JP2012098224A - パワーサイクル試験方法、及び、パワーサイクル試験装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数のMOSFETに対して同時にパワーサイクル試験を行うこと。
【解決手段】本発明では、チャネル部発熱処理において、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一のゲート電圧をMOSFET1のゲートに供給することにより、複数のMOSFET1に対して同時にパワーサイクル試験を行うため、従来に比べて試験時間を短縮することができる。また、チャネル部発熱処理において、第1設定時間“3min”ちょうどでチャネル温度が規定温度“150℃”に達するようにゲート電圧VGを下げるが、第1設定時間“3min”になる前にチャネル温度が規定温度“150℃”に達する場合、ゲート電圧VGを更に下げると共に、ドレイン電流IDを減少させる。このため、MOSFET1の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがあっても、複数のMOSFET1に対して同時にパワーサイクル試験を行うことができる。
【選択図】図6
【解決手段】本発明では、チャネル部発熱処理において、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一のゲート電圧をMOSFET1のゲートに供給することにより、複数のMOSFET1に対して同時にパワーサイクル試験を行うため、従来に比べて試験時間を短縮することができる。また、チャネル部発熱処理において、第1設定時間“3min”ちょうどでチャネル温度が規定温度“150℃”に達するようにゲート電圧VGを下げるが、第1設定時間“3min”になる前にチャネル温度が規定温度“150℃”に達する場合、ゲート電圧VGを更に下げると共に、ドレイン電流IDを減少させる。このため、MOSFET1の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがあっても、複数のMOSFET1に対して同時にパワーサイクル試験を行うことができる。
【選択図】図6
Description
本発明は、供試品であるMOSFET(Metal−Oxide−Semiconductor Field Effect Transistor)に対してパワーサイクル試験を行うパワーサイクル試験方法、及び、パワーサイクル試験装置に関する。
MOSFETのようなパワーデバイスに対して信頼性試験が行われる。この信頼性試験の一つとして、MOSFETのチャネル部に対して発熱と冷却とを繰り返す電力印加試験(パワーサイクル試験)がある。
パワーサイクル試験では、MOSFETのチャネル部を発熱させるチャネル部発熱処理と、MOSFETのチャネル部を冷却させるチャネル部冷却処理とを繰り返す。
まず、チャネル部発熱処理が行われる。チャネル部発熱処理では、第1設定時間内に、MOSFETのドレイン−ソース間に電力を供給して、MOSFETのチャネル部を自己発熱させて、チャネル部の温度を初期温度から規定温度まで上昇させる。この場合、ドレイン電圧をMOSFETのドレインに供給し、MOSFETをオンさせるためのゲート電圧をMOSFETのゲートに供給しておき、MOSFETのチャネル部の発熱によりゲート−ソース間の電圧が減少してもドレイン−ソース間への電力を一定にするようにする。このために、ドレイン−ソース間に流れるドレイン電流の値を設定電流値に維持し、且つ、第1設定時間ちょうどでチャネルの温度が規定温度に達するようにゲート電圧を少しずつ下げる。
次に、チャネル部冷却処理が行われる。チャネル部冷却処理では、第2設定時間内に、MOSFETのドレイン−ソース間への電力の供給を停止して、MOSFETのチャネル部を冷却させて、チャネル部の温度を規定温度から初期温度まで低下させる。
チャネル温度を把握する方法については特開昭58−32177号公報に記載されている。
特開昭58−32177号公報の2頁目左欄下段部分に記載されているように、較正データを生成しておく。較正データは、恒温槽により周囲温度を目的の温度にし、MOSFETのチャネル部の温度を初期温度から規定温度まで可変したときに、MOSFETのゲート−ソース間の電圧が第1電圧から第1電圧よりも低い第2電圧まで測定されたものであり、チャネル部の温度とゲート−ソース間の電圧との関係を表している。チャネル部発熱処理では、この較正データが表す温度の中から、ゲート−ソース間の電圧に対応する温度をチャネル温度として決定すればよい。
パワーサイクル試験は、MOSFETに対してチャネル部発熱処理とチャネル部冷却処理とを繰り返す。このため、複数のMOSFETに対して次々とパワーサイクル試験を行う場合、試験時間がかかってしまう。試験時間の短縮が望まれる。
以下に、発明を実施するための形態で使用される符号を括弧付きで用いて、課題を解決するための手段を記載する。この符号は、特許請求の範囲の記載と発明を実施するための形態の記載との対応を明らかにするために付加されたものであり、特許請求の範囲に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
