JP2012099328A - Organic el display manufacturing method - Google Patents

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JP2012099328A JP2010245790A JP2010245790A JP2012099328A JP 2012099328 A JP2012099328 A JP 2012099328A JP 2010245790 A JP2010245790 A JP 2010245790A JP 2010245790 A JP2010245790 A JP 2010245790A JP 2012099328 A JP2012099328 A JP 2012099328A
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Kazutoshi Miyazawa
和利 宮澤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic EL display manufacturing method in which, when a defect due to inclusion of foreign matter occurs in an organic layer, only a defective portion is locally repaired without damaging the periphery.SOLUTION: Foreign matter mixed in an organic layer is pushed downward up to a surface of the organic layer by a fine needle having a flat tip. Thereafter, an insulating material is applied to only a portion into which the foreign matter has been pushed, by ink jet, a dispenser, an application needle, or the like to form an insulating portion, thereby allowing only a defective portion due to the foreign matter to be locally repaired.

Description

本発明は、有機ELディスプレイの製造方法に関するものである。とりわけ、有機ELディスプレイの製造工程において、製造工程中に有機層中に異物が混入したとき、有機層中に混入した異物により生じた有機層の欠陥を修復する有機ELディスプレイの製造方法である。   The present invention relates to a method for manufacturing an organic EL display. In particular, in an organic EL display manufacturing process, when a foreign substance is mixed in the organic layer during the manufacturing process, the organic EL display manufacturing method repairs a defect in the organic layer caused by the foreign substance mixed in the organic layer.

近年、有機EL素子を利用した自発光型の有機ELディスプレイが次世代のディスプレイとして期待されている。有機ELディスプレイは、明るく鮮明な画質であり、自発光方式であるため、視野角が広く高応答性など優れた特長を有する。有機ELディスプレイは、バックライトが不要なため薄膜化が簡易であるという利点を有するディスプレイであり、将来的に大画面ディスプレイ(テレビ)等への利用が有望視されている。   In recent years, self-luminous organic EL displays using organic EL elements are expected as next-generation displays. The organic EL display has a bright and clear image quality and a self-luminous system, and thus has excellent features such as a wide viewing angle and high responsiveness. An organic EL display has a merit that it is easy to make a thin film because it does not require a backlight, and is expected to be used for a large screen display (television) in the future.

有機ELディスプレイは、複数の有機EL素子と有機ELを発光させるための回路基板から構成される。回路基板には各EL素子に流す電流を細かく制御するために、各有機EL素子に対してTFT(薄膜トランジスタ)が形成されている。また、各EL素子に流れる電流ばらつきを抑えるために補正回路が形成されている。   The organic EL display is composed of a plurality of organic EL elements and a circuit board for causing the organic EL to emit light. On the circuit board, TFTs (thin film transistors) are formed for each organic EL element in order to finely control the current flowing through each EL element. In addition, a correction circuit is formed to suppress variation in current flowing through each EL element.

回路基板上には絶縁膜が形成され、絶縁膜上に有機EL素子を有する積層膜が形成されている。絶縁膜には、回路基板と各有機EL素子とを接続するための接続部が形成されている。   An insulating film is formed on the circuit board, and a laminated film having an organic EL element is formed on the insulating film. A connecting portion for connecting the circuit board and each organic EL element is formed in the insulating film.

有機EL素子は、回路基板上に形成した絶縁膜上に形成されている。絶縁膜上においてマトリックス状に第1の電極と第2の電極を有しており、第1の電極および第2の電極との間には、複数の有機層が配置されている。有機層は、蛍光体分子を含む発光層と、該発光層を挟むホール伝導性の薄膜および電子伝導性の薄膜とから形成されている。有機EL素子の第1の電極を陽極とし第2の電極を陰極として、この電極間に電圧を印加すると、陽極からホール伝導性の薄膜にホールが注入され、陰極から電子伝導性の薄膜に電子が注入され、発光層内でホールと電子とが結合して発光層が発光する。有機EL素子は、封止層により外気に対して保護されている。   The organic EL element is formed on an insulating film formed on a circuit board. A first electrode and a second electrode are provided in a matrix on the insulating film, and a plurality of organic layers are disposed between the first electrode and the second electrode. The organic layer is formed of a light emitting layer containing phosphor molecules, a hole conductive thin film and an electron conductive thin film sandwiching the light emitting layer. When a voltage is applied between the electrodes using the first electrode of the organic EL element as the anode and the second electrode as the cathode, holes are injected from the anode into the hole conductive thin film, and electrons are transferred from the cathode to the electron conductive thin film. Are injected, holes and electrons are combined in the light emitting layer, and the light emitting layer emits light. The organic EL element is protected from the outside air by a sealing layer.

有機ELディスプレイの製造においては、有機層の積層膜の形成が重要である。この有機層の状態が、有機ELディスプレイの発光効率および消費電力に大きな影響を与えるためである。   In the production of an organic EL display, it is important to form a laminated film of organic layers. This is because the state of the organic layer greatly affects the light emission efficiency and power consumption of the organic EL display.

有機層の形成については、幾つかの方法があるが、中でも低コストで大面積への形成に有利である、インクジェット法などの塗布(印刷)工法が注目されている。インクジェット法は、有機材料を溶媒で溶解した溶液を必要な箇所に塗布(印刷)し、乾燥させることで溶液中の溶媒を蒸発させ有機層を形成する方法である。このように、有機材料ごとに塗布および乾燥を繰り返すことで、有機層の積層膜を形成することができる。   There are several methods for forming the organic layer. Among them, a coating (printing) method such as an ink jet method, which is advantageous for forming a large area at a low cost, has attracted attention. The inkjet method is a method in which a solution in which an organic material is dissolved in a solvent is applied (printed) to a necessary portion and dried to evaporate the solvent in the solution to form an organic layer. In this way, by repeating application and drying for each organic material, a laminated film of organic layers can be formed.

上述の通り、インクジェット法は、塗布(印刷)によって一括して有機層を形成することが可能であるため、材料使用効率も良く、大型のディスプレイを比較的容易に形成することができ、低コストでの製造に向いているとも言える。   As described above, since the organic layer can be collectively formed by coating (printing), the ink-jet method has good material usage efficiency, can easily form a large display, and is low in cost. It can be said that it is suitable for manufacturing in Japan.

