JP2012069563A - Lead frame, method of manufacturing the same, and manufacturing apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lead frame, a method of manufacturing the same and a manufacturing apparatus, capable of preventing occurrence of a short circuit between leads due to whisker, without degrading a yield.SOLUTION: A lead frame 10 includes a sealing resin part 12 where a semiconductor chip 20 is arranged, and a plurality of leads 11 protruding sideways from the sealing resin part 12. The lead 11 includes tie bar cut traces 14a and 14b in which a tie bar 13, which extends in the direction perpendicular to the length direction of the lead for connecting adjoining leads together, is punched out for cutting, diagonally against the length direction of the lead, with an end part formed to be a tapered shape. Relating to the tie bar cut traces 14a and 14b, W/D<w/d is established, where W is width of the tie bar, d is distance between straight lines L1 and L2, D is distance in tie bar length direction from a taper tip part 14at to a taper root part 14ar, and w is distance on a straight line L2 from an intersection P1 between a straight line L3 and the straight line L2 to an intersection P2 between a line segment S and the straight line L2.

Description

本発明は、IC(半導体集積回路)やLSI(大規模集積回路)等の半導体装置に用いられるリードフレームとその製造方法及び製造装置に関する。より詳細には、ウィスカによるリード同士の短絡を防止することができるリードフレームとその製造方法及び製造装置に関するものである。   The present invention relates to a lead frame used in a semiconductor device such as an IC (semiconductor integrated circuit) or an LSI (large scale integrated circuit), a manufacturing method thereof, and a manufacturing apparatus. More specifically, the present invention relates to a lead frame capable of preventing a short circuit between leads due to whiskers, a manufacturing method thereof, and a manufacturing apparatus.

樹脂封止型の半導体装置のリードには、外部機器との接合の際に良好なはんだ付け性、良好な接続信頼性を得るために、外装めっきが形成される。そして、近年は、人体に悪影響を与える鉛を使用しないことが要求されるため、外装めっきに鉛フリーはんだが用いられることがある。また、半導体装置のリードを回路基板のランド上に接合するはんだには、鉛フリーはんだが用いられている。   On the lead of the resin-encapsulated semiconductor device, exterior plating is formed in order to obtain good solderability and good connection reliability when joining with an external device. In recent years, since it is required not to use lead that adversely affects the human body, lead-free solder may be used for exterior plating. In addition, lead-free solder is used as the solder for joining the lead of the semiconductor device onto the land of the circuit board.

そして、近年、高密度実装化に伴い、半導体装置には多数のリードが非常に狭い間隔で設けられている。このため、半導体装置のリードを回路基板のランド上にはんだ付け固定する際に、余分なはんだがリード間に入り込み、隣接するリードにはんだブリッジが発生するといった問題があった。特に、リード間の間隔が狭くなっているタイバーカット跡部で、はんだブリッジが発生しやすかった。   In recent years, with high density mounting, a large number of leads are provided in a semiconductor device at very narrow intervals. For this reason, when the leads of the semiconductor device are soldered and fixed onto the lands of the circuit board, there is a problem that excessive solder enters between the leads and a solder bridge is generated between adjacent leads. In particular, solder bridges were likely to occur at tie bar cut traces where the distance between leads was narrow.

そこで、タイバーカット跡部でのはんだブリッジの発生を防止するために、複数のタイバーが、リード端子の幅方向に対して傾斜して設けられるとともに、タイバーの一端部のリード端子接続位置と他端部のリード端子接続位置とがリード端子の幅方向から見たときに重ならないように、タイバーの傾斜角度が設定されたリードフレームが提案されている(特許文献1参照)。これにより、タイバーカット跡部のリード端子間隔を従来のものより広くして、タイバーカット跡部でのはんだブリッジの発生を防止している。   Therefore, in order to prevent the occurrence of solder bridges at the tie bar cut trace, a plurality of tie bars are provided to be inclined with respect to the width direction of the lead terminals, and the lead terminal connection position and the other end of one end of the tie bar There has been proposed a lead frame in which the inclination angle of the tie bar is set so that the lead terminal connection position does not overlap when viewed from the width direction of the lead terminal (see Patent Document 1). As a result, the interval between the lead terminals of the tie bar cut trace portion is made wider than that of the conventional one to prevent the occurrence of solder bridges at the tie bar cut trace portion.

特開2005−183695号公報JP 2005-183695 A

しかしながら、上記したようにタイバーを斜めに設けると、歩留まりが悪化してしまうという問題があった。また、上記した技術を含め、リード端子を回路基板に対してはんだ付けを行う際に、濡れ性が良く、めっきのように薄く拡がるはんだを使用すると、ウィスカが発生するおそれがある。ウィスカは、はんだやめっきの薄い部位に応力が発生することにより、発生して成長する。ここで、リードのタイバーカット跡部は、カット及びクリンチ時に残留応力が発生するため、はんだがリードを濡れ上がって薄くつくとウィスカが発生しやすい。そして、タイバーカット跡部にウィスカが発生すると、隣接するリードのタイバーカット跡部に向かって成長していき、最終的にウィスカによって隣接するリードのタイバーカット跡部間が接続されて、リード同士の短絡が生じてしまうという問題があった。   However, when the tie bars are provided obliquely as described above, there is a problem that the yield deteriorates. In addition, when soldering the lead terminal to the circuit board including the above-described technology, if solder that spreads thinly like plating is used, whiskers may occur. Whisker is generated and grows when stress is generated in a thin part of solder or plating. Here, the tie bar cut trace portion of the lead generates residual stress during cutting and clinching. Therefore, if the solder wets the lead and thins, the whisker is likely to be generated. And when a whisker occurs in the tie bar cut trace part, it grows toward the tie bar cut trace part of the adjacent lead, and finally, the tie bar cut trace part of the adjacent lead is connected by the whisker, resulting in a short circuit between the leads. There was a problem that.

そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、歩留まりを悪化させずにウィスカによるリード同士の短絡を防止することができるリードフレームとその製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a lead frame that can prevent a short circuit between leads due to whiskers without deteriorating the yield, and a manufacturing method and a manufacturing apparatus thereof. For the purpose.

