JP2012119610A - 薄膜太陽電池用溝加工ツール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この溝加工ツール16は、ホルダ15に保持され、ホルダ15とともに集積型薄膜太陽電池基板上をスクライブ予定ラインに沿って相対的に移動させて溝を形成するためのツールである。この溝加工ツール16は、ホルダ15に保持されるツール本体22と、ツール本体22の先端部に形成された刃先部24と、を備えている。刃先部24は、ツール移動方向一端側の先端に、ツール移動方向と交差する方向に延びる刃25を有し、刃25は、刃先部24の底面から視て、ツール移動方向と直交する方向に対してツール移動方向後方に傾斜している。
【選択図】図4
Description
[スクライブ装置の全体構成]
この装置は、太陽電池基板Wが載置されるテーブル1と、スクライブヘッド2に設けられたホルダ組立体3と、それぞれ2つのカメラ4及びモニタ5と、を備えている。
ホルダ組立体3は、スクライブヘッド2の一面に固定されている。このホルダ組立体3は、スクライブヘッド2とともにX,Y方向に移動可能であり、またスクライブヘッド2に対して上下方向に移動可能である。ホルダ組立体3を取り出して図2及び図3に示す。図2はホルダ組立体3の正面図、図3はその側面図である。
ホルダ15は、プレート状の部材であって、スクライブヘッド2に取り付けられる第1主面17と、逆側の第2主面18と、を有している。また、ホルダ15には、上下に2つの貫通孔19が形成されており、それぞれの貫通孔19を貫通する2本のボルト20によって、ホルダ15はスクライブヘッド2に固定される。また、ホルダ15には、下方から上方に向けて所定長さの溝21が形成されている。溝21は、第2主面18に形成されており、所定の深さを有する矩形形状である。また、この溝21の上部にはストップ面21aが形成されている。このストップ面21aに溝加工ツール16の上端面が当接している。これにより、溝加工ツール16の上方への移動が規制されている。
溝加工ツール16は、ホルダ15の矩形溝21に挿入され、また、前述のように、溝加工ツール16の上端面が矩形溝21のストップ面21aに当接している。溝加工ツール16は、超硬合金又は焼結ダイヤモンド等の硬質材料で形成されており、ツール本体22と、刃先部24と、から構成されている。
前面24bの高さH:0.5〜0.7mm
なお、これらの数値は一例であって、薄膜の材質やツールの材質等によって様々に変更し得るものである。
図2及び図3に示すように、固定プレート26には、横方向に並ぶ2つの貫通孔27が形成されている。そして、固定プレート26は、各貫通孔27を貫通しホルダ15の対応するネジ孔28に螺合する2本のボルト29によって、ホルダ15の第2主面18に固定されている。このようにして、固定プレート26は、ホルダ15の矩形溝21に挿入された溝加工ツール16の上方のほぼ1/3を覆っている。
基板Wの薄膜上に溝を形成する場合は、溝加工ツール16の刃先面25aが、基板Wの表面と平行になるようにセットし、溝加工ツール16を溝形成方向に沿って移動させる。このため、ホルダ15に対して適切な取付角度で溝加工ツール16を装着する必要がある。
溝加工ツール16が以上のような加工姿勢となるようにスクライブヘッド2にセットされる。そして、テーブル1をY方向に所定ピッチで移動させるたびに、ホルダ組立体3を下降させ、溝加工ツール16の刃先25を太陽電池基板Wの表面に押し付ける。そして、ホルダ組立体3をX方向に移動させることにより、太陽電池基板Wの表面にX方向に沿った溝が形成される。
図5(a)〜(c)に、本実施形態による溝加工ツールを用いて薄膜を除去した場合のモニタ画像を示している。図5(a)は刃25の傾斜角度α=0°のツールを用いて、移動速度を100mm/sec、400mmsec、800mm/secで加工したものである。また、図5(b)は刃25の傾斜角度α=20°のツールを用いて同様の移動速度で加工したもの、図5(c)は刃25の傾斜角度α=30°のツールを用いて同様の移動速度で加工したものである。また、各図において、白く表れている部分は溝加工した部分であり、黒く表れている部分は薄膜が残っている部分である。そして、各溝において、図において上側の端部が、刃先部24の第2側面24eが接触する部分である。
(1) 刃先部24の刃25が、底面から視てツール移動方向に対して傾斜している。したがって、この溝加工ツールによって溝を形成すると、溝の幅方向の端はナイフエッジによって剪断効果が向上する。このため、溝端部における溝以外の部分の膜剥離を抑えることができる。