本発明のパワーサイクル試験方法は、(a)の工程(S10)と、(b)の工程(S30)と、(c)の工程(S40−NO)とを具備している。(a)の工程(S10)は、第1設定時間(“3min”)内に、供試品であるMOSFET(1)のドレイン−ソース間に電力を供給して、MOSFET(1)のチャネル部を自己発熱させて、チャネル部の温度を初期温度(“25℃”)から初期温度(“25℃”)よりも高い規定温度(“150℃”)まで上昇させる。(b)の工程(S30)は、第2設定時間(“3min”)内に、ドレイン−ソース間への電力の供給を停止して、チャネル部を冷却させて、チャネル部の温度を規定温度(“150℃”)から初期温度(“25℃”)まで低下させる。(c)の工程(S40−NO)は、(a)の工程(S10)と(b)の工程(S30)とを繰り返す。(a)の工程(S10)は、(a1)の工程(S12)と、(a2)の工程(S12)とを具備している。(a1)の工程(S12)は、ドレイン電圧(VD)をMOSFET(1)のドレインに供給する。(a2)の工程(S12)は、MOSFET(1)をオンさせるためのゲート電圧(VG)として、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一の電圧をMOSFET(1)のゲートに供給する。
本発明のパワーサイクル試験方法によれば、(a)の工程(S10)において、ゲート電圧(VG)として、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一の電圧をMOSFET(1)のゲートに供給することにより、複数のMOSFET(1)に対して同時にパワーサイクル試験を行うため、従来に比べて試験時間を短縮することができる。
本発明の第1態様によるパワーサイクル試験方法は、(d)の工程(S1)を更に具備している。(d)の工程(S1)は、(a)〜(c)の工程(S10、S30、S40)の前に行われる。(d)の工程(S1)は、周囲温度を目的の温度にし、MOSFET(1)のチャネル部が自己発熱しない条件により、ドレイン電流(ID)の値を第1電流値(“60mA”)と第1電流値(“60mA”)よりも高い第2電流値(“80mA”)との間の設定電流値(“70mA”)に維持したまま、チャネル部の温度を初期温度(“25℃”)から規定温度(“150℃”)まで可変したときに、MOSFET(1)のゲート−ソース間の電圧を第1電圧から第1電圧よりも低い第2電圧まで測定しておき、チャネル部の温度とゲート−ソース間の電圧との関係を表す第1相関データ(13)を生成する。(a)の工程(S10)は、(a3)の工程(S14)と、(a4)の工程(S15−NO、S16)と、(a5)の工程(S15−YES、S19〜S21)とを更に具備している。(a3)の工程(S14)は、第1相関データ(13)が表す温度の中から、ゲート−ソース間の電圧(VGS)に対応する温度をチャネル温度として決定する。(a4)の工程(S15−NO、S16)は、チャネル温度が規定温度(“150℃”)に達してない場合、ゲート電圧(VG)を下げる。(a5)の工程(S15−YES、S19〜S21)は、第1設定時間(“3min”)になる前に、チャネル温度が規定温度(“150℃”)に達する場合、チャネル温度を規定温度(“150℃”)に維持したまま、ゲート電圧(VG)とドレイン−ソース間に流れるドレイン電流(ID)とを下げる。
本発明の第1態様によるパワーサイクル試験方法によれば、(a)の工程(S10)において、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一のゲート電圧(VG)をMOSFET(1)のゲートに供給したときに、例えばMOSFET(1)の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがなく、第1設定時間(“3min”)になる前にチャネル温度が規定温度(“150℃”)に達しない場合、ゲート電圧(VG)を下げる。一方、例えばMOSFET(1)の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがあり、第1設定時間(“3min”)になる前にチャネル温度が規定温度(“150℃”)に達する場合、ゲート電圧(VG)を更に下げると共に、ドレイン電流(ID)を減少させる。このため、本発明の第1態様によるパワーサイクル試験方法によれば、MOSFET(1)の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがあっても、複数のMOSFET(1)に対して同時にパワーサイクル試験を行うことができる。
本発明の第2態様によるパワーサイクル試験方法は、上述の(d)の工程(S1)を更に具備している。(a)の工程(S10)は、上述の(a3)の工程(S14)と、上述の(a4)の工程(S15−NO、S16)と、(a5)の工程(S15−YES)とを更に具備している。(a5)の工程(S15−YES)は、第1設定時間(“3min”)になる前に、チャネル温度が規定温度(“150℃”)に達する場合、(a)の工程(S10)を終了する。
本発明の第2態様によるパワーサイクル試験方法によれば、(a)の工程(S10)において、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一のゲート電圧(VG)をMOSFET(1)のゲートに供給したときに、例えばMOSFET(1)の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがあり、第1設定時間(“3min”)になる前にチャネル温度が規定温度(“150℃”)に達する場合、(a)の工程(S10)を終了する。このため、本発明の第2態様によるパワーサイクル試験方法によれば、MOSFET(1)の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがあっても、複数のMOSFET(1)に対して同時にパワーサイクル試験を行うことができると共に、第1態様に比べて試験時間を短縮することができる。
