JP2012071351A

JP2012071351A - Laser oscillator

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Publication number: JP2012071351A
Application number: JP2011241983A
Authority: JP
Inventors: Koji Funaoka; 幸治船岡; Masahiko Hasegawa; 正彦長谷川; Motoaki Tamaya; 基亮玉谷; Satoshi Nishida; 聡西田; Yasunari Matsumoto; 康成松本
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2011-11-04
Filing date: 2011-11-04
Publication date: 2012-04-12
Anticipated expiration: 2026-06-07
Also published as: JP5400123B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser oscillator that prevents a mirror-supporting member from being deformed when a laser-oscillating device is thermally deformed.SOLUTION: The laser oscillator includes: the laser-oscillating device having a housing and generating laser light in the housing; a first mirror that guides the laser light generated in the laser-oscillating device; and a second mirror that is arranged in parallel with the first mirror and further guides the laser light from the first mirror. The laser-oscillating device is mounted on a support substrate, and the first and second mirrors are each mounted on the same mirror-supporting member. The mirror-supporting member is mounted on the support substrate through merely three fixing members respectively positioned on triangle vertices.

Description

この発明は、レーザ加工機などに使用されるレーザ発振装置に関するものである。 The present invention relates to a laser oscillation device used in a laser processing machine or the like.

レーザビームにより被加工物を加工するレーザ加工機では、レーザ発振器と複数のミラーを備えたレーザ発振装置が使用される。レーザ発振器は、筐体を有し、この筐体の内部でレーザ光を発生する。このレーザ光は、レーザビームとして、複数のミラーを通じて被加工物を加工する加工部に伝送される。 In a laser processing machine that processes a workpiece with a laser beam, a laser oscillation device including a laser oscillator and a plurality of mirrors is used. The laser oscillator has a casing and generates laser light inside the casing. This laser beam is transmitted as a laser beam to a processing unit that processes a workpiece through a plurality of mirrors.

レーザ加工機は、例えば特開２００２−３１６２９１号公報（特許文献１）の図１に開示される。この特許文献１に開示されたレーザ加工機のレーザ発振装置では、レーザ発振器から出力された直線偏光のレーザビームは、第１ベンドミラーによって円偏光され、この円偏光されたレーザビームは、第２ベンドミラー（凸面鏡）と第３ベンドミラー（凹面鏡）により、ビーム径を拡大するとともにほぼ平行ビームに補正され、加工部に送出される。一般に、レーザ発振器から出力されるレーザ光には、直線偏光成分が含まれており、このレーザ光の直線偏光成分により、被加工物に対するレーザ光の吸収率が加工方向に異なり、加工品質に異方性が生じる。このため、レーザ発振器から出力されたレーザ光を円偏光にしている。特許文献１の第１ベンドミラーは、直線偏光のレーサ光を円偏光に変換する円偏光ミラーを構成する。 A laser beam machine is disclosed in FIG. 1 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-316291 (Patent Document 1), for example. In the laser oscillation device of the laser processing machine disclosed in Patent Document 1, the linearly polarized laser beam output from the laser oscillator is circularly polarized by the first bend mirror, and the circularly polarized laser beam is the second The beam diameter is enlarged by the bend mirror (convex mirror) and the third bend mirror (concave mirror), the beam is corrected to a substantially parallel beam, and sent to the processing unit. In general, laser light output from a laser oscillator includes a linearly polarized component. The linearly polarized component of the laser light causes the absorption rate of the laser light to the workpiece to differ in the processing direction, resulting in a difference in processing quality. Anisotropy arises. For this reason, the laser beam output from the laser oscillator is circularly polarized. The first bend mirror of Patent Document 1 constitutes a circularly polarized mirror that converts linearly polarized laser light into circularly polarized light.

また、特開平１１−１６３４４２号公報（特許文献２）の図１には、レーザ加工機に使用されるＹＡＧレーザ発振装置が開示される。このＹＡＧレーザ発振装置では、共通のベース板上に、基本波発振部と、第２高調波発生部と、第３高調波発生部とともに、特定波長の光を反射する２つのダイクロイックミラーを配置される。この特許文献２の基本波発振部は、レーザ発振器を構成する。 Further, FIG. 1 of Japanese Patent Laid-Open No. 11-163442 (Patent Document 2) discloses a YAG laser oscillation device used in a laser processing machine. In this YAG laser oscillation device, two dichroic mirrors that reflect light of a specific wavelength are disposed on a common base plate together with a fundamental wave oscillation unit, a second harmonic generation unit, and a third harmonic generation unit. The The fundamental wave oscillating unit of Patent Document 2 constitutes a laser oscillator.

特開２００２−３１６２９１号公報、とくに図１JP 2002-316291 A, especially FIG. 特開平１１−１６３４４２号公報、とくに図１JP-A-11-163442, especially FIG.

特許文献１に開示された円偏光ミラーを用いるレーザ発振装置では、円偏光ミラーはレーザ発振器の筐体に取り付けられる。このため、レーザ発振器の筐体の熱変形に伴ない、円偏光ミラーの角度が変化し、レーザ光軸にずれが生じる。円偏光ミラーから加工部までの距離は、一般には１０ｍ以上と長く、円偏光ミラーの僅かな角度変化によって、加工位置の大きな変化が生じる不都合がある。また、特許文献２に開示された２つのダイクロイックミラーを用いるレーザ発振装置でも、各ダイクロイックミラーが共通のベース板上に取り付けられる。このため、レーザ発振器の熱によりベース板が変形し、各ダイクロイックミラーの平行性が崩れ、レーザ光の光軸にずれが発生し、加工位置にずれが生じる不都合がある。 In the laser oscillation device using the circularly polarized mirror disclosed in Patent Document 1, the circularly polarized mirror is attached to the casing of the laser oscillator. For this reason, with the thermal deformation of the casing of the laser oscillator, the angle of the circularly polarized mirror changes, and the laser optical axis is displaced. The distance from the circularly polarizing mirror to the processing portion is generally as long as 10 m or more, and there is a disadvantage that a large change in the processing position occurs due to a slight change in the angle of the circularly polarizing mirror. Also in the laser oscillation device using two dichroic mirrors disclosed in Patent Document 2, each dichroic mirror is mounted on a common base plate. For this reason, the base plate is deformed by the heat of the laser oscillator, the parallelism of each dichroic mirror is lost, the optical axis of the laser beam is displaced, and the machining position is displaced.

この発明は、このようなレーザ光軸のずれを改善することのできるレーザ発振装置を提案するものである。 The present invention proposes a laser oscillation apparatus capable of improving such a laser optical axis shift.

