JP2012141293A - Electromagnetic noise distribution detector - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an electromagnetic noise distribution detector capable of acquiring approximate distribution when a test signal of frequency equal to electromagnetic noise generated in a device is injected.SOLUTION: A signal generator 1 outputs a signal of frequency slightly shifted from frequency of electromagnetic noise generated in a sample device 100, and injects the signal into the sample device 100 by an injection probe 3. A detection probe 4 scans on the sample device 100 by a moving part 7, detects electromagnetic field distribution of the sample device 100, and measures distribution of electromagnetic field strength by an electromagnetic field strength meter 6. Noise distribution detection means 11 detects the distribution of the electromagnetic field strength measured by the electromagnetic field strength meter 6 as approximate distribution of the electromagnetic noise generated in the sample device 100.

Description

本発明は、電子機器に電磁ノイズとしての試験信号を与え、誤動作や性能劣化を測定評価するイミュニティ試験等で、供試機器のどの部分を電磁ノイズが伝搬しているかを検出する電磁ノイズ分布検出装置に関する。   The present invention provides an electromagnetic noise distribution detection that detects which part of the EUT propagates in an immunity test that gives a test signal as electromagnetic noise to an electronic device and measures and evaluates malfunction and performance degradation. Relates to the device.

一般に、電子機器に電磁ノイズを注入し、誤動作を評価するイミュニティ試験装置では、例えば、ISO11452−4記載のバルク電流注入(BCI)法によるイミュニティ試験の場合、被測定物の接続ケーブルに電磁ノイズを電流プローブで注入し、被測定物の性能劣化や誤動作を評価する試験がある。しかし、この試験では、被測定物に注入した電磁ノイズとしての試験信号の筐体内部での伝搬経路が特定できないため、適切なノイズ対策を見つけられないことが問題である。   In general, in an immunity test apparatus that injects electromagnetic noise into an electronic device and evaluates malfunction, for example, in the case of an immunity test by the bulk current injection (BCI) method described in ISO11452-4, electromagnetic noise is applied to the connection cable of the object to be measured. There is a test that uses a current probe to evaluate the performance degradation and malfunction of the device under test. However, in this test, the propagation path inside the casing of the test signal as electromagnetic noise injected into the object to be measured cannot be specified, and therefore it is a problem that an appropriate noise countermeasure cannot be found.

このような問題に対して、従来では、ノイズ印加用プローブとして、静電気放電プローブを利用し、プリント基板をスキャンしながら電磁ノイズを局所的に放電し、基板上の誤動作分布を画像表示し、放電範囲やプローブの大小の切替によって、誤動作箇所の絞込みをする方法があった(例えば、特許文献1参照)。   To deal with such problems, conventionally, an electrostatic discharge probe is used as a noise application probe, and electromagnetic noise is locally discharged while scanning the printed circuit board. There has been a method of narrowing down malfunctions by switching the range and the size of the probe (see, for example, Patent Document 1).

特開平10−319071号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-319071

しかしながら、上記従来の方法では、ノイズに弱い部分の分布を示すだけで、外部より注入されたノイズの伝搬経路を示すものではない。また、静電気放電プローブを用いるため、特定の周波数成分のレベルを制御できないことや、再現性に問題があった。さらに、ノイズとして注入する試験信号と機器内部の信号とを分離する手段を具備していないため、機器内部の信号と同じ周波数の試験信号をノイズとして注入した場合に、機器内部の信号と注入ノイズとを分離できないという問題があった。   However, the above-described conventional method only shows the distribution of a portion vulnerable to noise, and does not indicate the propagation path of noise injected from the outside. In addition, since an electrostatic discharge probe is used, the level of a specific frequency component cannot be controlled and there is a problem in reproducibility. Furthermore, since there is no means for separating the test signal injected as noise from the signal inside the device, when a test signal having the same frequency as the signal inside the device is injected as noise, the signal inside the device and the injection noise There was a problem that could not be separated.

この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、機器内で発生する電磁ノイズと注入した信号を周波数で分離し、機器内で発生する電磁ノイズと同じ周波数の試験信号を注入した場合の近似的な分布を得ることのできる電磁ノイズ分布検出装置を得ることを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and separates the electromagnetic noise generated in the device from the injected signal by frequency, and injects a test signal having the same frequency as the electromagnetic noise generated in the device. An object of the present invention is to obtain an electromagnetic noise distribution detection device capable of obtaining an approximate distribution in the case of the above.

この発明に係る電磁ノイズ分布検出装置は、供試機器に対して信号を注入する信号注入手段と、供試機器上の電磁界強度を検出する電磁界強度検出手段と、電磁界強度検出手段の供試機器上の検出位置を移動させる走査手段と、信号注入手段に対して、供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数から僅かにずらした周波数の信号を出力するよう指示し、電磁界強度検出手段で検出された電磁界強度の分布を、供試機器内で発生する電磁ノイズの近似的な分布として検出するノイズ分布検出手段とを備えたものである。   An electromagnetic noise distribution detection apparatus according to the present invention includes a signal injection unit that injects a signal into a test device, an electromagnetic field strength detection unit that detects an electromagnetic field strength on the test device, and an electromagnetic field strength detection unit. Instruct the scanning means to move the detection position on the EUT and the signal injection means to output a signal with a frequency slightly shifted from the frequency of the electromagnetic noise generated in the EUT. Noise distribution detecting means for detecting the electromagnetic field intensity distribution detected by the detecting means as an approximate distribution of electromagnetic noise generated in the EUT.

この発明の電磁ノイズ分布検出装置は、供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数から僅かにずらした周波数の信号を供試機器に注入し、検出された電磁界強度の分布を、供試機器内で発生する電磁ノイズの近似的な分布として検出するようにしたので、機器内で発生する電磁ノイズと注入した信号を周波数で分離し、機器内で発生する電磁ノイズと同じ周波数の試験信号を注入した場合の近似的な分布を得ることができる。   The electromagnetic noise distribution detection apparatus of the present invention injects a signal having a frequency slightly shifted from the frequency of electromagnetic noise generated in the test equipment into the test equipment, and the distribution of the detected electromagnetic field intensity is measured. Because it is detected as an approximate distribution of the electromagnetic noise generated in the device, the electromagnetic noise generated in the device and the injected signal are separated by frequency, and a test signal having the same frequency as the electromagnetic noise generated in the device is separated. An approximate distribution when injected can be obtained.

