JP6037867B2 - Electromagnetic field intensity distribution detection apparatus and electromagnetic field intensity distribution detection method - Google Patents
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Description
この発明は、電磁ノイズである試験信号を電子機器（供試機器）に注入し、その電子機器の誤動作や性能劣化を評価するイミュニティ試験等に適用されるものであって、電子機器から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する電磁界強度分布検出装置及び電磁界強度分布検出方法に関するものである。 The present invention is applied to an immunity test for injecting a test signal, which is electromagnetic noise, into an electronic device (device under test) and evaluating malfunction or performance degradation of the electronic device, and is generated from the electronic device. The present invention relates to an electromagnetic field intensity distribution detecting device and an electromagnetic field intensity distribution detecting method for detecting an electromagnetic field intensity distribution of electromagnetic noise.
電磁ノイズである試験信号を供試機器に注入して、その供試機器の誤動作や性能劣化を評価するイミュニティ試験では、例えば、ＩＳＯ１１４５２−４に記載されているバルク電流注入（ＢＣＩ）法などが用いられる。
バルク電流注入（ＢＣＩ）法によるイミュニティ試験は、電流プローブを用いて、電磁ノイズである試験信号を供試機器の接続ケーブルに注入することで、供試機器の誤動作や性能劣化を評価するものである。
In an immunity test in which a test signal that is electromagnetic noise is injected into the EUT and the malfunction or performance degradation of the EUT is evaluated, for example, the bulk current injection (BCI) method described in ISO11452-4 is used. Used.
The immunity test by the bulk current injection (BCI) method evaluates malfunction and performance degradation of the EUT by injecting a test signal, which is electromagnetic noise, into the connection cable of the EUT using a current probe. is there.
イミュニティ試験で供試機器が不適合であると判定された場合、一般的に、不具合箇所を探して、何らかの対策を講じるようにしている。
しかし、このイミュニティ試験では、供試機器に注入された試験信号の伝搬経路を特定することができないため、不具合箇所を容易に探し出すことができない。
そのために、適切なノイズ対策を適用することができず、対策の策定が長期化してしまう傾向がある。
When it is determined in the immunity test that the equipment under test is nonconforming, in general, the troubled part is searched for and some measures are taken.
However, in this immunity test, since the propagation path of the test signal injected into the EUT cannot be specified, it is not possible to easily find the defective part.
For this reason, appropriate noise countermeasures cannot be applied, and the formulation of countermeasures tends to be prolonged.
ここで、供試機器が動作している状態で、外部から注入された電磁ノイズだけを可視化する伝搬経路可視化方法を適用する電磁界強度分布検出装置が以下の特許文献１に開示されている。
この伝搬経路可視化方法は、供試機器から発生するノイズの周波数を検出し、そのノイズの周波数に近い周波数（識別可能な範囲で、ノイズの周波数から僅かにずらした周波数）の試験信号（印加ノイズ）を供試機器に注入することで、供試機器から発生するノイズと試験信号（印加ノイズ）を周波数で分離し、その試験信号（印加ノイズ）の分布を可視化対象の周波数の分布として表示するものである。
Here, an electromagnetic field intensity distribution detection device that applies a propagation path visualization method that visualizes only electromagnetic noise injected from the outside while the EUT is operating is disclosed in
This propagation path visualization method detects the frequency of the noise generated from the EUT, and tests the test signal (applied noise) at a frequency close to the noise frequency (a frequency that is identifiable and slightly shifted from the noise frequency). ) Is injected into the EUT, the noise generated from the EUT and the test signal (applied noise) are separated by frequency, and the distribution of the test signal (applied noise) is displayed as the frequency distribution to be visualized. Is.
この伝搬経路可視化方法では、可視化対象の周波数の設定を行う主体はオペレータであり、オペレータが、供試機器に注入する試験信号（印加ノイズ）の周波数（ｆ＋Δｆ）を決定するが、スペクトルアナライザの周波数分解能帯域幅であるＲＢＷが離隔周波数Δｆより小さくなる条件の下で（ＲＢＷ＜Δｆ）、可視化対象の周波数に最も近い周波数を試験信号（印加ノイズ）の周波数（ｆ＋Δｆ）として選択するようにする。
したがって、供試機器から発生している信号の帯域幅が広い場合、離隔周波数Δｆが大きくなる場合も想定される。
しかし、高い離隔周波数Δｆを選択してしまうと、供試機器から発生するノイズの伝搬経路が、試験信号（印加ノイズ）を注入していない場合に供試機器から発生するノイズの伝搬経路と異なってしまうことがある。
In this propagation path visualization method, the operator who sets the frequency to be visualized is the operator, and the operator determines the frequency (f + Δf) of the test signal (applied noise) to be injected into the EUT. Under the condition that the resolution bandwidth RBW is smaller than the separation frequency Δf (RBW <Δf), the frequency closest to the visualization target frequency is selected as the frequency (f + Δf) of the test signal (applied noise).
Therefore, when the bandwidth of the signal generated from the EUT is wide, the separation frequency Δf may be increased.
However, if a high separation frequency Δf is selected, the propagation path of noise generated from the equipment under test differs from the propagation path of noise generated from the equipment under test when no test signal (applied noise) is injected. May end up.
従来の電磁界強度分布検出装置は以上のように構成されているので、試験信号（印加ノイズ）の周波数（ｆ＋Δｆ）を決定する際、どこまで離隔周波数Δｆを大きくすると、供試機器から発生するノイズの伝搬経路が、試験信号（印加ノイズ）を注入していない場合に供試機器から発生するノイズの伝搬経路と異なるのかが分からず、試験信号（印加ノイズ）の周波数（ｆ＋Δｆ）を適切に決定することができないことがある課題があった。 Since the conventional electromagnetic field intensity distribution detection apparatus is configured as described above, when determining the frequency (f + Δf) of the test signal (applied noise), the noise generated from the EUT when the separation frequency Δf is increased. When the test signal (applied noise) is not injected, it is unknown whether the propagation path of the test signal (applied noise) is different from the propagation path of the noise generated from the EUT, and the frequency (f + Δf) of the test signal (applied noise) is determined appropriately. There was a problem that could not be done.
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、供試機器の誤動作や性能劣化を評価する上で、適正な離隔周波数の最大値を決定することができる電磁界強度分布検出装置及び電磁界強度分布検出方法を得ることを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems. In evaluating the malfunction and performance degradation of the EUT, an electromagnetic field intensity distribution detection that can determine the maximum value of the appropriate separation frequency. It is an object of the present invention to obtain an apparatus and an electromagnetic field intensity distribution detection method.
この発明に係る電磁界強度分布検出装置は、試験対象の機器である供試機器に対して、電磁ノイズである試験信号を注入する試験信号注入手段と、供試機器から発生する電磁ノイズを検出する電磁ノイズ検出手段と、試験信号注入手段により注入される試験信号の周波数を切り換える周波数制御手段と、周波数制御手段により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、電磁ノイズ検出手段又は供試機器を移動して、供試機器に対する電磁ノイズ検出手段の相対位置を順次切り換える走査手段と、走査手段により相対位置が切り換えられる毎に、電磁ノイズ検出手段により検出された電磁ノイズの電磁界強度を測定して、供試機器から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する電磁界強度分布検出手段と、周波数制御手段により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、電磁界強度分布検出手段により検出された電磁界強度分布を記憶する電磁界強度分布記憶手段とを設け、周波数特定手段が、電磁界強度分布記憶手段に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布との一致度を判定し、試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っている電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数の中で、基準周波数と最も離れている周波数を特定するようにしたものである。 An electromagnetic field intensity distribution detecting apparatus according to the present invention detects a test signal injection means for injecting a test signal which is electromagnetic noise to a test equipment which is a device to be tested, and electromagnetic noise generated from the test equipment. The electromagnetic noise detection means, the frequency control means for switching the frequency of the test signal injected by the test signal injection means, and the electromagnetic noise detection means or the EUT are moved each time the frequency of the test signal is switched by the frequency control means. And measuring the electromagnetic field intensity of the electromagnetic noise detected by the electromagnetic noise detecting means each time the relative position of the electromagnetic noise detecting means with respect to the EUT is sequentially switched and the relative position is switched by the scanning means. , Electromagnetic field intensity distribution detection means for detecting the electromagnetic field intensity distribution of electromagnetic noise generated from the EUT, and the test signal by the frequency control means Each time the frequency is switched, there is provided an electromagnetic field intensity distribution storing means for storing the electromagnetic field intensity distribution detected by the electromagnetic field intensity distribution detecting means, and the frequency specifying means is stored in the electromagnetic field intensity distribution storing means. The degree of coincidence between the electromagnetic field intensity distribution when the test signal frequency is the reference frequency and the electromagnetic field intensity distribution when the test signal frequency is a frequency other than the reference frequency is determined, and the test signal frequency is the reference frequency. In the test signal frequency corresponding to the electromagnetic field strength distribution whose degree of coincidence with the electromagnetic field strength distribution exceeds the predetermined value, the frequency farthest from the reference frequency is specified. is there.
