JP2012119375A - Electrostatic protective element - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic protective element capable of suppressing deterioration in luminous efficiency of an LED even when mounted together with the LED.SOLUTION: An electrostatic protective element 1 comprises: a varistor 3 comprising a sintered body which contains ZnO as a main component and Co as an accessory component; and a plurality of conductors 5 and 7 arranged to sandwich the varistor 3 therebetween. At least one conductor 7 of the plurality of conductors 5 and 7 comprises a sintered body which contains ZnO as a main component and does not substantially contain Co as an accessory component.

Description

本発明は、静電気保護素子に関する。   The present invention relates to an electrostatic protection element.

発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)に並列に接続することによりLEDを静電気放電(Electrostatic Discharge:ESD)から保護する静電気保護素子として、ツェナーダイオードが知られている(たとえば、特許文献1参照)。   A Zener diode is known as an electrostatic protection element that protects an LED from electrostatic discharge (ESD) by being connected in parallel to a light emitting diode (LED) (for example, see Patent Document 1).

特開2007−251167号公報JP 2007-251167 A

しかしながら、特許文献1に記載されている静電気保護素子は、以下のような問題点を有している。ツェナーダイオードは、一般に、シリコンからなる。シリコンは、電子のバンド間遷移による光吸収波長が可視光領域となる。このため、ツェナーダイオードが、LEDと共に基板やリードフレームなどに実装されると、LEDから発せられる光を吸収してしまう。この結果、LEDの発光効率が低下することとなる。   However, the electrostatic protection element described in Patent Document 1 has the following problems. Zener diodes are generally made of silicon. Silicon has a light absorption wavelength in the visible light region due to interband transition of electrons. For this reason, when a Zener diode is mounted on a substrate or a lead frame together with an LED, the light emitted from the LED is absorbed. As a result, the light emission efficiency of the LED decreases.

本発明の目的は、LEDと共に実装された場合でも、LEDの発光効率が低下するのを抑制することが可能な静電気保護素子を提供することである。   The objective of this invention is providing the electrostatic protection element which can suppress that the luminous efficiency of LED falls even when it mounts with LED.

本発明に係る静電気保護素子は、ZnOを主成分とすると共に副成分としてCoを含有する焼結体からなるバリスタ部と、バリスタ部を挟んで配置された複数の導体部と、を備えており、複数の導体部のうち少なくとも一つの導体部が、ZnOを主成分とすると共に副成分としてCoを実質的に含有しない焼結体からなることを特徴とする。   An electrostatic protection element according to the present invention includes a varistor portion made of a sintered body containing ZnO as a main component and Co as a subcomponent, and a plurality of conductor portions arranged with the varistor portion interposed therebetween. The at least one conductor portion of the plurality of conductor portions is made of a sintered body containing ZnO as a main component and substantially not containing Co as a subcomponent.

本発明に係る静電気保護素子では、バリスタ部がZnOを主成分とすると共に副成分としてCoを含有する焼結体からなる。Coは、バリスタ特性を発現させるための材料である。このため、バリスタ部は、電流−電圧非直線特性、いわゆるバリスタ特性を発現する。したがって、本発明に係る静電気保護素子のバリスタ部をLEDと並列に接続すると、LEDをESDから保護することができる。   In the electrostatic protection element according to the present invention, the varistor portion is made of a sintered body containing ZnO as a main component and Co as a subcomponent. Co is a material for expressing varistor characteristics. For this reason, the varistor part exhibits current-voltage nonlinear characteristics, so-called varistor characteristics. Therefore, when the varistor part of the electrostatic protection element according to the present invention is connected in parallel with the LED, the LED can be protected from ESD.

本発明では、複数の導体部のうち少なくとも一つの導体部が、ZnOを主成分とする焼結体からなる。ZnOは、電子のバンド間遷移による光吸収波長が紫外線領域となり、可視光を透過する性質を有する。このため、静電気保護素子がLEDと共に実装された場合でも、少なくとも一つの導体部はLEDから発せられる光を吸収し難く、透過させる。   In the present invention, at least one of the plurality of conductor portions is made of a sintered body containing ZnO as a main component. ZnO has the property that the light absorption wavelength due to the interband transition of electrons is in the ultraviolet region and transmits visible light. For this reason, even when the electrostatic protection element is mounted together with the LED, at least one conductor portion hardly absorbs the light emitted from the LED and transmits the light.

