JP2012153492A - Conveying device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To convey an object to a clean room in a different floor while keeping the object sterilized.SOLUTION: This conveying device for conveying an object (A) between clean rooms (C2, C3) in different floors is provided with a sterilization mechanism for supplying sterilization gas containing a sterilization component into a carriage (50) of the conveying device and a conveyance path (14).

Description

本発明は、薬品等の被搬送物を階の異なるフロアへ搬送する搬送装置に関する。   The present invention relates to a transport apparatus that transports an object to be transported such as medicines to different floors.

従来より、薬品等の被搬送物を階の異なるフロアへ搬送する搬送装置が知られている。このような搬送装置として、特許文献1には、製品(被搬送物)を載せるキャリッジと、キャリッジを上下に移動させるリフター(昇降機構)と、これらを囲む防火壁面(筒状壁部)と、を備える垂直搬送システム(搬送装置)が開示されている。この搬送装置の筒状壁部には、クリーンルームの空気を該筒状壁部の内部へ取り込むための空気取り入れ口が形成されている。これにより、筒状壁部内のクリーン度が維持される。   2. Description of the Related Art Conventionally, a transport device that transports an object to be transported, such as medicine, to a different floor. As such a transport device, Patent Document 1 discloses a carriage on which a product (conveyed object) is placed, a lifter (lifting mechanism) that moves the carriage up and down, a fire prevention wall surface (cylindrical wall portion) surrounding them, A vertical conveyance system (conveying apparatus) including the above is disclosed. An air inlet for taking in clean room air into the cylindrical wall is formed in the cylindrical wall of the transport device. Thereby, the cleanliness in a cylindrical wall part is maintained.

特開平7−14758号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-14758

ところで、前記搬送装置は、装置内のクリーン度を維持することについては配慮されているものの、装置内を除菌することについては特に配慮されていない。従って、前記搬送装置を用いて、除菌状態に保つ必要のある製品を搬送した場合、製品に悪影響を及ぼす虞が生じる。   By the way, although the said conveying apparatus considers maintaining the cleanliness in an apparatus, it does not consider especially about disinfecting the inside of an apparatus. Therefore, when a product that needs to be kept in a sterilized state is transported using the transport device, there is a risk of adversely affecting the product.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、被搬送物の除菌状態を保ちつつ該被搬送物を階の異なるクリーンルームへ搬送することである。   This invention is made | formed in view of this point, The objective is to convey this to-be-conveyed object to the clean room from which a floor differs, maintaining the sterilization state of a to-be-conveyed object.

第1の発明は、階の異なるクリーンルーム(C2,C3)間で被搬送物(A)を搬送するための搬送装置を対象とし、上方へ延びる搬送路(14)を内部に有する筒状に形成され、各階に対応する位置に壁部側開口部(15a,15a)が形成される筒状壁部(11)と、該壁部側開口部(15a)を開閉可能な壁部側扉(16)と、内部に被搬送物(A)が収容される箱状に形成され前記搬送路(14)に配置される本体部(51)と、該本体部(51)に形成される出入用開口部(51a)を開閉可能なキャリッジ側扉(52)とを有するキャリッジ(50)と、該キャリッジ(50)を前記搬送路(14)内で昇降させる昇降機構(30)と、前記キャリッジ(50)内及び前記搬送路(14)へ除菌成分を含む除菌ガスを供給するための除菌機構(20)と、を備えることを特徴とする。   The first invention is directed to a transport device for transporting a transported object (A) between clean rooms (C2, C3) of different floors, and is formed in a cylindrical shape having a transport path (14) extending upward. A cylindrical wall portion (11) in which a wall portion side opening (15a, 15a) is formed at a position corresponding to each floor, and a wall portion side door (16) capable of opening and closing the wall portion side opening (15a) ), A main body (51) formed in a box shape in which the object (A) to be conveyed is accommodated and disposed in the conveyance path (14), and an opening / closing opening formed in the main body (51) A carriage (50) having a carriage-side door (52) capable of opening and closing the section (51a), an elevating mechanism (30) for raising and lowering the carriage (50) in the conveyance path (14), and the carriage (50 ) And a sterilization mechanism (20) for supplying a sterilizing gas containing a sterilizing component to the conveyance path (14).

第1の発明では、クリーンルーム(C2,C3)の被搬送物(A)が、キャリッジ(50)内に移動される。被搬送物(A)を収容したキャリッジ(50)は、筒状壁部(11)の内部に形成された搬送路(14)内を、昇降機構(30)によって上昇又は下降され、異なる階のクリーンルーム(C2,C3)に到達する。そして、キャリッジ側扉(52)及び壁部側扉(16)が開けられ、被搬送物(A)が取り出される。このようにして、被搬送物(A)を異なる階のクリーンルーム(C2,C3)に搬送できる。   In the first invention, the conveyed object (A) in the clean room (C2, C3) is moved into the carriage (50). The carriage (50) containing the article (A) to be conveyed is raised or lowered by the elevating mechanism (30) in the conveyance path (14) formed inside the cylindrical wall portion (11), so that Reach the clean room (C2, C3). Then, the carriage side door (52) and the wall side door (16) are opened, and the conveyed object (A) is taken out. In this way, the transported object (A) can be transported to clean rooms (C2, C3) on different floors.

第1の発明では、除菌機構(20)によって、前記キャリッジ(50)及び搬送路(14)に除菌成分を含む除菌ガスが供給される。除菌ガスは、キャリッジ(50)及び搬送路(14)内の菌と反応して菌を分解する。   In the first invention, the sterilization gas containing the sterilization component is supplied to the carriage (50) and the conveyance path (14) by the sterilization mechanism (20). The disinfecting gas reacts with the bacteria in the carriage (50) and the conveyance path (14) to decompose the bacteria.

第2の発明は、第1の発明において、前記除菌機構は、前記除菌ガスとしての過酸化水素ガスを前記キャリッジ(50)内及び前記搬送路(14)へ供給するための過酸化水素供給部(20)であることを特徴とする。   According to a second aspect, in the first aspect, the sterilization mechanism is configured to supply hydrogen peroxide gas as the sterilization gas in the carriage (50) and the conveyance path (14). It is a supply part (20), It is characterized by the above-mentioned.

第2の発明では、キャリッジ(50)内及び搬送路(14)が、過酸化水素ガスによって除菌される。   In the second invention, the inside of the carriage (50) and the conveyance path (14) are sterilized with hydrogen peroxide gas.

第3の発明は、第1又は第2の発明において、流入端が前記搬送路(14)の排気口(11b)に接続され且つ流出端が前記搬送路(14)の給気口(11a)に接続される循環流路(26)を有し、前記搬送路(14)内の空気を循環させる空気循環機構(25)を備え、前記キャリッジ(50)の本体部(51)には、前記搬送路(14)のうち前記給気口(11a)と連通する空間に向かって開口する給気側開口部(51b)と、前記搬送路(14)のうち前記排気口(11b)と連通する空間に向かって開口する排気側開口部(51c)とが形成され、前記除菌機構(20)は、前記循環流路(26)へ前記除菌ガスを供給することを特徴とする。   According to a third aspect, in the first or second aspect, the inflow end is connected to the exhaust port (11b) of the transport path (14) and the outflow end is an air supply port (11a) of the transport path (14). A circulation passage (26) connected to the air passage, and an air circulation mechanism (25) for circulating the air in the conveyance passage (14). The main body (51) of the carriage (50) An air supply side opening (51b) that opens toward a space that communicates with the air supply port (11a) in the conveyance path (14), and a communication with the exhaust port (11b) in the conveyance path (14). An exhaust side opening (51c) that opens toward the space is formed, and the sterilization mechanism (20) supplies the sterilization gas to the circulation channel (26).

第3の発明では、除菌機構(20)からの除菌ガスが前記循環流路(26)へ供給される。この除菌ガスは、循環流路(26)を流れる空気とともに、給気口(11a)を通じて搬送路(14)へ流入する。この除菌ガス及び空気は、搬送路(14)を給気口(11a)側から排気口(11b)側へ向けて流れ、該排気口(11b)を通じて循環流路(26)へ戻される。また、搬送路(14)へ流入した除菌ガス及び空気は、キャリッジ(50)の本体部(51)に形成された給気側開口部(51b)を通じてキャリッジ(50)内に流入した後、排気側開口部(51c)を通じてキャリッジ(50)から流出して搬送路(14)へ流れる。このように搬送路(14)及びキャリッジ(50)内へ供給された除菌ガスは、該搬送路(14)及びキャリッジ(50)内に含まれる菌を分解して除菌する。   In the third invention, the sterilization gas from the sterilization mechanism (20) is supplied to the circulation flow path (26). The sterilizing gas flows into the transport path (14) through the air supply port (11a) together with the air flowing through the circulation channel (26). The sterilizing gas and air flow from the supply port (11a) toward the exhaust port (11b) through the transport path (14), and are returned to the circulation channel (26) through the exhaust port (11b). The sterilizing gas and air that flowed into the transport path (14) flow into the carriage (50) through the air supply side opening (51b) formed in the main body (51) of the carriage (50), It flows out of the carriage (50) through the exhaust opening (51c) and flows to the transport path (14). Thus, the sterilization gas supplied into the conveyance path (14) and the carriage (50) decomposes and disinfects bacteria contained in the conveyance path (14) and the carriage (50).

