JP2012096333A

JP2012096333A - Cutting device

Info

Publication number: JP2012096333A
Application number: JP2010247799A
Authority: JP
Inventors: Yasuhisa Koseki; 靖久古関
Original assignee: Hirata Corp
Current assignee: Hirata Corp
Priority date: 2010-11-04
Filing date: 2010-11-04
Publication date: 2012-05-24

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently cut the edge of a cover sheet by positioning a substrate by a relatively simple configuration.SOLUTION: The cutting device for cutting the edge of a cover sheet to cover a rectangular substrate includes first and second moving units including a head unit, a moving mechanism for supporting the head unit and moving the head unit in a direction parallel to opposing sides of a first set of the rectangular substrate, and a third moving unit for moving the first and the second moving units in a direction parallel to the opposing sides of a second set of the rectangular substrate. Each head unit includes a positioning unit having an abutment member abutted on one side of the rectangular substrate and a cutting unit for cutting the cover sheet.

Description

本発明は、基板を被覆する被覆シートの切断技術に関する。 The present invention relates to a cutting technique for a covering sheet that covers a substrate.

ガラス基板や半導体ウエハのような基板は、その表面を保護するために被覆シートで被覆される場合がある。例えば、太陽電池モジュール基板においては、受光面を保護すると供に、太陽電池モジュール基板を構成する複数の部材が複数層で構成され、これらの部材を一纏めに構成させるためにも被覆シートを使用している。被覆シートのうち、基板の周辺からはみ出た端縁部は不要であるため、これを切断する必要がある。そこで、被覆シートの端縁部を切断する装置が提案されている（特許文献１乃至３）。 A substrate such as a glass substrate or a semiconductor wafer may be coated with a covering sheet to protect the surface. For example, in a solar cell module substrate, in addition to protecting the light receiving surface, a plurality of members constituting the solar cell module substrate are composed of a plurality of layers, and a covering sheet is also used to collectively configure these members. ing. Since the edge part which protruded from the circumference | surroundings of the board | substrate among the coating sheets is unnecessary, it is necessary to cut | disconnect this. Therefore, an apparatus for cutting the edge of the covering sheet has been proposed (Patent Documents 1 to 3).

特公平７−４９１８９号公報Japanese Patent Publication No. 7-49189 特開２００１−３２００６９号公報JP 2001-320069 A 特開２００１−１３５８４０号公報JP 2001-135840 A

被覆シートの端縁部を良好に切断するためには、被覆シートを切断する切断ユニットに対する基板の位置決めが必要となる。特許文献２にはＣＣＤカメラにより基板を撮影し、その画像から基板の輪郭を抽出して切断軌跡を設定する装置が開示されているが、装置の構成が複雑になる。 In order to cut the edge portion of the covering sheet satisfactorily, the substrate needs to be positioned with respect to a cutting unit that cuts the covering sheet. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-228561 discloses an apparatus that captures a substrate with a CCD camera, extracts the outline of the substrate from the image, and sets a cutting locus. However, the configuration of the apparatus is complicated.

本発明の目的は、比較的簡易な構成で基板の位置決めを行い、効率よく被覆シートの端縁部を切断することにある。 An object of the present invention is to position a substrate with a relatively simple configuration and efficiently cut an edge portion of a covering sheet.

本発明によれば、矩形基板を被覆する被覆シートの端縁部を切断する切断装置において、第１ヘッドユニットと、該第１ヘッドユニットを支持し、かつ、前記矩形基板の、互いに対向する１組目の辺と平行な方向に前記第１ヘッドユニットを移動させる第１移動機構と、を有する第１移動ユニットと、第２ヘッドユニットと、該第２ヘッドユニットを支持し、かつ、前記矩形基板の前記１組目の辺と平行な方向に前記第２ヘッドユニットを移動させる第２移動機構と、を有する第２移動ユニットと、前記第１及び第２の移動ユニットを、前記矩形基板の、互いに対向する２組目の辺と平行な方向に移動させる第３移動ユニットと、を備え、前記第１ヘッドユニットが、前記矩形基板の一辺に当接される第１当接部材を備える第１位置決めユニット及び前記被覆シートを切断する第１切断ユニットを有し、前記第２ヘッドユニットが、前記矩形基板の前記一辺と対向する他辺に当接される第２当接部材を備える第２位置決めユニット及び前記被覆シートを切断する第２切断ユニットを有することを特徴とする切断装置が提供される。 According to the present invention, in a cutting device for cutting an edge portion of a covering sheet that covers a rectangular substrate, the first head unit, the first head unit that supports the first head unit, and the rectangular substrates facing each other 1 A first moving unit having a first moving mechanism for moving the first head unit in a direction parallel to a side of the set; a second head unit; the second head unit supported; and the rectangle A second moving unit having a second moving mechanism for moving the second head unit in a direction parallel to the first set of sides of the substrate, and the first and second moving units are connected to the rectangular substrate. A third moving unit that moves in a direction parallel to a second pair of sides facing each other, wherein the first head unit includes a first abutting member that abuts on one side of the rectangular substrate. 1 positioning unit And a first cutting unit that cuts the cover sheet, and the second head unit includes a second contact member that contacts the other side of the rectangular substrate that faces the one side. And a second cutting unit for cutting the covering sheet.

本発明によれば、比較的簡易な構成で基板の位置決めを行い、効率よく被覆シートの端縁部を切断することができる。 According to the present invention, the substrate can be positioned with a relatively simple configuration, and the edge portion of the covering sheet can be efficiently cut.

本発明の一実施形態に係る切断装置Ａの平面図。The top view of the cutting device A which concerns on one Embodiment of this invention. 切断装置Ａの正面図。The front view of the cutting device A. FIG. ヘッドユニットＨの斜視図。The perspective view of the head unit H. FIG. ヘッドユニットＨの一部の構成の分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of a configuration of a part of the head unit H. 駆動ユニット１３の断面図。Sectional drawing of the drive unit 13. FIG. （Ａ）は位置決め・押圧ユニット３０の断面図、（Ｂ）は制御装置７０のブロック図。(A) is a sectional view of the positioning / pressing unit 30, and (B) is a block diagram of the control device 70. （Ａ）及び（Ｂ）はティーチングの説明図。(A) And (B) is explanatory drawing of teaching. ティーチングの説明図。Explanatory drawing of teaching. 位置決め動作の説明図。Explanatory drawing of positioning operation | movement. 位置決め動作の説明図。Explanatory drawing of positioning operation | movement. トリミング動作の説明図。Explanatory drawing of trimming operation | movement. トリミング動作の説明図。Explanatory drawing of trimming operation | movement. トリミング動作の説明図。Explanatory drawing of trimming operation | movement. トリミング動作の説明図。Explanatory drawing of trimming operation | movement. 位置決め・押圧ユニット３０の進退機構の例を示す分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view showing an example of an advance / retreat mechanism of the positioning / pressing unit 30.

図１は本発明の一実施形態に係る切断装置Ａの平面図、図２は切断装置Ａの正面図である。図中、矢印Ｘ及びＹは水平方向であって互いに直交する２方向を示し、矢印Ｚは垂直方向を示す。切断装置Ａは、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２と、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２をＹ方向に移動させる移動ユニットＭｙと、基板１を保持する保持ユニット６０と、を備える。 FIG. 1 is a plan view of a cutting device A according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a front view of the cutting device A. In the drawing, arrows X and Y indicate two directions that are horizontal and orthogonal to each other, and an arrow Z indicates a vertical direction. The cutting apparatus A includes moving units MU1 and MU2, a moving unit My that moves the moving units MU1 and MU2 in the Y direction, and a holding unit 60 that holds the substrate 1.

＜保持ユニット６０＞
保持ユニット６０は、その上面が基板１を載置する水平面をなしており、基板１をその裏面側から保持する。保持ユニット６０の上面には基板１を解放可能に固定する固定機構として、基板１を吸着する吸着部６１が設けられている。固定機構としては吸着部６１以外の機構も採用可能である。このような固定機構により、基板１を被覆する被覆シート（図１及び図２において不図示）の端縁部を精度よく切断することができる。 <Holding unit 60>
The holding unit 60 has an upper surface that forms a horizontal surface on which the substrate 1 is placed, and holds the substrate 1 from the back surface side. An adsorption portion 61 that adsorbs the substrate 1 is provided on the upper surface of the holding unit 60 as a fixing mechanism that releasably fixes the substrate 1. As the fixing mechanism, a mechanism other than the adsorption unit 61 can be employed. With such a fixing mechanism, an edge portion of a covering sheet (not shown in FIGS. 1 and 2) covering the substrate 1 can be accurately cut.

保持ユニット６０の中央部には開口部が形成されており、そこに載置台６２が配設されている。載置台６２は昇降装置６３によりＺ方向に昇降され、基板１の移載時に上昇する。昇降装置６３としては、エアシリンダや、モータ等の駆動源と、ラック−ピニオン機構等の機構を組み合わせた駆動機構を挙げることができる。 An opening is formed at the center of the holding unit 60, and a mounting table 62 is disposed there. The mounting table 62 is moved up and down in the Z direction by the lifting device 63 and is raised when the substrate 1 is transferred. Examples of the lifting device 63 include a drive mechanism that combines a drive source such as an air cylinder or a motor and a mechanism such as a rack-pinion mechanism.

基板１は例えばガラス板であり、本実施形態の場合、矩形の基板を想定している。基板１は互いに対向する１組目の辺１ａ、１ａと、２組目の辺１ｂ、１ｂと、を含む。基板１は不図示の搬送機構により保持ユニット６０上に搬送され、移載される。そして、後述するように位置決め・押圧ユニット３０によって辺１ａ、１ａがＸ方向と、辺１ｂ、１ｂがＹ方向と平行となるように位置決めされ、水平姿勢で保持ユニット６０の上面に載置される。 The substrate 1 is, for example, a glass plate, and in the case of this embodiment, a rectangular substrate is assumed. The substrate 1 includes a first set of sides 1a and 1a and a second set of sides 1b and 1b facing each other. The substrate 1 is transported and transferred onto the holding unit 60 by a transport mechanism (not shown). Then, as will be described later, the positioning / pressing unit 30 positions the sides 1a, 1a in parallel with the X direction and the sides 1b, 1b in parallel with the Y direction, and is placed on the upper surface of the holding unit 60 in a horizontal posture. .