ZnOを主成分とする焼結体では、当該焼結体に入射した光は、ZnOの結晶粒の粒界で散乱される。本発明では、少なくとも一つの導体部を構成する焼結体は、Coを実質的に含有しないことから、少なくとも一つの導体部では、バリスタ部に比して、ZnOの粒成長が促進され、ZnOの結晶粒が大きくなる。このため、少なくとも一つの導体部では、ZnOの結晶粒の粒界が少なくなり、粒界での散乱が抑制される。   In a sintered body mainly composed of ZnO, light incident on the sintered body is scattered at grain boundaries of ZnO crystal grains. In the present invention, since the sintered body constituting at least one conductor part does not substantially contain Co, ZnO grain growth is promoted in at least one conductor part as compared with the varistor part. The crystal grains become larger. For this reason, at least one conductor portion has few grain boundaries of ZnO crystal grains, and scattering at the grain boundaries is suppressed.

これらの結果、本発明によれば、静電気保護素子がLEDと共に実装された場合でも、LEDの発光効率が低下するのを抑制することができる。少なくとも一つの導体部を構成する焼結体は、Coを実質的に含有しないため、バリスタ特性が発現し難く、比較的高い導電性を有することとなる。したがって、少なくとも一つの導体部において、電極としての機能が阻害されることはない。   As a result, according to the present invention, even when the electrostatic protection element is mounted together with the LED, it is possible to suppress a decrease in the light emission efficiency of the LED. Since the sintered body constituting at least one conductor part does not substantially contain Co, varistor characteristics are hardly exhibited and the sintered body has relatively high conductivity. Therefore, the function as an electrode is not hindered in at least one conductor portion.

複数の導体部のうち、少なくとも一つの導体部とバリスタ層を挟んで配置された導体部が、金属からなっていてもよい。この場合、金属からなる導体部へのワイヤボンデングが可能となる。   The conductor part arrange | positioned on both sides of at least 1 conductor part and a varistor layer among several conductor parts may consist of metal. In this case, wire bonding to the conductor portion made of metal is possible.

少なくとも一つの導体部の厚みが、バリスタ部の厚みよりも大きく設定されていてもよい。この場合、少なくとも一つの導体部を基板やリードフレームなどに導電ペースト(たとえば、銅ペーストなど)を用いて接続する際に、バリスタ部が基板やリードフレームなどから物理的に離されることとなる。この結果、導電ペーストがバリスタ部に付着し難くなり、導電ペーストの付着によりバリスタ部の機能が阻害されるのを防ぐことができる。   The thickness of at least one conductor part may be set larger than the thickness of the varistor part. In this case, when connecting at least one conductor portion to a substrate, a lead frame, or the like using a conductive paste (eg, copper paste), the varistor portion is physically separated from the substrate, the lead frame, or the like. As a result, it becomes difficult for the conductive paste to adhere to the varistor part, and it is possible to prevent the function of the varistor part from being hindered by the adhesion of the conductive paste.

本発明によれば、LEDと共に実装された場合でも、LEDの発光効率が低下するのを抑制することが可能な静電気保護素子を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even when it mounts with LED, the electrostatic protection element which can suppress that the luminous efficiency of LED falls can be provided.

本実施形態に係る静電気保護素子を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the electrostatic protection element which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る静電気保護素子の断面構成を説明する図である。It is a figure explaining the cross-sectional structure of the electrostatic protection element which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る静電気保護素子の実装構造を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the mounting structure of the electrostatic protection element which concerns on this embodiment.

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and redundant description is omitted.

まず、図1及び図2を参照して、本実施形態に係る静電気保護素子1の構成を説明する。図1は、本実施形態に係る静電気保護素子を示す斜視図である。図2は、本実施形態に係る静電気保護素子の断面構成を説明する図である。   First, with reference to FIG.1 and FIG.2, the structure of the electrostatic protection element 1 which concerns on this embodiment is demonstrated. FIG. 1 is a perspective view showing an electrostatic protection element according to this embodiment. FIG. 2 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of the electrostatic protection element according to the present embodiment.

静電気保護素子1は、図1及び図2に示されるように、バリスタ部3と、バリスタ部を挟んで配置された複数(本実施形態においては、二つ)の導体部5,7と、を備えている。静電気保護素子1は、バリスタ部3と導体部5,7とが積層された層構造体とされている。静電気保護素子1は、略直方体形状を呈している。静電気保護素子1は、たとえば、長さが0.25mm程度に設定され、幅が0.25mm程度に設定され、高さが0.15mm程度に設定される。実際の静電気保護素子1では、バリスタ部3と導体部7とは、バリスタ部3と導体部7との間の境界が視認できない程度に一体化されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the electrostatic protection element 1 includes a varistor portion 3 and a plurality of (in this embodiment, two) conductor portions 5 and 7 arranged with the varistor portion interposed therebetween. I have. The electrostatic protection element 1 has a layer structure in which a varistor part 3 and conductor parts 5 and 7 are laminated. The electrostatic protection element 1 has a substantially rectangular parallelepiped shape. For example, the electrostatic protection element 1 has a length set to about 0.25 mm, a width set to about 0.25 mm, and a height set to about 0.15 mm. In the actual electrostatic protection element 1, the varistor part 3 and the conductor part 7 are integrated so that the boundary between the varistor part 3 and the conductor part 7 cannot be visually recognized.