この発明によれば、走査手段により相対位置が切り換えられる毎に、電磁ノイズ検出手段により検出された電磁ノイズの電磁界強度を測定して、供試機器から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する電磁界強度分布検出手段と、周波数制御手段により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、電磁界強度分布検出手段により検出された電磁界強度分布を記憶する電磁界強度分布記憶手段とを設け、周波数特定手段が、電磁界強度分布記憶手段に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布との一致度を判定し、試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っている電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数の中で、基準周波数と最も離れている周波数を特定するように構成したので、供試機器の誤動作や性能劣化を評価する上で、適正な離隔周波数の最大値を決定することができる効果がある。 According to this invention, every time the relative position is switched by the scanning means, the electromagnetic field intensity of the electromagnetic noise detected by the electromagnetic noise detecting means is measured, and the electromagnetic field intensity distribution of the electromagnetic noise generated from the EUT is measured. An electromagnetic field intensity distribution detecting means for detecting and an electromagnetic field intensity distribution storing means for storing the electromagnetic field intensity distribution detected by the electromagnetic field intensity distribution detecting means each time the frequency of the test signal is switched by the frequency control means are provided. Electromagnetic field intensity distribution when the frequency of the test signal stored in the electromagnetic field intensity distribution storage means is the reference frequency and the electromagnetic field when the frequency of the test signal is a frequency other than the reference frequency The degree of coincidence with the intensity distribution is judged, and when the frequency of the test signal is the reference frequency, the degree of coincidence with the electromagnetic field intensity distribution exceeds the predetermined value. Since it is configured to identify the frequency that is farthest from the reference frequency among the corresponding test signal frequencies, the maximum value of the appropriate separation frequency is determined in order to evaluate malfunctions and performance degradation of the EUT. There is an effect that can be done.
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による電磁界強度分布検出装置を示す構成図である。
図１において、供試機器１は試験対象の電子機器である。
信号発生器３は制御部７により指示された周波数の試験信号（電磁ノイズ）を発生する信号源である。
アンプ４は信号発生器３から発生された試験信号を増幅し、増幅後の試験信号を注入プローブ５に出力する処理を実施する。
注入プローブ５は供試機器１の接続ケーブル２（例えば、電源ケーブル）が挿入されており、接続ケーブル２を介して、アンプ４により増幅された試験信号を供試機器１に注入する機器である。
ここでは、注入プローブ５が、供試機器１の接続ケーブル２にクランプするタイプのものを示しているが、試験信号を供試機器１に注入することができればよく、クランプするタイプに限るものではない。したがって、被接触型プローブでもよいし、接触型プローブでもよい。また、照射アンテナによる方法を用いても構わない。
なお、信号発生器３、アンプ４及び注入プローブ５から試験信号注入手段が構成されている。
1 is a block diagram showing an electromagnetic field intensity distribution detecting apparatus according to
In FIG. 1, an
The
The amplifier 4 amplifies the test signal generated from the
The
Here, the
The
検出プローブ６は可動部９に支持されており、供試機器１から発生する電磁ノイズを検出し、その電磁ノイズの検出信号を出力するセンサである。なお、検出プローブ６は電磁ノイズ検出手段を構成している。
制御部７は例えばＣＰＵを実装している半導体集積回路、あるいは、ワンチップマイコンなどから構成されており、信号発生器３から発生される試験信号の周波数を切り換える制御を実施するとともに、走査部８の走査方向を指示する処理を実施する。なお、制御部７は周波数制御手段を構成している。
制御部７は、電磁界強度分布検出部１２、電磁界強度分布記憶部１３及び周波数特定部１４を内蔵しており、これらの処理内容は後述する。
The detection probe 6 is supported by the movable part 9 and is a sensor that detects electromagnetic noise generated from the
The control unit 7 is composed of, for example, a semiconductor integrated circuit on which a CPU is mounted, a one-chip microcomputer, or the like. The control unit 7 performs control to switch the frequency of the test signal generated from the
The control unit 7 includes an electromagnetic field intensity distribution detection unit 12, an electromagnetic field intensity
走査部８は例えばＣＰＵを実装している半導体集積回路、あるいは、ワンチップマイコンなどから構成されており、制御部７により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、制御部７により指示された走査方向に可動部９を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換える処理を実施する。
ここでは、可動部９を移動させる例を示しているが、供試機器１を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換えるようにしてもよい。
可動部９は検出プローブ６を支持しており、走査部８から出力される制御信号が示す方向に移動する機構である。
なお、走査部８及び可動部９から走査手段が構成されている。
The
Here, although the example which moves the movable part 9 is shown, you may make it change the relative position (x, y) of the detection probe 6 with respect to the
The movable unit 9 supports the detection probe 6 and is a mechanism that moves in the direction indicated by the control signal output from the
The
アンプ１０は検出プローブ６から出力された検出信号を増幅し、増幅後の検出信号を電磁界強度計１１に出力する処理を実施する。
電磁界強度計１１は可動部９により供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）が切り換えられる毎に、アンプ１０により増幅された検出信号から電磁ノイズの電磁界強度を測定する測定器である。
The
The electromagnetic
電磁界強度分布検出部１２は制御部７の一部を構成しており、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）と電磁界強度計１１により測定された電磁界強度の組から、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する処理を実施する。
ここでは、電磁界強度分布検出部１２が制御部７に内蔵されている例を示しているが、電磁界強度分布検出部１２が制御部７の外部に設置されて、制御部７とは無関係に所定の処理を実施するようにしてもよい。
なお、アンプ１０、電磁界強度計１１及び電磁界強度分布検出部１２から電磁界強度分布検出手段が構成されている。
The electromagnetic field intensity distribution detection unit 12 constitutes a part of the control unit 7, and the relative position (x, y) of the detection probe 6 with respect to the
Here, an example in which the electromagnetic field intensity distribution detection unit 12 is built in the control unit 7 is shown, but the electromagnetic field intensity distribution detection unit 12 is installed outside the control unit 7 and is not related to the control unit 7. Alternatively, a predetermined process may be performed.