この発明によるレーザ発振装置は、筐体を有し、この筐体の内部でレーザ光を発生するレーザ発振器、前記レーザ発振器で発生した前記レーザ光を導く第１ミラー、および前記第１ミラーと平行に配置され前記第１ミラーからの前記レーザ光をさらに導く第２ミラーを備えたレーザ発振装置であって、前記レーザ発振器が支持基板に取り付けられ、また、前記第１ミラーと前記第２ミラーがともに共通のミラー支持部材に取り付けられ、このミラー支持部材が、前記支持基板に対して、三角形の各頂点に位置する単に３つの固着部材により取り付けられたことを特徴とする。 A laser oscillation apparatus according to the present invention includes a housing, a laser oscillator that generates laser light inside the housing, a first mirror that guides the laser light generated by the laser oscillator, and a parallel to the first mirror. A laser oscillation device including a second mirror that further guides the laser light from the first mirror, wherein the laser oscillator is attached to a support substrate, and the first mirror and the second mirror are Both are attached to a common mirror support member, and this mirror support member is attached to the support substrate by only three fixing members located at each vertex of the triangle.

この発明によるレーザ発振装置では、レーザ発振器が支持基板に取り付けられ、また、第１ミラーと第２ミラーがともに共通のミラー支持部材に取り付けられ、このミラー支持部材が、前記支持基板に対して、三角形の各頂点に位置する単に３つの固着部材により取り付けられたので、レーザ発振器の筐体が熱変形しても、ミラー支持部材の変形を充分小さく抑制し、第１、第２ミラーのレーザ光軸のずれを充分小さく抑制できる。 In the laser oscillation device according to the present invention, the laser oscillator is attached to the support substrate, and the first mirror and the second mirror are both attached to a common mirror support member, and the mirror support member is attached to the support substrate. Since it is attached by only three fixing members located at each vertex of the triangle, even if the housing of the laser oscillator is thermally deformed, the deformation of the mirror support member is suppressed to a sufficiently small level, and the laser beams of the first and second mirrors Axis deviation can be suppressed sufficiently small.

この発明によるレーザ発振装置の実施の形態１を示す斜視図である。1 is a perspective view showing Embodiment 1 of a laser oscillation device according to the present invention. 実施の形態１におけるミラー支持部材の変形を説明する説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining deformation of a mirror support member in the first embodiment. ４点固着構造におけるミラー支持部材の変形を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the deformation | transformation of the mirror support member in a 4-point fixed structure. 実施の形態１におけるミラーの平行性を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing the parallelism of the mirror in the first embodiment. この発明によるレーザ発振装置の実施の形態２を示す斜視図である。It is a perspective view which shows Embodiment 2 of the laser oscillation apparatus by this invention. この発明によるレーザ発振装置の実施の形態３を示す斜視図である。It is a perspective view which shows Embodiment 3 of the laser oscillation apparatus by this invention. 実施の形態３における箱形ミラー支持体を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a box-shaped mirror support in a third embodiment.

以下この発明のいくつかの実施の形態について、図面を参照して説明する。 Several embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

実施の形態１．
図１は、この発明によるレーザ発振装置の実施の形態１を示す斜視図である。この実施の形態１のレーザ発振装置１００は、例えばレーザ加工機に使用される。 Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a perspective view showing Embodiment 1 of the laser oscillation apparatus according to the present invention. The laser oscillation apparatus 100 according to the first embodiment is used for a laser processing machine, for example.

実施の形態１のレーザ発振装置１００は、レーザ発振器１０と、光学ユニット２０を備えている。レーザ発振器１０は、筐体１１を有し、この筐体１１の内部でレーザ光を発生する。筐体１１は、金属、例えば鋼板で直方体の箱形に形成され、正面壁１１Ａと、裏面壁１１Ｂと、周壁１１Ｃを有する。レーザ発振器１０で発生したレーザ光は、レーザビームＬＢとなり、正面壁１１Ａからそれと垂直に交差する方向に導出される。正面壁１１Ａには、３つの取付台１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃが形成される。 The laser oscillation device 100 according to the first embodiment includes a laser oscillator 10 and an optical unit 20. The laser oscillator 10 has a housing 11 and generates laser light inside the housing 11. The housing 11 is formed of a metal, for example, a steel plate, into a rectangular parallelepiped box shape, and includes a front wall 11A, a back wall 11B, and a peripheral wall 11C. The laser light generated by the laser oscillator 10 becomes a laser beam LB, and is led out from the front wall 11A in a direction perpendicular to the front wall 11A. Three mounting bases 12A, 12B, and 12C are formed on the front wall 11A.

レーザ発振器１０には、例えば特開昭６０−２５４６８４号公報の第２図に開示されたレーザ発振器が使用される。このレーザ発振器は、ガスレーザ発振器であり、筐体１１の内部には、ＣＯ_２などのレーザガスが封入される。レーザガスを封入した筐体１１内には、特開昭６０−２５４６８４号公報の第２図に示されるように、レーザガスを循環させる送風機と、レーザガスを冷却させる熱交換器と、レーザガスを励起する一対の放電電極が配置される。レーザ発振中には、レーザガスに温度差が生じ、筐体１１には温度分布が発生し、この温度分布に基づき、筐体１１の熱変形が発生する。例えばレーザ加工機に使用されるレーザ発振器１０は高出力として構成され、内部に発生する熱量が大きいので、筐体１１の熱変形を避けられない。 As the laser oscillator 10, for example, the laser oscillator disclosed in FIG. 2 of JP-A-60-254684 is used. This laser oscillator is a gas laser oscillator, and a laser gas such as CO ₂ is enclosed in the housing 11. As shown in FIG. 2 of Japanese Patent Laid-Open No. 60-254684, a housing 11 enclosing a laser gas has a pair of a fan for circulating the laser gas, a heat exchanger for cooling the laser gas, and a pair for exciting the laser gas. Discharge electrodes are arranged. During laser oscillation, a temperature difference is generated in the laser gas, and a temperature distribution is generated in the casing 11, and the casing 11 is thermally deformed based on the temperature distribution. For example, the laser oscillator 10 used in a laser processing machine is configured to have a high output, and since the amount of heat generated inside is large, thermal deformation of the housing 11 cannot be avoided.