ここで、スクライブラインに沿って溝加工を行う場合、(A)溝の一端側における膜剥離が許容できる場合と、(B)溝の両端において膜剥離を抑える必要がある場合と、がある。(A)の場合は、前述のような溝加工ツール16を用いて溝加工を行うことにより、要望される品質の溝が得られる。一方、(B)の場合は、図4に示した溝加工ツールでは満足する品質の溝を得ることができない。
第1実施形態では、刃先部24のツール移動方向一端側にのみ刃25を設けたが、図7(a)(b)に示すように、刃先部34,34’のツール移動方向両端側に刃を設けてもよい。なお、図7(a)(b)は刃先部34を底面側から視た図である。
[溝加工ツール]
図8(a)(b)に、第3実施形態による往復ヘッド用の溝加工ツールを示している。なお、図8(a)(b)は刃先部を底面側から視た図である。
ここで、前述のように、加工時には、ツール自体を基板表面に対して傾斜させてセットする必要がある。そこで、図8(a)(b)に示すようなツールが装着されるヘッドは、ツールを揺動自在に支持し、往動時と復動時とでツールの傾斜角度を切り替える必要がある。
以上のような装置を用いて溝加工を行う場合は、エアシリンダ119を駆動してホルダ117及び揺動部材118を下降させて、ツールの先端を薄膜に当てる。このときの、ツールの薄膜に対する加圧力は、エアシリンダ119に供給されるエア圧によって調整される。
図6に示した第1実施形態の変形例では、2つの溝加工ツールを用いて溝の両端部をそれぞれのツールのエッジ部分で加工するようにしたが、1つの溝加工ツールによって溝の両端部をツールのエッジ部分で加工するようにしてもよい。この場合の溝加工ツールを図10に示している。この第4実施形態の溝加工ツールは、刃先部の形状のみが第1実施形態と異なっている。
前面(刃及び逃げ部)の高さH:0.5〜0.7mm
前面(曲面部=逃げ部)の深さD:3〜5μm
なお、これらの数値は一例であって、薄膜の材質やツールの材質等によって様々に変更し得るものである。
本実施形態では、1対のエッジ225b,225c及び刃225が基板表面と平行になるような加工姿勢で薄膜がスクライブされる。このため、1つの工程で、溝端部付近に膜の剥がれやめくれが少ない加工品質の良い溝を形成することができる。また、1対のエッジ225b,225c及び逃げ部の存在によって、エッジ225b,225cが摩耗しても刃先全体が丸くなりにくいので、長期にわたって安定した品質の溝を形成することができる。
前記実施形態では、刃の部分が底面から視てU字形状に形成されていたが、底面から視てV字形状に形成しても同様の効果が得られる。
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
16,16’,216 溝加工ツール
22,222 ツール本体
24,34,34’,44,44’,224 刃先部
25,35a,35b,35a’35b’,45a,45b,45a’,45b’,225 刃
[スクライブ装置の全体構成]
この装置は、太陽電池基板Wが載置されるテーブル1と、スクライブヘッド2に設けられたホルダ組立体3と、それぞれ2つのカメラ4及びモニタ5と、を備えている。
ホルダ組立体3は、スクライブヘッド2の一面に固定されている。このホルダ組立体3は、スクライブヘッド2とともにX,Y方向に移動可能であり、またスクライブヘッド2に対して上下方向に移動可能である。ホルダ組立体3を取り出して図2及び図3に示す。図2はホルダ組立体3の正面図、図3はその側面図である。
ホルダ15は、プレート状の部材であって、スクライブヘッド2に取り付けられる第1主面17と、逆側の第2主面18と、を有している。また、ホルダ15には、上下に2つの貫通孔19が形成されており、それぞれの貫通孔19を貫通する2本のボルト20によって、ホルダ15はスクライブヘッド2に固定される。また、ホルダ15には、下方から上方に向けて所定長さの溝21が形成されている。溝21は、第2主面18に形成されており、所定の深さを有する矩形形状である。また、この溝21の上部にはストップ面21aが形成されている。このストップ面21aに溝加工ツール16の上端面が当接している。これにより、溝加工ツール16の上方への移動が規制されている。
溝加工ツール16は、ホルダ15の矩形溝21に挿入され、また、前述のように、溝加工ツール16の上端面が矩形溝21のストップ面21aに当接している。溝加工ツール16は、超硬合金又は焼結ダイヤモンド等の硬質材料で形成されており、ツール本体22と、刃先部24と、から構成されている。
前面24bの高さH:0.5〜0.7mm
なお、これらの数値は一例であって、薄膜の材質やツールの材質等によって様々に変更し得るものである。