この発明の実施の形態1による電磁ノイズ分布検出装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the electromagnetic noise distribution detection apparatus by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による電磁ノイズ分布検出装置における試験信号と供試機器内で発生する電磁ノイズとの関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the test signal in the electromagnetic noise distribution detection apparatus by Embodiment 1 of this invention, and the electromagnetic noise which generate | occur | produces in a test equipment. この発明の実施の形態1による電磁ノイズ分布検出装置における検出した電磁界分布から供試機器内で発生する電磁ノイズの電磁界分布を近似するイメージを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the image which approximates the electromagnetic field distribution of the electromagnetic noise which generate | occur | produces in a test equipment from the detected electromagnetic field distribution in the electromagnetic noise distribution detection apparatus by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態2による電磁ノイズ分布検出装置における試験信号と供試機器内で発生する電磁ノイズとの関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the test signal in the electromagnetic noise distribution detection apparatus by Embodiment 2 of this invention, and the electromagnetic noise which generate | occur | produces in a test equipment. この発明の実施の形態2による電磁ノイズ分布検出装置における検出した電磁界分布から供試機器内で発生する電磁ノイズの電磁界分布を近似するイメージを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the image which approximates the electromagnetic field distribution of the electromagnetic noise which generate | occur | produces in a test equipment from the detected electromagnetic field distribution in the electromagnetic noise distribution detection apparatus by Embodiment 2 of this invention. この発明の実施の形態2による電磁ノイズ分布検出装置における1/n波長ずれた周波数の試験信号と供試機器内で発生する電磁ノイズとの関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the test signal of the frequency which shifted 1 / n wavelength in the electromagnetic noise distribution detection apparatus by Embodiment 2 of this invention, and the electromagnetic noise which generate | occur | produces in a EUT. この発明の実施の形態3による電磁ノイズ分布検出装置における試験信号と供試機器内で発生する電磁ノイズとの関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the test signal in the electromagnetic noise distribution detection apparatus by Embodiment 3 of this invention, and the electromagnetic noise which generate | occur | produces in a test equipment. この発明の実施の形態4による電磁ノイズ分布検出装置における供試機器各部の既存ノイズのレベルを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the level of the existing noise of each part of EUT in the electromagnetic noise distribution detection apparatus by Embodiment 4 of this invention. この発明の実施の形態4による電磁ノイズ分布検出装置における供試機器各部の既存ノイズと同じ周波数のノイズ信号を注入した場合のレベルを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the level at the time of inject | pouring the noise signal of the same frequency as the existing noise of each part of the EUT in the electromagnetic noise distribution detection apparatus by Embodiment 4 of this invention. この発明の実施の形態5による電磁ノイズ分布検出装置における供試機器各部の既存ノイズのレベルを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the level of the existing noise of each part of EUT in the electromagnetic noise distribution detection apparatus by Embodiment 5 of this invention. この発明の実施の形態5による電磁ノイズ分布検出装置における注入信号の周波数の選択方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the selection method of the frequency of the injection signal in the electromagnetic noise distribution detection apparatus by Embodiment 5 of this invention.

実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1による電磁ノイズ分布検出装置を示す構成図である。
図1に示す電磁ノイズ分布検出装置は、信号発生器1、アンプ2、注入プローブ3、検出プローブ4、アンプ5、電磁界強度計6、可動部7、走査部8、制御部9、表示部10を備える。
Embodiment 1 FIG.
1 is a block diagram showing an electromagnetic noise distribution detecting apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
The electromagnetic noise distribution detection apparatus shown in FIG. 1 includes a signal generator 1, an amplifier 2, an injection probe 3, a detection probe 4, an amplifier 5, an electromagnetic field strength meter 6, a movable unit 7, a scanning unit 8, a control unit 9, and a display unit. 10 is provided.

信号発生器1は、電磁ノイズである試験信号を発生する回路であり、アンプ2は、信号発生器1で発生した試験信号を増幅する回路である。注入プローブ3は、アンプ2で増幅された試験信号を供試機器100の接続ケーブル(電源ケーブル等)を介して供試機器100に注入するプローブである。なお、供試機器100とは、例えばプリント基板といった機器である。また、これら信号発生器1〜注入プローブ3によって、供試機器100に対して信号を注入する信号注入手段が構成されている。検出プローブ4は、注入プローブ3で注入されたノイズを供試機器100上で測定するためのプローブである。アンプ5は信号発生器4から出力された検出信号を増幅するための回路である。電磁界強度計6は、アンプ5で増幅された検出信号のレベルを測定する電磁界測定器からなるものである。また、これら検出プローブ4〜電磁界強度計6によって、供試機器100上の電磁界を検出する電磁界強度検出手段が構成されている。なお、アンプ2は、信号発生器1が出力し、注入プローブ3で注入した電磁ノイズとしての試験信号のレベルが検出プローブ4で検出できる程度に高ければ無くてもよい。また、アンプ5は、検出プローブ4の出力レベルが電磁界強度計6で測定するのに十分高いレベルであれば無くてもよい。   The signal generator 1 is a circuit that generates a test signal that is electromagnetic noise, and the amplifier 2 is a circuit that amplifies the test signal generated by the signal generator 1. The injection probe 3 is a probe that injects the test signal amplified by the amplifier 2 into the EUT 100 via a connection cable (such as a power cable) of the EUT 100. The test apparatus 100 is an apparatus such as a printed circuit board. The signal generator 1 to the injection probe 3 constitute a signal injection means for injecting a signal into the EUT 100. The detection probe 4 is a probe for measuring the noise injected by the injection probe 3 on the EUT 100. The amplifier 5 is a circuit for amplifying the detection signal output from the signal generator 4. The electromagnetic field strength meter 6 is composed of an electromagnetic field measuring device that measures the level of the detection signal amplified by the amplifier 5. The detection probe 4 to the electromagnetic field intensity meter 6 constitute an electromagnetic field intensity detection means for detecting an electromagnetic field on the EUT 100. The amplifier 2 may be omitted as long as the level of the test signal as the electromagnetic noise output from the signal generator 1 and injected by the injection probe 3 can be detected by the detection probe 4. The amplifier 5 may be omitted if the output level of the detection probe 4 is sufficiently high to be measured by the electromagnetic field strength meter 6.

可動部7は、検出プローブ4を供試機器100のX(横)、Y(縦)、Z(高さ)、θ(回転)方向に移動させるための手段であり、走査部8は、可動部7のXYZθ方向の制御を行う走査制御部である。また、これら可動部7および走査部8によって、電磁界強度検出手段の供試機器100上の検出位置を移動させる走査手段が構成されている。制御部9は、電磁ノイズ分布検出装置としての各部の制御を司るものであり、信号発生器1における発生信号周波数を制御したり、走査部8における走査方向を制御したり、電磁界強度計6の結果を数値処理し、表示部10で表示するといった制御を行う。表示部10は、電磁ノイズの分布状態といった情報を表示するための表示装置である。   The movable unit 7 is a means for moving the detection probe 4 in the X (horizontal), Y (vertical), Z (height), and θ (rotation) directions of the EUT 100, and the scanning unit 8 is movable. It is a scanning control unit that controls the unit 7 in the XYZθ directions. Further, the movable unit 7 and the scanning unit 8 constitute scanning means for moving the detection position of the electromagnetic field intensity detection means on the EUT 100. The control unit 9 controls each unit as the electromagnetic noise distribution detecting device, controls the generated signal frequency in the signal generator 1, controls the scanning direction in the scanning unit 8, and controls the electromagnetic field strength meter 6. The result is numerically processed and displayed on the display unit 10. The display unit 10 is a display device for displaying information such as an electromagnetic noise distribution state.

制御部9はノイズ分布検出手段11を備えており、このノイズ分布検出手段11は、信号注入手段に対して、供試機器100内で発生する電磁ノイズの周波数から僅かにずらした周波数の信号を出力するよう指示し、電磁界強度検出手段で検出された電磁界強度の分布を、供試機器100内で発生する電磁ノイズの近似的な分布として検出するものである。なお、制御部9は例えばコンピュータを用いて実現され、ノイズ分布検出手段11は、その機能に対応したソフトウェアと、これを実行するためのCPUやメモリといったハードウェアから構成されている。あるいは、ノイズ分布検出手段11を専用のハードウェアで構成してもよい。   The control unit 9 is provided with a noise distribution detecting means 11, and the noise distribution detecting means 11 sends a signal having a frequency slightly shifted from the frequency of the electromagnetic noise generated in the EUT 100 to the signal injection means. An instruction to output is given, and the distribution of the electromagnetic field intensity detected by the electromagnetic field intensity detection means is detected as an approximate distribution of electromagnetic noise generated in the EUT 100. The control unit 9 is realized by using, for example, a computer, and the noise distribution detection unit 11 is configured by software corresponding to the function and hardware such as a CPU and a memory for executing the software. Alternatively, the noise distribution detection unit 11 may be configured with dedicated hardware.