光学ユニット２０は、ミラー系２１と、ミラー支持部材４１を有する。ミラー系２１は、互いに平行に配置された第１ミラー２２と第２ミラー２４を含む。実施の形態１では、第１ミラー２２は円偏光ミラーであり、第２ミラー２４は反射鏡で構成されたベンドミラーである。円偏光ミラー２２は、レーザビームＬＢが、４５°の入射角で入射するように設置される。 The optical unit 20 includes a mirror system 21 and a mirror support member 41. The mirror system 21 includes a first mirror 22 and a second mirror 24 arranged in parallel to each other. In the first embodiment, the first mirror 22 is a circular polarization mirror, and the second mirror 24 is a bend mirror composed of a reflecting mirror. The circularly polarizing mirror 22 is installed so that the laser beam LB is incident at an incident angle of 45 °.

特開平８−１９２２８３号公報の図２５には、レーザ発振器から出力される直線偏光のレーザ光を円偏光にする方法が開示される。入射角４５°で使用するミラーの反射面に対し、直線偏光のレーザ光の偏光面がＳ偏光軸（またはＰ偏光軸）と４５°をなす入射配置（方位角４５°）にて、反射するレーザ光のＳ偏光とＰ偏光の両成分間に９０°（λ／４）の位相差が生じるように光学膜設計された誘電体多層膜を形成することにより、直線偏光を円偏光に変換することができ、このようなミラーを円偏光ミラーと呼ぶ。ここで、Ｓ偏光とは、入射面に垂直な偏光面を持つ成分であり、Ｐ偏光とは、それに垂直、すなわち入射面に平行な偏光面を持つ成分である。円偏光ミラー２２は、この特開平８−１９２２８３に開示された円偏光ミラーと同じに構成される。 FIG. 25 of JP-A-8-192283 discloses a method of converting linearly polarized laser light output from a laser oscillator into circularly polarized light. Reflects in the incident arrangement (azimuth angle 45 °) where the polarization plane of the linearly polarized laser beam forms 45 ° with the S polarization axis (or P polarization axis) with respect to the reflection surface of the mirror used at an incident angle of 45 °. Linearly polarized light is converted to circularly polarized light by forming a dielectric multilayer film designed as an optical film so that a phase difference of 90 ° (λ / 4) occurs between both S-polarized light and P-polarized light components of the laser light. Such a mirror is called a circularly polarized mirror. Here, the S-polarized light is a component having a polarization plane perpendicular to the incident plane, and the P-polarized light is a component having a polarization plane perpendicular to the incident plane, that is, parallel to the incident plane. The circularly polarizing mirror 22 is configured in the same manner as the circularly polarizing mirror disclosed in JP-A-8-192283.

ミラー支持部材４１は、金属、例えば鋼板で長方形の平板状に形成される。このミラー支持部材４１は、相対向する一対の主面４１Ａ、４１Ｂと、相対向する一対の長辺４２Ａ、４２Ｂと、相対向する一対の短辺４２Ｃ、４２Ｄと、４つのコーナー部４３Ａ〜４３Ｄを有する。主面４１Ａ、４１Ｂは互いに平行な平面である。コーナー部４３Ａは、左長辺４２Ａと上短辺４２Ｃとの間に形成され、コーナー部４３Ｂは、右長辺４２Ｂと上短辺４２Ｃとの間に形成され、コーナー部４３Ｃは、右長辺４２Ｂと下短辺４２Ｄとの間に形成され、コーナー部４３Ｄは、左長辺４２Ａと下短辺４２Ｄとの間に形成される。 The mirror support member 41 is formed of a metal, for example, a steel plate, into a rectangular flat plate shape. The mirror support member 41 includes a pair of opposed main surfaces 41A and 41B, a pair of opposed long sides 42A and 42B, a pair of opposed short sides 42C and 42D, and four corner portions 43A to 43D. Have The main surfaces 41A and 41B are planes parallel to each other. The corner portion 43A is formed between the left long side 42A and the upper short side 42C, the corner portion 43B is formed between the right long side 42B and the upper short side 42C, and the corner portion 43C is formed on the right long side. 42B and the lower short side 42D are formed, and the corner portion 43D is formed between the left long side 42A and the lower short side 42D.

第１ミラー２２は、ミラーブロック２３に取り付けられ、このミラーブロック２３は、ミラー支持部材４１の主面４１Ａの上部中央に直接取り付けられる。第２ミラー２４は、ミラーブロック２５に取り付けられ、このミラーブロック２５は、ミラー支持部材４１の主面４１Ａの下部中央に直接取り付けられる。ミラーブロック２３、２５は、それぞれの両端面を直角二等辺三角形として、三角柱状に形成される。ミラー２２、２４は、それぞれのミラーの中心面がミラー支持部材４１の主面４１Ａに対して４５°傾斜して、互いに平行な状態で、ミラーブロック２３、２５により支持される。レーザビームＬＢは第１ミラー２２の入射面に４５°の角度で入射して、その入射面から４５°の角度で反射し、その後、第２ミラー２４の入射面に４５°の入射角で入射し、その入射面から４５°の角度で反射され、レーザ加工機の加工部に導かれる。 The first mirror 22 is attached to the mirror block 23, and this mirror block 23 is directly attached to the upper center of the main surface 41 A of the mirror support member 41. The second mirror 24 is attached to the mirror block 25, and this mirror block 25 is directly attached to the lower center of the main surface 41 A of the mirror support member 41. The mirror blocks 23 and 25 are formed in a triangular prism shape with their both end faces as right-angled isosceles triangles. The mirrors 22 and 24 are supported by the mirror blocks 23 and 25 in a state where the center surfaces of the respective mirrors are inclined by 45 ° with respect to the main surface 41A of the mirror support member 41 and parallel to each other. The laser beam LB is incident on the incident surface of the first mirror 22 at an angle of 45 °, reflected from the incident surface at an angle of 45 °, and then incident on the incident surface of the second mirror 24 at an incident angle of 45 °. Then, the light is reflected from the incident surface at an angle of 45 ° and guided to the processing portion of the laser processing machine.

