JP2010237099A - Method and system for noise evaluation - Google Patents

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浩司 市川
Akihiko Sakurai
礼彦 櫻井
Isao Iwase
功 岩瀬
Takanori Unou
高徳 鵜生
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To highly accurately obtain results of noise evaluation with high spatial resolution in a short time, regardless of the type of the frequency of noise to be injected. <P>SOLUTION: A noise signal generated by a signal generator 12 is applied directly to a connector 16 of an object to be evaluated 11 via an amplifier 13; a directional coupler 14; and a bias tee 15. Noise which occurs from the object to be evaluated 11 is detected to measure its intensity as sequentially moving a probe 17 over a plurality of measuring points. At this time, a PC 23 controls a spectrum analyzer 21 and a signal generator 12 to sweep measurement frequencies of the spectrum analyzer 21 and synchronize the frequency of a noise signal generated by the signal generator 12 with its sweep frequency. It is thereby possible to obtain measurement data with respect to all the plurality of types of measuring frequencies a single measurement point. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、外部から評価対象物へ印加されたノイズに対してその評価対象物から発生するノイズを評価するためのノイズ評価方法、及びノイズ評価システムに関する。   The present invention relates to a noise evaluation method and a noise evaluation system for evaluating noise generated from an evaluation object with respect to noise applied to the evaluation object from outside.

近年、家電・情報端末や自動車用の電子制御装置などのあらゆる電子機器において高機能化が進み、電子機器を構成するプリント基板において、LSIをはじめとする各種電子部品の実装密度の増加、配線パターンの複雑化、LSIの高速化・微細化などが進んでいる。そのため、電子機器を設計するにあたっては、電子機器から放射される電磁ノイズ(以下単に「ノイズ」という)や、外部から進入してくる外来ノイズに対する耐性(イミュニティ)などの、電磁環境適合性(EMC:Electro Magnetic Compatibility)について十分に評価・解析し、EMC性能の高い機器設計を行うことが、より一層重要となっている。   In recent years, advanced functionality has been advanced in all electronic devices such as home appliances / information terminals and electronic control devices for automobiles. On the printed circuit boards that make up electronic devices, the mounting density of various electronic components such as LSIs has increased. Increasing complexity and speeding up / miniaturization of LSIs are progressing. Therefore, when designing electronic equipment, electromagnetic compatibility (EMC) such as electromagnetic noise radiated from the electronic equipment (hereinafter referred to simply as “noise”) and resistance (immunity) to external noise entering from the outside. : Electro Magnetic Compatibility), and it is even more important to design and analyze equipment with high EMC performance.

こういったEMC性能の評価方法の1つとして、電子機器を構成するプリント基板などの評価対象物に外部から進入したノイズ、或いは評価対象物に実装されている電子部品(LSI等)から発生したノイズが、評価対象物内でどのように伝搬しているかというノイズの伝搬経路を可視化し、それに基づいて評価対象物のEMC性能を評価する方法が知られている。   As one of such EMC performance evaluation methods, noise that has entered from an external object to an evaluation object such as a printed circuit board constituting an electronic device or an electronic component (such as an LSI) mounted on the evaluation object is generated. There is known a method of visualizing a noise propagation path indicating how noise propagates in an evaluation object and evaluating the EMC performance of the evaluation object based on the visualization.

そして、ノイズの可視化を容易に行うための具体的方法として、評価対象物に接続されたワイヤハーネスに対し、インジェクションプローブを用いてノイズを印加することで、評価対象物へのノイズ注入を行い、このとき評価対象物から発生するノイズをノイズ可視化用アンテナで検知して、その結果をノイズ強度分布図として表示させる方法が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。   And as a specific method for easily visualizing noise, by applying noise to the wire harness connected to the evaluation object using an injection probe, the noise is injected into the evaluation object, At this time, a method has been proposed in which noise generated from an evaluation object is detected by a noise visualization antenna and the result is displayed as a noise intensity distribution diagram (see, for example, Patent Document 1).

即ち、この方法では、いわゆるBCI(Bulk Current Injection)法と呼ばれる方法により、評価対象物(特許文献1では「試験対象物」と表記)のワイヤハーネスへ空間的にノイズが印加される。一方、評価対象物における検出エリア(スキャンエリア)と対向するように設けられたノイズ可視化用アンテナは、そのスキャンエリア全体に渡って設けられた複数の微小アンテナ素子からなり、これら各微小アンテナによって評価対象物からのノイズが検出される。そして、各微小アンテナによる検出結果に基づき、ノイズ強度分布図が生成される。   That is, in this method, noise is spatially applied to the wire harness of the evaluation object (referred to as “test object” in Patent Document 1) by a so-called BCI (Bulk Current Injection) method. On the other hand, the noise visualization antenna provided so as to face the detection area (scan area) in the evaluation object is composed of a plurality of minute antenna elements provided over the entire scan area, and is evaluated by each of these minute antennas. Noise from the object is detected. Then, a noise intensity distribution diagram is generated based on the detection result by each minute antenna.

しかし、特許文献1に記載されたノイズ可視化方法は、ノイズ可視化用アンテナが、複数の微小アンテナが予めスキャンエリア内に配置されてなるものであるため、ノイズ可視化用アンテナを全体として評価対象物に十分に近接させることができない。しかも、検出制度(分解能)を高くするためにはできる限り短いピッチでノイズを検出するのが好ましいが、複数の微小アンテナを予め配置しておく構成の場合、検出ピッチ(即ち隣接する微小アンテナ相互間の間隔)を小さくするにも限度があり、十分に短いピッチとすることは困難である。   However, in the noise visualization method described in Patent Document 1, since the noise visualization antenna is formed by arranging a plurality of minute antennas in the scan area in advance, the noise visualization antenna as a whole is an evaluation object. Cannot be close enough. Moreover, in order to increase the detection system (resolution), it is preferable to detect noise at a pitch as short as possible. However, in the case of a configuration in which a plurality of minute antennas are arranged in advance, the detection pitch (that is, between adjacent minute antennas) is detected. There is a limit to reducing the interval), and it is difficult to make the pitch sufficiently short.

そのため、ノイズの伝搬経路・強度の空間分解能が低くなり、ノイズの伝搬経路・強度が不明確となるおそれがある。また、微小アンテナの配置間隔に起因する検出感度の強弱によって評価結果(可視化結果)にムラが生じてしまう。しかも、評価対象物へのノイズの印加がインジェクションプローブを用いて空間的に(電磁結合により)行われるため、インジェクションプローブからのノイズの一部がノイズ可視化用アンテナに混入してしまうおそれがあり、検出結果の精度が低くなるおそれがある。   Therefore, the spatial resolution of the noise propagation path / intensity is lowered, and the noise propagation path / intensity may be unclear. In addition, the evaluation result (visualization result) becomes uneven due to the strength of detection sensitivity caused by the arrangement interval of the minute antennas. Moreover, since the application of noise to the evaluation object is performed spatially (by electromagnetic coupling) using the injection probe, a part of the noise from the injection probe may be mixed into the noise visualization antenna. The accuracy of the detection result may be lowered.

これに対し、微小アンテナプローブを被測定プリント基板の二次元平面上に沿って走査させながらノイズを検出し、その検出結果に基づいてノイズ強度分布図を生成する方法が提案されている(例えば、特許文献2参照。)。   On the other hand, a method has been proposed in which noise is detected while scanning a minute antenna probe along a two-dimensional plane of a printed circuit board to be measured, and a noise intensity distribution map is generated based on the detection result (for example, (See Patent Document 2).

特開2001−124808号公報JP 2001-124808 A 特開2000−19204号公報JP 2000-19204 A

特許文献2によるノイズ可視化方法は、微小アンテナプローブを走査させるものであり、短いピッチでノイズ検出を行うことができる。そのため、特許文献1のノイズ可視化方法においても、この特許文献2の方法のように微小アンテナプローブを走査させながらノイズを検出するという方法を採用すれば、空間分解能の低下や評価結果にムラが生じるといった問題はある程度解決される。   The noise visualization method according to Patent Document 2 scans a minute antenna probe and can detect noise at a short pitch. Therefore, even in the noise visualization method of Patent Document 1, if the method of detecting noise while scanning the minute antenna probe as in the method of Patent Document 2 is employed, the spatial resolution is lowered and the evaluation result is uneven. Such a problem is solved to some extent.

しかし、特許文献1のノイズ可視化方法において、たとえ微小アンテナプローブを走査させながらノイズを検出する方法を採用したとしても、インジェクションプローブからのノイズが微小アンテナプローブに混入して検出結果の精度が低下してしまうという問題は依然として解決されず、特に微小アンテナプローブがインジェクションプローブに近づくほどその問題(検出精度の低下)は顕著となる。   However, in the noise visualization method of Patent Document 1, even if a method of detecting noise while scanning the minute antenna probe is adopted, noise from the injection probe is mixed into the minute antenna probe and the accuracy of the detection result is lowered. This problem (decrease in detection accuracy) becomes more prominent as the minute antenna probe is closer to the injection probe.

また、特許文献2の方法は、外部からノイズを注入してその伝搬経路・強度を可視化するというものではなく、単に、被測定プリント基板の動作時に放射されるノイズを検出してその強度分布を可視化するものである。そのため、微小アンテナプローブを二次元平面上において一回走査させれば測定結果が得られる。   In addition, the method of Patent Document 2 does not inject noise from the outside and visualize the propagation path / intensity, but simply detects noise radiated during operation of the printed circuit board to be measured and calculates its intensity distribution. It is to be visualized. Therefore, the measurement result can be obtained by scanning the minute antenna probe once on the two-dimensional plane.

しかし、特許文献1のノイズ可視化方法のように、評価対象物へ外部からノイズを注入してその伝搬経路・強度を可視化する方法では、一般に、複数種類の周波数のノイズを注入して周波数毎にノイズ強度分布を評価することが望まれる。そのような場合に、単に特許文献2のように微小アンテナプローブを走査させながらノイズを検出するという方法を採用しただけでは、注入すべきノイズの周波数の種類が多いほど、評価時間が増加してしまう。   However, in the method of injecting noise from the outside to the evaluation object and visualizing the propagation path / intensity as in the noise visualization method of Patent Document 1, in general, noise of plural kinds of frequencies is injected for each frequency. It is desirable to evaluate the noise intensity distribution. In such a case, simply adopting the method of detecting noise while scanning the micro antenna probe as in Patent Document 2, the more the frequency of noise to be injected, the more the evaluation time increases. End up.

即ち、評価(注入)すべきノイズの周波数が一種類だけであれば、その周波数のノイズを注入させつつ微小アンテナプローブを一回走査させれば、ノイズ強度分布の可視化及びその評価を行うことができる。しかし、評価すべきノイズの周波数が複数あると、その周波数の種類に応じた回数分、微小アンテナプローブを走査させる必要がある。   That is, if there is only one type of noise frequency to be evaluated (injected), the noise intensity distribution can be visualized and evaluated by scanning the micro antenna probe once while injecting noise of that frequency. it can. However, if there are a plurality of noise frequencies to be evaluated, it is necessary to scan the minute antenna probe by the number of times corresponding to the type of the frequency.

通常、1回の走査が行われる間は、検出→移動→検出→移動→検出・・・という動作が繰り返され、しかも検出精度を向上させるために移動ピッチはできる限り短く設定される(即ち検出ポイントが多く設定される)ため、評価対象物全体で一周波数のノイズに対する評価結果を得るだけでも比較的長い時間(例えば半日〜1日)を要する。そのため、注入すべきノイズの周波数が多くなるほど、それに応じて微小アンテナプローブを走査させる回数も増え、全周波数の評価結果を得るための時間は膨大なものとなる。   Normally, the operation of detection → movement → detection → movement → detection ... is repeated during one scan, and the movement pitch is set as short as possible in order to improve the detection accuracy (that is, detection). Since a large number of points are set), it takes a relatively long time (for example, half day to one day) just to obtain an evaluation result for noise of one frequency for the entire evaluation object. Therefore, as the frequency of noise to be injected increases, the number of times the micro antenna probe is scanned increases accordingly, and the time for obtaining the evaluation results of all frequencies becomes enormous.

本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、評価対象物へ外部からノイズを注入したときの評価対象物におけるノイズ伝搬経路を評価するにあたり、空間分解能の高い評価結果を、注入すべきノイズの周波数の種類にかかわらず短時間で、且つ高い精度で得られるようにすることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and in evaluating a noise propagation path in an evaluation object when noise is injected from the outside into the evaluation object, an evaluation result having a high spatial resolution is obtained as a result of the noise to be injected. It is an object of the present invention to obtain a signal with high accuracy in a short time regardless of the type of frequency.

