JP2012141473A - エタロンフィルタ、エタロンフィルタを用いた周波数校正システム、周波数校正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイヤモンド基板等の光及びテラヘルツ帯で透過性を有する2枚の基板にスペーサーを接合することで2枚の基板の間に空隙を設けたエタロンフィルタを構成する。このエタロンフィルタに光源からの光を透過させて光の自由スペクトル間隔を測定し、また、テラヘルツ波をエタロンフィルタに照射することで、テラヘルツ波の自由スペクトル間隔を測定する。光を透過したときの自由スペクトル間隔と、テラヘルツ波を透過したときの自由スペクトル間隔を比較することで、テラヘルツ波の周波数を制御する。
【選択図】図1
Description
2 基板
3 基板
4 スペーサー
5 反射防止膜
6 反射防止膜
7 反射膜
8 反射膜
9 光およびテラヘルツ波の入射方向
Claims (11)
- 光及びテラヘルツ帯で透過性を有する2枚の基板にスペーサーを接合することで前記2枚の基板の間に空隙を設けた、エタロンフィルタ。
- 前記基板のスペーサーを挟んで対向した2面に反射膜を、それぞれの基板の他方の面に反射防止膜を成膜することを特徴とする請求項1記載のエタロンフィルタ。
- 前記基板は、ダイヤモンド基板であることを特徴とする請求項1又は2記載のエタロンフィルタ。
- 前記基板は、Tsurupica(登録商標)基板であることを特徴とする請求項1又は2記載のエタロンフィルタ。
- 前記スペーサーは、ピエゾ素子で形成されることを特徴とする請求項1〜4記載のエタロンフィルタ。
- 光及びテラヘルツ帯で透過性を有する2枚の基板にスペーサーを接合することで前記2枚の基板の間に空隙を設けたエタロンフィルタで光源からの光を透過し、
前記エタロンフィルタを透過した光を検出器で検出し、
自由スペクトル間隔測定器で検出した光の自由スペクトル間隔を測定し、
テラヘルツ波を前記エタロンフィルタに照射し、テラヘルツ時間領域分光装置で自由スペクトル間隔を測定し、
テラヘルツ波周波数比較装置で光を透過したときの自由スペクトル間隔と、テラヘルツ波を透過したときの自由スペクトル間隔を比較し、テラヘルツ波の周波数を校正する、
周波数校正方法。 - 前記光源は、周波数校正済みの可変光源であることを特徴とする請求項6記載の周波数校正方法。
- 前記光源は、広帯域光源であって、前記検出器は所定の周波数を分光する分光器であることを特徴とする請求項6記載の周波数校正方法。
- 光源と、
光及びテラヘルツ帯で透過性を有する2枚の基板を前記反射膜が成膜された面が互いに対向し、前記反射膜の面それぞれにスペーサーを接合することで前記2枚の基板の間に空隙を設けたエタロンフィルタと、
前記光源から前記エタロンフィルタに入射し透過した光を検出する検出器と、
検出した光の自由スペクトル間隔を測定する自由スペクトル間隔測定器と、
テラヘルツ波を前記エタロンフィルタに照射し、自由スペクトル間隔を測定するテラヘルツ時間領域分光装置と、
光を透過したときの自由スペクトル間隔と、テラヘルツ波を透過したときの自由スペクトル間隔を比較し、テラヘルツ波の周波数を校正するテラヘルツ波周波数比較装置と、
を有する周波数校正システム。 - 前記光源は、周波数校正済みの可変光源であることを特徴とする請求項9記載の周波数校正システム。
- 前記光源は、広帯域光源であって、前記検出器は所定の周波数を分光する分光器であることを特徴とする請求項9記載の周波数校正システム。
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