＜移動ユニットＭｙ＞
移動ユニットＭｙは、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２を、それぞれ独立して基板１の辺１ｂと平行な方向（本実施形態の場合Ｙ方向）に移動させる。本実施形態の場合、移動ユニットＭｙは、Ｘ方向に互いに離間し、Ｙ方向に延びる一対のレール部５１を備える。レール部５１はその上面にＹ方向に延設された案内溝５１ａを有する。 <Moving unit My>
The moving unit My moves the moving units MU1 and MU2 independently in a direction parallel to the side 1b of the substrate 1 (Y direction in this embodiment). In the present embodiment, the moving unit My includes a pair of rail portions 51 that are separated from each other in the X direction and extend in the Y direction. The rail portion 51 has a guide groove 51a extending in the Y direction on the upper surface thereof.

一方のレール部５１には、案内溝５１ａに案内されてレール部５１上を移動可能な２つの駆動スライダ５２が設けられ、他方のレール部５１には、案内溝５１ａに案内されてレール部５１上を移動可能な２つの従動スライダ５３が設けられている。駆動スライダ５２と従動スライダ５３とは組をなし、本実施形態の場合、２組の駆動スライダ５２と従動スライダ５３とが設けられている。 One rail portion 51 is provided with two drive sliders 52 that are guided by the guide groove 51 a and can move on the rail portion 51, and the other rail portion 51 is guided by the guide groove 51 a to the rail portion 51. Two driven sliders 53 are provided that can move upward. The drive slider 52 and the driven slider 53 form a pair. In the present embodiment, two sets of the drive slider 52 and the driven slider 53 are provided.

各駆動スライダ５２はそれぞれ独立した駆動源を有して、独立してレール部５１上を自走する。駆動スライダ５２を自走させる機構としては、例えばレール部５１に設けられるボールネジと、そのボールネジに螺合するボールナットのボールネジ機構を採用できる。各駆動スライダ５２は、ボールナットと、そのボールナットを回転自在に保持すると共に、ボールナットを回転させる回転駆動手段（例えば、中空モータ）とを備えたものとすることができる。各従動スライダ５３はそれ自体が自走する機構を有していない。 Each drive slider 52 has an independent drive source and independently runs on the rail portion 51. As a mechanism for causing the drive slider 52 to self-run, for example, a ball screw mechanism of a ball screw provided on the rail portion 51 and a ball nut screwed to the ball screw can be employed. Each drive slider 52 may be provided with a ball nut and a rotary drive means (for example, a hollow motor) that rotatably holds the ball nut and rotates the ball nut. Each driven slider 53 does not have a self-propelled mechanism.

各組の駆動スライダ５２と従動スライダ５３とには、移動ユニットＭＵ１又はＭＵ２のレール部４１が架設されている。レール部４１はＸ方向に延び、駆動スライダ５２のＹ方向の移動によってＹ方向に移動する。これにより、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２を、それぞれ独立してＹ方向に移動させることができる。 The rail 41 of the moving unit MU1 or MU2 is installed on each set of the drive slider 52 and the driven slider 53. The rail portion 41 extends in the X direction, and moves in the Y direction by the movement of the drive slider 52 in the Y direction. Thereby, the moving units MU1 and MU2 can be independently moved in the Y direction.

＜移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２＞
移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２は、それぞれ、ヘッドユニットＨと、ヘッドユニットＨを支持し、かつ、基板１の辺１ａと平行な方向（本実施形態の場合Ｘ方向）にヘッドユニットＨを移動させる移動機構Ｍｘと、を備える。本実施形態では、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２において、各ヘッドユニットＨと、各移動機構Ｍｘとは同じ構成であるが、異なる構成としてもよい。 <Mobile unit MU1 and MU2>
The moving units MU1 and MU2 support the head unit H and the moving mechanism that supports the head unit H and moves the head unit H in a direction parallel to the side 1a of the substrate 1 (X direction in the present embodiment). Mx. In the present embodiment, in the moving units MU1 and MU2, each head unit H and each moving mechanism Mx have the same configuration, but may have different configurations.

＜移動機構Ｍｘ＞
移動機構Ｍｘは、その両端部が駆動スライダ５２、従動スライダ５３に支持され、Ｘ方向に延びるレール部４１を備える。レール部４１はその上面にＸ方向に延設された案内溝４１ａを有する。レール部４１には、案内溝４１ａに案内されてレール部４１上を移動可能な駆動スライダ４２が設けられている。駆動スライダ４２は、上述した駆動スライダ５２と同様の機構でレール部４１上を自走する。ヘッドユニットＨは、その回動・昇降ユニット２０が駆動スライダ４２に固定されている。こうして本実施形態では、駆動スライダ４２の移動により、ヘッドユニットＨをＸ方向に移動させ、移動ユニットＭｙで移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２をＹ方向に移動させることで、各ヘッドユニットＨをＸ−Ｙ平面上で移動できる。 <Movement mechanism Mx>
The moving mechanism Mx includes rail portions 41 that are supported at both ends by the drive slider 52 and the driven slider 53 and extend in the X direction. The rail portion 41 has a guide groove 41a extending in the X direction on the upper surface thereof. The rail portion 41 is provided with a drive slider 42 that is guided by the guide groove 41 a and can move on the rail portion 41. The drive slider 42 runs on the rail portion 41 by the same mechanism as the drive slider 52 described above. The head unit H has a rotation / lifting unit 20 fixed to a drive slider 42. Thus, in the present embodiment, the head unit H is moved in the X direction by the movement of the drive slider 42, and the moving units My and MU2 are moved in the Y direction by the moving unit My, whereby each head unit H is moved to the XY plane. You can move up.

なお、切断装置ＡはヘッドユニットＨのＸ−Ｙ方向の位置を検出するための不図示のセンサ装置を備える。そのようなセンサとしては、例えば、駆動スライダ４２、５２の位置を検出するセンサ装置が挙げられ、更に具体的には駆動スライダ４２、５２の駆動源がモータの場合、モータの回転量を検出するセンサ（例えば、エンコーダ）が挙げられる。 The cutting device A includes a sensor device (not shown) for detecting the position of the head unit H in the XY direction. Examples of such a sensor include a sensor device that detects the positions of the drive sliders 42 and 52. More specifically, when the drive source of the drive sliders 42 and 52 is a motor, the amount of rotation of the motor is detected. A sensor (for example, an encoder) is mentioned.

＜ヘッドユニットＨ＞
図１乃至図３を参照してヘッドユニットＨの構成について説明する。図３はヘッドユニットＨの斜視図である。ヘッドユニットＨは、切断ユニット１０と、位置決め・押圧ユニット３０と、切断ユニット１０を回動し、昇降する回動・昇降ユニット２０と、を備える。なお、本実施形態の場合、位置決め・押圧ユニット３０が切断ユニット１０の主支持部１１に搭載されているため、回動・昇降ユニット２０によって、切断ユニット１０と共に位置決め・押圧ユニット３０も回動され、昇降される。 <Head unit H>
The configuration of the head unit H will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a perspective view of the head unit H. FIG. The head unit H includes a cutting unit 10, a positioning / pressing unit 30, and a rotation / lifting unit 20 that rotates the cutting unit 10 to move up and down. In this embodiment, since the positioning / pressing unit 30 is mounted on the main support portion 11 of the cutting unit 10, the positioning / pressing unit 30 is also rotated together with the cutting unit 10 by the rotating / lifting unit 20. Lifted and lowered.

＜回動・昇降ユニット２０＞
回動・昇降ユニット２０は、軸体２１、及び、軸体２１をその軸心（図２において破線Ｌ１）周りに回転させると共に軸体２１を昇降させる機構（不図示）を備える。軸体２１は基板１の基板面における法線方向と平行な方向（Ｚ方向）に延長している。 <Rotation / lifting unit 20>
The rotation / elevating unit 20 includes a shaft body 21 and a mechanism (not shown) that rotates the shaft body 21 around its axis (broken line L1 in FIG. 2) and moves the shaft body 21 up and down. The shaft body 21 extends in a direction (Z direction) parallel to the normal direction on the substrate surface of the substrate 1.

本実施形態の場合、軸体２１には切断ユニット１０が連結されており、軸体２１を回転させることで切断ユニット１０を、Ｚ方向の回動中心軸（図２における破線Ｌ１）回りに回動してその回動角度を維持することができると共に、軸体２１を昇降させることで切断ユニット１０をＺ方向に昇降することができる。 In the case of this embodiment, the cutting unit 10 is connected to the shaft body 21, and by rotating the shaft body 21, the cutting unit 10 is rotated about the rotation center axis (the broken line L1 in FIG. 2) in the Z direction. The rotation angle can be maintained by moving, and the cutting unit 10 can be raised and lowered in the Z direction by raising and lowering the shaft body 21.

切断ユニット１０を回動させ、その回動角度を維持することで、トリミング対象の辺１ａ又は１ｂを含む基板１の基板面に垂直な面（本実施形態の場合、Ｚ方向の垂直面）と、円板刃１４が形成する平面（本実施形態の場合、Ｚ方向の垂直面）との角度（交差角度）を調整することができる。この角度を調整し、維持することで、円板刃１４が基板１の端縁に対して好適な角度で当接するようにすることができ、被覆シートの切断時に基板１の端縁が損傷することを防止できる。 By rotating the cutting unit 10 and maintaining the rotation angle, a surface perpendicular to the substrate surface of the substrate 1 including the side 1a or 1b to be trimmed (in this embodiment, a vertical surface in the Z direction) The angle (crossing angle) with the plane formed by the disc blade 14 (in the present embodiment, a vertical plane in the Z direction) can be adjusted. By adjusting and maintaining this angle, the disk blade 14 can be brought into contact with the edge of the substrate 1 at a suitable angle, and the edge of the substrate 1 is damaged when the covering sheet is cut. Can be prevented.

また、切断ユニット１０を昇降させることで、基板１の基板面における法線方向と平行な方向に垂直な面（本実施形態の場合、Ｚ方向の垂直面）と、円板刃１４が形成する平面（本実施形態の場合、Ｚ方向の垂直面）に対する円板刃１４の切断刃位置（高さ位置）を調整することができる。 Further, by moving the cutting unit 10 up and down, a surface perpendicular to the direction parallel to the normal direction on the substrate surface of the substrate 1 (in this embodiment, a surface perpendicular to the Z direction) and the disc blade 14 are formed. The cutting blade position (height position) of the disc blade 14 with respect to the plane (in the present embodiment, a vertical surface in the Z direction) can be adjusted.