上記課題を解決するためになされた請求項1に記載のノイズ評価方法は、所定周波数の高周波信号を生成すると共に、該高周波信号を、評価対象物における所定の印加部位に対して直接印加し、評価対象物から発生するノイズを検知するためのノイズ検知手段を、評価対象物における予め決められた複数の測定ポイントに順次移動させる。そして、その測定ポイント毎に、測定対象のノイズの周波数を予め決められた一又は複数の測定周波数に順次設定すると共に高周波信号の周波数を測定周波数と同期するように設定して、該順次設定された測定周波数毎に、ノイズ検知手段により検知されたノイズの強度を測定する。そして、測定された強度と測定ポイントとが対応付けられた評価結果を出力する。   The noise evaluation method according to claim 1, which has been made to solve the above problem, generates a high-frequency signal having a predetermined frequency, and directly applies the high-frequency signal to a predetermined application site in the evaluation object. Noise detecting means for detecting noise generated from the evaluation object is sequentially moved to a plurality of predetermined measurement points on the evaluation object. For each of the measurement points, the frequency of the noise to be measured is sequentially set to one or more predetermined measurement frequencies, and the frequency of the high frequency signal is set to be synchronized with the measurement frequency. The intensity of noise detected by the noise detection means is measured for each measurement frequency. And the evaluation result in which the measured intensity | strength and the measurement point were matched is output.

即ち、本発明(請求項1)では、生成した高周波信号を、上述した特許文献1におけるBCI法のように空間的に(電磁結合により)評価対象物へ印加するのではなく、評価対象物の印加部位へ直接印加する。そのため、BCI法において問題となっていた、評価対象物へ印加すべき高周波信号の一部がノイズ検知手段に干渉してノイズ検知手段の検知精度が低下してしまうといった問題の発生を防ぐことができる。   That is, in the present invention (Claim 1), the generated high-frequency signal is not applied spatially (by electromagnetic coupling) to the evaluation object as in the BCI method in Patent Document 1 described above, but instead of the evaluation object. Apply directly to the application site. For this reason, it is possible to prevent the occurrence of a problem that a part of the high-frequency signal to be applied to the evaluation object interferes with the noise detection means and the detection accuracy of the noise detection means decreases, which has been a problem in the BCI method. it can.

また、評価対象物から発生するノイズの検知は、ノイズ検知手段を複数の測定ポイントに順次移動させつつ行う。そのため、測定ポイントを適宜設定することで、高い空間分解能にてノイズの検知・強度測定を行うことができる。   In addition, detection of noise generated from the evaluation object is performed while sequentially moving the noise detection means to a plurality of measurement points. Therefore, it is possible to detect noise and measure intensity with high spatial resolution by appropriately setting measurement points.

しかも、各測定ポイント毎に、測定対象の周波数を予め決められた一又は複数の測定周波数に順次設定すると共に、その設定した測定周波数と同期するように(即ち同じ周波数となるように)高周波信号の周波数も設定する。つまり、1つの測定ポイントにおいて、測定対象の周波数の周波数を高周波信号の周波数と同期させながら上記一又は複数の測定周波数に掃引し、各測定周波数毎のノイズ強度を測定して、次の測定ポイントに移動する。これを、複数の測定ポイント毎に行うのである。   Moreover, for each measurement point, the frequency to be measured is sequentially set to one or a plurality of predetermined measurement frequencies, and the high-frequency signal is synchronized with the set measurement frequency (that is, the same frequency). Also set the frequency. That is, at one measurement point, the frequency of the frequency to be measured is swept to the one or more measurement frequencies while being synchronized with the frequency of the high frequency signal, and the noise intensity at each measurement frequency is measured, and the next measurement point is measured. Move to. This is performed for each of a plurality of measurement points.

そのため、評価対象物に印加すべき高周波信号の周波数が複数種類あっても、ノイズ検知手段を複数の測定ポイントへ順次移動(走査)させる回数は一回で済み、従来のように周波数の種類に応じた回数分走査させる必要はない。   Therefore, even if there are multiple types of high frequency signals to be applied to the evaluation object, the number of times that the noise detection means is sequentially moved (scanned) to the plurality of measurement points is only one, and the frequency types are changed as in the past. There is no need to scan for the corresponding number of times.

従って、請求項1に記載のノイズ評価方法によれば、評価対象物へ外部からノイズ(高周波信号)を印加したときの評価対象物におけるノイズ伝搬経路を評価するにあたり、空間分解能の高い評価結果を、印加する高周波信号の周波数(測定対象の周波数)の種類にかかわらず、短時間で且つ高い精度で得ることができる。   Therefore, according to the noise evaluation method of the first aspect, in evaluating the noise propagation path in the evaluation object when noise (high-frequency signal) is applied from the outside to the evaluation object, an evaluation result with high spatial resolution is obtained. Regardless of the type of frequency (frequency to be measured) of the applied high frequency signal, it can be obtained in a short time and with high accuracy.

次に、請求項2に記載の発明は、所定周波数の高周波信号を生成して評価対象物へ印加する高周波信号生成手段と、評価対象物から発生するノイズを検知するノイズ検知手段と、このノイズ検知手段を、評価対象物における予め決められた複数の測定ポイントに順次移動させる移動手段と、測定ポイント毎に、ノイズ検知手段により検知されたノイズの強度を測定する測定手段と、この測定手段により測定された強度と測定ポイントとが対応付けられた評価結果を出力する評価結果出力手段と、を備えたノイズ評価システムである。   Next, the invention described in claim 2 is a high-frequency signal generating unit that generates a high-frequency signal having a predetermined frequency and applies the high-frequency signal to the evaluation object, a noise detection unit that detects noise generated from the evaluation object, and the noise. A moving means for sequentially moving the detection means to a plurality of predetermined measurement points in the evaluation object, a measurement means for measuring the intensity of noise detected by the noise detection means for each measurement point, and the measurement means An evaluation result output unit that outputs an evaluation result in which a measured intensity and a measurement point are associated with each other.

そして、測定ポイント毎に、測定手段における測定対象の周波数を、予め決められた一又は複数の測定周波数に順次設定する測定周波数設定手段と、高周波信号生成手段が生成する高周波信号の周波数を、測定周波数設定手段が設定した測定周波数と同期するように設定する高周波信号周波数設定手段と、を備えている。   Then, for each measurement point, the measurement frequency setting means for sequentially setting the frequency to be measured in the measurement means to one or more predetermined measurement frequencies, and the frequency of the high frequency signal generated by the high frequency signal generation means are measured. High-frequency signal frequency setting means for setting so as to synchronize with the measurement frequency set by the frequency setting means.

更に、高周波信号生成手段は、評価対象物において高周波信号が印加される所定の印加部位に対し、高周波信号が該印加部位へ直接印加されるように接続されている。
従って、このように構成された請求項2に記載のノイズ評価システムによれば、請求項1に記載のノイズ評価方法を実現でき、請求項1と同様の効果を得ることができる。
Further, the high-frequency signal generating means is connected to a predetermined application site to which the high-frequency signal is applied in the evaluation object so that the high-frequency signal is directly applied to the application site.
Therefore, according to the noise evaluation system according to claim 2 configured as described above, the noise evaluation method according to claim 1 can be realized, and the same effect as in claim 1 can be obtained.

ここで、評価対象物に対して具体的にどの部位に高周波信号を印加するか、即ちどこを印加部位とするかについては、適宜設定することができ、例えば請求項3に記載のように、評価対象物が、当該評価対象物を動作させる際に外部と電気的に接続されるインタフェース部を備えた構成である場合には、そのインタフェース部を印加部位としてもよいし、例えば請求項4に記載のように、評価対象物が、所定の配線パターンが形成されたプリント基板である場合には、その配線パターンにおける所定の部位を印加部位としてもよい。   Here, it is possible to appropriately set which part to apply the high frequency signal to the evaluation object, that is, which part is the application part. For example, as described in claim 3, When the evaluation object has a configuration including an interface unit that is electrically connected to the outside when the evaluation object is operated, the interface unit may be an application site. As described, when the evaluation target is a printed circuit board on which a predetermined wiring pattern is formed, a predetermined part in the wiring pattern may be set as the application part.

前者(請求項3)の場合、インタフェース部に高周波信号が印加され、その印加された高周波信号が評価対象物内でどのように伝搬するかを評価することができる。そのため、外部からインタフェース部を介して入力される外来ノイズに対する耐性を適切に評価することができる。   In the former case (Claim 3), a high frequency signal is applied to the interface unit, and it is possible to evaluate how the applied high frequency signal propagates in the evaluation object. Therefore, it is possible to appropriately evaluate the resistance against external noise input from the outside via the interface unit.

後者(請求項4)の場合、配線パターンにおける所定の部位に印加された高周波信号がプリント基板上をどのように伝搬するかを評価することができる。そのため、配線パターン上に実際に回路が形成された場合にその回路を構成する回路素子等から生じるノイズがプリント基板上をどのように伝搬するのかといった、評価対象物内で発生するノイズの伝搬性能の評価を、適切に行うことができる。   In the latter case (Claim 4), it is possible to evaluate how a high-frequency signal applied to a predetermined part in the wiring pattern propagates on the printed circuit board. Therefore, when a circuit is actually formed on the wiring pattern, the propagation performance of the noise generated in the evaluation object, such as how the noise generated from the circuit elements constituting the circuit propagates on the printed circuit board Can be appropriately evaluated.

そして、そのように配線パターンにおける所定の部位を印加部位とする場合は、更に、請求項5のように構成してもよい。即ち、請求項5に記載の発明は、請求項4に記載のノイズ評価システムであって、高周波信号生成手段からの高周波信号は平衡モードの信号であり、高周波信号生成手段からの高周波信号を不平衡モードの信号に変換する平衡不平衡変換手段を備えている。そして、高周波信号生成手段からの高周波信号は、印加部位に対し、平衡不平衡変換手段により不平衡モードに変換されて印加される。   Further, in the case where the predetermined part in the wiring pattern is used as the application part, it may be configured as in claim 5. That is, the invention according to claim 5 is the noise evaluation system according to claim 4, wherein the high-frequency signal from the high-frequency signal generating means is a balanced mode signal, and the high-frequency signal from the high-frequency signal generating means is not used. Balance-unbalance conversion means for converting the signal into a balanced mode signal is provided. Then, the high frequency signal from the high frequency signal generating means is applied to the application site after being converted into the unbalanced mode by the balanced / unbalanced converting means.

即ち、高周波信号の印加対象がプリント基板上の配線パターンである場合、その印加対象のモードは不平衡モードである場合が一般的である。これに対し、印加される高周波信号が平衡モードの信号である場合、これをそのまま印加部位へ印加すると、周知の通り、平衡・不平衡のモード不一致による電力損失等の種々の問題が生じる。   That is, when the application target of the high frequency signal is a wiring pattern on a printed circuit board, the application target mode is generally an unbalanced mode. On the other hand, when the applied high-frequency signal is a balanced mode signal, if it is applied to the application site as it is, various problems such as power loss due to mismatch between balanced and unbalanced modes occur as is well known.

そこで、平衡モードの高周波信号を不平衡モードに変換して配線パターンの印加部位へ印加するようにすれば、印加部位が不平衡モードである場合にこれと同じモードの高周波信号が印加されることになるため、より好ましい。   Therefore, if the high-frequency signal in the balanced mode is converted to the unbalanced mode and applied to the application site of the wiring pattern, the high-frequency signal in the same mode is applied when the application site is in the unbalanced mode. Therefore, it is more preferable.

ところで、プリント基板に形成される種々の回路において近年特に問題となっているのが、回路を構成する特定の部品(例えば半導体集積回路)の内部から発生するノイズである。通常、半導体集積回路が発生するノイズがプリント基板上をどのように伝搬するかを評価するにあたっては、プリント基板上に半導体集積回路を実装して動作させた状態で評価する必要がある。しかし、そのような評価方法では、半導体集積回路の性能とプリント基板の性能とを分離して評価することは困難である。   By the way, noises generated from the inside of specific parts (for example, semiconductor integrated circuits) constituting a circuit have become particularly problematic in various circuits formed on a printed circuit board in recent years. Usually, when evaluating how noise generated by a semiconductor integrated circuit propagates on a printed circuit board, it is necessary to evaluate the semiconductor integrated circuit mounted on the printed circuit board and operating. However, with such an evaluation method, it is difficult to separately evaluate the performance of the semiconductor integrated circuit and the performance of the printed circuit board.

