JP2012073327A - 配線基板の製造方法、発光装置及び電子機器 - Google Patents
配線基板の製造方法、発光装置及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012073327A JP2012073327A JP2010216741A JP2010216741A JP2012073327A JP 2012073327 A JP2012073327 A JP 2012073327A JP 2010216741 A JP2010216741 A JP 2010216741A JP 2010216741 A JP2010216741 A JP 2010216741A JP 2012073327 A JP2012073327 A JP 2012073327A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- wiring board
- light emitting
- emitting device
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
【課題】多層配線構造を有する配線基板において、上層配線の断線等による歩留まりの低下を抑制し、信頼性を向上させることのできる配線基板の製造方法、発光装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】配線基板の製造方法は、基板100上に形成されたAl−Ni合金膜102上に保護膜としてMo合金膜104を形成する工程と、Mo合金膜104上にレジスト105を形成する工程と、Al−Ni合金膜102をエッチングして、基板100側の幅がその反対側の幅よりも大きい順テーパ形状を有する信号線Ldを形成する工程と、を備える。
【選択図】図14
【解決手段】配線基板の製造方法は、基板100上に形成されたAl−Ni合金膜102上に保護膜としてMo合金膜104を形成する工程と、Mo合金膜104上にレジスト105を形成する工程と、Al−Ni合金膜102をエッチングして、基板100側の幅がその反対側の幅よりも大きい順テーパ形状を有する信号線Ldを形成する工程と、を備える。
【選択図】図14
Description
本発明は、配線基板の製造方法、発光装置及び電子機器に関する。
近年、液晶表示装置(LCD)に続く次世代の表示デバイスとして、有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、「有機EL素子」と略記する。)等の自発光素子が2次元配列された自発光型の素子基板を備える発光装置又は表示装置の研究開発が行われている。
有機EL素子は、アノード電極と、カソード電極と、これらの一対の電極間に形成された発光機能層と、を備える。発光機能層は、例えば有機EL層、正孔注入層及びインターレイヤからなる。有機EL層は蛍光あるいは燐光を発光することが可能な材料、例えばポリパラフェニレンビニレン系やポリフルオレン系等の共役二重結合ポリマーを含む発光材料から構成されている。有機EL素子は、有機EL層において正孔と電子とが再結合する際に発生するエネルギーによって発光する。
有機EL素子を備える発光装置又は表示装置は、有機EL素子に電流を供給するための回路を備える。電流供給回路としては、基板上に薄い配線層や絶縁層を積層し必要に応じてパターニングした配線基板が一般的に用いられる。有機EL素子もこの配線基板上に形成される。有機EL素子を配線基板上に形成することで、発光装置又は表示装置全体の小型化・薄型化が図れる。
装置の小型化・薄型化のためには、配線基板は可能な限り薄い層を多数積層した多層配線構造とすることが好ましい。その一方で、配線層を薄くすると断線が生じやすくなるという問題がある。特に、下層配線と上層配線とが絶縁層を隔てて基板の法線方向から見て交わっている場所では、上層配線は下層配線により生じる段差を乗り越えなければならないため、その部分で金属膜形成時のカバレッジ性が低下し、配線が薄くなったり、断線が生じたりするという問題がある。
特許文献1には、TFTと、反射電極、有機EL層及び透明電極を順に重ねた有機EL素子と、を備える多層配線基板が開示されている。
特許文献1からも分かるように、多層配線基板では、下層に配置された電極や配線を覆うように層間絶縁膜を形成すると、下部の電極や配線の凹凸が層間絶縁膜の表面形状に影響を及ぼす。このため、上層配線がこれらの段差を乗り越えなければならない場合、その部分で金属膜形成時のカバレッジ性が低下し、配線が薄くなったり、断線が生じたりするという問題がある。
