクタ５４の斜視図である。ただし、図８（ａ）においては、後述するカバー部材３３を取り外した状態を示している。この図に示すとおり、第１アンテナ側コネクタ５４は、円筒状の本体５４ａを備えており、この本体５４ａの底面部５４ｂに、第１電極棒５１が貫通した状態で固定されている。また、本体５４ａの開口側には、当該本体５４ａよりも大径のフランジ部５４ｃが設けられている。このフランジ部５４ｃは、アンテナ支持部材３１に形成されたアンテナ支持孔３２の幅よりも大径となる寸法関係を維持している。また、本体５４ａには、円筒状の外周面の対向する一部を面取りした一対の平面部５４ｄ、５４ｄが形成されている。これら平面部５４ｄ、５４ｄは、その対向間隔がアンテナ支持孔３２の幅よりも僅かに小さくなる寸法関係を維持している。   FIG. 8A is a top view of FIG. 6, and FIG. 8B is a perspective view of the first antenna-side connector 54. However, FIG. 8A shows a state in which a cover member 33 described later is removed. As shown in this figure, the first antenna-side connector 54 includes a cylindrical main body 54a, and is fixed to the bottom surface portion 54b of the main body 54a with the first electrode rod 51 penetrating therethrough. A flange portion 54c having a larger diameter than that of the main body 54a is provided on the opening side of the main body 54a. The flange portion 54 c maintains a dimensional relationship that has a larger diameter than the width of the antenna support hole 32 formed in the antenna support member 31. The main body 54a is formed with a pair of flat surface portions 54d and 54d having chamfered portions facing each other on the cylindrical outer peripheral surface. The planar portions 54d and 54d maintain a dimensional relationship in which the facing distance is slightly smaller than the width of the antenna support hole 32.

したがって、アンテナ支持孔３２の上方から第１アンテナ側コネクタ５４を挿入すると、本体５４ａがアンテナ支持孔３２を挿通するとともに、フランジ部５４ｃがアンテナ支持部材３１の上面に接触して掛け止められ、これによって第１電極棒５１がアンテナ支持部材３１に垂下支持されることとなる。   Therefore, when the first antenna side connector 54 is inserted from above the antenna support hole 32, the main body 54a is inserted through the antenna support hole 32, and the flange portion 54c is brought into contact with the upper surface of the antenna support member 31, and is latched. As a result, the first electrode rod 51 is suspended and supported by the antenna support member 31.

また、このとき、平面部５４ｄ、５４ｄ間の幅は、アンテナ支持部材３１の幅方向に対する第１アンテナ側コネクタ５４の移動を、第１天井側コネクタ１３に接続可能な範囲内に制限する寸法関係を維持している。しかも、アンテナ支持部材３１に支持された第１アンテナ側コネクタ５４に回転応力が作用したとしても、平面部５４ｄ、５４ｄがアンテナ支持孔３２の内周縁に接触し、第１アンテナ側コネクタ５４の回転が制限される。このようにして、第１電極棒５１は、アンテナ支持部材３１の幅方向の位置決めがなされて直列配置されるとともに、全ての第１電極棒５１が同一方向を向いて垂下支持されることとなる。   At this time, the width between the flat portions 54 d and 54 d is a dimensional relationship that restricts the movement of the first antenna-side connector 54 in the width direction of the antenna support member 31 within a range that can be connected to the first ceiling-side connector 13. Is maintained. In addition, even if rotational stress acts on the first antenna-side connector 54 supported by the antenna support member 31, the flat portions 54 d and 54 d come into contact with the inner peripheral edge of the antenna support hole 32, and the first antenna-side connector 54 rotates. Is limited. In this way, the first electrode rods 51 are positioned in series with the antenna support member 31 positioned in the width direction, and all the first electrode rods 51 are supported hanging down in the same direction. .

なお、ここでは第１アンテナ側コネクタ５４について説明したが、第２アンテナ側コネクタ５５の構成も上記第１アンテナ側コネクタ５４と同様である。つまり、第２アンテナ側コネクタ５５は、本体５５ａと、底面部５５ｂと、フランジ部５５ｃと、一対の平面部５５ｄ、５５ｄと、を備えており、底面部５５ｂに第２電極棒５２が貫通した状態で固定されている。   Although the first antenna side connector 54 has been described here, the configuration of the second antenna side connector 55 is the same as that of the first antenna side connector 54. That is, the second antenna-side connector 55 includes a main body 55a, a bottom surface portion 55b, a flange portion 55c, and a pair of flat surface portions 55d and 55d, and the second electrode rod 52 penetrates the bottom surface portion 55b. It is fixed in the state.

そして、本体５５ａの開口側には、当該本体５５ａよりも大径のフランジ部５５ｃが設けられている。このように、この第２アンテナ側コネクタ５５も、上記第１アンテナ側コネクタ５４と同様に、回転およびアンテナ支持部材３１の幅方向に対する移動が制限され、第２電極棒５２も直列配置されるとともに、全ての第２電極棒５２が同一方向を向いて垂下支持されることとなる。   And the flange part 55c larger diameter than the said main body 55a is provided in the opening side of the main body 55a. As described above, the second antenna-side connector 55 is also restricted from rotating and moving in the width direction of the antenna support member 31 as in the case of the first antenna-side connector 54, and the second electrode rod 52 is also arranged in series. All the second electrode rods 52 are supported in a suspended manner in the same direction.

また、図７（ａ）に示すように、各第１電極棒５１は、その外周にセラミックスまたは樹脂などの誘電体からなる外筒５６を備えている。一方、各第２電極棒５２は円筒形状をなしており、その長手方向に延在するガス供給路５２ａが内部に形成されている。また、各第２電極棒５２は、ガス供給路５２ａに垂直に連通する噴出孔５２ｂを備えている。この第２電極棒５２は、上述したように、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１内に掛け止められたときに、第２天井側コネクタ１４に接続されて、上記したガス供給源１５とガス供給路５２ａとが連通する関係をなしている。   As shown in FIG. 7A, each first electrode bar 51 includes an outer cylinder 56 made of a dielectric material such as ceramics or resin on the outer periphery thereof. On the other hand, each second electrode rod 52 has a cylindrical shape, and a gas supply path 52a extending in the longitudinal direction is formed inside. Each second electrode rod 52 includes an ejection hole 52b that communicates perpendicularly to the gas supply path 52a. As described above, the second electrode rod 52 is connected to the second ceiling-side connector 14 when the array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1, and is connected to the gas supply source 15 and the gas supply. The road 52a communicates with each other.

したがって、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１内に掛け止められた状態で、ガス供給源１５から材料ガスが供給されることにより、噴出孔５２ｂから真空チャンバ１の内部空間１０に向けて材料ガスが噴出することとなる。   Accordingly, when the material gas is supplied from the gas supply source 15 in a state where the array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1, the material gas is directed from the ejection holes 52 b toward the internal space 10 of the vacuum chamber 1. It will be ejected.

なお、図５〜図８に示すように、アンテナ支持部材３１には、両アンテナ側コネクタ５４、５５を被覆する断面Ｕ字形のカバー部材３３が固定されている。このカバー部材３３には、両アンテナ側コネクタ５４、５５の本体５４ａ、５５ａに一致する円形の貫通孔３３ａが複数設けられている。これにより、各アンテナ側コネクタ５４、５５の本体５４ａ、５５ａの開口、すなわち、両電極棒５１、５２の上端は、カバー部材３３の貫通孔３３ａを介して上方に臨むこととなる。   As shown in FIGS. 5 to 8, a cover member 33 having a U-shaped cross section covering the antenna-side connectors 54 and 55 is fixed to the antenna support member 31. The cover member 33 is provided with a plurality of circular through holes 33a that coincide with the main bodies 54a, 55a of the antenna-side connectors 54, 55. As a result, the openings of the main bodies 54 a and 55 a of the antenna-side connectors 54 and 55, that is, the upper ends of both the electrode bars 51 and 52 face upward through the through-holes 33 a of the cover member 33.

また、アンテナ支持部材３１の幅方向両側面には防着パネル３４が設けられており、また、アンテナ支持部材３１の上面には、上方に垂直に起立し、先端にテーパが形成された位置決めピン３５が設けられている。この位置決めピン３５は、複数本の第１電極棒５１および第２電極棒５２のうち、もっとも外側に位置する電極棒よりもさらにアンテナ支持部材３１の長手方向外方に設けられている。さらに、アンテナ支持部材３１の長手方向両端部近傍には、掛止孔３６が貫通形成されている。この掛止孔３６は、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１に掛け止めるためのものである。   In addition, an adhesion preventing panel 34 is provided on both side surfaces of the antenna support member 31 in the width direction. On the upper surface of the antenna support member 31 is a positioning pin that stands vertically upward and is tapered at the tip. 35 is provided. The positioning pin 35 is provided further outward in the longitudinal direction of the antenna support member 31 than the electrode rod located on the outermost side among the plurality of first electrode rods 51 and second electrode rods 52. Further, a hooking hole 36 is formed in the vicinity of both ends in the longitudinal direction of the antenna support member 31. The retaining hole 36 is for retaining the array antenna unit 30 on the vacuum chamber 1.