本発明の第1、2態様によるパワーサイクル試験方法における(a4)の工程(S15−NO、S16)について具体的に説明する。(a4)の工程(S15−NO、S16)は、チャネル温度が規定温度(“150℃”)に達してない場合(S15−NO)、チャネル部の発熱によりゲート−ソース間の電圧(VGS)が減少してもドレイン−ソース間への電力を一定にするために、ドレイン−ソース間の電流であるドレイン電流(ID)の値を設定電流値(“70mA”)に維持するようにゲート電圧(VG)を下げる(S16)。具体的には、ドレイン電流(ID)の値を設定電流値(“70mA”)に維持し、且つ、第1設定時間(“3min”)ちょうどでチャネル温度が規定温度(“150℃”)に達するようにゲート電圧(VG)を下げる(S16)。
本発明の第1態様によるパワーサイクル試験方法における(a5)の工程(S15−YES、S19〜S21)について具体的に説明する。本発明の第1態様によるパワーサイクル試験方法は、(e)の工程(S2)を更に具備している。(e)の工程(S2)は、(a)〜(c)の工程(S10、S30、S40)の前に行われる。(e)の工程(S2)は、周囲温度を規定温度(“150℃”)にし、ドレイン−ソース間のドレイン電流(ID)の値を第1電流値(“60mA”)から第2電流値(“80mA”)まで可変したときに、ゲート−ソース間の電圧を測定しておき、ドレイン電流(ID)とゲート−ソース間の電圧との関係を表す第2相関データ(14)を生成する。(a5)の工程(S15−YES、S19〜S21)は、第1設定時間(“3min”)になる前に、チャネル温度が規定温度(“150℃”)に達する場合(S15−YES)、ゲート−ソース間の電圧(VGS)を更に減少させるために、ゲート電圧(VG)を下げ(S19)、第2相関データ(14)が表す電流の中から、設定電流値(“70mA”)より小さく、且つ、ゲート−ソース間の電圧(VGS)に対応する対応電流を決定し(S20)、チャネル温度を規定温度(“150℃”)に維持するために、ドレイン電流(ID)の値が設定電流値(“70mA”)から対応電流に下がるようにゲート電圧(VG)を調整する(S21)。
以上により、本発明のパワーサイクル試験方法によれば、複数のMOSFET(1)に対して同時にパワーサイクル試験を行うため、従来に比べて試験時間を短縮することができる。
以下に添付図面を参照して、本発明の実施形態によるパワーサイクル試験方法について詳細に説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態によるパワーサイクル試験方法を実現するための装置(パワーサイクル試験装置)を示している。
図1は、本発明の第1実施形態によるパワーサイクル試験方法を実現するための装置(パワーサイクル試験装置)を示している。
パワーサイクル試験装置は、供試品であるMOSFET1に対してパワーサイクル試験を行うものである。このパワーサイクル試験装置は、マイクロコンピュータ(以下、マイコン)10と、ドレイン側スイッチ2と、ゲート側スイッチ3と、ドレイン電源4と、ゲート電源5と、ゲート−ソース間電圧計測部(以下、VGSモニタ)6と、抵抗素子7と、電圧計8と、負荷抵抗9とを具備している。
MOSFET1のドレインと接地間には、ドレイン電源4が設けられている。MOSFET1のドレインとドレイン電源4間には、ドレイン側スイッチ2が設けられている。ドレイン側スイッチ2は、マイコン10に接続され、マイコン10からの制御信号に応じてオンする。ドレイン側スイッチ2がオンしているとき、ドレイン電源4は、ドレイン電圧VDをMOSFET1のドレインに供給する。MOSFET1のドレインとドレイン側スイッチ2間には、負荷抵抗9が設けられている。
MOSFET1のゲートと接地間には、ゲート電源5が設けられている。MOSFET1のゲートとゲート電源5間には、ゲート側スイッチ3が設けられている。ゲート側スイッチ3は、マイコン10に接続され、マイコン10からの制御信号に応じてオンする。ゲート側スイッチ3がオンしているとき、ゲート電源5は、ゲート電圧VGをMOSFET1のゲートに供給する。
VGSモニタ6は、MOSFET1のゲート−ソース間に設けられ、マイコン10に接続されている。VGSモニタ6は、MOSFET1のゲート−ソース間の電圧を計測して、ゲート−ソース間電圧VGSとしてマイコン10に出力する。
MOSFET1のソースと接地間には、抵抗素子7が設けられている。電圧計8は、抵抗素子7の両端に接続され、マイコン10に接続されている。電圧計8は、抵抗素子7の両端の電圧を計測して、その電圧から抵抗素子7の抵抗値を除算した電流をMOSFET1のドレイン−ソース間の電流、即ち、ドレイン電流IDとしてマイコン10に出力する。
マイコン10は、コンピュータプログラムが格納された記憶部11と、コンピュータプログラムを実行するCPU(Central Processing Unit)である制御部12とを具備している。記憶部11には、更に、後述の第1相関データ13、第2相関データ14が格納される。
パワーサイクル試験装置の動作としては、複数のMOSFET1の各々に対して事前に行う個別事前測定と、複数のMOSFET1に対してパワーサイクル試験を同時に行う複数同時試験とに分けられる。個別事前測定は、複数同時試験の前に行われる。
図2は、個別事前測定を示すフローチャートである。
(工程S1)
まず、第1相関データ13を生成する。
まず、第1相関データ13を生成する。
恒温槽により周囲温度を目的の温度にする。次に、MOSFET1のチャネル部が自己発熱しない条件により、MOSFET1のドレイン−ソース間に流れるドレイン電流IDの値を第1電流値“60mA”と第2電流値“80mA”との間の設定電流値“70mA”に維持しておく。ここで、MOSFET1のドレイン−ソース間の電圧を“10V”とし、パルス幅を“380ms”としている。そこで、MOSFET1のチャネル部の温度を初期温度“25℃”から規定温度“150℃”まで可変したときに、MOSFET1のゲート−ソース間の電圧を第1電圧から第1電圧よりも低い第2電圧まで測定する。このときに、図3に示されるように、チャネル部の温度とMOSFET1のゲート−ソース間の電圧との関係を第1相関データ13として生成し、記憶部11に格納しておく。この場合、温度計数は、(第2電圧[V]−第1電圧[V])/(規定温度“150[℃]”−初期温度“25[℃]”)により、“4.9[mV/℃]”となる。
