JP2012078258A - 磁気センサモジュール及び磁気センサモジュールの製造方法 - Google Patents
磁気センサモジュール及び磁気センサモジュールの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012078258A JP2012078258A JP2010225113A JP2010225113A JP2012078258A JP 2012078258 A JP2012078258 A JP 2012078258A JP 2010225113 A JP2010225113 A JP 2010225113A JP 2010225113 A JP2010225113 A JP 2010225113A JP 2012078258 A JP2012078258 A JP 2012078258A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- element substrate
- substrate
- magnetic
- semiconductor substrate
- mounting surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
【課題】一対の主面が実装面に対して垂直となるように、半導体基板(素子基板)を容易かつ確実に実装面上に実装することが可能な磁気センサモジュール、及び、当該磁気センサモジュールの製造方法を提供する。
【解決手段】一対の主面51,52に対して平行な磁場を検出する感磁部54が形成された半導体基板50と、該半導体基板50が実装される実装面21を有するモジュール基板20とを備える磁気センサモジュールに10おいて、半導体基板50を一対の主面51,52がそれぞれ実装面21に対して垂直をなす状態で該実装面21上に配置し、これら一対の主面51,52の双方を実装面21に対し金属バンプ60を介して接合する。
【選択図】図1
【解決手段】一対の主面51,52に対して平行な磁場を検出する感磁部54が形成された半導体基板50と、該半導体基板50が実装される実装面21を有するモジュール基板20とを備える磁気センサモジュールに10おいて、半導体基板50を一対の主面51,52がそれぞれ実装面21に対して垂直をなす状態で該実装面21上に配置し、これら一対の主面51,52の双方を実装面21に対し金属バンプ60を介して接合する。
【選択図】図1
Description
本発明は、磁気センサモジュール、及び、該磁気センサモジュールの製造方法に関する。
近年、地磁気を検出する磁気センサモジュールを電子機器に搭載する需要が高まっており、当該磁気センサモジュールは例えばナビゲーションシステムにおいて方位情報を取得するための電子コンパスにも搭載されている。
この磁気センサモジュールは例えばX軸、Y軸及びZ軸方向の磁場をそれぞれ測定可能な素子基板(半導体基板)がモジュール基板上に実装された構成をなしており、当該素子基板により測定される三軸方向の地磁気の測定値に基づいて、地磁気の伏角の影響を受けることなく方位情報を正確に取得することができるようになっている。
この磁気センサモジュールは例えばX軸、Y軸及びZ軸方向の磁場をそれぞれ測定可能な素子基板(半導体基板)がモジュール基板上に実装された構成をなしており、当該素子基板により測定される三軸方向の地磁気の測定値に基づいて、地磁気の伏角の影響を受けることなく方位情報を正確に取得することができるようになっている。
ここで、一般に磁場を検出する素子基板は、一対の主面に平行な一方向の磁場を検出可能なMRセンサ等の感磁部が該主面に形成された構造をなしている。したがって、三軸方向の磁場を検出するためには、モジュール基板に対する垂直方向(Z軸方向)の磁場を検出すべく、少なくとも一つの素子基板をその一対の主面がモジュール基板の実装面に対して垂直となるように、該実装面上に立設させて実装する必要がある。
素子基板をモジュール基板に対して垂直に立設する実装方法としては、例えば特許文献1に開示されたものが知られている。この方法によれば、素子基板をモジュール基板上に垂直に立設させた状態において、素子基板の一方の主面に配置されたはんだバンプとモジュール基板上の電極パッドとをリフロー処理(加熱処理)によって溶融接合することで、素子基板をモジュール基板に対して実装する。
さらに、素子基板をモジュール基板上に垂直に立設する方法としては、例えば特許文献2及び3に開示されたものが知られている。
特許文献2に記載の技術によれば、複数の素子基板を互いに当接させた状態でこれら素子基板をモジュール基板上に垂直に配置する。また、特許文献3に記載の技術によれば、モジュール基板に溝を形成して該溝に素子基板を立設状態で嵌め込むことで素子基板をモジュール基板に垂直に配置する。
特許文献2に記載の技術によれば、複数の素子基板を互いに当接させた状態でこれら素子基板をモジュール基板上に垂直に配置する。また、特許文献3に記載の技術によれば、モジュール基板に溝を形成して該溝に素子基板を立設状態で嵌め込むことで素子基板をモジュール基板に垂直に配置する。
ところで、上記特許文献1に開示された実装方法によりモジュール基板上に素子基板を実装した場合、素子基板がモジュール基板の垂直方向に対して傾斜して固定されてしまうという問題があった。
即ち、素子基板の一方の主面のはんだバンプとモジュール基板の電極パッドとをリフロー処理によって溶融接合する際には、加熱溶融したはんだバンプに表面張力が発生する。そして、この表面張力によって素子基板がモジュール基板側に引き寄せられる結果、素子基板がモジュール基板の垂直方向から傾斜する虞があった。この様に、素子基板がモジュール基板の垂直方向に対して傾斜して配置された場合、素子基板とモジュール基板とが構造的に不安定な状態で配置されるため、素子基板とモジュール基板との接続信頼性が低いという問題があった。
即ち、素子基板の一方の主面のはんだバンプとモジュール基板の電極パッドとをリフロー処理によって溶融接合する際には、加熱溶融したはんだバンプに表面張力が発生する。そして、この表面張力によって素子基板がモジュール基板側に引き寄せられる結果、素子基板がモジュール基板の垂直方向から傾斜する虞があった。この様に、素子基板がモジュール基板の垂直方向に対して傾斜して配置された場合、素子基板とモジュール基板とが構造的に不安定な状態で配置されるため、素子基板とモジュール基板との接続信頼性が低いという問題があった。
これに対して、特許文献2に開示されているように、複数の素子基板を互いに接触させた状態でモジュール基板上に配置し、これらモジュール基板同士が互い支え合うことにより傾斜を回避する手法が考えられる。
しかしながら、複数の半導体素子を互いに支持し合えるようにモジュール基板上に実装するには高度な実装精度が必要であるため、技術的に困難であるという問題がある。さらに、溶融したはんだバンプの表面張力が大きい場合には、当該表面張力に抗して素子基板同士が互いに支持し合うことができず、やはり素子基板が傾斜状態で実装される虞があった。
しかしながら、複数の半導体素子を互いに支持し合えるようにモジュール基板上に実装するには高度な実装精度が必要であるため、技術的に困難であるという問題がある。さらに、溶融したはんだバンプの表面張力が大きい場合には、当該表面張力に抗して素子基板同士が互いに支持し合うことができず、やはり素子基板が傾斜状態で実装される虞があった。
一方、特許文献3に示すように、半導体基板をモジュール基板に形成した溝に嵌合させることによりモジュール基板に対して垂直に立設する方法も考えられるが、当該溝の加工精度、半導体チップと溝とのクリアランス又は半導体の垂直度の最適化等、検討すべき課題が多く残るため、技術的に困難である。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、一対の主面が実装面に対して垂直となるように、素子基板を容易に実装することが可能な磁気センサモジュール、及び、当該磁気センサモジュールの製造方法を提供することを目的とする。
本発明の請求項1に係る磁気センサモジュールは、一対の主面に対して平行な磁場を検出する感磁部が形成された素子基板と、該素子基板が実装される実装面を有するモジュール基板とを備える磁気センサモジュールであって、前記素子基板は、前記一対の主面がそれぞれ前記実装面に対して垂直をなす状態で該実装面上に配置され、これら一対の主面の双方が前記実装面に対し金属バンプを介して接合されていることを特徴とする。
本発明の請求項2に係る磁気センサモジュールは、請求項1において、前記金属バンプが、前記一対の主面において互いに対称な位置に配されていることを特徴とする。
