JP2008172089A - Lifter device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、クリーンルーム等に設置されるリフタ装置に関し、特に、リフタ装置全体の寸法を小さくして省スペース化を図るとともに、機械エリアのフィルタを不要として保守、メンテナンス部品を減らすことができるリフタ装置に関するものである。 The present invention relates to a lifter device installed in a clean room or the like, and in particular, a lifter device capable of reducing the overall size of the lifter device to save space, eliminating the need for a filter in the machine area, and reducing maintenance and maintenance parts. It is about.
近年、液晶ガラス基板や半導体ウエハが大形化するに伴って、無人搬送台車や製造装置が設置されるクリーンルームの面積が大きくなり、このため、工場の建屋を複数階建て以上とする場合がある。
この場合、液晶ガラス基板や半導体ウエハを収容したカセットを、各階間で搬送するために、複数階の間を昇降するリフタ装置を設けるようにしている。
In recent years, as liquid crystal glass substrates and semiconductor wafers have become larger in size, the area of a clean room where unmanned transfer carts and manufacturing equipment are installed has increased. For this reason, there are cases where the factory building has multiple floors or more. .
In this case, in order to transport the cassette containing the liquid crystal glass substrate and the semiconductor wafer between the floors, a lifter device that moves up and down between the plurality of floors is provided.
リフタ装置は、図2に示すように、上部にファンフィルタユニット(FFU)1を備えたダウンフローのクリーンブース2と、該クリーンブース2を通過した空気をファンフィルタユニット1の上流側に戻すリターンダクト3とを備え、前記クリーンブース2に、搬送物を載置して昇降する昇降体4と、該昇降体4を昇降可能に支持する昇降マスト5と、該昇降マスト5を介して昇降体4を昇降させる駆動装置6とを配設している。
そして、昇降体が昇降するリフタエリア7から、昇降マスト及び駆動装置を設置した機械エリア8を切り分けるように区画し、リフタエリア7にダウンフローを導入するようにしている。
As shown in FIG. 2, the lifter device includes a downflow
Then, the
すなわち、上記従来のリフタ装置では、昇降マスト5に摺動部があるため、昇降マスト5や駆動装置6の機械エリア8を有底のカバー83で覆い、カバー83の排気部にファンフィルタユニット(FFU)1aを付けてリフタエリア7をクリーンに保っているが、カバー83を周囲から独立して形成しているため、排気部にフィルタが必要になるとともに、カバー83とリターンダクト3の隔壁が別々に必要になり、そのためのスペースSを要するという問題があった。
That is, in the conventional lifter device, since the
本発明は、上記従来のリフタ装置が有する問題点に鑑み、リフタ装置全体の寸法を小さくして省スペース化を図るとともに、機械エリアのフィルタを不要として保守、メンテナンス部品を減らすことができるリフタ装置を提供することを目的とする。 In view of the problems of the above conventional lifter device, the present invention reduces the overall size of the lifter device to save space, eliminates the need for a filter in the machine area, and reduces maintenance and maintenance parts. The purpose is to provide.
上記目的を達成するため、本発明のリフタ装置は、上部にフィルタを備えたダウンフローのクリーンブースと、該クリーンブースを通過した空気をフィルタの上流側に戻すリターンダクトとを備え、前記クリーンブースに、搬送物を載置して昇降する昇降体と、該昇降体を昇降可能に支持する昇降マストと、該昇降マストを介して昇降体を昇降させる駆動装置とを配設するとともに、昇降体が昇降するリフタエリアから、昇降マスト及び駆動装置を設置した機械エリアを区画し、リフタエリアにダウンフローを導入するようにしたリフタ装置において、リターンダクトの隔壁で機械エリアの一部を区画形成するとともに、該隔壁に、機械エリアを通過した空気をリターンダクトに排出する開口部を設けたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a lifter device according to the present invention comprises a downflow clean booth equipped with a filter in the upper part, and a return duct for returning the air that has passed through the clean booth to the upstream side of the filter. In addition, an elevating body that places the transported object and moves up and down, an elevating mast that supports the elevating body so as to be movable up and down, and a drive device that elevates and lowers the elevating body through the elevating mast are disposed. In the lifter device in which the lift mast and the drive device are installed from the lifter area where the elevator moves up and down, and the downflow is introduced into the lifter area, a part of the machine area is formed by partitioning the return duct. In addition, the partition is provided with an opening for discharging the air that has passed through the machine area to the return duct.