バリスタ部3は、バリスタ特性を発現する焼結体(半導体セラミック)からなる。バリスタ部3は、ZnO(酸化亜鉛)を主成分として含むと共に、副成分としてCo、希土類金属元素、IIIb族元素(B、Al、Ga、In)、Si、Cr、Mo、アルカリ金属元素(K、Rb、Cs)及びアルカリ土類金属元素(Mg、Ca、Sr、Ba)等の金属単体やこれらの酸化物を含む。本実施形態において、バリスタ部3は、副成分としてCo、Pr、Cr、Ca、K、Al、及びSiを含んでいる。バリスタ部3におけるZnOの含有量は、特に限定されないが、バリスタ部3を構成する全体の材料を100質量%とした場合に、通常、99.8〜69.0質量%である。バリスタ部3の厚みは、たとえば5〜50μm程度に設定される。   The varistor portion 3 is made of a sintered body (semiconductor ceramic) that exhibits varistor characteristics. The varistor portion 3 contains ZnO (zinc oxide) as a main component, and Co, rare earth metal elements, group IIIb elements (B, Al, Ga, In), Si, Cr, Mo, alkali metal elements (K) as subcomponents. Rb, Cs) and alkaline earth metal elements (Mg, Ca, Sr, Ba) and the like, and oxides thereof. In the present embodiment, the varistor portion 3 includes Co, Pr, Cr, Ca, K, Al, and Si as subcomponents. The content of ZnO in the varistor part 3 is not particularly limited, but is usually 99.8 to 69.0% by mass when the total material constituting the varistor part 3 is 100% by mass. The thickness of the varistor part 3 is set to about 5 to 50 μm, for example.

Coは、ZnOの結晶粒界にアクセプター準位を形成し、バリスタ特性を発現させる物質として作用する。主成分(ZnO)100モルに対するCoの比率は、Coに換算して、たとえば0.1原子%以上20原子%以下の範囲に設定される。   Co acts as a substance that forms an acceptor level at the grain boundary of ZnO and exhibits varistor characteristics. The ratio of Co to 100 mol of the main component (ZnO) is set in a range of, for example, 0.1 atomic% or more and 20 atomic% or less in terms of Co.

Prは、結晶粒界への酸素の拡散速度を速める物質として作用する。主成分(ZnO)100モルに対するPrの比率は、Prに換算して、たとえば0.05原子%以上5原子%以下の範囲に設定される。   Pr acts as a substance that increases the diffusion rate of oxygen to the grain boundaries. The ratio of Pr with respect to 100 mol of the main component (ZnO) is set in a range of, for example, 0.05 atomic% or more and 5 atomic% or less in terms of Pr.

Crは、高温おける負荷特性を改善する物質として作用する。主成分(ZnO)100モルに対するCrの比率は、Crに換算して、たとえば0.01原子%以上1原子%以下の範囲に設定される。   Cr acts as a substance that improves the load characteristics at high temperatures. The ratio of Cr with respect to 100 moles of the main component (ZnO) is set, for example, in the range of 0.01 atomic% to 1 atomic% in terms of Cr.

Caは、バリスタ部3に発現する静電容量を低下させる物質として作用する。主成分(ZnO)100モルに対するCaの比率は、Caに換算して、たとえば0.01原子%以上2原子%以下の範囲に設定される。   Ca acts as a substance that reduces the electrostatic capacity expressed in the varistor part 3. The ratio of Ca to 100 moles of the main component (ZnO) is set in a range of 0.01 atomic% or more and 2 atomic% or less, for example, in terms of Ca.

Kは、バリスタ特性を改善する物質として作用する。主成分(ZnO)100モルに対するKの比率は、Kに換算して、たとえば0.001原子%以上1原子%以下の範囲に設定される。   K acts as a substance that improves the varistor characteristics. The ratio of K to 100 moles of the main component (ZnO) is set in the range of 0.001 atomic% or more and 1 atomic% or less, for example, in terms of K.

Alは、ZnOを含む主成分への電子量を制御するためのドナーとして働き、主成分への電子量を上げ、組成物を半導体化させる物質として作用する。主成分(ZnO)100モルに対するAlの比率は、Alに換算して、たとえば0.0005原子%以上0.5原子%以下の範囲に設定される。   Al acts as a donor for controlling the amount of electrons to the main component containing ZnO, and acts as a substance that increases the amount of electrons to the main component and makes the composition a semiconductor. The ratio of Al to 100 moles of the main component (ZnO) is set in the range of, for example, 0.0005 atomic% or more and 0.5 atomic% or less in terms of Al.