このように円板刃１４の向きと切断刃位置とを調整することができるので、被覆シートのタイプに応じて最適な傾き及び切断刃位置で辺１ａ、１ｂに沿って被覆シートを切断することができる。また、位置決め・押圧ユニット３０を昇降させることで、基板１の位置決め時において、位置決め・押圧ユニット３０の当接部材３２と基板１とのＺ方向の位置合わせを行い、続けて円板刃１４の切断位置の位置合わせが行える。 Since the orientation of the disc blade 14 and the cutting blade position can be adjusted in this way, the covering sheet is cut along the sides 1a and 1b at the optimum inclination and cutting blade position according to the type of the covering sheet. Can do. Further, by moving the positioning / pressing unit 30 up and down, when the substrate 1 is positioned, the contact member 32 of the positioning / pressing unit 30 and the substrate 1 are aligned in the Z direction. The cutting position can be aligned.

軸体２１を回転・昇降させる機構としては公知の機構を採用できる。例えば、軸体２１を回転させる機構としては、モータ等の駆動源と、歯車機構或いはベルト機構等の機構の組み合わせを挙げることができる。軸体２１の回転角度を維持する機構としては、例えば、駆動源をサーボモータとした場合には、サーボモータの電磁ロック機能を利用することができるが、或いは、軸体２１の回転を解除可能に規制するロック機構を別途設けてもよい。また、軸体２１を昇降させる機構としては、モータ等の駆動源と、ラック−ピニオン機構等の機構の組み合わせを挙げることができる。 A known mechanism can be adopted as a mechanism for rotating and raising / lowering the shaft body 21. For example, the mechanism for rotating the shaft body 21 may include a combination of a drive source such as a motor and a mechanism such as a gear mechanism or a belt mechanism. As a mechanism for maintaining the rotation angle of the shaft body 21, for example, when the drive source is a servo motor, the electromagnetic lock function of the servo motor can be used, or the rotation of the shaft body 21 can be released. A lock mechanism that restricts to the above may be provided separately. Moreover, as a mechanism which raises / lowers the shaft body 21, the combination of mechanisms, such as drive sources, such as a motor, and a rack-pinion mechanism, can be mentioned.

なお、回動・昇降ユニット２０は切断ユニット１０の回動角度（回動位置）、Ｚ方向の位置を検出するための不図示のセンサ装置を備える。そのようなセンサとしては、例えば、軸体２１を回転、昇降する駆動源がそれぞれモータの場合、モータの回転量を検出するセンサ（例えば、エンコーダ）が挙げられる。 The rotation / lifting unit 20 includes a sensor device (not shown) for detecting the rotation angle (rotation position) of the cutting unit 10 and the position in the Z direction. An example of such a sensor is a sensor (for example, an encoder) that detects the amount of rotation of the motor when the drive sources that rotate and raise / lower the shaft body 21 are motors.

＜切断ユニット１０＞
図３乃至図５を参照して切断ユニット１０について説明する。図４はヘッドユニットＨの一部の構成の分解斜視図であり、特に切断ユニット１０の主要な構成を示している。図５は駆動ユニット１３の断面図である。本実施形態の場合、切断ユニット１０として、円板刃１４を回転させて被覆シートを切断する機構を採用しているがこれに限られない。例えば、固定の刃により被覆シートを切断する機構や、レーザ光により被覆シートを切断する機構等、他の種類の切断機構が採用可能である。 <Cutting unit 10>
The cutting unit 10 will be described with reference to FIGS. 3 to 5. FIG. 4 is an exploded perspective view of a part of the configuration of the head unit H, and particularly shows the main configuration of the cutting unit 10. FIG. 5 is a sectional view of the drive unit 13. In the case of the present embodiment, the cutting unit 10 employs a mechanism that rotates the disc blade 14 to cut the covering sheet, but is not limited thereto. For example, other types of cutting mechanisms such as a mechanism for cutting the covering sheet with a fixed blade and a mechanism for cutting the covering sheet with laser light can be employed.

切断ユニット１０は、板状の主支持部１１と、回動・昇降ユニット２０の軸体２１と主支持部１１とを連結する連結部１２と、円板刃１４を基板１の面方向（本実施形態の場合水平方向）に対して垂直に支持し、回転させる駆動ユニット１３と、を有する。 The cutting unit 10 includes a plate-shaped main support portion 11, a connecting portion 12 that connects the shaft body 21 of the rotation / lifting unit 20 and the main support portion 11, and a disc blade 14 in the surface direction of the substrate 1 Drive unit 13 that supports and rotates perpendicularly to the horizontal direction in the case of the embodiment.

駆動ユニット１３は、垂直部と水平部とを備え、断面形状が略Ｌ字型の支持部（スライダ）１３１を有する。支持部１３１の垂直部の背面側（円板刃１４の側と反対側）には駆動部１３２が取り付けられている。駆動部１３２は駆動源としてのモータ１３２ａと、モータ１３２ａの出力を減速する減速機１３２ｂとを備える。減速機１３２ｂには、円板刃１４の回転軸体１３３の後端部１３３ｂが接続されており、モータ１３２ａの回転により回転軸体１３３がその軸心回りに回転することになる。 The drive unit 13 includes a vertical portion and a horizontal portion, and includes a support portion (slider) 131 having a substantially L-shaped cross section. A drive unit 132 is attached to the back side of the vertical part of the support part 131 (the side opposite to the disk blade 14 side). The drive unit 132 includes a motor 132a as a drive source and a speed reducer 132b that decelerates the output of the motor 132a. The reduction shaft 132b is connected to the rear end portion 133b of the rotary shaft 133 of the disc blade 14, and the rotary shaft 133 rotates about its axis by the rotation of the motor 132a.

回転軸体１３３は、その先端部に、円板刃１４が取り付けられる取付部１３３ａを有しており、取付部１３３ａの近傍には鍔状の円板刃当接部１３３ｃが形成されている。取付部１３３ａには、回り止めとなるキー溝付の円板刃１４、押圧部材１３５、止め部材１３４が順に装着され、止め部材１３４は取付部１３３ａの先端に係合される。止め部材１３４と押圧部材１３５との間には弾性部材１３６が装填される。本実施形態の場合、弾性部材１３６はコイルスプリングである。弾性部材１３６の付勢により、押圧部材１３５は円板刃１４側に向かって付勢され、円板刃当接部１３３ｃと押圧部材１３５との間に円板刃１４が挟持されるため、円板刃１４の回転振れが抑制される。 The rotary shaft 133 has a mounting portion 133a to which the disc blade 14 is attached at the tip thereof, and a bowl-shaped disc blade contact portion 133c is formed in the vicinity of the mounting portion 133a. A disc blade 14 with a key groove that serves as a detent, a pressing member 135, and a stop member 134 are sequentially attached to the attachment portion 133a, and the stop member 134 is engaged with the tip of the attachment portion 133a. An elastic member 136 is loaded between the stop member 134 and the pressing member 135. In the case of this embodiment, the elastic member 136 is a coil spring. The pressing member 135 is biased toward the disc blade 14 by the biasing of the elastic member 136, and the disc blade 14 is sandwiched between the disc blade abutting portion 133c and the pressing member 135. The rotational runout of the plate blade 14 is suppressed.

回転軸体１３３は水平方向に延設されており、この回転軸体１３３に円板刃１４を取り付けると、円板刃１４が形成する平面は、水平面に対して垂直な面となる。そして、回動・昇降ユニット２０の回動中心軸（図２の線Ｌ１：垂直方向）が、円板刃１４を含む平面（本実施形態の場合垂直面）と平行な平面上に含まれるように、回動・昇降ユニット２０に対する切断ユニット１０の連結位置が調整される。この調整は、連結部１２の形状と、連結部１２と主支持部１１との連結位置と、の少なくともいずれかの調整によりなすことができる。このように調整することで、回動・昇降ユニット２０の回動中心軸の直下に円板刃１４を位置させることができるため、回動・昇降ユニット２０を用いて切断ユニット１０を回動させる際、基板１の辺１ａ、１ｂに対する円板刃１４が形成する平面の傾きを調整し易いという利点がある。 The rotating shaft body 133 extends in the horizontal direction. When the disc blade 14 is attached to the rotating shaft body 133, the plane formed by the disc blade 14 becomes a plane perpendicular to the horizontal plane. The rotation center axis (line L1: vertical direction in FIG. 2) of the rotation / lifting unit 20 is included on a plane parallel to the plane including the disc blade 14 (vertical plane in this embodiment). In addition, the connection position of the cutting unit 10 with respect to the rotation / lifting unit 20 is adjusted. This adjustment can be made by adjusting at least one of the shape of the connecting portion 12 and the connecting position of the connecting portion 12 and the main support portion 11. By adjusting in this way, the disc blade 14 can be positioned immediately below the rotation center axis of the rotation / lifting unit 20, and therefore the cutting unit 10 is rotated using the rotation / lifting unit 20. At this time, there is an advantage that the inclination of the plane formed by the disk blade 14 with respect to the sides 1a and 1b of the substrate 1 can be easily adjusted.

回転軸体１３３は、ボールベアリング１３８ａにより軸支されている。ボールベアリング１３８ａは、筒状の支持部材１３８の後端部側における内周壁内に嵌挿され、ボルト留めされた固定部材１３８ｄによって抜け止め防止が図られている。また、回転軸体１３３の後端部側には固定用リング１３３ｄが螺着され、固定用リング１３３ｄとボールベアリング１３８ａとの間に固定用筒体１３３ｅが配設される。回転軸体１３３に対して固定用リング１３３ｄを螺合させ、先端側に向かって固定用リング１３３ｄを螺進させることで、回転軸体１３３の軸方向における固定用リング１３３ｄの位置が固定される。これにより、固定用リング１３３ｄが固定用筒体１３３ｅに当接され、固定用筒体１３３ｅがボールベアリング１３８ａに当接される。これによって、支持部材１３８の軸方向における回転軸体１３３の相対位置が位置決めされる。 The rotating shaft body 133 is pivotally supported by a ball bearing 138a. The ball bearing 138a is fitted into an inner peripheral wall on the rear end side of the cylindrical support member 138, and is prevented from coming off by a bolted fixing member 138d. A fixing ring 133d is screwed to the rear end side of the rotating shaft 133, and a fixing cylinder 133e is disposed between the fixing ring 133d and the ball bearing 138a. The position of the fixing ring 133d in the axial direction of the rotating shaft 133 is fixed by screwing the fixing ring 133d to the rotating shaft 133 and screwing the fixing ring 133d toward the distal end side. . Thereby, the fixing ring 133d is brought into contact with the fixing cylinder 133e, and the fixing cylinder 133e is brought into contact with the ball bearing 138a. As a result, the relative position of the rotary shaft 133 in the axial direction of the support member 138 is positioned.