上記課題を解決するためになされた本発明の一態様は、半導体素子が配置された封止樹脂部と、前記半導体素子と電気的に接続されて前記封止樹脂部より側方に突出する複数のリードとを備えるリードフレームにおいて、前記リードは、その長手方向に対して直角方向に延びて隣接するリード同士を連結するタイバーを前記リードの長手方向に対して斜めに打ち抜き切断(タイバーカット)して、端部をテーパ状に形成したタイバーカット跡部を有し、前記隣接するリード間に形成された各タイバーカット跡部が、リード表面上にて、前記タイバーの幅をW、前記タイバーカット跡部の各テーパ先端部を通る前記リードと平行な直線L1,L2間の距離をd、一方のテーパ先端部からテーパ根元部までのタイバー長手方向における距離をD、一方のテーパ先端部を通りテーパ部分に対して直交する直線L3と前記直線L2との交点から、一方のテーパ先端部から他方のテーパ根元部を結ぶ線分と前記直線L2との交点までの直線L2上における距離をwとすると、W/D < w/dという関係を満たすことを特徴とする。   One embodiment of the present invention made to solve the above problems includes a sealing resin portion in which a semiconductor element is disposed, and a plurality of portions that are electrically connected to the semiconductor element and protrude laterally from the sealing resin portion. In the lead frame including the lead, the lead extends in a direction perpendicular to the longitudinal direction thereof, and tie bars for connecting adjacent leads are punched and cut obliquely (tie bar cut) with respect to the longitudinal direction of the leads. Each tie bar cut trace portion formed between the adjacent leads has a tie bar width W on the lead surface, and the tie bar cut trace portion of the tie bar cut trace portion The distance between the straight lines L1 and L2 parallel to the lead passing through each taper tip is d, and the distance in the tie bar longitudinal direction from one taper tip to the taper root is D, A straight line extending from the intersection of the straight line L2 and the straight line L2 passing through the taper tip of the direction and perpendicular to the taper part to the intersection of the straight line L2 and the line segment connecting the taper tip to the other taper root When the distance on L2 is w, the relationship of W / D <w / d is satisfied.

このリードフレームでは、リード表面上にて、言い換えるとリードの厚みを無視して平面的に見て、タイバー(タイバーカット跡部)の幅をW、直線L1,L2間の距離をd、一方のテーパ先端部からテーパ根元部までのタイバー長手方向における距離をD、直線L3と直線L2との交点から、一方のテーパ先端部から他方のテーパ根元部を結ぶ線分と直線L2との交点までの直線L2上における距離をwとした場合に、W/D < w/dという関係を満たすように、タイバーがリードの長手方向に対して斜めにタイバーカットされて、隣接するリード間に残る各タイバーカット跡部の端部がテーパ状に形成されている。そのため、リード先端を回路基板にはんだ付けする際に、一方のタイバーカット跡部の端部からウィスカが発生して成長したとしても、他方のタイバーカット跡部に接触(到達)しなくなる。隣接リード間で短絡を生じさせるウィスカはほぼ垂直に成長するからである。これにより、ウィスカによって隣接するリードのタイバーカット跡部間が接続されなくなるので、ウィスカによるリード同士の短絡の発生を防止することができる。   In this lead frame, on the lead surface, in other words, in a plan view ignoring the thickness of the lead, the width of the tie bar (tie bar cut trace) is W, the distance between the straight lines L1 and L2 is d, and one taper is formed. The distance in the longitudinal direction of the tie bar from the tip to the taper root is D, and the straight line from the intersection of the straight line L3 and the straight line L2 to the intersection of the line segment connecting the taper tip to the other taper root and the straight line L2. When the distance on L2 is set to w, each tie bar cut that remains between adjacent leads is tie bar cut obliquely with respect to the longitudinal direction of the lead so as to satisfy the relationship of W / D <w / d. The end of the trace is formed in a taper shape. Therefore, when soldering the tip of the lead to the circuit board, even if a whisker is generated and grows from the end of one tie bar cut trace, the other tie bar cut trace does not contact (reach). This is because whiskers that cause a short circuit between adjacent leads grow almost vertically. As a result, the tie bar cut traces of adjacent leads are not connected by the whisker, so that it is possible to prevent a short circuit between the leads due to the whisker.

また、このリードフレームでは、リードの長手方向に対して直角方向に延びて形成されたタイバーを打ち抜き切断している。そのため、タイバーを斜めに設けた場合のように歩留まりが悪化することがない。   In this lead frame, a tie bar formed so as to extend in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the lead is punched and cut. Therefore, the yield does not deteriorate as in the case where the tie bars are provided obliquely.

上記したリードフレームにおいて、前記リードには、その先端から前記タイバーカット跡部までの間に、前記リード表面のめっきを除去しためっき除去部が形成されていることが望ましい。   In the lead frame described above, it is desirable that a plating removal portion is formed on the lead between the tip end and the tie bar cut trace portion by removing the plating on the lead surface.

このように、リードにめっき除去部が形成されていることにより、めっき除去部でははんだが濡れないため、めっき除去部ではんだの濡れ上がりを止めることができる。そして、めっき除去部は、リード先端からタイバーカット跡部までの間に設けられているため、はんだがタイバーカット跡部には届かなくなる。従って、タイバーカット跡部でのウィスカの発生を抑制することができる。これにより、ウィスカによるリード同士の短絡の発生をより確実に防止することができる。   Thus, since the plating removal part is formed in the lead, the solder does not get wet in the plating removal part, so that the solder removal in the plating removal part can be stopped. Since the plating removal portion is provided between the lead tip and the tie bar cut trace portion, the solder does not reach the tie bar cut trace portion. Therefore, the generation of whiskers at the tie bar cut trace can be suppressed. Thereby, the occurrence of a short circuit between the leads due to the whisker can be more reliably prevented.

また、上記したリードフレームにおいて、前記リードには、その先端から前記タイバーカット跡部までの間に、凹部が形成されていても良い。   In the lead frame described above, a recess may be formed in the lead between the tip and the tie bar cut trace.