Siは、ZnOを含む主成分への電子量を制御するためのドナーとして働き、主成分への電子量を上げ、組成物を半導体化させる物質として作用すると共に、焼結を制御する。主成分(ZnO)100モルに対するSiの比率は、Siに換算して、たとえば0.001原子%以上0.5原子%以下の範囲に設定される。   Si acts as a donor for controlling the amount of electrons to the main component containing ZnO, increases the amount of electrons to the main component, and acts as a substance that makes the composition a semiconductor, and also controls sintering. The ratio of Si to 100 moles of the main component (ZnO) is set in a range of, for example, 0.001 atomic% or more and 0.5 atomic% or less in terms of Si.

導体部5は、バリスタ部3の一つの主面を覆うように配置されている。導体部5は、バリスタ部3の一つの主面上に形成された第1導体層5aと、第1導体層5a上に形成された第2導体層5bと、を有している。導体部5(第1及び第2導体層5a,5b)は、金属からなる。第1導体層5aは、たとえばアルミニウム(Al)又はニッケル(Ni)からなり、厚みが0.5〜5μm程度に設定される。第2導体層5bは、たとえば金(Au)からなり、厚みが0.05〜1μm程度に設定される。第1及び第2導体層5a,5bは、たとえば蒸着法やスパッタリング法などにより形成することができる。   The conductor portion 5 is disposed so as to cover one main surface of the varistor portion 3. The conductor part 5 has a first conductor layer 5a formed on one main surface of the varistor part 3, and a second conductor layer 5b formed on the first conductor layer 5a. The conductor portion 5 (first and second conductor layers 5a and 5b) is made of metal. The first conductor layer 5a is made of, for example, aluminum (Al) or nickel (Ni) and has a thickness of about 0.5 to 5 μm. The second conductor layer 5b is made of, for example, gold (Au) and has a thickness of about 0.05 to 1 μm. The first and second conductor layers 5a and 5b can be formed, for example, by vapor deposition or sputtering.

導体部7は、導体部5が配置された主面に対向する主面を覆うように配置されている。導体部7は、ZnOを主成分として含む焼結体からなる。導体部7は、ZnOの他に、副成分として希土類金属元素、IIIb族元素(B、Al、Ga、In)、Si、Cr、Mo、アルカリ金属元素(K、Rb、Cs)及びアルカリ土類金属元素(Mg、Ca、Sr、Ba)等の金属単体やこれらの酸化物を含む。導体部7におけるZnOの含有量は、特に限定されないが、導体部7を構成する全体の材料を100質量%とした場合に、通常、99.8〜69.0質量%である。   The conductor part 7 is arrange | positioned so that the main surface facing the main surface in which the conductor part 5 is arrange | positioned may be covered. The conductor portion 7 is made of a sintered body containing ZnO as a main component. In addition to ZnO, the conductor portion 7 includes rare earth metal elements, group IIIb elements (B, Al, Ga, In), Si, Cr, Mo, alkali metal elements (K, Rb, Cs) and alkaline earth as subcomponents. It contains simple metals such as metal elements (Mg, Ca, Sr, Ba) and their oxides. Although content of ZnO in the conductor part 7 is not specifically limited, When the whole material which comprises the conductor part 7 is 100 mass%, it is 99.8-69.0 mass% normally.

本実施形態において、導体部7は、副成分としてPr、Cr、Ca、K、Al、及びSiを含んでおり、Coを実質的に含んでいない。ここで、「実質的に含んでいない」状態とは、Coを、導体部7を構成する材料を調製する際に原料として意図的に含有させなかった場合の状態をいうものとする。たとえば、バリスタ部3から導体部7への拡散等によって意図せずにこれらの元素が含まれる場合は、「実質的に含有していない」状態に該当する。   In the present embodiment, the conductor portion 7 contains Pr, Cr, Ca, K, Al, and Si as subcomponents and does not substantially contain Co. Here, the “substantially free” state means a state in which Co is not intentionally contained as a raw material when the material constituting the conductor portion 7 is prepared. For example, when these elements are included unintentionally due to diffusion from the varistor portion 3 to the conductor portion 7 or the like, it corresponds to a “substantially not contained” state.

導体部7は、Coを実質的に含有しないため、バリスタ部3とは異なり、バリスタ特性を発現し難い。このため、導体部7は、電気抵抗が低く、比較的高い導電性を有する、このため、導体部7は、導体部5と同様に、電極として機能する。導体部7の厚みは、バリスタ部3の厚みよりも大きく設定される。導体部7の厚みは、たとえば100〜140μm程度に設定される。   Unlike the varistor part 3, the conductor part 7 hardly contains varistor characteristics because it does not substantially contain Co. For this reason, the conductor part 7 has a low electrical resistance and a relatively high conductivity. For this reason, the conductor part 7 functions as an electrode similarly to the conductor part 5. The thickness of the conductor part 7 is set larger than the thickness of the varistor part 3. The thickness of the conductor part 7 is set to about 100 to 140 μm, for example.