(工程S2)
次に、第2相関データ14を生成する。
次に、第2相関データ14を生成する。
恒温槽により周囲温度を規定温度“150℃”にしておく。そこで、MOSFET1のドレイン−ソース間に流れるドレイン電流IDの値を第1電流値“60mA”から第2電流値“80mA”まで可変したときに、MOSFET1のゲート−ソース間の電圧を測定する。このときに、図4に示されるように、ドレイン電流IDとMOSFET1のゲート−ソース間の電圧との関係を第2相関データ14として生成し、記憶部11に格納しておく。
図5は、複数同時試験を示すフローチャートである。
制御部12は、複数のMOSFET1のチャネル部を発熱させるチャネル部発熱処理(工程S10)と、複数のMOSFET1のチャネル部を冷却させるチャネル部冷却処理(工程S30)とを繰り返す(工程S40−NO)。
まず、マイコン10の制御部12は、複数のMOSFET1に対してチャネル部発熱処理(工程S10)を行う。チャネル部発熱処理(工程S10)では、第1設定時間“3min”内に、MOSFET1のドレイン−ソース間に電力を供給して、MOSFET1のチャネル部を自己発熱させて、チャネル部の温度を初期温度“25℃”から規定温度“150℃”まで上昇させる。チャネル部発熱処理(工程S10)の詳細については後述する。
次に、制御部12は、複数のMOSFET1に対してチャネル部冷却処理(工程S30)を行う。チャネル部冷却処理(工程S30)では、第2設定時間“3min”内に、MOSFET1のドレイン−ソース間への電力の供給を停止して、MOSFET1のチャネル部を冷却させて、チャネル部の温度を規定温度“150℃”から初期温度“25℃”まで低下させる。
制御部12は、予め設定された回数により、又は、外部からの指示により、パワーサイクル試験を終了する(工程S40−YES)。
図6は、図5のチャネル部発熱処理(工程S10)を示すフローチャートである。
(A)まず、MOSFET1の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがない場合のチャネル部発熱処理(工程S10)について説明する。
(工程S11)
マイコン10の制御部12は、ドレイン側スイッチ2とゲート側スイッチ3とに制御信号を供給し、ドレイン側スイッチ2とゲート側スイッチ3とをオンさせる。
マイコン10の制御部12は、ドレイン側スイッチ2とゲート側スイッチ3とに制御信号を供給し、ドレイン側スイッチ2とゲート側スイッチ3とをオンさせる。
(工程S12)
このとき、ドレイン電源4は、ドレイン電圧VDをMOSFET1のドレインに供給する。また、制御部12は、ゲート電源5を制御して、MOSFET1をオンさせるためのゲート電圧VGをMOSFET1のゲートに供給する。ゲート電圧VGは、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一の電圧である。
このとき、ドレイン電源4は、ドレイン電圧VDをMOSFET1のドレインに供給する。また、制御部12は、ゲート電源5を制御して、MOSFET1をオンさせるためのゲート電圧VGをMOSFET1のゲートに供給する。ゲート電圧VGは、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一の電圧である。
(工程S13)
マイコン10の制御部12は、MOSFET1がオンしているときに、電圧計8を常時監視し、MOSFET1のドレイン−ソース間の電流であるドレイン電流IDを電圧計8から取得する。また、制御部12は、MOSFET1がオンしているときに、VGSモニタ6を常時監視し、MOSFET1のゲート−ソース間の電圧であるゲート−ソース間電圧VGSをVGSモニタ6から取得する。
マイコン10の制御部12は、MOSFET1がオンしているときに、電圧計8を常時監視し、MOSFET1のドレイン−ソース間の電流であるドレイン電流IDを電圧計8から取得する。また、制御部12は、MOSFET1がオンしているときに、VGSモニタ6を常時監視し、MOSFET1のゲート−ソース間の電圧であるゲート−ソース間電圧VGSをVGSモニタ6から取得する。
(工程S14)
マイコン10の制御部12は、第1相関データ13が表す温度の中から、ゲート−ソース間電圧VGSに対応する温度をチャネル温度として決定する。
マイコン10の制御部12は、第1相関データ13が表す温度の中から、ゲート−ソース間電圧VGSに対応する温度をチャネル温度として決定する。
ここで、チャネル温度が規定温度“150℃”に達してないものとする(工程S15−NO)。
(工程S16)
この場合、MOSFET1のチャネル部の発熱によりゲート−ソース間電圧VGSが減少してもドレイン−ソース間への電力を一定にするようにする。このために、制御部12は、ゲート電源5を制御して、ドレイン電流IDの値を設定電流値“70mA”に維持し、且つ、第1設定時間“3min”ちょうどでチャネル温度が規定温度“150℃”に達するようにゲート電圧VGを第1所定値ΔVG1だけ下げる。
この場合、MOSFET1のチャネル部の発熱によりゲート−ソース間電圧VGSが減少してもドレイン−ソース間への電力を一定にするようにする。このために、制御部12は、ゲート電源5を制御して、ドレイン電流IDの値を設定電流値“70mA”に維持し、且つ、第1設定時間“3min”ちょうどでチャネル温度が規定温度“150℃”に達するようにゲート電圧VGを第1所定値ΔVG1だけ下げる。
ここで、工程S13、S14、SS15−NO、S16、S17−NOが繰り返されることにより、第1設定時間“3min”ちょうどでチャネル温度が規定温度“150℃”に達する(工程S17−YES)。