また、図1では、可動部7は、検出プローブ4を、縦横(XY)・高さ(Z)・回転(θ)方向に走査するように記載しているが、プローブの走査方法はこれに限らない。また、走査する方法として、検出プローブ4を移動しても、供試機器100を移動してもかまわない。即ち、供試機器100上の電磁界分布を測定するために、検出プローブ4と供試機器100との位置関係が相対的に変える方法に関し、その走査方法はいずれでもかまわない。   In FIG. 1, the movable unit 7 is described so as to scan the detection probe 4 in the vertical and horizontal (XY), height (Z), and rotation (θ) directions. Not exclusively. As a scanning method, the detection probe 4 may be moved or the EUT 100 may be moved. In other words, in order to measure the electromagnetic field distribution on the EUT 100, the scanning method may be any of the methods in which the positional relationship between the detection probe 4 and the EUT 100 is relatively changed.

また、図示例では、電磁ノイズである試験信号を注入する注入プローブ3が、供試機器100のノイズ印加部である接続ケーブルにクランプするタイプであるが、ノイズを注入することができれば、その方法は、他の被接触型プローブでも、接触型プローブでも、照射アンテナによる方法でも構わない。   In the illustrated example, the injection probe 3 that injects a test signal that is electromagnetic noise is a type that clamps to a connection cable that is a noise application unit of the EUT 100. If noise can be injected, that method is used. Other contacted probes, contact probes, or a method using an irradiation antenna may be used.

次に、信号発生器1から出力する電磁ノイズである試験信号について説明する。
図2は、信号発生器1が出力する電磁ノイズとしての試験信号と供試機器100内で発生する電磁ノイズとの関係を示す説明図である。
供試機器100内の電磁ノイズと同じ周波数の電磁ノイズである試験信号を、信号発生器1で出力し、注入プローブ3で供試機器100に注入した場合、両者を分離し、試験信号のみの分布を分離することは困難である。そこで、信号発生器1は、供試機器100内の電磁ノイズの周波数(f0)から僅かにずれた周波数(fn,fn=f0+Δf)の試験信号を出力し、この試験信号を注入プローブ3で供試機器100に注入する。検出プローブ4は、可動部7により、検出プローブ4と供試機器100との位置関係を変えながら、前記試験信号の周波数(fn)を受信する。
Next, a test signal that is electromagnetic noise output from the signal generator 1 will be described.
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a relationship between a test signal as electromagnetic noise output from the signal generator 1 and electromagnetic noise generated in the EUT 100.
When a test signal that is electromagnetic noise having the same frequency as the electromagnetic noise in the EUT 100 is output by the signal generator 1 and injected into the EUT 100 by the injection probe 3, both are separated and only the test signal is received. It is difficult to separate the distribution. Therefore, the signal generator 1 outputs a test signal having a frequency (fn, fn = f0 + Δf) slightly deviated from the frequency (f0) of the electromagnetic noise in the EUT 100, and this test signal is supplied by the injection probe 3. Inject into the test equipment 100. The detection probe 4 receives the frequency (fn) of the test signal while the positional relationship between the detection probe 4 and the EUT 100 is changed by the movable unit 7.

図3は、この発明の検出プローブ4が検出した電磁界分布から供試機器100内で発生する電磁ノイズの電磁界分布を近似するイメージを示す説明図である。このように、試験信号の供試機器100上の分布(fnの分布)を表示部10で表示することにより、機器内で発生する電磁ノイズの被試験信号と同じ周波数の電磁ノイズを注入した場合の分布(f0の分布)を近似的に表現することが可能になる。   FIG. 3 is an explanatory diagram showing an image approximating the electromagnetic field distribution of electromagnetic noise generated in the test apparatus 100 from the electromagnetic field distribution detected by the detection probe 4 of the present invention. As described above, when the distribution of the test signal on the EUT 100 (distribution of fn) is displayed on the display unit 10, the electromagnetic noise having the same frequency as the signal under test of the electromagnetic noise generated in the apparatus is injected. Distribution (the distribution of f0) can be approximately expressed.

僅かにずれた試験信号は、供試機器100内で発生する電磁ノイズと同じ周波数の電磁ノイズを供試機器100外部から注入した場合と同じ傾向を示すためには、供試機器100内で発生する電磁ノイズに対して注入する試験信号の位相の差がλ/4よりずれない周波数範囲の試験信号を選択する。かつ、電磁界強度計6が、前記2つの周波数を分離して測定できるように、電磁界測定器の周波数分解能帯域幅の設定は、この2つの周波数の間隔よりも狭く設定する必要がある。   The test signal slightly deviated is generated in the EUT 100 in order to show the same tendency as when the electromagnetic noise having the same frequency as that generated in the EUT 100 is injected from the outside of the EUT 100. A test signal having a frequency range in which the phase difference of the test signal to be injected with respect to the electromagnetic noise is not shifted from λ / 4 is selected. In addition, the frequency resolution bandwidth of the electromagnetic field measuring device needs to be set narrower than the interval between the two frequencies so that the electromagnetic field strength meter 6 can measure the two frequencies separately.

次に、実施の形態1の電磁ノイズ分布検出装置の動作について説明する。
図1において、信号発生器1は、ノイズ分布検出手段11からの指示に基づいて、供試機器100内で発生する電磁ノイズの周波数から僅かにずらした周波数の試験信号(電磁ノイズ)を出力し、注入プローブ3を通じて供試機器100にノイズを注入する。注入したノイズは供試機器100内を伝搬し、一面に分布するため、検出プローブ4を可動部7で供試機器100一面を走査し、注入した試験信号を検出し、電磁界強度計6で測定する。ノイズ分布検出手段11は、電磁界強度計6で測定された電磁界の分布を、供試機器100内で発生する電磁ノイズの近似的な分布として表示部10に表示させる。即ち、図3におけるfnの分布を表示する。
Next, the operation of the electromagnetic noise distribution detection apparatus according to the first embodiment will be described.
In FIG. 1, the signal generator 1 outputs a test signal (electromagnetic noise) having a frequency slightly shifted from the frequency of electromagnetic noise generated in the EUT 100 based on an instruction from the noise distribution detecting means 11. Then, noise is injected into the EUT 100 through the injection probe 3. Since the injected noise propagates in the test equipment 100 and is distributed over the entire surface, the detection probe 4 is scanned on the entire surface of the test equipment 100 with the movable part 7 to detect the injected test signal. taking measurement. The noise distribution detecting means 11 displays the electromagnetic field distribution measured by the electromagnetic field intensity meter 6 on the display unit 10 as an approximate distribution of electromagnetic noise generated in the EUT 100. That is, the distribution of fn in FIG. 3 is displayed.

その結果、供試機器100内で発生する電磁ノイズの周波数を外部から注入した場合における、外部から注入したノイズの電磁界分布を近似的に得ること可能になる。即ち、図3におけるf0の近似的な分布を得ることができる。   As a result, it is possible to approximately obtain the electromagnetic field distribution of the noise injected from the outside when the frequency of the electromagnetic noise generated in the EUT 100 is injected from the outside. That is, an approximate distribution of f0 in FIG. 3 can be obtained.