本発明は上記問題に鑑みなされたものであり、多層配線構造を有する配線基板において、上層配線の断線等による歩留まりの低下を抑制し、信頼性を高めることができる配線基板の製造方法、並びにこの配線基板を備える発光装置及び電子機器を提供することを目的とする。
本発明の第1の観点に係る配線基板の製造方法は、基板上部に第一の金属膜を形成する工程と、前記第一の金属膜を保護膜で被覆する工程と、前記保護膜上にレジストパターンを形成する工程と、前記保護膜の一部をエッチングにより除去する工程と、前記第一の金属膜をエッチングして、その前記基板側の幅がその反対側の幅よりも大きい順テーパ形状を有する第一の配線を形成する工程と、前記レジストパターン及び前記保護膜の残部を除去して前記第一の配線を露出させ、前記第一の配線を覆う絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上部に第二の配線を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
ここで、前記第一の金属膜はAl−Ni合金で形成されることが好ましい。
また、前記保護膜はMo合金、窒化シリコン又は微結晶シリコンで形成されていてもよい。
ここで、前記第一の金属膜はAl−Ni合金で形成されることが好ましい。
また、前記保護膜はMo合金、窒化シリコン又は微結晶シリコンで形成されていてもよい。
本発明の第2の観点に係る発光装置は、本発明の第1の観点に係る配線基板の製造方法により得られた配線基板と、前記基板上に形成された第一電極と、前記第一電極と対向する第二電極と、前記第一電極と前記第二電極との間に形成された発光層と、を備えた発光素子と、前記発光素子を駆動するトランジスタと、を備え、前記第一の配線及び前記第二の配線は、前記トランジスタと接続されていることを特徴とする。
本発明の第3の観点に係る電子機器は、本発明の第2の観点に係る発光装置を備える。
本発明の第3の観点に係る電子機器は、本発明の第2の観点に係る発光装置を備える。
本発明によれば、多層配線構造を有する配線基板において、上層配線の断線等による歩留まりの低下を抑制し、信頼性を向上させることのできる配線基板の製造方法、発光装置及び電子機器を提供することができる。
以下、本発明の実施形態に係る配線基板の製造方法、発光装置及び電子機器について、図面を参照しながら説明する。
本発明に係る製造方法により得られた配線基板は発光装置を始め様々な電子機器に用いることができるが、ここでは具体例として、発光装置又は表示装置に用いられるものを挙げる。発光装置又は表示装置とは、例えば有機EL表示装置、有機EL発光装置、LCD等であって、デジタルカメラ、パーソナルコンピュータ、携帯電話、テレビ等の電子機器の表示部(ディスプレイ)に用いられる。具体例について図1〜4を参照しながら説明する。カメラ1200は図1(a)及び(b)に示すように、レンズ部1201と、操作部1202と、表示部1203と、ファインダー1204と、を備える。表示部1203は、本発明に係る配線基板を有する。同様に、パーソナルコンピュータ1210は図2に示すように、表示部1211と操作部1212とを備える。表示部1211は、本発明に係る配線基板を有する。更に、図3に示すように、携帯電話機1220は表示部1221と、操作部1222と、受話部1223と、送話部1224と、を備える。表示部1221は、本発明に係る配線基板を有する。更に、図4に示すように、テレビ1230は表示部1231を備える。表示部1231は、本発明に係る配線基板を有する。
本発明の実施形態に係る発光装置800について図面を参照しながら説明する。発光装置800は基板側に光を放出する、ボトムエミッション型の発光装置である。図5及び図6に示すように、発光装置800はガラス基板100と、ガラス基板100上に二次元配列された複数の画素120と、を備える。複数の画素120はそれぞれ隔壁130によって仕切られている。複数の画素120を含む領域は、封止基板300及び封止樹脂150によって封止されている。
発光装置800の構造を、図7乃至図9を参照しながらさらに詳細に説明する。図7は画素120の構成を説明するための等価回路図である。図8は発光装置800を部分的に拡大した平面模式図であり、図9は発光装置800に備えられている画素120のうちの1つを拡大して示した平面図である。なお、図8、図9においては構造の理解を容易にするため、対向電極46、無機膜47、封止樹脂150及び封止基板300は省略されている。
図7に示すように、各画素120はキャパシタCs、アノード線La、信号線Ld、走査線Ls、有機EL素子OEL、選択トランジスタTr11及び駆動トランジスタTr12を備える。平面視すると、アノード線La、信号線Ld及び走査線Lsは図8に示すように画素120の開口部の間に縦横に交差して配置されている。1つの画素120をより具体的に示したものが、図9である。
