JP2012154742A5 - トールボット干渉計及び撮像方法 - Google Patents
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- 光源からの発散光を回折することで干渉パターンを形成する回折格子と、
前記干渉パターンの一部を遮蔽する遮蔽格子と、
前記遮蔽格子を経た光を検出する検出器と、
前記回折格子及び前記遮蔽格子を移動させる移動手段と、を備え、
前記移動手段は、前記回折格子と前記遮蔽格子が相対移動しないように前記回折格子及び前記遮蔽格子とを移動させることで、前記干渉パターンと前記遮蔽格子とを相対移動させ、
前記検出器は、前記干渉パターンと前記遮蔽格子との相対移動に対応して、前記光を検出することを特徴とするトールボット干渉計。 - 前記回折格子と前記遮蔽格子が一体的に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記移動手段は、前記回折格子を移動させる第1の移動手段と、前記遮蔽格子を移動させる第2の移動手段と、を有することを特徴とする請求項1に記載のトールボット干渉計。
- 前記移動手段は、前記回折格子と前記遮蔽格子とを光軸に垂直な方向において同じ距離移動させることを特徴とする請求項1又は3に記載のトールボット干渉計。
- 前記移動手段は、前記回折格子と前記遮蔽格子とを、光軸上にあり、且つ、光源の焦点と一致しない点を中心とした円の円周上において同じ角度移動させることを特徴とする請求項1又は3に記載のトールボット干渉計。
- 前記移動手段は、前記干渉パターンの明部と暗部との配列方向に前記回折格子及び前記遮蔽格子を移動させることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のトールボット干渉計。
- 光源からの発散光を回折することで干渉パターンを形成する回折格子と、
前記干渉パターンの一部を遮蔽する遮蔽格子と、
前記遮蔽格子を経た光を検出する検出器と、を備えたトールボット干渉計を用いて被検体を撮像する方法であって、
前記回折格子と前記遮蔽格子とが相対移動しないように前記回折格子及び前記遮蔽格子とが移動することで、前記干渉パターンと前記遮蔽格子が相対移動する工程と、
前記干渉パターン及び前記遮蔽格子の相対移動に対応して、前記検出器が前記光を検出する工程と、を有することを特徴とする撮像方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011013256A JP5792961B2 (ja) | 2011-01-25 | 2011-01-25 | トールボット干渉計及び撮像方法 |
US13/354,121 US9123451B2 (en) | 2011-01-25 | 2012-01-19 | Imaging apparatus and imaging method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011013256A JP5792961B2 (ja) | 2011-01-25 | 2011-01-25 | トールボット干渉計及び撮像方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012154742A JP2012154742A (ja) | 2012-08-16 |
JP2012154742A5 true JP2012154742A5 (ja) | 2014-03-13 |
JP5792961B2 JP5792961B2 (ja) | 2015-10-14 |
Family
ID=46543987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011013256A Expired - Fee Related JP5792961B2 (ja) | 2011-01-25 | 2011-01-25 | トールボット干渉計及び撮像方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9123451B2 (ja) |
JP (1) | JP5792961B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9826949B2 (en) * | 2012-03-05 | 2017-11-28 | University Of Rochester | Methods and apparatus for differential phase-contrast cone-beam CT and hybrid cone-beam CT |
JP6116222B2 (ja) * | 2012-12-13 | 2017-04-19 | キヤノン株式会社 | 演算装置、プログラム及び撮像システム |
US9068927B2 (en) * | 2012-12-21 | 2015-06-30 | General Electric Company | Laboratory diffraction-based phase contrast imaging technique |
BR112017028283A2 (pt) * | 2015-06-30 | 2018-09-04 | Koninklijke Philips N.V. | aparelho de imageamento |
US10404908B2 (en) | 2015-07-13 | 2019-09-03 | Rambus Inc. | Optical systems and methods supporting diverse optical and computational functions |
WO2018104469A1 (en) * | 2016-12-09 | 2018-06-14 | Koninklijke Philips N.V. | Projection data acquisition apparatus and subject support device |
CN113405460B (zh) * | 2020-03-16 | 2023-04-14 | 晋城三赢精密电子有限公司 | 微位移测量装置 |
JPWO2023149113A1 (ja) * | 2022-02-03 | 2023-08-10 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4445397B2 (ja) | 2002-12-26 | 2010-04-07 | 敦 百生 | X線撮像装置および撮像方法 |
EP1731099A1 (en) * | 2005-06-06 | 2006-12-13 | Paul Scherrer Institut | Interferometer for quantitative phase contrast imaging and tomography with an incoherent polychromatic x-ray source |
US20100327175A1 (en) * | 2007-12-14 | 2010-12-30 | Yakov Nesterets | Phase-contrast imaging method and apparatus |
JP2010063646A (ja) * | 2008-09-11 | 2010-03-25 | Fujifilm Corp | 放射線位相画像撮影装置 |
CN102365052B (zh) * | 2009-03-27 | 2015-05-13 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 利用圆形光栅进行差分相衬成像 |
CN102365687B (zh) * | 2009-03-27 | 2015-08-19 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 消色差的相衬成像 |
JP2010253194A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Fujifilm Corp | 放射線位相画像撮影装置 |
US8848863B2 (en) * | 2009-12-10 | 2014-09-30 | Koninklijke Philips N.V. | Non-parallel grating arrangement with on-the-fly phase stepping, X-ray system |
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2011
- 2011-01-25 JP JP2011013256A patent/JP5792961B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2012
- 2012-01-19 US US13/354,121 patent/US9123451B2/en not_active Expired - Fee Related
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