第4の発明は、第3の発明において、前記給気口(11a)は前記搬送路(14)の上部に形成され、前記排気口(11b)は前記搬送路(14)の下部に形成されていることを特徴とする
第4の発明では、搬送路(14)の上部に形成された給気口(11a)を通じて搬送路(14)へ流入した空気は、該搬送路(14)の下部に形成された排気口(11b)を通じて循環流路(26)へ流出する。これにより、空気は、搬送路(14)内を上から下へ向かって流れる。
In a fourth aspect based on the third aspect, the air supply port (11a) is formed in an upper portion of the transport path (14), and the exhaust port (11b) is formed in a lower portion of the transport path (14). In the fourth invention, air flowing into the conveyance path (14) through the air supply port (11a) formed in the upper part of the conveyance path (14) is transferred to the lower part of the conveyance path (14). It flows out to the circulation channel (26) through the exhaust port (11b) formed in the. Thereby, the air flows from the top to the bottom in the transport path (14).

第5の発明は、第1から第4の発明のうちいずれか1つにおいて、閉状態の前記壁部側扉(16)を前記壁部側開口部(15a)の周縁部に対して押圧する押圧機構(17)を備えることを特徴とする。   According to a fifth invention, in any one of the first to fourth inventions, the wall-side door (16) in a closed state is pressed against a peripheral edge of the wall-side opening (15a). A pressing mechanism (17) is provided.

第5の発明では、閉状態の壁部側扉(16)が壁部側開口部(15a)の周縁部に対して押圧されるため、壁部側扉(16)と筒状壁部(11)とがより密着する。   In the fifth invention, the wall-side door (16) in the closed state is pressed against the peripheral edge of the wall-side opening (15a), so the wall-side door (16) and the cylindrical wall (11 ) And more closely.

第6の発明は、第3又は第4の発明において、前記搬送路(14)の給気口(11a)を覆う給気側フィルタ(41)と、前記搬送路(14)の排気口(11b)を覆う排気側フィルタ(42)とを備えることを特徴とする。   According to a sixth invention, in the third or fourth invention, an air supply side filter (41) covering the air supply port (11a) of the transfer path (14) and an exhaust port (11b) of the transfer path (14) And an exhaust-side filter (42) covering the same.

第6の発明では、循環流路(26)から搬送路(14)へ流入する空気に含まれる塵埃は、給気側フィルタ(41)又は排気側フィルタ(42)によって捕捉される。   In 6th invention, the dust contained in the air which flows in into a conveyance path (14) from a circulation flow path (26) is capture | acquired by the supply side filter (41) or the exhaust side filter (42).

第7の発明は、第4又は第6の発明において、前記キャリッジ(50)は、前記本体部(51)の給気側開口部(51b)を覆うキャリッジ側フィルタ(54b)と、該キャリッジ側フィルタ(54b)を通じて搬送路(14)の空気を前記本体部(51)の内部へ取り入れるためのファン(54a)とを有するファンフィルタユニット(54)を備えることを特徴とする。   According to a seventh invention, in the fourth or sixth invention, the carriage (50) includes a carriage side filter (54b) that covers an air supply side opening (51b) of the main body (51), and the carriage side. A fan filter unit (54) having a fan (54a) for taking air in the conveyance path (14) through the filter (54b) into the main body (51) is provided.

第7の発明では、ファンフィルタユニット(54)のファン(54a)が駆動すると、搬送路(14)内の空気がキャリッジ(50)内に取り込まれる。このファン(54a)の回転速度を一定に保つことで、キャリッジ(50)内において、該キャリッジ(50)の昇降に関係なく概ね一定の速度で空気が供給される。これにより、キャリッジ(50)内における気流の乱れが抑制される。また、搬送路(14)の空気はキャリッジ側フィルタ(54b)を通じてキャリッジ(50)へ流入するため、キャリッジ(50)内の空気を搬送路(14)の空気よりも高い清浄度で保つことができる。   In the seventh invention, when the fan (54a) of the fan filter unit (54) is driven, the air in the transport path (14) is taken into the carriage (50). By keeping the rotational speed of the fan (54a) constant, air is supplied in the carriage (50) at a substantially constant speed regardless of the elevation of the carriage (50). Thereby, the turbulence of the airflow in the carriage (50) is suppressed. Further, since the air in the conveyance path (14) flows into the carriage (50) through the carriage-side filter (54b), the air in the carriage (50) can be kept at a higher degree of cleanliness than the air in the conveyance path (14). it can.

第8の発明は、第7の発明において、前記給気側開口部(51b)は、前記本体部(51)の上壁部に形成され、前記排気側開口部(51c)は、前記本体部(51)の底壁部に形成され、前記キャリッジ(50)は、前記本体部(51)の排気側開口部(51c)から所定の隙間をおいて該排気側開口部(51c)に対向するように配置され該排気側開口部(51c)との間に空気の流路(58a)を形成するプレート部(57)を備えることを特徴とする。   In an eighth aspect based on the seventh aspect, the air supply side opening (51b) is formed on an upper wall portion of the main body (51), and the exhaust side opening (51c) is formed on the main body. (51) is formed on the bottom wall portion, and the carriage (50) faces the exhaust side opening (51c) with a predetermined gap from the exhaust side opening (51c) of the main body (51). And a plate portion (57) that forms an air flow path (58a) between the exhaust side opening (51c) and the exhaust side opening (51c).

第8の発明では、搬送路(14)からの空気は、キャリッジ(50)内を上から下へ向かって流れる。また、キャリッジ(50)が昇降機構(30)によって下降する場合、下方からの空気はプレート部(57)に衝突して側方へ流れる。そして、この空気は、プレート部(57)と排気側開口部(51c)との間に形成される空気の流路(58a)を通じて、キャリッジ(50)内へ流入する。すなわち、下方からの空気は、プレート部(57)に衝突して減速した後にキャリッジ(50)内へ流入するため、該空気と、給気側開口部(51b)を通じてキャリッジ(50)内へ流入する空気との衝突による気流の乱れが抑制される。   In the eighth invention, the air from the conveyance path (14) flows from the top to the bottom in the carriage (50). When the carriage (50) is lowered by the elevating mechanism (30), the air from below collides with the plate portion (57) and flows to the side. The air flows into the carriage (50) through the air flow path (58a) formed between the plate portion (57) and the exhaust side opening (51c). That is, the air from below collides with the plate portion (57) and decelerates and then flows into the carriage (50). Therefore, the air flows into the carriage (50) through the air supply side opening (51b). The turbulence of the airflow due to the collision with the air is suppressed.

第9の発明は、第7又は第8の発明において、前記壁部側扉(16)及び前記キャリッジ側扉(52)が開放されると、外周面が前記壁部側開口部(15a)及び前記出入用開口部(51a)の内周面全体に亘って当接しながら挿通される筒壁(45a)と、該筒壁(45a)の内周面によって形成され、前記キャリッジ(50)内とクリーンルーム(C2,C3)とを連通させる連通路(45b)とを有する筒状部材(45)を備えることを特徴とする。   According to a ninth invention, in the seventh or eighth invention, when the wall side door (16) and the carriage side door (52) are opened, an outer peripheral surface is the wall side side opening (15a) and A cylindrical wall (45a) inserted through the entire inner peripheral surface of the opening / closing opening (51a), and an inner peripheral surface of the cylindrical wall (45a), and formed in the carriage (50) A cylindrical member (45) having a communication path (45b) communicating with the clean room (C2, C3) is provided.

被搬送物(A)の出し入れを行う際に、壁部側扉(16)及びキャリッジ側扉(52)が開放されると、搬送路(14)と、キャリッジ(50)内及びクリーンルーム(C2,C3)とが連通する。そうなると、比較的高い清浄度で保たれるキャリッジ(50)内及びクリーンルーム(C2,C3)に、やや清浄度の低い搬送路(14)の空気が流入してしまう。   When the wall-side door (16) and the carriage-side door (52) are opened during loading / unloading of the object (A), the transfer path (14), the carriage (50), and the clean room (C2, C3) communicates. In this case, air in the conveyance path (14) having a slightly low cleanliness flows into the carriage (50) and the clean rooms (C2, C3) that are maintained at a relatively high cleanliness.

これに対して、第9の発明では、壁部側扉(16)及びキャリッジ側扉(52)が開放されると、筒状部材(45)の筒壁(45a)の外周面が、壁部側開口部(15a)及び出入用開口部(51a)の内周面全体に亘って当接しながら挿通される。これにより、搬送路(14)とキャリッジ(50)内及びクリーンルーム(C2,C3)とを筒壁(45a)で遮断した状態で、キャリッジ(50)内とクリーンルーム(C2,C3)とが連通する。   On the other hand, in the ninth invention, when the wall side door (16) and the carriage side door (52) are opened, the outer peripheral surface of the cylindrical wall (45a) of the cylindrical member (45) becomes the wall portion. It is inserted through the entire inner peripheral surface of the side opening (15a) and the opening / closing opening (51a). As a result, the carriage (50) communicates with the clean room (C2, C3) in a state where the conveyance path (14), the carriage (50), and the clean room (C2, C3) are blocked by the cylindrical wall (45a). .

第10の発明は、第4の発明において、前記昇降機構(30)は、前記搬送路(14)の底部に配置され、前記キャリッジ(50)を駆動させる駆動機構(31)を備えることを特徴とする。   In a tenth aspect based on the fourth aspect, the elevating mechanism (30) includes a drive mechanism (31) disposed at the bottom of the transport path (14) and driving the carriage (50). And

第10の発明では、駆動機構(31)が駆動することにより該駆動機構(31)の摺動部から塵埃が発生した場合であっても、該駆動機構(31)は、搬送路(14)の底部(すなわち、搬送路(14)における空気の流れの下流側)に配置されているため、前記塵埃が舞い上がるのが抑制される。   In the tenth aspect of the invention, even when dust is generated from the sliding portion of the drive mechanism (31) by driving the drive mechanism (31), the drive mechanism (31) Is disposed at the bottom (ie, downstream of the air flow in the transport path (14)), so that the dust is suppressed from rising.