キャパシタCsは、駆動トランジスタTr12のゲート−ソース間電圧を保持するためのものであり、図7及び図9に示すように、駆動トランジスタTr12のゲート−ソース間に接続されている。
選択トランジスタTr11は、有機EL素子OELを選択するスイッチとして機能するトランジスタである。図9に示すように、そのドレイン電極は信号線Ldに接続されている。ソース電極は駆動トランジスタTr12のゲート電極に接続されている。ゲート電極は走査線Lsに接続されている。
次に、断面図を参照して説明する。図10に示すように、画素120は有機EL層45を備える。有機EL層45は電流を供給されることにより発光する。有機EL層45に電流を供給するため、画素120は駆動トランジスタTr12と、アノード電極42と、対向電極46と、を備える。駆動トランジスタTr12は、例えば薄膜トランジスタである。アノード電極42は例えばITO等の透明電極材料で形成されている。対向電極46は、ボトムエミッション型の発光装置800の場合、例えばLi、Mg、Ca、Ba等の仕事関数の低い材料からなる電子注入性の下層と、Al等の光反射性導電金属からなる上層と、から構成されている。駆動トランジスタTr12は、所定の高電位Vddが印加されているアノード線Laからの電流をキャパシタCsに保持された電圧に応じて有機EL素子OELへと供給し、有機EL素子OELを発光させる。
ここまでの説明及び図面から理解されるように、発光装置800に備えられている配線基板は複数の配線層を有する多層配線基板である。これを平面視すると、図8及び図9に示すように、各配線層に形成されている配線は互いに交差している。例えば基板100上に形成されている信号線Ldは、ゲート絶縁膜106上に形成されているアノード線Laや走査線Lsと交差している。
多層配線基板の配線は、通常、Cr膜、Al膜、Cr/Al積層膜、AlTi合金膜、Al−Ni合金膜又はAlTiNb合金膜等を形成し、これをエッチング等でパターニングすることにより形成される。形成された配線のエッジが直角に立ち上がっている場合、その上に形成される絶縁膜にも、直角かそれに近いエッジ角を有する凸部が生ずる。この絶縁膜上に凸部と交差するように配線を形成する際、乗り越え部のカバレッジ性が低下し、配線が薄くなったり、断線が生じたりするおそれがある。この結果、製造時の歩留まり低下や、配線基板の信頼性低下が起きる可能性がある。
ここで発光装置800に備えられている配線基板は、基板100上に形成された信号線Ldが、図10に示すように順テーパ形状を有する。順テーパ形状とは、信号線Ldの基板100側の幅がその反対側よりも広い形状を指す。順テーパ形状を有する信号線Ldのエッジは図10に示すように鈍角で立ち上がっているため、その上に形成される絶縁膜106に生ずる凸部のエッジ角も鈍角となる。信号線106を順テーパ形状とすることで、例えば図12に示すように、絶縁膜106上に他の配線、例えばアノード線Laを形成する場合、凸部の乗り越え部においても高いカバレッジ性が得られる。この結果、歩留まりが向上すると共に、配線基板の信頼性も向上し、信頼性の高い発光装置800が得られる。
なお、ここでは発明の理解を容易にするために発光装置800の信号線Ldとアノード線Laとの関係に絞って説明したが、本発明の適用対象はこれに限られない。複数の配線が交差する多層配線基板であれば、一の配線層の配線を順テーパ形状とすることで、該一の配線層よりも上層に配置される配線層形成時のカバレッジ性が向上し、同様の効果が得られる。例えば、3層の配線層を有する多層配線基板であれば、第1層及び第2層の配線をいずれも順テーパ形状に形成することで、第2層及び第3層形成時のカバレッジ性が向上し、歩留まりが向上すると共に信頼性の高い多層配線基板が得られる。
(配線基板の製造方法)
本発明の実施形態に係る配線基板の製造方法について、図13〜図15を参照しながら説明する。なお、ここでは理解を容易にするために有機EL素子を備える発光装置800の信号線Ld及びアノード線Laの形成を例に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
本発明の実施形態に係る配線基板の製造方法について、図13〜図15を参照しながら説明する。なお、ここでは理解を容易にするために有機EL素子を備える発光装置800の信号線Ld及びアノード線Laの形成を例に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
まず、図13(a)に示すように、ガラス基板100上にAl−Ni合金膜102をスパッタ法等の公知の方法により形成する。次に図13(b)に示すように、Al−Ni合金膜102上に、Mo合金膜104を形成する。このMo合金膜104は、保護膜の役割を果たす。