以上のように、実施の形態1の電磁ノイズ分布検出装置によれば、供試機器に対して信号を注入する信号注入手段と、供試機器上の電磁界強度を検出する電磁界強度検出手段と、電磁界強度検出手段の供試機器上の検出位置を移動させる走査手段と、信号注入手段に対して、供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数から僅かにずらした周波数の信号を出力するよう指示し、電磁界強度検出手段で検出された電磁界強度の分布を、供試機器内で発生する電磁ノイズの近似的な分布として検出するノイズ分布検出手段とを備えたので、機器内で発生する電磁ノイズと注入した信号を周波数で分離し、機器内で発生する電磁ノイズと同じ周波数の試験信号を注入した場合の近似的な分布を得ることができる。   As described above, according to the electromagnetic noise distribution detection apparatus of the first embodiment, the signal injection means for injecting a signal to the test equipment and the electromagnetic field strength detection means for detecting the electromagnetic field strength on the test equipment. And a scanning means for moving the detection position of the electromagnetic field intensity detection means on the EUT, and a signal having a frequency slightly shifted from the frequency of the electromagnetic noise generated in the EUT to the signal injection means. Noise distribution detection means for detecting the distribution of the electromagnetic field strength detected by the electromagnetic field strength detection means as an approximate distribution of electromagnetic noise generated in the EUT. The electromagnetic noise generated in step 1 and the injected signal are separated by frequency, and an approximate distribution when a test signal having the same frequency as the electromagnetic noise generated in the device is injected can be obtained.

実施の形態2.
実施の形態2では、信号注入手段が、供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数の上下にずらした複数の周波数の信号を出力するようにしたものである。それ以外の構成は実施の形態1の電磁ノイズ分布検出装置と同様である。また、図面上の構成は図1と同様であるため、図1の構成を用いて説明する。
Embodiment 2. FIG.
In the second embodiment, the signal injection means outputs signals having a plurality of frequencies shifted up and down the frequency of electromagnetic noise generated in the EUT. Other configurations are the same as those of the electromagnetic noise distribution detection apparatus of the first embodiment. Further, since the configuration on the drawing is the same as that of FIG. 1, the description will be made using the configuration of FIG.

図4は、実施の形態2における、信号発生器1が出力する電磁ノイズとしての試験信号と供試機器100内で発生する電磁ノイズとの関係を示す説明図である。また、図5は、実施の形態2における、検出プローブ4が検出した電磁界分布から供試機器100内で発生する電磁ノイズの電磁界分布を近似するイメージを示す説明図である。なお、両図において、同一符号は同一または相当部分を示す。
図4に示すように、被測定周波数(f0)に対して、位相がλ/4よりずれない2つの周波数(fn1=f0−Δfとfn2=f0+Δf)の試験信号を注入プローブ3で注入し、各信号周波数の供試機器100上の分布を検出プローブ4で検出し、電磁界強度計6で測定する。制御部9におけるノイズ分布検出手段11は、任意の点の各周波数(fn1とfn2)の値の平均値より、前記任意の点において、供試機器100内で発生する電磁ノイズの周波数(f0)と同じ周波数の信号を注入した場合の電磁界強度として、表示部10で表示する。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a relationship between a test signal as electromagnetic noise output from the signal generator 1 and electromagnetic noise generated in the EUT 100 in the second embodiment. FIG. 5 is an explanatory diagram showing an image approximating the electromagnetic field distribution of electromagnetic noise generated in the EUT 100 from the electromagnetic field distribution detected by the detection probe 4 in the second embodiment. In both figures, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.
As shown in FIG. 4, test signals of two frequencies (fn1 = f0−Δf and fn2 = f0 + Δf) whose phases are not shifted from λ / 4 with respect to the frequency to be measured (f0) are injected by the injection probe 3. The distribution of each signal frequency on the EUT 100 is detected by the detection probe 4 and measured by the electromagnetic field strength meter 6. The noise distribution detecting means 11 in the control unit 9 determines the frequency (f0) of electromagnetic noise generated in the EUT 100 at an arbitrary point from the average value of the frequencies (fn1 and fn2) at an arbitrary point. Is displayed on the display unit 10 as the electromagnetic field intensity when a signal having the same frequency as that of the electromagnetic field is injected.

実施の形態2による電磁ノイズ分布検出装置は、実施の形態1と同様の構成に加え、注入プローブ3から注入する試験信号として、供試機器100内で発生する電磁ノイズの周波数の上下2つの周波数成分を選択し、この各々の信号成分の分布から供試機器100内で発生する電磁ノイズの周波数の分布を内挿することにより、供試機器100内で発生する電磁ノイズの分布を近似するものである。   In addition to the same configuration as that of the first embodiment, the electromagnetic noise distribution detection apparatus according to the second embodiment has two frequencies above and below the frequency of electromagnetic noise generated in the test equipment 100 as test signals injected from the injection probe 3. By approximating the distribution of the electromagnetic noise generated in the EUT 100 by selecting the component and interpolating the distribution of the frequency of the electromagnetic noise generated in the EUT 100 from the distribution of each signal component It is.

図6は、実施の形態2における、信号発生器1が出力する電磁ノイズとしての試験信号と供試機器100内で発生する電磁ノイズとの関係を示す説明図である。
f0に対して、1/n波長(λ/n)ずれた周波数の試験信号(fn)を注入する場合、その周波数は、fn=nf/(n+1)とnf/(n−1)になる。この2つの周波数の信号を注入プローブ3で印加し、各々の信号の分布から被測定周波数を内挿することにより、供試機器100内で発生する電磁ノイズの分布の誤差範囲を限定することが可能になる。例えば、1/4波長(λ/4)ずれた場合、4f/5と4f/3となるため、誤差は、−20%〜約133.3%の範囲で近似が可能である。1/20波長(λ/20)ずれた場合、20f/21と20f/19となるため、誤差は(約−4.8%〜約105%)となる。即ち、ノイズ源である試験信号は、できるだけ供試機器100内で発生する電磁ノイズに近い周波数を選択することが誤差範囲を少なくなるという効果を奏する。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a relationship between a test signal as electromagnetic noise output from the signal generator 1 and electromagnetic noise generated in the EUT 100 in the second embodiment.
When a test signal (fn) having a frequency shifted by 1 / n wavelength (λ / n) with respect to f0 is injected, the frequencies are fn = nf / (n + 1) and nf / (n−1). It is possible to limit the error range of the distribution of electromagnetic noise generated in the EUT 100 by applying signals of these two frequencies with the injection probe 3 and interpolating the measured frequency from the distribution of each signal. It becomes possible. For example, when the wavelength is shifted by ¼ wavelength (λ / 4), 4f / 5 and 4f / 3 are obtained, and therefore the error can be approximated within a range of −20% to about 133.3%. When the wavelength is shifted by 1/20 wavelength (λ / 20), the difference is 20 f / 21 and 20 f / 19, so that the error is (about −4.8% to about 105%). That is, the test signal that is a noise source has an effect that the error range is reduced by selecting a frequency that is as close as possible to the electromagnetic noise generated in the EUT 100.

なお、供試機器内で発生する電磁ノイズの上下から加える信号は、前記のように、供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数から等周波数間隔でも、1/n波長ずれた周波数でもある必要はなく、その効果を得られるならば、周波数の選定に規制はない。   Note that the signal added from above and below the electromagnetic noise generated in the EUT must be at an equal frequency interval or a frequency shifted by 1 / n wavelength from the frequency of the electromagnetic noise generated in the EUT. There is no restriction on the selection of the frequency if the effect can be obtained.

以上のように、実施の形態2の電磁ノイズ分布検出装置によれば、信号注入手段は、供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数の上下にずらした複数の周波数の信号を出力するようにしたので、実施の形態1と同様の効果に加え、供試機器内で発生する電磁ノイズの分布の誤差範囲を限定することができるために、近似結果に関して、より精度の高い電磁界分布を得ることができる。   As described above, according to the electromagnetic noise distribution detection apparatus of the second embodiment, the signal injection means outputs a signal having a plurality of frequencies shifted up and down the frequency of the electromagnetic noise generated in the EUT. Therefore, in addition to the same effects as those of the first embodiment, the error range of the distribution of electromagnetic noise generated in the EUT can be limited. Therefore, a more accurate electromagnetic field distribution can be obtained with respect to the approximate result. be able to.