このように、リード先端からタイバーカット跡部までの間に凹部が形成されていることにより、リードには厚膜のはんだ層が形成される。つまり、リードには薄膜のはんだ層が形成されない。これにより、ウィスカの発生を抑制することができる。従って、ウィスカによるリード同士の短絡の発生をより確実に防止することができる。
なお、凹部は単独で設けられても良いし、めっき除去部とともに設けられても良い。
Thus, a thick solder layer is formed on the lead by forming the recess between the lead tip and the tie bar cut trace. That is, a thin solder layer is not formed on the lead. Thereby, generation | occurrence | production of a whisker can be suppressed. Therefore, it is possible to more reliably prevent the occurrence of a short circuit between the leads due to the whisker.
In addition, a recessed part may be provided independently and may be provided with the plating removal part.

そして、上記したリードフレームは以下の製造方法を実施することにより実現することができる。つまり、半導体素子が配置された封止樹脂部と、前記半導体素子と電気的に接続されて前記封止樹脂部より側方に突出する複数のリードとを備えるリードフレームの製造方法において、前記リードの長手方向に対して直角方向に延びて隣接するリード同士を連結するタイバーを前記リードの長手方向に対して斜めに打ち抜き切断(タイバーカット)して、前記隣接するリード間に残る各タイバーカット跡部の端部をテーパ状に形成する際に、前記リード表面上にて、前記タイバーの幅をW、隣接するリード間にタイバーカット後に残る各タイバーカット跡部の各テーパ先端部を通る前記リードと平行な直線L1,L2間の距離をd、一方のテーパ先端部からテーパ根元部までのタイバー長手方向における距離をD、一方のテーパ先端部を通りテーパ部分に対して直交する直線L3と前記直線L2との交点から、一方のテーパ先端部から他方のテーパ根元部を結ぶ線分と前記直線L2との交点までの直線L2上における距離をwとして、W/D < w/dという関係を満たせば良い。   The lead frame described above can be realized by performing the following manufacturing method. That is, in the lead frame manufacturing method comprising: a sealing resin portion in which a semiconductor element is disposed; and a plurality of leads that are electrically connected to the semiconductor element and project laterally from the sealing resin portion. Each tie bar cut trace portion remaining between the adjacent leads is formed by cutting a tie bar extending in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the lead and connecting adjacent leads obliquely with respect to the longitudinal direction of the lead (tie bar cut). When the end portion of the tie bar is formed in a tapered shape, the width of the tie bar is W on the surface of the lead and parallel to the lead passing through the taper tip of each tie bar cut mark portion remaining after the tie bar cut between adjacent leads. The distance between the straight lines L1 and L2 is d, the distance in the longitudinal direction of the tie bar from one taper tip to the taper root is D, and passes through one taper tip. The distance on the straight line L2 from the intersection of the straight line L3 and the straight line L2 to the intersection of the straight line L2 and the line segment connecting one taper tip to the other taper root is w As long as the relationship of W / D <w / d is satisfied.

上記のリードフレームの製造方法においては、前記リードの先端から前記タイバーカット跡部までの間に、前記リード表面のめっきを除去しためっき除去部、又は凹部の少なくとも一方を形成するようにしても良い。   In the lead frame manufacturing method described above, at least one of a plating removal part or a concave part from which the plating of the lead surface has been removed may be formed between the tip of the lead and the trace part of the tie bar.

また、上記したリードフレームは以下の製造装置を用いることにより実現することができる。つまり、半導体素子が配置された封止樹脂部と、前記半導体素子と電気的に接続されて前記封止樹脂部より側方に突出する複数のリードとを備えるリードフレームの製造装置において、前記リードの長手方向に対して直角方向に延びて隣接するリード同士を連結するタイバーを前記リードの長手方向に対して斜めに打ち抜き切断(タイバーカット)して、前記隣接するリード間に残る各タイバーカット跡部の端部をテーパ状に形成するタイバーカット治具を有し、前記タイバーカット治具は、前記リード表面上にて、前記タイバーの幅をW、隣接するリード間に残る各タイバーカット跡部の各テーパ先端部を通る前記リードと平行な直線L1,L2間の距離をd、一方のテーパ先端部からテーパ根元部までのタイバー長手方向における距離をD、一方のテーパ先端部を通りテーパ部分に対して直交する直線L3と前記直線L2との交点から、一方のテーパ先端部から他方のテーパ根元部を結ぶ線分と前記直線L2との交点までの直線L2上における距離をwとして、W/D < w/dという関係を満たすようにタイバーカットを行う断面形状が平行四辺形の切刃を備えていれば良い。   The lead frame described above can be realized by using the following manufacturing apparatus. That is, in the lead frame manufacturing apparatus comprising: a sealing resin portion in which a semiconductor element is disposed; and a plurality of leads electrically connected to the semiconductor element and projecting laterally from the sealing resin portion. Each tie bar cut trace portion remaining between the adjacent leads is formed by cutting a tie bar extending in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the lead and connecting adjacent leads obliquely with respect to the longitudinal direction of the lead (tie bar cut). A tie bar cutting jig that forms an end of each tie bar cut jig, wherein the tie bar cutting jig has a width of the tie bar on the lead surface, and each tie bar cut trace portion remaining between adjacent leads. The distance between the straight lines L1 and L2 parallel to the lead passing through the taper tip is d, and the distance in the tie bar longitudinal direction from one taper tip to the taper root is shown. , From the intersection of the straight line L2 and the straight line L2, which passes through the one taper tip and is orthogonal to the taper part, to the intersection of the straight line L2 and the line segment connecting the one taper tip to the other taper base The distance on the straight line L2 is w, and the cross-sectional shape for performing the tie bar cut may be provided with a parallelogram-shaped cutting blade so as to satisfy the relationship of W / D <w / d.

本発明に係るリードフレームとその製造方法及び製造装置によれば、上記した通り、歩留まりを悪化させずにウィスカによるリード同士の短絡を防止することができる。   According to the lead frame, the manufacturing method, and the manufacturing apparatus according to the present invention, as described above, it is possible to prevent a short circuit between leads due to whiskers without deteriorating the yield.