導体部7におけるPr、Cr、Ca、K、Al、及びSiの含有量は以下の通りである。主成分(ZnO)100モルに対するPrの比率は、Prに換算して、たとえば0.05原子%以上5原子%以下の範囲に設定される。主成分(ZnO)100モルに対するCrの比率は、Crに換算して、たとえば0.01原子%以上1原子%以下の範囲に設定される。主成分(ZnO)100モルに対するCaの比率は、Caに換算して、たとえば0.01原子%以上2原子%以下の範囲に設定される。主成分(ZnO)100モルに対するKの比率は、Kに換算して、たとえば0.001原子%以上1原子%以下の範囲に設定される。主成分(ZnO)100モルに対するAlの比率は、Alに換算して、たとえば0.0005原子%以上0.5原子%以下の範囲に設定される。主成分(ZnO)100モルに対するSiの比率は、Siに換算して、たとえば0.001原子%以上0.5原子%以下の範囲に設定される。   The contents of Pr, Cr, Ca, K, Al, and Si in the conductor portion 7 are as follows. The ratio of Pr with respect to 100 mol of the main component (ZnO) is set in a range of, for example, 0.05 atomic% or more and 5 atomic% or less in terms of Pr. The ratio of Cr with respect to 100 moles of the main component (ZnO) is set, for example, in the range of 0.01 atomic% to 1 atomic% in terms of Cr. The ratio of Ca to 100 moles of the main component (ZnO) is set in a range of 0.01 atomic% or more and 2 atomic% or less, for example, in terms of Ca. The ratio of K to 100 moles of the main component (ZnO) is set in the range of 0.001 atomic% or more and 1 atomic% or less, for example, in terms of K. The ratio of Al to 100 moles of the main component (ZnO) is set in the range of, for example, 0.0005 atomic% or more and 0.5 atomic% or less in terms of Al. The ratio of Si to 100 moles of the main component (ZnO) is set in a range of, for example, 0.001 atomic% or more and 0.5 atomic% or less in terms of Si.

続いて、上述した構成を有する静電気保護素子1の製造過程の一例について説明する。   Subsequently, an example of a manufacturing process of the electrostatic protection element 1 having the above-described configuration will be described.

まず、バリスタ部3を構成する主成分であるZnOと、Co、Pr、Cr、Ca、K、及びAlの金属又は酸化物等の微量添加物とを所定の割合となるように各々秤量した後、各成分を混合してバリスタ材料を調整する。その後、このバリスタ材料に有機バインダ、有機溶剤、有機可塑剤等を加えて、ボールミル等を用いて混合及び粉砕を行ってスラリーを得る。このスラリーを、ドクターブレード法等の公知の方法により、例えばポリエチレンテレフタレートからなるフィルム上に塗布した後、乾燥して所定の厚さ(たとえば30μm程度)の膜を形成する。こうして得られた膜をフィルムから剥離して第1のグリーンシートを得る。   First, after weighing ZnO, which is the main component constituting the varistor part 3, and trace additives such as Co, Pr, Cr, Ca, K, and Al metals or oxides so as to have a predetermined ratio. The varistor material is prepared by mixing each component. Thereafter, an organic binder, an organic solvent, an organic plasticizer, and the like are added to the varistor material, and mixing and pulverization are performed using a ball mill or the like to obtain a slurry. This slurry is applied onto a film made of, for example, polyethylene terephthalate by a known method such as a doctor blade method, and then dried to form a film having a predetermined thickness (for example, about 30 μm). The film thus obtained is peeled from the film to obtain a first green sheet.

また、導体部7を構成する主成分であるZnOと、Pr、Cr、Ca、K、及びAlの金属又は酸化物等の微量添加物とを所定の割合となるように各々秤量した後、各成分を混合して導体部7用の材料を調整する。その後、この導体部7用の材料に有機バインダ、有機溶剤、有機可塑剤等を加えて、ボールミル等を用いて混合及び粉砕を行ってスラリーを得る。このスラリーを、ドクターブレード法等の公知の方法により、例えばポリエチレンテレフタレートからなるフィルム上に塗布した後、乾燥して所定の厚さ(たとえば30μm程度)の膜を形成する。こうして得られた膜をフィルムから剥離して第2のグリーンシートを得る。   In addition, after weighing ZnO, which is the main component constituting the conductor portion 7, and a small amount of additives such as Pr, Cr, Ca, K, and Al metals or oxides to a predetermined ratio, The material for the conductor part 7 is adjusted by mixing the components. Thereafter, an organic binder, an organic solvent, an organic plasticizer, and the like are added to the material for the conductor portion 7 and mixed and pulverized using a ball mill or the like to obtain a slurry. This slurry is applied onto a film made of, for example, polyethylene terephthalate by a known method such as a doctor blade method, and then dried to form a film having a predetermined thickness (for example, about 30 μm). The film thus obtained is peeled from the film to obtain a second green sheet.