上記第1の発明によれば、キャリッジ(50)内及び搬送路(14)を除菌することができる。こうすると、被搬送物(A)の除菌状態を保ちつつ、該被搬送物(A)を階の異なるクリーンルーム(C2,C3)へ搬送することができる。   According to the first aspect, the inside of the carriage (50) and the conveyance path (14) can be sterilized. If it carries out like this, this to-be-conveyed object (A) can be conveyed to the clean room (C2, C3) from which a floor differs, maintaining the sterilization state of to-be-conveyed object (A).

また、上記第2の発明によれば、キャリッジ(50)内及び搬送路(14)を過酸化水素ガスで除菌できる。このように、過酸化水素を使用することで、比較的毒性の強いホルマリン等の他の除菌ガスを用いずに、比較的取り扱いの容易な過酸化水素でキャリッジ(50)及び搬送路(14)を除菌できる。   Moreover, according to the said 2nd invention, the inside of a carriage (50) and a conveyance path (14) can be disinfected with hydrogen peroxide gas. In this manner, by using hydrogen peroxide, the carriage (50) and the conveyance path (14) can be made with hydrogen peroxide that is relatively easy to handle without using other sterilizing gas such as formalin, which is relatively toxic. ) Can be sterilized.

また、上記第3の発明によれば、キャリッジ(50)内及び搬送路(14)を循環する空気とともに、除菌ガスを該キャリッジ(50)内及び搬送路(14)へ供給できる。こうすると、キャリッジ(50)内へ除菌ガスを供給するための流路を別途形成する必要がなくなるため、搬送機構の構造を簡素化できる。   Further, according to the third aspect of the invention, the sterilizing gas can be supplied to the carriage (50) and the conveyance path (14) together with the air circulating in the carriage (50) and the conveyance path (14). This eliminates the need to separately form a flow path for supplying the sterilizing gas into the carriage (50), thereby simplifying the structure of the transport mechanism.

また、上記第4の発明によれば、搬送路(14)内を上から下へ空気が流れるため、塵埃が搬送路(14)内で舞い上がって搬送路(14)内で拡散してしまうのを抑制できる。   According to the fourth aspect of the invention, since air flows from the top to the bottom in the transport path (14), dust rises in the transport path (14) and diffuses in the transport path (14). Can be suppressed.

また、上記第5の発明によれば、筒状壁部(11)と閉状態における壁部側扉(16)との密着性が向上するため、キャリッジ(50)内及び搬送路(14)を流れる除菌ガスがクリーンルーム(C2,C3)へ漏洩してしまうのを抑制できる。   Further, according to the fifth aspect of the present invention, since the adhesion between the cylindrical wall portion (11) and the wall side door (16) in the closed state is improved, the inside of the carriage (50) and the conveying path (14) The flowing sanitizing gas can be prevented from leaking into the clean room (C2, C3).

また、上記第6の発明によれば、搬送路(14)へ流入する空気を、給気側フィルタ(41)及び排気側フィルタ(42)によって清浄化できる。   Moreover, according to the said 6th invention, the air which flows in into a conveyance path (14) can be cleaned by the supply side filter (41) and the exhaust side filter (42).

また、上記第7の発明によれば、キャリッジ(50)内へ一定の速度で空気が流入するため、キャリッジ(50)内の気流の乱れが抑制される。その結果、塵埃が舞い上がることによる清浄度の低下を抑制できる。さらに、搬送路(14)の空気をキャリッジ側フィルタ(54b)を通じて取り込めるため、キャリッジ(50)内の清浄度を搬送路(14)の清浄度よりも高めることができる。   Further, according to the seventh aspect, air flows into the carriage (50) at a constant speed, so that the turbulence of the airflow in the carriage (50) is suppressed. As a result, it is possible to suppress a decrease in cleanliness due to dust rising. Furthermore, since the air in the conveyance path (14) can be taken in through the carriage-side filter (54b), the cleanliness in the carriage (50) can be higher than the cleanliness in the conveyance path (14).

また、上記第8の発明によれば、キャリッジ(50)内における空気の流れが安定化するため、キャリッジ(50)内の清浄度を維持できる。   According to the eighth aspect of the invention, the air flow in the carriage (50) is stabilized, so that the cleanliness in the carriage (50) can be maintained.

また、上記第9の発明によれば、被搬送物(A)をキャリッジ(50)内に出し入れする際に搬送路(14)をキャリッジ(50)内及びクリーンルーム(C2,C3)と遮断できるため、搬送路(14)の空気がキャリッジ(50)内及びクリーンルーム(C2,C3)に入り込むのを抑制できる。これにより、キャリッジ(50)内及びクリーンルーム(C2,C3)の清浄度を維持できる。   According to the ninth aspect of the invention, the transport path (14) can be cut off from the carriage (50) and the clean room (C2, C3) when the transported object (A) is taken in and out of the carriage (50). The air in the conveyance path (14) can be prevented from entering the carriage (50) and the clean rooms (C2, C3). Thereby, the cleanliness of the carriage (50) and the clean rooms (C2, C3) can be maintained.

また、上記第10の発明によれば、駆動機構(31)から発生した塵埃が搬送路(14)内で舞い上がるのを抑制できるため、搬送路(14)の清浄度を維持できる。   According to the tenth aspect of the invention, since dust generated from the drive mechanism (31) can be suppressed from rising in the transport path (14), the cleanliness of the transport path (14) can be maintained.

図1は、本実施形態に係るクリーンリフターの外形を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing the outer shape of the clean lifter according to the present embodiment. 図2は、クリーンリフターの内部構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an internal configuration of the clean lifter. 図3は、過酸化水素供給部の構成を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the hydrogen peroxide supply unit. 図4は、クリーンリフターにおけるキャリッジ周辺部分を示す図であって、キャリッジ側扉及び壁部側扉が閉じられている状態の図である。FIG. 4 is a view showing a carriage peripheral portion in the clean lifter, and is a view showing a state where the carriage side door and the wall side door are closed. 図5は、クリーンリフターにおけるキャリッジ周辺部分を示す図であって、キャリッジ側扉及び壁部側扉が開けられ且つ筒状部材がキャリッジ内へ挿通されている状態の図である。FIG. 5 is a diagram showing a carriage peripheral portion in the clean lifter, and shows a state where the carriage side door and the wall side door are opened and the tubular member is inserted into the carriage. 図6は、クリーンリフターにおけるキャリッジ周辺部分を示す図であって、スライドフォークによって製品がキャリッジへ収容された状態を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a carriage peripheral portion in the clean lifter, and is a diagram showing a state where a product is accommodated in the carriage by a slide fork.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The following embodiments are essentially preferable examples, and are not intended to limit the scope of the present invention, its application, or its use.

《発明の実施形態》
本実施形態に係るクリーンリフター(1)は、階の異なるクリーンルーム(C2,C3)間で被搬送物としての製品(A)を移動させるためのものである。本実施形態に係るクリーンリフター(1)では、製品(A)を、2階のクリーンルーム(C2)と3階のクリーンルーム(C3)との間で搬送できる。クリーンルーム(C2,C3)内は、HEPAフィルタ(High Efficiency Particulate Air フィルタ、図示省略)を通じて空気が循環されることにより、ISOクラス5程度の清浄度に保たれている。更に、クリーンルーム(C2,C3)内は、無菌状態での取扱が必要な薬品等を取り扱えるように、必要に応じて除菌が行われる。なお、ISOクラスとは、ISO(International Organization for Standardization、国際標準化機構)によって規定された、空気清浄度に関する規格である。
<< Embodiment of the Invention >>
The clean lifter (1) according to the present embodiment is for moving a product (A) as a transported object between clean rooms (C2, C3) having different floors. In the clean lifter (1) according to the present embodiment, the product (A) can be transported between the clean room (C2) on the second floor and the clean room (C3) on the third floor. In the clean room (C2, C3), the air is circulated through a HEPA filter (High Efficiency Particulate Air filter, not shown), thereby maintaining a cleanliness level of about ISO class 5. Furthermore, the clean room (C2, C3) is sterilized as necessary so that chemicals that need to be handled in a sterile condition can be handled. The ISO class is a standard related to air cleanliness defined by ISO (International Organization for Standardization).

クリーンリフター(1)は、2階のクリーンルーム(C2)と3階のクリーンルーム(C3)とに跨るように設置されている。クリーンリフター(1)は、図1及び図2に示すように、リフター本体(10)と、キャリッジ(50)とを備えている。   The clean lifter (1) is installed across the clean room (C2) on the second floor and the clean room (C3) on the third floor. The clean lifter (1) includes a lifter body (10) and a carriage (50) as shown in FIGS.

リフター本体(10)は、垂直方向に細長い筒状壁部(11)と、筒状壁部(11)内に形成される搬送路(14)内の空気を循環させるための空気循環機構(25)と、前記筒状壁部(11)内に配置され、キャリッジ(50)を昇降させるための昇降機構(30)とを備えている。   The lifter body (10) includes a cylindrical wall portion (11) elongated in the vertical direction and an air circulation mechanism (25 for circulating air in a conveyance path (14) formed in the cylindrical wall portion (11). ) And an elevating mechanism (30) disposed in the cylindrical wall (11) for elevating the carriage (50).