また、有機ELディスプレイの製造工程は、厚さ数nmの精度で有機層の厚みを制御しながら積層を行う必要があるため、有機層の形成工程は、クリーンルーム内で行われるのが一般的である。つまり、有機層中への異物が混入しないような環境で有機層形成を行う必要がある。しかしながら、有機材料を塗布するための装置内部や周辺環境から非常に細かいパーティクルなどの異物が有機層中に混入してしまい、そのため異物を有機層に完全に混入しないようにすることは困難な状態である。その結果、有機ELディスプレイを製造する過程で有機層に異物が混入してしまう問題が生じている。   In addition, since the manufacturing process of the organic EL display needs to be laminated while controlling the thickness of the organic layer with an accuracy of several nanometers, the organic layer forming process is generally performed in a clean room. is there. That is, it is necessary to form the organic layer in an environment in which no foreign matter enters the organic layer. However, foreign substances such as very fine particles are mixed in the organic layer from the inside of the device for applying the organic material and the surrounding environment, so it is difficult to prevent the foreign substance from being completely mixed into the organic layer. It is. As a result, there is a problem that foreign matters are mixed into the organic layer in the process of manufacturing the organic EL display.

有機層中に異物が混入した場合、第1の電極と第2の電極との間に電圧を印加すると、異物を通して電流が第1の電極と第2の電極との間をリークしてしまう。電流がリークすると有機ELディスプレイの発光効率が低下し、消費電力の上昇につながる。また、異物が存在する画素においては、異物による電流リークにより、その画素における有機層(発光層)に流れる電流量が減少する。そのため、その画素全体における発光層の輝度が低下する。更には、異物が存在する画素が存在すると、有機層に電流が流れなくなり、発光しなくなる場合がある。或いは、有機層を保護するために保護膜を形成しているが、有機層に異物があると、異物がある部分の封止層が不良となり、異物のある部分の膜厚が薄くなったり、膜に欠陥ができたりするため保護性能が低下する。封止層の性能が劣化すると有機層の劣化を招き、発光層の輝度低下を起こす。   When a foreign substance is mixed in the organic layer and a voltage is applied between the first electrode and the second electrode, current leaks between the first electrode and the second electrode through the foreign substance. When the current leaks, the light emission efficiency of the organic EL display decreases, leading to an increase in power consumption. Further, in a pixel in which foreign matter exists, the amount of current flowing through the organic layer (light emitting layer) in the pixel decreases due to current leakage due to the foreign matter. Therefore, the luminance of the light emitting layer in the entire pixel is lowered. Furthermore, if there is a pixel in which a foreign substance exists, current may not flow through the organic layer and light may not be emitted. Alternatively, a protective film is formed to protect the organic layer, but if there is a foreign substance in the organic layer, the sealing layer in the part with the foreign substance becomes defective, and the film thickness in the part with the foreign substance becomes thin, Since the film may be defective, the protection performance deteriorates. When the performance of the sealing layer is deteriorated, the organic layer is deteriorated and the luminance of the light emitting layer is lowered.

これに対し、例えば特許文献1には、有機層形成後、有機層に異物が付着した部分において、絶縁膜を被膜することで異物によるリークの発生を低減させ、有機ELディスプレイの歩留まり改善を図ることが可能との開示がある。また、特許文献2には、有機層形成後、有機層中、或いは、有機層表面に混入した異物に対してレーザを照射して、有機層に混入した異物を除去する工程、その後、レーザで除去した部分に対して、インクジェット法や針塗付法などの塗布工法を用いて有機材料を塗布する工程、有機層に混入した部分に有機層を再形成する工程が開示される。このような構成により、有機層中の異物がレーザで完全に除去できるので、異物によるリークの発生や封止膜の不良形成の低減を図ることができるとされる。   On the other hand, for example, in Patent Document 1, after the organic layer is formed, the insulating film is coated on the portion where the foreign matter adheres to the organic layer, thereby reducing the occurrence of leakage due to the foreign matter and improving the yield of the organic EL display. There is disclosure that it is possible. Patent Document 2 discloses a process of irradiating a foreign substance mixed in the organic layer or on the surface of the organic layer after forming the organic layer to remove the foreign substance mixed in the organic layer, and then using a laser. A process of applying an organic material to the removed part using an application method such as an inkjet method or a needle coating method, and a process of re-forming the organic layer in the part mixed in the organic layer are disclosed. With such a configuration, the foreign matter in the organic layer can be completely removed with a laser, so that it is possible to reduce the occurrence of leakage due to the foreign matter and the formation of defective sealing films.

特開平11−054286号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-054286 特開2004−119243号公報JP 2004-119243 A

しかしながら、特許文献1に示す有機ELディスプレイの製造方法おいては、有機層に混入した異物に対して絶縁部を形成して異物の部分を絶縁することで修復を行うことになる。具体的には、絶縁部の形成において、感光性絶縁樹脂を用い、光を照射することで感光性樹脂を露光し、異物の部分のみに絶縁樹脂を残す方法で異物の部分に絶縁部を形成する技術である。   However, in the manufacturing method of the organic EL display shown in Patent Document 1, repair is performed by forming an insulating portion against foreign matter mixed in the organic layer and insulating the foreign matter portion. Specifically, in the formation of the insulating part, a photosensitive insulating resin is used, and the photosensitive resin is exposed by irradiating light, and the insulating part is formed on the foreign substance part by leaving the insulating resin only on the foreign substance part. Technology.

図9に、有機層1に混入した異物2に対して絶縁部3を形成したときの断面図を示す。この製造方法において感光性樹脂を露光するとき、有機層1にも露光のための光が照射される。上記特許文献1では、この光によって有機層1の劣化が引き起こされ、発光寿命の低下を引き起こす課題が生じることになる。また、異物2をそのまま残すため、異物を絶縁材料で覆う領域(絶縁領域4)が広くなり、絶縁領域4の拡大を引き起こし修復による非発光領域が広くなり、異物2のある領域における輝度低下を招くことにも繋がる。   FIG. 9 is a cross-sectional view when the insulating portion 3 is formed for the foreign matter 2 mixed in the organic layer 1. When the photosensitive resin is exposed in this manufacturing method, the organic layer 1 is also irradiated with light for exposure. In the above-mentioned Patent Document 1, the deterioration of the organic layer 1 is caused by this light, and there is a problem that the light emission lifetime is reduced. Further, since the foreign matter 2 is left as it is, a region (insulating region 4) that covers the foreign matter with an insulating material is widened, the insulating region 4 is enlarged, a non-light emitting region due to repair is widened, and a luminance reduction in a region where the foreign matter 2 is present It leads to inviting.

また、有機層1を保護するための封止膜を形成する場合、異物2上に絶縁部3を形成すると、その部分だけ絶縁部が形成されているため絶縁部の高さ5により局所的に凸形状になる。この部分に封止膜を形成すると、凸形状の影響で封止膜が薄くなる、あるいは封止膜に欠陥が発生できる。何れの場合においても、封止性の低下による有機層1の劣化を引き起こす問題を有することになる。   In the case of forming a sealing film for protecting the organic layer 1, if the insulating portion 3 is formed on the foreign matter 2, the insulating portion is formed only on that portion, so that the insulating portion 3 is locally increased by the height 5 of the insulating portion. It becomes a convex shape. When a sealing film is formed in this portion, the sealing film becomes thin due to the convex shape, or a defect can occur in the sealing film. In any case, there is a problem that causes deterioration of the organic layer 1 due to a decrease in sealing performance.