(工程S18)
このとき、制御部12は、ドレイン側スイッチ2とゲート側スイッチ3への制御信号の供給を停止し、ドレイン側スイッチ2とゲート側スイッチ3とをオフさせる。
このとき、制御部12は、ドレイン側スイッチ2とゲート側スイッチ3への制御信号の供給を停止し、ドレイン側スイッチ2とゲート側スイッチ3とをオフさせる。
図7〜9は、それぞれ、(A)MOSFET1の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがないときの時間{第1設定時間“3min(50sec〜230sec)”、第2設定時間“3min(230sec〜410sec)”}に対するドレイン電流ID、ゲート−ソース間電圧VGS、チャネル温度を示している。この場合、チャネル部発熱処理(工程S10)において、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一のゲート電圧VGをMOSFET1のゲートに供給したとき、第1設定時間“3min”になる前にチャネル温度が規定温度“150℃”に達しない。本発明の第1実施形態によるパワーサイクル試験方法では、MOSFET1のチャネル部の発熱によりゲート−ソース間電圧VGSが減少しても、ドレイン電流IDを設定電流値“70mA”に維持し、第1設定時間“3min”ちょうどでチャネル温度が規定温度“150℃”に達するように、ゲート電圧VGを下げる。
(B)次に、MOSFET1の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがある場合のチャネル部発熱処理(工程S10)について説明する。
上述と同様に、工程S11〜S14、S15−NO、S16、S17−NOが繰り返される。いま、第1設定時間“3min”になる前に、チャネル温度が規定温度“150℃”に達してしまうものとする(工程S15−YES)。しかし、図10に示されるように、チャネル温度が規定温度“150℃”を超えてしまってはパワーサイクル試験が成立しない。
(工程S19)
そこで、チャネル温度が規定温度“150℃”に達するときに、ゲート−ソース間電圧VGSを更に減少させるようにする。このために、制御部12は、ゲート電源5を制御して、ゲート電圧VGを第1所定値ΔVG1よりも大きい第2所定値ΔVG2(ΔVG2>ΔVG1)だけ下げる。
そこで、チャネル温度が規定温度“150℃”に達するときに、ゲート−ソース間電圧VGSを更に減少させるようにする。このために、制御部12は、ゲート電源5を制御して、ゲート電圧VGを第1所定値ΔVG1よりも大きい第2所定値ΔVG2(ΔVG2>ΔVG1)だけ下げる。
(工程S20)
次に、制御部12は、第2相関データ14が表す電流の中から、設定電流値“70mA”より小さく、且つ、ゲート−ソース間電圧VGSに対応する対応電流を決定する。
次に、制御部12は、第2相関データ14が表す電流の中から、設定電流値“70mA”より小さく、且つ、ゲート−ソース間電圧VGSに対応する対応電流を決定する。
(工程S21)
次に、チャネル温度を規定温度“150℃”に維持させるようにする。このために、制御部12は、ゲート電源5を制御して、ドレイン電流IDの値が設定電流値“70mA”から対応電流に下がるようにゲート電圧VGを調整する。
次に、チャネル温度を規定温度“150℃”に維持させるようにする。このために、制御部12は、ゲート電源5を制御して、ドレイン電流IDの値が設定電流値“70mA”から対応電流に下がるようにゲート電圧VGを調整する。
ここで、第1設定時間“3min”になった場合(工程S17−YES)、制御部12は、ドレイン側スイッチ2とゲート側スイッチ3への制御信号の供給を停止し、ドレイン側スイッチ2とゲート側スイッチ3とをオフさせる(工程S18)。
図11〜13は、それぞれ、(B)MOSFET1の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがあるときの時間{第1設定時間“3min(50sec〜230sec)”、第2設定時間“3min(230sec〜410sec)”}に対するゲート−ソース間電圧VGS、ドレイン電流ID、チャネル温度を示している。この場合、チャネル部発熱処理(工程S10)において、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一のゲート電圧VGをMOSFET1のゲートに供給したとき、第1設定時間“3min”になる前にチャネル温度が規定温度“150℃”に達することがある。本発明の第1実施形態によるパワーサイクル試験方法では、最初は、MOSFET1のチャネル部の発熱によりゲート−ソース間電圧VGSが減少しても、ドレイン電流IDを設定電流値“70mA”に維持し、第1設定時間“3min”ちょうどでチャネル温度が規定温度“150℃”に達するように、ゲート電圧VGを下げ、第1設定時間“3min”になる前にチャネル温度が規定温度“150℃”に達したときに、ゲート−ソース間電圧VGSを更に減少させるためにゲート電圧VGを更に下げると共に、チャネル温度を規定温度“150℃”に維持したまま、ドレイン電流IDを減少させるために、ゲート電圧VGを調整する。
以上の説明により、本発明の第1実施形態によるパワーサイクル試験方法によれば、チャネル部発熱処理(工程S10)において、ゲート電圧VGとして、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一の電圧をMOSFET1のゲートに供給することにより、複数のMOSFET1に対して同時にパワーサイクル試験を行うことができる。このため、従来に比べて試験時間を短縮することができる。