第1の実施の形態に係るリードフレームの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the lead frame which concerns on 1st Embodiment. 封止樹脂部の断面図である。It is sectional drawing of a sealing resin part. 隣接するリード間におけるタイバーカット跡部の拡大図である。It is an enlarged view of a tie bar cut trace part between adjacent leads. 加工(タイバーカット)前のリードフレームを示す図である。It is a figure which shows the lead frame before a process (tie bar cut). タイバーカットパンチの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of a tie bar cut punch. タイバーカットパンチに備わる切刃の断面図である。It is sectional drawing of the cutting blade with which a tie bar cut punch is equipped. タイバーカットダイの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of a tie bar cut die. リード先端を回路基板にはんだ付けした状態を示す図である。It is a figure which shows the state which soldered the front-end | tip of a lead to the circuit board. 第2の実施の形態に係るリードフレームの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the lead frame which concerns on 2nd Embodiment. 第3の実施の形態に係るリードフレームの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the lead frame which concerns on 3rd Embodiment.

以下、本発明のリードフレームとその製造方法及び製造装置を具体化した実施の形態について、図面に基づき詳細に説明する。   DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments embodying a lead frame, a manufacturing method and a manufacturing apparatus according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

[第1の実施の形態]
まず、第1の実施の形態について説明する。そこで、第1の実施の形態に係るリードフレームについて、図1〜図4を参照しながら説明する。図1は、第1の実施の形態に係るリードフレームの概略構成を示す図である。図2は、封止樹脂部の断面図である。図3は、隣接するリード間におけるタイバーカット跡部の拡大図である。図4は、加工(タイバーカット)前のリードフレームを示す図である。
[First Embodiment]
First, the first embodiment will be described. Therefore, the lead frame according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a lead frame according to the first embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view of the sealing resin portion. FIG. 3 is an enlarged view of a tie bar cut trace portion between adjacent leads. FIG. 4 is a view showing the lead frame before processing (tie bar cutting).

図1に示すように、リードフレーム10は、複数のリード11を備えている。これらのリード11は、封止樹脂部12より側方に複数突出している。そして、リード11は、隣接するリード同士を連結していたタイバー13(図4参照)が打ち抜き切断されて残った部分であるタイバーカット跡14とを備えている。タイバーカット跡部14は、隣接するリード間に対向するように位置している。なお、本実施の形態では、リード11の幅が0.5mm、リード間の間隔が0.77mm、タイバーカット跡部14(タイバー13)の幅が0.15mmである。   As shown in FIG. 1, the lead frame 10 includes a plurality of leads 11. A plurality of these leads 11 protrude laterally from the sealing resin portion 12. And the lead 11 is provided with the tie bar cut trace 14 which is the part which the tie bar 13 (refer FIG. 4) which connected adjacent leads was punched and cut and remained. The tie bar cut traces 14 are positioned so as to face each other between adjacent leads. In the present embodiment, the width of the lead 11 is 0.5 mm, the interval between the leads is 0.77 mm, and the width of the tie bar cut mark portion 14 (tie bar 13) is 0.15 mm.

封止樹脂部12には、図2に示すように、半導体チップ20が設けられている。この半導体チップ20は、リードフレーム10の一部であるダイパッド21上に搭載されている。そして、半導体チップ20に備わる電極が、リード11に対して金属ワイヤ22によりワイヤボンディングされている。このように金属ワイヤ22を介して、半導体チップ20とリード11とが電気的に接続されている。   As shown in FIG. 2, a semiconductor chip 20 is provided in the sealing resin portion 12. The semiconductor chip 20 is mounted on a die pad 21 that is a part of the lead frame 10. The electrodes provided in the semiconductor chip 20 are wire bonded to the leads 11 with metal wires 22. Thus, the semiconductor chip 20 and the lead 11 are electrically connected via the metal wire 22.

ここで、隣接するリード間におけるタイバーカット跡部14について詳細に説明する。説明の便宜上、隣接するリード間におけるタイバーカット跡部14のうち一方を符号14aで示し、他方を符号14bで示す。図3に示すように、タイバーカット跡部14aと14bの各端部は、それぞれテーパ形状となっている。本実施の形態において、タイバーカット跡部14aでは、テーパ先端部14atがリード先端側に位置し、テーパ根元部14arが封止樹脂部12側に位置して、図3にてテーパ面(端面)が斜め上向きとなるテーパ形状となっている。一方、タイバーカット跡部14bでは、テーパ先端部14btが封止樹脂部12側に位置し、テーパ根元部14brがリード先端側に位置して、図3にてテーパ面(端面)が斜め下向きとなるテーパ形状となっている。   Here, the tie bar cut trace portion 14 between adjacent leads will be described in detail. For convenience of explanation, one of the tie bar cut marks 14 between adjacent leads is indicated by reference numeral 14a, and the other is indicated by reference numeral 14b. As shown in FIG. 3, each end of the tie bar cut traces 14a and 14b has a tapered shape. In the present embodiment, in the tie bar cut mark portion 14a, the taper tip portion 14at is located on the lead tip side, the taper base portion 14ar is located on the sealing resin portion 12 side, and the taper surface (end surface) in FIG. The taper is inclined upward. On the other hand, in the tie bar cut mark portion 14b, the taper tip portion 14bt is located on the sealing resin portion 12 side, the taper root portion 14br is located on the lead tip side, and the taper surface (end surface) is obliquely downward in FIG. Tapered shape.

そして、これらタイバーカット跡部14aと14bは、リード表面上にて、言い換えるとリードの厚みを無視して平面的に見て、タイバーカット跡部14(タイバー13)の幅をW、タイバーカット跡部14a,14bのテーパ先端部14at,14btを通るリード11と平行な直線L1,L2間の距離をd、テーパ先端部14atからテーパ根元部14arまでのタイバー長手方向における距離をD、テーパ先端部14atを通りテーパ面に対して直交する直線L3と直線L2との交点P1から、テーパ先端部14atからテーパ根元部14brを結ぶ線分Sと直線L2との交点P2までの直線L2上における距離をwとすると、下記の式(1)を満足するように形成されている。
W/D < w/d …(1)
These tie bar cut traces 14a and 14b are viewed on a surface of the lead, in other words, ignoring the thickness of the lead, and the width of the tie bar cut trace 14 (tie bar 13) is W, the tie bar cut trace 14a, 14b, the distance between the straight lines L1 and L2 parallel to the lead 11 passing through the taper tip portions 14at and 14bt is d, the distance in the tie bar longitudinal direction from the taper tip portion 14at to the taper root portion 14ar is D, and the taper tip portion 14at is passed. When the distance on the straight line L2 from the intersection point P1 between the straight line L3 and the straight line L2 orthogonal to the taper surface to the intersection point P2 of the straight line L2 and the line segment S connecting the taper tip portion 14at to the taper base portion 14br is defined as w. , So as to satisfy the following formula (1).
W / D <w / d (1)