ミラー支持部材４１は、単に３つの固着具４５Ａ、４５Ｂ、４５Ｃを含む３点固着構造により、レーザ発振器１０の筐体１１の正面壁１１Ａに形成された取付台１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃに直接取り付けられる。固着具４５Ａはミラー支持部材４１のコーナー部４３Ａを正面壁１１Ａに固着する。固着具４５Ｂはミラー支持部材４１のコーナー部４３Ｂを正面壁１１Ａに固着する。固着具４５Ｃはミラー支持部材４１のコーナー部４３Ｃを正面壁１１Ａに固着する。コーナー部４３Ｄには、固着具は配置されず、このコーナー部４３Ｄは、正面壁１１Ａに固着されず、フリーの状態とされる。このように、単に３つの固着具４５Ａ、４５Ｂ、４５Ｃが、３つのコーナー部４５Ａ、４５Ｂ、４５Ｃを正面壁１１Ａに固着する結果、３つの固着具４５Ａ、４５Ｂ、４５Ｃは、三角形の各頂点に位置する。これらの固着具４５Ａ、４５Ｂ、４５Ｃは、例えば互いに同じ外形寸法を持ったボルトで構成される。 The mirror support member 41 is directly attached to the mounting bases 12A, 12B, and 12C formed on the front wall 11A of the housing 11 of the laser oscillator 10 simply by a three-point fixing structure including three fixing tools 45A, 45B, and 45C. . The fixing tool 45A fixes the corner portion 43A of the mirror support member 41 to the front wall 11A. The fixing tool 45B fixes the corner portion 43B of the mirror support member 41 to the front wall 11A. The fixing tool 45C fixes the corner portion 43C of the mirror support member 41 to the front wall 11A. A fixing tool is not disposed in the corner portion 43D, and the corner portion 43D is not fixed to the front wall 11A and is in a free state. As described above, as a result of simply fixing the three corners 45A, 45B, 45C to the front wall 11A by the three fixing tools 45A, 45B, 45C, the three fixing tools 45A, 45B, 45C are attached to each vertex of the triangle. To position. These fixing tools 45A, 45B, and 45C are constituted by bolts having the same outer dimensions, for example.

図２、図３は、レーザ発振器１０における筐体１１の正面壁１１Ａの熱変形と、これに伴なうミラー支持部材４１の変形を説明する説明図である。図２は、実施の形態１による３点固着構造における正面壁１１Ａの熱変形と、これに伴なうミラー支持部材４１の変形を示し、また図３は、図２と比較するために４点固着構造における正面壁１１Ａの熱変形と、これに伴なうミラー支持部材４１の変形を示す。図２の３点固着構造は、ミラー支持部材４１のコーナー部４３Ａ〜４３Ｃを固着具４５Ａ〜４５Ｃにより、正面壁１１Ａの取付台１２Ａ〜１２Ｃに固着した構造である。図３の４点固着構造は、ミラー支持部材４１のコーナー部４３Ｄにも固着具４５Ｄを設け、ミラー支持部材４１が、４つの固着具４５Ａ〜４５Ｄにより、正面壁１１Ａの取付台１２Ａ〜１２Ｄに固着された構造である。 2 and 3 are explanatory views for explaining the thermal deformation of the front wall 11A of the casing 11 in the laser oscillator 10 and the deformation of the mirror support member 41 accompanying this. 2 shows the thermal deformation of the front wall 11A and the accompanying deformation of the mirror support member 41 in the three-point fixing structure according to the first embodiment, and FIG. 3 shows four points for comparison with FIG. The thermal deformation of the front wall 11A in the fixing structure and the accompanying deformation of the mirror support member 41 are shown. 2 is a structure in which the corner portions 43A to 43C of the mirror support member 41 are fixed to the mounting bases 12A to 12C of the front wall 11A by the fixing tools 45A to 45C. In the four-point fixing structure of FIG. 3, a fixing tool 45D is also provided at the corner portion 43D of the mirror support member 41, and the mirror support member 41 is attached to the mounting bases 12A to 12D of the front wall 11A by the four fixing tools 45A to 45D. It is a fixed structure.

実施の形態１による３点固着構造では、図２に示すように、正面壁１１Ａが熱変形しても、ミラー支持部材４１には、変形が殆んど発生しないが、４点固着構造では、図３に示すように、正面壁１１Ａの熱変形に伴ない、ミラー支持部材４１に大きな変形が発生する。具体的には、正面壁１１Ａの取付台１２Ａ〜１２Ｄが、正面壁１１Ａの熱変形に基づき、互いに異なる隆起量で隆起した場合を想定する。４点固着構造では、４つの固着具４５Ａ〜４５Ｄによる過剰拘束のために、各取付台１２Ａ〜１２Ｄの互いに異なる隆起量に基づき、長辺４２Ａ、４２Ｂ、および短辺４２Ｃ、４２Ｄのそれぞれにおいて、平行性が変化する。このように、ミラー支持部材４１の平面度が変化するため、ミラー２２、２４の相対角度が変化し、それらの平行性が崩れる。４点以上の多点固着構造を採用すれば、４点固着構造よりも、さらに過剰拘束となり、ミラー２２、２４の相対角度は変化する。 In the three-point fixing structure according to the first embodiment, as shown in FIG. 2, even when the front wall 11A is thermally deformed, the mirror support member 41 hardly deforms. As shown in FIG. 3, a large deformation occurs in the mirror support member 41 with the thermal deformation of the front wall 11A. Specifically, a case is assumed where the mounting bases 12A to 12D of the front wall 11A are raised with different ridge amounts based on the thermal deformation of the front wall 11A. In the four-point fixing structure, due to excessive restraint by the four fixing tools 45A to 45D, on the long sides 42A and 42B and the short sides 42C and 42D, respectively, based on the different bulge amounts of the mounting bases 12A to 12D, Parallelism changes. Thus, since the flatness of the mirror support member 41 changes, the relative angles of the mirrors 22 and 24 change, and their parallelism is lost. If a four-point or more multi-point fixing structure is employed, it becomes more restrained than the four-point fixing structure, and the relative angles of the mirrors 22 and 24 change.

実施の形態１の３点固着構造では、筐体１１の正面壁１１Ａが熱変形した場合に、固着具４５Ａと固着具４５Ｂとを結ぶ線、および固着具４５Ｂと固着具４５Ｃとを結ぶ線は、移動するが、コーナー部４３Ｄがフリーとされる結果、両辺を含む平面は一意に決まり平面度が変化することはない。したがって、ミラー支持部材４１の平面度も一定となり、円偏光ミラー２２とベンドミラー２４の相対角度も一定に保つことができる。 In the three-point fixing structure of the first embodiment, when the front wall 11A of the housing 11 is thermally deformed, the line connecting the fixing tool 45A and the fixing tool 45B and the line connecting the fixing tool 45B and the fixing tool 45C are as follows. However, as a result of the corner portion 43D being free, the plane including both sides is uniquely determined and the flatness does not change. Therefore, the flatness of the mirror support member 41 is also constant, and the relative angle between the circularly polarizing mirror 22 and the bend mirror 24 can be kept constant.