本発明のリフタ装置によれば、上部にフィルタを備えたダウンフローのクリーンブースと、該クリーンブースを通過した空気をフィルタの上流側に戻すリターンダクトとを備え、前記クリーンブースに、搬送物を載置して昇降する昇降体と、該昇降体を昇降可能に支持する昇降マストと、該昇降マストを介して昇降体を昇降させる駆動装置とを配設するとともに、昇降体が昇降するリフタエリアから、昇降マスト及び駆動装置を設置した機械エリアを区画し、リフタエリアにダウンフローを導入するようにしたリフタ装置において、リターンダクトの隔壁で機械エリアの一部を区画形成するとともに、該隔壁に、機械エリアを通過した空気をリターンダクトに排出する開口部を設けることから、機械エリアの隔壁の一部を省略し、空調も含めたリフタ装置全体の寸法を小さくして省スペース化を図るとともに、機械エリアを通過した空気をリターンダクトに直接排気することにより、機械エリアにファンフィルタユニットを設けなくてもリフタエリアをクリーンに保つことができ、これにより、低コスト化を図り、かつフィルタを不要として保守、メンテナンス部品を減らすことができる。 According to the lifter device of the present invention, it is provided with a downflow clean booth provided with a filter in the upper part, and a return duct for returning the air that has passed through the clean booth to the upstream side of the filter. A lifting / lowering body that is mounted and lifted / lowered, a lifting / lowering mast that supports the lifting / lowering body so that the lifting / lowering body can be lifted / lowered, and a drive device that lifts / lowers the lifting / lowering body via the lifting / lowering mast are disposed. In the lifter device in which the machine area where the lifting mast and the driving device are installed is partitioned and the downflow is introduced into the lifter area, a part of the machine area is partitioned by the partition wall of the return duct, and the partition wall Since an opening is provided to discharge the air that has passed through the machine area to the return duct, a part of the partition in the machine area is omitted, and air conditioning is included. The overall size of the lifter device is reduced to save space, and the air that has passed through the machine area is exhausted directly to the return duct to keep the lifter area clean even without a fan filter unit in the machine area. As a result, the cost can be reduced and a filter is not required, so that maintenance and maintenance parts can be reduced.
以下、本発明のリフタ装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of a lifter device of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1に、本発明のリフタ装置の一実施例を示す。
このリフタ装置は、上部にファンフィルタユニット1を備えたダウンフローのクリーンブース2と、該クリーンブース2を通過した空気をファンフィルタユニット1の上流側に戻すリターンダクト3とを備え、前記クリーンブース2に、搬送物を載置して昇降する昇降体4と、該昇降体4を昇降可能に支持する昇降マスト5と、該昇降マスト5を介して昇降体4を昇降させる駆動装置6とを配設するとともに、昇降体4が昇降するリフタエリア7から、昇降マスト5及び駆動装置6を設置した機械エリア8を区画し、リフタエリア7にダウンフローを導入するようにしている。
そして、このリフタ装置は、リターンダクト3の隔壁9で機械エリア8の一部を区画形成するとともに、該隔壁9に、機械エリア8を通過した空気をリターンダクト3に排出する開口部10を設けている。
FIG. 1 shows an embodiment of the lifter device of the present invention.
