JP5500585B2 - インピーダンス計測センサおよびインピーダンス計測装置 - Google Patents
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- 238000002847 impedance measurement Methods 0.000 title claims description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 109
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 101
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 66
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 102
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 7
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000003758 nuclear fuel Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000000699 topical effect Effects 0.000 description 1
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
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Description
一方の電極である励起電極及び他方の電極である計測電極からなる電極対の複数個と、励起電極の基準電位と同じ電位に保持されたグランド領域と、前記励起電極、計測電極及び前記グランド領域間を電気的に絶縁する絶縁部とを有するインピーダンス計測センサであって、
前記絶縁部は、周囲を前記グランド領域に囲まれてそれぞれ独立した絶縁領域を形成しており、
前記各電極対のうち同一電極対における励起電極と計測電極との間には前記絶縁領域のみが形成されるとともに、
前記各電極対のうち隣接する電極対間における励起電極と計測電極との間の距離、または計測電極と励起電極との間の距離が、同一電極対における励起電極と計測電極との間の距離よりも長くなるように形成されていることを特徴とするインピーダンス計測センサにある。
被測定対象の表面の各計測位置に配設される請求項1に記載するインピーダンス計測センサと、
前記表面に存在する液体に基づく前記各電極対における励起電極及び計測電極間のインピーダンスに基づき前記各液体の存在量を演算する演算処理部とを有することを特徴とするインピーダンス計測装置にある。
第2の態様に記載するインピーダンス計測装置において、
前記存在量は、液膜の膜厚であることを特徴とするインピーダンス計測装置にある。
第2の態様に記載するインピーダンス計測装置において、
前記存在量は、前記各電極対の位置における複数種類の液体の存在率であることを特徴とするインピーダンス計測装置にある。
第2乃至第4の態様に記載する何れか一つのインピーダンス計測装置において、
前記グランド領域を通電により発熱させるための電圧供給手段を有することを特徴とするインピーダンス計測装置にある。
第5の態様に記載するインピーダンス計測装置において、
前記液体の存在量を計測する計測モードと、前記グランド領域を通電する通電モードとの何れか一方が選択されるように制御する制御手段を有することを特徴とするインピーダンス計測装置にある。
21 励起電極
22 計測電極
23 グランド領域
24 絶縁部
25 電極対
Claims (6)
- 一方の電極である励起電極及び他方の電極である計測電極からなる電極対の複数個と、励起電極の基準電位と同じ電位に保持されたグランド領域と、前記励起電極、計測電極及び前記グランド領域間を電気的に絶縁する絶縁部とを有するインピーダンス計測センサであって、
前記絶縁部は、周囲を前記グランド領域に囲まれてそれぞれ独立した絶縁領域を形成しており、
前記各電極対のうち同一電極対における励起電極と計測電極との間には前記絶縁領域のみが形成されるとともに、
前記各電極対のうち隣接する電極対間における励起電極と計測電極との間の距離、または計測電極と励起電極との間の距離が、同一電極対における励起電極と計測電極との間の距離よりも長くなるように形成されていることを特徴とするインピーダンス計測センサ。 - 被測定対象の表面の各計測位置に配設される請求項1に記載するインピーダンス計測センサと、
前記表面に存在する液体に基づく前記各電極対における励起電極及び計測電極間のインピーダンスに基づき前記各液体の存在量を演算する演算処理部とを有することを特徴とするインピーダンス計測装置。 - 請求項2に記載するインピーダンス計測装置において、
前記存在量は、液膜の膜厚であることを特徴とするインピーダンス計測装置。 - 請求項2に記載するインピーダンス計測装置において、
前記存在量は、前記各電極対の位置における複数種類の液体の存在率であることを特徴とするインピーダンス計測装置。 - 請求項2乃至請求項4に記載する何れか一つのインピーダンス計測装置において、
前記グランド領域を通電により発熱させるための電圧供給手段を有することを特徴とするインピーダンス計測装置。 - 請求項5に記載するインピーダンス計測装置において、
前記液体の存在量を計測する計測モードと、前記グランド領域を通電する通電モードとの何れか一方が選択されるように制御する制御手段を有することを特徴とするインピーダンス計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010108770A JP5500585B2 (ja) | 2010-05-10 | 2010-05-10 | インピーダンス計測センサおよびインピーダンス計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010108770A JP5500585B2 (ja) | 2010-05-10 | 2010-05-10 | インピーダンス計測センサおよびインピーダンス計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011237273A JP2011237273A (ja) | 2011-11-24 |
JP5500585B2 true JP5500585B2 (ja) | 2014-05-21 |
Family
ID=45325421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010108770A Active JP5500585B2 (ja) | 2010-05-10 | 2010-05-10 | インピーダンス計測センサおよびインピーダンス計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5500585B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6369856B2 (ja) * | 2014-04-25 | 2018-08-08 | 一般財団法人電力中央研究所 | インピーダンス計測装置 |
KR101879271B1 (ko) * | 2016-10-20 | 2018-07-18 | 서울대학교 산학협력단 | 액막 두께 측정 기판, 액막 두께 측정 장치 및 액막 두께 측정 방법 |
CN109341514A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-02-15 | 中国地质大学(武汉) | 一种新型电阻应变片及应变测量方法 |
CN113589042B (zh) * | 2021-07-29 | 2023-02-17 | 重庆理工大学 | 一种包含独立激励电极和感测电极的高精度阻抗传感器 |
-
2010
- 2010-05-10 JP JP2010108770A patent/JP5500585B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011237273A (ja) | 2011-11-24 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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