また、特許文献2に示す従来の有機ELディスプレイの製造方法においては、レーザによって有機層中に混入した異物を完全に異物を除去し、除去した後に有機材料を再塗布することで異物による欠陥を修復することになる。   Moreover, in the conventional manufacturing method of an organic EL display shown in Patent Document 2, the foreign matter mixed in the organic layer is completely removed by the laser, and after removing the foreign material, the organic material is re-applied to remove the defect caused by the foreign matter. Will be repaired.

図10〜12は、特許文献2を説明する図である。図10に示すように、レーザ発振機6からレーザ7を照射し有機層1に混入した異物2を除去するとき、図11に示すように、レーザで除去された異物や有機層の加工片9がレーザ除去部8の周囲に飛散する。図12に示すように、レーザで異物2を除去したあと、有機材料10を塗布するが、レーザ除去部周囲に飛散したこれらの加工片9は広範囲に飛散するため、有機材料10によって完全に被膜することができない。   10 to 12 are diagrams for explaining Patent Document 2. FIG. As shown in FIG. 10, when the foreign substance 2 mixed in the organic layer 1 is removed by irradiating the laser 7 from the laser oscillator 6, as shown in FIG. 11, the foreign substance removed by the laser and the processed piece 9 of the organic layer are removed. Is scattered around the laser removing unit 8. As shown in FIG. 12, the organic material 10 is applied after removing the foreign matter 2 with a laser. However, since these processed pieces 9 scattered around the laser removal portion are scattered over a wide area, the organic material 10 is completely coated. Can not do it.

これらの加工片9が残ると、この加工片9が新たな異物となり、有機層1に電流を流したときリークの要因となる。また、有機層1を保護するための封止層を形成するとき、飛散した加工片9を封止層が完全に被膜できずに封止層の欠陥を引き起こし、有機層を劣化させてしまう課題が生じることになる。   If these processed pieces 9 remain, this processed piece 9 becomes a new foreign substance, which causes a leak when a current is passed through the organic layer 1. Moreover, when forming the sealing layer for protecting the organic layer 1, the sealing layer cannot completely coat the scattered workpiece 9, causing a defect of the sealing layer and deteriorating the organic layer. Will occur.

本発明は、前記従来の課題を解決するものであり、有機層に混入した異物による欠陥に対して、有機層を保護するための封止層に影響を与えることなく、局所的に欠陥部を修復することが可能な有機ELディスプレイの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and the defect portion is locally formed without affecting the sealing layer for protecting the organic layer against the defect caused by the foreign matter mixed in the organic layer. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an organic EL display that can be repaired.

上記目的を達成するために、本発明の有機ELディスプレイの製造方法は、基板と、前記基板上に配置された複数の有機EL素子とを有し、前記有機EL素子は、前記基板上に形成された第1電極、前記第1電極上に配置された有機層、前記有機層上に配置された第2電極を含む、有機ELディスプレイを製造する方法であって、少なくとも以下のステップを含む、(1)基板上に絶縁膜を形成するステップ、(2)絶縁膜上に有機層を規定するバンクを形成するステップ、(3)前記バンクにより規定された領域に有機層を塗布形成するステップ、(4)前記有機層に混入した異物を検出するステップ、(5)前記有機層に混入した異物を有機層の下部方向へ押し込むステップ、(6)前記異物に対して絶縁材料を塗布することで絶縁部を形成するステップ、を有する有機ELディスプレイの製造方法である。   In order to achieve the above object, a method of manufacturing an organic EL display according to the present invention includes a substrate and a plurality of organic EL elements arranged on the substrate, and the organic EL element is formed on the substrate. A method of manufacturing an organic EL display, comprising: a first electrode formed, an organic layer disposed on the first electrode, and a second electrode disposed on the organic layer, the method including at least the following steps: (1) forming an insulating film on the substrate; (2) forming a bank defining an organic layer on the insulating film; (3) applying and forming an organic layer in a region defined by the bank; (4) detecting foreign matter mixed in the organic layer, (5) pushing the foreign matter mixed in the organic layer in a lower direction of the organic layer, and (6) applying an insulating material to the foreign matter. Insulation The step of forming an organic EL display manufacturing method of having.

このとき、異物に対して先端が平面の微細な針を有機層表面まで押し付けることで、異物を有機層下部方向へ押し込み、異物のサイズは、有機層表面から駆動回路を有する基板表面までの積層厚み以下であることが好ましい。   At this time, by pressing a fine needle with a flat tip on the surface of the organic layer against the foreign material, the foreign material is pushed down the organic layer, and the size of the foreign material is the stack from the organic layer surface to the substrate surface having the drive circuit. The thickness is preferably equal to or less than the thickness.

以上のように、本発明の有機ELディスプレイの製造方法によれば、有機層に異物が混入した場合、異物を有機層の下方へ押し込んだ後、絶縁材料を局所的に塗布形成するため、異物混入部に対して絶縁膜を塗布する際、塗布領域を最小限に抑えることができる。また、本発明の場合、異物が有機層表面から突出していないので、塗布高さを低くし、凸形状を抑えることも可能となる。   As described above, according to the method of manufacturing an organic EL display of the present invention, when a foreign substance is mixed in the organic layer, the foreign material is pressed and formed below the organic layer, and then the insulating material is locally applied and formed. When the insulating film is applied to the mixed portion, the application area can be minimized. Moreover, in the case of this invention, since the foreign material does not protrude from the organic layer surface, it becomes possible to reduce the coating height and suppress the convex shape.

よって、異物のある部分のみを局所的に凸形状を抑えて絶縁することが可能であるため、異物が混入した場所において修復した形状を限定的に小さくでき、かつ、異物によるリークを修復する際、非発光領域を小さく限定できるので修復による輝度低下を抑えることができる。また、修復部の凸形状の高さを抑えることが可能であるため、修復部が封止膜へ影響を与えることが無く、封止性劣化を引き起こさない。そのため、発光寿命の低下を抑えることが可能となる。   Therefore, since it is possible to insulate only a part having foreign matter while suppressing the convex shape locally, the repaired shape can be limitedly reduced in a place where the foreign matter is mixed, and when the leak due to the foreign matter is repaired. Since the non-light-emitting region can be limited to a small size, a reduction in luminance due to repair can be suppressed. Moreover, since it is possible to suppress the height of the convex shape of the repaired portion, the repaired portion does not affect the sealing film, and sealing performance is not deteriorated. For this reason, it is possible to suppress a decrease in the light emission lifetime.