実施の形態3.
実施の形態3では、信号注入手段が、供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数を含む所定の帯域の周波数の信号を注入するよう構成され、また、ノイズ分布検出手段が、供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数のうち、検出対象とする周波数から僅かにずれた周波数に対応した電磁界強度検出手段で検出された電磁界分布を、供試機器内で発生する電磁ノイズの近似的な分布として検出するようにしたものである。それ以外の構成は実施の形態1または実施の形態2の電磁ノイズ分布検出装置と同様である。また、図面上の構成は図1と同様であるため、図1の構成を用いて説明する。
Embodiment 3 FIG.
In the third embodiment, the signal injection means is configured to inject a signal having a frequency in a predetermined band including the frequency of electromagnetic noise generated in the EUT, and the noise distribution detection means is provided in the EUT. The electromagnetic field distribution detected by the electromagnetic field intensity detection means corresponding to the frequency slightly deviated from the frequency to be detected among the frequencies of the electromagnetic noise generated in Approx. This is to detect as a random distribution. The other configuration is the same as that of the electromagnetic noise distribution detection apparatus of the first or second embodiment. Further, since the configuration on the drawing is the same as that of FIG. 1, the description will be made using the configuration of FIG.

図7は、この発明の実施の形態3による、信号発生器1が出力する電磁ノイズとしての試験信号と供試機器100内で発生する電磁ノイズとの関係を示す説明図である。
この発明の実施の形態3による電磁ノイズ分布検出装置は、電磁ノイズである試験信号を出力する信号発生器1から広帯域なノイズを出力し、注入プローブ3で注入するものである。実施の形態1または2では、試験信号の注入前に、注入する試験信号の周波数を決定していたが、本実施の形態では、広帯域な試験信号を注入し、供試機器100上の電磁界分布を検出プローブ4で広帯域に検出し、電磁界強度計6で測定する。測定した広帯域な電磁界分布から、所望の電磁ノイズの周波数に対して、実施の形態1または2記載の同様な方法で、試験信号を選択し、供試機器100内で発生する電磁ノイズの電磁界分布を近似表示する。
FIG. 7 is an explanatory diagram showing a relationship between a test signal as electromagnetic noise output from the signal generator 1 and electromagnetic noise generated in the EUT 100 according to the third embodiment of the present invention.
The electromagnetic noise distribution detecting apparatus according to the third embodiment of the present invention outputs broadband noise from a signal generator 1 that outputs a test signal that is electromagnetic noise, and injects it with an injection probe 3. In the first or second embodiment, the frequency of the test signal to be injected is determined before the injection of the test signal. However, in this embodiment, a broadband test signal is injected and the electromagnetic field on the EUT 100 is measured. The distribution is detected in a wide band by the detection probe 4 and measured by the electromagnetic field strength meter 6. From the measured wide-band electromagnetic field distribution, a test signal is selected by the same method as described in the first or second embodiment with respect to a desired electromagnetic noise frequency, and the electromagnetic noise generated in the EUT 100 is measured. Approximate the field distribution.

以上のように、実施の形態3の電磁ノイズ分布検出装置によれば、供試機器に対して、供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数を含む所定の帯域の周波数の信号を注入する信号注入手段と、供試機器上の電磁界強度を検出する電磁界強度検出手段と、電磁界強度検出手段の供試機器上の検出位置を移動させる走査手段と、供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数のうち、検出対象とする周波数から僅かにずれた周波数に対応した電磁界強度検出手段で検出された電磁界強度の分布を、供試機器内で発生する電磁ノイズの近似的な分布として検出するノイズ分布検出手段とを備えたので、実施の形態1または実施の形態2の効果に加えて、複数の電磁ノイズの周波数に対して、1度のノイズ注入作業で済むために、試験時間を短縮することができる。   As described above, according to the electromagnetic noise distribution detection apparatus of the third embodiment, a signal for injecting a signal having a frequency in a predetermined band including the frequency of electromagnetic noise generated in the test equipment to the test equipment. Injection means, electromagnetic field intensity detection means for detecting the electromagnetic field intensity on the EUT, scanning means for moving the detection position of the electromagnetic field intensity detection means on the EUT, and electromagnetic waves generated in the EUT The distribution of the electromagnetic field intensity detected by the electromagnetic field intensity detection means corresponding to the frequency slightly deviated from the frequency to be detected, among the noise frequencies, is an approximate distribution of the electromagnetic noise generated in the EUT. In addition to the effects of the first embodiment or the second embodiment, since the noise distribution detecting means for detecting the noise as a plurality of electromagnetic noise frequencies is required, a single noise injection operation can be performed. To save time It can be.

実施の形態4.
実施の形態4は、ノイズ分布検出手段が、信号注入手段に対して、供試機器に対してレベルを変えながら信号を注入するよう指示し、電磁界強度検出手段が検出した供試機器上の電磁界強度が、信号注入手段に指示した信号注入レベルに追従した変化をした場合に、その注入した信号に基づく供試機器内で発生する電磁ノイズの近似的な分布を検出するようにしたものである。それ以外の構成は実施の形態1〜3のいずれかの電磁ノイズ分布検出装置と同様である。また、図面上の構成は図1と同様であるため、図1の構成を用いて説明する。
Embodiment 4 FIG.
In the fourth embodiment, the noise distribution detecting means instructs the signal injecting means to inject signals while changing the level to the EUT, and the EUT is detected on the EUT detected by the electromagnetic field intensity detecting means. When the electromagnetic field intensity changes following the signal injection level instructed to the signal injection means, an approximate distribution of electromagnetic noise generated in the EUT based on the injected signal is detected. It is. Other configurations are the same as those of the electromagnetic noise distribution detection device according to any one of the first to third embodiments. Further, since the configuration on the drawing is the same as that of FIG. 1, the description will be made using the configuration of FIG.

図8は、実施の形態4における供試機器100の既存ノイズ12の分布について示した説明図である。供試機器100には、被測定周波数(f0)での電磁界分布を近似的に得るために注入する電磁ノイズとしての試験信号の周波数(fn)と同じ周波数の成分が、供試機器100に分布している様子を示している。図中のP1,P2,P3は、供試機器100上の電磁界強度を検出プローブが測定する位置の一例であり、それぞれの位置において、検出プローブが測定した既存ノイズ12のレベルを示している。P1では周波数fnのノイズが測定され、P2では測定されず、P3では特に高いレベルが測定されている。   FIG. 8 is an explanatory diagram showing the distribution of the existing noise 12 of the EUT 100 according to the fourth embodiment. The EUT 100 has a component having the same frequency as the frequency (fn) of the test signal as electromagnetic noise to be injected in order to approximately obtain the electromagnetic field distribution at the measured frequency (f0). The distribution is shown. P1, P2, and P3 in the figure are examples of positions where the detection probe measures the electromagnetic field intensity on the EUT 100, and indicate the level of the existing noise 12 measured by the detection probe at each position. . Noise at frequency fn is measured at P1, not measured at P2, and a particularly high level is measured at P3.