筒状壁部(11)は、ステンレスで構成された複数のフレームが縦方向に細長い直方体状に組まれた枠体(12)と、該枠体(12)に取り付けられる複数のパネル(13)とを備えている。該パネル(13)によって覆われた内部空間には、キャリッジ(50)の搬送路(14)が形成される。前記複数のパネルのうちの前側パネル(15)には、2階のクリーンルーム(C2)及び3階のクリーンルーム(C3)に向かって開口する四角い穴状の壁部側開口部(15a,15a)が形成される。また、筒状壁部(11)の天面には搬送路(14)の給気口(11a)が形成され、筒状壁部(11)の側面の下部には搬送路(14)の排気口(11b)が形成されている(図2参照)。   The cylindrical wall (11) includes a frame (12) in which a plurality of frames made of stainless steel are assembled in a rectangular shape elongated in the vertical direction, and a plurality of panels (13) attached to the frame (12) And. A transport path (14) of the carriage (50) is formed in the internal space covered by the panel (13). The front panel (15) of the plurality of panels has a square hole-like wall side opening (15a, 15a) that opens toward the clean room (C2) on the second floor and the clean room (C3) on the third floor. It is formed. In addition, an air supply port (11a) of the conveyance path (14) is formed on the top surface of the cylindrical wall portion (11), and an exhaust of the conveyance path (14) is formed at a lower portion of the side surface of the cylindrical wall portion (11). A mouth (11b) is formed (see FIG. 2).

空気循環機構(25)は、図2及び図3に示すように、循環流路(26)と、ファン(27)とを備えている。循環流路(26)の流出端は、給気口(11a)を覆う給気側HEPAフィルタ(41)を介して筒状壁部(11)の天面に取り付けられ、該循環流路(26)の流入端は、排気口(11b)を覆う排気側HEPAフィルタ(42)を介して筒状壁部(11)の側面の下部に取り付けられている。ファン(27)は、循環流路(26)に接続されている。ファン(27)は、循環流路(26)の流入端側から流出端側(図2及び図3の白抜き矢印方向)へ向かって空気を搬送するためのものである。   The air circulation mechanism (25) includes a circulation channel (26) and a fan (27), as shown in FIGS. The outflow end of the circulation channel (26) is attached to the top surface of the cylindrical wall (11) via an air supply side HEPA filter (41) that covers the air supply port (11a), and the circulation channel (26 ) Is attached to the lower portion of the side surface of the cylindrical wall portion (11) via an exhaust side HEPA filter (42) covering the exhaust port (11b). The fan (27) is connected to the circulation channel (26). The fan (27) is for conveying air from the inflow end side of the circulation channel (26) toward the outflow end side (in the direction of the white arrow in FIGS. 2 and 3).

昇降機構(30)は、搬送路(14)内でキャリッジ(50)を昇降させるためのものである。昇降機構(30)は、駆動機構としてのモータ(31)と、定滑車(32)と、該定滑車(32)に巻かけられた状態でモータ(31)とキャリッジ(50)を繋ぐチェーン(33)と、を備えている。   The elevating mechanism (30) is for elevating the carriage (50) in the transport path (14). The elevating mechanism (30) includes a motor (31) as a drive mechanism, a fixed pulley (32), and a chain that connects the motor (31) and the carriage (50) while being wound around the fixed pulley (32) ( 33).

モータ(31)は、搬送路(14)の底部に設置されている。モータ(31)は、インバータ回路(図示省略)によってインバータ駆動されることにより、所望の回転速度で、正逆の双方向に回転する。上述のようにモータ(31)を搬送路(14)の底部(すなわち搬送路(14)内における空気の流れの下流側)に配置することで、該モータ(31)の摺動部が擦れて塵埃が発生した場合であっても、該塵埃が搬送路(14)内で舞い上がるのを抑制できる。その結果、搬送路(14)の清浄度の悪化を抑制できる。   The motor (31) is installed at the bottom of the conveyance path (14). The motor (31) is driven by an inverter by an inverter circuit (not shown), so that it rotates in both forward and reverse directions at a desired rotational speed. As described above, the motor (31) is disposed at the bottom of the conveyance path (14) (that is, downstream of the air flow in the conveyance path (14)), so that the sliding portion of the motor (31) is rubbed. Even when dust is generated, it can be suppressed that the dust soars in the transport path (14). As a result, deterioration of the cleanliness of the conveyance path (14) can be suppressed.

定滑車(32)は、筒状壁部(11)の天面付近に配置され、筒状壁部(11)に取り付けられている。   The fixed pulley (32) is disposed near the top surface of the cylindrical wall portion (11) and is attached to the cylindrical wall portion (11).

チェーン(33)は、定滑車(32)に巻かけられた状態で、一端がモータ(31)に巻かけられる一方、他端がキャリッジ(50)の天面に取り付けられている。チェーン(33)は、ステンレス鋼によって構成されている。   The chain (33) is wound around the fixed pulley (32) and has one end wound around the motor (31) and the other end attached to the top surface of the carriage (50). The chain (33) is made of stainless steel.

リフター本体(10)は、壁部側扉(16)と、該壁部側扉(16)を開閉するためのスライド機構(図示省略)と、該壁部側扉(16)を前側パネル(15)側へ押圧する押圧機構(17)とを備えている。壁部側扉(16)は、各階(本実施形態の場合、2階と3階)に形成される壁部側開口部(15a)に対応して設けられている。壁部側扉(16)は、壁部側開口部(15a)よりもやや大きい四角い板状に形成され、壁部側開口部(15a)を内側から覆っている。壁部側扉(16)は、壁部側開口部(15a)に対して上下動可能なように前側パネル(15)に取り付けられていて、スライド機構によって上昇すると搬送路(14)とクリーンルーム(C2,C3)とが連通する一方、下降すると壁部側開口部(15a)が覆われることにより該壁部側開口部(15a)が閉じられる。   The lifter body (10) includes a wall side door (16), a slide mechanism (not shown) for opening and closing the wall side door (16), and the wall side door (16) as a front panel (15 ) Side pressing mechanism (17). The wall part side door (16) is provided corresponding to the wall part side opening part (15a) formed in each floor (in this embodiment, 2nd floor and 3rd floor). The wall side door (16) is formed in a square plate shape that is slightly larger than the wall side opening (15a) and covers the wall side opening (15a) from the inside. The wall side door (16) is attached to the front panel (15) so that it can move up and down with respect to the wall side opening (15a). While C2 and C3) communicate with each other, the wall side opening (15a) is closed by covering the wall side opening (15a) when lowered.

押圧機構(17)は、各壁部側扉(16,16)に対応して設けられ、各壁部側扉(16)の背面側に配置されている。押圧機構(17)は、例えばエアシリンダで構成される。押圧機構(17)は、シリンダ及びピストンを備えている。シリンダは、筒状壁部(11)の前側パネル(15)に対して固定されている。押圧機構(17)は、ピストンがシリンダから進出することにより壁部側扉(16)を前側パネル(15)へ向けて押圧する一方、ピストンがシリンダへ入り込むことにより、壁部側扉(16)への押圧を中止する。   The pressing mechanism (17) is provided corresponding to each wall side door (16, 16), and is disposed on the back side of each wall side door (16). The pressing mechanism (17) is constituted by an air cylinder, for example. The pressing mechanism (17) includes a cylinder and a piston. The cylinder is fixed to the front panel (15) of the cylindrical wall (11). The pressing mechanism (17) pushes the wall side door (16) toward the front panel (15) as the piston moves out of the cylinder, while the piston enters the cylinder to move the wall side door (16). Stop pressing on.

キャリッジ(50)は、筒状壁部(11)内の搬送路(14)に配置されている。キャリッジ(50)は、箱状に形成される本体部(51)と、キャリッジ側扉(52)と、キャリッジ側扉駆動機構(図示省略)とを備えている。キャリッジ(50)は、キャリッジ側扉(52)が前側パネル(15)に対向するように搬送路(14)に配置されている。本体部(51)の上壁部には、昇降機構(30)のチェーン(33)が取り付けられている。キャリッジ(50)は、搬送路(14)内でチェーン(33)に吊り下げられた状態で保持される。   The carriage (50) is disposed in the conveyance path (14) in the cylindrical wall portion (11). The carriage (50) includes a main body (51) formed in a box shape, a carriage side door (52), and a carriage side door drive mechanism (not shown). The carriage (50) is arranged in the transport path (14) so that the carriage side door (52) faces the front panel (15). The chain (33) of the lifting mechanism (30) is attached to the upper wall portion of the main body (51). The carriage (50) is held in a state suspended from the chain (33) in the conveyance path (14).

本体部(51)は、3つの開口部を有する箱状に形成されている。具体的には、本体部(51)の側壁には、製品(A)を出し入れするための出入用開口部(51a)が形成され、上壁部には、搬送路(14)からの空気を取り入れるための給気側開口部(51b)が形成され、底壁部には、本体部(51)内の空気を排出するための排気側開口部(51c)が形成されている。出入用開口部(51a)は、筒状壁部(11)の壁部側開口部(15a)と概ね同じ大きさの四角い穴状に形成されている。   The main body (51) is formed in a box shape having three openings. Specifically, an opening / closing opening (51a) for taking in / out the product (A) is formed on the side wall of the main body (51), and air from the conveyance path (14) is supplied to the upper wall. An air supply side opening (51b) for intake is formed, and an exhaust side opening (51c) for discharging air in the main body (51) is formed in the bottom wall. The entrance / exit opening (51a) is formed in the shape of a square hole having substantially the same size as the wall side opening (15a) of the cylindrical wall (11).

キャリッジ側扉(52)は、出入用開口部(51a)よりもやや大きい四角い板状に形成され、出入用開口部(51a)を外側から覆っている。キャリッジ側扉(52)は、本体部(51)に対して上下方向にスライド可能なように、該本体部(51)に取り付けられている。キャリッジ(50)の本体部(51)及びキャリッジ側扉(52)は、キャリッジ側扉(52)が閉じられた状態で両者(51,52)の間のクリアランスが狭くなるように形成されている。これにより、キャリッジ(50)の密閉性が向上する。   The carriage side door (52) is formed in a square plate shape slightly larger than the entrance / exit opening (51a), and covers the entrance / exit opening (51a) from the outside. The carriage side door (52) is attached to the main body (51) so as to be slidable in the vertical direction with respect to the main body (51). The main body (51) and the carriage side door (52) of the carriage (50) are formed so that the clearance between the two (51, 52) is narrowed with the carriage side door (52) closed. . Thereby, the sealing performance of the carriage (50) is improved.