図９は、アレイアンテナユニット３０が掛け止められた状態の真空チャンバ１の正面側断面図である。この図に示すように、真空チャンバ１の天井部２ａには、右側面部２ｃおよび左側面部２ｄ近傍それぞれに、鉛直方向に貫通するとともに鉛直方向下方にテーパが形成された位置決め孔１８が設けられている。また、この位置決め孔１８よりも図中ｘ方向外方には、下方に垂下する掛止ピン１９が固定されている。上記の位置決め孔１８は、アレイアンテナユニットの位置決めピン３５に対応しており、上記の掛止ピン１９は、アレイアンテナユニット３０の掛止孔３６に対応している。   FIG. 9 is a front sectional view of the vacuum chamber 1 in a state where the array antenna unit 30 is hooked. As shown in this figure, the ceiling portion 2a of the vacuum chamber 1 is provided with positioning holes 18 penetrating in the vertical direction and tapered downward in the vertical direction in the vicinity of the right side surface portion 2c and the left side surface portion 2d. Yes. Further, a latch pin 19 that hangs downward is fixed to the outside of the positioning hole 18 in the x direction in the figure. The positioning hole 18 corresponds to the positioning pin 35 of the array antenna unit, and the locking pin 19 corresponds to the locking hole 36 of the array antenna unit 30.

アレイアンテナユニット３０の取り付け方法の詳細については後述するが、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際には、位置決め孔１８に位置決めピン３５を挿通させるように、アレイアンテナユニット３０を天井部２ａの下方から上方に持ち上げる。すると、掛止ピン１９にアレイアンテナユニット３０の掛止孔３６が挿通するとともに、このとき、天井部２ａに設けられた第１天井側コネクタ１３および第２天井側コネクタ１４のそれぞれが、アレイアンテナユニット３０の第１アンテナ側コネクタ５４および第２アンテナ側コネクタ５５のそれぞれに嵌合する。この状態で、掛止ピン１９の下方からボルト等の固定手段を固定することにより、図示のように、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１の天井部２ａに掛け止められることとなる。   Although details of the method of attaching the array antenna unit 30 will be described later, when the array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1, the array antenna unit 30 is mounted on the ceiling so that the positioning pins 35 are inserted into the positioning holes 18. Lift up from below the part 2a. Then, the latch holes 36 of the array antenna unit 30 are inserted into the latch pins 19, and at this time, the first ceiling-side connector 13 and the second ceiling-side connector 14 provided on the ceiling portion 2 a are respectively connected to the array antenna. The unit 30 is fitted into each of the first antenna side connector 54 and the second antenna side connector 55. In this state, by fixing a fixing means such as a bolt from below the latch pin 19, the array antenna unit 30 is latched on the ceiling portion 2 a of the vacuum chamber 1 as shown in the figure.

図１０は、アレイアンテナユニット３０が掛け止められた状態の真空チャンバ１の右側面図である。上記したとおり、天井部２ａには、コネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃが３列設けられており、これらコネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃに、アレイアンテナユニット３０が接続可能となっている。したがって、全てのコネクタ群１１ａ、１１ｂ、１１ｃにアレイアンテナユニット３０が接続されると、図示のように、３体のアレイアンテナユニット３０が、図中ｚ方向に所定の間隔を維持して位置することとなる。   FIG. 10 is a right side view of the vacuum chamber 1 with the array antenna unit 30 hooked. As described above, the ceiling portion 2a is provided with three rows of connector groups 11a, 11b, and 11c, and the array antenna unit 30 can be connected to the connector groups 11a, 11b, and 11c. Therefore, when the array antenna unit 30 is connected to all the connector groups 11a, 11b, and 11c, as shown in the figure, the three array antenna units 30 are positioned at a predetermined interval in the z direction in the figure. It will be.

そして、上記のようにアレイアンテナユニット３０が掛け止められた真空チャンバ１内には、基板を保持する基板搬送体が搬入される。この基板搬送体について、図１１〜図１３を用いて説明する。   Then, a substrate carrier holding the substrate is carried into the vacuum chamber 1 where the array antenna unit 30 is hooked as described above. This board | substrate conveyance body is demonstrated using FIGS. 11-13.

（基板搬送体の構成）
図１１は基板搬送体６０の斜視図、図１２は基板搬送体６０の上面図、図１３は基板搬送体６０の右側面図である。これらの図に示すように、基板搬送体６０は、基台６１を備えており、この基台６１の幅方向（図中ｚ方向）両端に車輪６２が複数設けられている。この車輪６２は、基板搬送体６０が図中ｘ方向に一直線上に移動可能となるように設けられており、真空チャンバ１内において、上記したガイドレール１７上を転動することにより、基板搬送体６０の真空チャンバ１内での移動を可能としている。 (Configuration of substrate carrier)
11 is a perspective view of the substrate transport body 60, FIG. 12 is a top view of the substrate transport body 60, and FIG. 13 is a right side view of the substrate transport body 60. As shown in these drawings, the substrate transport body 60 includes a base 61, and a plurality of wheels 62 are provided at both ends in the width direction (z direction in the figure) of the base 61. The wheel 62 is provided so that the substrate transport body 60 can move in a straight line in the x direction in the drawing, and the substrate 62 is transported by rolling on the guide rail 17 described above in the vacuum chamber 1. The body 60 can be moved in the vacuum chamber 1.

また、基台６１には、当該基台６１から上方に起立する薄板状の基板保持部材６３が設けられている。この基板保持部材６３は、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜を付着させる対象となる基板Ｗを着脱自在に保持することが可能となっており、基板搬送体６０の搬送方向に直交する方向（図中ｚ方向）に所定の間隔を維持して６つ設けられている。   The base 61 is provided with a thin plate-like substrate holding member 63 that stands upward from the base 61. The substrate holding member 63 can detachably hold the substrate W to which the amorphous silicon film or the microcrystalline silicon film is attached, and is in a direction orthogonal to the transport direction of the substrate transport body 60 ( Six are provided at predetermined intervals in the z direction in the figure.

そして、基台６１の下面には、当該基台６１の幅方向中央位置に固定されたラック６４が設けられている。このラック６４は、基板搬送体６０の搬送方向に沿って設けられており、図２に示すように、真空チャンバ１の底部に設けられ、駆動モータ２０によって回転駆動する駆動ピニオン２１に噛み合うようになっている。また、こうした駆動モータ２０および駆動ピニオン２１は、真空チャンバ１に接続される基板搬送チャンバにも同様に設けられている。したがって、駆動モータ２０を駆動して駆動ピニオン２１を回転駆動すると、駆動ピニオン２１の回転動力がラック６４の直線運動に変換され、これによって基板搬送体６０が、基板搬送チャンバや真空チャンバ１内を移動することとなる。   On the lower surface of the base 61, a rack 64 fixed at the center position in the width direction of the base 61 is provided. The rack 64 is provided along the transfer direction of the substrate transfer body 60, and is provided at the bottom of the vacuum chamber 1 and meshes with the drive pinion 21 rotated by the drive motor 20 as shown in FIG. It has become. The drive motor 20 and the drive pinion 21 are also provided in the substrate transfer chamber connected to the vacuum chamber 1 in the same manner. Therefore, when the drive motor 20 is driven and the drive pinion 21 is rotationally driven, the rotational power of the drive pinion 21 is converted into the linear motion of the rack 64, whereby the substrate transport body 60 moves inside the substrate transport chamber and the vacuum chamber 1. Will move.

図１４は、基板搬送体６０が搬入された状態の真空チャンバ１の右側面図である。この図に示すように、基板搬送体６０が真空チャンバ１内に搬入された状態では、１体のアレイアンテナユニット３０に対して、その幅方向（図中ｚ方向）両側に基板Ｗが所定の間隔を維持して対面する。以下に、成膜処理の手順について説明する。   FIG. 14 is a right side view of the vacuum chamber 1 in a state in which the substrate transport body 60 is loaded. As shown in this figure, in a state where the substrate transport body 60 is carried into the vacuum chamber 1, the substrate W is placed on both sides in the width direction (z direction in the figure) with respect to one array antenna unit 30. Keep facing each other and face each other. The procedure of the film forming process will be described below.

（成膜処理）
まず、真空チャンバ１の内部空間１０を密閉するとともに、真空ポンプ１６を駆動して内部空間１０を真空状態に減圧する。この状態で、ゲートバルブを介して真空チャンバ１に接続され、内部が真空状態に維持された基板搬送チャンバから真空チャンバ１内に基板搬送体６０を搬入する。そして、ガス供給源１５から第２電極棒５２に材料ガスを供給して、噴出孔５２ｂから真空チャンバ１内に材料ガスを噴出させる。この状態で、高周波電源１２によって誘導結合型電極５０に高周波電力を供給すると、アレイアンテナユニット３０の周辺にプラズマが発生し、このプラズマによって分解された材料ガスの成分が基板Ｗの表面に付着する。このようにして、基板Ｗの表面に、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜などの薄膜が成膜されることとなる。 (Deposition process)
First, the internal space 10 of the vacuum chamber 1 is sealed, and the vacuum pump 16 is driven to decompress the internal space 10 to a vacuum state. In this state, the substrate transfer body 60 is carried into the vacuum chamber 1 from the substrate transfer chamber connected to the vacuum chamber 1 through the gate valve and maintained in a vacuum state. Then, the material gas is supplied from the gas supply source 15 to the second electrode rod 52, and the material gas is ejected into the vacuum chamber 1 from the ejection hole 52b. When high frequency power is supplied to the inductively coupled electrode 50 by the high frequency power source 12 in this state, plasma is generated around the array antenna unit 30, and the component of the material gas decomposed by the plasma adheres to the surface of the substrate W. . In this manner, a thin film such as an amorphous silicon film or a microcrystalline silicon film is formed on the surface of the substrate W.

そして、上記のようにして成膜処理が終了したら、真空チャンバ１から基板搬送チャンバに基板搬送体６０を搬出するとともに、新たな基板Ｗが保持された基板搬送体６０を真空チャンバ１内に搬入し、以後、上記の各工程が繰り返し行われることとなる。   When the film forming process is completed as described above, the substrate transfer body 60 is unloaded from the vacuum chamber 1 to the substrate transfer chamber, and the substrate transfer body 60 holding a new substrate W is transferred into the vacuum chamber 1. Thereafter, the above steps are repeatedly performed.