次にMo合金膜104上に光硬化性樹脂を塗布する。これをフォトリソグラフィによってパターニングし、図13(c)に示すようにレジスト105を形成する。レジスト105の現像には、例えば、長瀬産業社製のナガセポジデベロッパーNPD−2000等を用いることができるが、公知の現像液を用いることができ、特に限定されない。
続いて、Mo合金膜104をウェットエッチングする。エッチングには例えば、リン酸を主成分とするナガセケムテックス株式会社製のエッチャントM1等、公知のエッチング液を用いることができる。この際、レジスト105とMo合金膜104とは比較的密着性が低いため、レジスト105とMo合金膜104との界面にエッチング液が浸入する。この結果、レジスト105に被覆されている領域の端部ではMo合金膜104のエッチングが進み、Mo合金膜104は図14(d)に示すように順テーパ形状にエッチングされる。
次に、Al−Ni合金膜102をウェットエッチングする。このウェットエッチングはMo合金膜104のエッチングと同一の工程として連続的に行ってもよく、また別の工程として実施してもよい。ここで、Mo合金膜104とAl−Ni合金膜102とは比較的密着性が低いため、Mo合金膜104とAl−Ni合金膜102との界面にエッチング液が浸入する。この結果、Mo合金膜104に被覆された領域の端部ではAl−Ni合金膜102のエッチングが進み、図14(e)に示すように順テーパ形状を有する信号線Ldが形成される。なお、図13〜図15では省略されているが、選択トランジスタTr11、駆動トランジスタTr11のゲート電極、キャパシタCsを構成する電極の一方を信号線Ldと同時に形成してもよい。
次に図14(f)に示すようにレジスト105を剥離した後、図15(g)に示すようにドライエッチングによりMo合金膜104を除去し、信号線Ldを露出させる。この信号線Ldを窒化シリコン、酸化シリコン等で被覆すると、図15(h)に示すように、立ち上がり角が鈍角の凸部を有するゲート絶縁膜106が形成される。このゲート絶縁膜106は、例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)法等により形成することができる。
次に、ゲート絶縁膜106上に、選択トランジスタTr11や駆動トランジスタTr12を構成する半導体層、窒化シリコン等からなるストッパ膜、アモルファスシリコン層等を形成する。さらに、有機EL層に電流を供給するアノード電極を形成する(図示せず)。発光装置800がボトムエミッション型の場合、アノード電極は、ITO、ZnO等で形成される透明導電膜である。
次にゲート絶縁膜106の上に、図15(i)に示すように、アノード線Laを形成する。アノード線Laはゲート絶縁膜106上にCr膜、Al膜、Cr/Al積層膜、AlTi合金膜、Al−Ni合金膜又はAlTiNb合金膜等を形成し、これをエッチングすることで形成される。なおこの際、選択トランジスタTr11や駆動トランジスタTr12を構成するソース電極、ドレイン電極、キャパシタCsを構成する電極の他方をアノード線Laと同時に形成してもよい。
アノード線Laや駆動トランジスタTr12等を、窒化シリコン等で形成される層間絶縁膜125と、ポリイミド等で形成される隔壁130とで被覆し、互いに絶縁することによって、図12に示すような構造が得られる。
この後の工程は、公知の有機EL発光装置の製造工程と同様である。図10を参照しながら説明すると、まずノズルプリンティング法等によりアノード電極42上に有機EL層45を形成する。有機EL層45は、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の高分子発光材料、例えばポリパラフェニレンビニレン系やポリフルオレン系等の共役二重結合ポリマーを含む発光材料から構成される。なおこの際、例えば導電性ポリマーであるポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)とドーパントであるポリスチレンスルホン酸(PSS)から構成される正孔注入層と、正孔注入層の正孔注入性を抑制して有機EL層45内において電子と正孔とを再結合させやすくするインターレイヤを形成し、有機EL層45の発光効率を高めるようにしてもよい。
有機EL層45形成後、基板全体を例えばLi、Mg、Ca、Ba等からなる対向電極46と、例えばAl2O3、SiN等からなる無機膜47とで被覆する。これを封止樹脂105及び封止基板300で封止することで、図6に示すような発光装置800が得られる。
先に述べた通り、信号線Ldは順テーパ形状を有しているため、ゲート絶縁膜106の凸部はエッジの立ち上がり角が鈍角となる。このため、該凸部を乗り越えるようにアノード線Laを形成する際、乗り越え部においても高いカバレッジ性が得られ、配線基板の歩留まりが向上すると共に信頼性の高い発光装置800を得ることができる。