The
電磁界強度分布記憶部１３は例えばＲＡＭなどの記憶装置から構成されており、試験信号の周波数が切り換えられる毎に、電磁界強度分布検出部１２により検出された電磁界強度分布を記憶する。
ここでは、電磁界強度分布記憶部１３が制御部７に内蔵されている例を示しているが、電磁界強度分布記憶部１３が制御部７の外部に設置されていてもよい。
なお、電磁界強度分布記憶部１３は電磁界強度分布記憶手段を構成している。
The electromagnetic field intensity
Here, an example in which the electromagnetic field intensity
The electromagnetic field intensity
周波数特定部１４は電磁界強度分布記憶部１３に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度を判定し、その一致度が所定値を上回る電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、基準周波数ｆと最も離れている周波数を特定する処理を実施する。ただし、ｎ＝１，２，・・・，Ｎである。
即ち、周波数特定部１４は走査部８により切り換えられる相対位置（ｘ，ｙ）毎に、信号発生器３から基準周波数ｆの試験信号が発生された場合の電磁界強度と、信号発生器３から基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が注入された場合の電磁界強度との差分を求めて、その差分が所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）を逸脱しているか否かを判定し、所定範囲を逸脱している差分の個数が所定数に満たなければ、電磁界強度分布記憶部１３に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布（ｆ＋ｎ・Δｆ）との一致度が所定値を上回っていると判定し、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っている電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、基準周波数ｆと最も離れている周波数を特定する処理を実施する。
ここでは、周波数特定部１４が制御部７に内蔵されている例を示しているが、周波数特定部１４が制御部７の外部に設置されて、制御部７とは無関係に所定の処理を実施するようにしてもよい。
なお、周波数特定部１４は周波数特定手段を構成している。
The
That is, the
Here, an example in which the
In addition, the frequency specific |
データ処理部１５は例えばＣＰＵを実装している半導体集積回路、あるいは、ワンチップマイコンなどから構成されており、電磁界強度分布検出部１２と同様に、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを生成する処理を実施する。
ここでは、データ処理部１５が電磁ノイズの電磁界強度分布を検出するものとしているが、電磁界強度分布検出部１２により検出された電磁界強度分布を取得するようにしてもよい。
The
Here, the
表示部１６は例えば液晶ディスプレイなどから構成されており、データ処理部１５により生成された電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを表示するとともに、周波数特定部１４により特定された周波数（基準周波数ｆと最も離れている周波数）を表示する処理を実施する。
なお、データ処理部１５及び表示部１６から電磁界強度分布表示手段が構成されている。
The
The
図１の例では、電磁界強度分布検出装置の構成要素である信号発生器３、アンプ４、注入プローブ５、検出プローブ６、制御部７、走査部８、可動部９、アンプ１０、電磁界強度計１１、データ処理部１５及び表示部１６のそれぞれが専用のハードウェアで構成されているものを想定しているが、電磁界強度分布検出装置の一部がコンピュータで構成されていてもよい。
電磁界強度分布検出装置の一部がコンピュータで構成されている場合（例えば、制御部７、走査部８、電磁界強度計１１、データ処理部１５及び表示部１６）、制御部７、走査部８、電磁界強度計１１、データ処理部１５及び表示部１６の処理内容を記述しているプログラムをコンピュータのメモリに格納し、当該コンピュータのＣＰＵが当該メモリに格納されているプログラムを実行するようにすればよい。
図２はこの発明の実施の形態１による電磁界強度分布検出装置の処理内容（電磁界強度分布検出方法）を示すフローチャートである。
In the example of FIG. 1, the
When a part of the electromagnetic field intensity distribution detection device is configured by a computer (for example, control unit 7, scanning
FIG. 2 is a flowchart showing the processing contents (electromagnetic field intensity distribution detecting method) of the electromagnetic field intensity distribution detecting apparatus according to
次に動作について説明する。
制御部７は、信号発生器３から発生される試験信号の周波数を切り換える制御を実施する。
ここでは、説明の便宜上、可視化対象の周波数をｆに設定して、信号発生器３から発生される試験信号の周波数を基準周波数ｆ（可視化対象の周波数と等しい周波数）に設定したのち、試験信号の周波数を基準周波数以外の周波数（ｆ±ｎ・Δｆ）に設定するものとする。
図３は信号発生器３から発生される試験信号の関係を示す説明図である。
周波数（ｆ±ｎ・Δｆ）は、可視化対象の周波数である基準周波数ｆから僅かにずれた周波数である。
Next, the operation will be described.
The control unit 7 performs control to switch the frequency of the test signal generated from the
Here, for convenience of explanation, the frequency to be visualized is set to f, the frequency of the test signal generated from the
FIG. 3 is an explanatory diagram showing the relationship of test signals generated from the
The frequency (f ± n · Δf) is a frequency slightly shifted from the reference frequency f that is a frequency to be visualized.
なお、周波数（ｆ±ｎ・Δｆ）の試験信号が供試機器１に注入されたときに、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布が、基準周波数ｆの試験信号が供試機器１に注入されたときに、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布と同じ傾向を示すようにするには、周波数（ｆ±ｎ・Δｆ）が、可視化対象の周波数ｆに近い周波数である必要がある。
このとき、電磁界強度計１１が、基準周波数ｆの電磁界強度と、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の電磁界強度とを分離して測定できるようにするために、電磁界強度計１１の周波数分解能帯域幅（ＲＢＷ）を離隔周波数Δｆよりも狭く設定する必要がある。
When a test signal with a frequency (f ± n · Δf) is injected into the
At this time, in order to enable the electromagnetic
信号発生器３は、制御部７が試験信号の周波数を基準周波数ｆに設定すると（ステップＳＴ１）、周波数ｆの試験信号（電磁ノイズ）を発生する。
アンプ４は、信号発生器３から周波数ｆの試験信号を受けると、周波数ｆの試験信号を増幅し、増幅後の周波数ｆの試験信号を注入プローブ５に出力する。
注入プローブ５は、供試機器１の接続ケーブル２が挿入されており、アンプ４から増幅後の周波数ｆの試験信号を受けると、接続ケーブル２を介して、周波数ｆの試験信号を供試機器１に注入する。
ここでは、アンプ４が、周波数ｆの試験信号を増幅しているが、後述する検出プローブ６が、電磁ノイズとして試験信号を検出することができる程度に、周波数ｆの試験信号のレベルが高ければ、アンプ４を実装していなくてもよい。
When the control unit 7 sets the frequency of the test signal to the reference frequency f (step ST1), the
Upon receiving the test signal having the frequency f from the
The
Here, the amplifier 4 amplifies the test signal of the frequency f. However, if the level of the test signal of the frequency f is high enough that the detection probe 6 described later can detect the test signal as electromagnetic noise. The amplifier 4 may not be mounted.
制御部７は、試験信号の周波数を基準周波数ｆに設定したのち、走査部８の走査方向を指示する。
走査部８は、制御部７により指示された走査方向に可動部９を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換えるようにする。
即ち、走査部８は、制御部７の指示の下、検出プローブ６をＸ方向（横方向）、Ｙ方向（縦方向）、Ｚ方向（高さ方向）及びθ方向（回転方向）に移動させることで、供試機器１の全面を走査させる。
例えば、Ｚ方向（高さ方向）及びθ方向（回転方向）については一定にして、Ｘ方向（横方向）とＹ方向（縦方向）を下記のように切り換える走査が考えられる。
（ｘ１，ｙ１）→（ｘ２，ｙ１）→・・・→（ｘＭ，ｙ１）
→（ｘ１，ｙ２）→（ｘ２，ｙ２）→・・・→（ｘＭ，ｙ２）
：
→（ｘ１，ｙＮ）→（ｘ２，ｙＮ）→・・・→（ｘＭ，ｙＮ）
The control unit 7 instructs the scanning direction of the
The
That is, the
For example, scanning in which the Z direction (height direction) and the θ direction (rotation direction) are constant and the X direction (horizontal direction) and the Y direction (vertical direction) are switched as follows can be considered.
(X 1 , y 1 ) → (x 2 , y 1 ) → ・ ・ ・ → (x M , y 1 )
→ (x 1 , y 2 ) → (x 2 , y 2 ) → ・ ・ ・ → (x M , y 2 )
:
→ (x 1 , y N ) → (x 2 , y N ) → ・ ・ ・ → (x M , y N )
検出プローブ６は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、供試機器１から発生する電磁ノイズを検出し、その電磁ノイズの検出信号をアンプ１０に出力する。
アンプ１０は、検出プローブ６から検出信号を受けると、その検出信号を増幅し、増幅後の検出信号を電磁界強度計１１に出力する。
電磁界強度計１１は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、アンプ１０により増幅された検出信号から電磁ノイズの電磁界強度を測定する。
ここでは、アンプ１０が、検出信号を増幅しているが、電磁界強度計１１が検出信号から電磁ノイズの電磁界強度を測定することができる程度に、その検出信号のレベルが高ければ、アンプ１０を実装していなくてもよい。
The detection probe 6 detects electromagnetic noise generated from the
Upon receiving the detection signal from the detection probe 6, the
The electromagnetic
Here, the
制御部７の電磁界強度分布検出部１２は、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）と電磁界強度計１１により測定された電磁界強度の組から、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する（ステップＳＴ２）。
即ち、電磁界強度分布検出部１２は、電磁界強度計１１から相対位置（ｘ１，ｙ１）〜（ｘＭ，ｙＮ）で測定された電磁界強度をそれぞれ取得して、それらの電磁界強度の集合である電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する。
The electromagnetic field intensity distribution detection unit 12 of the control unit 7 determines the
That is, the electromagnetic field intensity distribution detector 12 acquires the electromagnetic field intensities measured at the relative positions (x 1 , y 1 ) to (x M , y N ) from the electromagnetic
制御部７は、電磁界強度分布記憶部１３が、試験信号の周波数が基準周波数ｆであるときの電磁界強度分布を記憶すると、信号発生器３から発生される試験信号の周波数を基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定する（ステップＳＴ３）。ここでは、説明の便宜上、ｎ＝１とする。
この実施の形態１では、試験信号の周波数を周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定する例を説明するが、試験信号の周波数を周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）にも設定して、以下、同様の処理を実施する。
When the electromagnetic field intensity
In the first embodiment, an example in which the frequency of the test signal is set to the frequency (f + n · Δf) will be described, but the frequency of the test signal is also set to the frequency (f−n · Δf). Implement the process.
