JP2012105445A - リニアモータ及びステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リニアモータ1は、X軸方向に沿って極性が交互となるように等間隔に配置された複数の磁極11を有する界磁10と、界磁10の一方側に対向して配置され、X軸方向に沿った推進力を発生するための複数のX軸用巻線22を有するX軸用電機子20と、界磁10の他方側に対向して配置され、Y軸方向に沿った推進力を発生するための複数のY軸用巻線32を有するY軸用電機子30とを備えることにより、X軸方向への駆動に用いられる界磁とY軸方向への駆動に用いられる界磁とを共通化する。
【選択図】図2
Description
図5は、本変形例のリニアモータの構成を概念的に表す図1中II−II断面相当の側断面図である。図5に示すように、本変形例リニアモータ1Aにおいては、X軸用電機子20のX軸用巻線22は、樹脂成型により固定されており(固定樹脂を符号43で示す)、またY軸用電機子30のY軸用巻線32も同様に、樹脂成型により固定されている(固定樹脂を符号44で示す)。
すなわち、上記実施形態のリニアモータ1や上記(1)の変形例のリニアモータ1Aをステージ装置における直動機構の駆動源として用いてもよい。以下、そのようなステージ装置の一例を説明する。ステージ装置は、固定台上を移動可能なリニアモータ、このリニアモータの上部に配設されたステージ、上記固定台側及びリニアモータ側にそれぞれ設けられたスライダ及びガイドレールからなるリニアガイド等から構成されている。このステージ装置のリニアモータは、上記実施形態のリニアモータ1、又は、上記(1)の変形例のリニアモータ1Aから構成されている。このように構成されたステージ装置においては、リニアモータの駆動によってステージをX軸方向及びY軸方向に駆動することができる。すなわち、リニアモータは、ステージ装置における直動機構の駆動源として用いられている。前述したような界磁の共通化により小型化及び軽量化することができるリニアモータ1,1Aを直動機構の駆動源として用いることで、小型化及び軽量化が可能なステージ装置を実現できる。
以上では、X軸用電機子20のX軸用巻線列23及び界磁10の磁極列12を2列、Y軸用電機子30のY軸用巻線列33を1列に配置した場合を説明したが、これに限らず、X軸用巻線列23及び磁極列12を偶数列(2n列:nは自然数)、Y軸用電機子30のY軸用巻線列33を上記偶数の半分の列数(n列:nは自然数)となるように配置してもよい。この場合でも、各Y軸用巻線32の短辺部32aに磁極11を効率良く対向させることができ、界磁10とY軸用電機子30との間にY軸方向に沿って高い推進力を得ることができる。
1A リニアモータ
10 界磁
11 磁極
12 磁極列
13 磁石固定板
20 X軸用電機子(第1電機子)
22 X軸用巻線(第1巻線)
23 X軸用巻線列(第1巻線列)
30 Y軸用電機子(第2電機子)
32 Y軸用巻線(第2巻線)
33 Y軸用巻線列(第2巻線列)
41 X軸用ガイド部材(第1ガイド部材)
42 Y軸用ガイド部材(第2ガイド部材)
Claims (7)
- 第1の方向に沿って配置された複数の磁極を有する界磁と、
前記界磁の一方側に対向して配置され、前記第1の方向に沿った推進力を発生するための複数の第1巻線を有する第1電機子と、
前記界磁の他方側に対向して配置され、前記第1の方向と直交する第2の方向に沿った推進力を発生するための複数の第2巻線を有する第2電機子と、を備え、
前記界磁、前記第1電機子、及び前記第2電機子のうちのいずれかを固定子、他を可動子とする
ことを特徴とするリニアモータ。 - nを自然数とした場合に、前記界磁は、
前記第1方向に沿って配置された複数個の前記磁極からなる磁極列が前記第2方向に沿って2n列配置されて構成されており、
前記第1電機子は、
前記第1方向に沿って配置された複数個の前記第1巻線からなる第1巻線列が前記第2方向に沿って2n列配置されて構成されており、
前記第2電機子は、
前記第1方向に沿って配置された複数個の前記第2巻線からなる第2巻線列が前記第2方向に沿ってn列配置されて構成されている
ことを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。 - 前記界磁は、
前記複数の磁極として、前記第1の方向に沿って極性が交互となるように等間隔に配置された複数の永久磁石を有している
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のリニアモータ。 - 前記界磁は、
前記永久磁石を固定配置する磁石固定板をさらに有し、
前記磁石固定板は、
非磁性材料で構成されている
ことを特徴とする請求項3に記載のリニアモータ。 - 前記第1電機子は、
樹脂成型により固定された前記第1巻線を有し、
前記第2電機子は、
樹脂成型により固定された前記第2巻線を有している
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のリニアモータ。 - 前記界磁と前記第1電機子との間に設けられ、前記界磁と前記第1電機子との前記第1の方向に沿った進退移動を案内するための第1ガイド部材と、
前記界磁と前記第2電機子との間に設けられ、前記界磁と前記第2電機子との前記第2の方向に沿った進退移動を案内するための第2ガイド部材と、をさらに備える
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のリニアモータ。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のリニアモータを直動機構の駆動源として用いた
ことを特徴とするステージ装置。
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2010
- 2010-11-10 JP JP2010251653A patent/JP5489080B2/ja not_active Expired - Fee Related
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