本発明の請求項3に係る磁気センサモジュールは、請求項1又は2において前記感磁部は、一方の前記主面に形成された第一感磁部と、他方の前記主面に形成された第二感磁部とを有していることを特徴とする。
本発明の請求項4に係る磁気センサモジュールは、請求項3において、前記第一感磁部と前記第二感磁部との検出可能な磁場の方向が互いに直交していることを特徴とする。
本発明の請求項5に係る磁気センサモジュールは、請求項3において、前記第一感磁部と前記第二感磁部との検出可能な磁場の方向が互いに平行をなしていることを特徴とする。
本発明の請求項6に係る磁気センサモジュールの製造方法は、一対の主面に対して平行な磁場を検出する感磁部が形成された素子基板を、モジュール基板の実装面上に実装してなる磁気センサモジュールの製造方法であって、前記素子基板における前記一対の主面の双方に金属バンプを形成する工程と、前記一対の主面がモジュール基板の実装面に対して垂直をなすように、前記素子基板を前記実装面上に載置する工程と、前記金属バンプを加熱溶融させて、前記一対の主面を前記金属バンプを介して前記実装面に接合する工程とを備えることを特徴とする。
本発明の請求項7に係る磁気センサモジュールの製造方法は、請求項6において、前記金属バンプを、前記一対の主面において互いに対称な位置となるように前記一対の主面の双方に形成することを特徴とする。
本発明の請求項8に係る磁気センサモジュールは、一対の主面を有する第一素子基板及び第二素子基板と、これら第一素子基板及び第二素子基板が実装される実装面を有するモジュール基板とを備え、前記第一素子基板に前記一対の主面に対して平行な磁場を検出する第一感磁部が形成された磁気センサモジュールであって、前記第一素子基板及び前記第二素子基板は、それぞれの一方の前記主面同士を当接させた状態で、前記一対の主面が前記実装面に対して垂直をなすように、前記実装面上に配置され、前記第一素子基板及び前記第二素子基板の双方の他方の前記主面が、前記実装面に対し金属バンプを介して接合されていることを特徴とする。
本発明の請求項9に係る磁気センサモジュールは、請求項8において、前記金属バンプが、前記第一素子基板における他方の前記主面と、前記第二素子基板における他方の前記主面とにおいて、互いに対称な位置に配されていることを特徴とする。
本発明の請求項10に係る磁気センサモジュールは、請求項8又は9において、前記第一感磁部が、前記第一素子基板の一方の前記主面に形成され、該第一素子基板の一方の前記主面が、前記第一感磁部を介して前記第二素子基板の一方の前記主面に当接していることを特徴とする。
本発明の請求項11に係る磁気センサモジュールは、請求項8乃至10において、前記第一素子基板に、該第一素子基板の前記一対の主面に対して平行な磁場を検出する第二感磁部が形成されていることを特徴とする。
本発明の請求項12に係る磁気センサモジュールは、請求項8又は9において、前記第二素子基板に、該第二素子基板の前記一対の主面に対して平行な磁場を検出する第二感磁部が形成されていることを特徴とする。
本発明の請求項13に係る磁気センサモジュールは、請求項12において、前記第一感磁部と前記第二感磁部との少なくとも一方が、前記第一素子基板又は前記第二素子基板の一方の前記主面に形成され、前記第一素子基板の一方の前記主面と前記第二素子基板の他方の前記主面とが、前記第一感磁部と前記第二感磁部との少なくとも一方を介して当接していることを特徴とする。
本発明の請求項14に係る磁気センサモジュールは、請求項11乃至13において、前記第一感磁部と前記第二感磁部との検出可能な磁場の方向が互いに直交していることを特徴とする。
本発明の請求項15に係る磁気センサモジュールは、請求項11乃至13において、前記第一感磁部と前記第二感磁部との検出可能な磁場の方向が互いに平行をなしていることを特徴とする。
本発明の請求項16に係る磁気センサモジュールは、請求項8乃至15において、前記第一素子基板の一方の前記主面と前記第二素子基板の一方の前記主面とが、スペーサを介して当接していることを特徴とする。
本発明の請求項17に係る磁気センサモジュールの製造方法は、一対の主面を有する第一素子基板と第二素子基板と、これら第一素子基板及び第二素子基板が実装される実装面を有するモジュール基板とを備え、前記第一素子基板に該第一素子基板の前記一対の主面に対して平行な磁場を検出する第一感磁部が形成された磁気センサモジュールの製造方法であって、第一素子基板及び第二素子基板のそれぞれの一方の主面を互いに当接させる工程と、第一素子基板及び第二素子基板のそれぞれの他方の主面に金属バンプを形成する工程と、第一素子基板及び第二素子基板のそれぞれの前記一対の主面がモジュール基板の実装面に対して垂直をなすように、これら第一素子基板及び第二素子基板を前記実装面上に載置する工程と、前記金属バンプを加熱溶融させて、第一素子基板及び第二素子基板のそれぞれの他方の主面を前記金属バンプを介して前記実装面に接合する工程とを備えることを特徴とする。
本発明の請求項18に係る磁気センサモジュールの製造方法は、請求項17において、前記金属バンプが、前記第一素子基板における他方の前記主面と、前記第二素子基板における他方の主面とにおいて、互いに対称な位置に配されていることを特徴とする。
本発明の請求項2に係る磁気センサモジュールは、請求項1において、前記金属バンプが、前記一対の主面において互いに対称な位置に配されていることを特徴とする。
本発明の請求項3に係る磁気センサモジュールは、請求項1又は2において前記感磁部は、一方の前記主面に形成された第一感磁部と、他方の前記主面に形成された第二感磁部とを有していることを特徴とする。
本発明の請求項4に係る磁気センサモジュールは、請求項3において、前記第一感磁部と前記第二感磁部との検出可能な磁場の方向が互いに直交していることを特徴とする。
本発明の請求項5に係る磁気センサモジュールは、請求項3において、前記第一感磁部と前記第二感磁部との検出可能な磁場の方向が互いに平行をなしていることを特徴とする。
本発明の請求項6に係る磁気センサモジュールの製造方法は、一対の主面に対して平行な磁場を検出する感磁部が形成された素子基板を、モジュール基板の実装面上に実装してなる磁気センサモジュールの製造方法であって、前記素子基板における前記一対の主面の双方に金属バンプを形成する工程と、前記一対の主面がモジュール基板の実装面に対して垂直をなすように、前記素子基板を前記実装面上に載置する工程と、前記金属バンプを加熱溶融させて、前記一対の主面を前記金属バンプを介して前記実装面に接合する工程とを備えることを特徴とする。
本発明の請求項7に係る磁気センサモジュールの製造方法は、請求項6において、前記金属バンプを、前記一対の主面において互いに対称な位置となるように前記一対の主面の双方に形成することを特徴とする。
本発明の請求項8に係る磁気センサモジュールは、一対の主面を有する第一素子基板及び第二素子基板と、これら第一素子基板及び第二素子基板が実装される実装面を有するモジュール基板とを備え、前記第一素子基板に前記一対の主面に対して平行な磁場を検出する第一感磁部が形成された磁気センサモジュールであって、前記第一素子基板及び前記第二素子基板は、それぞれの一方の前記主面同士を当接させた状態で、前記一対の主面が前記実装面に対して垂直をなすように、前記実装面上に配置され、前記第一素子基板及び前記第二素子基板の双方の他方の前記主面が、前記実装面に対し金属バンプを介して接合されていることを特徴とする。
本発明の請求項9に係る磁気センサモジュールは、請求項8において、前記金属バンプが、前記第一素子基板における他方の前記主面と、前記第二素子基板における他方の前記主面とにおいて、互いに対称な位置に配されていることを特徴とする。
本発明の請求項10に係る磁気センサモジュールは、請求項8又は9において、前記第一感磁部が、前記第一素子基板の一方の前記主面に形成され、該第一素子基板の一方の前記主面が、前記第一感磁部を介して前記第二素子基板の一方の前記主面に当接していることを特徴とする。
本発明の請求項11に係る磁気センサモジュールは、請求項8乃至10において、前記第一素子基板に、該第一素子基板の前記一対の主面に対して平行な磁場を検出する第二感磁部が形成されていることを特徴とする。
本発明の請求項12に係る磁気センサモジュールは、請求項8又は9において、前記第二素子基板に、該第二素子基板の前記一対の主面に対して平行な磁場を検出する第二感磁部が形成されていることを特徴とする。
本発明の請求項13に係る磁気センサモジュールは、請求項12において、前記第一感磁部と前記第二感磁部との少なくとも一方が、前記第一素子基板又は前記第二素子基板の一方の前記主面に形成され、前記第一素子基板の一方の前記主面と前記第二素子基板の他方の前記主面とが、前記第一感磁部と前記第二感磁部との少なくとも一方を介して当接していることを特徴とする。