このようなタイバーカット跡部14を備えるリード11は、図4に示すリードフレーム15から形成される。リードフレーム15では、複数のリード11がタイバー13によって連結されている。タイバー13は、リード11に対して略直角方向に延びて設けられているため、タイバーを斜めに設けた場合のように歩留まりが悪化することはない。そして、このタイバー13を上記の式(1)の関係を満たすように、タイバーカット治具により打ち抜き切断(タイバーカット)することにより、図1に示すような形状のリード11が得られる。なお、この加工方法の詳細については後述する。   A lead 11 having such a tie bar cut mark 14 is formed from a lead frame 15 shown in FIG. In the lead frame 15, a plurality of leads 11 are connected by tie bars 13. Since the tie bar 13 is provided so as to extend in a substantially right angle direction with respect to the lead 11, the yield does not deteriorate as in the case where the tie bar is provided obliquely. Then, the lead 11 having a shape as shown in FIG. 1 is obtained by punching and cutting (tie bar cutting) the tie bar 13 with a tie bar cutting jig so as to satisfy the relationship of the above formula (1). Details of this processing method will be described later.

そこで、タイバーカット治具について、図5〜図7を参照しながら説明する。図5は、タイバーカットパンチの概略構成を示す図である。図6は、タイバーカットパンチに備わる切刃の断面図である。図7は、タイバーカットダイの概略構成を示す図である。   The tie bar cutting jig will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a diagram showing a schematic configuration of a tie bar cut punch. FIG. 6 is a cross-sectional view of a cutting blade provided in a tie bar cut punch. FIG. 7 is a diagram showing a schematic configuration of a tie bar cut die.

タイバーカットパンチ30は、図5に示すように、複数の切刃31,32を備えている。切刃31は、パンチ30の両端に設けられており、タイバー13の両端部を打ち抜き切断するものである。切刃32は、切刃31の間に所定の間隔で設けられており、隣接するリード11間に位置するタイバー13を打ち抜き切断するものである。この切刃32の断面形状は、図6に示すように平行四辺形をなしており、上記の式(1)の関係を満たすように隣接するリード11間に位置するタイバー13を打ち抜き切断して、タイバーカット跡部14a,14bを形成するようになっている。   As shown in FIG. 5, the tie bar cut punch 30 includes a plurality of cutting blades 31 and 32. The cutting blade 31 is provided at both ends of the punch 30, and punches and cuts both end portions of the tie bar 13. The cutting blade 32 is provided between the cutting blades 31 at a predetermined interval, and punches and cuts the tie bar 13 positioned between the adjacent leads 11. The cross-sectional shape of the cutting blade 32 is a parallelogram as shown in FIG. 6, and the tie bar 13 positioned between adjacent leads 11 is punched and cut so as to satisfy the relationship of the above formula (1). The tie bar cut traces 14a and 14b are formed.

一方、タイバーカットダイ35は、タイバーカットを行う際に、加工前のリードフレーム15が載置される金型である。タイバーカットダイ35の略中央には、封止樹脂部12を配置する封止樹脂部配置部36が形成されている。そして、封止樹脂部配置部36の周りに、タイバーカットパンチ30の切刃31,32が入り込む溝37,38が形成されている。溝38には、切刃32の形状に対応する形状の屈曲部38aが形成されている。この屈曲部38aにパンチ30の切刃32が挿脱されることにより、上記の式(1)の関係を満たすように隣接するリード11間に位置するタイバー13が打ち抜き切断され、タイバーカット跡部14a,14bが形成される。
なお、上記したタイバーカットパンチ30とタイバーカットダイ35が、本発明における「タイバーカット治具」の一例である。
On the other hand, the tie bar cut die 35 is a mold on which the lead frame 15 before processing is placed when performing tie bar cut. A sealing resin part arrangement part 36 for arranging the sealing resin part 12 is formed at substantially the center of the tie bar cut die 35. Grooves 37 and 38 into which the cutting blades 31 and 32 of the tie bar cut punch 30 enter are formed around the sealing resin portion arrangement portion 36. A bent portion 38 a having a shape corresponding to the shape of the cutting edge 32 is formed in the groove 38. When the cutting blade 32 of the punch 30 is inserted into and removed from the bent portion 38a, the tie bar 13 positioned between the adjacent leads 11 is punched and cut so as to satisfy the relationship of the above formula (1), and the tie bar cut trace portion 14a. , 14b are formed.
The tie bar cut punch 30 and the tie bar cut die 35 described above are examples of the “tie bar cut jig” in the present invention.

そして、このタイバーカット治具を用いて、図1に示すリードフレーム10を製造する場合には、まず、タイバーカットダイ35の所定の位置に、図4に示す加工前のリードフレーム15を配置して固定する。その後、タイバーカットパンチ30を下降させる。このとき、ダイ35に設けられた溝38の屈曲部38aにパンチ30の切刃32が入り込む。なお、パンチ30の切刃31は、ダイ35の溝37に入り込む。これにより、タイバー13が打ち抜き切断される。具体的には、ダイ35の屈曲部38aと切刃32により、隣接するリード11間に位置するタイバー13が打ち抜き切断され、上記の式(1)の関係を満たすテーパ形状をなすタイバーカット跡部14が形成される。また、ダイ35の溝37と切刃31により、タイバー13の両端が切断される。かくして、図1に示すリードフレーム10が出来上がる。   When the lead frame 10 shown in FIG. 1 is manufactured using this tie bar cutting jig, first, the unprocessed lead frame 15 shown in FIG. 4 is arranged at a predetermined position of the tie bar cut die 35. And fix. Thereafter, the tie bar cut punch 30 is lowered. At this time, the cutting blade 32 of the punch 30 enters the bent portion 38 a of the groove 38 provided in the die 35. Note that the cutting edge 31 of the punch 30 enters the groove 37 of the die 35. Thereby, the tie bar 13 is punched and cut. Specifically, the tie bar 13 located between the adjacent leads 11 is punched and cut by the bent portion 38a of the die 35 and the cutting edge 32, and the tie bar cut trace portion 14 having a tapered shape satisfying the relationship of the above formula (1). Is formed. Further, both ends of the tie bar 13 are cut by the groove 37 and the cutting edge 31 of the die 35. Thus, the lead frame 10 shown in FIG. 1 is completed.