以上、本発明について実施形態を示しながら詳しく述べたが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。以下、本発明の他の実施形態を例示する。
上記の実施形態ではウェットエッチングにより順テーパ形状を有する配線を一段階で形成する方法を例として示したが、順テーパ形状を形成する方法はこれに限られない。例えば、通常の方法により直角に近いエッジ角を有する配線を形成した後、ドライエッチング等により順テーパ形状としてもよい。または、順テーパ形状を有する配線を予め作成しておき、これをプリントしてもよい。
また、ウェットエッチングにより順テーパ形状を有する配線を一段階で形成する場合において、上記の実施形態では保護膜としてMo合金膜を用いたが、保護膜は信号線Ldを形成する金属膜との密着性が比較的低いものであればよく、特に限定されない。例えば、信号線をAl−Ni合金で形成する場合、保護膜としてMo合金の代わりに、窒化シリコン膜、微結晶シリコン膜を用いてもよい。ここで、微結晶とは、例えば約50〜100nmの粒径を有する結晶を指す。保護膜として窒化シリコン膜又は微結晶シリコン膜を用いる場合、これをそのまま絶縁層の一部として用いることも可能であるが、絶縁膜の平坦性を確保するためには保護膜をドライエッチングにより除去することが好ましい。
以上、有機EL発光装置を例にとり本発明に係る配線基板及びその製造方法について説明したが、本発明に係る配線基板の適用対象は有機EL発光装置に限られない。本発明に係る配線基板は、液晶表示パネルを始めとする種々の発光装置、表示装置や、その他あらゆる電子機器に適用することができる。その他、本技術分野の通常の知識に基づいて様々な変形例が可能であり、それらの変形例は本発明の技術的範囲に含まれるものである。
Cs…キャパシタ、La…アノード線、Ld…信号線、Ls…走査線、OEL…有機EL素子、Tr11…選択トランジスタ、Tr12…駆動トランジスタ、42…アノード電極、45…有機EL層、46…対向電極、47…無機膜、100…ガラス基板、102…Al−Ni合金膜、104…Mo合金膜、105…レジスト、106…ゲート絶縁膜、120…画素、125…層間絶縁膜、130…隔壁、150,150a,150b…封止樹脂、300…封止基板、800…発光装置、1200…デジタルカメラ、1201…レンズ部、1202…操作部、1203…表示部、1204…ファインダー、1210…パーソナルコンピュータ、1211…表示部、1212…操作部、1220…携帯電話機、1221…表示部、1222…操作部、1223…受話部、1224…送話部、1230…テレビ、1231…表示部
Claims (7)
- 基板上部に第一の金属膜を形成する工程と、
前記第一の金属膜を保護膜で被覆する工程と、
前記保護膜上にレジストパターンを形成する工程と、
前記保護膜の一部をエッチングにより除去する工程と、
前記第一の金属膜をエッチングして、その前記基板側の幅がその反対側の幅よりも大きい順テーパ形状を有する第一の配線を形成する工程と、
前記レジストパターン及び前記保護膜の残部を除去して前記第一の配線を露出させ、前記第一の配線を覆う絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上部に第二の配線を形成する工程と、
を備えることを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記第一の金属膜はAl−Ni合金で形成される、ことを特徴とする請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 前記保護膜はMo合金で形成される、ことを特徴とする請求項2に記載の配線基板の製造方法。
- 前記保護膜は窒化シリコンで形成される、ことを特徴とする請求項2に記載の配線基板の製造方法。
- 前記保護膜は微結晶シリコンで形成される、ことを特徴とする請求項2に記載の配線基板の製造方法。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の方法により得られた配線基板と、
前記基板上に形成された第一電極と、前記第一電極と対向する第二電極と、前記第一電極と前記第二電極との間に形成された発光層と、を備えた発光素子と、
前記発光素子を駆動するトランジスタと、を備え、