本発明の請求項14に係る磁気センサモジュールは、請求項11乃至13において、前記第一感磁部と前記第二感磁部との検出可能な磁場の方向が互いに直交していることを特徴とする。
本発明の請求項15に係る磁気センサモジュールは、請求項11乃至13において、前記第一感磁部と前記第二感磁部との検出可能な磁場の方向が互いに平行をなしていることを特徴とする。
本発明の請求項16に係る磁気センサモジュールは、請求項8乃至15において、前記第一素子基板の一方の前記主面と前記第二素子基板の一方の前記主面とが、スペーサを介して当接していることを特徴とする。
本発明の請求項17に係る磁気センサモジュールの製造方法は、一対の主面を有する第一素子基板と第二素子基板と、これら第一素子基板及び第二素子基板が実装される実装面を有するモジュール基板とを備え、前記第一素子基板に該第一素子基板の前記一対の主面に対して平行な磁場を検出する第一感磁部が形成された磁気センサモジュールの製造方法であって、第一素子基板及び第二素子基板のそれぞれの一方の主面を互いに当接させる工程と、第一素子基板及び第二素子基板のそれぞれの他方の主面に金属バンプを形成する工程と、第一素子基板及び第二素子基板のそれぞれの前記一対の主面がモジュール基板の実装面に対して垂直をなすように、これら第一素子基板及び第二素子基板を前記実装面上に載置する工程と、前記金属バンプを加熱溶融させて、第一素子基板及び第二素子基板のそれぞれの他方の主面を前記金属バンプを介して前記実装面に接合する工程とを備えることを特徴とする。
本発明の請求項18に係る磁気センサモジュールの製造方法は、請求項17において、前記金属バンプが、前記第一素子基板における他方の前記主面と、前記第二素子基板における他方の主面とにおいて、互いに対称な位置に配されていることを特徴とする。
本発明の磁気センサモジュールによれば、はんだバンプ溶融時の表面張力によって生じる素子基板を実装面に引き寄せる力が相殺されるため、一対の主面を実装面に対して垂直となるように容易かつ低コストに実装することができる。また、素子基板とモジュール基板とを構造的に安定した状態で配置できるため、素子基板とモジュール基板との実装信頼性を向上させることができる。
本発明の磁気センサモジュールの製造方法によれば、素子基板を実装する際において、はんだバンプ溶融時の表面張力による該素子基板を実装面に引き寄せる力を相殺することができる。したがって、一対の主面が実装面に対して垂直となるように素子基板を容易に実装することが可能となる。
本発明の磁気センサモジュールの製造方法によれば、素子基板を実装する際において、はんだバンプ溶融時の表面張力による該素子基板を実装面に引き寄せる力を相殺することができる。したがって、一対の主面が実装面に対して垂直となるように素子基板を容易に実装することが可能となる。
<第一実施形態>
以下、本発明の第一実施形態に係る磁気センサモジュールについて図面を参照して詳細に説明する。
図1及び図2に示すように、本実施形態に係る磁気センサモジュール10は、ベースとなるモジュール基板20と、該モジュール基板20の実装面21上にそれぞれ実装されたICチップ30、センサ基板40及び半導体基板(素子基板)50とから構成されている。
以下、本発明の第一実施形態に係る磁気センサモジュールについて図面を参照して詳細に説明する。
図1及び図2に示すように、本実施形態に係る磁気センサモジュール10は、ベースとなるモジュール基板20と、該モジュール基板20の実装面21上にそれぞれ実装されたICチップ30、センサ基板40及び半導体基板(素子基板)50とから構成されている。
モジュール基板20は絶縁体から形成された矩形板状をなす部材であって、例えば、ガラスコンポジット基板、ガラスエポキシ基板、セラミックス基板、フレキシブルプリント基板等の公知のプリント基板が適用される。このモジュール基板20を水平に配置した状態における該モジュール基板20の上面が、上記ICチップ30、センサ基板40及び半導体基板50が実装される実装面21とされている。なお、この実装面21には、例えば印刷技術を用いて形成された回路(図示省略)が形成されている。
ICチップ30は矩形平板状をなすチップであって、例えば上記センサ基板40及び半導体基板50に対する制御信号の処理や、センサ基板40及び半導体基板50の出力の処理を行う機能を有している。このICチップ30は、上記モジュール基板20の実装面21上に配置され、例えばボンディングワイヤやはんだ等を介して、実装面21上の回路に電気的に接合されている。
センサ基板40は矩形平板状の基板であって、モジュール基板20の実装面21と平行に延在するように該実装面21上に配置されている。このセンサ基板40もICチップ30と同様、例えばボンディングワイヤやはんだ等を介して、実装面21の回路に電気的に接合されている。
このセンサ基板40が実装面21上に配置された状態における該センサ基板40の上面には、二つの感磁部(図示省略)が形成されている。または、一つの感磁部が形成されたセンサ基板を、2つ組み合わせることによってセンサ基板40と同等な機能をもつようにしてもよい。これら感磁部は、それぞれ実装面に平行かつ互いに直交する方向の磁場をそれぞれ検出可能とされており、これによって、センサ基板40は実装面21に平行な二軸方向の磁場を検出可能とされている。なお、感磁部としてはホールセンサ、MRセンサ、MIセンサ又はフラックスゲート等の種々の磁場検出手段を適用することができる。
半導体基板50は矩形平板状をなす基板であって、図1〜図3に示すように、モジュール基板20の実装面21に対して垂直に延在するように該実装面21上に立設されている。
即ち、この半導体基板50は互いに平行をなして表裏の関係を有する一対の主面51,52を備えており、これら一対の主面51,52に直交する端面を底面53として、該底面53が実装面21に接触するように該実装面21上に配置されている。これにより、一対の主面51,52はそれぞれ実装面21に対して垂直をなすように配置され、半導体基板50の延在方向が実装面21に対して直交する。
即ち、この半導体基板50は互いに平行をなして表裏の関係を有する一対の主面51,52を備えており、これら一対の主面51,52に直交する端面を底面53として、該底面53が実装面21に接触するように該実装面21上に配置されている。これにより、一対の主面51,52はそれぞれ実装面21に対して垂直をなすように配置され、半導体基板50の延在方向が実装面21に対して直交する。
上記一対の主面51,52のうちの一方の主面51には、単一の感磁部54が形成されている。この感磁部54は一方の主面51に沿った方向の磁場を検出可能とされている。特に本実施形態においては、感磁部54における磁場を検出可能な方向である感磁方向が、底面53に対して垂直をなすように、該感磁部54が一方の主面51に形成されている。したがって、上記のように底面53を実装面21に接触させて半導体基板50が実装面21に配置された状態においては、感磁部54の感磁方向は実装面21に垂直な方向に一致する。これにより、実装面21上に配置された半導体基板50によって、実装面21に垂直な一軸方向の磁場が検出可能とされている。
そして、本実施形態においては、上記のような半導体基板50における一対の主面51,52の双方が金属バンプ60を介して実装面21に接合されている。即ち、半導体基板50は金属バンプ60によって半導体基板50の実装面21に対する固定、及び、実装面21の回路に対する電気的な接続が施されている。
この金属バンプ60としては、はんだ、銅、金等の金属を適用することができるが、溶融接合が容易であるとともに長期信頼性に優れるといった利点からはんだを採用することが好適である。このはんだとしては、有鉛タイプ、無鉛タイプを問わず採用することができる。
上記金属バンプ60は一対の主面51,52におけるそれぞれ複数(本実施形態においては4つずつ)箇所を実装面21に対して接合している。本実施形態においては、一方の主面51と他方の主面52とでそれぞれ互いに対称となる箇所に各金属バンプ60が配置されている。即ち、各主面51,52における金属バンプ60は、一方の主面51と他方の主面52とのちょうど中間に位置する仮想平面を基準として、互いに鏡像対称となるように配置されているのである。
なお、上記複数の金属バンプ60は主面51,52における実装面21に沿った幅方向に互いに離間して配置されている。
なお、上記複数の金属バンプ60は主面51,52における実装面21に沿った幅方向に互いに離間して配置されている。
このような金属バンプ60は、半導体基板50における一対の主面51、52にそれぞれ形成されたセンサ側金属パッド61と、モジュール基板20の実装面21に形成された実装面側金属パッド62との間を接続するとともに、半導体基板50をモジュール基板20に固定する役割を有している。なお、センサ側金属パッド61及び実装面側金属パッド62は、半導体基板50、モジュール基板20それぞれにおける電極パッドとしての役割を有している。