支持部材１３８に形成された小径部１３８ｓの先端側には、小径部１３８ｓの内側にシール部１３８ｃが構成され、回転軸体１３３の円板刃当接部１３３ｃから後端部側に連続して形成される第1径部１３３ｆの外周面にシール部１３８ｃの内周面が密接する。このシール部１３８ｃにより、被覆シートの切断粉等がボールベアリング１３８ａへ侵入することを防止している。また、支持部材１３８には円板刃当接部１３３ｃと支持部材１３８との間にできる隙間に連通するエア通路１３８ｂが形成されている。エア通路１３８ｂには不図示のエア供給部から圧縮空気が供給され、この圧縮空気は回転軸体１３３、支持部材１３８、及びシール部材１３８ｃで囲まれた空間（隙間）に供給される。これにより、この隙間内部の気圧が高まり隙間から外部（大気側）への気流が発生して、被覆シートの切断粉等がボールベアリング１３８ａへ侵入することを更に防止できる。 A seal portion 138c is formed inside the small-diameter portion 138s on the front end side of the small-diameter portion 138s formed in the support member 138, and continuously from the disk blade contact portion 133c of the rotating shaft 133 to the rear end side. The inner peripheral surface of the seal portion 138c is in close contact with the outer peripheral surface of the formed first diameter portion 133f. The sealing portion 138c prevents cutting powder or the like of the covering sheet from entering the ball bearing 138a. Further, the support member 138 is formed with an air passage 138b that communicates with a gap formed between the disk blade contact portion 133c and the support member 138. Compressed air is supplied to the air passage 138b from an air supply unit (not shown), and this compressed air is supplied to a space (gap) surrounded by the rotating shaft 133, the support member 138, and the seal member 138c. Thereby, it is possible to further prevent the pressure inside the gap from being increased and an air flow from the gap to the outside (atmosphere side) to be generated, and the cutting powder or the like of the covering sheet to enter the ball bearing 138a.

筒体１３７は、円板刃１４を境に後端部側の円板刃１４の後端部側の面（背面）に近接して配置され、回転軸体１３３の円板刃当接部１３３ｃの外周面を囲繞して設けられている。筒体１３７は支持部材１３８の先端部外周面の小径部に遊転自在に装着されている。そして、円板刃１４の後端部側の面と支持部材１３８の先端部外周面に形成された小径部の段差部とによって、筒体１３７の回転軸体１３３の軸心方向の移動を規定している。円板刃１４によって切断された被覆シートの切除部分は帯状になって回転軸体１３３の周囲に絡みつく場合がある。本実施形態の場合、円板刃１４の背面部位において、筒体１３７を遊転自在に設けたことにより、切除部分が筒体１３７に接触した際に（乗り上げた際に）、筒体１３７が遊転するので切断部分が筒体１３７に絡まることを防止できる。 The cylindrical body 137 is disposed close to the rear end side surface (back surface) of the disc blade 14 on the rear end side with the disc blade 14 as a boundary, and the disc blade abutting portion 133c of the rotary shaft 133 is provided. Is provided so as to surround the outer peripheral surface. The cylindrical body 137 is mounted on the small diameter portion of the outer peripheral surface of the distal end portion of the support member 138 so as to be freely rotatable. Then, the axial movement of the rotary shaft 133 of the cylindrical body 137 is defined by the surface on the rear end side of the disc blade 14 and the step portion of the small diameter portion formed on the outer peripheral surface of the front end portion of the support member 138. is doing. The cut portion of the covering sheet cut by the disc blade 14 may be in the form of a belt and entangled around the rotating shaft 133. In the case of the present embodiment, the cylindrical body 137 is provided so as to be freely rotatable at the back surface portion of the disc blade 14, so that when the excised part contacts the cylindrical body 137 (when it rides), the cylindrical body 137 is Since it is idle, it can be prevented that the cut portion is entangled with the cylindrical body 137.

次に、図４を参照して駆動ユニット１３の進退機構について説明する。支持部１３１の水平部の上面には、スライド部材１３１ａが一対固定されている。主支持部１１の下面には、スライド部材１３１ａを案内するレール部材１１１が一対固定されている。レール部材１１１及びスライド部材１３１ａは円板刃１４の回転中心線方向（回転軸体１３３の軸方向）に延設されており、駆動ユニット１３は支持部１３１を介して主支持部１１に支持されると共にレール部材１１１に案内されて円板刃１４の回転中心線方向に進退自在となっている。 Next, the advance / retreat mechanism of the drive unit 13 will be described with reference to FIG. A pair of slide members 131 a are fixed to the upper surface of the horizontal portion of the support portion 131. A pair of rail members 111 for guiding the slide member 131 a are fixed to the lower surface of the main support portion 11. The rail member 111 and the slide member 131a extend in the direction of the rotation center line of the disc blade 14 (the axial direction of the rotary shaft 133), and the drive unit 13 is supported by the main support portion 11 via the support portion 131. At the same time, it is guided by the rail member 111 so as to advance and retreat in the direction of the rotation center line of the disc blade 14.

主支持部１１には、ストッパ部１１２ａ、１１２ｂが設けられており、ストッパ部１１２ａは支持部１３１に設けたストッパ部１３１ｂに当接することで、ストッパ部１１２ｂは支持部１３１の背面に当接すること、駆動ユニット１３、すなわち円板刃１４の移動範囲を規制する。 The main support portion 11 is provided with stopper portions 112a and 112b. The stopper portion 112a comes into contact with the stopper portion 131b provided in the support portion 131, and the stopper portion 112b comes into contact with the back surface of the support portion 131. The movement range of the drive unit 13, that is, the disk blade 14 is regulated.

主支持部１１の下面には、駆動ユニット１３を、基板１に近接する方向に常時付勢する付勢部１１３が設けられている。付勢部１１３は、伝達部材１１３ａと、支持軸１１３ｂと、支持部１１３ｃと、弾性部材１１３ｄと、受け部材１１３ｅと、を備える。支持軸１１３ｂはレール部材１１１と平行に延設され、その両端部が支持部１１３ｃで支持されている。伝達部材１１３ａは、支持軸１１３ｂが貫通する穴を有したＬ字型の部材であり、支持軸１１３ｂに案内されて移動可能となっている。そして、伝達部材１１３ａの下部に駆動ユニット１３の支持部１３１が連結されている。 On the lower surface of the main support portion 11, a biasing portion 113 that constantly biases the drive unit 13 in a direction close to the substrate 1 is provided. The urging portion 113 includes a transmission member 113a, a support shaft 113b, a support portion 113c, an elastic member 113d, and a receiving member 113e. The support shaft 113b extends in parallel with the rail member 111, and both ends thereof are supported by the support portion 113c. The transmission member 113a is an L-shaped member having a hole through which the support shaft 113b passes, and is movable by being guided by the support shaft 113b. And the support part 131 of the drive unit 13 is connected to the lower part of the transmission member 113a.

受け部材１１３ｅには支持軸１１３ｂが貫通しており、伝達部材１１３ａと受け部材１１３ｅとの間には、支持軸１１３ｂに挿通させて弾性部材１１３ｄが介在されている。弾性部材１１３ｄは本実施形態の場合コイルスプリングであり、伝達部材１１３ａと受け部材１１３ｅとを互いに離間させる方向に付勢力を発揮する圧縮コイルばねである。この弾性部材１１３ｄの付勢力は伝達部材１１３ａを介して支持部１３１に伝達される。 A support shaft 113b passes through the receiving member 113e, and an elastic member 113d is interposed between the transmission member 113a and the receiving member 113e so as to pass through the support shaft 113b. In the present embodiment, the elastic member 113d is a coil spring, and is a compression coil spring that exerts an urging force in a direction in which the transmission member 113a and the receiving member 113e are separated from each other. The urging force of the elastic member 113d is transmitted to the support portion 131 through the transmission member 113a.

弾性部材１１３ｄの付勢により、伝達部材１１３ａに連結された駆動ユニット１３（円板刃１４）は、基板１に近接する方向に常時付勢される。このため、被覆シートの切断時に、基板１の辺１ａ、１ｂに円板刃１４を安定して当接させることができ、被覆シートの切断の円滑化を図れる。また、予め定められた切断位置と実際に位置決めされた基板の切断位置とにずれがあったとしても、弾性部材１１３ｄの付勢ストロークの範囲内であれば、そのずれ分を吸収して被覆シートを切断することができる。更に、基板１の辺１ａ、１ｂの途中から被覆シートの切断を開始した場合には、円板刃１４が辺１ａ、１ｂに当接したとしても、円板刃１４が近接する方向とは反対の方向に押され、弾性部材１１３ｄが撓むことにより、円板刃１４が当接する際の衝撃を吸収することができる。 Due to the urging of the elastic member 113d, the drive unit 13 (disk blade 14) connected to the transmission member 113a is always urged in the direction approaching the substrate 1. For this reason, the disc blade 14 can be stably brought into contact with the sides 1a and 1b of the substrate 1 at the time of cutting the covering sheet, and the cutting of the covering sheet can be facilitated. Further, even if there is a deviation between a predetermined cutting position and a cutting position of the substrate that is actually positioned, if the deviation is within the range of the urging stroke of the elastic member 113d, the deviation is absorbed and the covering sheet Can be cut off. Furthermore, when the cutting of the covering sheet is started in the middle of the sides 1a and 1b of the substrate 1, even if the disc blade 14 comes into contact with the sides 1a and 1b, it is opposite to the direction in which the disc blade 14 approaches. When the elastic member 113d is bent in the direction of, the impact when the disk blade 14 abuts can be absorbed.