本発明の第1実施形態によるパワーサイクル試験方法によれば、チャネル部発熱処理(工程S10)において、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一のゲート電圧VGをMOSFET1のゲートに供給したときに、例えばMOSFET1の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがある場合、第1設定時間“3min”になる前にチャネル温度が規定温度“150℃”に達することが考えられる。そこで、第1設定時間“3min”になる前にチャネル温度が規定温度“150℃”に達しない場合、ゲート電圧VGを下げる。一方、第1設定時間“3min”になる前にチャネル温度が規定温度“150℃”に達する場合、ゲート電圧VGを更に下げると共に、ドレイン電流IDを減少させる。このため、本発明の第1実施形態によるパワーサイクル試験方法によれば、MOSFET1の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがあっても、複数のMOSFET1に対して同時にパワーサイクル試験を行うことができる。
また、本発明の第1実施形態によるパワーサイクル試験方法では、熱サイクルによりMOSFET1にストレスがかかるため、MOSFET1のパッケージが劣化して熱抵抗が変動することも考えられる。この場合でも、熱抵抗の変動を考慮して第2相関データ14を生成しておけばよい。この場合、熱抵抗変動により第1設定時間“3min”になる前にチャネル温度が規定温度“150℃”に達しても、上述と同様に、ゲート−ソース間電圧VGSを更に減少させると共に、図14に示されるようにチャネル温度を規定温度“150℃”に維持したまま、ドレイン電流IDを減少させることにより対応できる。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態によるパワーサイクル試験方法では、第1実施形態と重複する説明を省略する。
本発明の第2実施形態によるパワーサイクル試験方法では、第1実施形態と重複する説明を省略する。
図15は、図5のチャネル部発熱処理(工程S10)を示すフローチャートである。
(A)MOSFET1の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがない場合のチャネル部発熱処理(工程S10)については、第1実施形態と同じである。
(B)MOSFET1の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがある場合のチャネル部発熱処理(工程S10)について説明する。
前述と同様に、工程S11〜S14、S15−NO、S16、S17−NOが繰り返される。いま、第1設定時間“3min”になる前に、チャネル温度が規定温度“150℃”に達してしまうものとする(工程S15−YES)。
この場合、制御部12は、ドレイン側スイッチ2とゲート側スイッチ3への制御信号の供給を停止し、ドレイン側スイッチ2とゲート側スイッチ3とをオフさせる(工程S18)。即ち、第1実施形態における工程S19〜S21が省略される。
本発明の第2実施形態によるパワーサイクル試験方法によれば、チャネル部発熱処理(工程S10)において、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一のゲート電圧VGをMOSFET1のゲートに供給したときに、第1設定時間“3min”になる前にチャネル温度が規定温度“150℃”に達する場合、チャネル部発熱処理(工程S10)を終了する。このため、本発明の第2実施形態によるパワーサイクル試験方法によれば、MOSFET1の特性が他のMOSFETの特性に対してばらつきがあっても、複数のMOSFET1に対して同時にパワーサイクル試験を行うことができると共に、第1実施形態に比べて試験時間を短縮することができる。
1 供試品(MOSFET)、
2 ドレイン側スイッチ、
3 ゲート側スイッチ、
4 ドレイン電源、
5 ゲート電源、
6 ゲート−ソース間電圧計測部(VGSモニタ)、
7 抵抗素子、
8 電圧計、
9 負荷抵抗、
10 マイクロコンピュータ(マイコン)、
11 記憶部、
12 制御部、
13 第1相関データ、
14 第2相関データ、
ID ドレイン電流、
VD ドレイン電圧、
VG ゲート電圧、
VGS ゲート−ソース間電圧
2 ドレイン側スイッチ、
3 ゲート側スイッチ、
4 ドレイン電源、
5 ゲート電源、
6 ゲート−ソース間電圧計測部(VGSモニタ)、
7 抵抗素子、
8 電圧計、
9 負荷抵抗、
10 マイクロコンピュータ(マイコン)、
11 記憶部、
12 制御部、
13 第1相関データ、
14 第2相関データ、
ID ドレイン電流、
VD ドレイン電圧、
VG ゲート電圧、
VGS ゲート−ソース間電圧
Claims (14)
- (a) 第1設定時間内に、供試品であるMOSFET(Metal−Oxide−Semiconductor Field Effect Transistor)のドレイン−ソース間に電力を供給して、前記MOSFETのチャネル部を自己発熱させて、前記チャネル部の温度を初期温度から前記初期温度よりも高い規定温度まで上昇させる工程と、
(b) 第2設定時間内に、前記ドレイン−ソース間への電力の供給を停止して、前記チャネル部を冷却させて、前記チャネル部の温度を前記規定温度から前記初期温度まで低下させる工程と、
(c) 前記(a)の工程と前記(b)の工程とを繰り返す工程と
を具備し、
前記(a)の工程は、
(a1) ドレイン電圧を前記MOSFETのドレインに供給する工程と、
(a2) 前記MOSFETをオンさせるためのゲート電圧として、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一の電圧を前記MOSFETのゲートに供給する工程と