そこで、例えば請求項6に記載のように、プリント基板が、複数の端子を有する半導体集積回路が搭載されるよう構成されていると共に、配線パターンとして、該複数の端子が接続される端子接続部が形成されている場合、その端子接続部を印加部位として高周波信号を印加するようにするとよい。   Therefore, for example, as described in claim 6, the printed circuit board is configured to mount a semiconductor integrated circuit having a plurality of terminals, and a terminal connection portion to which the plurality of terminals are connected as a wiring pattern Is formed, the high frequency signal may be applied using the terminal connection portion as an application site.

このように、プリント基板における半導体集積回路の端子接続部に高周波信号を印加するようにすれば、半導体集積回路から発生するノイズを高周波信号で模擬させ、その高周波信号がプリント基板上をどのように伝搬するか等を評価することができる。そのため、半導体集積回路から発生するノイズに対するプリント基板単体の性能を、半導体集積回路を分離して評価することが可能となる。   In this way, if a high frequency signal is applied to the terminal connection portion of the semiconductor integrated circuit on the printed circuit board, the noise generated from the semiconductor integrated circuit is simulated by the high frequency signal, and how the high frequency signal is transmitted on the printed circuit board. It is possible to evaluate whether or not to propagate. Therefore, it is possible to evaluate the performance of the printed circuit board alone with respect to noise generated from the semiconductor integrated circuit by separating the semiconductor integrated circuit.

次に、請求項7に記載の発明は、請求項2〜請求項6の何れか1項に記載のノイズ評価システムであって、高周波信号生成手段と印加部位との間に設けられ、高周波信号に所定の直流バイアスを加える直流バイアス付加手段を備えている。   Next, a seventh aspect of the present invention is the noise evaluation system according to any one of the second to sixth aspects, wherein the high-frequency signal is provided between the high-frequency signal generating means and the application site. DC bias adding means for applying a predetermined DC bias is provided.

このように構成された請求項7に記載のノイズ評価システムによれば、直流バイアスが付加された高周波信号を評価対象物へ印加することができるため、評価対象物が実際に動作している際の印加部位の電圧が定常的に0V以外の所定の電圧である場合(例えば直流電源が入力される電源ラインなど)は、印加部位にその電圧の直流バイアスを付加しつつその直流バイアスに高周波信号を重畳させることができる。そのため、定常時に印加部位へ入力される電圧にノイズが重畳した状態を再現することができ、実際の動作状態と同等の条件でノイズ伝搬経路の評価を行うことができるため、より精度の高い評価結果を得ることができる。   According to the noise evaluation system according to claim 7 configured as described above, since the high-frequency signal to which the DC bias is applied can be applied to the evaluation object, the evaluation object is actually operating. When the voltage at the application site is a predetermined voltage other than 0V (for example, a power supply line to which a DC power supply is input), a high-frequency signal is applied to the DC bias while adding a DC bias of the voltage to the application site. Can be superimposed. Therefore, it is possible to reproduce the state in which noise is superimposed on the voltage input to the application site during steady state, and the noise propagation path can be evaluated under the same conditions as the actual operating state. The result can be obtained.

次に、請求項8に記載の発明は、請求項2〜請求項7の何れか1項に記載のノイズ評価システムであって、高周波信号生成手段と印加部位との間に設けられ、高周波信号出力回路から出力された高周波信号のうち実際に印加部位から評価対象物内へ入力された入力量を計測する入力量計測手段を備えている。   Next, the invention according to claim 8 is the noise evaluation system according to any one of claims 2 to 7, wherein the system is provided between the high-frequency signal generating means and the application site, and the high-frequency signal is provided. Of the high-frequency signal output from the output circuit, an input amount measuring means for measuring the input amount actually input from the application site into the evaluation object is provided.

高周波信号生成手段から出力された高周波信号が実際にどれだけ評価対象物へ入力されるかは、印加部位からみた評価対象物内のインピーダンスや、高周波信号が伝送される伝送系のインピーダンス等によって異なる。しかも、それら各インピーダンスは周波数特性を有し、周波数によって異なる。そのため、印加する高周波信号の周波数によって、実際に評価対象物へ入力される高周波信号の入力量も異なる。   How much the high-frequency signal output from the high-frequency signal generator is actually input to the evaluation object depends on the impedance in the evaluation object viewed from the application site, the impedance of the transmission system through which the high-frequency signal is transmitted, and the like. . Moreover, each of these impedances has a frequency characteristic and varies depending on the frequency. Therefore, the input amount of the high-frequency signal that is actually input to the evaluation object varies depending on the frequency of the applied high-frequency signal.

そこで、請求項8に記載のように、実際に評価対象物へ入力された入力量を計測するようにすれば、測定手段により測定された強度を上記入力量と対応付けて評価でき、例えば、周波数毎に測定された強度を入力量で正規化するといったこともでき、周波数毎のノイズ強度の相対的評価をより適切に行うことができるようになる。   Therefore, as described in claim 8, if the input amount actually input to the evaluation object is measured, the intensity measured by the measuring means can be evaluated in association with the input amount. For example, It is also possible to normalize the intensity measured for each frequency by the input amount, and it becomes possible to more appropriately perform relative evaluation of the noise intensity for each frequency.

次に請求項9に記載の発明は、請求項2〜請求項8の何れか1項に記載のノイズ評価システムであって、測定手段として機能するスペクトラムアナライザと、高周波信号生成手段として機能するトラッキングジェネレータと、を備え、トラッキングジェネレータは、高周波信号周波数設定手段と共にスペクトラムアナライザに内蔵されている。   Next, a ninth aspect of the invention is the noise evaluation system according to any one of the second to eighth aspects, wherein the spectrum analyzer functions as a measurement unit and the tracking functions as a high-frequency signal generation unit. The tracking generator is built in the spectrum analyzer together with the high-frequency signal frequency setting means.

つまり、ノイズ検知手段により検知されたノイズの強度を、トラッキングジェネレータ内蔵のスペクトラムアナライザを用いて計測する。スペクトラムアナライザに内蔵されたトラッキングジェネレータは、一般に、スペクトラムアナライザにおける測定対象の周波数と同期した(同じ)周波数の高周波信号を生成する。   That is, the intensity of noise detected by the noise detection means is measured using a spectrum analyzer with a built-in tracking generator. A tracking generator built in a spectrum analyzer generally generates a high-frequency signal having a frequency that is synchronized with (same as) a frequency to be measured in the spectrum analyzer.

そのため、このようにトラッキングジェネレータ内蔵のスペクトラムアナライザを用いれば、本発明のノイズ評価システムをより簡易的に構成でき、評価を効率的に行うことができる。   Therefore, if a spectrum analyzer with a built-in tracking generator is used in this way, the noise evaluation system of the present invention can be configured more simply and evaluation can be performed efficiently.

次に、請求項10に記載の発明は、請求項2〜請求項9の何れか1項に記載のノイズ評価システムであって、評価結果出力手段は、評価結果を、測定ポイント毎の強度分布を視覚的に認識可能に表現された状態で出力する。   Next, the invention according to claim 10 is the noise evaluation system according to any one of claims 2 to 9, wherein the evaluation result output means outputs the evaluation result to the intensity distribution for each measurement point. Is output in a state that is visually recognizable.

このように構成された請求項10に記載のノイズ評価システムによれば、測定ポイント毎のノイズ強度分布が可視化された評価結果を得ることができるため、評価対象物におけるノイズ強度分布を視覚的に容易に把握することができる。   According to the noise evaluation system according to claim 10 configured as described above, an evaluation result in which the noise intensity distribution for each measurement point is visualized can be obtained. Therefore, the noise intensity distribution in the evaluation object can be visually determined. It can be easily grasped.

第1実施形態のノイズ評価システムの概略構成を表す構成図である。It is a block diagram showing schematic structure of the noise evaluation system of 1st Embodiment. PCが実行するノイズ伝搬可視化制御処理を表すフローチャートである。It is a flowchart showing the noise propagation visualization control process which PC performs. ノイズ強度分布図を表す図であり、(a)は本発明のノイズ可視化法を適用した場合のノイズ強度分布図、(b)は従来のノイズ可視化法を適用した場合のノイズ強度分布図である。It is a figure showing a noise intensity distribution figure, (a) is a noise intensity distribution figure at the time of applying the noise visualization method of this invention, (b) is a noise intensity distribution figure at the time of applying the conventional noise visualization method. . 第2実施形態のノイズ評価システムの概略構成を表す構成図である。It is a block diagram showing schematic structure of the noise evaluation system of 2nd Embodiment. 第3実施形態のノイズ評価システムの概略構成を表す構成図である。It is a block diagram showing schematic structure of the noise evaluation system of 3rd Embodiment.

以下に、本発明の好適な実施形態を図面に基づいて説明する。
[第1実施形態]
図1に、本実施形態のノイズ評価システムの概略構成を示す。図1に示すように、本実施形態のノイズ評価システム1は、外来ノイズの伝搬経路を可視化し、これに基づいてノイズ耐性性能を評価することを目的として構成されたものであり、主として、評価対象物11と、この評価対象物11に印加するノイズ信号(高周波信号)を生成するシグナルジェネレータ(SG)12と、評価対象物11から発生するノイズを検知するプローブ17と、このプローブ17により検知された検知信号に基づいてノイズの強度を測定するスペクトラムアナライザ21と、プローブ17を支持する支持部18と、この支持部18を移動させることによりプローブ17を評価対象物11上の所定の測定ポイントに移動させる駆動機構19と、この駆動機構19を駆動するための駆動信号を出力する位置コントローラ20と、この位置コントローラ20を介してプローブ17の位置を制御すると共に、スペクトラムアナライザ21及びシグナルジェネレータ12を制御し、スペクトラムアナライザ21から入力される測定データに基づいてノイズ伝搬経路の評価結果(ノイズ強度分布図)を表示・出力するパーソナルコンピュータ(PC)23と、を備えている。
Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[First Embodiment]
FIG. 1 shows a schematic configuration of the noise evaluation system of the present embodiment. As shown in FIG. 1, the noise evaluation system 1 of the present embodiment is configured for the purpose of visualizing the propagation path of external noise and evaluating the noise resistance performance based on this, and is mainly evaluated. An object 11, a signal generator (SG) 12 that generates a noise signal (high frequency signal) to be applied to the evaluation object 11, a probe 17 that detects noise generated from the evaluation object 11, and a detection by this probe 17 The spectrum analyzer 21 that measures the noise intensity based on the detected signal, the support 18 that supports the probe 17, and the probe 17 is moved to a predetermined measurement point on the evaluation object 11 by moving the support 18. And a position controller 2 that outputs a drive signal for driving the drive mechanism 19. The position of the probe 17 is controlled via the position controller 20 and the spectrum analyzer 21 and the signal generator 12 are controlled. Based on the measurement data input from the spectrum analyzer 21, the noise propagation path evaluation result (noise intensity) And a personal computer (PC) 23 that displays and outputs a distribution map.

評価対象物11は、例えば、所定の配線パターンが形成されたプリント基板上に各種電子部品が実装されることにより特定の機能を有する回路が形成された電子機器(プリント回路板)であり、その端部にはコネクタ16が設けられている。このコネクタ16は、この電子機器へ電源を供給するための電源端子や、この電子機器と外部機器・回路等との間で各種信号の入出力を行うための信号入出力端子などを有している。つまり、評価対象物11は、実際に動作する際、このコネクタ16を介して電源供給を受けたり信号の入出力を行ったりするよう構成されている。   The evaluation object 11 is, for example, an electronic device (printed circuit board) in which a circuit having a specific function is formed by mounting various electronic components on a printed board on which a predetermined wiring pattern is formed. A connector 16 is provided at the end. The connector 16 has a power supply terminal for supplying power to the electronic device and a signal input / output terminal for inputting / outputting various signals between the electronic device and external devices / circuits. Yes. That is, the evaluation object 11 is configured to receive power supply and input / output signals through the connector 16 when actually operating.