ここで、成膜処理を行う過程では、アレイアンテナユニット３０に皮膜が付着するため、定期的にアレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１から取り外してメンテナンスする必要がある。以下では、アレイアンテナユニット３０のメンテナンスに際して、当該アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１に搬入したり、あるいは真空チャンバ１から搬出したりするアンテナ搬送体の構成を説明し、その後、アレイアンテナユニット３０の着脱方法について説明する。   Here, during the film forming process, a film adheres to the array antenna unit 30, and therefore, it is necessary to periodically remove the array antenna unit 30 from the vacuum chamber 1 for maintenance. In the following, the configuration of the antenna carrier that carries the array antenna unit 30 into and out of the vacuum chamber 1 during maintenance of the array antenna unit 30 will be described. The attachment / detachment method will be described.

（アンテナ搬送体の構成）
図１５（ａ）は、アンテナ搬送体７０の斜視図であり、図１５（ｂ）は、図１５（ａ）の一点鎖線部分の拡大図である。この図に示すように、アンテナ搬送体７０は、上記した基板搬送体６０と同様に基台７１を備えており、この基台７１の幅方向（図中ｚ方向）両端に車輪７２が複数設けられている。この車輪７２は、アンテナ搬送体７０が図中ｘ方向に一直線上に移動可能となるように設けられており、真空チャンバ１内において、上記したガイドレール１７上を転動することにより、アンテナ搬送体７０の真空チャンバ１内での移動を可能としている。 (Configuration of antenna carrier)
FIG. 15A is a perspective view of the antenna carrier 70, and FIG. 15B is an enlarged view of a one-dot chain line portion of FIG. As shown in this figure, the antenna carrier 70 includes a base 71 as in the case of the substrate carrier 60 described above, and a plurality of wheels 72 are provided at both ends in the width direction (z direction in the figure) of the base 71. It has been. The wheels 72 are provided so that the antenna carrier 70 can move in a straight line in the x direction in the figure. The wheels 72 roll on the guide rail 17 in the vacuum chamber 1, thereby The body 70 can be moved in the vacuum chamber 1.

また、基台７１には、アレイアンテナユニット３０を保持する３つのアンテナ保持部材７３が、アンテナ搬送体７０の搬送方向に直交する水平方向に間隔を維持して設けられている。このアンテナ保持部材７３は、アンテナ搬送体７０の搬送方向両端において基台７１に固定されたスライド装置７４と、このスライド装置７４から上方に垂直に起立する一対の支柱７５ａ、７５ｂと、を備えている。これら一対の支柱７５ａ、７５ｂは、スライド装置７４によって、アンテナ搬送体７０の搬送方向（ｘ方向）に直交する水平方向（ｚ方向）にスライド可能に構成されている。   In addition, the base 71 is provided with three antenna holding members 73 that hold the array antenna unit 30 while maintaining a gap in the horizontal direction orthogonal to the transfer direction of the antenna carrier 70. The antenna holding member 73 includes a slide device 74 that is fixed to the base 71 at both ends of the antenna carrier 70 in the carrying direction, and a pair of support columns 75a and 75b that stand vertically upward from the slide device 74. Yes. The pair of support columns 75 a and 75 b are configured to be slidable in a horizontal direction (z direction) orthogonal to the transport direction (x direction) of the antenna transport body 70 by the slide device 74.

一対の支柱７５ａ、７５ｂそれぞれには、伸縮ロッド７６ａを鉛直方向に伸縮させるエアシリンダ７６が収容されている。そして、このエアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａ先端には、荷重受け部７７を介して薄板状の調整部材７８の両端部が載置されており、これによって、調整部材７８が一対の支柱７５ａ、７５ｂに懸架されることとなる。   Each of the pair of struts 75a and 75b accommodates an air cylinder 76 that expands and contracts the telescopic rod 76a in the vertical direction. At both ends of the telescopic rod 76a of the air cylinder 76, both end portions of a thin plate-like adjusting member 78 are placed via a load receiving portion 77, whereby the adjusting member 78 becomes a pair of support columns 75a and 75b. Will be suspended.

図１６は、図１５（ｂ）の部分拡大図である。この図に示すように、伸縮ロッド７６ａの先端には、荷重受け部７７が設けられている。この荷重受け部７７は、伸縮ロッド７６ａの先端に固定され、上方に凹状の受け面７９ａを臨ませる受け部７９と、受け面７９ａ上に載置され、調整部材７８の下面に一体的に設けられた揺動部８０と、によって構成される。これら受け部７９および揺動部８０は、ステンレスなどの金属によって構成されているが、例えば樹脂など金属以外の材料で構成しても構わない。   FIG. 16 is a partially enlarged view of FIG. As shown in this figure, a load receiving portion 77 is provided at the tip of the telescopic rod 76a. The load receiving portion 77 is fixed to the distal end of the telescopic rod 76 a and is placed on the receiving surface 79 a so that the concave receiving surface 79 a faces upward, and is provided integrally on the lower surface of the adjusting member 78. And the oscillating portion 80 formed. The receiving portion 79 and the swinging portion 80 are made of metal such as stainless steel, but may be made of a material other than metal such as resin.

揺動部８０は、半球状の球面部８０ａを、受け部７９の受け面７９ａに接触させているが、このとき、受け面７９ａの曲率が球面部８０ａの曲率よりも小さくなっている。したがって、球面部８０ａと受け面７９ａとの間には隙間が形成され、これによって揺動部８０が受け部７９に対して揺動可能となっている。換言すれば、上記の荷重受け部７７の構成により、調整部材７８が水平方向に移動したり傾いたりすることが可能となっている。ただし、揺動部８０が受け面７９ａ上で所定角度傾くと、調整部材７８が受け部７９の外周縁に接触し、それ以上の傾きが制限されるようになっている。つまり、調整部材７８は、受け部７９から脱落しない範囲内で傾斜が許容されるように設計されている。   In the swinging portion 80, the hemispherical spherical surface portion 80a is in contact with the receiving surface 79a of the receiving portion 79. At this time, the curvature of the receiving surface 79a is smaller than the curvature of the spherical surface portion 80a. Therefore, a gap is formed between the spherical surface portion 80 a and the receiving surface 79 a, so that the swinging portion 80 can swing with respect to the receiving portion 79. In other words, the configuration of the load receiving portion 77 described above allows the adjustment member 78 to move or tilt in the horizontal direction. However, when the swinging portion 80 is inclined at a predetermined angle on the receiving surface 79a, the adjustment member 78 comes into contact with the outer peripheral edge of the receiving portion 79, and the inclination beyond that is limited. That is, the adjustment member 78 is designed to be allowed to tilt within a range that does not fall off the receiving portion 79.

図１７は、アンテナ搬送体７０にアレイアンテナユニット３０が保持されたときの、調整部材７８とアレイアンテナユニット３０との関係を説明する図である。調整部材７８は、アンテナ搬送体７０の搬送方向に沿って延在する延在部７８ａ、および、この延在部７８ａから水平方向に交差（本実施形態では直交）する方向に突出する複数の移動制限部７８ｂを備えてなる、平面が櫛状をなす薄板部材によって構成されている。この複数の移動制限部７８ｂは、延在部７８ａの長手方向すなわちアンテナ搬送体７０の搬送方向に所定の間隔を維持して設けられている。   FIG. 17 is a diagram illustrating the relationship between the adjustment member 78 and the array antenna unit 30 when the array antenna unit 30 is held on the antenna carrier 70. The adjustment member 78 extends in the conveying direction of the antenna carrier 70, and a plurality of movements projecting from the extending portion 78a in a direction intersecting in the horizontal direction (orthogonal in the present embodiment). The flat surface formed by the limiting portion 78b is formed of a thin plate member having a comb shape. The plurality of movement restricting portions 78b are provided at predetermined intervals in the longitudinal direction of the extending portion 78a, that is, in the conveying direction of the antenna carrier 70.

そして、図示のように、アレイアンテナユニット３０をアンテナ搬送体７０に保持させると、アレイアンテナユニット３０のアンテナ支持部材３１の下面と、調整部材７８の上面とが、面接触状態で圧接する。これにより、アレイアンテナユニット３０の荷重が調整部材７８を介して荷重受け部７７に作用し、アレイアンテナユニット３０がアンテナ搬送体７０のアンテナ保持部材７３に保持されることとなる。   As shown in the figure, when the array antenna unit 30 is held by the antenna carrier 70, the lower surface of the antenna support member 31 of the array antenna unit 30 and the upper surface of the adjustment member 78 are in pressure contact with each other in a surface contact state. Thereby, the load of the array antenna unit 30 acts on the load receiving portion 77 via the adjustment member 78, and the array antenna unit 30 is held by the antenna holding member 73 of the antenna carrier 70.

また、アレイアンテナユニット３０がアンテナ保持部材７３に保持された状態では、隣り合う移動制限部７８ｂの間隔に、第１アンテナ側コネクタ５４の本体５４ａ、および、第２アンテナ側コネクタ５５の本体５５ａが交互に臨んで位置するようになっている。ただし、移動制限部７８ｂの間隔は、第１アンテナ側コネクタ５４の本体５４ａ、および、第２アンテナ側コネクタ５５の本体５５ａの直径よりも僅かに大きく形成されている。したがって、移動制限部７８ｂは、隣り合う第１電極棒５１（第１アンテナ側コネクタ５４）と第２電極棒５２（第２アンテナ側コネクタ５５）との対向面に臨んで、アンテナ搬送体７０の搬送方向に対する両電極棒５１、５２の移動を制限することとなる。   In the state where the array antenna unit 30 is held by the antenna holding member 73, the main body 54a of the first antenna-side connector 54 and the main body 55a of the second antenna-side connector 55 are spaced apart from each other by the movement restriction portions 78b adjacent to each other. It is designed to be located alternately. However, the distance between the movement restricting portions 78b is slightly larger than the diameters of the main body 54a of the first antenna side connector 54 and the main body 55a of the second antenna side connector 55. Therefore, the movement restricting portion 78b faces the opposing surface of the adjacent first electrode rod 51 (first antenna side connector 54) and the second electrode rod 52 (second antenna side connector 55), and the antenna carrier 70 The movement of both electrode bars 51 and 52 with respect to the transport direction is limited.