＜位置決め・押圧ユニット３０＞
図１乃至図４及び図６（Ａ）、特に図６（Ａ）を参照して位置決め・押圧ユニット３０を説明する。図６（Ａ）は位置決め・押圧ユニット３０の断面図である。位置決め・押圧ユニット３０は、切断ユニット１０の主支持部１１に固定された本体部３１を備える。本体部３１には当接部材３２が固定されている。位置決め・押圧ユニット３０は、当接部３２が円板刃１４よりも基板１寄りに位置するよう、主支持部１１に対して配置されて取り付けられる。 <Positioning / Pressing Unit 30>
The positioning / pressing unit 30 will be described with reference to FIGS. 1 to 4 and FIG. 6 (A), particularly FIG. 6 (A). FIG. 6A is a cross-sectional view of the positioning / pressing unit 30. The positioning / pressing unit 30 includes a main body 31 fixed to the main support 11 of the cutting unit 10. A contact member 32 is fixed to the main body 31. The positioning / pressing unit 30 is disposed and attached to the main support portion 11 so that the contact portion 32 is positioned closer to the substrate 1 than the disc blade 14.

当接部材３２は、基板１の一辺（本実施形態の場合、辺１ａ）に当接され、それにより基板１の位置決めを行うための部材である。当接部材３２の形状は特に問われないが、本実施形態の場合、水平断面（図６（Ａ）は垂直断面）で略三角形状となっており、その先端が基板１の辺１ａに当接される。 The abutting member 32 is a member that abuts on one side of the substrate 1 (side 1a in the case of the present embodiment), thereby positioning the substrate 1. The shape of the contact member 32 is not particularly limited. In the case of this embodiment, the contact member 32 has a substantially triangular shape in a horizontal cross section (a vertical cross section in FIG. 6A), and the tip thereof contacts the side 1a of the substrate 1. Touched.

本実施形態の場合、一つのヘッドユニットＨが位置決め・押圧ユニット３０を２つ備えており、水平方向に離間した２つの当接部材３２を有している。そして、位置決め時には、基板１の一つの辺に対して水平方向に離間した２つの当接部材３２を当接させて、基板１の位置決めを行う。しかし、一つのヘッドユニットＨについて、当接部材３２を一つとしてもよい。この場合、基板１の辺に当接する部分は、辺の長手方向に一定の幅を有する面状であることが好ましい。 In the case of the present embodiment, one head unit H includes two positioning / pressing units 30 and two contact members 32 that are spaced apart in the horizontal direction. Then, at the time of positioning, the two abutting members 32 spaced in the horizontal direction are brought into contact with one side of the substrate 1 to position the substrate 1. However, one contact member 32 may be provided for one head unit H. In this case, the portion that contacts the side of the substrate 1 is preferably a planar shape having a certain width in the longitudinal direction of the side.

次に、本体部３１には、Ｚ方向に貫通した孔３１ａが設けられており、この孔３１ａには軸３４が挿入されている。孔３１ａの中程には、大径部３２ｂが形成されており、大径部３２ｂには弾性部材３５が収容されている。弾性部材３５は本実施形態の場合、コイルスプリングである。軸３４はその中程に鍔部３４ａが形成されており、この鍔部３４ａは大径部３２ｂに収容されると共に、弾性部材３５により常時下方へ付勢されている。 Next, the main body 31 is provided with a hole 31a penetrating in the Z direction, and a shaft 34 is inserted into the hole 31a. A large diameter portion 32b is formed in the middle of the hole 31a, and an elastic member 35 is accommodated in the large diameter portion 32b. In this embodiment, the elastic member 35 is a coil spring. In the middle of the shaft 34, a flange portion 34a is formed. The flange portion 34a is accommodated in the large diameter portion 32b and is always urged downward by the elastic member 35.

軸３４の下端部には押圧部材３３が固定されている。押圧部材３３は基板１の端部を保持ユニット６０の上面に対して、基板１の表面側（上面側）から押圧するための部材であり、例えば、下面が平滑なプラスチック等である。本実施形態では、この押圧部材３３で基板１の端部を緩やかに押圧することで基板１を保持ユニット６０に構成される吸着部６１に押し付け、確実に吸着保持をすることができる。これは、基板１に生じるわずかな歪みがある場合に吸着部と基板との間に空間が生じることで発生する吸着不良を防止することができる。 A pressing member 33 is fixed to the lower end portion of the shaft 34. The pressing member 33 is a member for pressing the end portion of the substrate 1 against the upper surface of the holding unit 60 from the front surface side (upper surface side) of the substrate 1, and is, for example, plastic having a smooth lower surface. In this embodiment, by gently pressing the end portion of the substrate 1 with the pressing member 33, the substrate 1 can be pressed against the suction portion 61 configured in the holding unit 60, and can be securely held by suction. This can prevent a suction failure that occurs when a space is generated between the suction portion and the substrate when there is a slight distortion generated in the substrate 1.

後述するように、被覆シートの切断前に、押圧部材３３は基板１の上方に配置され、回動・昇降ユニット２０による切断ユニット１０の降下により基板１の表面に押し付けられる。このとき、反力として押圧部材３３及び軸３４には上方へ移動する力が基板１から作用するが、弾性部材３５による付勢によって、適度な押圧力で押圧部材３３が基板１を保持ユニット６０へ押圧することになる。 As will be described later, before the covering sheet is cut, the pressing member 33 is disposed above the substrate 1 and is pressed against the surface of the substrate 1 by the lowering of the cutting unit 10 by the rotation / lifting unit 20. At this time, as a reaction force, a force that moves upward is applied to the pressing member 33 and the shaft 34 from the substrate 1, but the pressing member 33 holds the substrate 1 with an appropriate pressing force by the urging force of the elastic member 35. Will be pressed.

なお、本実施形態では、基板１の位置決め用のユニットと、基板１の表面押圧用のユニットを１つの位置決め・押圧ユニット３０で構成したが、別々のユニットとして構成してもよい。 In the present embodiment, the unit for positioning the substrate 1 and the unit for pressing the surface of the substrate 1 are configured by one positioning / pressing unit 30, but may be configured as separate units.

＜制御装置＞
次に、切断装置Ａを制御する制御装置７０について説明する。図６（Ｂ）は制御装置７０のブロック図である。制御装置７０は、ＣＰＵ等の処理部７１と、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク等の記憶部７２と、外部デバイスと処理部７１とをインターフェースするインターフェース部７３と、を備える。 <Control device>
Next, the control device 70 that controls the cutting device A will be described. FIG. 6B is a block diagram of the control device 70. The control device 70 includes a processing unit 71 such as a CPU, a storage unit 72 such as a RAM, a ROM, and a hard disk, and an interface unit 73 that interfaces the external device and the processing unit 71.

処理部７１は、記憶部７２に記憶されたプログラムを実行して、各種センサ７６の検出結果に基づいて、各種アクチュエータ７７を制御する。各種センサ７６には、切断ユニット１０の位置を検出するセンサ等が含まれ、各種アクチュエータ７７にはモータ１３２ａ等が含まれる。入力部７４は作業者の指示を受け付けるキーボード、マウス等であり、表示部７５は各種の情報を表示する画像表示装置である。 The processing unit 71 executes the program stored in the storage unit 72 and controls the various actuators 77 based on the detection results of the various sensors 76. The various sensors 76 include a sensor that detects the position of the cutting unit 10, and the various actuators 77 include a motor 132a. The input unit 74 is a keyboard, a mouse, or the like that receives instructions from the worker, and the display unit 75 is an image display device that displays various types of information.

＜動作例＞
次に、切断装置Ａによる被覆シートのトリミング動作について説明する。本実施形態の場合、移動ユニットＭＵ１の切断ユニット１０と、移動ユニットＭＵ２の切断ユニット１０とが、それぞれ基板１の互いに対向する辺を分担し、基板１の４辺に対して被覆シート２のトリミングを行う。切断時における円板刃１４の向き（辺１ａ、１ｂを含む垂直面に対する円板刃１４の交差角度）は、回動・昇降ユニット２０による切断ユニット１０の回動角度（回動量）により調整されるが、最適値を設定しておくことが好ましい。また、当接部材３２による位置決め時の当接部材３２の位置も最適値を設定しておくことが好ましい。本実施形態では、いわゆるティーチングにより予め記憶部７２に切断時の切断ユニット１０の回動角度（回動量）や、基板１のサイズに応じた切断開始位置のデータ、或いは、当接部材３２の位置のデータを設定し、記憶させておく。 <Operation example>
Next, the trimming operation of the covering sheet by the cutting apparatus A will be described. In the case of this embodiment, the cutting unit 10 of the moving unit MU1 and the cutting unit 10 of the moving unit MU2 share the mutually facing sides of the substrate 1, and trim the covering sheet 2 with respect to the four sides of the substrate 1. I do. The direction of the disc blade 14 at the time of cutting (intersection angle of the disc blade 14 with respect to the vertical plane including the sides 1a and 1b) is adjusted by the rotation angle (rotation amount) of the cutting unit 10 by the rotation / lifting unit 20. However, it is preferable to set an optimum value. Further, it is preferable to set an optimum value for the position of the contact member 32 at the time of positioning by the contact member 32. In this embodiment, the rotation angle (rotation amount) of the cutting unit 10 at the time of cutting in the storage unit 72 in advance by so-called teaching, the data of the cutting start position according to the size of the substrate 1, or the position of the contact member 32 Set and store the data.

図７（Ａ）及び（Ｂ）並びに図８はティーチングの説明図である。図７（Ａ）は当接部材３２による位置決め位置の設定、図７（Ｂ）は基板１の辺１ａに沿う被覆シートの切断に関する情報の設定、図８は基板１の辺１ｂに沿う被覆シートの切断に関する情報の設定を示している。 FIGS. 7A and 7B and FIG. 8 are explanatory diagrams of teaching. 7A shows the setting of the positioning position by the contact member 32, FIG. 7B shows the setting of information relating to the cutting of the covering sheet along the side 1a of the substrate 1, and FIG. 8 shows the covering sheet along the side 1b of the substrate 1. Shows the setting of information related to disconnection.

いずれの場合も、各図に示すように、基準となるサンプルの基板１が保持ユニット６０に、不図示の器具等により位置決めされた状態で保持される。そして、２つのヘッドユニットＨを基板１の近傍に移動した状態で、作業者が手動で切断ユニット１０の回動或いは移動を行い、各位置の設定を行う。 In any case, as shown in each drawing, the reference sample substrate 1 is held by the holding unit 60 in a state of being positioned by an unillustrated instrument or the like. Then, with the two head units H moved to the vicinity of the substrate 1, the operator manually rotates or moves the cutting unit 10 to set each position.