また、図9は、実施の形態4に関わるノイズ分布検出手段11において、注入信号と供試機器の既存ノイズ12とを分離する方法を示す説明図であり、図1に示す測定系が信号注入手段を通じて注入できる最大レベルの電磁ノイズとしての試験信号(周波数fn)を、図8に示した周波数fnの既存ノイズ12の分布をした供試機器100に印加した場合に、供試機器100上に生じる電磁界分布(既存ノイズと印加信号の和)を示している。なお、図中のP1,P2,P3は図8と同じ位置である。図8のレベルと比較して、P1のレベルは若干上がり、P2では測定されず(図8と比べて変化無し)、P3のレベルは変化が無く、特に高いレベルを示している。なお、f0におけるP1,P2,P3におけるf0のレベルは変化しない。   FIG. 9 is an explanatory diagram showing a method of separating the injection signal and the existing noise 12 of the EUT in the noise distribution detection means 11 according to the fourth embodiment. The measurement system shown in FIG. When the test signal (frequency fn) as the maximum level of electromagnetic noise that can be injected through the means is applied to the EUT 100 having the distribution of the existing noise 12 having the frequency fn shown in FIG. The generated electromagnetic field distribution (the sum of the existing noise and the applied signal) is shown. In addition, P1, P2, P3 in the figure is the same position as FIG. Compared with the level of FIG. 8, the level of P1 rises a little, it is not measured by P2 (no change compared with FIG. 8), and the level of P3 does not change and shows a particularly high level. Note that the level of f0 in P1, P2, and P3 at f0 does not change.

次に、周波数fnの既存ノイズ12と注入信号との判別方法について説明する。
図8のP1とP3には、周波数fnの成分が既存ノイズ12として測定されているが、P2には周波数成分fnの成分が測定されていない。図9は、この測定系で印加できる最大レベルの電磁ノイズとしての信号を注入した際の供試機器100上の電磁界分布を測定した結果である。電磁ノイズとしての試験信号注入前(図8)と注入後(図9)を比較すると、P1では、注入後のレベルが高くなっており、注入した信号成分が測定されていることが判定できる。P2では、注入前もノイズ注入後も測定されていないため、注入信号のノイズが伝搬していないと判定できる。P3では、注入前のレベルが高いため、試験信号が注入されても、P3に伝搬した試験信号のレベルが小さいとその影響が現れず、既存ノイズ12と試験信号との判定ができない例である。
Next, a method for discriminating between the existing noise 12 having the frequency fn and the injection signal will be described.
In P1 and P3 in FIG. 8, the component of the frequency fn is measured as the existing noise 12, but the component of the frequency component fn is not measured in P2. FIG. 9 shows the result of measuring the electromagnetic field distribution on the EUT 100 when injecting a signal as the maximum level of electromagnetic noise that can be applied in this measurement system. Comparing the test signal injection as electromagnetic noise before injection (FIG. 8) and after injection (FIG. 9), it can be determined at P1 that the level after injection is high and the injected signal component is measured. In P2, since it is not measured before injection or after noise injection, it can be determined that the noise of the injection signal is not propagated. In P3, since the level before injection is high, even if the test signal is injected, if the level of the test signal propagated to P3 is small, the effect does not appear, and the existing noise 12 and the test signal cannot be determined. .

なお、図8のP1では、周波数fnのノイズが既存である場合を示しているが、既存ノイズ12が測定されなくても、信号注入手段による電磁ノイズとしての試験信号注入後に電磁界強度のレベルが変化すれば注入したノイズが伝搬していると判別できる。   In addition, although P1 of FIG. 8 shows the case where the noise of the frequency fn is existing, even if the existing noise 12 is not measured, the level of the electromagnetic field strength after test signal injection as electromagnetic noise by the signal injection means Can be determined that the injected noise is propagating.

また、図9の例においては、前述したように、図1に示す測定系で注入できる最大レベルの試験信号を信号注入手段で注入しているが、必ずしも最大レベルである必要は無く、図8と図9におけるP1のように、ノイズとしての信号の注入前と注入後で、検出結果にレベル差が生じるならば、注入するレベルに制限はない。   In the example of FIG. 9, as described above, the test signal at the maximum level that can be injected by the measurement system shown in FIG. 1 is injected by the signal injection means. As in P1 in FIG. 9, if there is a level difference in the detection result before and after the injection of the signal as noise, there is no restriction on the level to be injected.

また、選択する周波数fnは、評価する周波数f0を推定できるものであれば何でもよく、測定器の分解能帯域幅の周波数分以上ずらした周波数を選択すればよい。また、予め、供試機器100上の既存ノイズレベルの周波数特性を測定し、既存ノイズレベルの低い周波数を選択してもよい。
また、前記例では、供試機器100上の3点(P1,P2,P3)をあげているが、供試機器上の注入ノイズ伝搬経路が抽出できるならば、その数や場所に制限はない。
Further, the frequency fn to be selected may be anything as long as the frequency f0 to be evaluated can be estimated, and a frequency shifted by the frequency of the resolution bandwidth of the measuring instrument may be selected. Alternatively, the frequency characteristic of the existing noise level on the EUT 100 may be measured in advance, and a frequency with a low existing noise level may be selected.
In the above example, three points (P1, P2, P3) on the EUT 100 are given. However, if the injection noise propagation path on the EUT can be extracted, there is no limit to the number or location. .

次に、伝搬経路の評価について説明する。
前記の判別方法によれば、供試機器100上の各部に関して、注入信号の伝搬経路に該当するか、該当しないか、測定不能であることが判別できる。検出プローブ4は供試機器100上の伝搬経路に該当する部分を走査し、各測定位置において、注入プローブ3から注入する電磁ノイズとしての信号のレベルを変化させながら電磁界強度を測定し、供試機器100上における注入ノイズの強度分布を表示部10で表示する。
なお、前記のP2のように伝搬経路でない測定点は強度分布における下限であり、P3のように周波数fnの既存ノイズのレベルが高ければ,測定不能として表示することも可能である。
また、注入レベルの変化については、出力レベルを上げても、下げても、連続的であっても、離散的であってもよく、その変化の方法に制限はない。
Next, propagation path evaluation will be described.
According to the determination method, it is possible to determine whether each part on the EUT 100 corresponds to the propagation path of the injection signal, does not correspond, or cannot be measured. The detection probe 4 scans the part corresponding to the propagation path on the EUT 100, measures the electromagnetic field intensity while changing the level of the signal as electromagnetic noise injected from the injection probe 3 at each measurement position, The intensity distribution of injection noise on the test equipment 100 is displayed on the display unit 10.
Note that the measurement point that is not a propagation path as in P2 is the lower limit in the intensity distribution, and if the level of the existing noise at the frequency fn is high as in P3, it is possible to display that measurement is impossible.
Further, the change of the injection level may be raised, lowered, continuous, or discrete, and there is no limitation on the method of the change.

このように、実施の形態4では、被測定周波数(f0)の分布を近似的に得るために注入する周波数fnの電磁ノイズとしての試験信号の注入レベルを可変とすることにより、供試機器100上に伝搬する注入信号を判別することが可能になる。また、注入するノイズ信号の周波数fnと同じ周波数のノイズが供試機器100に既存な場合でも、供試機器100上の測定点における注入前後のレベルの違いから、注入するノイズ信号の伝搬経路に該当する、該当しない、判定できないことを判別することが可能である。即ち、注入するノイズ信号と同じ成分の既存ノイズが供試機器に存在する場合でも、注入するノイズ信号の伝搬経路を抽出し、表示することが可能になる。   As described above, in the fourth embodiment, by changing the injection level of the test signal as the electromagnetic noise of the frequency fn to be injected in order to obtain the distribution of the measured frequency (f0) approximately, the EUT 100 It becomes possible to determine the injection signal propagating upward. Further, even when noise having the same frequency as the frequency fn of the noise signal to be injected already exists in the EUT 100, the propagation path of the noise signal to be injected is determined by the difference in level before and after the injection at the measurement point on the EUT 100. It is possible to determine whether it is applicable, not applicable, or cannot be determined. That is, even when the existing noise having the same component as the noise signal to be injected exists in the EUT, it is possible to extract and display the propagation path of the noise signal to be injected.