信号発生器３は、制御部７が試験信号の周波数を基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定すると、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号（電磁ノイズ）を発生する。
アンプ４は、信号発生器３から周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を受けると、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を増幅し、増幅後の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を注入プローブ５に出力する。
注入プローブ５は、供試機器１の接続ケーブル２が挿入されており、アンプ４から増幅後の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を受けると、接続ケーブル２を介して、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を供試機器１に注入する。
When the control unit 7 sets the frequency of the test signal to a frequency (f + n · Δf) other than the reference frequency, the
When the amplifier 4 receives the test signal having the frequency (f + n · Δf) from the
The
制御部７は、試験信号の周波数を周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定したのち、走査部８の走査方向を指示する。
走査部８は、制御部７により指示された走査方向に可動部９を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換えるようにする。
相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換える処理は、試験信号の周波数が基準周波数ｆに設定された場合と同様であり、同じ相対位置（ｘ，ｙ）に切り換えられる。
The control unit 7 instructs the scanning direction of the
The
The process of sequentially switching the relative position (x, y) is the same as when the test signal frequency is set to the reference frequency f, and is switched to the same relative position (x, y).
検出プローブ６は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、供試機器１から発生する電磁ノイズを検出し、その電磁ノイズの検出信号をアンプ１０に出力する。
アンプ１０は、検出プローブ６から検出信号を受けると、その検出信号を増幅し、増幅後の検出信号を電磁界強度計１１に出力する。
電磁界強度計１１は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、アンプ１０により増幅された検出信号から電磁ノイズの電磁界強度を測定する。
The detection probe 6 detects electromagnetic noise generated from the
Upon receiving the detection signal from the detection probe 6, the
The electromagnetic
制御部７の電磁界強度分布検出部１２は、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）と電磁界強度計１１により測定された電磁界強度の組から、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する（ステップＳＴ４）。
即ち、電磁界強度分布検出部１２は、電磁界強度計１１から相対位置（ｘ１，ｙ１）〜（ｘＭ，ｙＮ）で測定された電磁界強度をそれぞれ取得して、それらの電磁界強度の集合である電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する。
The electromagnetic field intensity distribution detection unit 12 of the control unit 7 determines the
That is, the electromagnetic field intensity distribution detector 12 acquires the electromagnetic field intensities measured at the relative positions (x 1 , y 1 ) to (x M , y N ) from the electromagnetic
制御部７の周波数特定部１４は、電磁界強度分布記憶部１３から試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布とを読み込み（ステップＳＴ５）、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度を判定する。
即ち、周波数特定部１４は、各々の相対位置（ｘ，ｙ）毎に、基準周波数ｆの試験信号が発生された場合の電磁界強度と、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が注入された場合の電磁界強度との差分ｄｖを算出する（ステップＳＴ６）。
周波数特定部１４は、差分ｄｖを算出すると、その差分ｄｖが所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）を逸脱しているか否かを判定し（ステップＳＴ７）、その差分ｄｖが所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）を逸脱していれば、その差分ｄｖの算出元の電磁界強度の測定位置である相対位置（ｘ，ｙ）を記録する（ステップＳＴ８）。また、その差分ｄｖが所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）を逸脱しなければ、相対位置（ｘ，ｙ）を記録せずにステップＳＴ９に進む。
なお、所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）は、電磁界強度の変動や、繰り返し測定による変動の誤差範囲を鑑みて、オペレータ等に決定される値であり、例えば、３ｄＢの値などが考えられる。
The
That is, the
After calculating the difference dv, the
Note that the predetermined range (−ΔV to + ΔV) is a value determined by an operator or the like in view of fluctuations in electromagnetic field strength and fluctuation error ranges due to repetitive measurement. For example, a value of 3 dB may be considered.
周波数特定部１４は、全ての相対位置（ｘ，ｙ）について、電磁界強度の差分ｄｖが所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）を逸脱しているか否かを判定すると（ステップＳＴ９）、ステップＳＴ８で記録している相対位置（ｘ，ｙ）の個数が所定数を超えているか否かを判定する（ステップＳＴ１０）。
ここでの所定数は、オペレータにより決定される値であり、例えば、電磁界強度の全測定位置の個数の２割の値などが考えられる。
周波数特定部１４は、ステップＳＴ８で記録している相対位置（ｘ，ｙ）の個数が所定数を超えていれば、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を下回っていると判定する。
一方、ステップＳＴ８で記録している相対位置（ｘ，ｙ）の個数が所定数以下であれば、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っていると判定する。
ここで言う所定値とは、一致度を判定するための閾値であり、例えば、基板上の全ての相対位置数の８０％の値に設定する等が考えられる。
When the
The predetermined number here is a value determined by the operator, and for example, a value that is 20% of the number of all the measurement positions of the electromagnetic field strength can be considered.
If the number of relative positions (x, y) recorded in step ST8 exceeds a predetermined number, the
On the other hand, if the number of relative positions (x, y) recorded in step ST8 is equal to or less than the predetermined number, the electromagnetic field intensity distribution when the frequency of the test signal is the reference frequency f and the frequency of the test signal are ( It is determined that the degree of coincidence with the electromagnetic field intensity distribution in the case of f + n · Δf) exceeds a predetermined value.
The predetermined value referred to here is a threshold value for determining the degree of coincidence. For example, it may be set to a value of 80% of the number of all relative positions on the substrate.
周波数特定部１４は、一致度が所定値を上回っていると判定すると、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）を記録し（ステップＳＴ１１）、ｎの値を１だけ増やして（ステップＳＴ１２）、ステップＳＴ３の処理に戻るようにする。これにより、ステップＳＴ３〜ＳＴ１１の処理が繰り返し実施される。
周波数特定部１４は、一致度が所定値を下回っていると判定すると、ｎ・Δｆの大きさが限界に達していると判断し、ステップＳＴ１１で記録している周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、最も高い周波数（基準周波数ｆと最も離れている周波数）を特定し、その周波数におけるｎ・Δｆを離隔周波数の最大値に決定する（ステップＳＴ１３）。
例えば、周波数（ｆ＋Δｆ）、周波数（ｆ＋２・Δｆ）、周波数（ｆ＋３・Δｆ）が記録されていれば、３・Δｆを離隔周波数の最大値に決定する
When determining that the degree of coincidence exceeds a predetermined value, the
When determining that the degree of coincidence is lower than the predetermined value, the
For example, if frequency (f + Δf), frequency (f + 2 · Δf), and frequency (f + 3 · Δf) are recorded, 3 · Δf is determined as the maximum value of the separation frequency.