以上のことより、本発明の有機ELディスプレイの製造方法は、有機ELディスプレイの製造において歩留まりを高めることができ、かつ、高品質な有機ELディスプレイの製造をも可能となる。   From the above, the method for producing an organic EL display according to the present invention can increase the yield in the production of an organic EL display and can also produce a high-quality organic EL display.

本発明の有機ELディスプレイの製造方法のフローチャートを示す図The figure which shows the flowchart of the manufacturing method of the organic electroluminescent display of this invention. 有機ELディスプレイの製造工程中において有機層に異物が混入した状態を示した斜視図The perspective view which showed the state in which the foreign material mixed in the organic layer in the manufacturing process of an organic electroluminescent display 有機ELディスプレイの製造工程中において有機層に異物が混入した状態を示した断面図Cross-sectional view showing a state in which foreign matter is mixed in the organic layer during the manufacturing process of the organic EL display 有機層中に異物が混入した有機ELディスプレイの断面図Cross section of organic EL display with foreign matter mixed in organic layer (a)本発明の実施の形態において、有機層に混入した異物を微細な針で有機層下部に押し込む前の図、(b)本発明の実施の形態において、有機層に混入した異物を微細な針で有機層下部に押し込んだ状態の図(A) In the embodiment of the present invention, the figure before the foreign matter mixed in the organic layer is pushed into the lower part of the organic layer with a fine needle, (b) In the embodiment of the present invention, the foreign matter mixed in the organic layer is fine Of a state where it is pushed into the bottom of the organic layer with a simple needle 本発明の実施の形態において、有機層に異物を押し込んだあとに絶縁材料を塗布し、異物のある場所に絶縁部を形成した図In the embodiment of the present invention, after the foreign material is pushed into the organic layer, the insulating material is applied, and the insulating portion is formed in the place where the foreign material exists (a)有機層に混入した異物の外観図、(b)異物を微細な針で有機層中に押し込んだ外観図(A) External view of foreign matter mixed in organic layer, (b) External view of foreign matter pushed into organic layer with fine needle (a)異物を有機層に押し込んだ後、有機材料を塗布した後の外観図、(b)有機材料を塗布した部分の絶縁部の断面形状のプロファイルを示す図(A) An external view after applying an organic material after pushing a foreign substance into the organic layer, (b) a diagram showing a profile of a cross-sectional shape of an insulating portion of the portion where the organic material is applied 有機層に混入した異物を従来の方法により絶縁材料で被膜した断面図Cross-sectional view of foreign material mixed in organic layer coated with insulating material by conventional method 従来例の有機層に混入した異物をレーザにより除去したときの断面図Sectional view when foreign matter mixed in organic layer of conventional example is removed by laser 従来例の有機層に混入した異物をレーザによって除去した後、レーザにより除去された細かい破片が飛散した状態を示した断面図Cross-sectional view showing a state in which fine debris removed by the laser is scattered after the foreign matter mixed in the organic layer of the conventional example is removed by the laser 従来例のレーザにより除去された有機層に有機材料を再塗布した後の状態を示した断面図Sectional drawing which showed the state after re-applying an organic material to the organic layer removed by the laser of the prior art example

以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

本発明の製造方法により製造される有機ELディスプレイは、少なくともTFTを含んだ駆動回路を有する基板と、前記基板上に絶縁膜が形成され、絶縁膜上にマトリクス状に配置されるとともに駆動回路と接続された有機EL素子とを有する。   An organic EL display manufactured by the manufacturing method of the present invention includes a substrate having a drive circuit including at least a TFT, an insulating film formed on the substrate, arranged in a matrix on the insulating film, and a driving circuit. And a connected organic EL element.

有機EL素子は、少なくとも絶縁膜上に配置された第1の電極と、該第1の電極上に配置された有機層と、該有機層上に配置された第2の電極を有する。有機層は少なくとも有機発光層を含むが、更に正孔注入層や正孔輸送層、電子輸送層などを含んでいても良い。また、有機EL素子はカラーフィルタや封止膜などの任意の構成部材を有していても良い。   The organic EL element has at least a first electrode disposed on the insulating film, an organic layer disposed on the first electrode, and a second electrode disposed on the organic layer. The organic layer includes at least an organic light emitting layer, but may further include a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and the like. Moreover, the organic EL element may have arbitrary components, such as a color filter and a sealing film.

本発明の有機ELディスプレイの製造方法は、図1のフローチャートに示すように、
(S1)TFTを含んだ駆動回路を有する基板上に絶縁膜を形成するステップと、
(S2)絶縁膜上に有機層を規定するバンクを形成するステップと、
(S3)上記(S2)で形成したバンクにより規定された領域に対し、各領域で必要とされる有機材料を塗布し、有機層を形成するステップと、
(S4)上記(S3)で形成した有機層において、有機層中に混入した異物や有機層表面に付着した異物を検出するステップと、
(S5)上記(S4)で検出された異物を、先端が平面の微細な針を用いて異物を有機層下部方向へ押し込み有機層表面より異物が突出しない状態にするステップと、
(S6)上記(S5)で異物を有機層下部に押し込んだ部分のみに局所的に絶縁材料を塗布し、絶縁部を形成するステップと、を有する。
As shown in the flowchart of FIG. 1, the manufacturing method of the organic EL display of the present invention is as follows.
(S1) forming an insulating film on a substrate having a driving circuit including a TFT;
(S2) forming a bank defining an organic layer on the insulating film;
(S3) A step of applying an organic material required in each region to a region defined by the bank formed in (S2) to form an organic layer;
(S4) In the organic layer formed in (S3) above, detecting a foreign matter mixed in the organic layer or a foreign matter adhering to the organic layer surface;
(S5) pressing the foreign matter detected in (S4) above into the lower part of the organic layer using a fine needle with a flat tip so that the foreign matter does not protrude from the organic layer surface;
(S6) including a step of locally applying an insulating material only to a portion where the foreign substance is pushed into the lower portion of the organic layer in (S5) to form an insulating portion.

以下、上述の各ステップにおける特長を説明する。   Hereinafter, features in each of the above steps will be described.

(1)第1のステップ(S1)では、有機EL素子に電流を流して発光状態を制御するための駆動回路を有する基板上に絶縁膜を形成する。駆動回路は、TFTやTFTの電流のばらつきを抑えるための補償回路を含む。回路が形成された基板の種類は、絶縁性を有し、かつ所望の機械的特性を有するものであれば特に限定されない。一般的には、ガラス板などが用いられることが多い。基板は、プラズマ処理やUV処理などの表面処理が施されていても良い。   (1) In the first step (S1), an insulating film is formed on a substrate having a drive circuit for controlling the light emission state by passing a current through the organic EL element. The drive circuit includes a compensation circuit for suppressing variation in TFT and current of the TFT. The type of the substrate on which the circuit is formed is not particularly limited as long as it has insulating properties and desired mechanical characteristics. In general, a glass plate or the like is often used. The substrate may be subjected to surface treatment such as plasma treatment or UV treatment.