図４は、ミラー２２、２４の平行性に関する説明図である。ミラー支持部材４１は、レーザ発振器１０における筐体１１の正面壁１１Ａに固着されるので、正面壁１１Ａの熱変形に伴なうミラー支持部材４１の姿勢変化は回避できないが、実施の形態１の３点固着構造では、ミラー支持部材４１の姿勢変化は単調変化となり、その姿勢変化は、円偏光ミラー２２とベンドミラー２４の平行性を実質的に保つような姿勢変化となる。例えば図４に示すように、第１ミラー２２が、第２ミラー２４よりも正面壁１１Ａから離れるような単調な姿勢変化では、ミラー２２、２４との平行性は実質的に保持される。この場合、ミラー２２、２４の光軸の角度は、図４に実線で示す状態から点線で示すように変化するが、第１ミラー２２の光軸の角度変化と、第２ミラー２４の光軸の角度変化は、実質的に互いに相殺されるので、第２ミラー２４から出力されるレーザビームＬＢの光軸角度の変化は実質的に生じることなく、実質的に一定に保たれ、加工位置の変化も実質的に解消することができ、良好な加工品質を得ることができる。 FIG. 4 is an explanatory diagram regarding the parallelism of the mirrors 22 and 24. Since the mirror support member 41 is fixed to the front wall 11A of the housing 11 in the laser oscillator 10, a change in the posture of the mirror support member 41 due to thermal deformation of the front wall 11A cannot be avoided. In the three-point fixing structure, the posture change of the mirror support member 41 is a monotonous change, and the posture change is a posture change that substantially maintains the parallelism of the circularly polarized mirror 22 and the bend mirror 24. For example, as shown in FIG. 4, the parallelism with the mirrors 22 and 24 is substantially maintained in a monotonous posture change in which the first mirror 22 is farther from the front wall 11 A than the second mirror 24. In this case, the angle of the optical axis of the mirrors 22 and 24 changes from the state shown by the solid line in FIG. 4 as shown by the dotted line, but the angle change of the optical axis of the first mirror 22 and the optical axis of the second mirror 24 change. Are substantially cancelled with each other, so that the optical axis angle of the laser beam LB output from the second mirror 24 does not substantially change and is kept substantially constant. The change can be substantially eliminated, and good processing quality can be obtained.

このように実施の形態１では、第１ミラー２２と第２ミラー２４がともにミラー支持部材４１に取り付けられ、このミラー支持部材４１が、レーザ発振器１０における筐体１１に対して、三角形の各頂点に位置する単に３つの固着具４５Ａ〜４５Ｃにより取り付けられるので、筐体１０の熱変形に伴なうミラー支持部材４１の変形を充分小さく抑制し、レーザ光の光軸の変化を抑制することができる。 As described above, in the first embodiment, both the first mirror 22 and the second mirror 24 are attached to the mirror support member 41, and each of the mirror support members 41 has a triangular apex with respect to the casing 11 in the laser oscillator 10. Since it is attached by only three fixing tools 45A to 45C located at the position, the deformation of the mirror support member 41 accompanying the thermal deformation of the housing 10 can be suppressed sufficiently small, and the change of the optical axis of the laser beam can be suppressed. it can.

実施の形態２．
図５は、この発明によるレーザ発振装置の実施の形態２を示す斜視図である。この実施の形態２のレーザ発振装置１００Ａは、実施の形態１における光学ユニット２０に代わって、光学ユニット２０Ａを使用する。この光学ユニット２０Ａは、ミラー系２１と、ミラー支持構造３０と、ミラー支持部材４１１を有する。ミラー系２１は、実施の形態１と同じに、第１ミラー２２と、第２ミラー２４を有する。ミラー支持構造３０は、これらのミラー２２、２４を共通に支持する。このミラー支持構造３０は、実施の形態２では、円筒状のミラー支持体３１とされる。ミラー支持部材４１１は、実施の形態１で使用されたミラー支持部材４１に一対の取付アーム４６を付加して構成される。この取付アーム４６はミラー支持部材４１１の主面４１Ａに一体に形成され、この取付アーム４６によりミラー支持体３１がミラー支持部材４１１に取り付けられる。第１ミラー２２が取り付けられるミラーブロック２３Ａおよび第２ミラー２４が取り付けられるミラーブロック２５Ａは、円筒状のミラー支持体３１の両端部にねじ込まれるように、円筒状に構成される。その他は、実施の形態１と同じに構成される。 Embodiment 2. FIG.
FIG. 5 is a perspective view showing Embodiment 2 of the laser oscillation apparatus according to the present invention. The laser oscillation device 100A according to the second embodiment uses an optical unit 20A instead of the optical unit 20 according to the first embodiment. The optical unit 20A includes a mirror system 21, a mirror support structure 30, and a mirror support member 411. The mirror system 21 includes a first mirror 22 and a second mirror 24 as in the first embodiment. The mirror support structure 30 supports these mirrors 22 and 24 in common. The mirror support structure 30 is a cylindrical mirror support 31 in the second embodiment. The mirror support member 411 is configured by adding a pair of mounting arms 46 to the mirror support member 41 used in the first embodiment. The attachment arm 46 is formed integrally with the main surface 41A of the mirror support member 411, and the mirror support 31 is attached to the mirror support member 411 by the attachment arm 46. The mirror block 23 A to which the first mirror 22 is attached and the mirror block 25 A to which the second mirror 24 is attached are configured in a cylindrical shape so as to be screwed into both ends of the cylindrical mirror support 31. The other configuration is the same as that of the first embodiment.

この実施の形態２でも、ミラー支持部材４１１は、その４つのコーナー部４３Ａ〜４３Ｄの中の３つのコーナー部４３Ａ〜４３Ｃが、単に３つの固着具４５Ａ〜４５Ｃを含む３点固着構造により、レーザ発振器１０における筐体１１の正面壁１１Ａに固着され、コーナー部４３Ｄには、固着具は設けられず、コーナー部４３Ｄはフリーとされる。 Also in the second embodiment, the mirror support member 411 has a three-point fixing structure in which the three corner portions 43A to 43C among the four corner portions 43A to 43D simply include the three fixing tools 45A to 45C. The oscillator 10 is fixed to the front wall 11A of the casing 11, and the corner portion 43D is not provided with a fixing tool, and the corner portion 43D is free.