キャリッジ側扉(52)は、キャリッジ側扉駆動部によって上下方向にスライドされる。キャリッジ側扉(52)が上方向へスライドされると、出入用開口部(51a)が開けられてキャリッジ(50)内と搬送路(14)とが連通する一方、キャリッジ側扉(52)が下方向へスライドされると、出入用開口部(51a)が閉じられる。   The carriage side door (52) is slid in the vertical direction by the carriage side door driving unit. When the carriage side door (52) is slid upward, the entrance / exit opening (51a) is opened and the carriage (50) communicates with the transport path (14), while the carriage side door (52) When sliding downward, the entrance / exit opening 51a is closed.

キャリッジ(50)は、ファンフィルタユニット(54)と、下部フィルタ(55)と、カバー部材(56)とを備えている。   The carriage (50) includes a fan filter unit (54), a lower filter (55), and a cover member (56).

ファンフィルタユニット(54)は、キャリッジ(50)の給気側開口部(51b)を覆うように、本体部(51)の上壁部に取り付けられている。ファンフィルタユニット(54)は、ファン(54a)と、キャリッジ側フィルタとしてのHEPAフィルタ(54b)と、整流板(54c)とを備えている。ファンフィルタユニット(54)のファン(54a)は、搬送路(14)内の空気をHEPAフィルタ(54b)を通じてキャリッジ(50)内へ取り込むためのものである。ファン(54a)は、比較的低速且つ一定速度で回転する。ファン(54a)によってキャリッジ(50)内に取り込まれた空気は、整流板(54c)によって整流される。これにより、キャリッジ(50)内には、上から下へ向かう、比較的低速の気流が生成される。この気流は、層流に近い状態となる。   The fan filter unit (54) is attached to the upper wall portion of the main body (51) so as to cover the air supply side opening (51b) of the carriage (50). The fan filter unit (54) includes a fan (54a), a HEPA filter (54b) as a carriage-side filter, and a rectifying plate (54c). The fan (54a) of the fan filter unit (54) is for taking the air in the conveyance path (14) into the carriage (50) through the HEPA filter (54b). The fan (54a) rotates at a relatively low speed and a constant speed. The air taken into the carriage (50) by the fan (54a) is rectified by the rectifying plate (54c). As a result, a relatively low-speed air flow is generated in the carriage (50) from the top to the bottom. This airflow is in a state close to laminar flow.

下部フィルタ(55)は、排気側開口部(51c)を覆うように、本体部(51)の底壁部に取り付けられている。   The lower filter (55) is attached to the bottom wall portion of the main body (51) so as to cover the exhaust side opening (51c).

カバー部材(56)は、本体部(51)の底壁部の下側に取り付けられている。カバー部材(56)は、図2に示すように、本体部(51)の排気側開口部(51c)から所定の隙間をおいて該排気側開口部(51c)に対向するように配置されるプレート部(57)と、該プレート部(57)に一体形成され、該プレート部(57)を底壁部に取り付けるための取付部(58)とを備えている。これにより、前記プレート部(57)と排気側開口部(51c)との間に隙間が形成される。この隙間が、空気の流路(58a)を形成する。   The cover member (56) is attached to the lower side of the bottom wall portion of the main body (51). As shown in FIG. 2, the cover member (56) is disposed so as to face the exhaust side opening (51c) with a predetermined gap from the exhaust side opening (51c) of the main body (51). A plate portion (57) and an attachment portion (58) which is integrally formed with the plate portion (57) and attaches the plate portion (57) to the bottom wall portion are provided. As a result, a gap is formed between the plate portion (57) and the exhaust side opening (51c). This gap forms an air flow path (58a).

リフター本体(10)は、筒状部材(45)と、該筒状部材(45)を駆動させる筒状部材駆動部(46)とを備えている。筒状部材(45)及び筒状部材駆動部(46)は、各階のクリーンルーム(C2,C3)の壁部側扉(16,16)に対応して配置される。   The lifter body (10) includes a tubular member (45) and a tubular member drive section (46) that drives the tubular member (45). The cylindrical member (45) and the cylindrical member driving section (46) are arranged corresponding to the wall side doors (16, 16) of the clean rooms (C2, C3) on each floor.

筒状部材(45)は、四角い筒状に形成される筒壁(45a)と、該筒壁(45a)の内周面によって形成される連通路(45b)とを備えている。筒状部材(45)の外周面は、キャリッジ(50)の出入用開口部(50a)の内周面、及び筒状壁部(11)の壁部側開口部(15a)の内周面よりも僅かに小さくなるように形成されている。筒状部材(45)は、壁部側開口部(15a)が壁部側扉(16)によって閉じられた状態において、外周面の一端側(図2における左側)が壁部側開口部(15a)の内周面に当接している。   The cylindrical member (45) includes a cylindrical wall (45a) formed in a square cylindrical shape and a communication path (45b) formed by the inner peripheral surface of the cylindrical wall (45a). The outer peripheral surface of the cylindrical member (45) is from the inner peripheral surface of the opening / closing opening (50a) of the carriage (50) and the inner peripheral surface of the wall side opening (15a) of the cylindrical wall (11). Is formed to be slightly smaller. The cylindrical member (45) has a wall-side opening (15a) on one end side (left side in FIG. 2) of the outer peripheral surface in a state where the wall-side opening (15a) is closed by the wall-side door (16). ).

筒状部材駆動部(46)は、筒状部材(45)を軸方向に移動させるための駆動機構である。筒状部材駆動部は、例えばエアシリンダで構成されている。筒状部材駆動部(46)は、シリンダ(46a)と、該シリンダ(46a)に対して往復動するピストン(46b)とを備えている。シリンダ(46a)は、詳しくは後述するスライドフォーク(60)に固定されている。筒状部材駆動部(46)は、ピストン(46b)がシリンダ(46a)から突出するように進出することにより筒状部材(45)をキャリッジ(50)内へ挿通させる一方、ピストン(46b)がシリンダ(46a)へ入り込むことにより、筒状部材(45)をクリーンルーム(C2,C3)側へ移動させる。   The tubular member drive section (46) is a drive mechanism for moving the tubular member (45) in the axial direction. The cylindrical member drive part is comprised with the air cylinder, for example. The cylindrical member drive section (46) includes a cylinder (46a) and a piston (46b) that reciprocates relative to the cylinder (46a). The cylinder (46a) is fixed to a slide fork (60) described later in detail. The cylindrical member drive section (46) allows the cylindrical member (45) to be inserted into the carriage (50) by advancing so that the piston (46b) protrudes from the cylinder (46a), while the piston (46b) By entering the cylinder (46a), the cylindrical member (45) is moved to the clean room (C2, C3) side.

製品(A)は、スライドフォーク(60)によってキャリッジ(50)内に出し入れされる。スライドフォーク(60)は、クリーンルーム(C2,C3)に設置される本体部(61)と、該本体部(61)によって支持されるベース(62)と、該ベース(62)に対して水平方向にスライド可能なスライドガイド(63)と、該スライドガイド(63)に対して水平方向にスライド可能な置き台(64)と、を備えている。本体部(61)には、前記筒状部材駆動部(46)のシリンダ(46a)が固定されている。スライドガイド(63)及び置き台(64)は、本体部(61)に収容されるモータ(図示省略)によって移動される。   The product (A) is put in and out of the carriage (50) by the slide fork (60). The slide fork (60) includes a main body (61) installed in the clean room (C2, C3), a base (62) supported by the main body (61), and a horizontal direction with respect to the base (62). The slide guide (63) is slidable to the slide guide (63), and the table (64) is slidable in the horizontal direction with respect to the slide guide (63). The cylinder (46a) of the cylindrical member driving unit (46) is fixed to the main body (61). The slide guide (63) and the cradle (64) are moved by a motor (not shown) housed in the main body (61).

−過酸化水素供給部−
クリーンリフター(1)は、過酸化水素供給部(20)を更に備えている。過酸化水素供給部(20)は、除菌成分を含む除菌ガスを搬送路(14)及びキャリッジ(50)内へ供給する除菌機構を構成している。過酸化水素供給部(20)は、図3に示すように、過酸化水素発生器(21)と、過酸化水素供給路(22)とを備えている。過酸化水素供給部(20)は、循環流路(26)と繋がっている。
-Hydrogen peroxide supply unit-
The clean lifter (1) further includes a hydrogen peroxide supply unit (20). The hydrogen peroxide supply unit (20) constitutes a sterilization mechanism for supplying a sterilization gas containing a sterilization component into the conveyance path (14) and the carriage (50). As shown in FIG. 3, the hydrogen peroxide supply unit (20) includes a hydrogen peroxide generator (21) and a hydrogen peroxide supply path (22). The hydrogen peroxide supply unit (20) is connected to the circulation channel (26).