そして、本実施形態では、この評価対象物11に対してシグナルジェネレータ12からのノイズ信号が印加されるが、このノイズ信号の印加も、コネクタ16における一又は複数の所定の端子に対して印加される。   In the present embodiment, a noise signal from the signal generator 12 is applied to the evaluation object 11, and this noise signal is also applied to one or a plurality of predetermined terminals in the connector 16. The

また、評価対象物11は、設置台26の上に、スペーサ27,28を介して固定されている。
シグナルジェネレータ12は、PC23からのSG制御信号に従ってノイズ信号を生成する。PC23からのSG制御信号は、生成すべきノイズ信号の周波数を示すものである。そのため、シグナルジェネレータは、SG制御信号が示す周波数のノイズ信号を生成する。
In addition, the evaluation object 11 is fixed on the installation table 26 via spacers 27 and 28.
The signal generator 12 generates a noise signal according to the SG control signal from the PC 23. The SG control signal from the PC 23 indicates the frequency of the noise signal to be generated. Therefore, the signal generator generates a noise signal having a frequency indicated by the SG control signal.

シグナルジェネレータ12にて生成されるノイズ信号は比較的微弱なレベルである。そのため、本実施形態では、シグナルジェネレータ12から出力されたノイズ信号を、増幅器(Amp)13にて所定の増幅率で増幅している。   The noise signal generated by the signal generator 12 is at a relatively weak level. Therefore, in the present embodiment, the noise signal output from the signal generator 12 is amplified by the amplifier (Amp) 13 at a predetermined amplification factor.

更に、増幅器13から評価対象物11のコネクタ16に至る伝送経路上には、方向性結合器14及びバイアスティ15が接続されている。
方向性結合器14は、シグナルジェネレータ12から出力されたノイズ信号のうち、コネクタ16を介して実際に評価対象物11内に入力された入力量を計測するために設けられており、進行波電力を計測する電力計測器32と、反射波電力を計測する電力計測器33が、それぞれ接続されている。これら各電力計測器32,33による計測結果に基づき、評価対象物11内に実際に入力されたノイズ信号の入力量を定量的に把握することができる。なお本実施形態における各電力計測器32,33は、いずれも、パワーセンサ及びパワーメータにより構成されたものである。
Further, a directional coupler 14 and a bias tee 15 are connected on the transmission path from the amplifier 13 to the connector 16 of the evaluation object 11.
The directional coupler 14 is provided to measure the amount of noise signal output from the signal generator 12 and actually input into the evaluation object 11 via the connector 16. A power measuring device 32 for measuring the power and a power measuring device 33 for measuring the reflected wave power are connected to each other. Based on the measurement results of the power measuring devices 32 and 33, the input amount of the noise signal actually input into the evaluation object 11 can be grasped quantitatively. Note that each of the power measuring instruments 32 and 33 in the present embodiment is configured by a power sensor and a power meter.

バイアスティ15は、所定電圧値の直流バイアスを生成する直流バイアス生成部(DC)31を備え、この直流バイアス生成部31からの直流バイアスがコイルL1を介してノイズ信号の伝送経路上に重畳される。また、シグナルジェネレータ12から増幅器13及び方向性結合器14を介して伝送されてきたノイズ信号をコネクタ16側へ出力すると共に直流バイアス生成部31からの直流バイアスが方向性結合器14側に流入しないようにするための、カップリングコンデンサC1を備えている。   The bias tee 15 includes a direct-current bias generator (DC) 31 that generates a direct-current bias having a predetermined voltage value. The direct-current bias from the direct-current bias generator 31 is superimposed on the noise signal transmission path via the coil L1. The Further, the noise signal transmitted from the signal generator 12 via the amplifier 13 and the directional coupler 14 is output to the connector 16 side, and the DC bias from the DC bias generator 31 does not flow into the directional coupler 14 side. For this purpose, a coupling capacitor C1 is provided.

このバイアスティ15により、シグナルジェネレータ12からのノイズ信号と直流バイアス生成部31からの直流バイアスが重畳され、直流バイアスを含むノイズ信号(逆に言えばノイズ信号が重畳した直流電圧)が評価対象物11のコネクタ16に印加されることとなる。   The bias tee 15 superimposes the noise signal from the signal generator 12 and the DC bias from the DC bias generator 31, and the noise signal including the DC bias (in other words, the DC voltage on which the noise signal is superimposed) is evaluated. 11 is applied to the connector 16.

このバイアスティ15から出力される、直流バイアスを含むノイズ信号は、コネクタ16において、例えば、評価対象物11が実際に動作する際に電源が供給される電源端子に印加される。そのため、直流バイアス生成部31は、評価対象物11が通常動作する際にその電源端子に入力される電源電圧と同じ電圧の直流バイアスを生成する。このように、実際の動作時に印加される電源電圧と同じ直流バイアスをノイズ信号と共に印加することにより、実際の動作時に電源端子からノイズ信号が混入した状態を再現することができる。   A noise signal including a direct current bias output from the bias tee 15 is applied to a power supply terminal to which power is supplied in the connector 16 when the evaluation object 11 actually operates, for example. Therefore, the DC bias generation unit 31 generates a DC bias having the same voltage as the power supply voltage input to the power supply terminal when the evaluation object 11 normally operates. As described above, by applying the same DC bias as the power supply voltage applied during the actual operation together with the noise signal, it is possible to reproduce a state in which the noise signal is mixed from the power supply terminal during the actual operation.

なお、このようにバイアスティ15を用いて直流バイアスを重畳させるのは必須ではなく、実際の動作時に定常的に直流電圧が印加されないような端子(例えばグランド端子や信号入出力端子など)であれば直流バイアスは不要である。また、ノイズ信号の印加部位が、例えば電源端子のように通常の動作時に直流電圧が印可されるような部位であっても、必ずしも直流バイアスを重畳させなくてもよく、ノイズ信号のみを印加するようにしてもよい。   Note that it is not essential to superimpose a DC bias using the bias tee 15 as described above, and any terminal (for example, a ground terminal or a signal input / output terminal) to which a DC voltage is not constantly applied during actual operation. DC bias is not necessary. Further, even if the application part of the noise signal is a part where a DC voltage is applied during normal operation, such as a power supply terminal, for example, it is not always necessary to superimpose a DC bias, and only the noise signal is applied. You may do it.

直流バイアスを重畳させずにノイズ信号のみを印加させる場合は、バイアスティ15をそのまま取り除くか、或いは、カップリングコンデンサC1のみ接続するようにするとよい。   In the case where only the noise signal is applied without superimposing the DC bias, the bias tee 15 may be removed as it is, or only the coupling capacitor C1 may be connected.

このように、本実施形態のノイズ評価システム1では、上述した特許文献1におけるBCI法のようにノイズ信号を空間的に(電磁結合により)評価対象物11へ印加するのではなく、増幅器13、方向性結合器14、バイアスティ15を介して、有線にて直接伝送し、コネクタ16に直接印加するようにしている。   Thus, in the noise evaluation system 1 of the present embodiment, the noise signal is not applied spatially (by electromagnetic coupling) to the evaluation object 11 as in the BCI method in Patent Document 1 described above. The signal is directly transmitted by wire via the directional coupler 14 and the bias tee 15 and directly applied to the connector 16.

次に、プローブ17は、評価対象物11から発生するノイズを検知するための、例えば微小ループアンテナによって構成されたものである。プローブ17の具体的構成は多種多様であり、例えば、ノイズとして電界のみを測定できればよい場合は電界測定用のプローブを用いても良いし、ノイズとして磁界のみを測定できればよい場合は磁界測定用のプローブを用いても良いし、電界及び磁界の双方を測定する必要がある場合はその双方を測定可能なプローブを用いれば良く、具体的にどのような構成・性能のプローブを用いるかについては評価目的等に応じて適宜決めればよい。   Next, the probe 17 is constituted by, for example, a minute loop antenna for detecting noise generated from the evaluation object 11. There are a variety of specific configurations of the probe 17. For example, when only an electric field can be measured as noise, an electric field measurement probe may be used. When only a magnetic field can be measured as noise, the probe 17 is used for magnetic field measurement. A probe may be used, and if both electric and magnetic fields need to be measured, a probe capable of measuring both of them may be used. Specifically, the configuration and performance of the probe are evaluated. What is necessary is just to determine suitably according to the objective.

プローブ17により検知されたノイズを示す検知信号は、信号ケーブル22を介してスペクトラムアナライザ21に入力される。
また、プローブ17は、支持部18により支持されており、この支持部18及びこの支持部18を駆動する駆動機構19により構成される可動テーブル10によって、支持部18と共に移動可能に構成されている。
A detection signal indicating noise detected by the probe 17 is input to the spectrum analyzer 21 via the signal cable 22.
The probe 17 is supported by a support portion 18 and is configured to be movable together with the support portion 18 by a movable table 10 including the support portion 18 and a driving mechanism 19 that drives the support portion 18. .

具体的には、図1の一点鎖線内に示すように、評価対象物11上における所定の測定領域内を、X方向,Y方向,及びZ方向にそれぞれ移動可能であり、且つ、θ方向に回転することも可能である。つまり、本実施形態の可動テーブル10は、XYZθ型ステージとして構成されている。なお、X方向及びY方向は、評価対象物11に対して平行(即ち評価対象物11を構成するプリント基板の板面に平行)であり、Z方向は、評価対象物11に対して垂直(即ち評価対象物11を構成するプリント基板の板面に垂直)である。   Specifically, as shown in the one-dot chain line in FIG. 1, it can move in a predetermined measurement area on the evaluation object 11 in the X direction, the Y direction, and the Z direction, respectively, and in the θ direction. It is also possible to rotate. That is, the movable table 10 of this embodiment is configured as an XYZθ type stage. The X direction and the Y direction are parallel to the evaluation object 11 (that is, parallel to the plate surface of the printed circuit board constituting the evaluation object 11), and the Z direction is perpendicular to the evaluation object 11 ( That is, it is perpendicular to the plate surface of the printed circuit board constituting the evaluation object 11.

可動テーブル10によるプローブ17のX,Y,Z,θ方向の移動は、PC23からの位置(X,Y,X,θ)制御信号に基づき、位置コントローラ20が駆動機構19へ駆動信号を出力することにより行われる。   When the movable table 10 moves the probe 17 in the X, Y, Z, and θ directions, the position controller 20 outputs a drive signal to the drive mechanism 19 based on a position (X, Y, X, θ) control signal from the PC 23. Is done.

一方、評価対象物11における、プローブ17によるノイズ検知が行われる位置(測定ポイント)は、評価対象物11と平行な二次元平面(X−Y面)における所定の測定範囲内において予め複数の測定ポイントが設定されている。具体的には、測定範囲内においてX方向に等間隔でn列、Y方向に等間隔でm行、の測定ポイントが予め設定されている。勿論、この測定ポイントの数や間隔、位置などは適宜決めることができる。   On the other hand, the position (measurement point) at which noise detection by the probe 17 is performed on the evaluation object 11 is performed in advance within a predetermined measurement range on a two-dimensional plane (XY plane) parallel to the evaluation object 11. Points are set. Specifically, measurement points of n columns at equal intervals in the X direction and m rows at equal intervals in the Y direction are preset in the measurement range. Of course, the number, interval, and position of the measurement points can be determined as appropriate.

そのため、プローブ17によるノイズ検知が行われる際は、プローブ17がこれら複数の測定ポイントに順次移動される。
なお、本実施形態の可動テーブル10は、Z方向(詳しくは評価対象物11へ向かう下方向)への移動については接触感知型の移動機構となっている。即ち、測定ポイントへ移動される毎に、その測定ポイントにおいて、プローブ17が評価対象物11へ当接するまで下方向へ移動される。そして、プローブ17が評価対象物11へ接触したことが検知されると、そこで下方向への移動が停止されると共に、その停止位置から所定距離(微小な距離)だけ上方向へ移動されて停止する。このように上下方向の移動に関しては接触感知型となっているため、測定ポイント毎に、Z方向においてプローブ17を評価対象物11へ最大限接近させることができ、感度の高いノイズ検知が可能となっている。
Therefore, when noise detection by the probe 17 is performed, the probe 17 is sequentially moved to the plurality of measurement points.
Note that the movable table 10 of the present embodiment is a contact-sensitive moving mechanism for movement in the Z direction (specifically, the downward direction toward the evaluation object 11). That is, every time the measurement point is moved, the probe 17 is moved downward at the measurement point until the probe 17 comes into contact with the evaluation object 11. When it is detected that the probe 17 has come into contact with the evaluation object 11, the downward movement is stopped there, and the movement is stopped upward by a predetermined distance (a minute distance) from the stop position. To do. As described above, since the movement in the vertical direction is a contact sensing type, the probe 17 can be made to approach the evaluation object 11 as much as possible in the Z direction for each measurement point, and highly sensitive noise detection is possible. It has become.