絶縁膜の材料は、特に限定されないが、絶縁性、有機溶剤耐性、プロセス耐性(プラズマ処理、エッチング処理、ベーク処理に対する耐性)の点から、シリコン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂などが好ましい。絶縁膜は平坦化膜であり、厚みは3〜10μm程度の厚みである。 絶縁膜には、駆動回路と絶縁膜上に形成される第1の電極とを接続するための接続部が形成される。   The material of the insulating film is not particularly limited, but in terms of insulation, organic solvent resistance, and process resistance (resistance to plasma treatment, etching treatment, baking treatment), a silicon resin, an acrylic resin, a polyimide resin, a novolac type Phenol resin is preferred. The insulating film is a planarizing film and has a thickness of about 3 to 10 μm. The insulating film is formed with a connection portion for connecting the drive circuit and the first electrode formed on the insulating film.

(2)第2のステップ(S2)では、駆動回路を含む基板上に形成した絶縁膜上に、有機層を規定するバンクを形成する。ここで「バンクを基板上に形成する」とは、基板上に直接バンクを形成するだけでなく、基板上に形成された別の部材(例えば、第1の電極など)の上にバンクを形成することも含む。バンクなどにより規定される有機EL素子のサイズおよび形状は、求める特性(例えば、ディスプレイの解像度など)に応じて自由に設定され得る。   (2) In the second step (S2), a bank defining an organic layer is formed on an insulating film formed on a substrate including a drive circuit. Here, “to form a bank on a substrate” not only directly forms a bank on the substrate, but also forms a bank on another member (for example, the first electrode) formed on the substrate. To include. The size and shape of the organic EL element defined by the bank or the like can be freely set according to the desired characteristics (for example, the resolution of the display).

バンクは、有機EL素子ごとに有機層を規定していても良いし、ライン状に配列された複数の有機EL素子を含む区域を規定してもよい。ライン状に配列された複数の有機EL素子は、同一色(赤、緑または青)の光を発する。   The bank may define an organic layer for each organic EL element, or may define an area including a plurality of organic EL elements arranged in a line. The plurality of organic EL elements arranged in a line emit light of the same color (red, green or blue).

バンクの材料は、特に限定されないが、絶縁性、有機溶剤耐性、プロセス耐性(プラズマ処理、エッチング処理、ベーク処理に対する耐性)の点から、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂などが好ましい。また、バンクの材料は、フッ素系樹脂(アクリル系フッ素樹脂やポリイミド系フッ素樹脂)であっても良い。バンクは、プラズマ処理やUV処理などの表面処理が施されていても良く、それにより、バンク表面の親液性や撥液性が調整され得る。   The material of the bank is not particularly limited, but acrylic resin, polyimide resin, novolac type phenol resin, etc. are preferable from the viewpoint of insulation, organic solvent resistance, and process resistance (resistance to plasma treatment, etching treatment, and baking treatment). . The material of the bank may be a fluorine resin (acrylic fluorine resin or polyimide fluorine resin). The bank may be subjected to surface treatment such as plasma treatment or UV treatment, whereby the lyophilicity or liquid repellency of the bank surface can be adjusted.

(3)第3のステップ(S3)では、第2のステップで形成したバンクにより規定された領域に有機材料を含む溶液を塗布して有機層を形成する。有機層を形成する方法は、塗布法であれば特に限定されない。塗布法の例には、有機材料を所定の位置に制御しながら塗布することができるインクジェット、ディスペンサ、塗布針などの方法が含まれる。   (3) In the third step (S3), an organic layer is formed by applying a solution containing an organic material to the region defined by the bank formed in the second step. The method for forming the organic layer is not particularly limited as long as it is a coating method. Examples of the coating method include methods such as an inkjet, a dispenser, and a coating needle that can be applied while controlling the organic material at a predetermined position.

バンク内に塗布される有機材料および溶媒の種類は、有機層の種類や求める特性などに応じて自由に選択すれば良い。発光層を構成する有機材料の例には、ポリフルオレン系の高分子有機材料が含まれる。   The type of organic material and solvent applied in the bank may be freely selected according to the type of organic layer, desired characteristics, and the like. Examples of the organic material constituting the light emitting layer include polyfluorene-based polymer organic materials.

有機EL素子は、電極および有機層の薄膜を積層することで形成される。それぞれの薄膜は、数10nmレベルで膜厚が制御されている。製造環境を厳密に管理し、かつ製造設備を十分にメンテナンスしていても製造している環境や設備内部から、有機材料を含む溶液を塗布した部分に、微小な異物が混入してしまうことがある。この微小異物の混入により、有機層に欠陥が生じてしまう。図2にバンク11間に有機層1を形成した後、有機層1に異物2が混入したときの斜視図を示し、図2におけるA−A断面を図3に示す。   An organic EL element is formed by laminating an electrode and a thin film of an organic layer. The thickness of each thin film is controlled at a level of several tens of nm. Even if the manufacturing environment is strictly controlled and the manufacturing equipment is sufficiently maintained, fine foreign matter may enter the part where the solution containing the organic material is applied from the manufacturing environment or inside the equipment. is there. Due to the mixing of the minute foreign matter, a defect occurs in the organic layer. FIG. 2 shows a perspective view when the organic layer 1 is formed between the banks 11 and then the foreign matter 2 is mixed into the organic layer 1, and FIG. 3 shows a cross section taken along the line AA in FIG.

また、図3のような状態(有機層1に異物2が混入した状態)において、有機EL素子を製造したとき断面を図4に示す。   Further, FIG. 4 shows a cross section when the organic EL element is manufactured in the state as shown in FIG. 3 (the state in which the foreign matter 2 is mixed in the organic layer 1).

図4に示されるように有機EL素子は、駆動回路を含む基板12、基板上に形成された絶縁膜13、絶縁膜上に配置された第1の電極14、第1電極上に配置された有機層1、有機層上に配置された第2の電極15、第2電極上に配置された封止膜16とを有する。有機層1には異物2が混入している。図4に示されるように、異物2は第1の電極14および第2の電極15と接触しているので、第1の電極14と第2の電極15との間に電圧を印加すると、異物2を通して、第1の電極14から第2の電極15に電流がリークし、消費電力の増大や、異物周囲での発光輝度低下による発光ムラや、発光自体がしなくなるという不良現象が発生する。   As shown in FIG. 4, the organic EL element is disposed on the substrate 12 including the drive circuit, the insulating film 13 formed on the substrate, the first electrode 14 disposed on the insulating film, and the first electrode. It has the organic layer 1, the 2nd electrode 15 arrange | positioned on an organic layer, and the sealing film 16 arrange | positioned on a 2nd electrode. Foreign matter 2 is mixed in the organic layer 1. As shown in FIG. 4, since the foreign material 2 is in contact with the first electrode 14 and the second electrode 15, if a voltage is applied between the first electrode 14 and the second electrode 15, the foreign material 2 2, current leaks from the first electrode 14 to the second electrode 15, resulting in an increase in power consumption, light emission unevenness due to a decrease in light emission luminance around the foreign matter, and a defective phenomenon in which light emission itself does not occur.

