JP2012060816A - アクチュエータ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】動作特性が安定し、高速での駆動が可能なアクチュエータ装置を得る。
【解決手段】ベース板10と、加圧板15と、平板状の圧電素子20A,20Bと、圧電素子20A,20Bの一端部の表面に貼着された摩擦板30A,30Bと、圧電素子20Bの他端部裏面側に取り付けた重り40と、ベース板10と加圧板15との間に介在されたスペーサ36と、を備えたアクチュエータ装置。摩擦板30A,30Bの表面には微小突部が圧電素子20A,20Bの伸縮方向と直交する方向に形成される。この微小突部によって摩擦板30Aと加圧板15との摩擦接触及び摩擦板30Bとベース板10との摩擦接触が安定する。
【選択図】図2
【解決手段】ベース板10と、加圧板15と、平板状の圧電素子20A,20Bと、圧電素子20A,20Bの一端部の表面に貼着された摩擦板30A,30Bと、圧電素子20Bの他端部裏面側に取り付けた重り40と、ベース板10と加圧板15との間に介在されたスペーサ36と、を備えたアクチュエータ装置。摩擦板30A,30Bの表面には微小突部が圧電素子20A,20Bの伸縮方向と直交する方向に形成される。この微小突部によって摩擦板30Aと加圧板15との摩擦接触及び摩擦板30Bとベース板10との摩擦接触が安定する。
【選択図】図2
Description
本発明は、アクチュエータ装置、特に、圧電素子などの振動体を駆動源とするアクチュエータ装置に関する。
従来、圧電素子を駆動源とするアクチュエータ装置として、特許文献1には、電気的作用により伸縮し、該伸縮方向に平行な平面を有する圧電素子と、前記圧電素子の伸縮方向に平行な平面上に載置され、かつ、前記圧電素子の伸縮方向の前端に固定された第1摩擦部材と、前記第1摩擦部材の上面に当接するように載置され、被駆動体を駆動する駆動部材と、前記第1摩擦部材に対して前記駆動部材を押圧する押圧機構部と、前記圧電素子の伸縮方向の後端を固定する固定部材と、を有する圧電素子を用いた駆動装置が記載されている。
しかし、前記駆動装置において、第1摩擦部材や駆動部材は平面によって対向圧接し、互いに摩擦力を作用させている。平面は微視的には完全な平坦面ではなく、微小な凹凸あるいはうねりを有している。このような平面どうしは、微視的には、平面上の一つあるいは複数の突起(凸部)によって接触することになる。平面の微小な凹凸を完全になくすることは極めて困難である。従って、完成された製品ごとに突起が接触する状態は異なっている。さらに、第1摩擦部材の面上で駆動部材が移動するため、移動状態によっても接触状態が変化する。
このように、摩擦部材とそれに接触する部材とが平面で接触していると、接触状態が安定せず、動作特性が不安定になり、動作特性が製品ごとにもばらつくことになる。
そこで、本発明の目的は、動作特性が安定し、高速での駆動が可能なアクチュエータ装置を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明の一形態であるアクチュエータ装置は、
所定の間隔で互いに対向して配置されたベース板及び加圧板と、
前記ベース板と前記加圧板との間に挟持され、電圧の印加に伴って面方向に伸縮する平板状の振動体と、
前記振動体の上面及び下面に固定されて前記加圧板及び前記ベース板とそれぞれ圧接する摩擦部材と、
を備えたアクチュエータ装置であって、
前記摩擦部材には微小突部が前記振動体の伸縮方向と略直交する方向に形成されており、該微小突部は前記ベース板及び前記加圧板にそれぞれ接触していること、
を特徴とする。
所定の間隔で互いに対向して配置されたベース板及び加圧板と、
前記ベース板と前記加圧板との間に挟持され、電圧の印加に伴って面方向に伸縮する平板状の振動体と、
前記振動体の上面及び下面に固定されて前記加圧板及び前記ベース板とそれぞれ圧接する摩擦部材と、
を備えたアクチュエータ装置であって、
前記摩擦部材には微小突部が前記振動体の伸縮方向と略直交する方向に形成されており、該微小突部は前記ベース板及び前記加圧板にそれぞれ接触していること、
を特徴とする。
前記アクチュエータ装置において、振動体の平面方向への伸縮に基づいて振動体とベース板及び加圧板との間に摩擦部材が介在することによって、振動体又はベース板が伸縮方向に移動する。摩擦部材には微小突部が振動体の伸縮方向と略直交する方向に形成されているため、摩擦部材と加圧板及びベース板の接触領域が前記微小突部に特定され(いわば伸縮方向と略直交する方向に延在する線接触となり)、接触状態が安定化するとともに動作特性が安定する。しかも、完成された製品ごとに動作特性がばらつくこともなくなる。そして、動作特性が安定することによって高速での駆動が可能になる。