なお、半導体基板50とモジュール基板20とを接続する金属バンプ60は、溶融処理によって形成される。この際、溶融によって金属が液状化するため、金属バンプ60の外形は丸みを帯びた形状となる。
なお、半導体基板50とモジュール基板20とを接続する金属バンプ60は、溶融処理によって形成される。この際、溶融によって金属が液状化するため、金属バンプ60の外形は丸みを帯びた形状となる。
次に、上記のような磁気センサモジュール10の製造方法について説明する。
まず、モジュール基板20を用意して実装面21が上方を向くように作業面上に載置する。そして、当該モジュール基板20の実装面21に対してICチップ30及びセンサ基板40をボンディングワイヤやはんだ等を介して実装する。なお、これらICチップ30及びセンサ基板40をはんだにより実装する場合には、後述する半導体基板50を実装する際のリフロー処理をICチップ30及びセンサ基板40にも同時に施すことによって、これらICチップ30及びセンサ基板40を実装することとしてもよい。
まず、モジュール基板20を用意して実装面21が上方を向くように作業面上に載置する。そして、当該モジュール基板20の実装面21に対してICチップ30及びセンサ基板40をボンディングワイヤやはんだ等を介して実装する。なお、これらICチップ30及びセンサ基板40をはんだにより実装する場合には、後述する半導体基板50を実装する際のリフロー処理をICチップ30及びセンサ基板40にも同時に施すことによって、これらICチップ30及びセンサ基板40を実装することとしてもよい。
次いで、半導体基板50の実装面21への実装を行なう。まず、一方の主面51に感磁部54が形成された半導体基板50を用意する。半導体基板50においては、この時点で主面51,52のセンサ側金属パッド61上に金属バンプ60が一体に形成されている。即ち、事前に半導体基板50の主面51,52に対して金属バンプ60を形成する工程が行われている。
次いで、実装面21における金属バンプ60を形成すべき箇所に複数の実装面側金属パッド62を形成する。なお、当初から実装面側金属パッド62が形成されたモジュール基板20を用意してもよい。また、実装面側金属パッド62上に、はんだペーストを塗布してもよい。
次いで、実装面21における金属バンプ60を形成すべき箇所に複数の実装面側金属パッド62を形成する。なお、当初から実装面側金属パッド62が形成されたモジュール基板20を用意してもよい。また、実装面側金属パッド62上に、はんだペーストを塗布してもよい。
上記センサ側金属パッド61及び金属バンプ60は、半導体基板50の一対の主面51,52において互いに対称となるように形成され、これに応じて実装面側金属パッド62も一対の主面51,52が配置される箇所において互いに対称となるように形成される。
その後、図4(b)に示すように、一対の主面51,52がそれぞれ実装面21に対して垂直をなすように底面53を実装面21と接触させることで、該実装面21上に半導体基板50を垂直に載置する。この際、実装面21における各実装面側金属パッド62上には、半導体基板50の金属バンプ60が一対一の関係で配置される。
次いで、上記のように実装面21上に半導体基板50を配置した状態において、モジュール基板20及び半導体基板50を加熱することでリフロー処理を行い、金属バンプ60を加熱溶融する。これによって、実装面側金属パッド62に対して金属バンプ60が溶融一体化され、その後冷却されることによって半導体基板50とモジュール基板20とが互いに接合される。これにより、本実施形態の磁気センサモジュール10を得ることができる。
上記構成の磁気センサモジュール10においては、ICチップ30からの信号に基づきセンサ基板40が実装面21に平行な二軸方向の磁場を測定するとともに、半導体基板50が実装面21に垂直な一軸方向の磁場を測定する。これにより、互いに直交する三軸方向の磁場を測定することができる。また、上記センサ基板40及び半導体基板50の出力をICチップ30によって処理することで、地磁気の伏角の影響を受けることなく方位情報を正確に取得することができる。
ここで、半導体基板50をモジュール基板20に実装する際にリフロー処理によって金属バンプ60を加熱溶融すると、当該金属バンプ60に表面張力が発生する。すると、この表面張力に基づいて、金属バンプ60が接続された半導体基板50の主面51,52とモジュール基板20の実装面とをそれぞれ互いに引き寄せる力が発生する。
この際、仮に半導体基板50における一対の主面51,52のうち一方の主面51のみに金属バンプ60が配置されているとすると、実装面21上に垂直に立設されたことで重心の不安定な半導体基板50が、上記金属バンプ60の表面張力によって実装面21側に引き寄せられる結果、半導体基板50が実装面21の垂直方向から傾斜する事態が生じてしまう。
これに対して、本実施形態の磁気センサモジュール10においては、半導体基板50における一対の主面51,52の双方に金属バンプ60が配置されているため、各主面51,52を実装面21に対して引き寄せる力が互いに相殺される。これによって、半導体基板50が実装面21に対して傾斜してしまうことを回避することができる。
即ち、一方の主面51と実装面21との間、及び、他方の主面52と実装面21との間には、それぞれ一方の主面51又は他方の主面52を実装面21側に引き寄せる力が発生するが、この際、この引き寄せる力が互いに反対側を向く一方の主面51及び他方の主面52に作用しているため、これら力の向きが互いに逆向きとなり、半導体基板50を傾斜させようとする力が相殺されるのである。
これによって、半導体基板50の一対の主面51,52を実装面21に垂直に配置したことで重心が不安定の場合であっても、半導体基板50を垂直方向から傾斜することなく実装面21に対して実装することができる。また、半導体基板50とモジュール基板20とを構造的に安定した状態で配置できるため、これら半導体基板50とモジュール基板20との実装信頼性を向上させることができる。
さらに、半導体基板50の一対の主面51,52双方に金属バンプ60を形成することのみをもって上記効果を実現することができるため、実装面21への特別な加工や高度な実装技術を必要とすることはなく、当該半導体基板50の実装作業を容易に行うことができる。
さらに、半導体基板50の一対の主面51,52双方に金属バンプ60を形成することのみをもって上記効果を実現することができるため、実装面21への特別な加工や高度な実装技術を必要とすることはなく、当該半導体基板50の実装作業を容易に行うことができる。
また、特に本実施形態においては、半導体基板50の一対の主面51,52において互いに対称に金属バンプ60が形成されているため、各主面51,52に作用する金属バンプ60の表面張力を同一の大きさとすることができる。これによって、一対の主面51,52双方に作用する実装面21に向かって引き寄せる力を完全に相殺することができるため、半導体基板50が実装面21に対して傾斜してしまうことをより確実に回避することができる。
なお、第一実施形態においては、半導体基板50における一対の主面51,52のうち、一方の主面51のみに感磁部54が形成された構成を説明したが、変形例として例えば図5に示すように、一方の主面51に第一感磁部55が設けられるとともに、他方の主面52に第二感磁部56が設けられた構成であってもよい。
この変形例においては、第一感磁部55と第二感磁部56との感磁方向は、互いに平行かつ実装面21に対して垂直な方向とされている。このように第一感磁部55及び第二感磁部56の二つが設けられることにより、実装面21に垂直な一軸方向の磁場をより確実に測定することができる。この際、第一感磁部55及び第二感磁部56を磁気的あるいは電気的に接続することにより、一の感磁部として使用してもよい。
また、図6に示すように、変形例として、半導体基板50の一方の主面51に第一感磁部55が設けられるとともに、他方の主面52に第二感磁部56が設けられ、これら第一感磁部55と第二感磁部56との感磁方向が互いに直交する構成であってもよい。
ここで、このように第一感磁部55と第二感磁部56との感磁方向が互いに直交する半導体基板50の製造方法について、図7を参照して説明する。
まず、平板状をなすシリコン基板57を用意し(図7(a))、その一方の面に複数の第一感磁部55を形成する(図7(b))。次いで、シリコン基板57を裏返し(図7(c))、該シリコン基板57の他方の面に複数の第二感磁部56を形成する(図7(d))。この際、これら複数の第二感磁部56は、その感磁方向が上記第一感磁部55とは直交する方向に一致した状態とされる。その後、主面51,52の双方にセンサ側金属バンプ60を形成した後、シリコン基板57を、第一感磁部55及び第二感磁部56が各片に一つずつ存在するように複数に切断する(図7(e))。これにより、当該切断により得られた複数の各片を半導体基板50として取得することができる(図7(f))。