また、本実施形態では、プローブ17が、X,Y,Z方向だけでなくθ方向にも移動(回転)できるように構成されている。これは、プローブ17が指向性を有しているからである。そのため、1つの測定ポイントにおいてθ方向の位置(角度)を変えてノイズを検知し、θ毎のノイズ強度を取得して、例えば最もレベルの高いデータをその測定ポイントでのノイズ強度とするなどの適切なデータ処理を行うことで、各測定ポイントにおいて精度の高い測定結果が得られるようになっている。   In the present embodiment, the probe 17 is configured to move (rotate) not only in the X, Y, and Z directions but also in the θ direction. This is because the probe 17 has directivity. Therefore, noise is detected by changing the position (angle) in the θ direction at one measurement point, and the noise intensity for each θ is acquired, for example, the highest level data is set as the noise intensity at the measurement point. By performing appropriate data processing, highly accurate measurement results can be obtained at each measurement point.

スペクトラムアナライザ21は、プローブ17にて検知されたノイズの周波数特性を測定可能な周知の測定器であり、本実施形態では、PC23からのスペアナ制御信号に基づいてその動作が制御される。具体的には、PC23から、スペアナ制御信号として、測定対象の周波数を示すデータが入力されるため、スペクトラムアナライザ21は、そのデータに従って、検知されたノイズにおける、その設定された周波数成分の強度を測定する。そして、その測定データ(ノイズ強度)を、設定周波数データと共にPC23へ出力する。   The spectrum analyzer 21 is a well-known measuring instrument that can measure the frequency characteristics of noise detected by the probe 17. In this embodiment, the operation of the spectrum analyzer 21 is controlled based on a spectrum control signal from the PC 23. Specifically, since data indicating the frequency to be measured is input as the spectrum analyzer control signal from the PC 23, the spectrum analyzer 21 determines the intensity of the set frequency component in the detected noise according to the data. taking measurement. Then, the measurement data (noise intensity) is output to the PC 23 together with the set frequency data.

PC23は、評価対象物11のノイズ耐性性能の評価を行うにあたって必要な各種処理を行うものであり、主として、位置コントローラ20へ位置制御信号を出力することによる、プローブ17の各測定ポイントへの順次移動の制御、スペクトラムアナライザ21へスペアナ制御信号を出力することによる、スペクトラムアナライザ21におけるノイズ強度測定の制御、シグナルジェネレータ12へSG制御信号を出力することによる、シグナルジェネレータ12にて生成されるノイズ信号の周波数制御、及び、スペクトラムアナライザ21から入力された測定データの処理(ノイズ強度分布図の作成など)を行う。   The PC 23 performs various processes necessary for evaluating the noise immunity performance of the evaluation object 11, and mainly outputs the position control signal to the position controller 20, thereby sequentially applying the probe 17 to each measurement point. Control of movement, control of noise intensity measurement in spectrum analyzer 21 by outputting spectrum analyzer control signal to spectrum analyzer 21, noise signal generated by signal generator 12 by outputting SG control signal to signal generator 12 Frequency control and processing of measurement data input from the spectrum analyzer 21 (creation of a noise intensity distribution diagram, etc.) are performed.

本実施形態では、評価対象物11へ印加すべきノイズ信号の周波数が予め複数種類設定されており、PC23は、スペクトラムアナライザ21における測定周波数と、シグナルジェネレータ12にて生成されるノイズ信号の周波数が同じになるよう、双方の周波数の同期制御を行う。即ち、PC23は、スペクトラムアナライザ21へスペアナ制御信号としてある測定周波数を設定した場合、その測定周波数の設定と共に、シグナルジェネレータ12に対し、スペクトラムアナライザ21に設定した測定周波数と同じ周波数のノイズ信号を生成すべき旨のSG制御信号を出力する。つまり、スペクトラムアナライザ21による測定周波数とシグナルジェネレータ12によるノイズ信号の周波数とを同期させる。   In the present embodiment, a plurality of types of frequencies of the noise signal to be applied to the evaluation object 11 are set in advance, and the PC 23 has the frequency measured by the spectrum analyzer 21 and the frequency of the noise signal generated by the signal generator 12. Synchronous control of both frequencies is performed so as to be the same. That is, when setting a measurement frequency as a spectrum analyzer control signal to the spectrum analyzer 21, the PC 23 generates a noise signal having the same frequency as the measurement frequency set in the spectrum analyzer 21 together with the setting of the measurement frequency. The SG control signal indicating that it should be output. That is, the measurement frequency by the spectrum analyzer 21 and the frequency of the noise signal by the signal generator 12 are synchronized.

更に、PC23は、1つの測定ポイント毎に、スペクトラムアナライザ21における測定周波数を、上記複数種類の測定周波数に順次設定(掃引)する。そのため、そのスペクトラムアナライザ21における測定周波数の掃引に同期して、シグナルジェネレータ12で生成されるノイズ信号の周波数も掃引されることになる。   Further, the PC 23 sequentially sets (sweeps) the measurement frequency in the spectrum analyzer 21 to the plurality of types of measurement frequencies for each measurement point. Therefore, the frequency of the noise signal generated by the signal generator 12 is also swept in synchronization with the measurement frequency sweep in the spectrum analyzer 21.

そして、1つの測定ポイントにおいて、全ての測定周波数について測定データが得られた後に、PC23は、プローブ17を次の測定ポイントへ移動させる。そして、その移動後の測定ポイントにおいても、同様に、シグナルジェネレータ12におけるノイズ信号の周波数と同期させつつスペクトラムアナライザ21における測定周波数を掃引させて、測定周波数毎のノイズ強度の測定データを取得する。   After the measurement data is obtained for all measurement frequencies at one measurement point, the PC 23 moves the probe 17 to the next measurement point. Similarly, at the measurement point after the movement, the measurement frequency in the spectrum analyzer 21 is swept in synchronization with the frequency of the noise signal in the signal generator 12 to obtain measurement data of noise intensity for each measurement frequency.

つまり、本実施形態では、測定周波数を固定した状態で測定ポイントを順次切り換えていくのではなく、1つの測定ポイント毎に、測定周波数を掃引して、その測定ポイントで測定すべき全ての測定周波数の測定データを取得した上で、次の測定ポイントへ移動するのである。そのため、測定周波数が複数種類設定されても、プローブ17の各測定ポイントへの移動(走査)は、全体として一回だけで済む。   That is, in this embodiment, instead of sequentially switching the measurement points with the measurement frequency fixed, all the measurement frequencies to be measured at each measurement point by sweeping the measurement frequency for each measurement point. After acquiring the measurement data, it moves to the next measurement point. Therefore, even if a plurality of types of measurement frequencies are set, the movement (scanning) of the probe 17 to each measurement point is required only once as a whole.

そして、PC23は、測定ポイント毎にスペクトラムアナライザ21から入力された測定データに基づき、測定ポイント毎のノイズ強度を示すノイズ強度分布図を作成する。即ち、PC23には、評価対象物11の二次元平面画像データが予め保存されている。そのため、PC23は、その評価対象物11の画像に、測定ポイント毎のノイズ強度を示す分布図(例えばノイズ強度に応じて濃淡の差をつけたり或いは色分けをしたりした図)を重ね合わせたものを、ノイズ強度分布図として作成する。   Then, the PC 23 creates a noise intensity distribution diagram indicating the noise intensity for each measurement point based on the measurement data input from the spectrum analyzer 21 for each measurement point. That is, the PC 23 stores two-dimensional planar image data of the evaluation object 11 in advance. For this reason, the PC 23 superimposes an image of the evaluation object 11 on which a distribution diagram (for example, a diagram in which a difference in density or a color is classified according to the noise strength) indicating the noise strength at each measurement point is superimposed. Create a noise intensity distribution chart.

PC23は、その作成したノイズ強度分布図を、図示しないディスプレイに表示したり、用紙等に印刷出力するなどして、評価対象物11におけるノイズの伝搬経路・強度分布を可視化する(図3参照。詳細は後述。)。   The PC 23 visualizes the noise propagation path / intensity distribution in the evaluation object 11 by displaying the created noise intensity distribution diagram on a display (not shown) or printing it out on paper or the like (see FIG. 3). Details will be described later.)

図2に、本実施形態のノイズ評価システム1においてノイズ耐性性能評価が行われる際にPC23にて実行される、ノイズ伝搬可視化制御処理のフローチャートを示す。但し、図2に示した各処理の中で破線で示した処理は、PC23以外の各機器にて行われる処理である。   FIG. 2 shows a flowchart of the noise propagation visualization control process executed by the PC 23 when the noise tolerance performance evaluation is performed in the noise evaluation system 1 of the present embodiment. However, among the processes shown in FIG. 2, the process indicated by a broken line is a process performed by each device other than the PC 23.

PC23は、このノイズ伝搬可視化制御処理を開始すると、まずS110にて、スペクトラムアナライザ(スペアナ)21及びシグナルジェネレータ(SG)12へ、それぞれ測定初期設定データを出力する。具体的には、スペクトラムアナライザ21に対しては、複数種類の測定周波数のうち測定開始時の初期値を設定するデータを含む、測定及び測定データ出力のために必要な各種設定データを、スペアナ制御信号として出力する。シグナルジェネレータ12に対しては、スペクトラムアナライザ21に対して設定した測定周波数の初期値と同じ周波数のノイズ信号を生成すべき旨の設定データを、SG制御信号として出力する。   When starting the noise propagation visualization control processing, the PC 23 first outputs measurement initial setting data to the spectrum analyzer (sparener) 21 and the signal generator (SG) 12 in S110. Specifically, for the spectrum analyzer 21, various settings data necessary for measurement and measurement data output, including data for setting an initial value at the start of measurement among a plurality of types of measurement frequencies, are controlled by the spectrum analyzer. Output as a signal. For the signal generator 12, setting data indicating that a noise signal having the same frequency as the initial value of the measurement frequency set for the spectrum analyzer 21 should be generated is output as an SG control signal.

これにより、スペクトラムアナライザ21及びシグナルジェネレータ12では、それぞれ、測定開始のために必要な各種の初期設定が行われる(S115)。
そして、PC23は、続くS120にて、位置コントローラ20へ、初期位置設定データを出力する。即ち、複数の測定ポイントのうち測定開始時の初期位置を設定するデータ(X,Y,Zの各座標及びθを示すデータ)を、位置制御信号として出力する。
As a result, the spectrum analyzer 21 and the signal generator 12 perform various initial settings necessary for starting measurement (S115).
Then, the PC 23 outputs initial position setting data to the position controller 20 in subsequent S120. That is, data (data indicating X, Y, Z coordinates and θ) for setting an initial position at the start of measurement among a plurality of measurement points is output as a position control signal.

これにより、位置コントローラ20が駆動機構19を駆動させ、プローブ17がその初期位置(最初の測定ポイント)へ移動される(S125)。なおこのとき、プローブ17のZ方向の位置は、上述したように、その測定ポイントにおいて可能な限り評価対象物11へ接近した状態となる。   Thereby, the position controller 20 drives the drive mechanism 19, and the probe 17 is moved to its initial position (first measurement point) (S125). At this time, the position of the probe 17 in the Z direction is as close to the evaluation target 11 as possible at the measurement point as described above.

このようにして各種初期設定が終了すると、PC23は、続くS130にて、スペクトラムアナライザ21及びシグナルジェネレータ12へ、S110にて初期設定した測定周波数からの測定実行を指示する。これにより、スペクトラムアナライザ21及びシグナルジェネレータ12による、その測定ポイントでの測定が開始される(S135)。   When various initial settings are completed in this way, the PC 23 instructs the spectrum analyzer 21 and the signal generator 12 to execute measurement from the measurement frequency initially set in S110 in subsequent S130. Thereby, the measurement at the measurement point by the spectrum analyzer 21 and the signal generator 12 is started (S135).

具体的には、シグナルジェネレータ12では、設定された測定周波数と同じ周波数のノイズ信号が生成され、評価対象物11へ出力される。スペクトラムアナライザ21では、プローブ17にて検知された検知信号(ノイズ)における、上記測定周波数での強度測定が行われ、その測定結果が、測定周波数と共にPC23へ転送される。   Specifically, in the signal generator 12, a noise signal having the same frequency as the set measurement frequency is generated and output to the evaluation object 11. The spectrum analyzer 21 measures the intensity of the detection signal (noise) detected by the probe 17 at the measurement frequency, and transfers the measurement result to the PC 23 together with the measurement frequency.