本発明によれば、動作特性が安定し、高速での駆動が可能になる。
以下、本発明に係るアクチュエータ装置の実施例について添付図面を参照して説明する。なお、各図において共通する部材、部分には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。
(アクチュエータ装置の基本的構成、図1〜図7参照)
アクチュエータ装置は、図1、図2及び図3に示すように、ベース板10と、加圧板15と、平板状の圧電素子20A,20Bと、該圧電素子20A,20Bの間に挿入された補強板25と、圧電素子20A,20Bの一端部の表面に接合固定(貼着)された摩擦板30A,30Bと、圧電素子20Bの他端部裏面側に取り付けた重り40と、ベース板10と加圧板15との間に介在されたスペーサ36と、で構成されている。
アクチュエータ装置は、図1、図2及び図3に示すように、ベース板10と、加圧板15と、平板状の圧電素子20A,20Bと、該圧電素子20A,20Bの間に挿入された補強板25と、圧電素子20A,20Bの一端部の表面に接合固定(貼着)された摩擦板30A,30Bと、圧電素子20Bの他端部裏面側に取り付けた重り40と、ベース板10と加圧板15との間に介在されたスペーサ36と、で構成されている。
圧電素子20A,20Bは、帯状をなす単板の表裏面に電極を形成したもので、真鍮製の薄板材からなる補強板25の表裏面に接着されている。補強板25は電極としても機能し、その端部は圧電素子20A,20Bの他端部から突出している。
加圧板15はベース板10に対して圧電素子20A,20Bを間に挟んでビスやカシメ、溶接などで固定されている。即ち、圧電素子20A,20Bはベース板10と加圧板15との間に摩擦板30A,30Bを介して所定の弾性力で挟持されている。加圧板15は、例えば、図示しないねじ部材を穴15aからスペーサ36の穴36aを通じてベース板10に螺着することにより固定されている。スペーサ36の厚さは、圧電素子20A,20Bの厚さ、補強板25の厚さ、摩擦板30A,30Bの厚さを加えた数値より若干薄くされている。
加圧板15は、両側にスリット16を形成して所定のばね定数を保持しており、そのばね性で圧電素子20A,20Bを摩擦板30A,30Bを介してベース板10との間で弾性的に挟持している。即ち、加圧板15は板ばねを構成している。圧電素子20A,20Bに対する弾性的な圧接力はスペーサ36の厚さによって調整される。
重り40は、図4に示すように、角材で構成した構造体からなり、横木41が圧電素子20Bに接着されている。
圧電素子20A,20Bは、その分極方向が補強板25を挟んで互いに逆向きとされており、電圧印加方向と垂直方向に変位するd31モードを利用してアクチュエータとして利用される。即ち、圧電素子20A,20Bは分極方向に電界が作用すると、厚み方向に伸縮するとともに面方向にも伸縮する。厚み方向に伸びるときは面方向に縮み、厚み方向に縮むときは面方向に伸びる。
以上の構成からなるアクチュエータ装置の第1の動作例を概説すると、図5(A)に示す通常状態から、低速充電すると圧電素子20A,20Bは緩やかに収縮し、重り40が摩擦板30A,30Bに近づく(図5(B)参照)。次に、逆方向に急速充電すると圧電素子20A,20Bは急速に伸長し、重り40は自身の慣性で動くことはなく、摩擦板30A,30Bがベース板10と加圧板15との間で滑りを生じる(図5(C)参照)。次に、低速充電すると圧電素子20A,20Bは緩やかに収縮し、重り40が摩擦板30A,30Bに近づく(図5(D)参照)。以上の動作を繰り返すことにより、重り40が図5中左方に移動することになる。なお、図5において、アクチュエータ装置は模式的に示されている。
圧電素子20A,20Bを駆動するために印加する電圧は概略図6に示すとおりである。図6は圧電素子20A,20Bの緩やかな収縮、急速な伸長のプロファイルを示してもいる。
即ち、前記アクチュエータ装置において、圧電素子20A,20B、補強板25、重り40、摩擦板30A,30Bが移動部であり、ベース板10、加圧板15、スペーサ36が固定部である。
以上のごとく、前記アクチュエータ装置においては、圧電素子20A,20Bのd31モードでの動作によって、圧電素子20A,20B及び重り40が移動部となるコンパクトで薄型のアクチュエータ装置を得ることができる。特に、圧電素子20A,20Bは摩擦板30A,30Bを介してベース板10及び加圧板15と圧接しているため、摩擦板30A,30Bによって圧電素子20A,20Bが機械的に保護される。摩擦板30A,30Bを薄くすることで、移動体を構成する質量が重り40に集中することになり、重り40の慣性効果を高め、駆動力を大きくしたり、駆動電圧を小さくすることができる。