(4)第4のステップ(S4)では、第3のステップ(S3)で形成した有機層に、形成不良部が存在するか否かを検出する。有機層に混入した異物を検出する方法は、特に限定されないが、顕微鏡を用いた外観検査による方法や画像検査方法やパターン検査方法などがある。画像検査方法やパターン検査方法には、隣接する素子同士を比較することで異物を検出する「Die to Die検査方式」や素子と設計データとを比較することで異物を検出する「Die to Database検査方式」が含まれる。   (4) In the fourth step (S4), it is detected whether or not a poorly formed portion exists in the organic layer formed in the third step (S3). The method for detecting the foreign matter mixed in the organic layer is not particularly limited, and there are a method by visual inspection using a microscope, an image inspection method, a pattern inspection method, and the like. The image inspection method and the pattern inspection method include a “Die to Die inspection method” in which foreign elements are detected by comparing adjacent elements, and a “Die to Database inspection” in which foreign elements are detected by comparing elements and design data. "Method".

有機層に検出された異物は、レーザ顕微鏡や白色干渉計測装置によって、異物のサイズを計測する。検出した異物のサイズが、駆動回路を含む基板の表面から有機層の最表面までの厚み以下であれば、第5ステップ(S5)に進み、異物を有機層下部に押し込み、有機層表面に異物が突出しない状態にする。   For the foreign matter detected in the organic layer, the size of the foreign matter is measured by a laser microscope or a white interference measuring device. If the size of the detected foreign matter is equal to or less than the thickness from the surface of the substrate including the drive circuit to the outermost surface of the organic layer, the process proceeds to the fifth step (S5), and the foreign matter is pushed into the lower portion of the organic layer. The state that does not protrude.

(5)第5のステップでは、第4のステップ(S4)で検出された有機層中に混入、或いは、有機層表面に付着した異物を有機層下部方向へ押し込ませ、有機層表面に異物が突出しないようにする。   (5) In the fifth step, the foreign matter mixed in the organic layer detected in the fourth step (S4) or the foreign matter adhering to the organic layer surface is pushed in the lower direction of the organic layer, and the foreign matter is introduced to the organic layer surface. Avoid protruding.

図5に示すように、異物2を有機層1下部に押し込むためには、先端が平面形状をした微細な針17を用いて押し込めば良い。この針17は、微細な針の直径は、バンクの内法よりも小さく、異物2に対して充分大きな直径の針を用い、異物2が完全に押し込めるようにする。針の材質は、タングステンやステンレスなどの硬質の金属材料を用いるのが良い。   As shown in FIG. 5, in order to push the foreign material 2 into the lower part of the organic layer 1, it is only necessary to push it using a fine needle 17 having a flat tip. The diameter of the fine needle 17 is smaller than the inner diameter of the bank, and a needle having a sufficiently large diameter with respect to the foreign material 2 is used so that the foreign material 2 can be completely pushed in. The material of the needle is preferably a hard metal material such as tungsten or stainless steel.

具体的には、図5(a)に示すように、微細な針17を有機層1が混入した場所まで移動させる。微細な針17は、所定の位置に移動できるような制御装置に接続し、有機層1に混入した異物2に対して、針17の先端部を異物2が混入した有機層1の表面まで移動させて止めるようにする。そして、図5(b)に示すように、針17の先端部が有機層1表面で停止させるため、有機層1と針17との位置関係を明確にしておき、針17の先端が有機層1表面で止まるように設定する。   Specifically, as shown in FIG. 5A, the fine needle 17 is moved to a place where the organic layer 1 is mixed. The fine needle 17 is connected to a control device that can move to a predetermined position, and the tip of the needle 17 is moved to the surface of the organic layer 1 mixed with the foreign matter 2 with respect to the foreign matter 2 mixed in the organic layer 1. Let it stop. Then, as shown in FIG. 5B, since the tip of the needle 17 is stopped on the surface of the organic layer 1, the positional relationship between the organic layer 1 and the needle 17 is clarified, and the tip of the needle 17 is the organic layer. Set to stop at one surface.

例えば、異物2近傍の有機層1表面の位置をレーザ変位計を用いて検出し、針17の移動量を制御することで、針17が有機層1表面で止まるように制御する。或いは、針17に微小変位検出機を接続して、有機層1表面と接触したことを検知して、針17が有機層表面に接触したときに止めるようにする。   For example, the position of the surface of the organic layer 1 near the foreign material 2 is detected using a laser displacement meter, and the amount of movement of the needle 17 is controlled so that the needle 17 stops on the surface of the organic layer 1. Alternatively, a minute displacement detector is connected to the needle 17 to detect contact with the surface of the organic layer 1 and stop when the needle 17 contacts the surface of the organic layer.

(6)第6のステップ(S6)では、第5のステップ(S5)で有機層中に混入した異物や有機層表面に付着した異物を有機層下部に押し込んだ部分に絶縁材料を塗布して、異物が押し込まれた部分に対して局所的に絶縁部を形成する。   (6) In the sixth step (S6), an insulating material is applied to the portion where the foreign matter mixed in the organic layer in the fifth step (S5) or the foreign matter adhering to the organic layer surface is pushed into the lower part of the organic layer. The insulating part is locally formed with respect to the portion where the foreign object is pushed.

異物2を有機層下部に押し込んだ部分に対し、局所的に絶縁材料を塗布する方法は、インクジェット法、ディスペンサ法、針塗布法などの塗布工法などがある。これらの塗布工法をいずれも適用することができるが、インクジェット法やディスペンサ法においては、溶液を吐出させて塗布する場合、塗布材料が広がって塗布され、微小量の塗布を行うのが困難なため、絶縁領域が広がってしまう可能性がある。   As a method of locally applying the insulating material to the portion where the foreign matter 2 is pushed into the lower part of the organic layer, there are an application method such as an inkjet method, a dispenser method, a needle application method, and the like. Any of these coating methods can be applied. However, in the ink jet method and the dispenser method, when applying by discharging a solution, the coating material is spread and applied, and it is difficult to apply a minute amount. There is a possibility that the insulating region will spread.