PC23は、S140にて、スペクトラムアナライザ21からの測定データを受信・保存すると、続くS150にて、現在の測定ポイントにおいて測定すべき全ての測定周波数について測定が終了したか否かを判断する。そして、まだ測定すべき測定周波数が残っている場合は(S150:NO)、S160にて、スペクトラムアナライザ21及びシグナルジェネレータ12へ、次に測定すべき周波数を示す測定周波数データを出力する。   When the PC 23 receives and stores the measurement data from the spectrum analyzer 21 in S140, the PC 23 determines whether or not measurement has been completed for all measurement frequencies to be measured at the current measurement point in S150. If the measurement frequency to be measured still remains (S150: NO), the measurement frequency data indicating the frequency to be measured next is output to the spectrum analyzer 21 and the signal generator 12 in S160.

これにより、シグナルジェネレータ12では、生成するノイズ信号の周波数がその新たに設定された測定周波数に変更される(S135)。また、スペクトラムアナライザ21では、その新たに設定された測定周波数のノイズ強度測定が行われ、その測定結果(測定データ)が、測定周波数と共にPC23へ転送される(S135)。そして、その出力された測定データは、PC23にて受信・保存される(S140)。   Thereby, in the signal generator 12, the frequency of the noise signal to be generated is changed to the newly set measurement frequency (S135). Further, the spectrum analyzer 21 performs noise intensity measurement of the newly set measurement frequency, and the measurement result (measurement data) is transferred to the PC 23 together with the measurement frequency (S135). The output measurement data is received and stored by the PC 23 (S140).

そして、測定すべき全ての測定周波数について測定が終了したら(S150:YES)、続くS170にて、設定されている全てのθ(角度)について測定が終了したか否かを判断する。本実施形態では、例えばθ=0°,45°,90°,135°の4ステップでプローブ17のθ方向の位置(角度)を変えて測定するように構成されている。そのため、この4つのθ全てについて測定が終了していない場合は(S170:NO)、S180にて、θ方向の位置を移動(つまり回転)させるべき旨のθ方向移動データを位置コントローラ20へ出力して、プローブ17のθ方向の位置を移動(回転)させる。そして、再びS130に戻り、初期設定された測定周波数からの測定を開始する。   When measurement is completed for all measurement frequencies to be measured (S150: YES), in subsequent S170, it is determined whether measurement has been completed for all set θ (angles). In the present embodiment, for example, the measurement is performed by changing the position (angle) of the probe 17 in the θ direction in four steps of θ = 0 °, 45 °, 90 °, and 135 °. Therefore, if measurement has not been completed for all four θs (S170: NO), θ direction movement data indicating that the position in the θ direction should be moved (that is, rotated) is output to the position controller 20 in S180. Then, the position of the probe 17 in the θ direction is moved (rotated). Then, the process returns to S130 again, and measurement from the initially set measurement frequency is started.

つまり、設定されているθ(本例では4種類)毎にS130〜S160の処理を行い、各θにつき、測定周波数毎のノイズ強度データを取得する。
そして、4種類全てのθについて測定が終了したら(S170:YES)、続くS190にて、全測定ポイントの走査が完了したか否か、即ち設定されている複数種類の測定ポイント(n列×m行)の全てにおいてノイズ強度の測定が完了したか否かを判断する。
That is, the processing of S130 to S160 is performed for each set θ (four types in this example), and noise intensity data for each measurement frequency is acquired for each θ.
When measurement is completed for all four types of θ (S170: YES), in subsequent S190, whether or not scanning of all measurement points is completed, that is, a plurality of set measurement points (n columns × m). Whether or not the noise intensity measurement has been completed in all of the rows.

このとき、まだ全ての測定ポイントの測定が完了していない場合は(S190:NO)、S200にて、次の測定ポイントへの移動に必要なX,Y,Z方向の移動データを位置コントローラ20へ出力することにより、プローブ17を次の測定ポイントへ移動させる。そして、再びS130に戻り、初期設定された測定周波数からの測定を開始する。   At this time, if the measurement of all the measurement points has not been completed yet (S190: NO), the movement data in the X, Y, and Z directions necessary for the movement to the next measurement point is transmitted to the position controller 20 in S200. To move the probe 17 to the next measurement point. Then, the process returns to S130 again, and measurement from the initially set measurement frequency is started.

そして、全ての測定ポイントについてノイズ強度の測定が完了したら(S190:YES)、S210にて、ノイズ強度分布図を作成し、ディスプレイに表示させる。なお、既述の通り用紙等に印刷するようにしてもよい。このようにノイズ強度分布図が作成・表示されることにより、コネクタ16を介して外部から印加されたノイズ信号が評価対象物11内をどのように伝搬するかが可視化されたことになる。   When the measurement of noise intensity is completed for all measurement points (S190: YES), a noise intensity distribution diagram is created and displayed on the display in S210. Note that printing may be performed on paper or the like as described above. Thus, by creating and displaying the noise intensity distribution map, it is visualized how the noise signal applied from the outside via the connector 16 propagates through the evaluation object 11.

図3に、PC23にて作成されたノイズ強度分布図の一例を示す。図3(a)は、本発明のノイズ可視化法を適用した場合のノイズ強度分布図、即ち本実施形態のノイズ評価システム1においてPC23が作成したノイズ強度分布図であり、図3(b)は、従来のノイズ可視化法を適用した場合のノイズ強度分布図、即ち上述した特許文献1に記載の方法で作成したノイズ強度分布図である。   FIG. 3 shows an example of a noise intensity distribution diagram created by the PC 23. 3A is a noise intensity distribution diagram when the noise visualization method of the present invention is applied, that is, a noise intensity distribution diagram created by the PC 23 in the noise evaluation system 1 of the present embodiment, and FIG. FIG. 9 is a noise intensity distribution diagram when a conventional noise visualization method is applied, that is, a noise intensity distribution diagram created by the method described in Patent Document 1 described above.

また、この図3のノイズ強度分布図は、評価対象物11としてプリント基板上にマイコンをはじめとする各種回路素子等が配置されてなる電子機器を用い、この電子機器が有するコネクタ16における電源端子から、直流バイアスを含むノイズ信号を注入(印加)した場合の、所定の測定周波数におけるノイズ強度分布を示すものである。   Further, the noise intensity distribution diagram of FIG. 3 uses an electronic device in which various circuit elements such as a microcomputer are arranged on a printed circuit board as the evaluation object 11, and a power supply terminal in a connector 16 of the electronic device. 3 shows a noise intensity distribution at a predetermined measurement frequency when a noise signal including a DC bias is injected (applied).

図3から明らかなように、従来のノイズ可視化法によるノイズ強度分布図(図3(b))は、複数のノイズ可視化用アンテナが予め固定配置された構成であることから測定ポイントを細かく設定できず、またノイズの注入がBCI法によるものであって注入ノイズがノイズ可視化用アンテナに干渉してしまうため、空間分解能が低く、注入されたノイズの伝搬経路が明確になっていない。   As is clear from FIG. 3, the noise intensity distribution diagram (FIG. 3 (b)) according to the conventional noise visualization method has a configuration in which a plurality of noise visualization antennas are fixedly arranged in advance, so that measurement points can be set in detail. In addition, since the noise injection is based on the BCI method and the injection noise interferes with the noise visualization antenna, the spatial resolution is low and the propagation path of the injected noise is not clear.

これに対し、本発明のノイズ可視化法によるノイズ強度分布図(図3(a))は、空間分解能が高く、ノイズの伝搬経路が明確になっている。これは、本発明(本実施形態)では評価対象物11に対してノイズ信号が直接印加されていること、及び、プローブ17を細かいピッチで設定された複数の測定ポイント(n列×m行)に順次移動させながら測定していること、等によるものである。   On the other hand, the noise intensity distribution diagram (FIG. 3A) by the noise visualization method of the present invention has a high spatial resolution and a clear noise propagation path. This is because in the present invention (this embodiment), a noise signal is directly applied to the evaluation object 11, and a plurality of measurement points (n columns × m rows) in which the probes 17 are set at a fine pitch. This is due to the fact that the measurement is performed while sequentially moving to.

以上説明したように、本実施形態のノイズ評価システム1では、シグナルジェネレータ12が生成したノイズ信号を、上述した特許文献1におけるBCI法のように空間的に(電磁結合により)評価対象物11へ印加するのではなく、増幅器13,方向性結合器14,及びバイアスティ15を介して評価対象物11のコネクタ16へ直接印加している。そのため、シグナルジェネレータ12から出力されたノイズ信号が空間的に漏れてノイズ検知用のプローブ17に干渉してしまうといった問題の発生を防ぐことができる。   As described above, in the noise evaluation system 1 of the present embodiment, the noise signal generated by the signal generator 12 is spatially (by electromagnetic coupling) to the evaluation object 11 as in the BCI method in Patent Document 1 described above. Instead of applying the voltage, the voltage is directly applied to the connector 16 of the evaluation object 11 via the amplifier 13, the directional coupler 14, and the bias tee 15. Therefore, it is possible to prevent a problem that the noise signal output from the signal generator 12 leaks spatially and interferes with the noise detection probe 17.

また、評価対象物11から発生するノイズの検知は、プローブ17を複数の測定ポイントに順次移動させつつ行う。そのため、測定ポイントを細かいピッチで設定することで、高い空間分解能にてノイズの検知・強度測定を行うことができる。   In addition, detection of noise generated from the evaluation object 11 is performed while sequentially moving the probe 17 to a plurality of measurement points. Therefore, it is possible to detect noise and measure intensity with high spatial resolution by setting the measurement points with a fine pitch.

しかも、本実施形態では、PC23がスペクトラムアナライザ21とシグナルジェネレータ12を制御して、スペクトラムアナライザ21における測定周波数を掃引させると共に、シグナルジェネレータ12で生成するノイズ信号の周波数をその掃引周波数と同期させるようにしている。これにより、1つの測定ポイントにおいて複数種類の測定周波数の全てに対する測定データを得ることができる。   Moreover, in this embodiment, the PC 23 controls the spectrum analyzer 21 and the signal generator 12 to sweep the measurement frequency in the spectrum analyzer 21 and to synchronize the frequency of the noise signal generated by the signal generator 12 with the sweep frequency. I have to. Thereby, measurement data for all of a plurality of types of measurement frequencies can be obtained at one measurement point.

そのため、測定すべき測定周波数が多くても、プローブ17を全ての測定ポイントに渡って走査させる回数は1回で済み、従来のように1つの測定周波数毎にプローブを走査させる(つまり測定周波数が多いほどプローブを走査させる回数も多くなる)方法に比べて、測定時間を大幅に短縮することができる。   Therefore, even if there are many measurement frequencies to be measured, the number of times the probe 17 is scanned over all measurement points is only one, and the probe is scanned for each measurement frequency as in the past (that is, the measurement frequency is The measurement time can be greatly shortened compared to the method in which the more times the probe is scanned, the more times the probe is scanned.

従って、本実施形態のノイズ評価システム1によれば、評価対象物11へ外部からノイズ信号を印加したときの評価対象物11におけるノイズ伝搬経路を評価するにあたり、空間分解能の高い可視化結果(ノイズ強度分布図)を得ることができ、ノイズの強度分布、伝搬経路を視覚的に容易に且つ確実に把握することができる。   Therefore, according to the noise evaluation system 1 of the present embodiment, in evaluating the noise propagation path in the evaluation object 11 when a noise signal is applied to the evaluation object 11 from the outside, a visualization result (noise intensity) with high spatial resolution is obtained. Distribution map) can be obtained and the noise intensity distribution and propagation path can be easily and reliably grasped visually.

しかも、印加するノイズ信号の周波数(即ちスペクトラムアナライザ21にて設定される測定周波数)の種類にかかわらず、短時間で且つ高い精度で、可視化結果を得ることができる。   Moreover, the visualization result can be obtained in a short time and with high accuracy regardless of the type of the frequency of the noise signal to be applied (that is, the measurement frequency set by the spectrum analyzer 21).

また、本実施形態では、評価対象物11に対するノイズ信号の印加部位を、コネクタ16における所定の端子(例えば電源端子)としている。しかも、単にノイズ信号を印加するだけでなく、バイアスティ15によって直流バイアスも加えている。   In the present embodiment, the application part of the noise signal to the evaluation object 11 is a predetermined terminal (for example, a power supply terminal) in the connector 16. In addition to applying a noise signal, a DC bias is also applied by a bias tee 15.