また、加圧板15及びベース板10の主面の面積を摩擦板30A,30Bの主面の面積よりも大きくすることにより、重り40の移動量を大きくすることができる。さらに、加圧板15は自身のばね性で摩擦板30A,30Bを加圧しているため、別途弾性部材を必要とすることがなく、アクチュエータ装置がさらに小型化、低背化される。
また、圧電素子20A,20Bは補強板25に固着されているため、圧電素子20A,20Bを薄くしても機械的強度を補強することができ、圧電素子20A,20Bの割れを未然に防止できる。2枚の圧電素子20A,20Bを補強板25の表裏面に固着し、それぞれの分極方向が補強板25を挟んで互いに逆向きであるため、2枚の圧電素子20A,20Bに並行して電圧を印加することにより、駆動電圧を低減できる。
さらに、ベース板10及び/又は加圧板15の表面であって摩擦板30A,30Bが圧接する面には硬化処理及び/又は潤滑処理を施すことにより、滑らかな移動を実現でき、耐久性が向上する。さらに、摩擦板30A,30Bが圧電素子20A,20Bに接合固定されているので、圧電素子20A,20Bの振動が摩擦板30A,30Bに直接的に伝達され、ベース板10との間で高速な駆動が可能になる。
前記アクチュエータ装置では、重り40を設けてこの重り40を移動部として構成したが、重り40を固定部とし、ベース板10、スペーサ36や加圧板15を移動部として構成してもよい。この場合を第2の動作例として図7に示す。なお、図7において、アクチュエータ装置は模式的に示されている。
即ち、その移動形態は、図7(A)に示す通常状態から、低速充電すると圧電素子20A,20Bは緩やかに収縮し、ベース板10及び加圧板15が固定部(重り40)に近づく(図7(B)参照)。次に、逆方向に急速充電すると圧電素子20A,20Bは急速に伸長し、ベース板10及び加圧板15は自身の慣性で動くことはなく、摩擦板30A,30Bがベース板10と加圧板15との間で滑りを生じる(図7(C)参照)。次に、低速充電すると圧電素子20A,20Bは緩やかに収縮し、ベース板10及び加圧板15が固定部(重り40)に近づく(図7(D)参照)。以上の動作を繰り返すことにより、ベース板10及び加圧板15が図7中右方に移動することになる。
なお、固定部(重り40)は、例えば、電子機器の筺体(図示せず)そのものであってもよい。
(実施例1、図8〜図12参照)
実施例1は、図8に示すように、摩擦板30A,30Bの表面に帯状の金属薄片31(例えば、厚さ10μm程度、幅1mm程度のステンレス製薄片)を、圧電素子20A,20Bの伸縮方向と直交する方向に貼着したものである。金属薄片31が摩擦板30A,30Bの表面に貼着されることによって、摩擦板30A,30Bの表面形状を微視的に観察すると、図9に示す形状となる。この微視的形状は、レーザ平面形状測定器で実測したデータに基づいている。図11に、この微視的形状を模式的に示している。
実施例1は、図8に示すように、摩擦板30A,30Bの表面に帯状の金属薄片31(例えば、厚さ10μm程度、幅1mm程度のステンレス製薄片)を、圧電素子20A,20Bの伸縮方向と直交する方向に貼着したものである。金属薄片31が摩擦板30A,30Bの表面に貼着されることによって、摩擦板30A,30Bの表面形状を微視的に観察すると、図9に示す形状となる。この微視的形状は、レーザ平面形状測定器で実測したデータに基づいている。図11に、この微視的形状を模式的に示している。
摩擦板30A,30Bの表面は、金属薄片31によって微小突部が圧電素子20A,20Bの伸縮方向と直交する方向に線状に形成された状態であり、このように線状に並んだ頂上部分が加圧板15及びベース板10と接触する。つまり、摩擦板30Aと加圧板15との接触、及び、摩擦板30Bとベース板10との接触が、線状に延在する微小突部に特定された線接触となり、摩擦板30A,30Bが加圧板15やベース板10に対して相対的に移動した場合であっても、微小突部による線接触状態が安定して維持される。
本実施例1における駆動周波数に対する移動速度を、30gの重りを負荷して実験した。その結果は図12の曲線Aに示すように、広い周波数帯域でかつ大きな移動速度を得ることができた。ちなみに、金属薄片31を設けない場合(比較例)、摩擦板30A,30Bの表面形状を微視的に観察すると、図10に示す形状である。このような比較例では、微小な突部がランダムに突出しており、この比較例を用いて前記動作特性の実験をした結果を、図12の曲線Bに示す。移動速度は実施例1よりも全体的に低く、周波数によってはほとんど移動しない場合がある。
また、比較例では微小突部がランダムに突出した状態が個々の摩擦板ごとにばらついており、製品ごとに動作特性がばらつくことになる。しかし、本第1実施例では、摩擦板30A,30Bと加圧板15及びベース板10との接触状態が線接触で安定しているため、動作特性が製品ごとにばらつくことも少なくなる。