ここでは、信号発生器３から周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が発生するようにしているため、周波数特定部１４が、ステップＳＴ１１で記録している周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、最も高い周波数を特定するようにしているが、信号発生器３から周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）の試験信号が発生される場合、周波数特定部１４が、ステップＳＴ１１で周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）を記録するため、ステップＳＴ１１で記録している周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）の中で、最も低い周波数（基準周波数ｆと最も離れている周波数）を特定し、その周波数におけるｎ・Δｆを離隔周波数の最大値に決定する。
Here, since a test signal having a frequency (f + n · Δf) is generated from the
データ処理部１５は、電磁界強度分布検出部１２と同様に、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを生成する。あるいは、電磁界強度分布検出部１２により検出された電磁界強度分布を取得して、その電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを生成する。
表示部１６は、データ処理部１５により生成された電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを表示するとともに、周波数特定部１４により決定された離隔周波数の最大値を表示する。
なお、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布を示すグラフ図等を表示することで、供試機器１から発生する電磁ノイズと同じ周波数の試験信号を注入した場合の電磁界強度分布を近似的に表現することが可能になる。
The
The
When a test signal having the same frequency as the electromagnetic noise generated from the
以上で明らかなように、この実施の形態１によれば、走査部８により相対位置（ｘ，ｙ）が切り換えられる毎に、検出プローブ６により検出された電磁ノイズの電磁界強度を測定して、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する電磁界強度分布検出部１２と、制御部７により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、電磁界強度分布検出部１２により検出された電磁界強度分布を記憶する電磁界強度分布記憶部１３とを設け、周波数特定部１４が、電磁界強度分布記憶部１３に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度を判定し、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っている電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、基準周波数ｆと最も離れている周波数を特定するように構成したので、供試機器１の誤動作や性能劣化を評価する上で、適正な離隔周波数の最大値を決定することができる効果を奏する。
As apparent from the above, according to the first embodiment, every time the relative position (x, y) is switched by the
実施の形態２．
図４はこの発明の実施の形態２による電磁界強度分布検出装置の処理内容（電磁界強度分布検出方法）を示すフローチャートである。この実施の形態２では、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を注入したときの電磁界強度分布の最大値〜最小値の範囲が、全ての相対位置（ｘ，ｙ）において、相対的に−ΔＶ〜＋ΔＶの範囲にあればよい。即ち、所定範囲を（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）のように設定してもよい。
上記実施の形態１では、周波数特定部１４が、２つの電磁界強度の差分ｄｖが所定範囲（−ΔＶ〜＋ΔＶ）を逸脱しているか否かを判定するものを示したが、この実施の形態２では、予め所定範囲を（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）のように設定して、周波数特定部１４が、２つの電磁界強度の差分ｄｖが所定範囲（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）を逸脱しているか否かを判定し（ステップＳＴ２０）、その差分ｄｖが所定範囲（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）を逸脱していれば、その差分ｄｖの算出元の電磁界強度の測定位置である相対位置（ｘ，ｙ）を記録するようにしてもよい。
FIG. 4 is a flowchart showing processing contents (electromagnetic field intensity distribution detecting method) of the electromagnetic field intensity distribution detecting apparatus according to the second embodiment of the present invention. In the second embodiment, the range of the maximum value to the minimum value of the electromagnetic field intensity distribution when the test signal of frequency (f + n · Δf) is injected is relatively − at all relative positions (x, y). It may be in the range of ΔV to + ΔV. That is, the predetermined range may be set as (Vc−ΔV to Vc + ΔV).
In the first embodiment, the
ここで、Ｖｃは一定の値であり、例えば、試験信号の伝搬経路となることが分かっている相対位置（ｘ，ｙ）において、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度との差分などが該当する。
また、ΔＶは電磁界強度の変動や、繰り返し測定による変動の誤差範囲を鑑みて、オペレータ等に決定される値であり、例えば、３ｄＢの値などが考えられる。
Here, Vc is a constant value, for example, the electromagnetic field strength when the frequency of the test signal is the reference frequency f at the relative position (x, y) that is known to be the propagation path of the test signal. This corresponds to the difference from the electromagnetic field intensity when the frequency of the test signal is (f + n · Δf).
ΔV is a value determined by an operator or the like in view of fluctuations in electromagnetic field intensity and fluctuation error ranges due to repeated measurement. For example, a value of 3 dB can be considered.
以上で明らかなように、この実施の形態２によれば、周波数特定部１４が、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を注入したときの電磁界強度分布の最大値〜最小値の範囲が、全ての相対位置（ｘ，ｙ）において、相対的に−ΔＶ〜＋ΔＶの範囲内となるように、予め所定範囲を（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）のように設定し、２つの電磁界強度の差分ｄｖが所定範囲（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）を逸脱しているか否かを判定し、その差分ｄｖが所定範囲（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ）を逸脱していれば、その差分ｄｖの算出元の電磁界強度の測定位置である相対位置（ｘ，ｙ）を記録するように構成したので、上記実施の形態１と同様に、供試機器１の誤動作や性能劣化を評価する上で、適正な離隔周波数の最大値を決定することができるほか、各々の相対位置（ｘ，ｙ）において、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度とのレベルが異なる場合でも、離隔周波数の最大値を決定することができる効果を奏する。
As is apparent from the above, according to the second embodiment, the range from the maximum value to the minimum value of the electromagnetic field intensity distribution when the
実施の形態３．
上記実施の形態１，２では、周波数特定部１４が、各々の相対位置（ｘ，ｙ）毎に、基準周波数ｆの試験信号が発生された場合の電磁界強度と、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が注入された場合の電磁界強度との差分ｄｖを算出し、その差分ｄｖが所定範囲（（−ΔＶ〜＋ΔＶ）又は（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ））を逸脱しているか否かを判定するものを示したが、周波数特定部１４が、各々の相対位置（ｘ，ｙ）毎に、試験信号が注入されていない場合の基準周波数ｆの電磁界強度と、基準周波数ｆの試験信号が注入された場合の基準周波数ｆの電磁界強度との差分ｄｖ’を算出し、その差分ｄｖ’が所定の判定値以上である場合に限り、基準周波数ｆの試験信号が発生された場合の電磁界強度と、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が注入された場合の電磁界強度との差分ｄｖを算出し、その差分ｄｖが所定範囲（（−ΔＶ〜＋ΔＶ）又は（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ））を逸脱しているか否かを判定するようにしてもよい。
In the first and second embodiments, the
具体的には、以下の通りである。
図５はこの発明の実施の形態３による電磁界強度分布検出装置の処理内容（電磁界強度分布検出方法）を示すフローチャートである。
まず、制御部７は、可視化対象の周波数をｆに設定し、信号発生器３から試験信号が発生されないように制御する（ステップＳＴ３１）。
次に、制御部７は、上記実施の形態１と同様に、走査部８の走査方向を指示する。
走査部８は、制御部７により指示された走査方向に可動部９を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換えるようにする。
相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換える処理は、上記実施の形態１と同様である。
Specifically, it is as follows.
FIG. 5 is a flowchart showing the processing contents (electromagnetic field intensity distribution detecting method) of the electromagnetic field intensity distribution detecting apparatus according to
First, the control unit 7 sets the frequency to be visualized to f, and controls so that a test signal is not generated from the signal generator 3 (step ST31).
Next, the control unit 7 instructs the scanning direction of the
The
The process of sequentially switching the relative position (x, y) is the same as in the first embodiment.