このようにして製造されたリードフレーム10は、その後、図8に示すように、リード11が成形装置により曲げ加工され、その先端部分が回路基板40に設けられたランド41に対してはんだ42によって固定される。このとき、はんだ42がリード11を濡れ上がりタイバーカット跡部14に薄くついてしまう場合がある。そうすると、タイバーカット跡部14の端部にウィスカが発生する。なお、図8は、リード先端を回路基板にはんだ付けした状態を示す図である。   In the lead frame 10 thus manufactured, the lead 11 is then bent by a molding device as shown in FIG. 8, and the tip portion of the lead frame 10 is soldered to the land 41 provided on the circuit board 40. Fixed. At this time, the solder 42 wets the lead 11 and may be thinly attached to the tie bar cut trace 14. As a result, whiskers are generated at the ends of the tie bar cut traces 14. FIG. 8 is a diagram showing a state where the tip of the lead is soldered to the circuit board.

ここで、リード11に形成されているタイバーカット跡部14の端部は、上記式(1)を満足するように、図3に示すような形状をなしている。そして、リード間で短絡を生じさせるウィスカはほぼ垂直に成長する。そのため、一方のタイバーカット跡部14a(14b)の端部にウィスカが発生して成長したとしても、他方のタイバーカット跡部14b(14a)に接触しなくなる。これにより、ウィスカによって隣接するリード11のタイバーカット跡部14a,14b間が接続されなくなるので、ウィスカによるリード同士の短絡の発生を防止することができる。   Here, the end portion of the tie bar cut mark portion 14 formed on the lead 11 has a shape as shown in FIG. 3 so as to satisfy the above formula (1). And the whisker which produces a short circuit between leads grows substantially perpendicularly. Therefore, even if a whisker is generated and grows at the end of one tie bar cut trace 14a (14b), it does not come into contact with the other tie bar cut trace 14b (14a). As a result, the tie bar cut traces 14a and 14b of the adjacent leads 11 are not connected by the whisker, so that it is possible to prevent a short circuit between the leads due to the whisker.

以上、詳細に説明したように第1の実施の形態に係るリードフレーム10によれば、隣接するリード11が、上記式(1)を満足するタイバーカット跡部14a,14bを備えている。これにより、一方のタイバーカット跡部14a(14b)の端部にウィスカが発生して成長したとしても、他方のタイバーカット跡部14b(14a)に接触しなくなるため、ウィスカによるリード同士の短絡の発生を防止することができる。   As described above in detail, according to the lead frame 10 according to the first embodiment, the adjacent leads 11 include the tie bar cut trace portions 14a and 14b that satisfy the above formula (1). As a result, even if whisker is generated and grows at the end of one tie bar cut trace part 14a (14b), the other tie bar cut trace part 14b (14a) does not come into contact with each other. Can be prevented.

[第2の実施の形態]
次に、第2の実施の形態について説明する。第2の実施の形態は、第1の実施の形態と基本的な構成はほぼ同じであるが、リードにめっき除去部が設けられている点で異なっている。そのため、以下では、第1の実施の形態と同じ構成については図面に同じ符号を付してその説明を適宜省略し、第1の実施の形態との相違点について説明する。そこで、第2の実施の形態に係るリードフレームについて、図9を参照しながら説明する。図9は、第2の実施の形態に係るリードフレームの概略構成を示す図である。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment will be described. The basic configuration of the second embodiment is substantially the same as that of the first embodiment, but differs in that a plating removal portion is provided on the lead. Therefore, in the following, the same components as those in the first embodiment will be denoted by the same reference numerals in the drawings, and the description thereof will be omitted as appropriate, and differences from the first embodiment will be described. A lead frame according to the second embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a diagram showing a schematic configuration of a lead frame according to the second embodiment.

図9に示すように、リードフレーム50では、リード11にリード表面のめっきを除去しためっき除去部51が形成されている。このめっき除去部51は、リード11のうち先端からタイバーカット跡部14までの間に設けられている。なお、めっき除去部51は、リード11が曲げ加工された際に0.5mm程度の高さ位置に形成されているのが好ましい。また、めっき除去部51の形成は、タイバーカット時又はリードの曲げ加工時に行えば良い。本実施の形態では、めっき除去部51を50μm程度(リード長手方向)の大きさで形成している。   As shown in FIG. 9, in the lead frame 50, a plating removal portion 51 is formed on the lead 11 by removing the plating on the lead surface. This plating removal portion 51 is provided between the tip of the lead 11 and the tie bar cut trace portion 14. The plating removal portion 51 is preferably formed at a height of about 0.5 mm when the lead 11 is bent. The plating removal part 51 may be formed at the time of tie bar cutting or lead bending. In the present embodiment, the plating removal portion 51 is formed with a size of about 50 μm (lead longitudinal direction).

このリードフレーム50では、リード11を回路基板にはんだ付けしたときに、めっき除去部51でははんだが濡れないため、めっき除去部51によりはんだの濡れ上がりを止めることができる。これにより、はんだがタイバーカット跡部14には届かなくなる。従って、タイバーカット跡部14でのウィスカの発生を抑制することができる。   In the lead frame 50, when the lead 11 is soldered to the circuit board, the plating removal unit 51 does not wet the solder, so the plating removal unit 51 can stop the solder from getting wet. As a result, the solder does not reach the tie bar cut trace 14. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of whiskers at the tie bar cut mark portion 14.

従って、第2の実施の形態に係るリードフレーム50によれば、ウィスカによるリード同士の短絡の発生をより確実に防止することができる。   Therefore, according to the lead frame 50 according to the second embodiment, it is possible to more reliably prevent the occurrence of a short circuit between the leads due to the whisker.