インクジェット法やディスペンサ法に比べ、微小量の溶液を塗布することのできる塗布工法として、針塗布を適用するのが望ましい。針塗布は、数10〜数100μmの極細の塗布針に液滴を付着させ、塗布針先端とワークとを接触させることで、針先端に付着した液滴のみを転写させて微小量のみを塗布することができる。但し、通常の針塗布法を用いた場合、塗布針を有機層表面に押し付けるので、針先端に付着した材料を異物が埋め込まれた部分に転写するとき、針接触部に付着した材料が外周へ押し出され、針先端の外周部に溶液が広がってしまう。   Compared to the ink jet method and the dispenser method, it is desirable to apply needle coating as a coating method capable of coating a minute amount of solution. In needle application, droplets are attached to a very fine application needle of several tens to several hundreds of micrometers, and the tip of the application needle is brought into contact with the workpiece, so that only the droplet attached to the tip of the needle is transferred and only a minute amount is applied. can do. However, when the normal needle application method is used, the application needle is pressed against the surface of the organic layer, so when the material adhering to the tip of the needle is transferred to the part where the foreign matter is embedded, the material adhering to the needle contact portion moves to the outer periphery. The solution is pushed out and spreads on the outer periphery of the needle tip.

従って、針塗布で絶縁材料を異物が埋め込まれた部分に塗布するとき、非接触の針塗布法の方式により塗布材料を塗布するのが良い。絶縁材料を付着させた針先端を異物が埋め込まれた部分に接触させて塗布するのではなく、絶縁材料を付着させた針先端と異物が埋め込まれた部分とのギャップを近づけることにより非接触で絶縁材料を有機層表面に転写させる方法である。塗布針先端と異物が埋め込まれた表面とのギャップは、塗布針先端に付着した溶液の厚み以下の距離に設定する必要がある。   Therefore, when the insulating material is applied to the portion where the foreign material is embedded by needle application, the application material is preferably applied by a non-contact needle application method. Instead of applying the tip of the needle with the insulating material in contact with the part where the foreign material is embedded, the contact between the tip of the needle with the insulating material and the part where the foreign material is embedded is brought close to the contact. In this method, the insulating material is transferred to the surface of the organic layer. It is necessary to set the gap between the tip of the application needle and the surface where the foreign matter is embedded to a distance equal to or less than the thickness of the solution attached to the tip of the application needle.

この非接触の針塗布を行うには、例えば、株式会社アプライド・マイクロシステムのニードル式ディスペンサなどを用いれば良い。この装置を使用すれば、塗布針の位置を任意に変えることができるため、非接触での針塗布が可能である。図6に示すように、非接触の針塗布で絶縁材料を塗布すれば、異物2に対する絶縁材料の絶縁領域4を小さくすることができ、かつ、異物が有機層に埋め込まれているので塗布高さ5を低くできるため、異物2が埋め込まれた部分のみに局所的に絶縁部3の形成が可能となる。   In order to perform this non-contact needle application, for example, a needle dispenser of Applied Microsystem Co., Ltd. may be used. If this apparatus is used, the position of the application needle can be arbitrarily changed, so that the needle can be applied in a non-contact manner. As shown in FIG. 6, if the insulating material is applied by non-contact needle coating, the insulating region 4 of the insulating material with respect to the foreign material 2 can be reduced, and the foreign material is embedded in the organic layer, so that the coating height is high. Therefore, the insulating portion 3 can be locally formed only in the portion where the foreign material 2 is embedded.

異物が埋め込まれた部分に塗布される溶液は、第1のステップで駆動回路を有する基板上に形成した絶縁材料と同じ材料であるシリコン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂などの材料を用いれば良い。あるいは、第3のステップで塗布した溶液(有機材料および溶剤)を用いても良い。また、絶縁領域をできるだけ限定的にするため絶縁材料の塗布量を微量にするとともに、塗布後の濡れ広がりを少なくするために、絶縁材料の材料濃度を高くして塗布するのが好ましい。   The solution applied to the part where the foreign material is embedded is the same material as the insulating material formed on the substrate having the driving circuit in the first step, such as silicon resin, acrylic resin, polyimide resin, and novolac type phenol resin. A material such as the above may be used. Alternatively, the solution (organic material and solvent) applied in the third step may be used. In addition, it is preferable to apply the insulating material at a high concentration in order to limit the insulating region as much as possible, and to reduce the amount of the insulating material applied, and to reduce the spread of wetness after application.

絶縁材料塗布後、CO2レーザ、スポットランプや超小型の熱風ヒータなどで再塗布した部分のみを乾燥させる。或いは、加熱炉を用いて基板全体を加熱することで、塗布した絶縁材料を乾燥させる。 After the insulating material is applied, only the portion reapplied with a CO 2 laser, a spot lamp, or an ultra-small hot air heater is dried. Alternatively, the applied insulating material is dried by heating the entire substrate using a heating furnace.

上述したように、有機ELディスプレイの製造工程において、有機層に異物が混入したり、有機層表面に異物が付着した場合に、異物によるショートを修復することができる。本発明によれば、リーク電流の低減による低消費電力化や輝度ムラが少ない有機ELディスプレイを高い歩留まりで製造することができる。   As described above, in the manufacturing process of the organic EL display, when a foreign substance is mixed in the organic layer or a foreign substance adheres to the surface of the organic layer, a short circuit due to the foreign substance can be repaired. According to the present invention, it is possible to manufacture an organic EL display with low power consumption by reducing leakage current and with little luminance unevenness at a high yield.

(実施例)
図7(a)は有機層中に混入した異物の外観写真を示す図である。
(Example)
FIG. 7A is a view showing an external appearance photograph of the foreign matter mixed in the organic layer.

この異物のサイズは、およそ10μm程度のサイズであった。この異物を先端が平面形状をした微細な針で有機層下部方向に押し込んだ後の外観写真を図7(b)に示す。   The size of the foreign material was about 10 μm. FIG. 7B shows a photograph of the appearance after the foreign matter is pushed in the lower direction of the organic layer with a fine needle having a flat tip at the tip.

異物を押しこむための微細な針は、タングステンを直径50μmに加工した針を用いた。この微細な針を異物が埋め込まれた領域周囲の有機層表面の高さまで下降させて異物を押し込んだ。図7に示すように異物を有機層下部に押し込まれ、異物の形状が変化していることがわかる。このとき、実験より、異物を押し込むことで第1の電極が破壊されていないことは確認済みである。   As a fine needle for pushing in the foreign matter, a needle obtained by processing tungsten into a diameter of 50 μm was used. The fine needle was lowered to the height of the surface of the organic layer around the area where the foreign matter was embedded, and the foreign matter was pushed in. As shown in FIG. 7, it can be seen that the foreign matter is pushed into the lower part of the organic layer and the shape of the foreign matter is changed. At this time, it has been confirmed from experiments that the first electrode is not destroyed by pushing in the foreign matter.