なお、調整部材７８は、延在部７８ａが両電極棒５１、５２の一方の側にのみ設けられており、アンテナ搬送体７０の搬送方向（ｘ方向）に直交する水平方向（ｚ方向）への両電極棒５１、５２の移動を制限する機能は備えていない。つまり、調整部材７８は、少なくとも両電極棒５１、５２の移動をアンテナ搬送体７０の搬送方向（ｘ方向）に制限することとなる。   The adjustment member 78 has an extending portion 78a provided only on one side of the electrode rods 51 and 52, and extends in the horizontal direction (z direction) orthogonal to the conveyance direction (x direction) of the antenna carrier 70. The function of restricting the movement of the electrode rods 51 and 52 is not provided. That is, the adjustment member 78 restricts at least the movement of the electrode bars 51 and 52 in the transport direction (x direction) of the antenna transport body 70.

これに対して、すでに説明したとおり、搬送方向に直交する水平方向への両電極棒５１、５２の移動は、アンテナ支持部材３１のアンテナ支持孔３２によって制限されている（図８参照）。このとき、アンテナ支持孔３２は、アンテナ支持部材３１の長手方向に連続する長孔形状に形成されているため、アレイアンテナユニット３０においては、両電極棒５１、５２の配列方向への移動が制限されていない。つまり、アンテナ支持部材３１は、両電極棒５１、５２の移動をアンテナ搬送体７０の搬送方向に直交する水平方向にのみ制限している。   On the other hand, as already described, the movement of both electrode bars 51 and 52 in the horizontal direction orthogonal to the transport direction is limited by the antenna support hole 32 of the antenna support member 31 (see FIG. 8). At this time, since the antenna support hole 32 is formed in a long hole shape that is continuous in the longitudinal direction of the antenna support member 31, in the array antenna unit 30, movement of both electrode bars 51 and 52 in the arrangement direction is restricted. It has not been. That is, the antenna support member 31 restricts the movement of the electrode rods 51 and 52 only in the horizontal direction orthogonal to the conveyance direction of the antenna carrier 70.

図１８は、アレイアンテナユニット３０がアンテナ搬送体７０に保持された状態を示す斜視図である。この図に示すように、アレイアンテナユニット３０がアンテナ搬送体７０に保持された状態では、搬送方向（図中ｘ方向）への両電極棒５１、５２の移動が、アンテナ搬送体７０（調整部材７８）によって制限され、搬送方向に直交する水平方向（図中ｚ方向）への両電極棒５１、５２の移動が、アレイアンテナユニット３０（アンテナ支持部材３１）によって制限されている。   FIG. 18 is a perspective view showing a state where the array antenna unit 30 is held by the antenna carrier 70. As shown in this figure, in a state where the array antenna unit 30 is held by the antenna carrier 70, the movement of the electrode rods 51 and 52 in the carrying direction (x direction in the figure) 78), and the movement of both electrode bars 51 and 52 in the horizontal direction (z direction in the figure) orthogonal to the transport direction is limited by the array antenna unit 30 (antenna support member 31).

アレイアンテナユニット３０は、高温の真空チャンバ１内に置かれるため、アンテナ支持部材３１が熱膨張する。そこで、搬送方向に直交する水平方向への両電極棒５１、５２の移動を制限しながらも、アンテナ支持孔３２を長孔形状にすることによって、熱膨張時の逃げを確保し、部材間の干渉を防ぐようにしている。しかしながら、上記のように熱膨張時の逃げを確保すると、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際に、各電極棒５１、５２の位置がずれてしまい、これら各電極棒５１、５２を各天井側コネクタ１３、１４に接続する作業が煩雑になってしまう。   Since the array antenna unit 30 is placed in the high-temperature vacuum chamber 1, the antenna support member 31 is thermally expanded. Therefore, while restricting the movement of the electrode rods 51 and 52 in the horizontal direction perpendicular to the transport direction, the antenna support hole 32 has a long hole shape to ensure escape during thermal expansion, and between the members. I try to prevent interference. However, if the escape at the time of thermal expansion is ensured as described above, when the array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1, the positions of the electrode bars 51, 52 are shifted, and the electrode bars 51, 52 are shifted. The operation of connecting the cables to the ceiling side connectors 13 and 14 becomes complicated.

そこで、本実施形態においては、成膜処理中に外部に搬出されるアンテナ搬送体７０に調整部材７８を設けるとともに、この調整部材７８によって、搬送方向への両電極棒５１、５２の移動を制限することとしている。これにより、アレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際の位置決め精度を確保することが可能となり、掛け止め時の作業効率を向上することができる。つまり、上記の構成とすることで、成膜処理中における熱膨張時の逃げの確保と、アレイアンテナユニット３０の掛け止め時の位置決め精度と、からなる２つの相反する要求に応えることが可能となっている。以下では、洗浄が必要となったアレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１から取り外された状態において、新たなアレイアンテナユニット３０を真空チャンバ１内に掛け止める際の作用について説明する。   Therefore, in the present embodiment, the adjustment member 78 is provided on the antenna carrier 70 that is carried outside during the film forming process, and the movement of the electrode rods 51 and 52 in the conveyance direction is restricted by the adjustment member 78. To do. As a result, it is possible to ensure the positioning accuracy when the array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1, and the working efficiency at the time of hooking can be improved. In other words, with the above-described configuration, it is possible to meet two conflicting requirements consisting of securing escape during thermal expansion during film formation and positioning accuracy when latching the array antenna unit 30. It has become. Hereinafter, the operation when the new array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1 in a state where the array antenna unit 30 that needs to be cleaned is detached from the vacuum chamber 1 will be described.

（アレイアンテナユニットの掛け止め過程）
本実施形態においては、図１に示すように、真空チャンバ１の右側面部２ｃに設けられた右開口部７から、真空チャンバ１内にアンテナ搬送体７０が搬入される。図１において、開閉扉８が開かれると、不図示のアンテナ搬送チャンバが真空チャンバ１に接続可能となっている。このアンテナ搬送チャンバには、真空チャンバ１に設けられたガイドレール１７に接続可能なガイドレールが設けられており、アンテナ搬送チャンバが真空チャンバ１に接続されると、アンテナ搬送チャンバに設けられたガイドレールと、真空チャンバ１に設けられたガイドレール１７とが連続するようになっている。これにより、アンテナ搬送体７０は、アンテナ搬送チャンバから真空チャンバ１内に搬入されることとなる。 (Holding process of array antenna unit)
In the present embodiment, as shown in FIG. 1, an antenna carrier 70 is carried into the vacuum chamber 1 from the right opening 7 provided in the right side surface 2 c of the vacuum chamber 1. In FIG. 1, when the open / close door 8 is opened, an antenna transfer chamber (not shown) can be connected to the vacuum chamber 1. The antenna transfer chamber is provided with a guide rail that can be connected to a guide rail 17 provided in the vacuum chamber 1. When the antenna transfer chamber is connected to the vacuum chamber 1, a guide provided in the antenna transfer chamber is provided. The rail and the guide rail 17 provided in the vacuum chamber 1 are continuous. As a result, the antenna carrier 70 is carried into the vacuum chamber 1 from the antenna carrier chamber.

このように、本実施形態によれば、アンテナ搬送体７０が、基板搬送体６０を搬送するためのガイドレール１７にガイドされて真空チャンバ１内を移動する。換言すれば、基板搬送体６０とアンテナ搬送体７０とで、同一のガイドレール１７を共用しているので、アンテナ搬送体７０をガイドするための専用の部品を真空チャンバ１内に設ける必要がない。したがって、真空チャンバ１すなわちプラズマＣＶＤ装置全体が大型化することがなく、また、コストを抑制しながらも、アレイアンテナユニット３０の搬送作業を簡素化することができる。   Thus, according to the present embodiment, the antenna carrier 70 is guided by the guide rail 17 for carrying the substrate carrier 60 and moves in the vacuum chamber 1. In other words, since the same guide rail 17 is shared by the substrate carrier 60 and the antenna carrier 70, it is not necessary to provide a dedicated component for guiding the antenna carrier 70 in the vacuum chamber 1. . Therefore, the vacuum chamber 1, that is, the entire plasma CVD apparatus is not increased in size, and the transporting operation of the array antenna unit 30 can be simplified while suppressing the cost.

図１９は、真空チャンバ１内にアレイアンテナユニット３０を掛け止める過程を説明する図である。図１９（ａ）は、図１８に示すように、洗浄を完了したアレイアンテナユニット３０を保持するアンテナ搬送体７０が、アンテナ搬送チャンバから真空チャンバ１内に搬入され、不図示のストッパーに接触して所定位置に停止した状態を示している。なお、このストッパーは、アンテナ搬送体７０には接触するが、基板搬送体６０には接触しない位置に設けられている。   FIG. 19 is a diagram illustrating a process of hanging the array antenna unit 30 in the vacuum chamber 1. In FIG. 19A, as shown in FIG. 18, the antenna carrier 70 holding the array antenna unit 30 that has been cleaned is carried into the vacuum chamber 1 from the antenna carrier chamber and comes into contact with a stopper (not shown). The state stopped at a predetermined position is shown. The stopper is provided at a position that contacts the antenna carrier 70 but does not contact the substrate carrier 60.

