JP2012028768A - 電気コネクタ、電気接続システム、およびリソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電気コネクタは、高電圧パッドおよび高電圧プレートを含む。別の電気コネクタに接続される場合、パッドと同じ電圧にある2つのプレートが、電界が低い高電圧の領域を形成する。パッドはこの領域内に位置決めされる。EUVリソグラフィ装置の静電クランプが、電気コネクタに接続するためのそのようなパッドおよびプレートを有しうる。低電界領域に相互接続を配置することによって、三重点(導体、固体絶縁体およびガス間の接触点)がその領域内に存在しうる。
【選択図】 図6
Description
外側シールド層と、
外側絶縁層と、
高電圧プレートと、
内側絶縁層と、
高電圧供給パッドと、
を順に含むラミネートを含み、
パッドは、プレートより小さく、また、ラミネートの平面に実質的に垂直な方向に見た場合に、プレート内に実質的に全体的に位置する、高電圧電気コネクタが提供される。
基板を構造体に対してクランプする静電クランプを含み、
クランプは、
クランプの外部のコンポーネントに電気的に接続する高電圧受電パッドと、
パッドと実質的に平行な高電圧プレートと、
を含み、パッドは、プレートより小さく、また、プレートの平面に垂直な方向に見た場合に、プレート内に実質的に全体的に位置する、リソグラフィ装置が提供される。
高電圧供給パッドを有する高電圧供給電気コネクタと、
供給パッドと電気的に接続する高電圧受電パッドを有する高電圧受電電気コンポーネントと、
を含み、
供給パッドおよび受電パッドの両方の周囲は、供給パッドおよび受電パッドが高電圧にある場合に実質的に等電位の領域内に位置決めされる、高電圧電気接続システムが提供される。
[0034] 放射ビームB(例えばUV放射またはEUV放射)を調整するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
[0035] パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成され、かつ特定のパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1ポジショナPMに接続されたサポート構造(例えばマスクテーブル)MTと、
[0036] 基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構成され、かつ特定のパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第2ポジショナPWに接続された基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
[0037] パターニングデバイスMAによって放射ビームBに付けられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ以上のダイを含む)上に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSを含む。
Claims (31)
- 外側シールド層(65)と、
外側絶縁層(64)と、
高電圧プレート(62)と、
内側絶縁層(63)と、
高電圧供給パッド(61)と、
を順に含むラミネートを含み、
前記パッドは、前記プレートより小さく、また、前記ラミネートの平面に垂直な方向に見た場合に、前記プレート内に実質的に全体的に位置する、高電圧電気コネクタ(60)。 - 前記ラミネートの平面に垂直な方向に見た場合に、前記プレートの周囲と前記パッドの周囲との間の最小距離dは、少なくともhであり、好適には少なくとも2hであり、好適には少なくとも3hであり、より好適には少なくとも4hであり、またはさらにより好適には少なくとも5hであり、ただし、hは、前記ラミネートの前記平面に垂直な方向における前記プレートと前記パッド間の最小距離である、請求項1に記載の電気コネクタ。
- 前記プレートは、前記ラミネートの平面に垂直な方向に見た場合に、前記パッドが実質的に円形のセクション内に実質的に全体的に位置するように、前記パッドより大きい前記実質的に円形のセクションと、細長い高電圧トレースを形成する伸ばされたテーパセクションとを有する涙滴形状を有する、請求項1または2に記載の電気コネクタ。
- 前記プレートが、前記ラミネートの断面において、固体材料によって完全に囲まれるように、前記プレートは、前記プレートの平面において、誘電体(69)によって囲まれる、請求項1から3のいずれかに記載の電気コネクタ。
- 前記高電圧供給パッド(61)の小さい方の縁の実質的に全体が、電気絶縁体によって覆われる、請求項1から4のいずれかに記載の電気コネクタ。
- 前記高電圧プレート(62)はグリッドパターンを有する部分またはハッチパターンを有する部分またはスポークホイールの形状の部分を含む、請求項1から5のいずれかに記載の電気コネクタ。
- 前記パッドは、前記パッドの平面において、電気的接地に接続されるパッド接地シールド(66)によって囲まれ、任意選択的に前記プレートは、前記プレートの平面において、電気的接地に接続されるプレート接地シールド(67)によって囲まれる、請求項1から6のいずれかに記載の電気コネクタ。