次に、第1のグリーンシートと第2のグリーンシートとを所定の枚数ずつ重ね、第1のグリーンシートからなる層と第2のグリーンシートからなる層とが積層されたシート積層体を形成する。このとき、第2のグリーンシートの枚数を第1のグリーンシートの枚数よりも多くすることにより、第2のグリーンシートからなる層の厚みを第1のグリーンシートからなる層の厚みより大きくしている。第1のグリーンシートの枚数は、少なくとも1枚でよい。   Next, a predetermined number of first green sheets and second green sheets are stacked to form a sheet laminate in which a layer made of the first green sheet and a layer made of the second green sheet are laminated. . At this time, the thickness of the layer made of the second green sheet is made larger than the thickness of the layer made of the first green sheet by making the number of the second green sheets larger than the number of the first green sheets. Yes. The number of first green sheets may be at least one.

次に、シート積層体に、所定の条件(たとえば、180〜400℃で且つ0.5〜24時間)で加熱処理を実施して脱バインダを行った後、さらに、所定の条件(たとえば、1000〜1400℃で且つ0.5〜8時間)で焼成を行い、焼結体基板を得る。この焼成によって、第1のグリーンシートからなる層はバリスタ部3となり、第2のグリーンシートからなる層は導体部7となる。このように、第1のグリーンシートと第2のグリーンシートとは積層された状態で、同時に焼成される。   Next, the sheet laminate is subjected to heat treatment under predetermined conditions (for example, 180 to 400 ° C. and 0.5 to 24 hours) to perform binder removal, and further, predetermined conditions (for example, 1000). The sintered body is obtained by firing at ˜1400 ° C. and 0.5 to 8 hours. By this firing, the layer made of the first green sheet becomes the varistor part 3, and the layer made of the second green sheet becomes the conductor part 7. Thus, the first green sheet and the second green sheet are fired at the same time in a stacked state.

次に、焼結体基板の一方の主面上に、当該一方の主面を覆うように、蒸着法やスパッタリング法などにより、金属(たとえば、AlやNiなど)からなる第1金属膜を形成する。その後、第1金属膜上の所定の位置に、同じく蒸着法やスパッタリング法や電気めっき法などにより、金属(たとえば、Auなど)からなる第2金属膜を形成する。第1金属膜は、第1導体層5aとなり、第2金属膜は、第2導体層5bとなる。   Next, a first metal film made of a metal (for example, Al or Ni) is formed on one main surface of the sintered substrate by vapor deposition or sputtering so as to cover the one main surface. To do. Thereafter, a second metal film made of a metal (for example, Au) is formed at a predetermined position on the first metal film by the same vapor deposition method, sputtering method, electroplating method, or the like. The first metal film becomes the first conductor layer 5a, and the second metal film becomes the second conductor layer 5b.

次に、焼結体基板を所望のサイズに切断する。これらの過程により、静電気保護素子1が得られる。   Next, the sintered body substrate is cut into a desired size. Through these processes, the electrostatic protection element 1 is obtained.

続いて、図3を参照して、本実施形態に係る静電気保護素子1の実装構造について説明する。図3は、本実施形態に係る静電気保護素子の実装構造を示す模式図である。図3では、パッケージや封止樹脂などの図示を省略している。   Subsequently, a mounting structure of the electrostatic protection element 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a schematic diagram showing a mounting structure of the electrostatic protection element according to the present embodiment. In FIG. 3, illustration of a package, sealing resin, etc. is omitted.

LED11は、一対のリード13a,13bを有するリードフレーム13に実装されている。具体的には、LED11は、一方のリード13a上に載置されており、一方のリード13aに接着剤などにより固定されている。そして、LED11は、ワイヤ15で一対のリード13a,13bにそれぞれ接続されている。   The LED 11 is mounted on a lead frame 13 having a pair of leads 13a and 13b. Specifically, the LED 11 is placed on one lead 13a and fixed to the one lead 13a with an adhesive or the like. The LED 11 is connected to the pair of leads 13 a and 13 b by the wire 15.