検出プローブ６は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、供試機器１から発生する電磁ノイズを検出し、その電磁ノイズの検出信号をアンプ１０に出力する。
アンプ１０は、検出プローブ６から検出信号を受けると、その検出信号を増幅し、増幅後の検出信号を電磁界強度計１１に出力する。
電磁界強度計１１は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、アンプ１０により増幅された検出信号から電磁ノイズ（暗ノイズ）の電磁界強度を測定する。
The detection probe 6 detects electromagnetic noise generated from the
Upon receiving the detection signal from the detection probe 6, the
The electromagnetic
制御部７の電磁界強度分布検出部１２は、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）と電磁界強度計１１により測定された電磁界強度の組から、供試機器１から発生する電磁ノイズ（暗ノイズ）の電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する（ステップＳＴ３２）。
即ち、電磁界強度分布検出部１２は、電磁界強度計１１から相対位置（ｘ１，ｙ１）〜（ｘＭ，ｙＮ）で測定された電磁界強度（暗ノイズ）をそれぞれ取得して、それらの電磁界強度（暗ノイズ）の集合である電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する。
The electromagnetic field intensity distribution detection unit 12 of the control unit 7 determines the
That is, the electromagnetic field intensity distribution detector 12 acquires the electromagnetic field intensity (dark noise) measured at the relative positions (x 1 , y 1 ) to (x M , y N ) from the electromagnetic
制御部７は、電磁界強度分布記憶部１３が、試験信号が発生されてないときの電磁界強度分布を記憶すると、信号発生器３から発生される試験信号の周波数を基準周波数ｆに設定する（ステップＳＴ３３）。
信号発生器３は、制御部７が試験信号の周波数を基準周波数ｆに設定すると、周波数ｆの試験信号（電磁ノイズ）を発生する。
アンプ４は、信号発生器３から周波数ｆの試験信号を受けると、周波数ｆの試験信号を増幅し、増幅後の周波数ｆの試験信号を注入プローブ５に出力する。
注入プローブ５は、供試機器１の接続ケーブル２が挿入されており、アンプ４から増幅後の周波数ｆの試験信号を受けると、接続ケーブル２を介して、周波数ｆの試験信号を供試機器１に注入する。
When the electromagnetic field intensity
When the control unit 7 sets the frequency of the test signal to the reference frequency f, the
Upon receiving the test signal having the frequency f from the
The
制御部７は、試験信号の周波数を基準周波数ｆに設定したのち、走査部８の走査方向を指示する。
走査部８は、制御部７により指示された走査方向に可動部９を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換えるようにする。
相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換える処理は、試験信号が注入されていない場合と同様であり、同じ相対位置（ｘ，ｙ）に切り換えられる。
The control unit 7 instructs the scanning direction of the
The
The process of sequentially switching the relative position (x, y) is the same as the case where the test signal is not injected, and is switched to the same relative position (x, y).
検出プローブ６は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、供試機器１から発生する電磁ノイズを検出し、その電磁ノイズの検出信号をアンプ１０に出力する。
アンプ１０は、検出プローブ６から検出信号を受けると、その検出信号を増幅し、増幅後の検出信号を電磁界強度計１１に出力する。
電磁界強度計１１は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、アンプ１０により増幅された検出信号から電磁ノイズの電磁界強度を測定する。
The detection probe 6 detects electromagnetic noise generated from the
Upon receiving the detection signal from the detection probe 6, the
The electromagnetic
制御部７の電磁界強度分布検出部１２は、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）と電磁界強度計１１により測定された電磁界強度の組から、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する（ステップＳＴ３４）。
即ち、電磁界強度分布検出部１２は、電磁界強度計１１から相対位置（ｘ１，ｙ１）〜（ｘＭ，ｙＮ）で測定された電磁界強度をそれぞれ取得して、それらの電磁界強度の集合である電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する。
The electromagnetic field intensity distribution detection unit 12 of the control unit 7 determines the
That is, the electromagnetic field intensity distribution detector 12 acquires the electromagnetic field intensities measured at the relative positions (x 1 , y 1 ) to (x M , y N ) from the electromagnetic
制御部７の周波数特定部１４は、各々の相対位置（ｘ，ｙ）毎に、試験信号が注入されていない場合の周波数ｆの電磁界強度と、基準周波数ｆの試験信号を注入した場合の周波数ｆの電磁界強度との差分ｄｖ’（絶対値）を算出し（ステップＳＴ３５）、その差分ｄｖ’が所定の判定値以上であるか否かを判定する（ステップＳＴ３６）。
周波数特定部１４は、その差分ｄｖ’が所定の判定値以上の場合、その差分ｄｖ’の算出元の電磁界強度の測定位置である相対位置（ｘ，ｙ）を記録して（ステップＳＴ３７）、ステップＳＴ３８の処理に移行する。
一方、その差分ｄｖ’が所定の判定値未満の場合、相対位置（ｘ，ｙ）を記録せずにステップＳＴ３８の処理に移行する。
ここでの所定の判定値は、試験信号の周波数がｆである場合の電磁界強度が試験信号が無い場合の電磁界強度にほぼ一致することを考慮して、ゼロに近い正の値が設定されている。
全ての測定点の判定が完了するまで、ステップＳＴ３５〜ＳＴ３７の処理を繰り返し実施し、全ての測定点の判定が完了すると、ステップＳＴ３９の処理に移行する。
The
When the difference dv ′ is equal to or greater than a predetermined determination value, the
On the other hand, if the difference dv ′ is less than the predetermined determination value, the process moves to step ST38 without recording the relative position (x, y).
The predetermined judgment value here is set to a positive value close to zero in consideration that the electromagnetic field intensity when the frequency of the test signal is f substantially matches the electromagnetic field intensity when there is no test signal. Has been.
Until the determination of all the measurement points is completed, the processes of steps ST35 to ST37 are repeatedly performed. When the determination of all the measurement points is completed, the process proceeds to step ST39.
制御部７は、全ての測定点の判定が完了すると、信号発生器３から発生される試験信号の周波数を基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定する（ステップＳＴ３９）。ここでは、説明の便宜上、ｎ＝１とする。
この実施の形態３では、試験信号の周波数を周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定する例を説明するが、試験信号の周波数を周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）にも設定して、以下、同様の処理を実施する。
When the determination of all the measurement points is completed, the control unit 7 sets the frequency of the test signal generated from the
In the third embodiment, an example in which the frequency of the test signal is set to the frequency (f + n · Δf) will be described. However, the frequency of the test signal is also set to the frequency (f−n · Δf). Implement the process.
信号発生器３は、制御部７が試験信号の周波数を基準周波数以外の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定すると、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号（電磁ノイズ）を発生する。
アンプ４は、信号発生器３から周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を受けると、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を増幅し、増幅後の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を注入プローブ５に出力する。
注入プローブ５は、供試機器１の接続ケーブル２が挿入されており、アンプ４から増幅後の周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を受けると、接続ケーブル２を介して、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号を供試機器１に注入する。
When the control unit 7 sets the frequency of the test signal to a frequency (f + n · Δf) other than the reference frequency, the
When the amplifier 4 receives the test signal having the frequency (f + n · Δf) from the
The
制御部７は、試験信号の周波数を周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）に設定したのち、走査部８の走査方向を指示する。
走査部８は、制御部７により指示された走査方向に可動部９を移動させて、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換えるようにする。
相対位置（ｘ，ｙ）を順次切り換える処理は、試験信号の周波数が基準周波数ｆに設定された場合と同様であり、同じ相対位置（ｘ，ｙ）に切り換えられる。
The control unit 7 instructs the scanning direction of the
The
The process of sequentially switching the relative position (x, y) is the same as when the test signal frequency is set to the reference frequency f, and is switched to the same relative position (x, y).
検出プローブ６は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、供試機器１から発生する電磁ノイズを検出し、その電磁ノイズの検出信号をアンプ１０に出力する。
アンプ１０は、検出プローブ６から検出信号を受けると、その検出信号を増幅し、増幅後の検出信号を電磁界強度計１１に出力する。
電磁界強度計１１は、可動部９が移動して、供試機器１に対する相対位置（ｘ，ｙ）が切り換わる毎に、アンプ１０により増幅された検出信号から電磁ノイズの電磁界強度を測定する。
The detection probe 6 detects electromagnetic noise generated from the
Upon receiving the detection signal from the detection probe 6, the
The electromagnetic
制御部７の電磁界強度分布検出部１２は、供試機器１に対する検出プローブ６の相対位置（ｘ，ｙ）と電磁界強度計１１により測定された電磁界強度の組から、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する（ステップＳＴ４０）。
即ち、電磁界強度分布検出部１２は、電磁界強度計１１から相対位置（ｘ１，ｙ１）〜（ｘＭ，ｙＮ）で測定された電磁界強度を取得して、それらの電磁界強度の集合である電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を電磁界強度分布記憶部１３に格納する。
The electromagnetic field intensity distribution detection unit 12 of the control unit 7 determines the
That is, the electromagnetic field intensity distribution detection unit 12 acquires the electromagnetic field intensity measured at the relative positions (x 1 , y 1 ) to (x M , y N ) from the electromagnetic
制御部７の周波数特定部１４は、電磁界強度分布記憶部１３から試験信号が注入されていない場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布とを読み込む処理を実施する（ステップＳＴ４１）。
制御部７は、当該相対位置（ｘ，ｙ）がステップＳＴ３７で記録している相対位置（ｘ，ｙ）と一致しているか否かを判定し（ステップＳＴ４２）、一致していれば、ステップＳＴ４６の処理に移行し、一致していなければ、ステップＳＴ４３の処理に移行する。
The
The control unit 7 determines whether or not the relative position (x, y) matches the relative position (x, y) recorded in step ST37 (step ST42). The process proceeds to ST46, and if they do not match, the process proceeds to step ST43.