そして、この状態からエアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａを上方に伸長させると、図１９（ｂ）に示すように、アレイアンテナユニット３０の位置決めピン３５が、真空チャンバ１の天井部２ａに設けられた位置決め孔１８に挿通する。これにより、アレイアンテナユニット３０は、真空チャンバ１に対して位置決めがなされた状態で上昇することとなる。また、アレイアンテナユニット３０が上昇する過程では、天井部２ａに設けられた掛止ピン１９が掛止孔３６に挿通するとともに、第１天井側コネクタ１３が第１アンテナ側コネクタ５４に嵌合し、第２天井側コネクタ１４が第２アンテナ側コネクタ５５に嵌合する。   When the telescopic rod 76a of the air cylinder 76 is extended upward from this state, the positioning pins 35 of the array antenna unit 30 are provided on the ceiling portion 2a of the vacuum chamber 1 as shown in FIG. The positioning hole 18 is inserted. As a result, the array antenna unit 30 is lifted while being positioned with respect to the vacuum chamber 1. In the process of raising the array antenna unit 30, the latch pin 19 provided on the ceiling portion 2 a is inserted into the latch hole 36, and the first ceiling-side connector 13 is fitted to the first antenna-side connector 54. The second ceiling side connector 14 is fitted to the second antenna side connector 55.

このとき、アレイアンテナユニット３０は、荷重受け部７７、すなわち、受け面７９ａと揺動部８０とによる荷重受け構造により、アンテナ搬送体７０に揺動可能に保持されている（図１６参照）。そのため、仮に、アレイアンテナユニット３０が掛け止め位置からずれたとしても、当該アレイアンテナユニット３０を揺動させることにより、所定の掛け止め位置に調整することができる。これにより、位置決めピン３５や位置決め孔１８、あるいは各コネクタ１３、１４、５４、５５の寸法管理が厳密でなかったとしても、確実にアレイアンテナユニット３０を天井部２ａに掛け止めることができる。   At this time, the array antenna unit 30 is swingably held by the antenna carrier 70 by a load receiving portion 77, that is, a load receiving structure including the receiving surface 79a and the swinging portion 80 (see FIG. 16). Therefore, even if the array antenna unit 30 is deviated from the latching position, the array antenna unit 30 can be adjusted to a predetermined latching position by swinging the array antenna unit 30. Thereby, even if the dimensional management of the positioning pin 35, the positioning hole 18, or the connectors 13, 14, 54, 55 is not strict, the array antenna unit 30 can be reliably hung on the ceiling portion 2a.

そして、図１９（ｂ）に示す状態で、アレイアンテナユニット３０の掛止孔３６を挿通した掛止ピン１９に、その下方からボルト等の固定手段を固定することにより、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１内に掛け止められることとなる。このようにして、アレイアンテナユニット３０が掛け止められたら、エアシリンダ７６の伸縮ロッド７６ａを下方に収縮させる。すると、図１９（ｃ）に示すように、支柱７５ａ、７５ｂに懸架された調整部材７８が降下して、アンテナ搬送体７０からアレイアンテナユニット３０が離脱する。   Then, in the state shown in FIG. 19B, the array antenna unit 30 is vacuumed by fixing a fixing means such as a bolt from below to the latch pin 19 inserted through the latch hole 36 of the array antenna unit 30. It is latched in the chamber 1. When the array antenna unit 30 is hooked in this way, the telescopic rod 76a of the air cylinder 76 is contracted downward. Then, as shown in FIG. 19 (c), the adjustment member 78 suspended on the columns 75 a and 75 b is lowered and the array antenna unit 30 is detached from the antenna carrier 70.

ただし、この状態では、真空チャンバ１の天井部２ａから垂下する第１電極棒５１および第２電極棒５２と、支柱７５ａ、７５ｂと、がアンテナ搬送体７０の搬送方向において、同一直線上に位置したままとなっている。また、一対の支柱７５ａ、７５ｂに懸架される調整部材７８の移動制限部７８ｂが、第１電極棒５１および第２電極棒５２に臨んだままの状態となっている。したがって、このままの状態では、アンテナ搬送体７０を真空チャンバ１から搬出することができない。   However, in this state, the first electrode rod 51 and the second electrode rod 52 hanging from the ceiling portion 2a of the vacuum chamber 1 and the columns 75a and 75b are positioned on the same straight line in the conveyance direction of the antenna carrier 70. It has been done. Further, the movement restricting portion 78b of the adjustment member 78 suspended from the pair of support columns 75a and 75b remains facing the first electrode rod 51 and the second electrode rod 52. Therefore, in this state, the antenna carrier 70 cannot be carried out of the vacuum chamber 1.

そこで、図２０に示すように、スライド装置７４を駆動して、一対の支柱７５ａ、７５ｂを、アンテナ搬送体７０の搬送方向に直交する水平方向にスライドさせ、一対の支柱７５ａ、７５ｂを第１電極棒５１および第２電極棒５２の配列直線上から退避させる。これにより、調整部材７８の移動制限部７８ｂも、隣り合う第１電極棒５１および第２電極棒５２の対向面から退避することとなる。そして、アンテナ搬送体７０を、再びガイドレール１７に沿って真空チャンバ１の外に搬出すれば、メンテナンス作業が終了となる。これにより、基板搬送体６０を真空チャンバ１内に搬入することが可能となり、成膜処理を再開することができる。   Therefore, as shown in FIG. 20, the slide device 74 is driven to slide the pair of support columns 75a and 75b in the horizontal direction orthogonal to the transport direction of the antenna transport body 70, and the pair of support columns 75a and 75b are moved to the first position. The electrode rod 51 and the second electrode rod 52 are retracted from the alignment line. As a result, the movement restricting portion 78b of the adjustment member 78 is also retracted from the opposing surfaces of the adjacent first electrode rod 51 and second electrode rod 52. Then, when the antenna carrier 70 is carried out of the vacuum chamber 1 along the guide rail 17 again, the maintenance work is completed. As a result, the substrate transfer body 60 can be carried into the vacuum chamber 1 and the film forming process can be resumed.

上記のように、成膜処理中には、アンテナ搬送体７０が真空チャンバ１から搬出されるので、アンテナ搬送体７０には、耐圧性や耐化学物質性の部品を用いる必要がなく、コストを抑制することが可能となる。また、アンテナ搬送体７０を、成膜処理中に真空チャンバ１内に留める必要がないことから、複数の真空チャンバ１が設けられたプラズマＣＶＤ装置であっても、１体のアンテナ搬送体７０を設けるだけでよい。   As described above, since the antenna carrier 70 is unloaded from the vacuum chamber 1 during the film forming process, it is not necessary to use pressure-resistant or chemical-resistant parts for the antenna carrier 70, and cost is reduced. It becomes possible to suppress. Further, since it is not necessary to keep the antenna carrier 70 in the vacuum chamber 1 during the film forming process, even if the plasma CVD apparatus is provided with a plurality of vacuum chambers 1, the single antenna carrier 70 is provided. It is only necessary to provide it.

なお、上記実施形態におけるアレイアンテナユニットやアンテナ保持部材の構成は一例に過ぎない。いずれにしても、アンテナ搬送体にアレイアンテナユニットを保持するアンテナ保持部材が設けられ、このアンテナ保持部材に、電極棒の移動を制限する移動制限部を有する調整部材が設けられていればよい。したがって、揺動機構は必須の構成ではない。   Note that the configurations of the array antenna unit and the antenna holding member in the above embodiment are merely examples. In any case, the antenna carrier may be provided with an antenna holding member that holds the array antenna unit, and the antenna holding member may be provided with an adjustment member having a movement restricting portion that restricts the movement of the electrode rod. Therefore, the swing mechanism is not an essential configuration.

また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体７０の搬送方向に対する各電極棒５１、５２の移動を、調整部材７８の移動制限部７８ｂによって制限している。これにより、アレイアンテナユニット３０の搬送過程で、当該電極棒５１、５２が、対応する各天井側コネクタ１３、１４に接続可能な位置に維持されるようにしている。しかしながら、真空チャンバ１内にアレイアンテナユニット３０を掛け止めした後、アンテナ搬送体７０を真空チャンバ１内から搬出する過程では、移動制限部７８ｂが真空チャンバ１内に取り付けられた各電極棒５１、５２に干渉してしまう。   In the above-described embodiment, the movement of the electrode bars 51 and 52 with respect to the conveyance direction of the antenna carrier 70 is restricted by the movement restriction unit 78 b of the adjustment member 78. Thereby, in the process of transporting the array antenna unit 30, the electrode bars 51 and 52 are maintained at positions where they can be connected to the corresponding ceiling-side connectors 13 and 14. However, in the process of unloading the antenna carrier 70 from the vacuum chamber 1 after the array antenna unit 30 is latched in the vacuum chamber 1, each electrode rod 51 attached with the movement restricting portion 78 b in the vacuum chamber 1, 52.

そこで、調整部材７８を搬送方向に直交する方向にスライドさせることにより、隣り合う電極棒５１、５２の対向面から移動制限部７８ｂが退避するようにしている。このように、隣り合う電極棒５１、５２の対向面から移動制限部７８ｂが退避する構成であれば、上記実施形態のように、必ずしも調整部材７８の全体がスライドする必要はない。例えば、各電極棒５１、５２の移動を制限する調整部材７８を、以下の変形例のように可動するようにしてもよい。   Therefore, the movement restricting portion 78b is retracted from the opposing surface of the adjacent electrode rods 51 and 52 by sliding the adjustment member 78 in a direction orthogonal to the transport direction. Thus, if the movement restricting portion 78b is retracted from the opposing surface of the adjacent electrode rods 51 and 52, the entire adjustment member 78 does not necessarily need to slide as in the above-described embodiment. For example, the adjustment member 78 that restricts the movement of the electrode bars 51 and 52 may be movable as in the following modification.

