JP2012127875A - インピーダンス計測センサおよびインピーダンス計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数のロッド状部材2の間および周囲に存在する媒体を測定対象とするインピーダンス計測センサであって、励起電極4および計測電極5からなる第1の電極対3の複数個と、励起電極4の基準電位と同じ電位に保持されたグランド電極6と、励起電極4、計測電極5およびグランド電極6間を電気的に絶縁する絶縁部7とを有して励起電極4と計測電極5間に接触される媒体のインピーダンスを計測するための多点電極センサ1と、計測電極5との間の媒体のインピーダンスを計測するよう計測電極5と第2の電極対を形成して励起電極として機能させる他の電極である第1のワイヤ電極9とを有する。
【選択図】 図1
Description
せることで、第1の態様に記載したインピーダンス計測センサと同様の作用を得ることができる。
図1は本発明の第1の実施の形態に係るインピーダンス計測センサを示す模式図で、(a)は平面的に見た図、(b)は(a)を側面から見た図である。両図に示すように、本形態における多点電極センサ1は、ロッド状部材2の一つの外周面に配設されており、励起電極4および計測電極5からなる第1の電極対3の複数個と、励起電極4の基準電位と同じ電位に保持されたグランド電極6と、励起電極4、計測電極5およびグランド電極6間を電気的に絶縁する絶縁部7とを有している。かくして、励起電極4と計測電極5間に接触される媒体である流体のインピーダンスを計測するように構成してある。すなわち、本形態は第1の電極対3でロッド状部材2の表面に形成される膜状の流体を構成する複数種類の流体の存在率等、前記流体に関する情報を検出するインピーダンス計測センサである。
図4は本発明の第2の実施の形態に係るインピーダンス計測センサを示す模式図で、(a)は側面から見た図、(b)は第2の電極対の一方の電極となる多点電極センサの個別電極部分を拡大して示す図である。両図中、図1と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
図5は本発明の第3の実施の形態に係るインピーダンス計測センサを示す模式図で、(a)は平面的に見た図、(b)は(a)を側面から見た図である。両図中、図1と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
上述の如く各実施の形態とともに本発明を具体的に説明したが、本発明は上記第1〜第3の実施の形態に限る必要は勿論ない。複数の第1の電極対を有する多点電極センサと、この多点電極センサの励起電極、計測電極または個別電極を一方の電極として対となる他方の電極とで第2の電極対が形成され、第1の電極対で多点電極センサの表面方向の媒体のインピーダンスを計測するとともに、第2の電極対で多点電極センサと他の電極との間の媒体のインピーダンスを計測するように構成してあれば、本発明の技術思想の範囲内に含まれる。
2 ロッド状部材
3 第1の電極対
4 励起電極
5 計測電極
6 グランド電極
7 絶縁部
8、18 第2の電極対
9 第1のワイヤ電極
10 第2のワイヤ電極
Claims (14)
- 複数のロッド状部材の間および周囲に存在する媒体を測定対象とするインピーダンス計測センサであって、
励起電極および計測電極からなる第1の電極対の複数個と、前記励起電極および計測電極間を電気的に絶縁する絶縁部とを有して前記励起電極と前記計測電極間に接触される前記媒体のインピーダンスを計測するための多点電極センサと、
前記励起電極または計測電極との間の前記媒体のインピーダンスを計測するよう前記励起電極または計測電極の一方と第2の電極対を形成して計測電極または励起電極として機能させる他の電極とを有することを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 複数のロッド状部材の間および周囲に存在する媒体を測定対象とするインピーダンス計測センサであって、
励起電極および計測電極からなる第1の電極対の複数個と、前記励起電極および計測電極間を電気的に絶縁する絶縁部とを有して前記励起電極と前記計測電極間に接触される前記媒体のインピーダンスを計測するための多点電極センサと、
前記多点電極センサに前記励起電極および計測電極と独立させて設けた励起電極または計測電極として機能させる個別電極と、
前記個別電極との間の前記媒体のインピーダンスを計測するよう前記個別電極とともに第2の電極対を形成する計測電極または励起電極として機能させる他の電極とを有することを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 請求項1または請求項2に記載するインピーダンス計測センサにおいて、
前記励起電極の基準電位と同じ電位に保持されるとともに前記励起電極及び計測電極との間が前記絶縁部で絶縁されているグランド電極をさらに有することを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 請求項1〜請求項3の何れか1項に記載するインピーダンス計測センサにおいて、
前記多点電極センサは前記ロッド状部材の外周面に配設されていることを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 請求項1〜請求項3の何れか1項に記載するインピーダンス計測センサにおいて、
前記多点電極センサは前記ロッド状部材を取り囲む壁面に配設されていることを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 請求項1〜請求項5の何れか1項に記載するインピーダンス計測センサにおいて、
前記他の電極は他のロッド状部材で形成したことを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 請求項1〜請求項5の何れか1項に記載するインピーダンス計測センサにおいて、
前記他の電極は他のロッド状部材に配設した他の多点電極センサの計測電極、励起電極または個別電極で形成したことを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 請求項1〜請求項5の何れか1項に記載するインピーダンス計測センサにおいて、
前記他の電極は前記ロッド状部材の間に配設したワイヤで形成したことを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 請求項8に記載するインピーダンス計測センサにおいて、
前記ワイヤは、相互に平行に配設された複数本のワイヤからなることを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 請求項8または請求項9に記載するインピーダンス計測センサにおいて、
前記ワイヤは、相互に所定の距離離隔させるとともに、相互に交叉する第1のワイヤおよび第2のワイヤで構成したことを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 請求項8〜請求項10の何れか1項に記載するインピーダンス計測センサにおいて、
前記ワイヤはロッド状部材の軸方向に関して複数個所に配設されて多段となっていることを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 請求項11に記載するインピーダンス計測センサにおいて、
前記ロッド状部材にはそれぞれの軸方向に関する途中に絶縁部が形成されていることを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 請求項1〜請求項12の何れか1項に記載するインピーダンス計測センサにおいて、
前記多点電極センサは、前記絶縁部が、周囲を前記グランド電極に囲まれてそれぞれ独立した絶縁領域を形成しており、前記各電極対のうち同一電極対における前記励起電極と前記計測電極との間には前記絶縁領域のみが形成されていることを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 請求項1〜請求項13の何れか1項に記載するインピーダンス計測センサと、
前記第1の電極対の表面に存在する前記媒体による前記第1の電極対における励起電極及び計測電極間のインピーダンスに基づき、第1の計測位置に存在するインピーダンスが異なる前記媒体中の複数の物質の存在量を演算するとともに、前記第2の電極対で計測される前記媒体を介したインピーダンスに基づき、第2の計測位置に存在するインピーダンスが異なる前記媒体中の複数の物質の存在量を演算する演算処理部とを有することを特徴とするインピーダンス計測装置。
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