JP2012031033A - ガラス溶着方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 入熱量変化領域R1において入熱量を漸増させる。このため、エッジ部分E1及び入熱量変化領域R1において、ガラス層3やガラス基板40,50にクラックが生じることが防止される。しかも、入熱量変化領域R1に照射領域を初めて通過させるときに、照射領域の移動速度を漸減させる。これにより、入熱量変化領域R1において溶融再固化領域M1が末広がり状に形成される。この入熱量変化領域R1に照射領域を再度通過させることにより、有効部分同士を確実に封止できる。さらに、入熱量変化領域R2に照射領域を通過させるときに入熱量を減少させる。このため、別のガラス層3に照射領域を進入させるときに、エッジ部分E1においてガラス層3やガラス基板40,50にクラックが生じることが防止される。よって、信頼性の高いガラス溶着体を製造できる。
【選択図】図5
Description
Claims (8)
- 環状の溶着予定領域に沿ったレーザ光の照射によって、第1のガラス部材と第2のガラス部材とが溶着されたガラス溶着体を製造するためのガラス溶着方法であって、
前記第1のガラス部材に対応する第1の部分を複数含む第1のガラス基板に対し、前記第1の部分ごとに前記溶着予定領域に沿うように、レーザ光吸収材を含むガラス層を配置する第1の工程と、
前記第2のガラス部材に対応する第2の部分を複数含む第2のガラス基板を、前記第1の部分のそれぞれと前記第2の部分のそれぞれとが前記ガラス層を介して対向するように前記第1のガラス基板に重ね合わせる第2の工程と、
前記溶着予定領域に沿って前記ガラス層に前記レーザ光を照射することにより、対向する前記第1の部分と前記第2の部分とを溶着する第3の工程と、を備え、
前記第3の工程では、前記溶着予定領域のうちの一の溶着予定領域に沿って前記レーザ光の照射領域を相対的に移動させた後、前記溶着予定領域のうちの別の溶着予定領域に沿って前記照射領域を相対的に移動させ、
前記第3の工程では、前記一の溶着予定領域内に設定された第1の領域に前記照射領域を初めて通過させるとき、前記レーザ光の照射による前記ガラス層への入熱量を当該第1の領域において漸増させ、前記第1の領域に前記照射領域を再び通過させた後、前記別の溶着予定領域の手前に設定された第2の領域に前記照射領域を通過させるとき、前記入熱量を当該第2の領域において減少させ、
前記第3の工程では、前記第1の領域に前記照射領域を初めて通過させるとき、前記照射領域の相対的な移動速度を当該第1の領域において漸減させることを特徴とするガラス溶着方法。 - 前記第3の工程では、前記第1の領域に前記照射領域を初めて通過させるとき、前記レーザ光の出力を当該第1の領域において略一定に維持することを特徴とする請求項1記載のガラス溶着方法。
- 前記第3の工程では、前記第1の領域に前記照射領域を初めて通過させるとき、前記レーザ光の出力を当該第1の領域において漸増させることを特徴とする請求項1記載のガラス溶着方法。
- 前記第2の領域は、その一部が前記一の溶着予定領域内に位置するように設定されており、
前記第3の工程では、前記第1の領域に前記照射領域を再び通過させた後、前記第2の領域に前記照射領域を通過させるとき、前記入熱量を当該第2の領域において漸減させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のガラス溶着方法。 - 前記第2の領域は、その全部が前記一の溶着予定領域内に位置するように設定されており、
前記第3の工程では、前記第1の領域に前記照射領域を再び通過させた後、前記第2の領域に前記照射領域を通過させるとき、前記入熱量を当該第2の領域において漸減させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のガラス溶着方法。 - 前記第3の工程では、前記第1の領域に前記照射領域を再び通過させた後、前記第2の領域に前記照射領域を通過させるとき、前記照射領域の相対的な移動速度を当該第2の領域において漸増させることを特徴とする請求項4又は5記載のガラス溶着方法。
- 前記第1のガラス基板及び前記第2のガラス基板から、溶着された前記第1の部分及び前記第2の部分を切り出し、複数の前記ガラス溶着体を得る第4の工程を更に備えることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載のガラス溶着方法。
- 環状の溶着予定領域に沿ったレーザ光の照射によって、第1のガラス部材と第2のガラス部材とが溶着されたガラス溶着体を製造するためのガラス溶着方法であって、
前記第1のガラス部材に対し、前記溶着予定領域に沿うように、レーザ光吸収材を含むガラス層を配置する第1の工程と、
前記第2のガラス部材を、前記ガラス層を介して前記第1のガラス部材に重ね合わせる第2の工程と、
前記溶着予定領域に沿って前記ガラス層に前記レーザ光を照射することにより、前記第1のガラス部材と前記第2のガラス部材とを溶着する第3の工程と、を備え、
前記第3の工程では、前記溶着予定領域に沿って前記レーザ光の照射領域を相対的に移動させ、
前記第3の工程では、前記溶着予定領域内に設定された第1の領域に前記照射領域を初めて通過させるとき、前記レーザ光の照射による前記ガラス層への入熱量を当該第1の領域において漸増させ、
前記第3の工程では、前記第1の領域に前記照射領域を初めて通過させるとき、前記照射領域の相対的な移動速度を当該第1の領域において漸減させることを特徴とするガラス溶着方法。
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