静電気保護素子1も、リードフレーム13に実装されている。具体的には、静電気保護素子1は、他方のリード13bと導体部7とが対向するように他方のリード13b上に載置されており、導体部7と他方のリード13bとが導電ペースト17により接続され、固定されている。一方のリード13aと導体部5(第2導体層5b)とは、ワイヤ19で接続されている。したがって、図3に示された実装構造では、一対のリード13a,13bの間において、静電気保護素子1(バリスタ部3)がLED11に並列に接続されることとなる。   The electrostatic protection element 1 is also mounted on the lead frame 13. Specifically, the electrostatic protection element 1 is placed on the other lead 13b so that the other lead 13b and the conductor portion 7 face each other, and the conductor portion 7 and the other lead 13b are connected to the conductive paste 17. Connected and fixed by. One lead 13 a and the conductor portion 5 (second conductor layer 5 b) are connected by a wire 19. Therefore, in the mounting structure shown in FIG. 3, the electrostatic protection element 1 (varistor part 3) is connected in parallel to the LED 11 between the pair of leads 13a and 13b.

以上のように、本実施形態では、バリスタ部3がバリスタ特性を発現するので、LED11をESDから保護することができる。   As described above, in the present embodiment, since the varistor portion 3 exhibits varistor characteristics, the LED 11 can be protected from ESD.

本実施形態では、導体部7が、ZnOを主成分とする焼結体からなる。ZnOは、電子のバンド間遷移による光吸収波長が紫外線領域となり、可視光を透過する性質を有する。このため、静電気保護素子1がLED11と共にリードフレーム13に実装された場合でも、少なくとも一つの導体部7はLED11から発せられる光を吸収し難く、透過させる。   In this embodiment, the conductor part 7 consists of a sintered compact which has ZnO as a main component. ZnO has the property that the light absorption wavelength due to the interband transition of electrons is in the ultraviolet region and transmits visible light. For this reason, even when the electrostatic protection element 1 is mounted on the lead frame 13 together with the LED 11, the at least one conductor portion 7 hardly absorbs light emitted from the LED 11 and transmits the light.

ZnOを主成分とする焼結体では、当該焼結体に入射した光は、ZnOの結晶粒の粒界で散乱される。本実施形態では、導体部7を構成する焼結体は、Coを実質的に含有しないことから、導体部7では、バリスタ部3に比して、ZnOの粒成長が促進され、ZnOの結晶粒が大きくなる。このため、導体部7では、ZnOの結晶粒の粒界が少なくなり、粒界での散乱が抑制される。ところで、バリスタ部3に含有されるCoは、ZnOの結晶粒内に固溶されて存在している。このように、CoはZnOの結晶粒に固溶されるため、第1のグリーンシートと第2のグリーンシートとを積層した状態で同時に焼成した場合でも、第1のグリーンシートに含有されたCoは、第2のグリーンシートに拡散し難い。   In a sintered body mainly composed of ZnO, light incident on the sintered body is scattered at grain boundaries of ZnO crystal grains. In this embodiment, since the sintered body constituting the conductor portion 7 does not substantially contain Co, ZnO grain growth is promoted in the conductor portion 7 as compared with the varistor portion 3, and the ZnO crystal Grain grows. For this reason, in the conductor part 7, the grain boundary of the crystal grain of ZnO decreases and scattering at a grain boundary is suppressed. By the way, Co contained in the varistor part 3 exists as a solid solution in the crystal grains of ZnO. Thus, since Co is dissolved in the crystal grains of ZnO, even when the first green sheet and the second green sheet are laminated and fired at the same time, Co contained in the first green sheet is contained. Is difficult to diffuse into the second green sheet.

これらの結果、本実施形態によれば、静電気保護素子1がLED11と共にリードフレーム13に実装された場合でも、LED11の発光効率が低下するのを抑制することができる。導体部7を構成する焼結体は、Coを実質的に含有しないため、バリスタ特性が発現し難く、電気抵抗が低い。したがって、導体部7において、電極としての機能が阻害されることはない。   As a result, according to the present embodiment, even when the electrostatic protection element 1 is mounted on the lead frame 13 together with the LED 11, it is possible to suppress a decrease in the light emission efficiency of the LED 11. Since the sintered body constituting the conductor portion 7 does not substantially contain Co, varistor characteristics are hardly exhibited and electric resistance is low. Therefore, in the conductor part 7, the function as an electrode is not inhibited.

本実施形態では、導体部5が、金属からなる。これにより、導体部5へのワイヤボンデングが可能となる。   In the present embodiment, the conductor portion 5 is made of metal. Thereby, the wire bonding to the conductor part 5 is attained.