そのため、評価対象物11に電源が供給されて実際に動作している際に電源端子からノイズ信号が混入された状態を再現することができ、その際にノイズ信号が評価対象物11内でどのように伝搬するかを可視化することができる。つまり、実際の動作状態と同等の条件でノイズ伝搬経路の評価を行うことができるため、より精度の高い評価結果を得ることができ、コネクタ16を介して入力される外来ノイズに対する耐性を適切に評価することができる。   Therefore, it is possible to reproduce the state in which the noise signal is mixed from the power supply terminal when the evaluation object 11 is supplied with power and actually operating. How it propagates can be visualized. In other words, since the noise propagation path can be evaluated under the same conditions as the actual operation state, a more accurate evaluation result can be obtained, and the resistance to external noise input via the connector 16 can be appropriately set. Can be evaluated.

更に、本実施形態では、方向性結合器14及び各電力計測器32,33により、評価対象物11に実際に入力されたノイズ信号の入力量を定量的に把握するようにしている。そのため、測定されたノイズ強度を上記入力量と対応付けて評価でき、例えば、測定周波数毎のノイズ強度を入力量で正規化するといったこともでき、測定周波数毎のノイズ強度の相対的評価をより適切に行うことも可能である。   Furthermore, in this embodiment, the input amount of the noise signal actually input to the evaluation object 11 is quantitatively grasped by the directional coupler 14 and the power measuring devices 32 and 33. Therefore, the measured noise intensity can be evaluated in association with the above input amount, for example, the noise intensity for each measurement frequency can be normalized by the input amount, and the relative evaluation of the noise intensity for each measurement frequency can be further performed. It can also be done appropriately.

ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素の対応関係を明らかにする。本実施形態において、シグナルジェネレータは本発明の高周波信号生成手段に相当し、プローブ17は本発明のノイズ検知手段に相当し、スペクトラムアナライザ21は本発明の測定手段に相当し、コネクタ16は本発明のインタフェース部に相当し、バイアスティ15は本発明の直流バイアス付加手段に相当し、PC23は、本発明の評価結果出力手段、測定周波数設定手段、及び高周波信号周波数設定手段に相当する。   Here, the correspondence between the components of the present embodiment and the components of the present invention will be clarified. In this embodiment, the signal generator corresponds to the high-frequency signal generation means of the present invention, the probe 17 corresponds to the noise detection means of the present invention, the spectrum analyzer 21 corresponds to the measurement means of the present invention, and the connector 16 corresponds to the present invention. The bias tee 15 corresponds to DC bias adding means of the present invention, and the PC 23 corresponds to evaluation result output means, measurement frequency setting means, and high frequency signal frequency setting means of the present invention.

また、PC23、位置コントローラ20、及び駆動機構19により本発明の移動手段が構成され、方向性結合器14及び各電力計測器32,33により本発明の入力量計測手段が構成される。   Further, the PC 23, the position controller 20, and the drive mechanism 19 constitute a moving means of the present invention, and the directional coupler 14 and the power measuring devices 32 and 33 constitute an input amount measuring means of the present invention.

[第2実施形態]
次に、第2実施形態のノイズ評価システムについて、図4を用いて説明する。図4は、本実施形態のノイズ評価システム40の概略構成を示す構成図である。
[Second Embodiment]
Next, the noise evaluation system of 2nd Embodiment is demonstrated using FIG. FIG. 4 is a configuration diagram showing a schematic configuration of the noise evaluation system 40 of the present embodiment.

図4に示すように、本実施形態のノイズ評価システム40は、図1に示した第1実施形態のノイズ評価システム1と比較して、主として次の点で異なっている。即ち、スペクトラムアナライザとしてトラッキングジェネレータ(TG)42が内蔵されたスペクトラムアナライザ41を用いる点、評価対象物11へ印加するノイズ信号はトラッキングジェネレータ42から供給する点、ノイズ信号は、直流バイアスは重畳させずに、カップリングコンデンサC1を介してコネクタ16における所定の信号入出力端子に印加する点、但し評価対象物11には直流バイアス生成部31からの直流電圧をコネクタ16の電源端子に供給して評価対象物11を動作状態としている点、などである。   As shown in FIG. 4, the noise evaluation system 40 of this embodiment is mainly different from the noise evaluation system 1 of the first embodiment shown in FIG. 1 in the following points. That is, a spectrum analyzer 41 having a tracking generator (TG) 42 built in as a spectrum analyzer is used, a noise signal applied to the evaluation object 11 is supplied from the tracking generator 42, and a DC bias is not superimposed on the noise signal. In addition, it is applied to a predetermined signal input / output terminal of the connector 16 through the coupling capacitor C1, except that the evaluation object 11 is evaluated by supplying a DC voltage from the DC bias generator 31 to the power supply terminal of the connector 16. For example, the object 11 is in an operating state.

その他の構成については、基本的に第1実施形態のノイズ評価システム1と同じであるため、第1実施形態のノイズ評価システム1と同じ構成要素については同じ符号を付し、その説明を省略する。   Since other configurations are basically the same as those of the noise evaluation system 1 of the first embodiment, the same components as those of the noise evaluation system 1 of the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. .

トラッキングジェネレータ42は、スペクトラムアナライザ41において設定されている測定周波数と同期した高周波信号(ノイズ信号)を出力する周知の信号発生器である。
そのため、PC43は、第1実施形態のPC23のようなシグナルジェネレータ12へのSG制御信号の出力は不要となる。
The tracking generator 42 is a known signal generator that outputs a high-frequency signal (noise signal) synchronized with the measurement frequency set in the spectrum analyzer 41.
Therefore, the PC 43 does not need to output an SG control signal to the signal generator 12 like the PC 23 of the first embodiment.

これにより、本実施形態においてPC43が実行するノイズ伝搬可視化制御処理は、基本的には図2に示した第1実施形態のノイズ伝搬可視化制御処理と同じであるが、そのうちS110,S130,及びS160の各処理については、スペクトラムアナライザ41のみを対象に行われることとなる。また、S115及びS135に示した、スペクトラムアナライザ及びシグナルジェネレータでの処理については、本実施形態ではシグナルジェネレータをトラッキングジェネレータ42に読み替えればよい。   As a result, the noise propagation visualization control process executed by the PC 43 in this embodiment is basically the same as the noise propagation visualization control process of the first embodiment shown in FIG. 2, but among them, S110, S130, and S160. Each of these processes is performed only for the spectrum analyzer 41. In addition, regarding the processing by the spectrum analyzer and the signal generator shown in S115 and S135, the signal generator may be read as the tracking generator 42 in this embodiment.

このように、本実施形態のノイズ評価システム40では、トラッキングジェネレータ42が内蔵されたスペクトラムアナライザ41を用い、トラッキングジェネレータ42にてノイズ信号を生成・出力するようにしている。そのため、シグナルジェネレータ12とスペクトルアナライザ21を併用した第1実施形態のノイズ評価システム1と比較して、ノイズ評価システム40全体をより簡易的に構成でき、ノイズ伝搬経路・強度等の各種評価を効率的に行うことができる。   As described above, in the noise evaluation system 40 according to the present embodiment, the tracking analyzer 42 includes the tracking generator 42, and the tracking generator 42 generates and outputs a noise signal. Therefore, compared with the noise evaluation system 1 of the first embodiment in which the signal generator 12 and the spectrum analyzer 21 are used together, the entire noise evaluation system 40 can be configured more simply, and various evaluations such as noise propagation paths and intensities can be efficiently performed. Can be done automatically.

[第3実施形態]
次に、第3実施形態のノイズ評価システムについて、図5を用いて説明する。図5は、本実施形態のノイズ評価システム50の概略構成を示す構成図である。
[Third Embodiment]
Next, the noise evaluation system of 3rd Embodiment is demonstrated using FIG. FIG. 5 is a configuration diagram showing a schematic configuration of the noise evaluation system 50 of the present embodiment.

図5に示すように、本実施形態のノイズ評価システム50は、図4に示した第2実施形態のノイズ評価システム40と比較して、主として次の点で異なっている。即ち、評価対象物51が、マイコンを含む各種回路素子等がまだ搭載されていないプリント基板単体である点、トラッキングジェネレータ42からのノイズ信号を、増幅器や方向性結合器等を介さずにそのまま評価対象物51へ印加する点、ノイズ信号の印加部位は、コネクタ16ではなく、プリント基板に形成された配線パターンにおける所定の部位である点、この所定の部位に対し、ノイズ信号がバラン52によってモード変換された上で印加される点、などである。   As shown in FIG. 5, the noise evaluation system 50 of the present embodiment is mainly different from the noise evaluation system 40 of the second embodiment shown in FIG. 4 in the following points. That is, the evaluation object 51 is a single printed circuit board on which various circuit elements including a microcomputer are not yet mounted, and a noise signal from the tracking generator 42 is evaluated as it is without using an amplifier or a directional coupler. The point to be applied to the object 51 and the application part of the noise signal are not the connector 16 but a predetermined part in the wiring pattern formed on the printed circuit board. The point to be applied after conversion.

その他の構成については、基本的に第2実施形態のノイズ評価システム40と同じであるため、第2実施形態のノイズ評価システム40と同じ構成要素については同じ符号を付し、その説明を省略する。   Since other configurations are basically the same as those of the noise evaluation system 40 of the second embodiment, the same components as those of the noise evaluation system 40 of the second embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. .

評価対象物51におけるノイズ信号の印加部位は、プリント基板においてマイコンが搭載される部位であり、より詳しくは、プリント基板上の配線パターンにおける、マイコンが備える複数の信号端子(外部接続用のピン)の何れかが接続される信号端子接続部53である。   The application part of the noise signal in the evaluation object 51 is a part on which the microcomputer is mounted on the printed circuit board, and more specifically, a plurality of signal terminals (pins for external connection) included in the microcomputer in the wiring pattern on the printed circuit board. Is a signal terminal connection portion 53 to which any of the above is connected.

また、トラッキングジェネレータ42からのノイズ信号は平衡モードであるのに対し、印加部位は不平衡モードである。そのため、トラッキングジェネレータ42からのノイズ信号を、バラン52にて不平衡モードに変換した上で、評価対象物51であるプリント基板に印加するようにしている。そのため、バラン52の出力は、プリント基板上において信号端子接続部53及びグランド端子接続部54(グランド電位)にそれぞれ接続される。   The noise signal from the tracking generator 42 is in a balanced mode, while the application site is in an unbalanced mode. For this reason, the noise signal from the tracking generator 42 is converted into the unbalanced mode by the balun 52 and then applied to the printed circuit board as the evaluation object 51. Therefore, the output of the balun 52 is connected to the signal terminal connection portion 53 and the ground terminal connection portion 54 (ground potential) on the printed board.

なお、プリント基板上の配線パターンにおける電源ラインには、コネクタ16を介して、直流バイアス生成部31からの直流電圧が供給されている。
このように、本実施形態では、トラッキングジェネレータ42からのノイズ信号を、プリント基板における、マイコンの端子が接続される部分(信号端子接続部53)に印加するようにしている。このようにしているのは、プリント基板に実際に回路が形成されたときにマイコンの内部から発生するノイズがプリント基板上をどのように伝搬するかを評価するためである。
Note that a DC voltage from the DC bias generator 31 is supplied to the power supply line in the wiring pattern on the printed circuit board via the connector 16.
As described above, in this embodiment, the noise signal from the tracking generator 42 is applied to a portion (signal terminal connection portion 53) of the printed circuit board to which the terminal of the microcomputer is connected. The reason for this is to evaluate how noise generated from the inside of the microcomputer propagates on the printed circuit board when a circuit is actually formed on the printed circuit board.

上述したように、プリント基板に形成される種々の回路において近年特に問題となっているのが、マイコン等の半導体集積回路の内部から発生するノイズである。通常、マイコン等が発生するノイズがプリント基板上をどのように伝搬するかを評価するにあたっては、プリント基板上にマイコン等を実装して動作させた状態で評価する必要がある。しかし、そのような評価方法では、マイコン等の性能とプリント基板の性能とを分離して評価することは困難である。   As described above, in recent years, various types of circuits formed on a printed circuit board have been particularly problematic because of noise generated from the inside of a semiconductor integrated circuit such as a microcomputer. In general, when evaluating how noise generated by a microcomputer or the like propagates on a printed circuit board, it is necessary to perform evaluation while the microcomputer or the like is mounted on the printed circuit board and operated. However, with such an evaluation method, it is difficult to separately evaluate the performance of a microcomputer or the like and the performance of a printed circuit board.

そこで本実施形態では、プリント基板単体に対し、マイコンの端子が接続される部分にノイズ信号を印加することで、マイコンを実際に搭載することなく、マイコンの内部から発生したノイズがその接続部分からプリント基板上に流出した状態を再現し、そのノイズがプリント基板上をどのように伝搬するかを測定・評価するようにしている。   Therefore, in this embodiment, by applying a noise signal to the part where the microcomputer terminal is connected to a single printed circuit board, noise generated from inside the microcomputer can be generated from the connected part without actually mounting the microcomputer. The state of flowing out on the printed circuit board is reproduced, and how the noise propagates on the printed circuit board is measured and evaluated.