過酸化水素発生器(21)は、過酸化水素水から過酸化水素ガスを生成するように構成されている。具体的には、この過酸化水素発生器(21)は、過酸化水素ガスを生成する生成部(21a)と、該生成部(21a)へ過酸化水素水を供給する供給部(21b)とを備えている。生成部(21a)は、供給部(21b)から滴下されて供給される過酸化水素水を熱により微細化して気化することにより、過酸化水素ガスを生成するように構成されている。供給部(21b)は、循環流路(26)やキャリッジ(50)内における過酸化水素ガスの濃度に応じて、生成部(21a)に供給する過酸化水素水を増減するように構成されている。なお、過酸化水素ガスの生成は、循環流路(26)やキャリッジ(50)内における過酸化水素ガスの濃度に関係なく、操作パネル(図示省略)等によって行うこともできる。   The hydrogen peroxide generator (21) is configured to generate hydrogen peroxide gas from hydrogen peroxide water. Specifically, the hydrogen peroxide generator (21) includes a generation unit (21a) that generates hydrogen peroxide gas, and a supply unit (21b) that supplies hydrogen peroxide water to the generation unit (21a). It has. The generation unit (21a) is configured to generate hydrogen peroxide gas by atomizing and evaporating the hydrogen peroxide solution dropped and supplied from the supply unit (21b) with heat. The supply unit (21b) is configured to increase or decrease the amount of hydrogen peroxide supplied to the generation unit (21a) according to the concentration of the hydrogen peroxide gas in the circulation channel (26) or the carriage (50). Yes. The generation of the hydrogen peroxide gas can also be performed by an operation panel (not shown) or the like regardless of the concentration of the hydrogen peroxide gas in the circulation channel (26) or the carriage (50).

過酸化水素供給路(22)は、過酸化水素発生器(21)で発生した過酸化水素ガスを、循環流路(26)へ供給するための供給路である。過酸化水素供給路(22)は、流入端が過酸化水素発生器(21)に繋がり、流出端が循環流路(26)に繋がっている。   The hydrogen peroxide supply channel (22) is a supply channel for supplying the hydrogen peroxide gas generated by the hydrogen peroxide generator (21) to the circulation channel (26). The hydrogen peroxide supply channel (22) has an inflow end connected to the hydrogen peroxide generator (21) and an outflow end connected to the circulation channel (26).

−運転動作−
《清浄動作》
循環流路(26)に接続されるファン(27)が駆動されると、循環流路(26)内の空気が、該循環流路(26)の始端側から終端側へ向かって(図2及び図3の白抜き矢印方向へ向かって)搬送される。この空気は、給気側HEPAフィルタ(41)を通じてリフター本体(10)の搬送路(14)へ流入する。この際、空気に含まれる塵埃は、給気側HEPAフィルタ(41)によって除去されるため、搬送路(14)へは清浄化された空気が流入する。このように清浄化された空気は、搬送路(14)内を下方へ流れた後、排気側HEPAフィルタ(42)を通じて循環流路(26)へ戻される。その結果、搬送路(14)には、該搬送路(14)の上部から下部へ向かう空気の流れが形成されるため、搬送路(14)内の塵埃が舞い上がって搬送路(14)内で浮遊するのを抑制できる。搬送路(14)内の空気の清浄度は、ISOクラス7程度に保たれる。
-Driving action-
<< Cleaning action >>
When the fan (27) connected to the circulation channel (26) is driven, the air in the circulation channel (26) moves from the start side to the end side of the circulation channel (26) (FIG. 2). And in the direction of the white arrow in FIG. This air flows into the conveying path (14) of the lifter body (10) through the air supply side HEPA filter (41). At this time, dust contained in the air is removed by the air supply side HEPA filter (41), and thus the purified air flows into the transport path (14). The air thus purified flows downward in the conveyance path (14), and then returns to the circulation path (26) through the exhaust side HEPA filter (42). As a result, since a flow of air from the upper part to the lower part of the conveyance path (14) is formed in the conveyance path (14), the dust in the conveyance path (14) rises in the conveyance path (14). Floating can be suppressed. The cleanliness of the air in the conveyance path (14) is maintained at about ISO class 7.

搬送路(14)を流れる空気は、比較的低速で回転するファン(54a)によって、キャリッジ(50)内に取り込まれる。これにより、キャリッジ(50)内には比較的低速の空気の流れが生成されるため、キャリッジ(50)内における気流の乱れによる清浄度の悪化を抑制できる。また、搬送路(14)の空気はファンフィルタユニット(54)のHEPAフィルタ(54b)を通じてキャリッジ(50)に流入する。これにより、キャリッジ(50)内は、搬送路(14)よりも高い清浄度で保たれる。具体的には、搬送路(14)内の清浄度が上述のようにISOクラス7程度に保たれているのに対し、キャリッジ(50)内の清浄度は、ISOクラス5程度に保たれている。   The air flowing through the conveyance path (14) is taken into the carriage (50) by the fan (54a) that rotates at a relatively low speed. Accordingly, since a relatively low-speed air flow is generated in the carriage (50), it is possible to suppress deterioration in cleanliness due to turbulence of the airflow in the carriage (50). The air in the transport path (14) flows into the carriage (50) through the HEPA filter (54b) of the fan filter unit (54). Thereby, the inside of the carriage (50) is kept at a higher degree of cleanliness than the conveyance path (14). Specifically, the cleanliness in the transport path (14) is maintained at about ISO class 7 as described above, whereas the cleanliness in the carriage (50) is maintained at about ISO class 5. Yes.

なお、キャリッジ(50)が昇降機構(30)によって下降する場合などは、キャリッジ(50)の底壁部に形成された排気側開口部(51c)からキャリッジ(50)内へ空気が流入する。しかし、この空気は、カバー部材(56)のプレート部(57)に衝突した後に側方へ流れ、空気の流路(58a)を通じてキャリッジ(50)内へ流入する。すなわち、この空気は、プレート部(57)に衝突して減速した後にキャリッジ(50)内へ流入するため、該空気と、ファンフィルタユニット(54)のファン(54a)によって取り入れられる上方からの空気との衝突による乱気流が抑制される。従って、キャリッジ(50)内の空気の流れが安定化する。   When the carriage (50) is lowered by the elevating mechanism (30), air flows into the carriage (50) from the exhaust side opening (51c) formed in the bottom wall of the carriage (50). However, the air flows sideways after colliding with the plate portion (57) of the cover member (56), and flows into the carriage (50) through the air flow path (58a). That is, since this air collides with the plate portion (57) and decelerates and then flows into the carriage (50), the air and the air from above are taken in by the fan (54a) of the fan filter unit (54). The turbulence caused by the collision is suppressed. Therefore, the air flow in the carriage (50) is stabilized.

《除菌動作》
過酸化水素発生器(21)が起動されると、過酸化水素水が、過酸化水素発生器(21)の供給部(21b)から生成部(21a)へ滴下される。滴下された過酸化水素水は、生成部(21a)で発生する熱風により微細化されて気化される。このように生成された過酸化水素ガスは、過酸化水素供給路(22)を通じて循環流路(26)へ流入する。このように循環流路(26)に供給された過酸化水素ガスは、循環流路(26)、搬送路(14)及びキャリッジ(50)内を流れる空気とともに、これら(13,26,50)の内部を流れる。そして、過酸化水素ガスは、空気中に含まれる菌と反応して菌を分解する。これにより、循環流路(26)、搬送路(14)及びキャリッジ(50)内が除菌される。
《Disinfection operation》
When the hydrogen peroxide generator (21) is activated, hydrogen peroxide water is dropped from the supply unit (21b) of the hydrogen peroxide generator (21) to the generation unit (21a). The dropped hydrogen peroxide solution is vaporized by being refined by hot air generated in the generation part (21a). The hydrogen peroxide gas thus generated flows into the circulation channel (26) through the hydrogen peroxide supply channel (22). The hydrogen peroxide gas supplied to the circulation flow path (26) as well as the air flowing in the circulation flow path (26), the conveyance path (14) and the carriage (50) (13, 26, 50) Flowing inside. The hydrogen peroxide gas reacts with the bacteria contained in the air to decompose the bacteria. Thereby, the inside of a circulation channel (26), a conveyance path (14), and a carriage (50) is disinfected.

《搬送動作》
クリーンリフター(1)における搬送動作について、2階のクリーンルーム(C2)の製品(A)を3階のクリーンルーム(C3)へ搬送する場合を例として、図2及び図4から図6を用いて説明する。
<Transfer operation>
The transport operation in the clean lifter (1) will be described with reference to FIGS. 2 and 4 to 6 as an example of transporting the product (A) in the clean room (C2) on the second floor to the clean room (C3) on the third floor. To do.

クリーンリフター(1)は、停止状態においては、壁部側扉(16)及びキャリッジ側扉(52)が閉じられた状態となっている(図4参照)。このとき、壁部側扉(16)は、押圧機構(17)によって前側パネル(15)側へ押圧されている。これにより、壁部側扉(16)が筒状壁部(11)に対してより密着するため、搬送路(14)を流れる過酸化水素ガスがクリーンルーム(C2,C3)へ漏洩するのを防止できる。   When the clean lifter (1) is stopped, the wall side door (16) and the carriage side door (52) are closed (see FIG. 4). At this time, the wall side door (16) is pressed toward the front panel (15) by the pressing mechanism (17). As a result, the wall-side door (16) is more closely attached to the cylindrical wall (11), preventing hydrogen peroxide gas flowing through the transfer path (14) from leaking into the clean room (C2, C3). it can.

キャリッジ側扉(52)及び2階のクリーンルーム(C2)の壁部側扉(16)は、キャリッジ(50)が2階に位置する状態で開かれる。具体的には、壁部側扉(16)は、押圧機構(17)による押圧が中止されて上下方向にスライド可能となった状態で、スライド機構によって上方へスライドされる。これと同時に、キャリッジ側扉(52)がキャリッジ側扉駆動機構によって上方へスライドされる。これにより、壁部側扉(16)及びキャリッジ側扉(52)が開けられる。   The carriage side door (52) and the wall side door (16) of the clean room (C2) on the second floor are opened with the carriage (50) positioned on the second floor. Specifically, the wall side door (16) is slid upward by the slide mechanism in a state where the pressing by the pressing mechanism (17) is stopped and the wall side door (16) is slidable in the vertical direction. At the same time, the carriage side door (52) is slid upward by the carriage side door drive mechanism. Thereby, the wall side door (16) and the carriage side door (52) are opened.