なお、シリコン基板57を複数に切断する工程と、金属バンプ60を形成する工程とを、前後に反転して行っても良い。すなわち、シリコン基板57を複数に切断して半導体基板50とした後に、金属バンプ60を形成しても良い。
そして、これら半導体基板50は、モジュール基板20の実装面21に実装される。
まず、平板状をなすシリコン基板57を用意し(図7(a))、その一方の面に複数の第一感磁部55を形成する(図7(b))。次いで、シリコン基板57を裏返し(図7(c))、該シリコン基板57の他方の面に複数の第二感磁部56を形成する(図7(d))。この際、これら複数の第二感磁部56は、その感磁方向が上記第一感磁部55とは直交する方向に一致した状態とされる。その後、主面51,52の双方にセンサ側金属バンプ60を形成した後、シリコン基板57を、第一感磁部55及び第二感磁部56が各片に一つずつ存在するように複数に切断する(図7(e))。これにより、当該切断により得られた複数の各片を半導体基板50として取得することができる(図7(f))。
なお、シリコン基板57を複数に切断する工程と、金属バンプ60を形成する工程とを、前後に反転して行っても良い。すなわち、シリコン基板57を複数に切断して半導体基板50とした後に、金属バンプ60を形成しても良い。
そして、これら半導体基板50は、モジュール基板20の実装面21に実装される。
この変形例によれば、単一の半導体基板50によって、小さいスペースに2軸分の磁気センサを実装できることが可能になり、また2軸間の角度を正確に制御することが出来るので、正確な方位角を求めることができる。
なお、このように半導体基板50における第一感磁部55と第二感磁部56との感磁方向が互いに直交する場合には、センサ基板40の感磁部の感磁方向を第一感磁部55及び第二感磁部56にそれぞれ直交する一方向とすることが好ましい。これにより、互いに直交する三軸方向の磁場を測定することができる。
なお、このように半導体基板50における第一感磁部55と第二感磁部56との感磁方向が互いに直交する場合には、センサ基板40の感磁部の感磁方向を第一感磁部55及び第二感磁部56にそれぞれ直交する一方向とすることが好ましい。これにより、互いに直交する三軸方向の磁場を測定することができる。
<第二実施形態>
次に、本発明の第二実施形態の磁気センサモジュールについて説明する。なお、この第二実施形態においては、第一実施形態と同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
次に、本発明の第二実施形態の磁気センサモジュールについて説明する。なお、この第二実施形態においては、第一実施形態と同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
第二実施形態の磁気センサモジュール110においては、第一実施形態において単一の半導体基板50が実装面に配置されていたのに対して、図8に示すように、第一半導体基板(第一素子基板)70及び第二半導体基板(第二素子基板)80とが互いに当接した状態で実装面21に配置され、これら第一半導体基板70及び第二半導体基板80それぞれが金属バンプ60によって実装面21上に接合された構成をなしている。
第一半導体基板70及び第二半導体基板80は、半導体基板50と同様、それぞれ矩形平板状をなす基板であって、モジュール基板20の実装面21に対して垂直に延在するように該実装面21上に立設されている。
即ち、これら第一半導体基板70及び第二半導体基板80は、互いに平行をなして表裏の関係を有する一対の主面71,72,81,82をそれぞれ備えており、これら一対の主面71,72,81,82に直交する端面を底面73,83として、該底面73,83が実装面21に接触するように該実装面21上に配置されている。これにより、一対の主面71,72,81,82は、それぞれ実装面21に対して垂直をなすように配置され、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の延在方向が実装面21に対して直交する。
即ち、これら第一半導体基板70及び第二半導体基板80は、互いに平行をなして表裏の関係を有する一対の主面71,72,81,82をそれぞれ備えており、これら一対の主面71,72,81,82に直交する端面を底面73,83として、該底面73,83が実装面21に接触するように該実装面21上に配置されている。これにより、一対の主面71,72,81,82は、それぞれ実装面21に対して垂直をなすように配置され、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の延在方向が実装面21に対して直交する。
そして、本実施形態においては、上記第一半導体基板70及び第二半導体基板80は、それぞれの一方の主面71,81同士を互いに当接させた状態で実装面21上に配置されている。即ち、第一半導体基板70及び第二半導体基板80は、それぞれ実装面21に対して垂直をなす一方の主面71,81がその全域において互いに当接しており、これによって実装面21上に一体をなして配置されている。第一半導体基板70と第二半導体基板80とは、接着樹脂(不図示)を介して当接させる構成としてもよい。
また、第一半導体基板70の他方の主面72には単一の感磁部54が形成されている。この感磁部54の感磁方向は実装面21に対して垂直な方向とされており、即ち、第一半導体基板70は、実装面21に対して垂直な方向の磁場を検出する磁気センサとして機能する。これに対して本実施形態の第二半導体基板80には、例えば加速度センサ等の種々の物理量センサが形成されている。
そして、上記のように実装面21上に一体に配置された第一半導体基板70及び第二半導体基板80においては、これらの双方の他方の主面72,82が金属バンプ60を介して実装面21に接合されている。この金属バンプ60によって、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の実装面21に対する固定、及び、実装面21の回路に対する電気的な接続が施されている。
また、この第二実施形態においては、第一半導体基板70の他方の主面72と第二半導体基板80の他方の主面82とにおいて互いに対称となる箇所に金属バンプ60が配置されている。即ち、第一半導体基板70の他方の主面72と第二半導体基板80の他方の主面82における金属バンプ60は、第一半導体基板70の他方の主面72と第二半導体基板80の他方の主面82とのちょうど中間に位置する仮想面を基準として、互いに鏡像対称となるように配置されているのである。
なお、このような金属バンプ60は、第一半導体基板70と第二半導体基板との他方の主面72,82の幅方向に間隔をあけて複数が形成されている。
なお、このような金属バンプ60は、第一半導体基板70と第二半導体基板との他方の主面72,82の幅方向に間隔をあけて複数が形成されている。
次に、上記のような構成の磁気センサモジュール110の製造方法について説明する。
まず、第一半導体基板70及び第二半導体基板80を実装面21に実装するに先立って、これら第一半導体基板70と第二半導体基板80とのそれぞれの一方の主面51,81同士とを互いに当接させる。この際、これら一方の主面71,81を互いに接合することで第一半導体基板70と第二半導体基板80とを一体に固定してもよい。例えば、第一半導体基板70と第二半導体基板80とを陽極接合技術を用いて接合することができる。または、接着樹脂を用いて接合することができる。
第一半導体基板70と第二半導体基板80との接合は、大面積、円形の半導体基板(半導体ウエハ)の状態で行っても良いし、半導体ウエハから切り出して個片化した半導体基板(半導体チップ)の状態で行っても良い。
なお、第一半導体基板70及び第二半導体基板80は、この時点で他方の主面72,82に形成されたセンサ側金属パッド61上に金属バンプ60が一体に形成されている。即ち、事前に第一半導体基板70及び第二半導体基板80の他方の主面72,82に対して金属バンプ60を形成する工程が行われている。
まず、第一半導体基板70及び第二半導体基板80を実装面21に実装するに先立って、これら第一半導体基板70と第二半導体基板80とのそれぞれの一方の主面51,81同士とを互いに当接させる。この際、これら一方の主面71,81を互いに接合することで第一半導体基板70と第二半導体基板80とを一体に固定してもよい。例えば、第一半導体基板70と第二半導体基板80とを陽極接合技術を用いて接合することができる。または、接着樹脂を用いて接合することができる。