図７（Ａ）の例では、基板１の一方の辺１ａに移動ユニットＭＵ１の２つの当接部材３２を、他方の辺１ａに移動ユニットＭＵ２の２つの当接部材３２を、それぞれ当接させて、その当接時の位置情報を記憶部７２に記憶させる。 In the example of FIG. 7A, the two contact members 32 of the moving unit MU1 are brought into contact with one side 1a of the substrate 1, and the two contact members 32 of the moving unit MU2 are brought into contact with the other side 1a. Then, the position information at the time of contact is stored in the storage unit 72.

また、図７（Ｂ）や図８の例では、作業者が手動で切断ユニット１０の回動或いは移動を行い、円板刃１４を辺１ａや辺１ｂに対して最適な切断位置に位置させる。そして、制御装置７０に、このときの各切断ユニット１０の位置及び回動量を、切断する基板および被覆シートにあわせてサンプル切断動作（基準切断動作）を行うことで最適な切断位置（基準切断位置）を求め、記憶部７２に記憶させる。後述するよう本実施形態では辺１ａに沿ったトリミングにおいては、切断ユニット１０をＸ方向の一方向に移動する場合と、他方向に移動する場合とがあるので、切断ユニット１０の回動量はそれぞれの場合について設定する。以上のティーチング処理により、位置決め時の位置や、切断時の切断ユニット１０の回動角度（回動量）や位置の設定が終了する。 Further, in the examples of FIGS. 7B and 8, the operator manually rotates or moves the cutting unit 10 and positions the disc blade 14 at the optimum cutting position with respect to the side 1 a and the side 1 b. . Then, the control device 70 performs the sample cutting operation (reference cutting operation) in accordance with the position and the rotation amount of each cutting unit 10 at this time in accordance with the substrate to be cut and the covering sheet. ) And stored in the storage unit 72. As will be described later, in this embodiment, in trimming along the side 1a, the cutting unit 10 may move in one direction in the X direction and may move in the other direction. Set for. With the above teaching process, the setting of the position at the time of positioning, the rotation angle (rotation amount) and position of the cutting unit 10 at the time of cutting are completed.

次に、図９乃至図１４を参照して、実際の位置決め動作及びトリミング動作の例について説明する。まず、図９及び図１０を参照して被覆シート２で被覆された基板１の位置決め動作の例について説明する。 Next, an example of an actual positioning operation and trimming operation will be described with reference to FIGS. First, an example of the positioning operation of the substrate 1 covered with the covering sheet 2 will be described with reference to FIGS. 9 and 10.

図９のＳＴ１は、被覆シート２で表面が被覆された基板１が保持ユニット６０上に搬送された状態を示す。図１０のＳＴ１１は、図９のＳＴ１の状態の切断装置Ａの要部をＸ方向から見た図である。保持ユニット６０の載置台６２が上昇位置に位置し、載置台６２上に基板１が載置される。この状態では基板１が位置決めされておらず、本来の位置からずれて載置されている。また、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２の各ヘッドユニットＨは、基板１の辺１ａ、１ａからＹ方向に離間して、基板１を挟んで対向する位置に位置付けた初期位置に位置している。 ST1 in FIG. 9 shows a state in which the substrate 1 whose surface is covered with the covering sheet 2 is conveyed onto the holding unit 60. ST11 in FIG. 10 is a view of the main part of the cutting apparatus A in the state of ST1 in FIG. 9 as viewed from the X direction. The mounting table 62 of the holding unit 60 is located at the raised position, and the substrate 1 is mounted on the mounting table 62. In this state, the substrate 1 is not positioned, and is placed out of the original position. Further, each head unit H of the moving units MU1 and MU2 is located in an initial position that is spaced from the sides 1a and 1a of the substrate 1 in the Y direction and is located at a position facing each other with the substrate 1 interposed therebetween.

この初期位置においては、その後、ヘッドユニットＨをＹ方向に移動させれば当接部材３２による基板１の位置決めがなされるよう、当接部材３２のＸ方向及びＺ方向の位置はティーチング処理で設定された位置決め用の位置情報に基づく位置とされている。 At this initial position, the positions of the contact member 32 in the X and Z directions are set by teaching processing so that the substrate 1 is positioned by the contact member 32 if the head unit H is moved in the Y direction thereafter. The position is based on the positional information for positioning.

次に、当接部材３２のＹ方向の位置がティーチング処理で設定された位置決め用の位置情報に基づく位置となるまで、移動ユニットＭｙの働きにより、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２を互いに近接する方向に移動する（図９のＳＴ２、図１０のＳＴ１２）。各当接部材３２が基板１の辺１ａ、１ａに対して当接することで基板１の位置決めがなされる。本実施形態では、当接部材３２が基板１の辺１ａに当接する位置は、辺１ａの途中部（略真ん中）としている。 Next, the moving units MU1 and MU2 are moved toward each other by the action of the moving unit My until the position of the contact member 32 in the Y direction becomes a position based on the positioning position information set in the teaching process. (ST2 in FIG. 9 and ST12 in FIG. 10). Each contact member 32 contacts the sides 1a and 1a of the substrate 1 so that the substrate 1 is positioned. In the present embodiment, the position where the contact member 32 contacts the side 1a of the substrate 1 is the middle part (substantially middle) of the side 1a.

本実施形態では、このように当接部材３２の基板１への当接により基板１の位置決め（センタリング）を行うので、比較的簡易な構成で基板の位置決めを行うことができ、効率よく被覆シート２の端縁部を切断できる。しかも、当接部材３２の移動機構として、円板刃１４を移動するための機構（移動機構Ｍｘ、Ｍｙ、回動・昇降ユニット２０）を兼用しており、当接部材３２の移動用の移動機構を独自に有する必要がないので、更に簡易な構成となる。 In this embodiment, since the substrate 1 is positioned (centering) by the contact of the contact member 32 with the substrate 1 in this way, the substrate can be positioned with a relatively simple configuration, and the covering sheet can be efficiently obtained. 2 edge portions can be cut. In addition, a mechanism for moving the disc blade 14 (moving mechanisms Mx, My, rotation / lifting unit 20) is also used as a moving mechanism for the contact member 32, and the moving movement of the contact member 32 is performed. Since it is not necessary to have a mechanism independently, the configuration is further simplified.

基板１の位置決めが終了すると、図１０のＳＴ１３に示すように、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２を互いに離間する方向に移動し、載置台６２を降下させる。これにより、基板１が保持ユニット６０の上面に載置される。続いて、図１０のＳＴ１４に示すように、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２を互いに近接する方向に移動し、各ヘッドユニットＨを降下させ、押圧部材３３により基板１の端部を緩やかに保持ユニット６０に押し付ける。押し付けた状態で、吸着部６１を作動して基板１を保持ユニット６０上に保持する。これにより、基板１が所定の位置（切断位置）に位置決めされた状態が維持される。押圧部材３３で押し付けることにより、基板１に生じるわずかな歪みがある場合に吸着部６１と基板１との間に空間が生じることで発生する吸着不良を防止することができる
次に、各ヘッドユニットＨを上昇し、各ヘッドユニットＨ（の押圧部材３３）を基板１から退避した後、被覆シート２のトリミング（切断）動作に移る。本実施形態では、位置決め動作からトリミング動作に短時間で移行できるよう、辺１ａの途中部（略真ん中）から被覆シート２の切断を開始する。これにより、位置決めの動作から切断開始までの動作を連続して行うことができるので、効率よく円板刃１４を移動するための機構を動作させることができる。 When the positioning of the substrate 1 is completed, as shown in ST13 of FIG. 10, the moving units MU1 and MU2 are moved away from each other, and the mounting table 62 is lowered. As a result, the substrate 1 is placed on the upper surface of the holding unit 60. Subsequently, as shown in ST14 of FIG. 10, the moving units MU1 and MU2 are moved in directions close to each other, each head unit H is lowered, and the end portion of the substrate 1 is gently moved to the holding unit 60 by the pressing member 33. Press. In the pressed state, the suction unit 61 is operated to hold the substrate 1 on the holding unit 60. Thereby, the state in which the substrate 1 is positioned at a predetermined position (cutting position) is maintained. By pressing with the pressing member 33, it is possible to prevent a suction failure caused by a space between the suction portion 61 and the substrate 1 when there is a slight distortion generated in the substrate 1. Next, each head unit After H is raised and each head unit H (the pressing member 33) is retracted from the substrate 1, the operation proceeds to a trimming (cutting) operation of the covering sheet 2. In the present embodiment, the covering sheet 2 is started to be cut from the middle portion (substantially the middle) of the side 1a so that the positioning operation can be shifted to the trimming operation in a short time. Thereby, since the operation from the positioning operation to the start of cutting can be performed continuously, the mechanism for moving the disk blade 14 efficiently can be operated.

まず、各ヘッドユニットＨを切断準備位置に移動する。その後、円板刃１４の回転を開始すると共にヘッドユニットＨをＺ方向に移動させ、円板刃１４を被覆シート２の端縁部側に移動する（押し付ける）ことで切断を開始する。このとき、円板刃１４による被覆シート２の端縁部の切断が開始される切断開始位置に切断ユニット１０が位置するよう、切断ユニット１０のＸ及びＹ方向の位置、並びに、回動角度（回動量）はティーチング処理で設定された切断用の情報に基づく位置、回動角度とされている。そして、ヘッドユニットＨを基板１の辺に沿って水平移動（Ｘ又はＹ方向への移動）することで、基板１の辺１ａからはみ出た被覆シート２の端縁部が切断される。 First, each head unit H is moved to the cutting preparation position. Thereafter, the rotation of the disk blade 14 is started, the head unit H is moved in the Z direction, and the disk blade 14 is moved (pressed) toward the edge of the cover sheet 2 to start cutting. At this time, the position of the cutting unit 10 in the X and Y directions and the rotation angle (so that the cutting unit 10 is positioned at the cutting start position where the cutting of the edge of the cover sheet 2 by the disk blade 14 is started) (Rotation amount) is a position and a rotation angle based on cutting information set in the teaching process. And the edge part of the coating sheet 2 which protruded from the edge | side 1a of the board | substrate 1 is cut | disconnected by moving the head unit H horizontally along the edge | side of the board | substrate 1 (movement to a X or Y direction).