ミラー支持体３１は、金属、例えば鋼板により円筒状に構成され、平板に比べて、より高い剛性を持つ。このミラー支持体３１は、筐体１１の正面壁１１Ａと対向して、その中心軸が鉛直方向に沿って延びるように、配置される。このミラー支持体３１の上端部に、第１ミラー２２のミラーブロック２３Ａが取り付けられ、ミラー支持体３１の下端部に、第２ミラー２４のミラーブロック２５Ａが取り付けられる。この実施の形態２でも、第１ミラー２２は円偏光ミラーであり、第２ミラー２４はベンドミラーである。レーザ発振器１０からのレーザビームＬＢは、円偏光ミラー２２の入射面に４５°の入射角で入射してその入射面で４５°の角度に反射され、その後、ミラー支持体３１の内部を通り、ベンドミラー２４に入射面に４５°の入射角で入射し、その入射面で４５°の角度で反射され、レーザ加工機の加工部に導かれる。 The mirror support 31 is formed in a cylindrical shape from a metal, for example, a steel plate, and has higher rigidity than a flat plate. The mirror support 31 is disposed so as to face the front wall 11A of the housing 11 so that the central axis extends along the vertical direction. A mirror block 23 A of the first mirror 22 is attached to the upper end of the mirror support 31, and a mirror block 25 A of the second mirror 24 is attached to the lower end of the mirror support 31. Also in the second embodiment, the first mirror 22 is a circular polarization mirror, and the second mirror 24 is a bend mirror. The laser beam LB from the laser oscillator 10 is incident on the incident surface of the circularly polarizing mirror 22 at an incident angle of 45 ° and reflected at the incident surface at an angle of 45 °, and then passes through the inside of the mirror support 31. The light enters the bend mirror 24 at an incident angle of 45 °, is reflected by the incident surface at an angle of 45 °, and is guided to the processing portion of the laser processing machine.

ミラーブロック２３Ａ、２５Ａには、冷却配管３３が付設される。この冷却配管３３には、冷却水３４が供給され、ミラー２２、２４を冷却する。レーザ加工機に用いられるレーザ発振器１０は、出力が高く、ミラー２２、２４は、その高出力のレーザビームＬＢの一部を吸収するので、冷却配管３３によるミラー２２、２４の冷却は重要である。 A cooling pipe 33 is attached to the mirror blocks 23A and 25A. Cooling water 34 is supplied to the cooling pipe 33 to cool the mirrors 22 and 24. Since the laser oscillator 10 used in the laser processing machine has a high output and the mirrors 22 and 24 absorb a part of the high-power laser beam LB, the cooling of the mirrors 22 and 24 by the cooling pipe 33 is important. .

ミラー支持体３１は、レーザ発振器１０の運転前には、外気温度に等しい温度になり、ミラー支持体３１は、そのどの部分でも外気温度と等しい温度となるが、レーザ発振器１０の運転開始に伴ない、冷却配管３３によりミラーブロック２３Ａ、２３Ｂが冷却されると、ミラー２２、２４の周辺部と、冷却配管３３の接続部の周辺では、局部的に温度が低下するため、ミラー支持体３１に局部的な温度変化が生じ、ミラー支持体３１に熱応力が発生する。しかし、ミラー支持体３１は、平板よりも剛性の高い円筒状に構成されるので、ミラー支持体３１は、その熱応力によっても、曲がりとねじりの変形は小さく抑制される。したがって、冷却配管３３による冷却によっても、ミラー支持体３１の変形は小さく、ミラー２２、２４の平行性を実質的に維持することができ、レーザビームＬＢの光軸の変化は充分小さく抑制することができる。 The mirror support 31 is at a temperature equal to the outside air temperature before the laser oscillator 10 is operated, and the mirror support 31 is at a temperature equal to the outside air temperature at any part thereof. When the mirror blocks 23A and 23B are cooled by the cooling pipe 33, the temperature locally decreases in the periphery of the mirrors 22 and 24 and the connection part of the cooling pipe 33. A local temperature change occurs, and a thermal stress is generated in the mirror support 31. However, since the mirror support 31 is formed in a cylindrical shape having rigidity higher than that of the flat plate, the bending and twisting deformation of the mirror support 31 is suppressed to be small even by the thermal stress. Therefore, even by cooling by the cooling pipe 33, the deformation of the mirror support 31 is small, the parallelism of the mirrors 22 and 24 can be substantially maintained, and the change in the optical axis of the laser beam LB is suppressed to be sufficiently small. Can do.

実施の形態２では、実施の形態１と同様な効果が得られ、加えてミラー支持体３１を剛性の高い円筒状に構成したので、冷却配管３３によりミラー２２、２４を冷却しても、ミラー支持体３１の変形は小さく、ミラー２２、２４の平行性が実質的に維持することができ、レーザビームＬＢの光軸の変化を充分小さく抑制することができ、良好な加工を行なうことができる。 In the second embodiment, the same effect as in the first embodiment is obtained. In addition, since the mirror support 31 is configured in a highly rigid cylindrical shape, the mirrors 22 and 24 can be cooled by the cooling pipe 33 even if the mirrors 22 and 24 are cooled. The deformation of the support 31 is small, the parallelism of the mirrors 22 and 24 can be substantially maintained, the change in the optical axis of the laser beam LB can be suppressed sufficiently small, and good processing can be performed. .

実施の形態３．
図６は、この発明によるレーザ発振装置の実施の形態３を示す斜視図であり、図７は、実施の形態３における箱形ミラー支持体３５をレーザ発振器１０の側から見た斜視図である。 Embodiment 3 FIG.
FIG. 6 is a perspective view showing a third embodiment of the laser oscillation apparatus according to the present invention, and FIG. 7 is a perspective view of the box-shaped mirror support 35 in the third embodiment viewed from the laser oscillator 10 side. .

この実施の形態３のレーザ発振装置１００Ｂは、レーザ発振器１０と、支持基板１７と、光学ユニット２０Ｂを含む。支持基板１７は、例えば水平に配置される。この支持基板１７上にレーザ発振器１０と、光学ユニット２０Ｂとが、間隔をおいて取り付けられ、レーザ発振器１０と光学ユニット２０Ｂとは、共通な支持基板１７上で互いに機械的に結合される。レーザ発振器１０は、その周壁１１Ｃの中の底壁１３が支持基板１７に接合するようにして、支持基板１７上に固着具１５により取り付けられる。底壁１３は、長方形形状を有し、４つのコーナー部１４を有するが、それらのすべてのコーナー部１４が固着具１５により支持基板１７に固着される。固着具１５は、例えばボルトである。 The laser oscillation device 100B of the third embodiment includes a laser oscillator 10, a support substrate 17, and an optical unit 20B. The support substrate 17 is disposed horizontally, for example. The laser oscillator 10 and the optical unit 20B are mounted on the support substrate 17 at an interval, and the laser oscillator 10 and the optical unit 20B are mechanically coupled to each other on the common support substrate 17. The laser oscillator 10 is attached to the support substrate 17 by a fixing tool 15 so that the bottom wall 13 in the peripheral wall 11C is bonded to the support substrate 17. The bottom wall 13 has a rectangular shape and has four corner portions 14, and all the corner portions 14 are fixed to the support substrate 17 by the fixing tool 15. The fixing tool 15 is, for example, a bolt.