周波数特定部１４は、当該相対位置（ｘ，ｙ）において、２つの電磁界強度がほぼ一致しているために、その差分ｄｖ’が所定の判定値に満たない場合、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の試験信号の伝搬経路ではないことが想定されるため、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度を判定する処理を省略する。
When the difference dv ′ is less than a predetermined determination value because the two electromagnetic field intensities substantially coincide with each other at the relative position (x, y), the
周波数特定部１４は、２つの電磁界強度がほぼ一致していないために、その差分ｄｖ’が所定の判定値以上である場合、上記実施の形態１，２と同様に、当該相対位置（ｘ，ｙ）において、基準周波数ｆの試験信号が発生された場合の電磁界強度と、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が注入された場合の電磁界強度との差分ｄｖを算出する（ステップＳＴ４３）。
周波数特定部１４は、差分ｄｖを算出すると、上記実施の形態１，２と同様に、その差分ｄｖが所定範囲（（−ΔＶ〜＋ΔＶ）又は（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ））を逸脱しているか否かを判定し（ステップＳＴ４４）、その差分ｄｖが所定範囲（（−ΔＶ〜＋ΔＶ）又は（Ｖｃ−ΔＶ〜Ｖｃ＋ΔＶ））を逸脱していれば、その差分ｄｖの算出元の電磁界強度の測定位置である相対位置（ｘ，ｙ）を記録する（ステップＳＴ４５）。
When the difference dv ′ is equal to or greater than a predetermined determination value because the two electromagnetic field intensities do not substantially match, the
When the
周波数特定部１４は、全ての相対位置（ｘ，ｙ）について、電磁界強度の差分ｄｖが所定範囲を逸脱しているか否かを判定すると（ステップＳＴ４６）、上記実施の形態１，２と同様に、ステップＳＴ４５で記録している相対位置（ｘ，ｙ）の個数が所定数を超えているか否かを判定する（ステップＳＴ４７）。
周波数特定部１４は、ステップＳＴ４５で記録している相対位置（ｘ，ｙ）の個数が所定数を超えていれば、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を下回っていると判定する。
一方、ステップＳＴ４５で記録している相対位置（ｘ，ｙ）の個数が所定数以下であれば、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っていると判定する。
When the
If the number of relative positions (x, y) recorded in step ST45 exceeds a predetermined number, the
On the other hand, if the number of relative positions (x, y) recorded in step ST45 is equal to or less than a predetermined number, the electromagnetic field intensity distribution when the frequency of the test signal is the reference frequency f and the frequency of the test signal are ( It is determined that the degree of coincidence with the electromagnetic field intensity distribution in the case of f + n · Δf) exceeds a predetermined value.
周波数特定部１４は、一致度が所定値を上回っていると判定すると、周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）を記録し（ステップＳＴ４８）、ｎの値を１だけ増やして（ステップＳＴ４９）、ステップＳＴ３５の処理に戻るようにする。これにより、ステップＳＴ３５〜ＳＴ４８の処理が繰り返し実施される。
周波数特定部１４は、一致度が所定値を下回っていると判定すると、ｎ・Δｆの大きさが限界に達していると判断し、ステップＳＴ４８で記録している周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、最も高い周波数（基準周波数ｆと最も離れている周波数）を特定し、その周波数におけるｎ・Δｆを離隔周波数の最大値に決定する（ステップＳＴ５０）。
例えば、周波数（ｆ＋Δｆ）、周波数（ｆ＋２・Δｆ）、周波数（ｆ＋３・Δｆ）が記録されていれば、３・Δｆを離隔周波数の最大値に決定する。
When determining that the degree of coincidence exceeds a predetermined value, the
If the
For example, if the frequency (f + Δf), the frequency (f + 2 · Δf), and the frequency (f + 3 · Δf) are recorded, 3 · Δf is determined as the maximum value of the separation frequency.
ここでは、信号発生器３から周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の試験信号が発生するようにしているため、周波数特定部１４が、ステップＳＴ４８で記録している周波数（ｆ＋ｎ・Δｆ）の中で、最も高い周波数を特定するようにしているが、信号発生器３から周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）の試験信号が発生される場合、周波数特定部１４が、ステップＳＴ４８で周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）を記録するため、ステップＳＴ４８で記録している周波数（ｆ−ｎ・Δｆ）の中で、最も低い周波数（基準周波数ｆと最も離れている周波数）を特定し、その周波数におけるｎ・Δｆを離隔周波数の最大値に決定する。
Here, since the test signal of the frequency (f + n · Δf) is generated from the
データ処理部１５は、電磁界強度分布検出部１２と同様に、供試機器１から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出し、その電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを生成する。あるいは、電磁界強度分布検出部１２により検出された電磁界強度分布を取得して、その電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを生成する。
表示部１６は、データ処理部１５により生成された電磁界強度分布を示すグラフ図や表図などを表示するとともに、周波数特定部１４により決定された離隔周波数の最大値を表示する。
The
The
以上で明らかなように、この実施の形態３によれば、周波数特定部１４が、各々の相対位置（ｘ，ｙ）毎に、試験信号が注入されていない場合の周波数ｆの電磁界強度と、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の周波数ｆの電磁界強度との差分ｄｖ’（絶対値）を算出し、その差分ｄｖ’が所定の判定値に満たない場合、試験信号の周波数が基準周波数ｆである場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が（ｆ＋ｎ・Δｆ）である場合の電磁界強度分布との一致度を判定する処理を省略するように構成したので、ノイズ伝搬経路の評価時間を短縮することができる効果を奏する。
As apparent from the above, according to the third embodiment, the
なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。 In the present invention, within the scope of the invention, any combination of the embodiments, or any modification of any component in each embodiment, or omission of any component in each embodiment is possible. .
１ 供試機器、２ 供試機器の接続ケーブル、３ 信号発生器（試験信号注入手段）、４ アンプ（試験信号注入手段）、５ 注入プローブ（試験信号注入手段）、６ 検出プローブ（電磁ノイズ検出手段）、７ 制御部（周波数制御手段）、８ 走査部（走査手段）、９ 可動部（走査手段）、１０ アンプ（電磁界強度分布検出手段）、１１ 電磁界強度計（電磁界強度分布検出手段）、１２ 電磁界強度分布検出部（電磁界強度分布検出手段）、１３ 電磁界強度分布記憶部（電磁界強度分布記憶手段）、１４ 周波数特定部（周波数特定手段）、１５ データ処理部（電磁界強度分布表示手段）、１６ 表示部（電磁界強度分布表示手段）。 1 Test equipment, 2 Connection cable for equipment, 3 Signal generator (test signal injection means), 4 Amplifier (test signal injection means), 5 Injection probe (test signal injection means), 6 Detection probe (electromagnetic noise detection) Means), 7 control part (frequency control means), 8 scanning part (scanning means), 9 movable part (scanning means), 10 amplifier (electromagnetic field intensity distribution detecting means), 11 electromagnetic field intensity meter (electromagnetic field intensity distribution detection) Means), 12 electromagnetic field intensity distribution detection section (electromagnetic field intensity distribution detection means), 13 electromagnetic field intensity distribution storage section (electromagnetic field intensity distribution storage means), 14 frequency identification section (frequency identification means), 15 data processing section ( Electromagnetic field intensity distribution display means), 16 display section (electromagnetic field intensity distribution display means).