壁部側扉(16)及びキャリッジ側扉(52)が開けられると、高い清浄度に保たれるキャリッジ(50)内及びクリーンルーム(C2)内に、やや清浄度の低い搬送路(14)内の空気が流入してしまう。これに対して、本実施形態では、壁部側扉(16)及びキャリッジ側扉(52)が開けられると、筒状部材駆動部(46)のピストン(46b)がシリンダ(46a)から突出するように進出する。これにより、筒状部材(45)の筒壁(45a)の外周が壁部側開口部(15a)及び出入用開口部(51a)の内周面全体に亘って当接しながら、該壁部側開口部(15a)及び出入用開口部(51a)に挿通される(図5参照)。このように筒状部材(45)がキャリッジ(50)内へ挿通された状態では、キャリッジ(50)内及びクリーンルーム(C2)は、搬送路(14)に曝されることなく、連通路(45b)を介して互いに連通する。これにより、搬送路(14)と比べて清浄度の高いキャリッジ(50)内及びクリーンルーム(C2)を、やや清浄度の低い搬送路(14)から遮断しつつ互いに連通させることができる。   When the wall side door (16) and the carriage side door (52) are opened, inside the carriage (50) and clean room (C2), which are kept at a high level of cleanliness, inside the transport path (14), which is slightly less clean Air will flow in. On the other hand, in this embodiment, when the wall side door (16) and the carriage side door (52) are opened, the piston (46b) of the cylindrical member drive unit (46) protrudes from the cylinder (46a). To advance. As a result, the outer periphery of the cylindrical wall (45a) of the cylindrical member (45) is in contact with the entire inner peripheral surface of the wall side opening (15a) and the entrance / exit opening (51a), while the wall side It is inserted through the opening (15a) and the opening / closing opening (51a) (see FIG. 5). Thus, in the state where the cylindrical member (45) is inserted into the carriage (50), the inside of the carriage (50) and the clean room (C2) are not exposed to the transport path (14), and the communication path (45b ) To communicate with each other. Thereby, the carriage (50) and the clean room (C2) having a higher cleanliness than the transport path (14) can be communicated with each other while being blocked from the transport path (14) having a slightly lower cleanliness.

その後、スライドフォーク(60)によって製品(A)がキャリッジ(50)内へ収容される。具体的には、製品(A)が置き台(64)に載置されている状態で、スライドガイド(63)及び置き台(64)が、キャリッジ(50)側に向かってスライドする。これにより、製品(A)がキャリッジ(50)内に収容される(図6参照)。このとき製品(A)は、やや清浄度の低い搬送路(14)に曝されることなく、クリーンルーム(C2)からキャリッジ(50)内へ移送される。   Thereafter, the product (A) is accommodated in the carriage (50) by the slide fork (60). Specifically, the slide guide (63) and the cradle (64) slide toward the carriage (50) while the product (A) is placed on the cradle (64). Thereby, the product (A) is accommodated in the carriage (50) (see FIG. 6). At this time, the product (A) is transferred from the clean room (C2) into the carriage (50) without being exposed to the transport path (14) having a slightly low cleanliness.

キャリッジ(50)内に製品(A)が収容されると、スライドガイド(63)及び置き台(64)は本体部(61)側へ戻される。その後、筒状部材(45)がクリーンルーム(C2,C3)側へ移動され、壁部側扉(16)及びキャリッジ側扉(52)が閉じられる。壁部側扉(16)は、再び押圧機構(17)によって前側パネル(15)側へ押圧される。   When the product (A) is accommodated in the carriage (50), the slide guide (63) and the table (64) are returned to the main body (61) side. Thereafter, the cylindrical member (45) is moved to the clean room (C2, C3) side, and the wall side door (16) and the carriage side door (52) are closed. The wall side door (16) is again pressed toward the front panel (15) by the pressing mechanism (17).

その後、キャリッジ(50)は、3階のクリーンルーム(C3)へ向けて移送される。具体的には、昇降機構(30)のモータ(31)が回転してチェーン(33)が巻き上げられることにより、3階まで上昇する。それから、キャリッジ側扉(52)及び3階のクリーンルーム(C3)の壁部側扉(16)が開かれ、筒状部材(45)が壁部側開口部(15a)及び出入用開口部(51a)に挿通される。このようにしてキャリッジ(50)内を搬送路(14)と遮断した状態で、キャリッジ(50)内の製品(A)がスライドフォーク(60)によって取り出される。これにより、製品(A)が3階へ搬送される。   Thereafter, the carriage (50) is transferred toward the clean room (C3) on the third floor. Specifically, when the motor (31) of the elevating mechanism (30) rotates and the chain (33) is wound up, the elevator goes up to the third floor. Then, the carriage side door (52) and the wall side door (16) of the clean room (C3) on the third floor are opened, and the cylindrical member (45) is opened to the wall side side opening (15a) and the entrance / exit opening (51a ). In this way, the product (A) in the carriage (50) is taken out by the slide fork (60) in a state where the inside of the carriage (50) is blocked from the conveyance path (14). Thereby, a product (A) is conveyed to the 3rd floor.

上述のように、製品(A)は、内部が除菌されたキャリッジ(50)によって2階から3階へ搬送される。従って、製品の除菌状態を保ちつつ、異なる階のクリーンルームへ搬送できる。しかも、製品(A)は、クリーンルーム(C2,C3)やキャリッジ(50)内と比べてやや清浄度の低い搬送路(14)に曝されずに搬送されるため、製品(A)を高い清浄度で保つことができる。   As described above, the product (A) is conveyed from the second floor to the third floor by the carriage (50) whose inside is sterilized. Therefore, it can convey to the clean room of a different floor, maintaining the sterilization state of a product. Moreover, the product (A) is transported without being exposed to the transport path (14), which is slightly less clean than in the clean room (C2, C3) or carriage (50), so the product (A) is highly clean. Can be kept in degrees.

−実施形態の効果−
以上のように、本実施形態に係るクリーンリフター(1)では、過酸化水素ガスでキャリッジ(50)内及び該キャリッジ(50)の搬送路(14)を除菌している。これにより、製品(A)の除菌状態を保ちつつ、該製品(A)を階の異なるクリーンルーム(C2,C3)間で搬送できる。また、本実施形態では、除菌ガスとして過酸化水素ガスを用いている。これにより、比較的毒性の強いホルマリンガス等を使用する必要がなくなり、比較的取扱の容易な過酸化水素を用いてキャリッジ(50)内及び搬送路(14)を除菌できる。
-Effect of the embodiment-
As described above, in the clean lifter (1) according to the present embodiment, the inside of the carriage (50) and the conveyance path (14) of the carriage (50) are sterilized with hydrogen peroxide gas. Thereby, the product (A) can be transported between clean rooms (C2, C3) on different floors while maintaining the sterilized state of the product (A). In this embodiment, hydrogen peroxide gas is used as the sterilization gas. Thereby, it is not necessary to use a relatively toxic formalin gas or the like, and the carriage (50) and the conveyance path (14) can be sterilized using hydrogen peroxide which is relatively easy to handle.

また、本実施形態では、閉状態における壁部側扉(16)が壁部側開口部(15a)の周縁部に対して押圧されるため、搬送路(14)内の過酸化水素ガスがクリーンルーム(C2,C3)へ漏洩するのを防止できる。   Moreover, in this embodiment, since the wall part side door (16) in a closed state is pressed with respect to the peripheral part of a wall part side opening part (15a), the hydrogen peroxide gas in a conveyance path (14) is a clean room. Can prevent leakage to (C2, C3).

また、本実施形態では、搬送路(14)内の空気は上から下へ向かって流れるため、塵埃や菌が搬送路(14)内で舞い上がるのを抑制できる。その結果、搬送路(14)内の清浄度を維持できる。しかも、キャリッジ(50)を昇降させるためのモータ(31)を、搬送路(14)を流れる空気の下流側である、搬送路(14)の底部に配置したため、モータ(31)から発生する塵埃が舞い上がるのを抑制できる。   Moreover, in this embodiment, since the air in a conveyance path (14) flows toward the bottom from the top, it can suppress that dust and microbes soar in a conveyance path (14). As a result, the cleanliness in the conveyance path (14) can be maintained. Moreover, since the motor (31) for raising and lowering the carriage (50) is arranged at the bottom of the conveyance path (14), which is downstream of the air flowing through the conveyance path (14), dust generated from the motor (31) Can be suppressed.

また、本実施形態では、製品(A)をキャリッジ(50)内に出し入れする際、筒状部材(45)によって、比較的清浄度の高いキャリッジ(50)内及びクリーンルーム(C2,C3)と、やや清浄度の低い搬送路(14)とを遮断できるため、製品(A)を高い清浄度で維持できる。   Further, in the present embodiment, when the product (A) is taken in and out of the carriage (50), the tubular member (45) causes the carriage (50) having a relatively high cleanliness and the clean room (C2, C3), The product (A) can be maintained with a high degree of cleanliness because it can be blocked from the transport path (14) with a slightly low cleanness.

また、本実施形態では、キャリッジ(50)の排気側開口部(51c)と所定の距離を置いて、該キャリッジ(50)の排気側開口部(51c)に対向するようにプレート部(57)を配置したため、下方からの空気は、プレート部(57)に衝突して減速した後、キャリッジ(50)内に流入する。これにより、キャリッジ(50)内における上側から流れる空気と下側から流れる空気との衝突による気流の乱れを抑制でき、キャリッジ(50)内における空気の流れを安定化できる。その結果、キャリッジ(50)内の清浄度が維持される。   In the present embodiment, the plate portion (57) is disposed so as to face the exhaust side opening (51c) of the carriage (50) at a predetermined distance from the exhaust side opening (51c) of the carriage (50). Therefore, the air from below collides with the plate portion (57) and decelerates, and then flows into the carriage (50). Thereby, the turbulence of the airflow caused by the collision between the air flowing from the upper side and the air flowing from the lower side in the carriage (50) can be suppressed, and the air flow in the carriage (50) can be stabilized. As a result, the cleanliness in the carriage (50) is maintained.