光学ユニット２０Ｂは、ミラー系２１と、ミラー支持構造３０を有する。ミラー系２１は、実施の形態１と同じく、第１ミラー２２と第２ミラー２４を有し、これらのミラー２２、２４は、それぞれ実施の形態１と同じミラーブロック２３、２５に取り付けられる。ミラーブロック２３、２５には、冷却配管３３が付設される。この冷却配管３３には、冷却水３４が供給され、ミラー２２、２４を冷却する。 The optical unit 20 B has a mirror system 21 and a mirror support structure 30. The mirror system 21 includes a first mirror 22 and a second mirror 24 as in the first embodiment, and these mirrors 22 and 24 are attached to the same mirror blocks 23 and 25 as in the first embodiment, respectively. A cooling pipe 33 is attached to the mirror blocks 23 and 25. Cooling water 34 is supplied to the cooling pipe 33 to cool the mirrors 22 and 24.

ミラー支持構造３０は、この実施の形態３では、箱形ミラー支持体３５とされる。この箱形ミラー支持体３５は、金属、例えば鋼板により直方体の箱形に構成される。この箱形ミラー支持体３５は、ミラー支持部材４１２と、相対向する一対の側壁３６Ａ、３６Ｂと、ミラー支持部材４１２と対向する上壁３７と、正面壁３８と、一対の対角リブ３９Ａ、３９Ｂを有する。これらのミラー支持部材４１２と、一対の側壁３６Ａ、３６Ｂと、上壁３７と、正面壁３８と、一対の対角リブ３９Ａ、３９Ｂは、互いに一体に形成される。 The mirror support structure 30 is a box-shaped mirror support 35 in the third embodiment. The box-shaped mirror support 35 is formed in a rectangular parallelepiped box shape from a metal, for example, a steel plate. The box-shaped mirror support 35 includes a mirror support member 412, a pair of side walls 36A and 36B facing each other, an upper wall 37 facing the mirror support member 412, a front wall 38, a pair of diagonal ribs 39A, 39B. The mirror support member 412, the pair of side walls 36A and 36B, the upper wall 37, the front wall 38, and the pair of diagonal ribs 39A and 39B are integrally formed.

箱形ミラー支持体３５は、４つのコーナー部３５Ａ〜３５Ｄを有する。コーナー部３５Ａは、側壁３６Ａと上壁３７との間に形成される。コーナー部３５Ｂは、側壁３６Ｂと上壁３７との間に形成される。コーナー部３５Ｃは、側壁３６Ａとミラー支持部材４１２との間に形成される。コーナー部３５Ｄは、側壁３６Ｂとミラー支持部材４１２との間に形成される。対角リブ３９Ａは、コーナー部３５Ａとコーナー部３６Ｄとの間を延びるように形成され、対角リブ３９Ｂは、コーナー部３５Ｂとコーナー部３６Ｃとの間を延びるように形成される。これらの対角リブ３９Ａ、３９Ｂは、それらの中間位置で互いに交差する。 The box-shaped mirror support 35 has four corner portions 35A to 35D. The corner portion 35A is formed between the side wall 36A and the upper wall 37. The corner portion 35B is formed between the side wall 36B and the upper wall 37. The corner portion 35C is formed between the side wall 36A and the mirror support member 412. The corner portion 35D is formed between the side wall 36B and the mirror support member 412. The diagonal rib 39A is formed so as to extend between the corner portion 35A and the corner portion 36D, and the diagonal rib 39B is formed so as to extend between the corner portion 35B and the corner portion 36C. These diagonal ribs 39A and 39B intersect each other at their intermediate positions.

ミラーブロック２３は、箱形ミラー支持体３５の正面壁３８の上部中央に取り付けられ、また、ミラーブロック２５は、その正面壁３８の下部中央に取り付けられる。この実施の形態３でも、第１ミラー２２は円偏光ミラーであり、第２ミラー２４はベンドミラーである。レーザ発振器１０からのレーザビームＬＢは、第１ミラー２２の入射面に４５°の入射角で入射してその入射面で４５°の角度に反射され、その後、第２ミラー２４に入射面に４５°の入射角で入射し、その入射面で４５°の角度で反射され、レーザ加工機の加工部に導かれる。 The mirror block 23 is attached to the upper center of the front wall 38 of the box-shaped mirror support 35, and the mirror block 25 is attached to the lower center of the front wall 38. Also in the third embodiment, the first mirror 22 is a circular polarization mirror, and the second mirror 24 is a bend mirror. The laser beam LB from the laser oscillator 10 is incident on the incident surface of the first mirror 22 at an incident angle of 45 ° and is reflected at an angle of 45 ° on the incident surface. It is incident at an incident angle of °, reflected at an angle of 45 ° on the incident surface, and guided to the processing portion of the laser processing machine.

ミラー支持部材４１２は、長方形形状に構成される。このミラー支持部材４１２は、実施の形態１におけるミラー支持部材４１と同様に、４つのコーナー部４３Ａ〜４３Ｄを有し、３点固着構造により、支持基板１７に固着される。４つのコーナー部４３Ａ〜４３Ｄの中で、３つのコーナー部４３Ａ〜４３Ｃには、それぞれ固着具４５Ａ〜４５Ｃが配置され、コーナー部４３Ａ〜４３Ｃは、それぞれ固着具４５A〜４５Ｃにより支持基板１７上に固着される。固着具４５Ａ〜４５Ｃは、支持基板１７に形成された取付台１２Ａ〜１２Ｃにコーナー部４３Ａ〜４３Ｃを固着する。コーナー部４３Ｄには、固着具は配置されず、このコーナー部４３Ｄは、フリーとされる。ミラー支持部材４１２は、単に３つの固着具４５Ａ〜４５Ｃを含む３点固着構造とされる。支持基板１７は、レーザ発振器１０から熱変形を受けて変形するが、ミラー支持部材４１２が３点固着構造により支持基板１７に固着されるので、支持基板１７の変形に伴なう箱形ミラー支持体３５の変形は充分小さく抑制される。 The mirror support member 412 is configured in a rectangular shape. This mirror support member 412 has four corner portions 43A to 43D, like the mirror support member 41 in the first embodiment, and is fixed to the support substrate 17 by a three-point fixing structure. Among the four corner portions 43A to 43D, the three corner portions 43A to 43C are respectively provided with fixing tools 45A to 45C. The corner portions 43A to 43C are respectively mounted on the support substrate 17 by the fixing tools 45A to 45C. It is fixed. The fixing tools 45 A to 45 C fix the corner portions 43 A to 43 C to the mounting bases 12 A to 12 C formed on the support substrate 17. No fixing tool is disposed in the corner portion 43D, and the corner portion 43D is free. The mirror support member 412 simply has a three-point fixing structure including three fixing tools 45A to 45C. Although the support substrate 17 is deformed by thermal deformation from the laser oscillator 10, the mirror support member 412 is fixed to the support substrate 17 by a three-point fixing structure, so that the box-shaped mirror support accompanying the deformation of the support substrate 17 is performed. The deformation of the body 35 is suppressed to be sufficiently small.