第一半導体基板70と第二半導体基板80との接合は、大面積、円形の半導体基板(半導体ウエハ)の状態で行っても良いし、半導体ウエハから切り出して個片化した半導体基板(半導体チップ)の状態で行っても良い。
なお、第一半導体基板70及び第二半導体基板80は、この時点で他方の主面72,82に形成されたセンサ側金属パッド61上に金属バンプ60が一体に形成されている。即ち、事前に第一半導体基板70及び第二半導体基板80の他方の主面72,82に対して金属バンプ60を形成する工程が行われている。
そして、図9(a)に示すように、実装面21における金属バンプ60を形成すべき箇所に実装面側金属パッド62を形成する。なお、当初から実装面側金属パッド62が形成されたモジュール基板20を用意してもよい。また、実装面側金属パッド62上に、はんだペーストを塗布してもよい。
その後、図9(b)に示すように、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の主面71,72,81,82がそれぞれ実装面21に対して垂直をなすように、それぞれの底面73,83を実装面21と接触させて該実装面21上に第一半導体基板70及び第二半導体基板80を載置する。この際、実装面21における各実装面側金属パッド62上には、第一半導体基板70及び第二半導体基板80に固定された金属バンプ60が一対一の関係で配置される。
次いで、上記のように実装面21上に第一半導体基板70及び第二半導体基板80を配置した状態で、モジュール基板20、第一半導体基板70及び第二半導体基板80を加熱することによりリフロー処理を行い、金属バンプ60を加熱溶融させる。これによって、金属バンプ60と実装面側金属パッド62とが溶融一体化され、その後冷却されることにより、第一半導体基板70とモジュール基板20、及び、第二半導体基板80とモジュール基板20とが互いに接合される。このようにして、本実施形態の磁気センサモジュール110を得ることができる。
以上説明した磁気センサモジュール110によれば、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の双方の他方の主面72,82に金属バンプ60がそれぞれ形成されているため、これら他方の主面72,82を実装面に対して引き寄せる力を互いに相殺することができ、第一半導体基板70及び第二半導体基板80が実装面21に対して傾斜してしまうことを回避できる。
即ち、溶融状態の金属バンプ60の表面張力によって、第一半導体基板70の他方の主面72と実装面21との間、及び、第二半導体基板80の他方の主面82と実装面21との間には、それぞれ他方の主面72,82を実装面21側に引き寄せて傾斜させようとする力が発生するが、この際、この引き寄せる力が互いに反対側を向く他方の主面72及び82に作用しているため、力の向きが互いに逆向きとなり、第一半導体基板70及び第二半導体基板80を傾斜させようとする力が相殺されるのである。
さらに、本実施形態においては、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の一方の主面71,81同士が当接することで、第一半導体基板70及び第二半導体基板80が互いに支持し合い、これら第一半導体基板70及び第二半導体基板80の重心が安定する。したがって、第一半導体基板70又は第二半導体基板80が単独で実装面21上に配置された場合に比べて、これら第一半導体基板70及び第二半導体基板80が傾斜してしまうことをより効果的に防止することができる。また、第一半導体基板70及び第二半導体基板80とモジュール基板20とを構造的に安定した状態で配置できるため、これら第一半導体基板70及び第二半導体基板80とモジュール基板20との実装信頼性を向上させることができる。
さらに、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の他方の主面72,82双方に金属バンプ60を形成することのみをもって上記効果を実現することができるため、実装面21への特別の加工や高度な実装技術を必要とすることはなく、これら第一半導体基板70及び第二半導体基板80の実装作業を容易に行うことができる。
また、本実施形態においては、第一半導体基板70の他方の主面72と第二半導体基板80の他方の主面82とにおいて互いに対称となるように金属バンプ60が形成されているため、双方の他方の主面72,82に作用する金属バンプ60の表面張力を同一の大きさとすることができる。これによって、他方の主面72,82双方に作用する実装面21に向かって引き寄せる力を完全に相殺することができるため、第一半導体基板70及び第二半導体基板80が実装面21に対して傾斜してしまうことをより確実に回避することができる。
なお、上記第二実施形態においては、感磁部54が第一半導体基板70の他方の主面72に形成された構成について説明したが、これに代えて、例えば図10に示すように、当該感磁部54が第一半導体基板70の一方の主面71に形成された構成であってもよい。この場合、感磁部54が第一半導体基板70の一方の主面71と第二第二半導体基板80の一方の主面81とに挟み込まれた構成をなす。また、第一半導体基板70の一方の主面71と第二半導体基板80の一方の主面81とは感磁部54を介して当接することになる。
このように感磁部54を第一半導体基板70及び第二半導体基板80の一方の主面71,81により挟み込むことにより、該感磁部54が第一半導体基板70及び第二半導体基板80の外部に露呈することなくこれらの間に封止された構成とすることができる。したがって、感磁部54を第一半導体基板70及び第二半導体基板80によって保護することができるため、該感磁部54が外力によって損傷を受けてしまうことを回避することができ、故障等のリスクを低減させることが可能となる。
なお、例えば図11に示すように、第一半導体基板70の一方の主面71に上記の第一感磁部55を形成するとともに、該第一半導体基板70の他方の主面82に第二感磁部56を形成してもよい。この場合も、上記同様、第一半導体基板70及び第二半導体基板80により第一感磁部55を保護することができる。
また、例えば図12に示すように、第一半導体基板70の一方の主面71に上記の第一感磁部55を形成するとともに、第二半導体基板80の他方の主面82に第二感磁部56を形成してもよい。この場合も、上記同様、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の一方の主面71,81により第一感磁部55を保護することができる。
さらに、例えば図13に示すように、第一半導体基板70の他方の主面72に第一感磁部55を形成するとともに、第二半導体基板80の他方の主面82に第二感磁部56を形成してもよい。
なお、図11〜図13に示すように、第一感磁部55及び第二感磁部56の二つを形成した場合には、これら第一感磁部55と第二感磁部56とのそれぞれの感磁方向を互いに平行としてもよいし、互いに直交させてもよい。
図14に、他方の主面72,82に第一感磁部55、第二感磁部56が形成された第一半導体基板70及び第二半導体基板80において、第一感磁部55と第二感磁部56との感磁方向が互いに平行、かつ、実装面21に対して垂直をなしている磁気センサモジュール110を示す。
このように、第一感磁部55と第二感磁部56とが互いに平行をなす場合、実装面21に垂直な一軸方向の磁場をより確実に測定することが可能となる。なお、第一感磁部55及び第二感磁部56を磁気的あるいは電気的に接続することにより、一の感磁部として使用してもよい。
このように、第一感磁部55と第二感磁部56とが互いに平行をなす場合、実装面21に垂直な一軸方向の磁場をより確実に測定することが可能となる。なお、第一感磁部55及び第二感磁部56を磁気的あるいは電気的に接続することにより、一の感磁部として使用してもよい。
図15に、他方の主面72,82に第一感磁部55、第二感磁部56が形成された第一半導体基板70及び第二半導体基板80において、第一感磁部55と第二感磁部56との感磁方向が互いに直交する磁気センサモジュール110を示す。
このように、第一感磁部55と第二感磁部56とが直交する場合には、2軸間の角度を正確に制御することができるので、正確な方位角を求めることができる。
このように、第一感磁部55と第二感磁部56とが直交する場合には、2軸間の角度を正確に制御することができるので、正確な方位角を求めることができる。
ここで、図15に示す磁気センサモジュール110において、実装面21に実装される第一半導体基板70及び第二半導体基板80の一体物の製造方法について図16を参照して説明する。