[第3の実施の形態]
最後に、第3の実施の形態について説明する。第3の実施の形態は、第1の実施の形態と基本的な構成はほぼ同じであるが、リードに凹部が設けられている点で異なっている。そのため、以下では、第1の実施の形態と同じ構成については図面に同じ符号を付してその説明を適宜省略し、第1の実施の形態との相違点について説明する。そこで、第3の実施の形態に係るリードフレームについて、図10を参照しながら説明する。図10は、第3の実施の形態に係るリードフレームの概略構成を示す図である。
[Third Embodiment]
Finally, a third embodiment will be described. The basic configuration of the third embodiment is substantially the same as that of the first embodiment, but differs in that a recess is provided in the lead. Therefore, in the following, the same components as those in the first embodiment will be denoted by the same reference numerals in the drawings, and the description thereof will be omitted as appropriate, and differences from the first embodiment will be described. Thus, a lead frame according to the third embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a diagram showing a schematic configuration of a lead frame according to the third embodiment.

図10に示すように、リードフレーム60では、リード11の両側面に凹部61が形成されている。この凹部61は、リード11のうち先端からタイバーカット跡部14までの間に設けられている。なお、凹部61は、リード11が曲げ加工された際に0.5mm程度の高さ位置に形成されているのが好ましい。また、凹部61の形成は、タイバーカット時又はリードの曲げ加工時に行えば良い。本実施の形態では、凹部61を曲率が0.15mmで深さが0.05mm程度の大きさで形成している。   As shown in FIG. 10, in the lead frame 60, recesses 61 are formed on both side surfaces of the lead 11. This recess 61 is provided between the tip of the lead 11 and the tie bar cut trace 14. The recess 61 is preferably formed at a height of about 0.5 mm when the lead 11 is bent. Further, the recess 61 may be formed at the time of tie bar cutting or lead bending. In the present embodiment, the recess 61 is formed with a curvature of 0.15 mm and a depth of about 0.05 mm.

このリードフレーム60では、リード11を回路基板にはんだ付けしたときに、凹部61が形成されていることにより、リード11に厚膜のはんだ層が形成される。つまり、リード11には薄膜のはんだ層が形成されない。そのため、ウィスカの発生を抑制することができる。   In the lead frame 60, when the lead 11 is soldered to the circuit board, the concave portion 61 is formed, so that a thick solder layer is formed on the lead 11. That is, a thin solder layer is not formed on the lead 11. Therefore, the generation of whiskers can be suppressed.

従って、第3の実施の形態に係るリードフレーム60によれば、ウィスカによるリード同士の短絡の発生をより確実に防止することができる。   Therefore, according to the lead frame 60 according to the third embodiment, it is possible to more reliably prevent occurrence of a short circuit between leads due to whiskers.

なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。例えば、上記した実施の形態では、封止樹脂部から2方向へのみリードが設けられたリードフレームに本発明を適用した場合を例示したが、本発明は封止樹脂部から4方向へリードが設けられたリードフレームにも適用することができる。   It should be noted that the above-described embodiment is merely an example and does not limit the present invention in any way, and various improvements and modifications can be made without departing from the scope of the invention. For example, in the above-described embodiment, the case where the present invention is applied to a lead frame in which leads are provided only in two directions from the sealing resin portion is illustrated, but the present invention has leads in four directions from the sealing resin portion. The present invention can also be applied to a provided lead frame.

また、上記した第3の実施の形態では、凹部61をリード11の図10中左右方向の両端部に設けているが、リード11の厚さが一定以上ある場合には、図10中前後方向の両端部に設けることもできる。さらに、上記した第2、第3の実施の形態では、めっき除去部51、凹部61をそれぞれ設けているが、これら両方をリード11に設けても良い。   Further, in the above-described third embodiment, the recesses 61 are provided at both end portions of the lead 11 in the left-right direction in FIG. 10. It can also be provided at both ends. Furthermore, in the above-described second and third embodiments, the plating removal portion 51 and the recess 61 are provided, but both of them may be provided on the lead 11.

10 リードフレーム
11 リード
12 封止樹脂部
13 タイバー
14 タイバーカット跡部
14a,14b 隣接するダイバーカット跡部
15 加工前のリードフレーム
20 半導体チップ
22 金属ワイヤ
30 タイバーカットパンチ
31,32 切刃
35 タイバーカットダイ
37,38 溝
38a 屈曲部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Lead frame 11 Lead 12 Sealing resin part 13 Tie bar 14 Tie bar cut trace part 14a, 14b Adjacent diver cut trace part 15 Lead frame 20 before processing Semiconductor chip 22 Metal wire 30 Tie bar cut punch 31, 32 Cutting edge 35 Tie bar cut die 37 , 38 Groove 38a Bent part

Claims (6)

