JP2012154742A5 - トールボット干渉計及び撮像方法 - Google Patents

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  1. 光源からの発散光を回折することで干渉パターンを形成する回折格子と、
    前記干渉パターンの一部を遮蔽する遮蔽格子と、
    前記遮蔽格子を経た光を検出する検出器と、
    前記回折格子及び前記遮蔽格子を移動させる移動手段と、を備え、
    前記移動手段は、前記回折格子と前記遮蔽格子が相対移動しないように前記回折格子及び前記遮蔽格子とを移動させることで、前記干渉パターンと前記遮蔽格子とを相対移動させ、
    前記検出器は、前記干渉パターンと前記遮蔽格子との相対移動に対応して、前記光を検出することを特徴とするトールボット干渉計
  2. 前記回折格子と前記遮蔽格子が一体的に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
  3. 前記移動手段は、前記回折格子を移動させる第1の移動手段と、前記遮蔽格子を移動させる第2の移動手段と、を有することを特徴とする請求項1に記載のトールボット干渉計
  4. 前記移動手段は、前記回折格子と前記遮蔽格子とを光軸に垂直な方向において同じ距離移動させることを特徴とする請求項1又は3に記載のトールボット干渉計。
  5. 前記移動手段は、前記回折格子と前記遮蔽格子とを、光軸上にあり、且つ、光源の焦点と一致しない点を中心とした円の円周上において同じ角度移動させることを特徴とする請求項1又は3に記載のトールボット干渉計。
  6. 前記移動手段は、前記干渉パターンの明部と暗部との配列方向に前記回折格子及び前記遮蔽格子を移動させることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載のトールボット干渉計
  7. 光源からの発散光を回折することで干渉パターンを形成する回折格子と、
    前記干渉パターンの一部を遮蔽する遮蔽格子と、
    前記遮蔽格子を経た光を検出する検出器と、を備えたトールボット干渉計を用いて被検体を撮像する方法であって、
    前記回折格子と前記遮蔽格子とが相対移動しないように前記回折格子及び前記遮蔽格子とが移動することで、前記干渉パターンと前記遮蔽格子が相対移動する工程と、
    前記干渉パターン及び前記遮蔽格子の相対移動に対応して、前記検出器が前記光を検出する工程と、を有することを特徴とする撮像方法。
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