まず、平板状をなす一対のシリコン基板74,84を用意する。(図16(a))そして、一方のシリコン基板74の表面に複数の第一感磁部55を形成するとともに、他方のシリコン基板84の表面に複数の第二感磁部56を形成する(図16(b))。次いで、第一感磁部55と第二感磁部56との感磁方向が互いに直交するようにシリコン基板74,84の裏面同士を接合する(図16(c))。これにより、第一感磁部55と第二感磁部56とは互いに直交した状態でシリコン基板74,84の一体物の表裏面に存在することになる。その後、このシリコン基板74及びシリコン基板84の一体物における、シリコン基板74及びシリコン基板84の他方の主面72,82の双方にセンサ側金属バンプ60が形成される。
まず、平板状をなす一対のシリコン基板74,84を用意する。(図16(a))そして、一方のシリコン基板74の表面に複数の第一感磁部55を形成するとともに、他方のシリコン基板84の表面に複数の第二感磁部56を形成する(図16(b))。次いで、第一感磁部55と第二感磁部56との感磁方向が互いに直交するようにシリコン基板74,84の裏面同士を接合する(図16(c))。これにより、第一感磁部55と第二感磁部56とは互いに直交した状態でシリコン基板74,84の一体物の表裏面に存在することになる。その後、このシリコン基板74及びシリコン基板84の一体物における、シリコン基板74及びシリコン基板84の他方の主面72,82の双方にセンサ側金属バンプ60が形成される。
その後、各片に第一感磁部55及び第二感磁部56がそれぞれ一つずつ存在するようにシリコン基板74,84の一体物を複数に切断する(図16(d))。これにより、各片を第一半導体基板70及び第二半導体基板80の一体物として取得することができる(図16(e))。
なお、シリコン基板74,84の一体物を複数に切断する工程と、金属バンプ60を形成する工程とを、前後逆転して行っても良い。すなわち、シリコン基板74及びシリコン基板84の一体物を複数に切断し、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の一体物とした後に、金属バンプ60を形成してもよい。
以上により、第一感磁部55及び第二感磁部56が互いに直交する第一半導体基板70及び第二半導体基板80の一体物を容易かつ確実に製造することができる。
なお、シリコン基板74,84の一体物を複数に切断する工程と、金属バンプ60を形成する工程とを、前後逆転して行っても良い。すなわち、シリコン基板74及びシリコン基板84の一体物を複数に切断し、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の一体物とした後に、金属バンプ60を形成してもよい。
以上により、第一感磁部55及び第二感磁部56が互いに直交する第一半導体基板70及び第二半導体基板80の一体物を容易かつ確実に製造することができる。
また、例えば図17に示すように、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の双方の一方の主面71,81の間にスペーサ105が介在され、即ち、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の一方の主面71,81が当該スペーサ105を介して当接されている構成であってもよい。スペーサ105は、シリコン、ガラス、セラミックス、FPC、ガラスエポキシ基板などからなり、第一半導体基板70と第二半導体基板80とを一定間隔で離間させるとともに、両方の半導体基板を接合する機能を有する。
この場合、第一半導体基板70と第二半導体基板80とを、所望の間隔だけあけて配置することが可能となるとともに、これら第一半導体基板70と第二半導体基板80との間に所望のクリアランスを容易に形成することができ、設計の幅を広げることが可能となる。
この場合、第一半導体基板70と第二半導体基板80とを、所望の間隔だけあけて配置することが可能となるとともに、これら第一半導体基板70と第二半導体基板80との間に所望のクリアランスを容易に形成することができ、設計の幅を広げることが可能となる。
さらに、例えば図18に示すように、第一半導体基板70が実装面21に対して垂直に配置される一方、第二半導体基板80が実装面21に対して平行に配置され、第二半導体基板80の上面85が第一半導体基板70に当接する構成であってもよい。この場合、第一半導体基板70の他方の主面72及び第二半導体基板80の底面83がそれぞれ金属バンプ60によって実装面21に対して接合された構成となる。即ち、第二半導体基板80の上面85が一方の主面とされ、底面83が他方の主面とされて、当該一方の主面が第一半導体基板70の一方の主面71と当接する構成とされているのである。この場合も実施形態と同様の作用により、第一半導体基板70が実装面21に対して垂直な方向から傾斜してしまうことを回避することができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
なお、第一実施形態においては、一対の主面51,52の双方に金属バンプ60がそれぞれ複数設けられた構成として説明したが、一対の主面51,52それぞれに金属バンプ60が一のみ設けられた構成であってもよい。この場合であっても、上記同様の作用により、半導体基板50の実装面21に対する傾斜を防止することができる。
同様に、第二実施形態においても、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の他方の主面72,82の双方に金属バンプ60が複数設けられていてもよいし、一のみが設けられていてもよい。
同様に、第二実施形態においても、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の他方の主面72,82の双方に金属バンプ60が複数設けられていてもよいし、一のみが設けられていてもよい。
また、第一実施形態において、金属バンプ60は、一対の主面51,52で必ずしも対称に設けられていなくともよく、例えば一対の主面51,52それぞれにおける金属バンプ60の数又は配置箇所が異なるものであってもよい。この場合も、半導体基板50の実装面21に対する傾斜防止効果を得ることができる。
同様に、第二実施形態においても、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の他方の主面72,82で金属バンプ60が必ずしも対称に設けられていなくともよい。
同様に、第二実施形態においても、第一半導体基板70及び第二半導体基板80の他方の主面72,82で金属バンプ60が必ずしも対称に設けられていなくともよい。
さらに、第一実施形態及び第二実施形態において、感磁部54、第一感磁部55及び第二感磁部56の感磁方向は、設計に応じて適宜設定することが可能である。
また、実施形態においては、素子基板、第一素子基板及び第二素子基板としてそれぞれ半導体基板50、第一半導体基板70及び第二半導体基板80を用いた例について説明したが、これら素子基板、第一素子基板及び第二素子基板としては、半導体からなる基板のみならず、例えばガラスやセラミックス等の他の部材からなる基板を採用してもよい。
10…磁気センサモジュール、20…モジュール基板、21…実装面、30…ICチップ、40…センサ基板、50…半導体基板(素子基板)、51…主面、52…主面、53…底面、54…感磁部、55…第一感磁部、56…第二感磁部、57…シリコン基板、60…金属バンプ、61…センサ側金属パッド、62…実装面側金属パッド、70…第一半導体基板(第一素子基板)、71…主面、72…主面、73…底面、74…シリコン基板、80…第二半導体基板(第二素子基板)、81…主面、82…主面、83…底面、84…シリコン基板、85…上面、105…スペーサ、110…磁気センサモジュール
Claims (18)
- 一対の主面に対して平行な磁場を検出する感磁部が形成された素子基板と、該素子基板が実装される実装面を有するモジュール基板とを備える磁気センサモジュールであって、
前記素子基板は、前記一対の主面がそれぞれ前記実装面に対して垂直をなす状態で該実装面上に配置され、
これら一対の主面の双方が前記実装面に対し金属バンプを介して接合されていることを特徴とする磁気センサモジュール。 - 前記金属バンプが、前記一対の主面において互いに対称な位置に配されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサモジュール。
- 前記感磁部は、
一方の前記主面に形成された第一感磁部と、
他方の前記主面に形成された第二感磁部とを有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気センサモジュール。 - 前記第一感磁部と前記第二感磁部との検出可能な磁場の方向が互いに直交していることを特徴とする請求項3に記載の磁気センサモジュール。