図２１は、アンテナ搬送体の変形例を説明する概念図である。ここでは、上記実施形態と同様の構成については、上記と同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。この変形例のアンテナ搬送体９０は、基台９１を備えており、この基台９１の幅方向両端に車輪９２が設けられている。このアンテナ搬送体９０においても、上記実施形態と同様に、アンテナ保持部材９３が３つ設けられており、これらのアンテナ保持部材９３それぞれにアレイアンテナユニット３０が保持可能となっている。   FIG. 21 is a conceptual diagram illustrating a modification of the antenna carrier. Here, about the structure similar to the said embodiment, the code | symbol similar to the above is attached | subjected, and the detailed description is abbreviate | omitted. The antenna carrier 90 according to this modification includes a base 91, and wheels 92 are provided at both ends of the base 91 in the width direction. The antenna carrier 90 is also provided with three antenna holding members 93 as in the above embodiment, and the array antenna unit 30 can be held by each of these antenna holding members 93.

アンテナ保持部材９３は、基台９１から上方に垂直に起立する支柱９４ａ、９４ｂを、アンテナ搬送体９０の搬送方向に所定の間隔を維持して備えている。また、この変形例においては、支柱９４ａ、９４ｂがアンテナ搬送体９０の搬送方向に直交する方向（図中ｚ方向）に離間して一対ずつ設けられており、これらの支柱９４ａ、９４ａ、９４ｂ、９４ｂの上端に、アレイアンテナユニット３０が保持されている。つまり、アレイアンテナユニット３０は、４つの支柱９４ａ、９４ａ、９４ｂ、９４ｂの上端に、４点で保持されることとなり、このとき、アレイアンテナユニット３０に支持される各電極棒５１、５２が、図示のように、一対の支柱９４ａ、９４ａ（９４ｂ、９４ｂ）間に垂下保持されている。なお、図２１では示していないが、この変形例においても上記と同様のエアシリンダが各支柱９４ａ、９４ｂに収容されており、このエアシリンダの伸縮ロッドの伸縮により、アレイアンテナユニット３０が鉛直方向に昇降可能となっている。   The antenna holding member 93 includes support columns 94 a and 94 b that vertically stand upward from the base 91 while maintaining a predetermined interval in the conveyance direction of the antenna carrier 90. Further, in this modified example, the support posts 94a and 94b are provided in pairs in the direction perpendicular to the transfer direction of the antenna carrier 90 (the z direction in the figure), and these support posts 94a, 94a, 94b, The array antenna unit 30 is held at the upper end of 94b. That is, the array antenna unit 30 is held at four points on the upper ends of the four columns 94a, 94a, 94b, 94b. At this time, the electrode bars 51, 52 supported by the array antenna unit 30 are As shown in the figure, it is suspended from a pair of columns 94a, 94a (94b, 94b). Although not shown in FIG. 21, also in this modification, the same air cylinder as described above is accommodated in each column 94a, 94b, and the expansion and contraction of the telescopic rod of this air cylinder causes the array antenna unit 30 to move in the vertical direction. Can be moved up and down.

また、この変形例においても上記実施形態と同様の調整部材７８を備えているが、ここでは、調整部材７８が、各電極棒５１、５２の配列方向に回動中心軸を一致させた状態で、一方の支柱９４ａ、９４ｂ間に回動可能に支持されている。具体的には、調整部材７８は、図中実線で示すように、移動制限部７８ｂを隣り合う電極棒５１、５２の対向面に臨ませる位置（以下、「制限位置」という）と、図中点線で示すように、移動制限部７８ｂが隣り合う電極棒５１、５２の対向面から退避した位置（以下、「退避位置）という）とに、回動可能に支持されている。   Further, this modification also includes an adjustment member 78 similar to that of the above embodiment, but here, the adjustment member 78 is in a state in which the rotation center axis coincides with the arrangement direction of the electrode rods 51 and 52. , And is supported rotatably between one of the columns 94a and 94b. Specifically, as shown by the solid line in the figure, the adjustment member 78 has a position (hereinafter referred to as “restricted position”) where the movement restricting portion 78b faces the opposing surface of the adjacent electrode rods 51 and 52, and As indicated by the dotted line, the movement restricting portion 78b is rotatably supported at a position retracted from the opposing surface of the adjacent electrode rods 51 and 52 (hereinafter referred to as “retracted position”).

したがって、アレイアンテナユニット３０を搬送する際には、調整部材７８を制限位置にセットすることにより、搬送過程における各電極棒５１、５２の搬送方向への移動を制限することができる。一方で、アレイアンテナユニット３０が真空チャンバ１内に掛け止められた後に、アンテナ搬送体９０を真空チャンバ１内から搬出する際には、調整部材７８を退避位置まで回動させることにより、移動制限部７８ｂと各電極棒５１、５２との干渉を防ぐことができる。   Therefore, when the array antenna unit 30 is transported, the adjustment member 78 is set at the limit position, so that the movement of the electrode bars 51 and 52 in the transport direction during the transport process can be limited. On the other hand, when the antenna carrier 90 is unloaded from the vacuum chamber 1 after the array antenna unit 30 is hooked in the vacuum chamber 1, the movement is restricted by rotating the adjustment member 78 to the retracted position. Interference between the portion 78b and the electrode rods 51 and 52 can be prevented.

上記のように、この変形例によっても、上記実施形態と同様の作用効果を実現可能である。しかも、この変形例によれば、調整部材７８のみを回動させるため、支柱全体をスライドさせる上記実施形態に比べて、装置を簡素化することが可能となり、部品点数の削減とコストの低減とを実現可能である。   As described above, this modification can also achieve the same effects as the above-described embodiment. In addition, according to this modification, since only the adjustment member 78 is rotated, the apparatus can be simplified compared to the above-described embodiment in which the entire support column is slid, and the number of parts and the cost can be reduced. Is feasible.

なお、調整部材７８は、手動で回動するものであってもよいし、アクチュエータによって自動で回動するものであってもよい。また、例えば、アレイアンテナユニット３０が支柱９４ａ、９４ｂ上に載置されると、調整部材７８が制限位置にセットされ、アレイアンテナユニット３０が支柱９４ａ、９４ｂ上から離脱すると、調整部材７８が退避位置に退避するリンク機構を設けることも可能である。   The adjustment member 78 may be manually rotated, or may be automatically rotated by an actuator. Further, for example, when the array antenna unit 30 is placed on the support columns 94a and 94b, the adjustment member 78 is set at the restriction position, and when the array antenna unit 30 is detached from the support columns 94a and 94b, the adjustment member 78 is retracted. It is also possible to provide a link mechanism that retracts to a position.

また、上記実施形態においては、調整部材７８が支柱７５ａ、７５ｂと一体的にスライドし、上記変形例においては、調整部材７８が回動することによって、各電極棒５１、５２との干渉を防ぐこととしたが、例えば、移動制限部７８ｂのみがスライドしたり回動したりするようにしても構わない。   Moreover, in the said embodiment, the adjustment member 78 slides integrally with the support | pillars 75a and 75b, and in the said modification, when the adjustment member 78 rotates, interference with each electrode rod 51 and 52 is prevented. However, for example, only the movement limiting unit 78b may slide or rotate.

また、上記実施形態においては、移動制限部７８ｂが、隣り合う電極棒５１、５２の対向面に臨む位置まで突出する構成とした。しかしながら、移動制限部７８ｂは、少なくとも、隣り合う電極棒５１、５２が固定されるアンテナ側コネクタ５４、５５の対向面に臨む位置まで突出すればよい。また、移動制限部７８ｂは、電極棒５１、５２の配列方向への移動を制限すればよいので、例えば、電極棒５１、５２に何らかの部品が固定される場合には、この部品の対向面に移動制限部７８ｂが臨むようにすればよい。いずれにしても、移動制限部は、隣り合う電極棒の対向面に臨んで、電極棒の移動を制限するものであればよい。したがって、隣り合う電極棒の対向面に臨む位置は、電極棒の移動を制限可能な位置を広く含むものである。   Moreover, in the said embodiment, it was set as the structure which the movement restriction | limiting part 78b protrudes to the position which faces the opposing surface of the adjacent electrode rods 51 and 52. As shown in FIG. However, the movement restricting portion 78b only has to protrude at least to a position facing the facing surfaces of the antenna-side connectors 54 and 55 to which the adjacent electrode rods 51 and 52 are fixed. Further, the movement restricting portion 78b only needs to restrict the movement of the electrode rods 51 and 52 in the arrangement direction. For example, when some component is fixed to the electrode rods 51 and 52, the movement restricting portion 78b What is necessary is just to make it the movement restriction | limiting part 78b face. In any case, the movement restricting portion may be any member that restricts the movement of the electrode rod facing the opposing surface of the adjacent electrode rod. Therefore, the positions facing the opposing surfaces of the adjacent electrode bars widely include positions where the movement of the electrode bars can be restricted.

また、上記実施形態においては、基板搬送体６０およびアンテナ搬送体７０を搬送するためのガイド機構として、真空チャンバ１内にガイドレール１７が設けられるとともに、基板搬送体６０に車輪６２が設けられ、アンテナ搬送体７０に車輪７２が設けられることとした。   Moreover, in the said embodiment, while the guide rail 17 is provided in the vacuum chamber 1 as a guide mechanism for conveying the board | substrate conveyance body 60 and the antenna conveyance body 70, the wheel 62 is provided in the board | substrate conveyance body 60, The wheels 72 are provided on the antenna carrier 70.