を具備するパワーサイクル試験方法。 - 前記(a)〜(c)の工程の前に行われ、
(d) 周囲温度を目的の温度にし、前記MOSFETのチャネル部が自己発熱しない条件により、前記ドレイン電流の値を第1電流値と前記第1電流値よりも高い第2電流値との間の設定電流値に維持したまま、前記チャネル部の温度を前記初期温度から前記規定温度まで可変したときに、前記MOSFETのゲート−ソース間の電圧を第1電圧から前記第1電圧よりも低い第2電圧まで測定しておき、前記チャネル部の温度と前記ゲート−ソース間の電圧との関係を表す第1相関データを生成する工程
を更に具備し、
前記(a)の工程は、
(a3) 前記第1相関データが表す温度の中から、前記ゲート−ソース間の電圧に対応する温度をチャネル温度として決定する工程と、
(a4) 前記チャネル温度が前記規定温度に達してない場合、前記ゲート電圧を下げる工程と、
(a5) 前記第1設定時間になる前に、前記チャネル温度が前記規定温度に達する場合、前記チャネル温度を前記規定温度に維持したまま、前記ゲート電圧と前記ドレイン−ソース間に流れるドレイン電流とを下げる工程と
を更に具備する請求項1に記載のパワーサイクル試験方法。 - 前記(a)〜(c)の工程の前に行われ、
(d) 周囲温度を目的の温度にし、前記MOSFETのチャネル部が自己発熱しない条件により、前記ドレイン電流の値を第1電流値と前記第1電流値よりも高い第2電流値との間の設定電流値に維持したまま、前記チャネル部の温度を前記初期温度から前記規定温度まで可変したときに、前記MOSFETのゲート−ソース間の電圧を第1電圧から前記第1電圧よりも低い第2電圧まで測定しておき、前記チャネル部の温度と前記ゲート−ソース間の電圧との関係を表す第1相関データを生成する工程
を更に具備し、
前記(a)の工程は、
(a3) 前記第1相関データが表す温度の中から、前記ゲート−ソース間の電圧に対応する温度をチャネル温度として決定する工程と、
(a4) 前記チャネル温度が前記規定温度に達してない場合、前記ゲート電圧を下げる工程と、
(a5) 前記第1設定時間になる前に、前記チャネル温度が前記規定温度に達する場合、前記(a)の工程を終了する工程と
を更に具備する請求項1に記載のパワーサイクル試験方法。 - 前記(a4)の工程は、
前記チャネル温度が前記規定温度に達してない場合、
前記チャネル部の発熱により前記ゲート−ソース間の電圧が減少しても前記ドレイン−ソース間への電力を一定にするために、前記ドレイン−ソース間の電流であるドレイン電流の値を前記設定電流値に維持するように前記ゲート電圧を下げる工程
を含む請求項2又は3に記載のパワーサイクル試験方法。 - 前記(a4)の工程は、
前記チャネル温度が前記規定温度に達してない場合、
前記ドレイン電流の値を前記設定電流値に維持し、且つ、前記第1設定時間ちょうどで前記チャネル温度が前記規定温度に達するように前記ゲート電圧を下げる工程
を含む請求項4に記載のパワーサイクル試験方法。 - 前記(a)〜(c)の工程の前に行われ、
(e) 周囲温度を前記規定温度にし、前記ドレイン−ソース間の前記ドレイン電流の値を前記第1電流値から前記第2電流値まで可変したときに、前記ゲート−ソース間の電圧を測定しておき、前記ドレイン電流と前記ゲート−ソース間の電圧との関係を表す第2相関データを生成する工程
を更に具備し、
前記(a5)の工程は、
前記第1設定時間になる前に、前記チャネル温度が前記規定温度に達する場合、
前記ゲート−ソース間の電圧を更に減少させるために、前記ゲート電圧を下げる工程と、
前記第2相関データが表す電流の中から、前記設定電流値より小さく、且つ、前記ゲート−ソース間の電圧に対応する対応電流を決定する工程と、
前記チャネル温度を前記規定温度に維持するために、前記ドレイン電流の値が前記設定電流値から前記対応電流に下がるように前記ゲート電圧を調整する工程と
を含む請求項2に記載のパワーサイクル試験方法。 - 前記(a)の工程は、
(a6) 前記ドレイン−ソース間の電流を前記ドレイン電流として常時監視する工程と、
(a7) 前記ゲート−ソース間の電圧を常時監視する工程と
を更に具備する請求項2〜6のいずれかに記載のパワーサイクル試験方法。 - 供試品であるMOSFET(Metal−Oxide−Semiconductor Field Effect Transistor)のドレイン側に設けられ、ドレイン電圧を前記MOSFETのドレインに供給するドレイン電源と、
前記MOSFETのゲート側に設けられたゲート電源と、
前記MOSFETのドレインと前記ドレイン電源間に設けられたドレイン側スイッチと、
前記MOSFETのゲートと前記ゲート電源間に設けられたゲート側スイッチと、
第1設定時間内に、前記MOSFETのドレイン−ソース間に電力を供給して、前記MOSFETのチャネル部を自己発熱させて、前記チャネル部の温度を初期温度から前記初期温度よりも高い規定温度まで上昇させる第1工程と、第2設定時間内に、前記ドレイン−ソース間への電力の供給を停止して、前記チャネル部を冷却させて、前記チャネル部の温度を前記規定温度から前記初期温度まで低下させる第2工程とを繰り返す制御部と
を具備し、
前記制御部は、前記第1工程において、
前記ドレイン側スイッチと前記ゲート側スイッチとをオンさせ、
前記ゲート電源を制御して、前記MOSFETをオンさせるためのゲート電圧として、他のMOSFETのゲートに供給される電圧と同一の電圧を前記MOSFETのゲートに供給する
パワーサイクル試験装置。 - 第1相関データが格納された記憶部
を更に具備し、
前記第1相関データは、周囲温度を目的の温度にし、前記MOSFETのチャネル部が自己発熱しない条件により、前記ドレイン電流の値を第1電流値と前記第1電流値よりも高い第2電流値との間の設定電流値に維持したまま、前記チャネル部の温度を前記初期温度から前記規定温度まで可変したときに、前記MOSFETのゲート−ソース間の電圧が第1電圧から前記第1電圧よりも低い第2電圧まで測定されたものであり、前記チャネル部の温度と前記ゲート−ソース間の電圧との関係を表し、