微細な針で異物を有機層下部に埋め込んだ領域に対して、非接触の針塗布法にて塗布した後の外観図を図8(a)に示し、その断面プロファイルを図8(b)に示す。   FIG. 8 (a) shows an external view after applying the non-contact needle coating method to a region in which foreign matter is embedded in the lower part of the organic layer with a fine needle, and FIG. 8 (b) shows its cross-sectional profile. Show.

図8(b)の図中、横の1目盛は5μmであり、縦の1目盛は100nmである。断面のプロファイルは、接触式段差計を用いて計測を行った。塗布装置としては、株式会社アプライド・マイクロシステムのニードル式ディスペンサを使用して塗布をおこなった。塗布材料は、ポリフルオレン系高分子有機材料とし、針径30μmの塗布針を用い、塗布針表面と異物を有機層下部に埋め込んだ領域表面とのギャップを2μm接近させて塗布を行った。この図より、異物が埋め込まれた場所に塗布ができていることが確認される。また、図12(b)より、塗布した領域のサイズは、塗布直径32μm、塗布高さ362nmであり、局所的に絶縁を行うことができることが分かる。   In FIG. 8B, the horizontal scale is 5 μm, and the vertical scale is 100 nm. The profile of the cross section was measured using a contact-type step gauge. Application was performed using a needle-type dispenser of Applied Microsystem Co., Ltd. as the coating apparatus. The coating material was a polyfluorene polymer organic material, and a coating needle having a needle diameter of 30 μm was used, and the coating was performed with the gap between the surface of the coating needle and the surface of the region where foreign matter was buried below the organic layer approaching 2 μm. From this figure, it is confirmed that the coating is made at the place where the foreign matter is embedded. Further, FIG. 12B shows that the size of the coated region is a coating diameter of 32 μm and a coating height of 362 nm, and insulation can be performed locally.

以上のように、有機ELディスプレイの製造工程において、有機層中に混入したり、有機層表面上に異物が付着した場合、異物を埋め込んで絶縁化することができたりするので、異物による欠陥の無い有機ELディスプレイを高歩留まりで製造することができる。   As described above, in the manufacturing process of the organic EL display, when foreign matter is mixed in the organic layer or foreign matter adheres to the surface of the organic layer, the foreign matter can be embedded and insulated. An organic EL display without a high yield can be manufactured.

本発明の有機ELディスプレイの製造方法は、有機層中に異物などが混入して欠陥部が形成された場合、異物を微細な針で有機層下部に押し込み、その後、絶縁材料を局所的に塗布するので、異物による欠陥部のみを局所的に修復することが可能である。よって、本発明によれば有機ELディスプレイの製造において、リーク電流の低減による発光滅点化の低減や低消費電力化を図ることができ、有機ELディスプレイを高歩留まりで製造することが可能となる。   In the organic EL display manufacturing method of the present invention, when a foreign matter is mixed in the organic layer and a defect is formed, the foreign matter is pushed into the lower portion of the organic layer with a fine needle, and then an insulating material is locally applied. Therefore, it is possible to locally repair only the defective portion due to the foreign matter. Therefore, according to the present invention, in the manufacture of an organic EL display, it is possible to reduce the light emission darkening and reduce the power consumption by reducing the leakage current, and it is possible to manufacture the organic EL display with a high yield. .

また、有機ELディスプレイの製造方法以外に、局所的に絶縁による修復が必要なデバイスの製造の用途などにも適用することが可能である。   In addition to the method for manufacturing an organic EL display, the present invention can also be applied to the use for manufacturing a device that requires local repair by insulation.

1 有機層
2 異物
3 絶縁部
4 絶縁領域
5 絶縁部の高さ
11 バンク
12 基板
13 絶縁膜
14 第1の電極
15 第2の電極
16 封止膜
17 針
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Organic layer 2 Foreign material 3 Insulating part 4 Insulating area 5 Insulating part height 11 Bank 12 Substrate 13 Insulating film 14 First electrode 15 Second electrode 16 Sealing film 17 Needle

Claims (4)

基板と、前記基板上に配置された複数の有機EL素子とを有し、前記有機EL素子は、前記基板上に形成された第1電極、前記第1電極上に配置された有機層、前記有機層上に配置された第2電極を含む、有機ELディスプレイを製造する方法であって、少なくとも以下のステップを含む、
(1)基板上に絶縁膜を形成するステップ、
(2)絶縁膜上に有機層を規定するバンクを形成するステップ、
(3)前記バンクにより規定された領域に有機層を塗布形成するステップ、
(4)前記有機層に混入した異物を検出するステップ、
(5)前記有機層に混入した異物を有機層の下部方向へ押し込むステップ、
(6)前記異物に対して絶縁材料を塗布することで絶縁部を形成するステップ、
を有する、有機ELディスプレイの製造方法。
A substrate, and a plurality of organic EL elements disposed on the substrate, wherein the organic EL element includes a first electrode formed on the substrate, an organic layer disposed on the first electrode, A method for producing an organic EL display comprising a second electrode disposed on an organic layer, comprising at least the following steps:
(1) forming an insulating film on the substrate;
(2) forming a bank defining an organic layer on the insulating film;
(3) applying and forming an organic layer in a region defined by the bank;
(4) detecting foreign matter mixed in the organic layer;
(5) a step of pushing in the foreign matter mixed in the organic layer in a lower direction of the organic layer;
(6) A step of forming an insulating portion by applying an insulating material to the foreign matter,
A method for producing an organic EL display, comprising:
前記第5ステップにおいて、先端が平面な針を異物に押し当て、前記異物を有機層の表面まで下方に押し下げることで、前記異物を前記有機層の下方に埋め込む、
請求項1記載の有機ELディスプレイの製造方法。
In the fifth step, the needle having a flat tip is pressed against the foreign matter, and the foreign matter is pushed down to the surface of the organic layer to embed the foreign matter under the organic layer.
The manufacturing method of the organic electroluminescent display of Claim 1.
前記異物のサイズは、有機層の表面から基板の表面までの厚み以下の大きさである、請求項1または2に記載の有機ELディスプレイの製造方法。   The size of the said foreign material is a manufacturing method of the organic EL display of Claim 1 or 2 which is a magnitude | size below the thickness from the surface of an organic layer to the surface of a board | substrate. 前記第6ステップにおいて、インクジェット、ディスペンサまたは塗布針を用いて、前記絶縁材料を異物が埋め込まれた領域に塗布する、
請求項1〜3の何れか一項に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
In the sixth step, the insulating material is applied to a region where foreign matter is embedded using an inkjet, a dispenser, or an application needle.
The manufacturing method of the organic electroluminescent display as described in any one of Claims 1-3.
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