This lifter device comprises a downflow
The lifter device forms a part of the
クリーンブース2は、外壁により外部から区画されるとともに、上部に配設した複数のファンフィルタユニット1により清浄空気のダウンフローを発生させる。
発生したダウンフローは、クリーンブース2の底部から、後方に設置されたリターンダクト3を通って、ファンフィルタユニット1の上流側へと循環する。
The
The generated downflow circulates from the bottom of the
クリーンブース2には、搬送物を昇降する昇降体4と、該昇降体4をバランスウェイト41とともに昇降可能に支持する昇降マスト5と、該昇降マスト5を介して昇降体4を昇降させる駆動装置6とが配設されている。
このうち、昇降マスト5には摺動部があり、パーティクルが発生するため、この昇降マスト5及び駆動装置6を設置した機械エリア8をリフタエリア7から切り分けるように区画し、リフタエリア7にダウンフローを導入するようにしている。
The
Of these, the
機械エリア8は、上部が開口する有底のカバー82によって区画されており、後部隔壁81がリターンダクト3の隔壁9の一部と兼用して形成されている。
後部隔壁81には、リフタエリア7からカバー82の隙間を通って機械エリア8に流入した空気をリターンダクト3に排出する複数の開口部10が上下に間隔をあけて設けられている。
開口部10は、本実施例では、下の位置ほど大きく開口することによって、流量をコントロールしているが、ファンやガラリを取り付けることによって流量調整することもできる。
昇降マスト5で発生するパーティクルは、この後部隔壁81の開口部10から直接リターンダクト3に排出され、リフタエリア7を通過した空気とともに、クリーンブース2上部のファンフィルタユニット1によって濾過される。
パーティクルが濾過された空気は、清浄空気のダウンフローとしてリフタエリア7に供給される。
The
The
In the present embodiment, the flow rate is controlled by opening the opening 10 so as to be lower in the lower position, but the flow rate can also be adjusted by attaching a fan or a louver.
Particles generated in the
The air from which the particles are filtered is supplied to the
かくして、本実施例のリフタ装置は、上部にファンフィルタユニット1を備えたダウンフローのクリーンブース2と、該クリーンブース2を通過した空気をファンフィルタユニット1の上流側に戻すリターンダクト3とを備え、前記クリーンブース2に、搬送物を載置して昇降する昇降体4と、該昇降体4を昇降可能に支持する昇降マスト5と、該昇降マスト5を介して昇降体4を昇降させる駆動装置6とを配設するとともに、昇降体4が昇降するリフタエリア7から、昇降マスト5及び駆動装置6を設置した機械エリア8を区画し、リフタエリア7にダウンフローを導入するようにしたリフタ装置において、リターンダクト3の隔壁9で機械エリア8の一部を区画形成するとともに、該隔壁9に、機械エリア8を通過した空気をリターンダクト3に排出する開口部10を設けることから、機械エリア8の隔壁の一部を省略し、空調も含めたリフタ装置全体の寸法を小さくして省スペース化を図るとともに、機械エリア8を通過した空気をリターンダクト3に直接排気することにより、機械エリア8にファンフィルタユニットを設けなくてもリフタエリア7をクリーンに保つことができ、これにより、低コスト化を図り、かつフィルタを不要として保守、メンテナンス部品を減らすことができる。
Thus, the lifter device of the present embodiment includes a downflow
以上、本発明のリフタ装置について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、実施例に記載した構成を適宜組み合わせるなど、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。 As mentioned above, although the lifter device of the present invention has been described based on the embodiments thereof, the present invention is not limited to the configurations described in the above embodiments, and the purpose thereof is, for example, appropriately combining the configurations described in the embodiments. The configuration can be changed as appropriate without departing from the scope of the invention.
本発明のリフタ装置は、リフタ装置全体の寸法を小さくして省スペース化を図るとともに、機械エリアのフィルタを不要として保守、メンテナンス部品を減らすことができるという特性を有していることから、例えば、クリーンルーム等に設置されるリフタ装置の用途に広く好適に用いることができる。 The lifter device of the present invention has the characteristics that the overall size of the lifter device is reduced to save space, and the filter of the machine area is not required, and maintenance and maintenance parts can be reduced. It can be used widely and suitably for lifter devices installed in clean rooms and the like.
1 ファンフィルタユニット
2 クリーンブース
3 リターンダクト
4 昇降体
41 バランスウェイト
5 昇降マスト
6 駆動装置
7 リフタエリア
8 機械エリア
81 後部隔壁
82 カバー
9 隔壁
10 開口部
DESCRIPTION OF
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007004851A JP2008172089A (en) | 2007-01-12 | 2007-01-12 | Lifter device |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007004851A JP2008172089A (en) | 2007-01-12 | 2007-01-12 | Lifter device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
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JP2007004851A Pending JP2008172089A (en) | 2007-01-12 | 2007-01-12 | Lifter device |
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JP (1) | JP2008172089A (en) |
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- 2007-01-12 JP JP2007004851A patent/JP2008172089A/en active Pending
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