なお、切断開始位置と、当接部材３２による基板１の位置決め時の位置とにおいて、Ｘ方向の切断ユニット１０の位置を共通としておくことで、図１０のＳＴ１３で示した切断ユニット１０の移動の際、Ｘ方向の移動が不要となり、位置決め動作からトリミング動作に更に短時間で移行できることになる。 In addition, the position of the cutting unit 10 in the X direction is shared between the cutting start position and the position when the substrate 1 is positioned by the contact member 32, so that the movement of the cutting unit 10 shown in ST13 of FIG. At this time, movement in the X direction is not necessary, and the transition from the positioning operation to the trimming operation can be performed in a shorter time.

次に、図１１乃至図１４を参照して、実際のトリミング動作の例について説明する。図１１のＳＴ３に示すように、本実施形態では、位置決め動作からトリミング動作に短時間で移行できるよう、辺１ａの途中部（略真ん中）から被覆シート２の切断を開始する。各移動機構Ｍｘの働きにより、２つの切断ユニット１０を、Ｘ方向に、かつ、互いに逆向きに移動させながら円板刃１４により辺１ａに沿って被覆シート２の端縁部を切断する。基板１の２辺について同時に被覆シート２のトリミングを行うことができるので、作業効率が高まる。なお、被覆シート２の端縁部を直線的に切断するだけでなく、移動ユニットＭｙも作動させることで、被覆シート２の端縁部をジグザグに切断することも可能である。 Next, an example of an actual trimming operation will be described with reference to FIGS. As shown in ST3 of FIG. 11, in the present embodiment, the cutting of the covering sheet 2 is started from the middle portion (substantially the middle) of the side 1a so that the positioning operation can be shifted to the trimming operation in a short time. By the action of each moving mechanism Mx, the edge portion of the covering sheet 2 is cut along the side 1a by the disc blade 14 while moving the two cutting units 10 in the X direction and in opposite directions. Since the covering sheet 2 can be trimmed simultaneously on the two sides of the substrate 1, the working efficiency is increased. In addition to cutting the edge portion of the covering sheet 2 linearly, it is also possible to cut the edge portion of the covering sheet 2 zigzag by operating the moving unit My.

図１１のＳＴ４に示すように、切断ユニット１０が辺１ａの一方端部に至ると、辺１ａからはみ出る被覆シート２の端縁部の略半分が切断されたことになる（第１部分切断工程）。続いて、残りの半分を切断する作業に移る。まず、移動機構Ｍｘ及び移動ユニットＭｙの働きにより、切断ユニット１０を図１２のＳＴ５で示す準備位置を経由して、ＳＴ６で示す切断開始位置に移動し、切断を開始する。その際、回動・昇降ユニット２０の働きにより、切断ユニット１０の回動角度をティーチング処理で設定した回動角度にする。なお、図１１のＳＴ４の位置から図１２のＳＴ６の位置への切断ユニット１０の移動に際して、そのＺ方向の移動を伴ってもよい。 As shown in ST4 of FIG. 11, when the cutting unit 10 reaches one end portion of the side 1a, substantially half of the end edge portion of the covering sheet 2 protruding from the side 1a is cut (first partial cutting step). ). Subsequently, the operation of cutting the remaining half is started. First, by the action of the moving mechanism Mx and the moving unit My, the cutting unit 10 is moved to the cutting start position indicated by ST6 via the preparation position indicated by ST5 in FIG. 12, and cutting is started. At this time, the rotation angle of the cutting unit 10 is set to the rotation angle set in the teaching process by the function of the rotation / lifting unit 20. Note that the movement of the cutting unit 10 from the position ST4 in FIG. 11 to the position ST6 in FIG. 12 may be accompanied by movement in the Z direction.

続いて、各移動機構Ｍｘの働きにより、２つの切断ユニット１０をＸ方向に、かつ、互いに逆向きに移動させながら円板刃１４により辺１ａに沿って被覆シート２の端縁部を切断する。この場合は、第１部分切断工程における切断方向とは逆方向へ、すなわち辺１ａの他方端部へ切断ユニット１０を移動させることで、被覆シート２の残りの端縁部が切断される（第２部分切断工程）。 Subsequently, the edge of the covering sheet 2 is cut along the side 1a by the disc blade 14 while moving the two cutting units 10 in the X direction and in opposite directions to each other by the action of each moving mechanism Mx. . In this case, the remaining edge portion of the covering sheet 2 is cut by moving the cutting unit 10 in the direction opposite to the cutting direction in the first partial cutting step, that is, to the other end portion of the side 1a. 2 partial cutting step).

基板１の辺１ａに沿う被覆シート２の残りの端縁部の切断が完了すると、辺１ｂに沿う被覆シート２の端縁部の切断作業に移行する。まず、各切断ユニット１０を各切断ユニット１０を一旦基板１から離間させ、ティーチングにより設定した辺１ｂ用の回動角度に、各切断ユニット１０を回動させ、図１３のＳＴ７で示すように一方の切断ユニット１０を切断開始位置に移動させて被覆シートの切断を開始する。 When the cutting of the remaining edge portion of the covering sheet 2 along the side 1a of the substrate 1 is completed, the operation proceeds to the cutting operation of the edge portion of the covering sheet 2 along the side 1b. First, each cutting unit 10 is once separated from the substrate 1, and each cutting unit 10 is rotated to the rotation angle for the side 1b set by teaching, and as shown by ST7 in FIG. The cutting unit 10 is moved to the cutting start position to start cutting the covering sheet.

辺１ｂからはみ出た被覆シート２の端縁部を切断する場合は、２つの駆動スライダ５２が干渉することを防止するために、片側ずつ順次行う。図１３のＳＴ７は、移動ユニットＭＵ１側から切断作業を行う場合を示している。移動ユニットＭＵ２の切断ユニット１０は基板１から離れた位置で待機される。 When cutting the edge of the covering sheet 2 that protrudes from the side 1b, the steps are sequentially performed one by one in order to prevent the two driving sliders 52 from interfering with each other. ST7 in FIG. 13 shows a case where the cutting operation is performed from the mobile unit MU1 side. The cutting unit 10 of the moving unit MU2 stands by at a position away from the substrate 1.

そして、図１３のＳＴ８で示すように移動ユニットＭｙの働きにより移動ユニットＭＵ１を一方のＹ方向（図１３中では上方向）に移動し、同図で左側の辺１ｂからはみ出た被覆シート２の端縁部を切断する。切断が完了すると、図１４のＳＴ９に示すように、切断ユニット１０を他方のＹ方向（図１３中では下方向）に移動させることで、同図で右側の辺１ｂからはみ出した被覆シート２の端縁部の切断を行う。このとき、移動ユニットＭＵ１は、基板１から離間した状態で、かつ、２つの駆動スライダ５２が干渉しない位置まで他方のＹ方向に移動させる。移動ユニットＭＵ２による切断移動と、移動ユニットＭＵ１の退避移動とは、同時に行っても良いし、別々に行っても良い。 Then, as shown by ST8 in FIG. 13, the moving unit MU1 is moved in one Y direction (upward in FIG. 13) by the action of the moving unit My, and the covering sheet 2 protruding from the left side 1b in FIG. Cut the edge. When the cutting is completed, as shown in ST9 of FIG. 14, the cutting unit 10 is moved in the other Y direction (downward in FIG. 13), so that the covering sheet 2 protruding from the right side 1b in FIG. Cut the edge. At this time, the moving unit MU1 is moved away from the substrate 1 and moved in the other Y direction to a position where the two driving sliders 52 do not interfere with each other. The cutting movement by the moving unit MU2 and the retreating movement of the moving unit MU1 may be performed simultaneously or separately.

図１４で右側の辺１ｂからはみ出した被覆シート２の端縁部の切断が完了すると、一連のトリミング作業が終了する。その後、別の基板１について同様のトリミング作業を繰り返し行うことになる。このように本実施形態では、基板１の位置決めに続いて連続的に被覆シート２の端縁部の切断作業を行うことができ、作業効率を向上できる。なお、ティーチング処理は、同サイズの基板１については１度行えばよく、基板１ごとに行う必要はないことは言うまでもない。また、辺１ｂの切断動作については、辺１ａの切断動作と同様に辺１ｂの途中から切断を行ってもよい。 When the cutting of the edge portion of the covering sheet 2 that protrudes from the right side 1b in FIG. 14 is completed, a series of trimming operations are completed. Thereafter, the same trimming operation is repeated for another substrate 1. As described above, in this embodiment, it is possible to continuously perform the cutting operation of the edge portion of the covering sheet 2 following the positioning of the substrate 1, thereby improving the working efficiency. Needless to say, the teaching process may be performed once for the substrates 1 of the same size, and need not be performed for each substrate 1. Moreover, about the cutting | disconnection operation | movement of the edge | side 1b, you may cut | disconnect from the middle of the edge | side 1b similarly to the cutting | disconnection operation | movement of the edge | side 1a.

＜他の実施形態＞
上記実施形態では、移動ユニットＭＵ１、ＭＵ２のいずれの場合も、当接部材３２がヘッドユニットＨに対して不動の構成であるが、移動ユニットＭＵ１、ＭＵ２のいずれか一方においては当接部材３２を可動の構成としてもよい。図１５は位置決め・押圧ユニット３０の進退機構の例を示す分解斜視図である。同図の例は位置決め・押圧ユニット３０を、円板刃１４の回転軸方向に進退させる機構であり、駆動ユニット１３の進退機構と略同様の構成である。 <Other embodiments>
In the above-described embodiment, the contact member 32 is stationary with respect to the head unit H in both of the movement units MU1 and MU2, but the contact member 32 is not used in either of the movement units MU1 and MU2. It is good also as a movable structure. FIG. 15 is an exploded perspective view showing an example of the advance / retreat mechanism of the positioning / pressing unit 30. The example in the figure is a mechanism for moving the positioning / pressing unit 30 forward and backward in the direction of the rotation axis of the disc blade 14, and has a configuration substantially similar to the forward / backward mechanism of the drive unit 13.

図１５の機構において、主支持部１１'は上記の主支持部１１に代わる板状の部材であり、その下面には上述した駆動ユニット１３やその進退機構と同様の構成が配設される。図１５において矢印ｄ１は円板刃１４の回転軸方向（回転軸体１３３の軸方向）を示している。 In the mechanism of FIG. 15, the main support portion 11 ′ is a plate-like member that replaces the main support portion 11, and the same configuration as the drive unit 13 and the advance / retreat mechanism described above is disposed on the lower surface thereof. In FIG. 15, an arrow d <b> 1 indicates the rotation axis direction of the disk blade 14 (the axial direction of the rotation shaft body 133).