半導体素子が配置された封止樹脂部と、前記半導体素子と電気的に接続されて前記封止樹脂部より側方に突出する複数のリードとを備えるリードフレームにおいて、
前記リードは、前記リードの長手方向に対して直角方向に延びて隣接するリード同士を連結するタイバーを前記リードの長手方向に対して斜めに打ち抜き切断(タイバーカット)して、端部をテーパ状に形成したタイバーカット跡部を有し、
前記隣接するリード間に形成された各タイバーカット跡部が、リード表面上にて、前記タイバーの幅をW、前記タイバーカット跡部の各テーパ先端部を通る前記リードと平行な直線L1,L2間の距離をd、一方のテーパ先端部からテーパ根元部までのタイバー長手方向における距離をD、一方のテーパ先端部を通りテーパ部分に対して直交する直線L3と前記直線L2との交点から、一方のテーパ先端部から他方のテーパ根元部を結ぶ線分と前記直線L2との交点までの直線L2上における距離をwとすると、W/D < w/dという関係を満たす
ことを特徴とするリードフレーム。
In a lead frame comprising a sealing resin portion in which a semiconductor element is disposed, and a plurality of leads that are electrically connected to the semiconductor element and project laterally from the sealing resin portion,
The lead extends in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the lead, and a tie bar that connects adjacent leads is punched and cut obliquely (tie bar cut) with respect to the longitudinal direction of the lead, and the end is tapered. With tie bar cut traces formed in
Each tie bar cut trace portion formed between the adjacent leads has a width of the tie bar on the lead surface, and between the straight lines L1 and L2 parallel to the lead passing through each taper tip of the tie bar cut trace portion. The distance is d, the distance in the tie bar longitudinal direction from one taper tip to the taper root is D, and from the intersection of the straight line L2 and the straight line L2 passing through one taper tip and perpendicular to the taper part, A lead frame characterized by satisfying a relationship of W / D <w / d, where w is a distance on the straight line L2 from the taper tip portion to the intersection of the straight line L2 and the line segment connecting the other taper base portion. .
請求項1に記載するリードフレームにおいて、
前記リードには、その先端から前記タイバーカット跡部までの間に、リード表面のめっきを除去しためっき除去部が形成されている
ことを特徴とするリードフレーム。
The lead frame according to claim 1,
The lead frame is characterized in that a plating removal portion is formed by removing plating on the lead surface between the tip of the lead and the trace portion of the tie bar.
請求項1又は請求項2に記載する半導体装置のリードにおいて、
前記リードには、その先端から前記タイバーカット跡部までの間に、凹部が形成されている
ことを特徴とするリードフレーム。
In the lead of the semiconductor device according to claim 1 or 2,
The lead frame is characterized in that a recess is formed between the tip and the tie bar cut trace.
半導体素子が配置された封止樹脂部と、前記半導体素子と電気的に接続されて前記封止樹脂部より側方に突出する複数のリードとを備えるリードフレームの製造方法において、
前記リードの長手方向に対して直角方向に延びて隣接するリード同士を連結するタイバーを前記リードの長手方向に対して斜めに打ち抜き切断(タイバーカット)して、前記隣接するリード間に残る各タイバーカット跡部の端部をテーパ状に形成する際に、前記リード表面上にて、前記タイバーの幅をW、隣接するリード間にタイバーカット後に残る各タイバーカット跡部の各テーパ先端部を通る前記リードと平行な直線L1,L2間の距離をd、一方のテーパ先端部からテーパ根元部までのタイバー長手方向における距離をD、一方のテーパ先端部を通りテーパ部分に対して直交する直線L3と前記直線L2との交点から、一方のテーパ先端部から他方のテーパ根元部を結ぶ線分と前記直線L2との交点までの直線L2上における距離をwとして、W/D < w/dという関係を満たす
ことを特徴とするリードフレームの製造方法。
In a manufacturing method of a lead frame, comprising: a sealing resin portion in which a semiconductor element is disposed; and a plurality of leads that are electrically connected to the semiconductor element and project laterally from the sealing resin portion.
Each tie bar which extends in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the leads and which connects adjacent leads is punched and cut obliquely (tie bar cut) with respect to the longitudinal direction of the leads, and remains between the adjacent leads. When forming the end portion of the cut trace portion in a taper shape, the width of the tie bar on the lead surface is W, and the lead passes through each taper tip portion of each tie bar cut trace portion remaining after the tie bar cut between adjacent leads. The distance between the straight lines L1 and L2 parallel to D, the distance in the tie bar longitudinal direction from one taper tip to the taper base, D, and the straight line L3 passing through one taper tip and perpendicular to the taper part The distance on the straight line L2 from the intersection point with the straight line L2 to the intersection point between the straight line L2 and the line segment connecting one taper tip portion to the other taper base portion is expressed as w. To method of manufacturing a lead frame and satisfies the relationship of W / D <w / d.
請求項4に記載するリードフレームの製造方法において、
前記リードの先端から前記タイバーカット跡部までの間に、リード表面のめっきを除去しためっき除去部、又は凹部の少なくとも一方を形成する
ことを特徴とするリードフレームの製造方法。
In the manufacturing method of the lead frame according to claim 4,
A lead frame manufacturing method, wherein at least one of a plating removal part or a concave part from which a lead surface is removed is formed between a tip of the lead and the trace part of the tie bar cut.
半導体素子が配置された封止樹脂部と、前記半導体素子と電気的に接続されて前記封止樹脂部より側方に突出する複数のリードとを備えるリードフレームの製造装置において、
前記リードの長手方向に対して直角方向に延びて隣接するリード同士を連結するタイバーを前記リードの長手方向に対して斜めに打ち抜き切断(タイバーカット)して、前記隣接するリード間に残る各タイバーカット跡部の端部をテーパ状に形成するタイバーカット治具を有し、
前記タイバーカット治具は、前記リード表面上にて、前記タイバーの幅をW、隣接するリード間に残る各タイバーカット跡部の各テーパ先端部を通る前記リードと平行な直線L1,L2間の距離をd、一方のテーパ先端部からテーパ根元部までのタイバー長手方向における距離をD、一方のテーパ先端部を通りテーパ部分に対して直交する直線L3と前記直線L2との交点から、一方のテーパ先端部から他方のテーパ根元部を結ぶ線分と前記直線L2との交点までの直線L2上における距離をwとして、W/D < w/dという関係を満たすようにタイバーカットを行う断面形状が平行四辺形の切刃を備える
ことを特徴とするリードフレームの製造装置。
In a lead frame manufacturing apparatus comprising: a sealing resin portion in which a semiconductor element is disposed; and a plurality of leads that are electrically connected to the semiconductor element and project laterally from the sealing resin portion.
Each tie bar which extends in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the leads and which connects adjacent leads is punched and cut obliquely (tie bar cut) with respect to the longitudinal direction of the leads, and remains between the adjacent leads. It has a tie bar cutting jig that forms the end of the cut trace part into a taper shape,
On the lead surface, the tie bar cut jig has a width between the straight lines L1 and L2 parallel to the lead passing through the taper tip of each tie bar cut mark portion remaining between adjacent leads on the width of the tie bar. D, the distance in the tie bar longitudinal direction from one taper tip to the taper base, D, and the taper of one taper from the intersection of the straight line L2 and the straight line L3 passing through the one taper tip and perpendicular to the taper part. A cross-sectional shape for performing tie bar cutting so as to satisfy the relationship of W / D <w / d, where w is the distance on the straight line L2 from the tip to the intersection of the straight line L2 and the line segment connecting the other taper base. A lead frame manufacturing apparatus comprising a parallelogram-shaped cutting blade.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2014106131A (en) * 2012-11-28 2014-06-09 Denso Corp Air flow rate measurement device
CN113257767A (en) * 2020-02-12 2021-08-13 三菱电机株式会社 Transfer molding type power module, lead frame, and method for manufacturing transfer molding type power module

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