前記制御部は、前記第1工程において、
前記第1相関データが表す温度の中から、前記ゲート−ソース間の電圧に対応する温度をチャネル温度として決定し、
前記チャネル温度が前記規定温度に達してない場合、前記ゲート電源を制御して、前記ゲート電圧を下げ、
前記第1設定時間になる前に、前記チャネル温度が前記規定温度に達する場合、前記ゲート電源を制御して、前記ゲート電圧と前記ドレイン−ソース間に流れるドレイン電流とを下げ、
前記第1設定時間になった場合、前記ドレイン側スイッチと前記ゲート側スイッチとをオフさせる
請求項8に記載のパワーサイクル試験装置。 - 第1相関データが格納された記憶部
を更に具備し、
前記第1相関データは、周囲温度を目的の温度にし、前記MOSFETのチャネル部が自己発熱しない条件により、前記ドレイン電流の値を第1電流値と前記第1電流値よりも高い第2電流値との間の設定電流値に維持したまま、前記チャネル部の温度を前記初期温度から前記規定温度まで可変したときに、前記MOSFETのゲート−ソース間の電圧が第1電圧から前記第1電圧よりも低い第2電圧まで測定されたものであり、前記チャネル部の温度と前記ゲート−ソース間の電圧との関係を表し、
前記制御部は、前記第1工程において、
前記第1相関データが表す温度の中から、前記ゲート−ソース間の電圧に対応する温度をチャネル温度として決定し、
前記チャネル温度が前記規定温度に達してない場合、前記ゲート電源を制御して、前記ゲート電圧を下げ、
前記第1設定時間になった場合、又は、前記第1設定時間になる前に、前記チャネル温度が前記規定温度に達する場合、前記ドレイン側スイッチと前記ゲート側スイッチとをオフさせる
パワーサイクル試験装置。 - 前記制御部は、前記第1工程において、
前記チャネル温度が前記規定温度に達してない場合、
前記チャネル部の発熱により前記ゲート−ソース間の電圧が減少しても前記ドレイン−ソース間への電力を一定にするために、前記ドレイン−ソース間の電流であるドレイン電流の値を前記設定電流値に維持するように前記ゲート電圧を下げる
請求項9又は10に記載のパワーサイクル試験装置。 - 前記制御部は、前記第1工程において、
前記チャネル温度が前記規定温度に達してない場合、
前記ゲート電源を制御して、前記ドレイン電流の値を前記設定電流値に維持し、且つ、前記第1設定時間ちょうどで前記チャネル温度が前記規定温度に達するように前記ゲート電圧を下げる
を含む請求項10に記載のパワーサイクル試験装置。 - 前記記憶部には、第2相関データが更に格納され、
前記第2相関データは、周囲温度を前記規定温度にし、前記ドレイン−ソース間の前記ドレイン電流の値を前記第1電流値から前記第2電流値まで可変したときに、前記ゲート−ソース間の電圧が測定されたものであり、前記ドレイン電流と前記ゲート−ソース間の電圧との関係を表し、
前記制御部は、前記第1工程において、
前記第1設定時間になる前に、前記チャネル温度が前記規定温度に達する場合、
前記ゲート−ソース間の電圧を更に減少させるために、前記ゲート電源を制御して、前記ゲート電圧を下げ、
前記第2相関データが表す電流の中から、前記設定電流値より小さく、且つ、前記ゲート−ソース間の電圧に対応する対応電流を決定し、
前記チャネル温度を前記規定温度に維持するために、前記ゲート電源を制御して、前記ドレイン電流の値が前記設定電流値から前記対応電流に下がるように前記ゲート電圧を調整する
請求項9に記載のパワーサイクル試験装置。 - 前記MOSFETのソース側に設けられた抵抗素子と、
前記抵抗素子の両端の電圧を計測して、その電圧から前記抵抗素子の抵抗値を除算した電流を前記ドレイン電流として前記制御部に出力する電圧計と、
前記ゲート−ソース間に設けられ、前記ゲート−ソース間の電圧を計測して前記制御部に出力するゲート−ソース間電圧計測部と
を更に具備する請求項9〜13のいずれかに記載のパワーサイクル試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010247873A JP2012098224A (ja) | 2010-11-04 | 2010-11-04 | パワーサイクル試験方法、及び、パワーサイクル試験装置 |
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JP2010247873A JP2012098224A (ja) | 2010-11-04 | 2010-11-04 | パワーサイクル試験方法、及び、パワーサイクル試験装置 |
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JP2010247873A Withdrawn JP2012098224A (ja) | 2010-11-04 | 2010-11-04 | パワーサイクル試験方法、及び、パワーサイクル試験装置 |
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---|---|
JP (1) | JP2012098224A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2010
- 2010-11-04 JP JP2010247873A patent/JP2012098224A/ja not_active Withdrawn
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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