−その他の実施形態−
上記実施形態では、除菌ガスとして過酸化水素ガスを用いているが、この限りでなく、例えばホルマリンガス等、その他の除菌ガスを用いることもできる。
-Other embodiments-
In the above embodiment, the hydrogen peroxide gas is used as the sterilization gas, but is not limited thereto, and other sterilization gases such as formalin gas may be used.

以上説明したように、本発明は、除菌状態での保持が必要な薬品等の製品を、階の異なるクリーンルームへ搬送するクリーンリフターに特に有用である。   As described above, the present invention is particularly useful for a clean lifter that transports products such as chemicals that need to be kept in a sterilized state to clean rooms on different floors.

11 筒状壁部
11a 給気口
11b 排気口
14 搬送路
15a 壁部側開口部
16 壁部側扉
19 押圧機構
20 過酸化水素供給部(除菌機構)
25 空気循環機構
26 循環流路
30 昇降機構
31 モータ(駆動機構)
41 給気側HEPAフィルタ(給気側フィルタ)
42 排気側HEPAフィルタ(排気側フィルタ)
45 筒状部材
50 キャリッジ
51a 出入用開口部
51b 給気側開口部
51c 排気側開口部
51 本体部
52 キャリッジ側扉
54 ファンフィルタユニット
54a ファン
54b HEPAフィルタ(キャリッジ側フィルタ)
57 プレート部
58a 空気の流路
A 製品(被搬送物)
C2,C3 クリーンルーム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Cylindrical wall part 11a Air supply port 11b Exhaust port 14 Conveyance path 15a Wall part side opening part 16 Wall part side door 19 Press mechanism 20 Hydrogen peroxide supply part (sanitization mechanism)
25 Air circulation mechanism 26 Circulation flow path 30 Lifting mechanism 31 Motor (drive mechanism)
41 Air supply side HEPA filter (Air supply side filter)
42 Exhaust side HEPA filter (Exhaust side filter)
45 Cylindrical member 50 Carriage 51a Entrance / exit opening 51b Air supply opening 51c Exhaust opening 51 Main body 52 Carriage door 54 Fan filter unit 54a Fan 54b HEPA filter (carriage filter)
57 Plate part 58a Air flow path A Product (conveyed object)
C2, C3 clean room

Claims (10)

階の異なるクリーンルーム(C2,C3)間で被搬送物(A)を搬送するための搬送装置であって、
上方へ延びる搬送路(14)を内部に有する筒状に形成され、各階に対応する位置に壁部側開口部(15a,15a)が形成される筒状壁部(11)と、
前記壁部側開口部(15a)を開閉可能な壁部側扉(16)と、
内部に被搬送物(A)が収容される箱状に形成され前記搬送路(14)に配置される本体部(51)と、該本体部(51)に形成される出入用開口部(51a)を開閉可能なキャリッジ側扉(52)とを有するキャリッジ(50)と、
前記キャリッジ(50)を前記搬送路(14)内で昇降させる昇降機構(30)と、
前記キャリッジ(50)内及び前記搬送路(14)へ除菌成分を含む除菌ガスを供給するための除菌機構(20)と、を備えることを特徴とする搬送装置。
A transport device for transporting a transported object (A) between clean rooms (C2, C3) on different floors,
A cylindrical wall portion (11) formed in a cylindrical shape having a conveyance path (14) extending upward, and having a wall side opening (15a, 15a) formed at a position corresponding to each floor;
A wall side door (16) capable of opening and closing the wall side opening (15a);
A body part (51) formed in a box shape in which the object (A) to be transported is accommodated and disposed in the transport path (14), and an opening / closing part (51a) formed in the body part (51) A carriage (50) having a carriage side door (52) that can be opened and closed;
An elevating mechanism (30) for elevating the carriage (50) in the conveying path (14);
A sterilization mechanism (20) for supplying a sterilization gas containing a sterilization component to the carriage (50) and the conveyance path (14).
請求項1において、
前記除菌機構は、前記除菌ガスとしての過酸化水素ガスを前記キャリッジ(50)内及び前記搬送路(14)へ供給するための過酸化水素供給部(20)であることを特徴とする搬送装置。
In claim 1,
The sterilization mechanism is a hydrogen peroxide supply unit (20) for supplying hydrogen peroxide gas as the sterilization gas into the carriage (50) and the conveyance path (14). Conveying device.
請求項1又は2において、
流入端が前記搬送路(14)の排気口(11b)に接続され且つ流出端が前記搬送路(14)の給気口(11a)に接続される循環流路(26)を有し、前記搬送路(14)内の空気を循環させる空気循環機構(25)を備え、
前記キャリッジ(50)の本体部(51)には、前記搬送路(14)のうち前記給気口(11a)と連通する空間に向かって開口する給気側開口部(51b)と、前記搬送路(14)のうち前記排気口(11b)と連通する空間に向かって開口する排気側開口部(51c)とが形成され、
前記除菌機構(20)は、前記循環流路(26)へ前記除菌ガスを供給することを特徴とする搬送装置。
In claim 1 or 2,
A circulation channel (26) having an inflow end connected to an exhaust port (11b) of the transfer path (14) and an outflow end connected to an air supply port (11a) of the transfer path (14); Provided with an air circulation mechanism (25) that circulates the air in the transport path (14),
The main body (51) of the carriage (50) includes an air supply side opening (51b) that opens toward a space communicating with the air supply port (11a) in the transport path (14), and the transport An exhaust side opening (51c) that opens toward a space communicating with the exhaust port (11b) in the path (14) is formed;
The disinfection mechanism (20) supplies the disinfecting gas to the circulation channel (26).
請求項3において、
前記給気口(11a)は前記搬送路(14)の上部に形成され、前記排気口(11b)は前記搬送路(14)の下部に形成されていることを特徴とする搬送装置。
In claim 3,
The air supply port (11a) is formed in the upper part of the transport path (14), and the exhaust port (11b) is formed in the lower part of the transport path (14).
請求項1から4のうちいずれか1つにおいて、
閉状態の前記壁部側扉(16)を前記壁部側開口部(15a)の周縁部に対して押圧する押圧機構(17)を備えることを特徴とする搬送装置。
In any one of claims 1 to 4,
A transport device comprising a pressing mechanism (17) for pressing the wall-side door (16) in the closed state against a peripheral edge of the wall-side opening (15a).
請求項3又は4において、
前記搬送路(14)の給気口(11a)を覆う給気側フィルタ(41)と、前記搬送路(14)の排気口(11b)を覆う排気側フィルタ(42)とを備えることを特徴とする搬送装置。
In claim 3 or 4,
An air supply side filter (41) covering the air supply port (11a) of the transport path (14) and an exhaust side filter (42) covering the exhaust port (11b) of the transport path (14) are provided. A transport device.
請求項4又は6において、
前記キャリッジ(50)は、前記本体部(51)の給気側開口部(51b)を覆うキャリッジ側フィルタ(54b)と、該キャリッジ側フィルタ(54b)を通じて搬送路(14)の空気を前記本体部(51)の内部へ取り入れるためのファン(54a)とを有するファンフィルタユニット(54)を備えることを特徴とする搬送装置。
In claim 4 or 6,
The carriage (50) includes a carriage-side filter (54b) that covers an air supply side opening (51b) of the main body (51), and air in the conveyance path (14) through the carriage-side filter (54b). A transport device comprising a fan filter unit (54) having a fan (54a) for taking in the inside of the section (51).
請求項7において、
前記給気側開口部(51b)は、前記本体部(51)の上壁部に形成され、前記排気側開口部(51c)は、前記本体部(51)の底壁部に形成され、
前記キャリッジ(50)は、前記本体部(51)の排気側開口部(51c)から所定の隙間をおいて該排気側開口部(51c)に対向するように配置され該排気側開口部(51c)との間に空気の流路(58a)を形成するプレート部(57)を備えることを特徴とする搬送装置。
In claim 7,
The air supply side opening (51b) is formed in the upper wall of the main body (51), and the exhaust side opening (51c) is formed in the bottom wall of the main body (51).
The carriage (50) is disposed so as to face the exhaust side opening (51c) with a predetermined gap from the exhaust side opening (51c) of the main body (51), and the exhaust side opening (51c). And a plate portion (57) that forms an air flow path (58a) between them.
請求項7又は8において、
前記壁部側扉(16)及び前記キャリッジ側扉(52)が開放されると、外周が前記壁部側開口部(15a)及び前記出入用開口部(51a)の内周面全体に亘って当接しながら挿通される筒壁(45a)と、該筒壁(45a)の内周面によって形成され、前記キャリッジ(50)内とクリーンルーム(C2,C3)とを連通させる連通路(45b)とを有する筒状部材(45)を備えることを特徴とする搬送装置。
In claim 7 or 8,
When the wall-side door (16) and the carriage-side door (52) are opened, the outer periphery extends over the entire inner peripheral surface of the wall-side opening (15a) and the entrance / exit opening (51a). A cylindrical wall (45a) that is inserted while abutting, and a communication path (45b) that is formed by the inner peripheral surface of the cylindrical wall (45a) and communicates the inside of the carriage (50) with the clean room (C2, C3); A conveying device comprising a cylindrical member (45) having
請求項4において、
前記昇降機構(30)は、前記搬送路(14)の底部に配置され、前記キャリッジ(50)を駆動させる駆動機構(31)を備えることを特徴とする搬送装置。
In claim 4,
The transporting device, wherein the elevating mechanism (30) includes a drive mechanism (31) that is disposed at the bottom of the transport path (14) and drives the carriage (50).
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