JP2012093765A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 複製材料から素子を複製するための複製ツールであって、この複製ツールは、
   複製側と、１つの素子または一群の素子の形状をそれぞれ画定する、複製側の複数のキャビティと、複数段で流れを制限するための流れ制限部とを備えた、複製ツール。
2. 前記素子または一群の素子は素子領域を有し、
   前記流れ制限部は、前記複製ツールが基板に対して押圧された際に、前記素子領域を越えた前記基板の領域への前記複製材料の流れを制限するように構成される、請求項１に記載の複製ツール。
3. 前記流れ制限部は、前記複製ツールが基板に対して押圧された際に、前記複製ツールと前記基板間に位置する複製材料の量で、前記複製材料の流れを止めるように構成され、
   前記複製ツールと前記基板間に実際に存在する複製材料の量に依存して、前記流れは早い段階あるいは遅い段階で止まる、請求項１または請求項２に記載の複製ツール。
4. 前記流れ制限部の切れ目部は、前記素子または一群の素子の外形に付随した形状を形成する、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の複製ツール。
5. 前記流れ制限部の切れ目部は円形である、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の複製ツール。
6. 前記素子は円形であり、前記複数のキャビティはそれぞれ前記素子の形状を規定し、
   前記流れ制限部の切れ目部は、前記キャビティの周囲に同心円を描くように設けられる、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の複製ツール。
7. 前記キャビティから前記複製側に突出する少なくとも１つのスペーサ部を備える、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の複製ツール。
8. 前記少なくとも１つのスペーサ部は、浮動スペーサを形成する、請求項７に記載の複製ツール。
9. 前記流れ制限部は、前記スペーサ部によって前記キャビティから分離される、請求項８に記載の複製ツール。
10. 前記素子または一群の素子は、光学素子または一群の光学素子である、請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の複製ツール。
11. 前記素子または一群の素子は、電磁放射に影響を与えることが可能なものである、請求項１０に記載の複製ツール。
12. 前記キャビティの各々は、前記光学素子または一群の光学素子の構造の少なくとも幾つかの凹状の構造を有する複製表面を規定する、請求項１０または請求項１１に記載の複製ツール。
13. 前記キャビティの各々は、素子容積部と、該素子容積部の周囲に更なる容積部とを備え、前記更なる容積部の境界は、毛管力と表面張力の少なくとも一方によって前記複製材料の流れを選択的に制御するための切れ目を備える、請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の複製ツール。