主支持部１１'の上面には、ｄ１方向に延設されたレール部材２１１が一対固定されている。このレール部材２１１には、板状の支持部２１４の下面に固定された一対のスライド部材２１５が係合し、レール部材２１１はスライド部材２１５の移動を案内する。 A pair of rail members 211 extending in the d1 direction are fixed to the upper surface of the main support portion 11 ′. The rail member 211 engages with a pair of slide members 215 fixed to the lower surface of the plate-like support portion 214, and the rail member 211 guides the movement of the slide member 215.

位置決め・押圧ユニット３０は、本体部３１に代わる本体部３１'が本体部３１と外形形状が異なるだけで、その余の構成は上述した位置決め・押圧ユニット３０と同様である。位置決め・押圧ユニット３０は、その本体部３１'の上部が支持部２１４の下面に固定されることで支持部２１４に支持される。レール部材２１１の案内により、支持部２１４、スライド部材２１５及び位置決め・押圧ユニット３０は一体的にｄ１方向に進退自在となっている。位置決め・押圧ユニット３０は、当接部３２が円板刃１４よりも基板１寄りに位置するよう、主支持部１１'に対して取付、配置される。 The positioning / pressing unit 30 is the same as the positioning / pressing unit 30 described above except that a main body 31 ′ replacing the main body 31 is different from the main body 31 in outer shape. The positioning / pressing unit 30 is supported by the support portion 214 by fixing the upper portion of the main body portion 31 ′ to the lower surface of the support portion 214. By the guide of the rail member 211, the support portion 214, the slide member 215, and the positioning / pressing unit 30 are integrally movable in the d1 direction. The positioning / pressing unit 30 is attached to and arranged on the main support portion 11 ′ so that the contact portion 32 is positioned closer to the substrate 1 than the disc blade 14.

主支持部１１'には、ストッパ部２１２ａ、２１２ｂが設けられており、支持部２１４の正面、背面に当接することで、支持部２１４の進退範囲を規制する。 The main support portion 11 ′ is provided with stopper portions 212 a and 212 b, and the advancing / retreating range of the support portion 214 is restricted by contacting the front and back surfaces of the support portion 214.

主支持部１１'の上面には、支持部２１４を、基板１に近接する方向に常時付勢する付勢部２１３が設けられている。付勢部２１３は、伝達部材２１３ａと、支持軸２１３ｂと、支持部２１３ｃと、弾性部材２１３ｄと、受け部材２１３ｅと、を備える。支持軸２１３ｂはレール部材２１１と平行に延設され、その両端部が支持部２１３ｃで支持されている。伝達部材部材２１３ａは、支持軸２１３ｂが貫通する穴を有したＬ字型の部材であり、支持軸２１３ｂに案内されて移動可能となっている。そして、伝達部材２１３ａの上部に支持部２１４が連結されている。 On the upper surface of the main support portion 11 ′, an urging portion 213 that constantly urges the support portion 214 in a direction close to the substrate 1 is provided. The urging portion 213 includes a transmission member 213a, a support shaft 213b, a support portion 213c, an elastic member 213d, and a receiving member 213e. The support shaft 213b extends in parallel with the rail member 211, and both ends thereof are supported by the support portion 213c. The transmission member 213a is an L-shaped member having a hole through which the support shaft 213b passes, and is movable while being guided by the support shaft 213b. And the support part 214 is connected with the upper part of the transmission member 213a.

受け部材２１３ｅには支持軸２１３ｂが貫通しており、伝達部材２１３ａと受け部材２１３ｅとの間には、支持軸２１３ｂに挿通させて弾性部材２１３ｄが介在されている。弾性部材２１３ｄは本実施形態の場合コイルスプリングであり、伝達部材２１３ａと受け部材２１３ｅとを互いに離間させる方向に付勢力を発揮する圧縮コイルばねである。この弾性部材２１３ｄの付勢力は伝達部材２１３ａを介して支持部２３１に伝達される。 A support shaft 213b passes through the receiving member 213e, and an elastic member 213d is interposed between the transmission member 213a and the receiving member 213e so as to pass through the support shaft 213b. In the present embodiment, the elastic member 213d is a coil spring, and is a compression coil spring that exerts an urging force in a direction in which the transmission member 213a and the receiving member 213e are separated from each other. The urging force of the elastic member 213d is transmitted to the support portion 231 through the transmission member 213a.

弾性部材２１３ｄの付勢により、伝達部材２１３ａに連結された支持部２１４は、基板１に近接する方向に常時付勢される。つまり、支持部２１４に支持された位置決め・押圧ユニット３０はｄ１方向で、かつ、基板１に近接する方向に常時付勢されることになる。 By the biasing of the elastic member 213d, the support portion 214 connected to the transmission member 213a is constantly biased in the direction approaching the substrate 1. That is, the positioning / pressing unit 30 supported by the support portion 214 is always urged in the d1 direction and in the direction close to the substrate 1.

さて、係る構成からなる進退機構は、移動ユニットＭＵ１、ＭＵ２のヘッドユニットＨのいずれか一方に設けられ、他方については、図３や図４に示した当接部材３２がヘッドユニットＨに対して不動の構成とする。ここでは説明の便宜上、移動ユニットＭＵ１のヘッドユニットＨに上記の進退機構を設けて当接部材３２を可動とした場合を想定する。 The advancing / retreating mechanism having such a configuration is provided in one of the head units H of the moving units MU1 and MU2, and the contact member 32 shown in FIG. A non-moving configuration. Here, for convenience of explanation, it is assumed that the advancing / retreating mechanism is provided in the head unit H of the moving unit MU1 to make the contact member 32 movable.

この構成の場合、図９のＳＴ１、ＳＴ２並びに図１０のＳＴ１１、ＳＴ１２で示したように、移動ユニットＭＵ１側の当接部材３２と、移動ユニットＭＵ２側の当接部材３２とで基板１を挟むことで位置決めを行う際、移動ユニットＭＵ１側の当接部材３２は基板１の辺１ａに対して近接・離間する方向に進退可能であるので、移動ユニットＭＵ２側の当接部材３２の位置が正確であれば足りる。つまり、位置決め時における移動ユニットＭＵ１側の当接部材３２の位置制御は正確性が要求されなくなり、制御の簡便化を図れる。また、当接部材３２が基板１の辺１ａに当接する際のショックが緩和され、基板１の保護も図れる。 In this configuration, as shown in ST1 and ST2 in FIG. 9 and ST11 and ST12 in FIG. 10, the substrate 1 is sandwiched between the contact member 32 on the moving unit MU1 side and the contact member 32 on the moving unit MU2 side. Therefore, when the positioning is performed, the contact member 32 on the moving unit MU1 side can advance and retreat in a direction approaching and separating from the side 1a of the substrate 1, so that the position of the contact member 32 on the moving unit MU2 side is accurate. If it is enough. That is, the position control of the contact member 32 on the moving unit MU1 side at the time of positioning does not require accuracy, and the control can be simplified. Further, the shock when the contact member 32 contacts the side 1a of the substrate 1 is alleviated, and the substrate 1 can be protected.

Claims

In a cutting device for cutting the edge of the covering sheet that covers the rectangular substrate,
A first head unit, and a first moving mechanism that supports the first head unit and moves the first head unit in a direction parallel to a first set of sides of the rectangular substrate facing each other. A first mobile unit comprising:
A second head unit, and a second moving mechanism that supports the second head unit and moves the second head unit in a direction parallel to the first set of sides of the rectangular substrate. A mobile unit;
A third movement unit for moving the first and second movement units in a direction parallel to a second set of sides of the rectangular substrate facing each other;
With
The first head unit is
A first positioning unit including a first contact member that is in contact with one side of the rectangular substrate and a first cutting unit that cuts the cover sheet;
The second head unit is
A cutting apparatus comprising: a second positioning unit including a second abutting member that abuts on the other side of the rectangular substrate facing the one side; and a second cutting unit that cuts the cover sheet.

The first head unit is
A first rotating unit for rotating the first cutting unit around an axis extending in a direction parallel to a normal direction on the substrate surface of the rectangular substrate;
The second head unit is
2. The cutting according to claim 1, further comprising a second rotating unit that rotates the second cutting unit about an axis extending in a direction parallel to a normal direction on a substrate surface of the rectangular substrate. apparatus.

The first head unit further includes first elevating means for moving the first cutting unit to be movable up and down in the axial direction of the shaft,
2. The cutting apparatus according to claim 1, wherein the second head unit further includes second elevating means that moves the second cutting unit so as to move up and down in the axial direction of the shaft.

The first cutting unit includes a first rotation driving unit that supports a first disk blade that cuts the cover sheet and rotates the first disk blade,
The second cutting unit includes a second rotation driving unit that supports a second disk blade that cuts the cover sheet and rotates the second disk blade,
The rotation center axis of the first head unit is included on a plane parallel to the plane including the first disc blade, and is orthogonal to the rotation axis direction of the first disc blade,
The rotation center axis of the second head unit is included in a plane parallel to the plane including the second disk blade, and is orthogonal to the rotation axis direction of the second disk blade. The cutting device according to claim 2.

The first cutting unit includes:
A first rotation driving means for supporting the first disk blade for cutting the covering sheet and rotating the first disk blade;
The second cutting unit is
A second rotation driving means for supporting the second disk blade for cutting the covering sheet and rotating the second disk blade;
The first head unit is
Guiding means for guiding the movement of the first disc blade in the rotational axis direction of the first positioning unit;
An urging means for urging the first positioning unit in one direction in the rotation axis direction of the first disc blade;
The cutting device according to claim 1, comprising:

A holding means for holding the rectangular substrate from the back side;
The first head unit further includes a first pressing unit that presses an end of the rectangular substrate from the front surface side,
The cutting apparatus according to claim 1, wherein the second head unit further includes a second pressing unit that presses an end portion of the rectangular substrate from the front surface side.

Positioning control for positioning the rectangular substrate by moving the first and second moving units by the third moving unit from a position where the first and second head units face each other with the rectangular substrate interposed therebetween;
The first and second moving mechanisms move the first and second head units in directions parallel to the respective sides of the first set in the positioned rectangular substrate, while moving the cover sheet A first cutting control for cutting along an edge of the rectangular substrate;
The cutting apparatus according to claim 1, further comprising control means for executing