前記第一の配線及び前記第二の配線は、前記トランジスタと接続されていることを特徴とする発光装置。 - 請求項6に記載の発光装置を備えることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010216741A JP2012073327A (ja) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 配線基板の製造方法、発光装置及び電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010216741A JP2012073327A (ja) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 配線基板の製造方法、発光装置及び電子機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012073327A true JP2012073327A (ja) | 2012-04-12 |
Family
ID=46169581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010216741A Pending JP2012073327A (ja) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 配線基板の製造方法、発光装置及び電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012073327A (ja) |
-
2010
- 2010-09-28 JP JP2010216741A patent/JP2012073327A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7335923B2 (en) | Electroluminescence display device | |
KR101920766B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 | |
US8455893B2 (en) | Light-emitting apparatus and production method thereof | |
JP4953166B2 (ja) | 表示パネルの製造方法 | |
KR100686120B1 (ko) | 유기 el 소자의 제조방법 | |
KR20190129998A (ko) | 어레이 기판 및 디스플레이 디바이스 | |
KR101719372B1 (ko) | 반사 전극을 구비한 유기전계발광 표시장치 제조 방법 | |
US20100193778A1 (en) | Organic light emitting diode display and method of manufacturing the same | |
JP2005331919A (ja) | 平板ディスプレイ装置及び電界発光ディスプレイ装置 | |
JP2006146205A (ja) | 平板表示装置及びその製造方法 | |
CN112447930A (zh) | 显示设备及制造该显示设备的方法 | |
JP2014032817A (ja) | 表示装置およびその製造方法、並びに電子機器の製造方法 | |
JP5691167B2 (ja) | 発光装置の製造方法 | |
JP4848767B2 (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
US20230329056A1 (en) | Organic light emitting display device | |
JP5267845B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
JP2010287634A (ja) | トランジスタを有するトランジスタ基板及びトランジスタを有するトランジスタ基板の製造方法 | |
JP5190709B2 (ja) | 表示パネル及びその製造方法 | |
JP5119635B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
JP5109542B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
US8860915B2 (en) | Display device | |
JP5201381B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
JP2012073327A (ja) | 配線基板の製造方法、発光装置及び電子機器 | |
CN113948661B (zh) | 显示基板和显示装置 | |
JP5533121B2 (ja) | トランジスタ装置及びこれを備える電子機器、並びにトランジスタ装置の製造方法 |