図2及び図3に示すように、固定プレート26には、横方向に並ぶ2つの貫通孔27が形成されている。そして、固定プレート26は、各貫通孔27を貫通しホルダ15の対応するネジ孔28に螺合する2本のボルト29によって、ホルダ15の第2主面18に固定されている。このようにして、固定プレート26は、ホルダ15の矩形溝21に挿入された溝加工ツール16の上方のほぼ1/3を覆っている。
基板Wの薄膜上に溝を形成する場合は、溝加工ツール16の刃先面25aが、基板Wの表面と平行になるようにセットし、溝加工ツール16を溝形成方向に沿って移動させる。このため、ホルダ15に対して適切な取付角度で溝加工ツール16を装着する必要がある。
溝加工ツール16が以上のような加工姿勢となるようにスクライブヘッド2にセットされる。そして、テーブル1をY方向に所定ピッチで移動させるたびに、ホルダ組立体3を下降させ、溝加工ツール16の刃先25を太陽電池基板Wの表面に押し付ける。そして、ホルダ組立体3をX方向に移動させることにより、太陽電池基板Wの表面にX方向に沿った溝が形成される。
図5(a)〜(c)に、本実施形態による溝加工ツールを用いて薄膜を除去した場合のモニタ画像を示している。図5(a)は刃25の傾斜角度α=0°のツールを用いて、移動速度を100mm/sec、400mm/sec、800mm/secで加工したものである。また、図5(b)は刃25の傾斜角度α=20°のツールを用いて同様の移動速度で加工したもの、図5(c)は刃25の傾斜角度α=30°のツールを用いて同様の移動速度で加工したものである。また、各図において、白く表れている部分は溝加工した部分であり、黒く表れている部分は薄膜が残っている部分である。そして、各溝において、図において上側の端部が、刃先部24の第2側面24eが接触する部分である。
(1) 刃先部24の刃25が、底面から視てツール移動方向に対して傾斜している。したがって、この溝加工ツールによって溝を形成すると、溝の幅方向の端はナイフエッジによって剪断効果が向上する。このため、溝端部における溝以外の部分の膜剥離を抑えることができる。
ここで、スクライブラインに沿って溝加工を行う場合、(A)溝の一端側における膜剥離が許容できる場合と、(B)溝の両端において膜剥離を抑える必要がある場合と、がある。(A)の場合は、前述のような溝加工ツール16を用いて溝加工を行うことにより、要望される品質の溝が得られる。一方、(B)の場合は、図4に示した溝加工ツールでは満足する品質の溝を得ることができない。
第1実施形態では、刃先部24のツール移動方向一端側にのみ刃25を設けたが、図7(a)(b)に示すように、刃先部34,34’のツール移動方向両端側に刃を設けてもよい。なお、図7(a)(b)は刃先部34,34’を底面側から視た図である。
[溝加工ツール]
図8(a)(b)に、第3実施形態による往復ヘッド用の溝加工ツールを示している。なお、図8(a)(b)は刃先部を底面側から視た図である。
ここで、前述のように、加工時には、ツール自体を基板表面に対して傾斜させてセットする必要がある。そこで、図8(a)(b)に示すようなツールが装着されるヘッドは、ツールを揺動自在に支持し、往動時と復動時とでツールの傾斜角度を切り替える必要がある。
以上のような装置を用いて溝加工を行う場合は、エアシリンダ119を駆動してホルダ117及び揺動部材118を下降させて、ツールの先端を薄膜に当てる。このときの、ツールの薄膜に対する加圧力は、エアシリンダ119に供給されるエア圧によって調整される。
図6に示した第1実施形態の変形例では、2つの溝加工ツールを用いて溝の両端部をそれぞれのツールのエッジ部分で加工するようにしたが、1つの溝加工ツールによって溝の両端部をツールのエッジ部分で加工するようにしてもよい。この場合の溝加工ツールを図10に示している。この第4実施形態の溝加工ツールは、刃先部の形状のみが第1実施形態と異なっている。
前面(刃及び逃げ部)の高さH:0.5〜0.7mm
前面(曲面部=逃げ部)の深さD:3〜5μm
なお、これらの数値は一例であって、薄膜の材質やツールの材質等によって様々に変更し得るものである。
本実施形態では、1対のエッジ225b,225c及び刃225が基板表面と平行になるような加工姿勢で薄膜がスクライブされる。このため、1つの工程で、溝端部付近に膜の剥がれやめくれが少ない加工品質の良い溝を形成することができる。また、1対のエッジ225b,225c及び逃げ部の存在によって、エッジ225b,225cが摩耗しても刃先全体が丸くなりにくいので、長期にわたって安定した品質の溝を形成することができる。
前記実施形態では、刃の部分が底面から視てU字形状に形成されていたが、底面から視てV字形状に形成しても同様の効果が得られる。
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
16,16’,216 溝加工ツール
22,222 ツール本体
24,34,34’,44,44’,224 刃先部