本実施形態では、導体部7の厚みが、バリスタ部3の厚みよりも大きく設定されている。これにより、導体部7をリードフレーム13(リード13b)に導電ペースト17を用いて接続する際に、バリスタ部3がリードフレーム13から物理的に離されることとなる。このため、導電ペースト17がバリスタ部3に付着し難くなり、導電ペースト17の付着によりバリスタ部3の機能が阻害されるのを防ぐことができる。この結果、LED11をESDから確実に保護することができる。   In the present embodiment, the thickness of the conductor portion 7 is set larger than the thickness of the varistor portion 3. Thus, the varistor portion 3 is physically separated from the lead frame 13 when the conductor portion 7 is connected to the lead frame 13 (lead 13b) using the conductive paste 17. For this reason, it becomes difficult for the conductive paste 17 to adhere to the varistor part 3, and it is possible to prevent the function of the varistor part 3 from being hindered by the adhesion of the conductive paste 17. As a result, the LED 11 can be reliably protected from ESD.

本実施形態では、第1のグリーンシートと第2のグリーンシートとが主成分をZnOであるため、シート積層体を焼成した際に、第1のグリーンシートからなる層の焼結体と第2のグリーンシートからなる層の焼結体とが剥がれてしまうことはなく、良好な焼結体基板を得ることができる。   In this embodiment, since the first green sheet and the second green sheet are mainly composed of ZnO, the sintered body of the layer made of the first green sheet and the second green sheet are fired when the sheet laminate is fired. The sintered body of the layer made of the green sheet is not peeled off, and a good sintered body substrate can be obtained.

以上、本発明の好適な実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。   The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not necessarily limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

本実施形態では、導体部5は、金属からなっているが、導体部7と同じく、ZnOを主成分として含むと共に副成分としてCoを実質的に含有しない焼結体からなっていてもよい。この場合には、LED11の発光効率が低下するのをより一層抑制することができる。   In the present embodiment, the conductor portion 5 is made of metal, but like the conductor portion 7, it may be made of a sintered body containing ZnO as a main component and substantially not containing Co as a subcomponent. In this case, it can suppress further that the luminous efficiency of LED11 falls.

本実施形態では、導体部5は、金属からなっているが、導体部7と同じく、ZnOを主成分として含むと共に副成分としてCoを実質的に含有しない焼結体からなっていてもよい。この場合には、LED11の発光効率が低下するのをより一層抑制することができる。   In the present embodiment, the conductor portion 5 is made of metal, but like the conductor portion 7, it may be made of a sintered body containing ZnO as a main component and substantially not containing Co as a subcomponent. In this case, it can suppress further that the luminous efficiency of LED11 falls.

本実施形態では、導体部5は、第1導体層5aと第2導体層5bとの二層構造とされているが、これに限られない。導体部5は、金属からなる層の一層構造であってもよく、また、三層以上の層構造体であってもよい。   In the present embodiment, the conductor portion 5 has a two-layer structure of the first conductor layer 5a and the second conductor layer 5b, but is not limited thereto. The conductor portion 5 may have a single layer structure made of metal, or may be a layer structure having three or more layers.

上述した静電気保護素子1の実装構造では、静電気保護素子1とLED11とをリードフレーム13に実装しているが、これに限られない。静電気保護素子1とLED11とを基板に実装してもよく、また、他の電子部品に実装してもよい。   In the mounting structure of the electrostatic protection element 1 described above, the electrostatic protection element 1 and the LED 11 are mounted on the lead frame 13, but the present invention is not limited to this. The electrostatic protection element 1 and the LED 11 may be mounted on a substrate, or may be mounted on another electronic component.

1…静電気保護素子、3…バリスタ部、5,7…導体部、13…リードフレーム。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electrostatic protection element, 3 ... Varistor part, 5, 7 ... Conductor part, 13 ... Lead frame.

Claims (3)

ZnOを主成分とすると共に副成分としてCoを含有する焼結体からなるバリスタ部と、
前記バリスタ部を挟んで配置された複数の導体部と、を備えており、
前記複数の導体部のうち少なくとも一つの導体部が、ZnOを主成分とすると共に副成分としてCoを実質的に含有しない焼結体からなることを特徴とする静電気保護素子。
A varistor portion composed of a sintered body containing ZnO as a main component and Co as a subcomponent;
A plurality of conductor portions arranged across the varistor portion, and
The electrostatic protection element, wherein at least one of the plurality of conductor portions is made of a sintered body containing ZnO as a main component and substantially not containing Co as a subcomponent.
前記複数の導体部のうち、前記少なくとも一つの導体部と前記バリスタ層を挟んで配置された導体部が、金属からなることを特徴とする請求項1に記載の静電気保護素子。   2. The electrostatic protection element according to claim 1, wherein among the plurality of conductor portions, the conductor portion arranged with the at least one conductor portion and the varistor layer interposed therebetween is made of metal. 前記少なくとも一つの導体部の厚みが、前記バリスタ部の厚みよりも大きく設定されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の静電気保護素子。   The electrostatic protection element according to claim 1, wherein a thickness of the at least one conductor portion is set to be larger than a thickness of the varistor portion.
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