以上のように、実施の形態4の電磁ノイズ分布検出装置によれば、ノイズ分布検出手段は、信号注入手段に対して、供試機器に対してレベルを変えながら信号を注入するよう指示し、電磁界強度検出手段が検出した供試機器上の電磁界強度が、信号注入手段に指示した信号注入レベルに追従した変化をした場合に、注入した試験信号に基づく供試機器内で発生する電磁ノイズの近似的な分布を検出するようにしたので、注入する試験信号と同じ成分の既存ノイズが供試機器に存在した場合でも、機器内で発生する電磁ノイズと同じ周波数の試験信号を注入した場合の近似的な分布を確実に得ることができる。   As described above, according to the electromagnetic noise distribution detection apparatus of the fourth embodiment, the noise distribution detection means instructs the signal injection means to inject a signal while changing the level to the EUT, When the electromagnetic field strength on the EUT detected by the EMF detection means changes following the signal injection level instructed to the signal injection means, the electromagnetic waves generated in the EUT based on the injected test signal Since an approximate distribution of noise was detected, a test signal with the same frequency as the electromagnetic noise generated in the equipment was injected even when existing noise with the same component as the test signal to be injected was present in the EUT. An approximate distribution of cases can be reliably obtained.

実施の形態5.
実施の形態5では,供試機器に注入するノイズとしての信号の周波数fn1と同じ周波数の既存ノイズのレベルが高く、周波数fn1の信号の判定ができない場合に、周波数をさらにずらした周波数fn3の信号を注入し、被測定周波数(f0)の分布を近似的に得ることようにしたものである。すなわち、実施の形態5では、ノイズ分布検出手段は、電磁界強度検出手段が検出した供試機器上の電磁界強度が、信号注入手段に指示した信号注入レベルに追従した変化をしなかった場合に、注入した信号とは異なる周波数の信号注入を行うよう指示するものである。それ以外の構成は、実施の形態1〜4のいずれの電磁ノイズ分布検出装置と同様である。また、図面上の構成は図1と同様であるため、図1の構成を用いて説明する。
Embodiment 5 FIG.
In the fifth embodiment, when the level of the existing noise having the same frequency as the frequency fn1 of the signal as the noise to be injected into the EUT is high and the signal of the frequency fn1 cannot be determined, the signal of the frequency fn3 further shifted in frequency is used. And the distribution of the measured frequency (f0) is approximately obtained. That is, in the fifth embodiment, the noise distribution detecting means is configured such that the electromagnetic field intensity on the EUT detected by the electromagnetic field intensity detecting means does not change following the signal injection level instructed to the signal injecting means. And instructing to perform signal injection at a frequency different from that of the injected signal. The other configuration is the same as that of any electromagnetic noise distribution detection apparatus according to the first to fourth embodiments. Further, since the configuration on the drawing is the same as that of FIG. 1, the description will be made using the configuration of FIG.

図10は、供試機器100の既存ノイズ13の分布について示した説明図である。図10に関しては、分布を表示している周波数に既存のノイズレベルが高い領域が多いこと以外は図8と同じ条件であるため、詳細な説明は省略する。また、図11は、実施の形態5における注入信号の周波数の選択方法を説明するための図である。   FIG. 10 is an explanatory diagram showing the distribution of the existing noise 13 of the EUT 100. 10 is the same as that in FIG. 8 except that there are many existing high noise level regions in the frequency displaying the distribution, and thus detailed description thereof is omitted. FIG. 11 is a diagram for explaining a method of selecting the frequency of the injection signal in the fifth embodiment.

以下、実施の形態5の動作について説明する。なお、実施の形態1〜4に記載の電磁ノイズ分布検出装置の動作と同様な動作に関してはその説明を省略する。
供試機器100に注入するノイズとしての試験信号の周波数fn1と同じ周波数の既存ノイズ13が、図10に示すように高く測定された場合には、注入した信号が判定不可能になる。そこで、実施の形態5では、図11に示すように、fn1(=f0+Δf1)から僅かにずらした周波数fn3(=f0+Δf1+Δf3)をノイズ分布検出手段11は再選択する。そして、信号注入手段によって、この周波数fn3の信号を供試機器100に注入し、実施の形態4に記載した注入信号の判別作業を実施し、供試機器100上の周波数fn3の試験信号の伝搬経路を抽出し、表示する。なお、周波数fn3でも判別ができない場合には、さらに別の周波数を選択し、同様な判別作業を繰返す。なお、選択する周波数は、評価する周波数f0を推定できるものであれば何でもよく、測定器の分解能帯域幅の周波数分以上ずらした周波数を選択すればよい。また、予め供試機器100上の既存ノイズレベルの周波数特性を測定し、既存ノイズレベルの低い周波数を選択してもよい。
Hereinafter, the operation of the fifth embodiment will be described. In addition, the description is abbreviate | omitted regarding the operation | movement similar to the operation | movement of the electromagnetic noise distribution detection apparatus as described in Embodiment 1-4.
When the existing noise 13 having the same frequency as the frequency fn1 of the test signal as noise injected into the EUT 100 is measured high as shown in FIG. 10, the injected signal cannot be determined. Therefore, in the fifth embodiment, as shown in FIG. 11, the noise distribution detection unit 11 reselects the frequency fn3 (= f0 + Δf1 + Δf3) slightly shifted from fn1 (= f0 + Δf1). Then, the signal injection means injects the signal of the frequency fn3 into the EUT 100, performs the injection signal discrimination operation described in the fourth embodiment, and propagates the test signal of the frequency fn3 on the EUT 100. Extract and display the route. If the determination cannot be made with the frequency fn3, another frequency is selected and the same determination operation is repeated. The frequency to be selected may be anything as long as the frequency f0 to be evaluated can be estimated, and a frequency shifted by the frequency of the resolution bandwidth of the measuring instrument may be selected. Moreover, the frequency characteristic of the existing noise level on the EUT 100 may be measured in advance, and a frequency with a low existing noise level may be selected.

このように、実施の形態5では、被測定周波数(f0)の分布を近似的に得るために選択した注入信号の周波数と同じ周波数でレベルの高い既存ノイズが供試機器100にあって注入信号の伝搬経路を判別することができない場合でも、注入する周波数を可変とすることにより供試機器100内のレベルが低い周波数を選択し、注入信号を判別することが可能になる。即ち、被測定周波数(f0)の信号を注入した場合の、供試機器上の分布を近似的に得ることが可能になる。   Thus, in the fifth embodiment, existing noise having a high level at the same frequency as the frequency of the injection signal selected to approximately obtain the distribution of the measured frequency (f0) is present in the EUT 100 and the injection signal Even if it is not possible to determine the propagation path, it is possible to select a frequency with a low level in the EUT 100 and to determine the injection signal by making the injection frequency variable. That is, it is possible to approximately obtain the distribution on the EUT when the signal of the measured frequency (f0) is injected.

以上のように、実施の形態5の電磁ノイズ分布検出装置によれば、ノイズ分布検出手段は、信号注入手段に対して、供試機器に対してレベルを変えながら信号を注入するよう指示し、電磁界強度検出手段が検出した供試機器上の電磁界強度が、信号注入手段に指示した信号注入レベルに追従した変化をしなかった場合に、注入した信号とは異なる周波数の信号注入を行うよう指示するようにしたので、レベルの高い既存ノイズが供試機器に存在した場合でも、機器内で発生する電磁ノイズと同じ周波数の試験信号を注入した場合の近似的な分布を確実に得ることができる。   As described above, according to the electromagnetic noise distribution detection apparatus of the fifth embodiment, the noise distribution detection means instructs the signal injection means to inject a signal while changing the level to the EUT, When the electromagnetic field strength on the EUT detected by the electromagnetic field strength detection means does not change following the signal injection level instructed to the signal injection means, signal injection at a frequency different from that of the injected signal is performed. Even if high-level existing noise exists in the EUT, it is possible to reliably obtain an approximate distribution when a test signal having the same frequency as the electromagnetic noise generated in the equipment is injected. Can do.

なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。   In the present invention, within the scope of the invention, any combination of the embodiments, or any modification of any component in each embodiment, or omission of any component in each embodiment is possible. .

1 信号発生器、2,5 アンプ、3 注入プローブ、4 検出プローブ、6 電磁界強度計、7 可動部、8 走査部、9 制御部、10 表示部、11 ノイズ分布検出手段、12,13 既存ノイズ。   1 Signal generator, 2, 5 amplifier, 3 injection probe, 4 detection probe, 6 electromagnetic field strength meter, 7 movable part, 8 scanning part, 9 control part, 10 display part, 11 noise distribution detection means, 12, 13 Existing noise.

Claims (5)

供試機器に対して信号を注入する信号注入手段と、
前記供試機器上の電磁界強度を検出する電磁界強度検出手段と、
前記電磁界強度検出手段の前記供試機器上の検出位置を移動させる走査手段と、
前記信号注入手段に対して、前記供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数から僅かにずらした周波数の信号を出力するよう指示し、前記電磁界強度検出手段で検出された電磁界強度の分布を、前記供試機器内で発生する電磁ノイズの近似的な分布として検出するノイズ分布検出手段とを備えた電磁ノイズ分布検出装置。
A signal injection means for injecting a signal to the EUT;
Electromagnetic field intensity detection means for detecting the electromagnetic field intensity on the EUT;
Scanning means for moving a detection position on the EUT of the electromagnetic field intensity detection means;
Instructing the signal injection means to output a signal having a frequency slightly shifted from the frequency of the electromagnetic noise generated in the EUT, and the distribution of the electromagnetic field intensity detected by the electromagnetic field intensity detection means An electromagnetic noise distribution detecting device comprising: a noise distribution detecting means for detecting an approximate distribution of electromagnetic noise generated in the EUT.
信号注入手段は、供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数の上下にずらした複数の周波数の信号を出力することを特徴とする請求項1記載の電磁ノイズ分布検出装置。   2. The electromagnetic noise distribution detecting apparatus according to claim 1, wherein the signal injection means outputs signals having a plurality of frequencies shifted above and below the frequency of electromagnetic noise generated in the EUT. 供試機器に対して、当該供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数を含む所定の帯域の周波数の信号を注入する信号注入手段と、
前記供試機器上の電磁界強度を検出する電磁界強度検出手段と、
前記電磁界強度検出手段の前記供試機器上の検出位置を移動させる走査手段と、
前記供試機器内で発生する電磁ノイズの周波数のうち、検出対象とする周波数から僅かにずれた周波数に対応した前記電磁界強度検出手段で検出された電磁界強度の分布を、前記供試機器内で発生する電磁ノイズの近似的な分布として検出するノイズ分布検出手段とを備えた電磁ノイズ分布検出装置。
A signal injection means for injecting a signal of a predetermined band including a frequency of electromagnetic noise generated in the EUT to the EUT,
Electromagnetic field intensity detection means for detecting the electromagnetic field intensity on the EUT;
Scanning means for moving a detection position on the EUT of the electromagnetic field intensity detection means;
The distribution of the electromagnetic field intensity detected by the electromagnetic field intensity detecting means corresponding to the frequency slightly deviated from the frequency to be detected among the frequencies of electromagnetic noise generated in the EUT. An electromagnetic noise distribution detecting device comprising noise distribution detecting means for detecting as an approximate distribution of electromagnetic noise generated in the apparatus.
ノイズ分布検出手段は、
信号注入手段に対して、供試機器に対してレベルを変えながら信号を注入するよう指示し、電磁界強度検出手段が検出した前記供試機器上の電磁界強度が、前記信号注入手段に指示した信号注入レベルに追従した変化をした場合に、当該注入した信号に基づく前記供試機器内で発生する電磁ノイズの近似的な分布を検出することを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれか1項記載の電磁ノイズ分布検出装置。
Noise distribution detection means
The signal injection means is instructed to inject signals while changing the level to the EUT, and the electromagnetic field strength on the EUT detected by the electromagnetic field intensity detection means is instructed to the signal injection means. 4. An approximate distribution of electromagnetic noise generated in the EUT based on the injected signal when a change following the injected signal injection level is detected. The electromagnetic noise distribution detection apparatus of any one of them.
ノイズ分布検出手段は、
信号注入手段に対して、供試機器に対してレベルを変えながら信号を注入するよう指示し、電磁界強度検出手段が検出した前記供試機器上の電磁界強度が、前記信号注入手段に指示した信号注入レベルに追従した変化をしなかった場合に、当該注入した信号とは異なる周波数の信号注入を行うよう指示することを特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれか1項記載の電磁ノイズ分布検出装置。
Noise distribution detection means
The signal injection means is instructed to inject signals while changing the level to the EUT, and the electromagnetic field strength on the EUT detected by the electromagnetic field intensity detection means is instructed to the signal injection means. 5. If there is no change following the signal injection level, an instruction is given to inject a signal having a frequency different from that of the injected signal. The electromagnetic noise distribution detection apparatus described.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014240775A (en) * 2013-06-11 2014-12-25 三菱電機株式会社 Electromagnetic noise detection device
JP2016003881A (en) * 2014-06-13 2016-01-12 三菱電機株式会社 Noise detector and noise detection method
CN105940309A (en) * 2014-01-30 2016-09-14 艾玛斯堪公司 Scanner system and method for high-resolution spatial scanning of electromagnetic field radiated by electronic device under test
JP2018054453A (en) * 2016-09-29 2018-04-05 日置電機株式会社 Detection sensor and inspection device
JP2021110622A (en) * 2020-01-09 2021-08-02 東日本電信電話株式会社 Facility layout diagram creation system

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002318253A (en) * 2001-04-23 2002-10-31 Fujitsu Ten Ltd Noise visualization system and display method therefor
JP2004522934A (en) * 2000-08-03 2004-07-29 クゥアルコム・インコーポレイテッド Systems, methods, and apparatus for applications related to product design for electromagnetic compatibility
JP2005134169A (en) * 2003-10-29 2005-05-26 Hitachi Ltd Electromagnetic field measuring method, measuring device and semiconductor device
WO2009034600A1 (en) * 2007-09-10 2009-03-19 Fujitsu Limited Integrated circuit and noise measuring method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004522934A (en) * 2000-08-03 2004-07-29 クゥアルコム・インコーポレイテッド Systems, methods, and apparatus for applications related to product design for electromagnetic compatibility
JP2002318253A (en) * 2001-04-23 2002-10-31 Fujitsu Ten Ltd Noise visualization system and display method therefor
JP2005134169A (en) * 2003-10-29 2005-05-26 Hitachi Ltd Electromagnetic field measuring method, measuring device and semiconductor device
WO2009034600A1 (en) * 2007-09-10 2009-03-19 Fujitsu Limited Integrated circuit and noise measuring method

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014240775A (en) * 2013-06-11 2014-12-25 三菱電機株式会社 Electromagnetic noise detection device
CN105940309A (en) * 2014-01-30 2016-09-14 艾玛斯堪公司 Scanner system and method for high-resolution spatial scanning of electromagnetic field radiated by electronic device under test
JP2016003881A (en) * 2014-06-13 2016-01-12 三菱電機株式会社 Noise detector and noise detection method
JP2018054453A (en) * 2016-09-29 2018-04-05 日置電機株式会社 Detection sensor and inspection device
JP2021110622A (en) * 2020-01-09 2021-08-02 東日本電信電話株式会社 Facility layout diagram creation system

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