(実施例2、図13参照)
実施例2は、図13に示すように、前記金属薄片31に代えて、ステンレスなどからなる金属ワイヤ32(直径500μm程度)を摩擦板30A,30Bの表面に貼着もしくは挟着したものである。本実施例2の作用効果は前記実施例1と同様である。
実施例2は、図13に示すように、前記金属薄片31に代えて、ステンレスなどからなる金属ワイヤ32(直径500μm程度)を摩擦板30A,30Bの表面に貼着もしくは挟着したものである。本実施例2の作用効果は前記実施例1と同様である。
(実施例3、図14参照)
実施例3は、図14に示すように、前記金属薄片31に代えて、ステンレスなどからなる略半円筒状部材33を摩擦板30A,30Bの表面に貼着したものである。本実施例3の作用効果は前記実施例1と同様である。
実施例3は、図14に示すように、前記金属薄片31に代えて、ステンレスなどからなる略半円筒状部材33を摩擦板30A,30Bの表面に貼着したものである。本実施例3の作用効果は前記実施例1と同様である。
(他の実施例)
なお、本発明に係るアクチュエータ装置は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。
なお、本発明に係るアクチュエータ装置は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。
特に、アクチュエータ装置としての基本的形態は図1に示したもの以外に種々の形態を採用することができる。例えば、3枚の圧電素子を2枚の補強板を介在させて積層したもので、それぞれの分極方向を補強板を挟んで互いに逆向きにしたものであってもよい。また、圧電素子は1枚であってもよく、この場合には2枚の補強板を圧電素子の表裏面に固着して、補強を行ってもよい。あるいは、他の動作モード(例えば、d33モード)で動作する圧電素子を使用することもできる。
特に、摩擦部材に微小突部を付与する部材は種々の材料、形状を採用することができる。さらに、圧電素子の駆動回路の構成、印加電圧の形態、重りの取付け形態などは任意である。
以上のように、本発明は、アクチュエータ装置に有用であり、特に、安定した動作を確保できる点で優れている。
10…ベース板
15…加圧板
20A,20B…圧電素子
30A,30B…摩擦板
31…金属薄片
32…金属ワイヤ
33…略半円筒状部材
40…重り(構造体)
15…加圧板
20A,20B…圧電素子
30A,30B…摩擦板
31…金属薄片
32…金属ワイヤ
33…略半円筒状部材
40…重り(構造体)
Claims (2)
- 所定の間隔で互いに対向して配置されたベース板及び加圧板と、
前記ベース板と前記加圧板との間に挟持され、電圧の印加に伴って面方向に伸縮する平板状の振動体と、
前記振動体の上面及び下面に固定されて前記加圧板及び前記ベース板とそれぞれ圧接する摩擦部材と、
を備えたアクチュエータ装置であって、
前記摩擦部材には微小突部が前記振動体の伸縮方向と略直交する方向に形成されており、該微小突部は前記ベース板及び前記加圧板にそれぞれ接触していること、
を特徴とするアクチュエータ装置。 - 前記振動体は圧電素子であること、を特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010202962A JP2012060816A (ja) | 2010-09-10 | 2010-09-10 | アクチュエータ装置 |
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JP2010202962A JP2012060816A (ja) | 2010-09-10 | 2010-09-10 | アクチュエータ装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2019073766A1 (ja) * | 2017-10-12 | 2020-11-05 | 富士フイルム株式会社 | 発電素子の製造方法、発電素子及び発電装置 |
-
2010
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPWO2019073766A1 (ja) * | 2017-10-12 | 2020-11-05 | 富士フイルム株式会社 | 発電素子の製造方法、発電素子及び発電装置 |
JP7017578B2 (ja) | 2017-10-12 | 2022-02-08 | 富士フイルム株式会社 | 発電素子の製造方法、発電素子及び発電装置 |
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