従って、このように構成された本実施形態のノイズ評価システム50によれば、配線パターンにおける所定の部位に印加されたノイズ信号がプリント基板上をどのように伝搬するかを評価することができる。   Therefore, according to the noise evaluation system 50 of the present embodiment configured as described above, it is possible to evaluate how the noise signal applied to a predetermined part in the wiring pattern propagates on the printed circuit board.

特に、本実施形態では、マイコンから発生するノイズをトラッキングジェネレータ42からのノイズ信号で模擬させている。そのため、マイコンから発生したノイズがプリント基板上をどのように伝搬するか等を、マイコンを実装することなく評価することができる。つまり、マイコンから発生するノイズに対するプリント基板単体の性能を、マイコンの性能を考慮することなく、マイコンを分離して評価することが可能となる。   In particular, in the present embodiment, noise generated from the microcomputer is simulated by a noise signal from the tracking generator 42. Therefore, it is possible to evaluate how the noise generated from the microcomputer propagates on the printed circuit board without mounting the microcomputer. That is, the performance of a single printed circuit board with respect to noise generated from the microcomputer can be evaluated by separating the microcomputer without considering the performance of the microcomputer.

[変形例]
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明の実施の形態は、上記実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採り得ることはいうまでもない。
[Modification]
Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention are not limited to the above-described embodiments, and can take various forms as long as they belong to the technical scope of the present invention. Needless to say.

例えば、上記各実施形態では、プローブ17を、X,Y,Z,θの4方向に移動できるものとして説明したが、必ずしもこの4方向全てに移動可能に構成する必要はなく、例えばX,Y,Z方向への移動のみとしてもよいし、X,Y方向への移動のみとしてもよい。   For example, in each of the above embodiments, the probe 17 has been described as being movable in four directions of X, Y, Z, and θ. However, the probe 17 is not necessarily configured to be movable in all four directions. , Z movement only, or only X, Y movement.

また、上記第1、第2実施形態では、ノイズ信号を、増幅器13,方向性結合器14,及びバイアスティ15を介して評価対象物へ入力するようにしたが、これら増幅器13,方向性結合器14,及びバイアスティ15を設けるかどうかについては適宜決めることができる。   In the first and second embodiments, the noise signal is input to the evaluation object via the amplifier 13, the directional coupler 14, and the bias tee 15. Whether to provide the device 14 and the bias tee 15 can be determined as appropriate.

また、評価対象物に対するノイズ信号の印加部位は、上記各実施形態に例示した部位に限らず、適宜決めることができる。
また、上記第3実施形態では、バラン52によってノイズ信号を不平衡モードに変換した上で評価対象物11に印加するようにしたが、必ずしもモード変換する必要はなく、そのまま(平衡モードのまま)印加しても測定することは可能である。
Moreover, the application part of the noise signal with respect to the evaluation object is not limited to the part exemplified in each of the above embodiments, and can be determined as appropriate.
In the third embodiment, the noise signal is converted into the unbalanced mode by the balun 52 and then applied to the evaluation object 11. However, the mode conversion is not necessarily performed, and the mode signal is not changed (it remains in the balanced mode). Even if it is applied, it can be measured.

1,40,50…ノイズ評価システム、10…可動テーブル、11,51…評価対象物、12…シグナルジェネレータ、13…増幅器、14…方向性結合器、15…バイアスティ、16…コネクタ、17…プローブ、18…支持部、19…駆動機構、20…位置コントローラ、21,41…スペクトラムアナライザ、22…信号ケーブル、23…PC、26…設置台、27…スペーサ、31…直流バイアス生成部、32,33…電力計測器、42…トラッキングジェネレータ、52…バラン、53…信号端子接続部、54…グランド端子接続部、C1…カップリングコンデンサ、L1…コイル   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,40,50 ... Noise evaluation system, 10 ... Movable table, 11,51 ... Evaluation object, 12 ... Signal generator, 13 ... Amplifier, 14 ... Directional coupler, 15 ... Bias tee, 16 ... Connector, 17 ... Probe 18, support unit 19 drive mechanism 20 position controller 21 41 spectrum analyzer 22 signal cable 23 PC 26 installation base 27 spacer 31 DC bias generator 32 , 33 ... Electric power meter, 42 ... Tracking generator, 52 ... Balun, 53 ... Signal terminal connection part, 54 ... Ground terminal connection part, C1 ... Coupling capacitor, L1 ... Coil

Claims (10)

所定周波数の高周波信号を生成すると共に、該高周波信号を、評価対象物における所定の印加部位に対して直接印加し、
前記評価対象物から発生するノイズを検知するためのノイズ検知手段を、前記評価対象物における予め決められた複数の測定ポイントに順次移動させ、
前記測定ポイント毎に、測定対象の前記ノイズの周波数を予め決められた一又は複数の測定周波数に順次設定すると共に前記高周波信号の周波数を前記測定周波数と同期するように設定して、該順次設定された測定周波数毎に前記ノイズ検知手段により検知されたノイズの強度を測定し、
前記測定された強度と前記測定ポイントとが対応付けられた評価結果を出力する
ことを特徴とするノイズ評価方法。
While generating a high frequency signal of a predetermined frequency, the high frequency signal is directly applied to a predetermined application site in the evaluation object,
A noise detection means for detecting noise generated from the evaluation object is sequentially moved to a plurality of predetermined measurement points in the evaluation object,
For each measurement point, the frequency of the noise to be measured is sequentially set to one or a plurality of predetermined measurement frequencies, and the frequency of the high-frequency signal is set to be synchronized with the measurement frequency. Measure the intensity of noise detected by the noise detection means for each measured frequency,
An evaluation result in which the measured intensity is associated with the measurement point is output.
所定周波数の高周波信号を生成して評価対象物へ印加する高周波信号生成手段と、
前記評価対象物から発生するノイズを検知するノイズ検知手段と、
前記ノイズ検知手段を、前記評価対象物における予め決められた複数の測定ポイントに順次移動させる移動手段と、
前記測定ポイント毎に、前記ノイズ検知手段により検知されたノイズの強度を測定する測定手段と、
前記測定手段により測定された強度と前記測定ポイントとが対応付けられた評価結果を出力する評価結果出力手段と、
を備えたノイズ評価システムであって、
前記測定ポイント毎に、前記測定手段における測定対象の周波数を、予め決められた一又は複数の測定周波数に順次設定する測定周波数設定手段と、
前記高周波信号生成手段が生成する前記高周波信号の周波数を、前記測定周波数設定手段が設定した前記測定周波数と同期するように設定する高周波信号周波数設定手段と、
を備え、
高周波信号生成手段は、前記評価対象物において前記高周波信号が印加される所定の印加部位に対し、前記高周波信号が該印加部位へ直接印加されるように接続されている
ことを特徴とするノイズ評価システム。
High-frequency signal generating means for generating a high-frequency signal of a predetermined frequency and applying it to the evaluation object;
Noise detecting means for detecting noise generated from the evaluation object;
Moving means for sequentially moving the noise detection means to a plurality of predetermined measurement points in the evaluation object;
Measuring means for measuring the intensity of noise detected by the noise detecting means for each measurement point;
An evaluation result output means for outputting an evaluation result in which the intensity measured by the measurement means is associated with the measurement point;
A noise evaluation system comprising:
For each measurement point, measurement frequency setting means for sequentially setting the frequency to be measured in the measurement means to one or a plurality of predetermined measurement frequencies;
High-frequency signal frequency setting means for setting the frequency of the high-frequency signal generated by the high-frequency signal generating means to be synchronized with the measurement frequency set by the measurement frequency setting means;
With
The high-frequency signal generating means is connected to a predetermined application site to which the high-frequency signal is applied in the evaluation object so that the high-frequency signal is directly applied to the application site. system.
請求項2に記載のノイズ評価システムであって、
前記評価対象物は、当該評価対象物を動作させる際に外部と電気的に接続されるインタフェース部を備え、
前記印加部位は、前記インタフェース部である
ことを特徴とするノイズ評価システム。
The noise evaluation system according to claim 2,
The evaluation object includes an interface unit that is electrically connected to the outside when the evaluation object is operated.
The noise application system, wherein the application site is the interface unit.
請求項2に記載のノイズ評価システムであって、
前記評価対象物は、所定の配線パターンが形成されたプリント基板であり、
前記印加部位は、前記配線パターンにおける所定の部位である
ことを特徴とするノイズ評価システム。
The noise evaluation system according to claim 2,
The evaluation object is a printed circuit board on which a predetermined wiring pattern is formed,
The application site is a predetermined site in the wiring pattern. A noise evaluation system, wherein:
請求項4に記載のノイズ評価システムであって、
前記高周波信号生成手段からの前記高周波信号は平衡モードの信号であり、
前記高周波信号生成手段からの前記高周波信号を不平衡モードの信号に変換する平衡不平衡変換手段を備え、
前記高周波信号生成手段からの前記高周波信号は、前記印加部位に対し、前記平衡不平衡変換手段により不平衡モードに変換されて印加される
ことを特徴とするノイズ評価システム。
The noise evaluation system according to claim 4,
The high-frequency signal from the high-frequency signal generating means is a balanced mode signal,
Comprising balanced-unbalanced converting means for converting the high-frequency signal from the high-frequency signal generating means into a signal in an unbalanced mode;
The noise evaluation system, wherein the high-frequency signal from the high-frequency signal generating means is applied to the application site after being converted into an unbalanced mode by the balance-unbalance conversion means.
請求項4又は請求項5に記載のノイズ評価システムであって、
前記プリント基板は、複数の端子を有する半導体集積回路が搭載されるよう構成されていると共に、前記配線パターンとして、該複数の端子が接続される端子接続部が形成されており、
前記印加部位は、前記端子接続部である
ことを特徴とするノイズ評価システム。
The noise evaluation system according to claim 4 or 5,
The printed circuit board is configured so that a semiconductor integrated circuit having a plurality of terminals is mounted, and as the wiring pattern, a terminal connection portion to which the plurality of terminals are connected is formed,
The application part is the terminal connection part. A noise evaluation system, wherein:
請求項2〜請求項6の何れか1項に記載のノイズ評価システムであって、
前記高周波信号生成手段と前記印加部位との間に設けられ、前記高周波信号に所定の直流バイアスを加える直流バイアス付加手段を備えている
ことを特徴とするノイズ評価システム。
The noise evaluation system according to any one of claims 2 to 6,
A noise evaluation system, comprising: a DC bias adding unit that is provided between the high frequency signal generating unit and the application site and applies a predetermined DC bias to the high frequency signal.
請求項2〜請求項7の何れか1項に記載のノイズ評価システムであって、
前記高周波信号生成手段と前記印加部位との間に設けられ、前記高周波信号出力回路から出力された前記高周波信号のうち実際に前記印加部位から前記評価対象物内へ入力された入力量を計測する入力量計測手段を備えている
ことを特徴とするノイズ評価システム。
The noise evaluation system according to any one of claims 2 to 7,
Of the high-frequency signal provided between the high-frequency signal generating means and the application site and output from the high-frequency signal output circuit, the input amount actually input from the application site into the evaluation object is measured. A noise evaluation system comprising an input amount measuring means.
請求項2〜請求項8の何れか1項に記載のノイズ評価システムであって、
前記測定手段として機能するスペクトラムアナライザと、
前記高周波信号生成手段として機能するトラッキングジェネレータと、
を備え、
前記トラッキングジェネレータは、前記高周波信号周波数設定手段と共に前記スペクトラムアナライザに内蔵されている
ことを特徴とするノイズ評価システム。
The noise evaluation system according to any one of claims 2 to 8,
A spectrum analyzer that functions as the measuring means;
A tracking generator that functions as the high-frequency signal generating means;
With
The noise evaluation system, wherein the tracking generator is built in the spectrum analyzer together with the high frequency signal frequency setting means.
請求項2〜請求項9の何れか1項に記載のノイズ評価システムであって、
前記評価結果出力手段は、前記評価結果を、測定ポイント毎の強度分布を視覚的に認識可能に表現された状態で出力する
ことを特徴とするノイズ評価システム。
The noise evaluation system according to any one of claims 2 to 9,
The evaluation result output means outputs the evaluation result in a state in which the intensity distribution for each measurement point is expressed so as to be visually recognizable.
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