箱形ミラー支持体３５は、レーザ発振器１０の運転前には、外気温度に等しい温度になり、ミラー支持体３５は、そのどの部分でも外気温度と等しい温度となるが、レーザ発振器１０の運転開始に伴ない、冷却配管３３によりミラーブロック２３、２５が冷却されると、正面壁３８では、ミラーブロック２３、２５の周辺部で、局部的に温度が低下するため、正面壁３８に局部的な温度変化が生じ、箱形ミラー支持体３５に熱応力が発生する。しかし、箱形ミラー支持体３５は、対角リブ３９Ａ、３９Ｂを含んだ剛性の高い箱形に構成されるので、箱形ミラー支持体３５の正面壁３８では、その熱応力によっても、曲がりとねじりの変形を充分小さく抑制する。したがって、冷却配管３３による冷却によっても、箱形ミラー支持体３５の変形は小さく、ミラー２２、２４の平行性を実質的に維持することができ、レーザビームＬＢの光軸の変化は充分小さく抑制することができる。 The box-shaped mirror support 35 is at a temperature equal to the outside air temperature before the laser oscillator 10 is operated, and the mirror support 35 is at a temperature equal to the outside air temperature at any part thereof, but the laser oscillator 10 is started to operate. Accordingly, when the mirror blocks 23 and 25 are cooled by the cooling pipe 33, the temperature locally decreases in the peripheral portion of the mirror blocks 23 and 25 on the front wall 38. A temperature change occurs, and a thermal stress is generated in the box-shaped mirror support 35. However, since the box-shaped mirror support 35 is configured in a highly rigid box shape including the diagonal ribs 39A and 39B, the front wall 38 of the box-shaped mirror support 35 is bent by the thermal stress. The deformation of torsion is suppressed sufficiently small. Therefore, even when cooled by the cooling pipe 33, the deformation of the box-shaped mirror support 35 is small, the parallelism of the mirrors 22 and 24 can be substantially maintained, and the change in the optical axis of the laser beam LB is sufficiently small and suppressed. can do.

実施の形態３では、実施の形態１と同様な効果が得られ、加えて箱形ミラー支持体３５が対角リブ３９Ａ、３９Ｂを含む剛性の高い構造されるので、冷却配管３３によりミラー２２、２４を冷却しても、ミラー支持体３５の変形は小さく、ミラー２２、２４の平行性が実質的に維持することができ、レーザビームＬＢの光軸の変化は充分小さく抑制することができ、良好な加工を行なうことができる。 In the third embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained, and in addition, the box-shaped mirror support 35 is structured with high rigidity including diagonal ribs 39A and 39B. Even if 24 is cooled, the deformation of the mirror support 35 is small, the parallelism of the mirrors 22 and 24 can be substantially maintained, and the change of the optical axis of the laser beam LB can be suppressed to be sufficiently small. Good processing can be performed.

実施の形態１、２、３は、いずれも、第１ミラー２２を円偏光ミラーとし、第２ミラー２４をベンドミラーとしたが、レーザ光の発振波長を選択する場合には、第１、第２ミラー２２、２４をともにダイクロイックミラーに置き換える。この場合にも、実施の形態１、２、３と同様な効果が得られる。 In all of the first, second, and third embodiments, the first mirror 22 is a circularly polarized mirror and the second mirror 24 is a bend mirror. The two mirrors 22 and 24 are both replaced with dichroic mirrors. In this case, the same effects as those of the first, second, and third embodiments can be obtained.

この発明によるレーザ発振装置は、レーザ加工機など出力の高いレーザ光を用いる機器に利用される。 The laser oscillation apparatus according to the present invention is used in equipment using laser light with high output, such as a laser processing machine.

１００、１００Ａ、１００Ｂ：レーザ発振装置、１０：レーザ発振器、１１：筐体、
２０、２０Ａ、２０Ｂ：光学ユニット、２１、２１Ａ：ミラー系、２２：第１ミラー、
２４：第２ミラー、４１、４１１、４１２：ミラー支持部材、１７：支持基板、
３０：ミラー支持体、３１：円筒状ミラー支持体、
３５：箱形ミラー支持体、３９Ａ、３９Ｂ：対角リブ、３３：冷却配管。 100, 100A, 100B: laser oscillation device, 10: laser oscillator, 11: housing,
20, 20A, 20B: optical unit, 21, 21A: mirror system, 22: first mirror,
24: second mirror, 41, 411, 412: mirror support member, 17: support substrate,
30: Mirror support, 31: Cylindrical mirror support,
35: Box-shaped mirror support, 39A, 39B: Diagonal ribs, 33: Cooling piping.

Claims

A laser oscillator that has a housing and generates laser light inside the housing;
A laser oscillation device comprising: a first mirror that guides the laser light generated by the laser oscillator; and a second mirror that is arranged in parallel with the first mirror and further guides the laser light from the first mirror,
The housing of the laser oscillator is attached to a support substrate, and the first mirror and the second mirror are both attached to a common mirror support member, and the mirror support member is triangular with respect to the support substrate. A laser oscillation device characterized by being attached by only three fixing members located at each vertex.

2. The laser oscillation device according to claim 1, further comprising a rectangular box-shaped mirror support that supports the first mirror and the second mirror in common, and the box-shaped mirror support includes the mirror support member. The laser oscillation device further includes four corner portions and diagonal ribs connecting the corner portions.