しかしながら、これとは逆に、真空チャンバ内に複数のガイドローラを配列するとともに、基板搬送体およびアンテナ搬送体に、上記のガイドローラに摺接する板状の部材を設けるようにしても構わない。また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体と基板搬送体とが同一のガイドレールにガイドされる構成としたが、アンテナ搬送体を搬送するための専用の部品を設けるようにしても構わない。   However, conversely, a plurality of guide rollers may be arranged in the vacuum chamber, and a plate-like member that is in sliding contact with the guide rollers may be provided on the substrate carrier and the antenna carrier. In the above embodiment, the antenna carrier and the substrate carrier are guided by the same guide rail. However, a dedicated component for carrying the antenna carrier may be provided.

また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体にエアシリンダを設け、アレイアンテナユニットを鉛直方向に昇降可能な構成としたが、こうしたアレイアンテナユニットを変位させる変位手段は必須の構成ではない。また、上記実施形態においては、変位手段がアレイアンテナユニットを鉛直方向に昇降させる構成としたが、変位手段によってアレイアンテナユニットを変位させることとした場合には、その変位方向は上記実施形態に限らない。つまり、変位手段によってアレイアンテナユニットを変位させる目的は、真空チャンバに設けられたコネクタに、アレイアンテナユニットの電極棒（アンテナ側コネクタ）を一括して接続することにある。したがって、例えば、真空チャンバに設けられたコネクタが、電極棒を水平方向に変位させて接続されるように配置された場合には、変位手段によってアレイアンテナユニットを同一の水平方向に変位させるようにすればよい。   In the above-described embodiment, the antenna carrier is provided with an air cylinder so that the array antenna unit can be moved up and down in the vertical direction. However, a displacement means for displacing the array antenna unit is not an essential configuration. Moreover, in the said embodiment, although the displacement means was set as the structure which raises / lowers an array antenna unit to a perpendicular direction, when it is decided to displace an array antenna unit by a displacement means, the displacement direction is restricted to the said embodiment. Absent. In other words, the purpose of displacing the array antenna unit by the displacing means is to collectively connect the electrode rods (antenna side connector) of the array antenna unit to the connector provided in the vacuum chamber. Therefore, for example, when the connector provided in the vacuum chamber is arranged so that the electrode rod is displaced in the horizontal direction and connected, the array antenna unit is displaced in the same horizontal direction by the displacement means. do it.

また、上記実施形態においては、エアシリンダによってアレイアンテナユニットが鉛直方向に昇降する構成としたが、アレイアンテナユニットの変位は手動で行われるようにしても構わない。さらに、アレイアンテナユニットを自動で変位させる変位手段を設ける場合には、エアシリンダに限らず、油圧シリンダや電動シリンダなど、種々の装置によって変位手段を構成することが可能である。ただし、エアシリンダは、他の装置に比べてクッション性が高いので、上述の揺動機構と相まって、アレイアンテナユニットを掛け止める際の移動自由度が増し、取り付け容易性を向上すことができる。   In the above embodiment, the array antenna unit is moved up and down in the vertical direction by the air cylinder. However, the displacement of the array antenna unit may be manually performed. Furthermore, in the case where a displacement means for automatically displacing the array antenna unit is provided, the displacement means can be configured by various devices such as a hydraulic cylinder and an electric cylinder, not limited to an air cylinder. However, since the air cylinder has higher cushioning properties than other devices, in combination with the above-described swing mechanism, the degree of freedom of movement when the array antenna unit is hooked is increased, and the ease of attachment can be improved.

また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体に３体のアレイアンテナユニットが同時に保持可能な構成としたが、アンテナ搬送体に同時に保持可能なアレイアンテナユニットの数は限定されない。また、複数のアレイアンテナユニットを同時に保持する構成とした場合には、アレイアンテナユニットと同数のアンテナ保持部材を設けることとしてもよいし、１つのアンテナ保持部材に複数のアレイアンテナユニットを保持可能な構成としてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although it was set as the structure which can hold | maintain three array antenna units simultaneously at an antenna carrier, the number of array antenna units which can be simultaneously hold | maintained at an antenna carrier is not limited. Further, when a plurality of array antenna units are configured to be held at the same time, the same number of antenna holding members as the array antenna units may be provided, and a plurality of array antenna units can be held on one antenna holding member. It is good also as a structure.

なお、上記実施形態のように、複数のアレイアンテナユニットを同時に保持可能な構成とし、かつ、これらアレイアンテナユニットを変位させる変位手段を設ける場合には、各アレイアンテナユニットを個別に変位可能とすることが望ましい。各アレイアンテナユニットを真空チャンバに掛け止める際には、コネクタの接続状態などを目視確認する必要がある。このとき、複数のアレイアンテナユニットが同時に変位することとなると、作業者から見て相対的に奥側に位置するアレイアンテナユニットの取り付け状況の確認が困難となる。したがって、変位手段によって複数のアレイアンテナユニットを変位させる場合には、変位手段が個別に作動する構成にするとよい。   In addition, when it is set as the structure which can hold | maintain several array antenna units simultaneously like the said embodiment, and the displacement means to displace these array antenna units is provided, each array antenna unit can be displaced individually. It is desirable. When each array antenna unit is hung on the vacuum chamber, it is necessary to visually check the connection state of the connector. At this time, if a plurality of array antenna units are displaced at the same time, it is difficult to confirm the mounting state of the array antenna unit positioned relatively far behind as viewed from the operator. Therefore, when a plurality of array antenna units are displaced by the displacement means, the displacement means may be configured to operate individually.

なお、アンテナ搬送体の搬送は手動で行うこととしてもよいし、基板搬送体と同様に、駆動ピニオンに対応するラックを設けて駆動モータで搬送を実現するなど、駆動装置によって搬送を実現することとしてもよい。さらに、上記実施形態においては、左開口部から真空チャンバ内に基板搬送体が搬入され、右開口部から真空チャンバ内にアンテナ搬送体が搬入されることとしたが、両搬送体の搬入、搬出方向は同じであってもよい。   The antenna carrier may be transported manually, or, like the substrate carrier, a carrier corresponding to the drive pinion may be provided to carry the carrier with a drive motor. It is good. Further, in the above embodiment, the substrate carrier is carried into the vacuum chamber from the left opening, and the antenna carrier is carried into the vacuum chamber from the right opening. The directions may be the same.

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to this embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims, and these are naturally within the technical scope of the present invention. Is done.

本発明は、真空チャンバ内でプラズマを発生させて基板表面に薄膜を生成するアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置に係り、特には、真空チャンバ内にアンテナを搬送するアンテナ搬送体、このアンテナ搬送体を備えたアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置、および真空チャンバ内にアンテナおよび基板を搬送する方法に利用することができる。   The present invention relates to an array antenna type plasma CVD apparatus for generating a thin film on a substrate surface by generating plasma in a vacuum chamber, and in particular, an antenna carrier for carrying an antenna in a vacuum chamber, and the antenna carrier. Further, the present invention can be used for an array antenna type plasma CVD apparatus and a method for transferring an antenna and a substrate into a vacuum chamber.

１ 真空チャンバ
１０ 内部空間
１２ 高周波電源
１３ 第１天井側コネクタ
１４ 第２天井側コネクタ
１５ ガス供給源
１９ 掛止ピン
３０ アレイアンテナユニット
３１ アンテナ支持部材
３２ アンテナ支持孔
３６ 掛止孔
５０ 誘導結合型電極
５１ 第１電極棒
５２ 第２電極棒
７０、９０ アンテナ搬送体
７３、９３ アンテナ保持部材
７５ａ、７５ｂ、９４ａ、９４ｂ 支柱
７８ 調整部材
７８ａ 延在部
７８ｂ 移動制限部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum chamber 10 Internal space 12 High frequency power supply 13 1st ceiling side connector 14 2nd ceiling side connector 15 Gas supply source 19 Latching pin 30 Array antenna unit 31 Antenna support member 32 Antenna support hole 36 Latch hole 50 Inductive coupling type electrode 51 1st electrode rod 52 2nd electrode rod 70, 90 Antenna carrier 73, 93 Antenna holding member 75a, 75b, 94a, 94b Strut 78 Adjustment member 78a Extension part 78b Movement restriction part

Claims (10)