- 前記第一感磁部と前記第二感磁部との検出可能な磁場の方向が互いに平行をなしていることを特徴とする請求項3に記載の磁気センサモジュール。
- 一対の主面に対して平行な磁場を検出する感磁部が形成された素子基板を、モジュール基板の実装面上に実装してなる磁気センサモジュールの製造方法であって、
前記素子基板における前記一対の主面の双方に金属バンプを形成する工程と、
前記一対の主面がモジュール基板の実装面に対して垂直をなすように、前記素子基板を前記実装面上に載置する工程と、
前記金属バンプを加熱溶融させて、前記一対の主面を前記金属バンプを介して前記実装面に接合する工程とを備えることを特徴とする磁気センサモジュールの製造方法。 - 前記金属バンプを、前記一対の主面において互いに対称な位置となるように前記一対の主面の双方に形成することを特徴とする請求項6に記載の磁気センサモジュールの製造方法。
- 一対の主面を有する第一素子基板及び第二素子基板と、これら第一素子基板及び第二素子基板が実装される実装面を有するモジュール基板とを備え、前記第一素子基板に前記一対の主面に対して平行な磁場を検出する第一感磁部が形成された磁気センサモジュールであって、
前記第一素子基板及び前記第二素子基板は、それぞれの一方の前記主面同士を当接させた状態で、前記一対の主面が前記実装面に対して垂直をなすように、前記実装面上に配置され、
前記第一素子基板及び前記第二素子基板の双方の他方の前記主面が、前記実装面に対し金属バンプを介して接合されていることを特徴とする磁気センサモジュール。 - 前記金属バンプが、前記第一素子基板における他方の前記主面と、前記第二素子基板における他方の前記主面とにおいて、互いに対称な位置に配されていることを特徴とする請求項8に記載の磁気センサモジュール。
- 前記第一感磁部が、前記第一素子基板の一方の前記主面に形成され、
該第一素子基板の一方の前記主面が、前記第一感磁部を介して前記第二素子基板の一方の前記主面に当接していることを特徴とする請求項8又は9に記載の磁気センサモジュール。 - 前記第一素子基板に、該第一素子基板の前記一対の主面に対して平行な磁場を検出する第二感磁部が形成されていることを特徴とする請求項8から10のいずれか一項に記載の磁気センサモジュール。
- 前記第二素子基板に、該第二素子基板の前記一対の主面に対して平行な磁場を検出する第二感磁部が形成されていることを特徴とする請求項8又は9のいずれか一項に記載の磁気センサモジュール。
- 前記第一感磁部と前記第二感磁部との少なくとも一方が、前記第一素子基板又は前記第二素子基板の一方の前記主面に形成され、
前記第一素子基板の一方の前記主面と前記第二素子基板の他方の前記主面とが、前記第一感磁部と前記第二感磁部との少なくとも一方を介して当接していることを特徴とする請求項12に記載の磁気センサモジュール。 - 前記第一感磁部と前記第二感磁部との検出可能な磁場の方向が互いに直交していることを特徴とする請求項11から13のいずれか一項に記載の磁気センサモジュール。
- 前記第一感磁部と前記第二感磁部との検出可能な磁場の方向が互いに平行をなしていることを特徴とする請求項11から13のいずれか一項に記載の磁気センサモジュール。
- 前記第一素子基板の一方の前記主面と前記第二素子基板の一方の前記主面とが、スペーサを介して当接していることを特徴とする請求項8から15のいずれか一項に記載の磁気センサモジュール。
- 一対の主面を有する第一素子基板と第二素子基板と、これら第一素子基板及び第二素子基板が実装される実装面を有するモジュール基板とを備え、前記第一素子基板に該第一素子基板の前記一対の主面に対して平行な磁場を検出する第一感磁部が形成された磁気センサモジュールの製造方法であって、
第一素子基板及び第二素子基板のそれぞれの一方の主面を互いに当接させる工程と、
第一素子基板及び第二素子基板のそれぞれの他方の主面に金属バンプを形成する工程と、
第一素子基板及び第二素子基板のそれぞれの前記一対の主面がモジュール基板の実装面に対して垂直をなすように、これら第一素子基板及び第二素子基板を前記実装面上に載置する工程と、
前記金属バンプを加熱溶融させて、第一素子基板及び第二素子基板のそれぞれの他方の主面を前記金属バンプを介して前記実装面に接合する工程とを備えることを特徴とする磁気センサモジュールの製造方法。 - 前記金属バンプが、前記第一素子基板における他方の前記主面と、前記第二素子基板における他方の主面とにおいて、互いに対称な位置に配されていることを特徴とする請求項17に記載の磁気センサモジュールの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010225113A JP2012078258A (ja) | 2010-10-04 | 2010-10-04 | 磁気センサモジュール及び磁気センサモジュールの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010225113A JP2012078258A (ja) | 2010-10-04 | 2010-10-04 | 磁気センサモジュール及び磁気センサモジュールの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012078258A true JP2012078258A (ja) | 2012-04-19 |
Family
ID=46238665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010225113A Pending JP2012078258A (ja) | 2010-10-04 | 2010-10-04 | 磁気センサモジュール及び磁気センサモジュールの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012078258A (ja) |
-
2010
- 2010-10-04 JP JP2010225113A patent/JP2012078258A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5977780B2 (ja) | 垂直ダイ・チップオンボード | |
JP6699951B2 (ja) | 磁気抵抗z軸勾配検出チップ | |
EP1880422B1 (en) | A device comprising a sensor module | |
US20130249542A1 (en) | Foldable substrate | |
WO2015083601A1 (ja) | 三次元磁気センサー | |
US8459112B2 (en) | Systems and methods for three dimensional sensors | |
CN101958256A (zh) | 垂直传感器组装方法 | |
US8316552B1 (en) | Systems and methods for three-axis sensor chip packages | |
JP2004125778A (ja) | 磁気センサおよび磁気センサユニット | |
JP2012078258A (ja) | 磁気センサモジュール及び磁気センサモジュールの製造方法 | |
JP5154275B2 (ja) | 磁気センサパッケージ | |
KR100801276B1 (ko) | 하이브리드형 지자기 센서 및 그 제조방법 | |
JP7097671B2 (ja) | Ic化磁気センサおよびそれに使用するリードフレーム | |
KR101103772B1 (ko) | 일체형 모션 캡처용 6축 센서 및 그 제조 방법 | |
JP2009063385A (ja) | 磁気センサパッケージ | |
JP2009264760A (ja) | 圧電ジャイロセンサおよび電子機器 | |
KR101306158B1 (ko) | 3축 지자기 센서 패키지 및 그 제조방법 | |
JP2005274302A (ja) | 磁気センサ及び磁気センサユニット | |
JP4622507B2 (ja) | 物理量センサの製造方法及びリードフレーム | |
JP2010169614A (ja) | 電子デバイスおよび電子モジュール、並びにそれらの製造方法 | |
JP2007147649A (ja) | 磁気センサおよび磁気センサユニット | |
KR20120125176A (ko) | 3축 센서 칩 패키지 시스템 및 방법 | |
JP2010219286A (ja) | 電子デバイスおよび電子モジュール | |
KR20100117195A (ko) | 플럭스게이트 소자를 갖는 전자 나침반 패키지 및 이를 제조하는 방법 |