Claims (6)
上記供試機器から発生する電磁ノイズを検出する電磁ノイズ検出手段と、
上記試験信号注入手段により注入される試験信号の周波数を切り換える周波数制御手段と、
上記周波数制御手段により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、上記電磁ノイズ検出手段又は上記供試機器を移動して、上記供試機器に対する上記電磁ノイズ検出手段の相対位置を順次切り換える走査手段と、
上記走査手段により相対位置が切り換えられる毎に、上記電磁ノイズ検出手段により検出された電磁ノイズの電磁界強度を測定して、上記供試機器から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する電磁界強度分布検出手段と、
上記周波数制御手段により試験信号の周波数が切り換えられる毎に、上記電磁界強度分布検出手段により検出された電磁界強度分布を記憶する電磁界強度分布記憶手段と、
上記電磁界強度分布記憶手段に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布との一致度を判定し、試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っている電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数の中で、上記基準周波数と最も離れている周波数を特定する周波数特定手段と
を備えた電磁界強度分布検出装置。 Test signal injection means for injecting a test signal that is electromagnetic noise to the EUT that is the device to be tested,
Electromagnetic noise detection means for detecting electromagnetic noise generated from the EUT;
Frequency control means for switching the frequency of the test signal injected by the test signal injection means;
Scanning means that moves the electromagnetic noise detection means or the EUT when the frequency of the test signal is switched by the frequency control means, and sequentially switches the relative position of the electromagnetic noise detection means with respect to the EUT.
Each time the relative position is switched by the scanning means, the electromagnetic field intensity of the electromagnetic noise detected by the electromagnetic noise detecting means is measured to detect the electromagnetic field intensity distribution of the electromagnetic noise generated from the EUT. Field strength distribution detection means;
Each time the frequency of the test signal is switched by the frequency control means, an electromagnetic field strength distribution storage means for storing the electromagnetic field strength distribution detected by the electromagnetic field strength distribution detection means,
The electromagnetic field intensity distribution when the frequency of the test signal stored in the electromagnetic field intensity distribution storage means is a reference frequency and the electromagnetic field intensity distribution when the frequency of the test signal is a frequency other than the reference frequency The degree of coincidence with the electromagnetic field intensity distribution when the frequency of the test signal is the reference frequency is higher than the predetermined value, and the reference frequency An electromagnetic field intensity distribution detection device comprising: frequency specifying means for specifying the farthest frequency.
走査手段により切り換えられる相対位置毎に、試験信号注入手段により基準周波数の試験信号が注入された場合の電磁界強度と、上記試験信号注入手段により基準周波数以外の周波数の試験信号が注入された場合の電磁界強度との差分を求めて、上記差分が所定範囲を逸脱しているか否かを判定し、
所定範囲を逸脱している差分の個数が所定数に満たなければ、電磁界強度分布記憶手段に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っていると判定する
ことを特徴とする請求項１記載の電磁界強度分布検出装置。 The frequency identification means is
When the test signal of the reference frequency is injected by the test signal injection means at each relative position switched by the scanning means, and when the test signal of a frequency other than the reference frequency is injected by the test signal injection means To determine the difference from the electromagnetic field strength of the above, determine whether the difference is out of the predetermined range,
If the number of differences deviating from the predetermined range does not reach the predetermined number, the electromagnetic field intensity distribution when the frequency of the test signal stored in the electromagnetic field intensity distribution storage means is the reference frequency, and the frequency of the test signal The electromagnetic field intensity distribution detecting device according to claim 1, wherein the degree of coincidence with the electromagnetic field intensity distribution when the frequency is a frequency other than the reference frequency is determined to exceed a predetermined value.
走査手段により切り換えられる相対位置毎に、試験信号注入手段により試験信号が注入されていない場合の基準周波数の電磁界強度と、上記試験信号注入手段により基準周波数の試験信号が注入された場合の基準周波数の電磁界強度との差分を算出し、
上記差分が所定値以上である場合に限り、基準周波数の試験信号が注入されて当該相対位置で測定された電磁界強度と、基準周波数以外の周波数の試験信号が注入されて当該相対位置で測定された電磁界強度との差分を求めて、上記差分が所定範囲を逸脱しているか否かを判定し、
所定範囲を逸脱している差分の個数が所定数に満たなければ、電磁界強度分布記憶手段に記憶されている試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っていると判定する
ことを特徴とする請求項１記載の電磁界強度分布検出装置。 The frequency identification means is
For each relative position switched by the scanning means, the electromagnetic field strength of the reference frequency when the test signal is not injected by the test signal injection means, and the reference when the test signal of the reference frequency is injected by the test signal injection means Calculate the difference between the frequency and the electromagnetic field strength,
Only when the difference is greater than or equal to a predetermined value, the test signal of the reference frequency is injected and the electromagnetic field strength measured at the relative position and the test signal of the frequency other than the reference frequency is injected and measured at the relative position. Determining the difference with the electromagnetic field intensity, and determining whether the difference is out of the predetermined range;
If the number of differences deviating from the predetermined range does not reach the predetermined number, the electromagnetic field intensity distribution when the frequency of the test signal stored in the electromagnetic field intensity distribution storage means is the reference frequency, and the frequency of the test signal The electromagnetic field intensity distribution detecting device according to claim 1, wherein the degree of coincidence with the electromagnetic field intensity distribution when the frequency is a frequency other than the reference frequency is determined to exceed a predetermined value.
電磁ノイズ検出手段が、上記供試機器から発生する電磁ノイズを検出する電磁ノイズ検出処理ステップと、
周波数制御手段が、上記試験信号注入処理ステップで注入される試験信号の周波数を切り換える周波数制御処理ステップと、
走査手段が、上記周波数制御処理ステップで試験信号の周波数が切り換えられる毎に、上記電磁ノイズ検出手段又は上記供試機器を移動して、上記供試機器に対する上記電磁ノイズ検出手段の相対位置を順次切り換える走査処理ステップと、
電磁界強度分布検出手段が、上記走査処理ステップで相対位置が切り換えられる毎に、上記電磁ノイズ検出処理ステップで検出された電磁ノイズの電磁界強度を測定して、上記供試機器から発生する電磁ノイズの電磁界強度分布を検出する電磁界強度分布検出処理ステップと、
電磁界強度分布記憶手段が、上記周波数制御処理ステップで試験信号の周波数が切り換えられる毎に、上記電磁界強度分布検出処理ステップで検出された電磁界強度分布を記憶する電磁界強度分布記憶処理ステップと、
周波数特定手段が、上記電磁界強度分布記憶処理ステップで記憶されている試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布と、試験信号の周波数が基準周波数以外の周波数である場合の電磁界強度分布との一致度を判定し、試験信号の周波数が基準周波数である場合の電磁界強度分布との一致度が所定値を上回っている電磁界強度分布に対応する試験信号の周波数の中で、上記基準周波数と最も離れている周波数を特定する周波数特定処理ステップと
を備えた電磁界強度分布検出方法。 A test signal injection processing step in which a test signal injection means injects a test signal that is electromagnetic noise to a test equipment that is a device to be tested;
An electromagnetic noise detection processing step in which the electromagnetic noise detection means detects electromagnetic noise generated from the EUT;
A frequency control means for switching the frequency of the test signal injected in the test signal injection processing step;
Each time the scanning means switches the frequency of the test signal in the frequency control processing step, the electromagnetic noise detecting means or the EUT is moved, and the relative position of the electromagnetic noise detecting means with respect to the EUT is sequentially changed. A scanning processing step for switching;
Each time the relative position is switched in the scanning processing step, the electromagnetic field strength distribution detecting means measures the electromagnetic field strength of the electromagnetic noise detected in the electromagnetic noise detection processing step, and generates an electromagnetic wave generated from the EUT. An electromagnetic field intensity distribution detection processing step for detecting an electromagnetic field intensity distribution of noise;
An electromagnetic field strength distribution storage processing step for storing the electromagnetic field strength distribution detected in the electromagnetic field strength distribution detection processing step every time the electromagnetic field strength distribution storage means switches the frequency of the test signal in the frequency control processing step. When,
The frequency specifying means includes an electromagnetic field intensity distribution when the frequency of the test signal stored in the electromagnetic field intensity distribution storage processing step is a reference frequency, and an electromagnetic wave when the frequency of the test signal is a frequency other than the reference frequency. The degree of coincidence with the field strength distribution is determined, and when the frequency of the test signal is the reference frequency, the degree of coincidence with the electromagnetic field intensity distribution exceeds the predetermined value. An electromagnetic field intensity distribution detecting method comprising: a frequency specifying processing step for specifying a frequency farthest from the reference frequency.
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