真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、
高周波電源に電気的に接続可能であって、前記真空チャンバの内部上方に設けられるとともに、電極棒を鉛直方向下方から上方に向かって接続可能な複数のコネクタと、
複数本の前記電極棒が互いに間隔を維持して配列した状態で一体的に支持され、これら複数本の電極棒が対応する前記コネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、
前記アレイアンテナユニットを着脱自在に真空チャンバ内に掛け止めするとともに、前記アレイアンテナユニットを掛け止めした状態で前記コネクタと前記電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、
を備えたアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置に、前記アレイアンテナユニットを搬送するアンテナ搬送体であって、
前記複数本の電極棒を垂下させた状態で前記アレイアンテナユニットを保持するアンテナ保持部材と、
前記アンテナ保持部材に連結され、当該アンテナ保持部材に保持された前記アレイアンテナユニットの前記電極棒の配列方向に長手方向を沿わせて位置する調整部材と、を備え、
前記調整部材は、前記アンテナ保持部材に保持された前記アレイアンテナユニットの前記電極棒の配列方向に延在する延在部、および、この延在部から当該延在部の長手方向に交差する水平方向に突出し、隣り合う前記電極棒の対向面に臨む移動制限部を有し、
前記移動制限部は、前記電極棒の対向面から退避可能に設けられていることを特徴とするアンテナ搬送体。 A vacuum chamber in which a material gas is supplied from a gas supply source into an interior that can be decompressed to a vacuum state;
A plurality of connectors that are electrically connectable to a high-frequency power source and are provided above the inside of the vacuum chamber and capable of connecting the electrode rods from vertically downward to upward;
A plurality of the electrode rods are integrally supported in a state where they are arranged at intervals, and power is supplied from the high-frequency power source in a state where the plurality of electrode rods are connected to the corresponding connectors. An array antenna unit for generating plasma;
An antenna latching means for detachably latching the array antenna unit in the vacuum chamber, and maintaining the connector and the electrode rod in a connected state while the array antenna unit is latched;
An antenna carrier for carrying the array antenna unit to an array antenna type plasma CVD apparatus comprising:
An antenna holding member for holding the array antenna unit in a state where the plurality of electrode bars are suspended;
An adjustment member connected to the antenna holding member and positioned along the longitudinal direction in the arrangement direction of the electrode rods of the array antenna unit held by the antenna holding member;
The adjustment member includes an extending portion that extends in the arrangement direction of the electrode rods of the array antenna unit held by the antenna holding member, and a horizontal line that intersects the longitudinal direction of the extending portion from the extending portion. A movement limiting portion that protrudes in the direction and faces the opposing surface of the adjacent electrode rods,
The antenna transporter according to claim 1, wherein the movement restricting portion is provided so as to be retractable from a facing surface of the electrode rod. 前記移動制限部は、前記電極棒の配列方向に交差する水平方向に退避可能に設けられたことを特徴とする請求項１記載のアンテナ搬送体。   2. The antenna carrier according to claim 1, wherein the movement restricting portion is provided so as to be retractable in a horizontal direction intersecting an arrangement direction of the electrode rods. 前記アンテナ保持部材は、
基台から鉛直方向上方に延伸するとともに、前記アレイアンテナユニットに支持される前記複数本の電極棒のうち両端に位置する電極棒よりも前記配列方向外側に位置する一対の支柱を備え、
前記調整部材は、前記一対の支柱に懸架して設けられるとともに、
前記支柱は、前記電極棒の配列方向に交差する水平方向に移動可能に設けられてなることを特徴とする請求項２記載のアンテナ搬送体。 The antenna holding member is
A pair of pillars that extend vertically upward from the base and are positioned on the outer side in the arrangement direction than the electrode bars located at both ends of the plurality of electrode bars supported by the array antenna unit,
The adjustment member is provided suspended from the pair of support columns,
The antenna carrier according to claim 2, wherein the support column is provided so as to be movable in a horizontal direction intersecting an arrangement direction of the electrode rods. 前記移動制限部は、前記電極棒の配列方向に回動中心軸を一致させて回動可能であることを特徴とする請求項１記載のアンテナ搬送体。   2. The antenna carrier according to claim 1, wherein the movement restricting portion is rotatable with its rotation axis aligned with the arrangement direction of the electrode rods. 真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、
高周波電源に電気的に接続可能であって、前記真空チャンバの内部上方に設けられるとともに、電極棒を鉛直方向下方から上方に向かって接続可能な複数のコネクタと、
複数本の前記電極棒が互いに間隔を維持して配列した状態で一体的に支持され、これら複数本の電極棒が対応する前記コネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、
前記アレイアンテナユニットを着脱自在に真空チャンバ内に掛け止めするとともに、前記アレイアンテナユニットを掛け止めした状態で前記コネクタと前記電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、
前記アンテナ掛止手段によって前記アレイアンテナユニットを真空チャンバ内に掛け止め可能な位置まで当該アレイアンテナユニットを搬送するアンテナ搬送体と、
を備え、
前記アンテナ搬送体は、
前記複数本の電極棒を垂下させた状態で前記アレイアンテナユニットを保持するアンテナ保持部材と、
前記アンテナ保持部材に連結され、当該アンテナ保持部材に保持された前記アレイアンテナユニットの前記電極棒の配列方向に長手方向を沿わせて位置する調整部材と、を備え、
前記調整部材は、前記アンテナ保持部材に保持された前記アレイアンテナユニットの前記電極棒の配列方向に延在する延在部、および、この延在部から当該延在部の長手方向に交差する水平方向に突出し、隣り合う前記電極棒の対向面に臨む移動制限部を有し、
前記移動制限部は、前記電極棒の対向面から退避可能に設けられていることを特徴とするアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置。 A vacuum chamber in which a material gas is supplied from a gas supply source into an interior that can be decompressed to a vacuum state;
A plurality of connectors that are electrically connectable to a high-frequency power source and are provided above the inside of the vacuum chamber and capable of connecting the electrode rods from vertically downward to upward;
A plurality of the electrode rods are integrally supported in a state where they are arranged at intervals, and power is supplied from the high-frequency power source in a state where the plurality of electrode rods are connected to the corresponding connectors. An array antenna unit for generating plasma;
An antenna latching means for detachably latching the array antenna unit in the vacuum chamber, and maintaining the connector and the electrode rod in a connected state while the array antenna unit is latched;
An antenna carrier for carrying the array antenna unit to a position where the array antenna unit can be hooked in the vacuum chamber by the antenna hooking means;
With
The antenna carrier is
An antenna holding member for holding the array antenna unit in a state where the plurality of electrode bars are suspended;
An adjustment member connected to the antenna holding member and positioned along the longitudinal direction in the arrangement direction of the electrode rods of the array antenna unit held by the antenna holding member;
The adjustment member includes an extending portion that extends in the arrangement direction of the electrode rods of the array antenna unit held by the antenna holding member, and a horizontal line that intersects the longitudinal direction of the extending portion from the extending portion. A movement limiting portion that protrudes in the direction and faces the opposing surface of the adjacent electrode rods,
The array antenna type plasma CVD apparatus, wherein the movement restricting portion is provided so as to be retractable from an opposing surface of the electrode rod. 前記移動制限部は、前記電極棒の配列方向に交差する水平方向に退避可能に設けられたことを特徴とする請求項５記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置。   6. The array antenna type plasma CVD apparatus according to claim 5, wherein the movement restricting portion is provided so as to be retractable in a horizontal direction intersecting an arrangement direction of the electrode rods. 前記アンテナ保持部材は、
基台から鉛直方向上方に延伸するとともに、前記アレイアンテナユニットに支持される前記複数本の電極棒のうち両端に位置する電極棒よりも前記配列方向外側に位置する一対の支柱を備え、
前記調整部材は、前記一対の支柱に懸架して設けられるとともに、
前記支柱は、前記電極棒の配列方向に交差する水平方向に移動可能に設けられてなることを特徴とする請求項６記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置。 The antenna holding member is
A pair of pillars that extend vertically upward from the base and are positioned on the outer side in the arrangement direction than the electrode bars located at both ends of the plurality of electrode bars supported by the array antenna unit,
The adjustment member is provided suspended from the pair of support columns,
The array antenna type plasma CVD apparatus according to claim 6, wherein the support column is provided so as to be movable in a horizontal direction intersecting an arrangement direction of the electrode rods. 前記移動制限部は、電極棒の配列方向に回動中心軸を一致させて回動可能であることを特徴とする請求項５記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置。   6. The array antenna type plasma CVD apparatus according to claim 5, wherein the movement restricting portion is rotatable with the rotation center axis being aligned with the arrangement direction of the electrode rods. 前記アレイアンテナユニットは、
前記複数本の電極棒の配列方向に延在するとともに、前記複数本の電極棒を挿通可能なアンテナ支持孔が設けられたアンテナ支持部材を備え、
前記複数本の電極棒は、前記アンテナ支持孔によって前記電極棒の配列方向に交差する水平方向への移動および回転が制限されてなることを特徴とする請求項５〜８のいずれか１項に記載のアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置。 The array antenna unit is
An antenna support member that extends in the arrangement direction of the plurality of electrode rods and that is provided with an antenna support hole through which the plurality of electrode rods can be inserted,
9. The plurality of electrode bars, wherein movement and rotation in a horizontal direction intersecting an arrangement direction of the electrode bars are restricted by the antenna support holes. The array antenna type plasma CVD apparatus as described. 複数本の電極棒が互いに間隔を維持して配列した状態で一体的に支持されたアレイアンテナユニットをアンテナ搬送体に保持する工程と、
前記アンテナ搬送体に前記アレイアンテナユニットが保持された状態で、前記電極棒の配列方向への移動を制限する移動制限部を、隣り合う前記電極棒の対向面に臨ませる工程と、
前記電極棒の配列方向への移動が制限された前記アレイアンテナユニットを保持したアンテナ搬送体を真空チャンバ内に搬入する工程と、
前記真空チャンバ内に搬入された前記アレイアンテナユニットの前記電極棒それぞれが、高周波電源に電気的に接続された複数のコネクタに一括して接続されるように前記アレイアンテナユニットを前記真空チャンバ内に掛け止めする工程と、
前記真空チャンバ内に掛け止められた前記アレイアンテナユニットの前記電極棒の対向面に臨む位置から前記移動制限部を退避させる工程と、
前記移動制限部を前記電極棒の対向面に臨む位置から退避させた状態で前記アンテナ搬送体を前記真空チャンバ内から搬出する工程と、
を含むアレイアンテナ式プラズマＣＶＤ装置のアレイアンテナユニット取り付け方法。 A step of holding the array antenna unit integrally supported by the antenna carrier in a state where a plurality of electrode rods are arranged while maintaining a distance from each other;
With the array antenna unit held by the antenna carrier, a step of causing a movement restriction unit that restricts movement of the electrode rods in the arrangement direction to face the opposing surface of the adjacent electrode rods;
Carrying the antenna carrier holding the array antenna unit in which movement of the electrode rods in the arrangement direction is restricted into a vacuum chamber;
The array antenna unit is placed in the vacuum chamber so that each of the electrode rods of the array antenna unit carried into the vacuum chamber is collectively connected to a plurality of connectors electrically connected to a high-frequency power source. A latching process;
Retracting the movement restricting portion from a position facing the opposing surface of the electrode rod of the array antenna unit that is hooked in the vacuum chamber;
Carrying the antenna carrier out of the vacuum chamber in a state in which the movement restricting portion is retracted from a position facing the opposing surface of the electrode rod;
An array antenna unit mounting method for an array antenna type plasma CVD apparatus.
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