25,35a,35b,35a’35b’,45a,45b,45a’,45b’,225 刃
Claims (9)
- ホルダに保持され、前記ホルダとともに集積型薄膜太陽電池基板上をスクライブ予定ラインに沿って相対的に移動させて溝を形成するための溝加工ツールであって、
前記ホルダに保持されるツール本体と、
前記ツール本体の先端部に形成された刃先部と、
を備え、
前記刃先部は、ツール移動方向一端側の先端に、ツール移動方向と交差する方向に延びる刃を有し、
前記刃は、前記刃先部の底面から視て、第1端から第2端側への少なくとも前記第1端を含む一部がツール移動方向と直交する方向に対してツール移動方向後方に傾斜している、
薄膜太陽電池用溝加工ツール。 - 前記刃先部の刃は、底面から視て前記第1端から前記第2端にわたって同じ角度で傾斜している、請求項1に記載の薄膜太陽電池用溝加工ツール。
- 前記刃先部の刃は、前記第1端及び前記第2端に形成された1対のエッジと、前記1対のエッジ間に形成され内側に窪む逃げ部と、を有する、請求項1に記載の薄膜太陽電池用溝加工ツール。
- 前記刃先の1対のエッジ及び逃げ部の下端縁を含む面は、加工姿勢において前記薄膜表面と平行である、請求項3に記載の薄膜太陽電池用溝加工ツール。
- 前記刃先部はツール移動方向他端側の先端に、ツール移動方向と交差する方向に延びる刃を有し、
前記刃は、前記刃先部の底面から視て、前記第1端から前記第2端側への少なくとも前記第1端を含む一部がツール移動方向と直交する方向に対してツール移動方向後方に傾斜している、
請求項1に記載の薄膜太陽電池用溝加工ツール。 - 前記刃先部のツール移動方向一端側の刃とツール移動方向他端側の刃とは、同じ方向に同じ角度で傾斜している、請求項5に記載の薄膜太陽電池用溝加工ツール。
- 前記刃先部のツール移動方向一端側の刃とツール移動方向他端側の刃とは、逆方向に同じ角度で傾斜している、請求項5に記載の薄膜太陽電池用溝加工ツール。
- 前記刃先部は、前記薄膜上の溝が形成される方向に沿って同じ幅でツール本体の全幅にわたって延びている、請求項1に記載の薄膜太陽電池用溝加工ツール。
- 前記ツール本体は矩形に形成されている、請求項1から8のいずれかに記載の薄膜太陽電池用溝加工ツール。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010270200A JP5509050B2 (ja) | 2010-12-03 | 2010-12-03 | 薄膜太陽電池用溝加工ツール |
TW99143913A TWI451587B (zh) | 2010-01-08 | 2010-12-15 | 薄膜太陽電池用溝加工工具 |
US12/981,218 US20110167979A1 (en) | 2010-01-08 | 2010-12-29 | Groove machining tool for use with a thin-film solar cell |
KR1020110001007A KR101207518B1 (ko) | 2010-01-08 | 2011-01-05 | 박막 태양 전지용 홈 가공 툴 |
EP11150198.7A EP2343173B1 (en) | 2010-01-08 | 2011-01-05 | Groove machining tool for use with a thin-film solar cell |
CN201110003435.8A CN102130217B (zh) | 2010-01-08 | 2011-01-10 | 薄膜太阳电池用槽加工工具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
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Family
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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JP (1) | JP5509050B2 (ja) |
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- 2010-12-03 JP JP2010270200A patent/JP5509050B2/ja active Active
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KR20170038149A (ko) | 취성 기판의 분단 방법 |
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