JP2012049429A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2012049429A5
JP2012049429A5 JP2010192009A JP2010192009A JP2012049429A5 JP 2012049429 A5 JP2012049429 A5 JP 2012049429A5 JP 2010192009 A JP2010192009 A JP 2010192009A JP 2010192009 A JP2010192009 A JP 2010192009A JP 2012049429 A5 JP2012049429 A5 JP 2012049429A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heater
disconnection
processing
error
control unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010192009A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5570915B2 (ja
JP2012049429A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2010192009A priority Critical patent/JP5570915B2/ja
Priority claimed from JP2010192009A external-priority patent/JP5570915B2/ja
Publication of JP2012049429A publication Critical patent/JP2012049429A/ja
Publication of JP2012049429A5 publication Critical patent/JP2012049429A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5570915B2 publication Critical patent/JP5570915B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2010192009A 2010-08-30 2010-08-30 基板処理装置、半導体装置の製造方法および断線検知プログラム Active JP5570915B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010192009A JP5570915B2 (ja) 2010-08-30 2010-08-30 基板処理装置、半導体装置の製造方法および断線検知プログラム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010192009A JP5570915B2 (ja) 2010-08-30 2010-08-30 基板処理装置、半導体装置の製造方法および断線検知プログラム

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012049429A JP2012049429A (ja) 2012-03-08
JP2012049429A5 true JP2012049429A5 (enExample) 2013-10-03
JP5570915B2 JP5570915B2 (ja) 2014-08-13

Family

ID=45903941

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010192009A Active JP5570915B2 (ja) 2010-08-30 2010-08-30 基板処理装置、半導体装置の製造方法および断線検知プログラム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5570915B2 (enExample)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6169365B2 (ja) 2013-02-07 2017-07-26 株式会社日立国際電気 半導体装置の製造方法及び基板処理装置
JP6361346B2 (ja) * 2014-07-17 2018-07-25 セイコーエプソン株式会社 電子部品搬送装置および電子部品検査装置
JP7185486B2 (ja) * 2018-10-26 2022-12-07 株式会社ディスコ 加工装置
JP2025127561A (ja) * 2024-02-21 2025-09-02 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 熱処理装置および熱処理方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1154244A (ja) * 1997-08-01 1999-02-26 Kokusai Electric Co Ltd 熱処理炉の加熱用ヒータ断線検出方法及びその装置
JP2000223427A (ja) * 1999-02-02 2000-08-11 Kokusai Electric Co Ltd 半導体製造装置のヒータ異常検出方法
JP2002010530A (ja) * 2000-06-15 2002-01-11 Tokyo Electron Ltd インタ−ロック装置及び処理装置
JP3988942B2 (ja) * 2003-03-31 2007-10-10 株式会社国際電気セミコンダクターサービス ヒータ検査装置及びそれを搭載した半導体製造装置
JP4862815B2 (ja) * 2007-12-15 2012-01-25 東京エレクトロン株式会社 電力制御装置、これを用いた熱処理装置、電力制御方法及び記憶媒体
JP2010093108A (ja) * 2008-10-09 2010-04-22 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置及び半導体装置の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2013130836A3 (en) Control circuit and method for controlling a flyback converter operating in both dcm and ccm
JP2015119559A5 (enExample)
JP2014171289A5 (ja) 給電装置、給電装置の制御方法、プログラム
JP2014200122A5 (enExample)
JP2014217260A5 (ja) 給電装置、制御方法及びプログラム
JP2012049429A5 (enExample)
JP2011238108A5 (ja) 画像形成装置および画像形成装置の制御方法
JP2016067067A5 (enExample)
JP2016067066A5 (enExample)
GB201121525D0 (en) Information processing apparatus capable of appropriatley executing shutdown processing, method of controlling the information processing apparatus
JP2013090570A5 (enExample)
WO2011049994A3 (en) Current control in plasma processing systems
WO2010042660A3 (en) Method and apparatus for detecting an idle mode of processing equipment
IN2014DN10136A (enExample)
JP2016067068A5 (enExample)
JP2015076998A5 (enExample)
JP2018521474A5 (enExample)
MX2014012497A (es) Aparato de cocción y método para controlar un aparato para cocción.
FR2982346B1 (fr) Installation de chauffage electrique et procedes de gestion d'une telle installation
JP2012155686A5 (enExample)
JP2015530066A5 (enExample)
JP2014014977A5 (enExample)
JP2012118103A5 (enExample)
JP2006039143A5 (enExample)
JP2015529441A5 (enExample)