- 前記パッド接地シールド(66)の内縁(131)は、前記ラミネートの平面に垂直な方向に見た場合に、前記高電圧プレート(62)内に実質的に全体的に位置する、請求項7に記載の電気コネクタ。
- 前記ラミネートの平面に垂直な方向に見た場合に、前記高電圧プレート(62)の縁(132、202)が、前記パッド接地シールド(66)の縁(131)を交差し、前記高電圧プレート(62)の前記縁(132、202)と前記パッド接地シールド(66)の前記縁(131)との交差角は約45°未満である、請求項7または8に記載の電気コネクタ。
- 前記コネクタは、前記パッド接地シールドを覆うように配置された接地絶縁層(72)をさらに含む、請求項7から9のいずれかに記載の電気コネクタ。
- 前記コネクタの前記パッドの前記周囲と前記パッド接地シールドとの間の最小距離は、約3hから約7hの範囲内、好適には約4hから約6hの範囲内、またはより好適には約5hである、請求項7から10のいずれかに記載の電気コネクタ。
- 前記外側絶縁層および/または前記内側絶縁層および/または前記接地絶縁層は、ポリイミドで作られる、請求項1から11のいずれかに記載の電気コネクタ。
- 基板上にパターンを転写するリソグラフィ装置であって、
基板を構造体に対してクランプする静電クランプ(80)を含み、
前記クランプは、
前記クランプの外部のコンポーネント(60)に電気的に接続する高電圧受電パッド(81)と、
前記パッドと実質的に平行な高電圧プレート(82)と、
を含み、前記パッドは、前記プレートより小さく、また、前記プレートの平面に垂直な方向に見た場合に、前記プレート内に実質的に全体的に位置する、リソグラフィ装置。 - 高電圧供給パッド(61)を有する高電圧供給電気コネクタ(60)と、
前記供給パッドと電気的に接続する高電圧受電パッド(81)を有する高電圧受電電気コンポーネント(80)と、
を含み、
前記供給パッドおよび前記受電パッドの両方の周囲は、前記供給パッドおよび前記受電パッドが高電圧にある場合に実質的に等電位の領域内に位置決めされる、高電圧電気接続システム(90)。 - 前記コネクタおよび前記コンポーネントは、それぞれ、対応のパッドに実質的に平行な高電圧プレート(62、82)をさらに含み、
各パッドは、前記対応するプレートより小さく、また、前記対応プレートの平面に垂直な方向に見た場合に、前記対応するプレート内に実質的に全体的に位置する、請求項14に記載の電気接続システム。 - 請求項1から12のいずれかに記載される第1の電気コネクタと、
請求項1から12のいずれかに記載される第2の電気コネクタと、
を含み、
前記第1の電気コネクタの前記供給パッドは、前記第2の電気コネクタの前記供給パッドと電気的に接触する、高電圧電気接続システム。 - 請求項1から12のいずれかに記載される前記電気コネクタと、
請求項13に記載される前記静電クランプと、
を含み、
前記第1の電気コネクタの前記供給パッドは、前記静電クランプの前記受電パッドと電気的に接触する、高電圧電気接続システム。 - 前記パッドの少なくとも一方の周囲の少なくとも一部分は、ガスと絶縁体の両方に接触する、請求項14から17のいずれかに記載の電気接続システム。
- 絶縁シート(73)が前記パッド間に挿入され、電気コンタクト(74)が前記シートの中を延在して前記パッドに電気的に接続し、前記コンタクトは、前記パッドの平面に垂直な方向に見た場合に前記パッド内に実質的に全体的に位置し、好適には前記コンタクトはリーフバネであり、および/または、任意選択的に前記シートはエラストマーで作られる、請求項14から18のいずれかに記載の電気接続システム。
- 外側シールド層と、
外側絶縁層と、
高電圧プレートと、
内側絶縁層と、
高電圧供給パッドと、
を順に含むラミネートを含み、
前記パッドは、前記プレートより小さく、また、前記ラミネートの平面に実質的に垂直な方向に見た場合に、前記プレート内に実質的に全体的に位置する、高電圧電気コネクタ。 - 前記ラミネートの平面に垂直な方向に見た場合に、前記プレートの周囲と前記パッドの周囲との間の最小距離dは、少なくともhであり、好適には少なくとも2hであり、好適には少なくとも3hであり、より好適には少なくとも4hであり、またはさらにより好適には少なくとも5hであり、ただし、hは、前記ラミネートの前記平面に垂直な方向における前記プレートと前記パッド間の最小距離である、請求項20に記載の電気コネクタ。
- 前記プレートは、前記ラミネートの平面に垂直な方向に見た場合に、前記パッドが実質的に円形のセクション内に実質的に全体的に位置するように、前記パッドより大きい前記実質的に円形のセクションと、細長い高電圧トレースを形成する伸ばされたテーパセクションとを有する涙滴形状を有する、請求項20に記載の電気コネクタ。
- 前記プレートが、前記ラミネートの断面において、固体材料によって完全に囲まれるように、前記プレートは、前記プレートの平面において、誘電体によって囲まれる、請求項22に記載の電気コネクタ。
- 前記パッドは、前記パッドの平面において、電気的接地に接続されるパッド接地シールドによって囲まれ、前記プレートは、前記プレートの平面において、電気的接地に接続されるプレート接地シールドによって囲まれる、請求項22に記載の電気コネクタ。
- 前記コネクタは、前記パッド接地シールドを覆うように配置された接地絶縁層をさらに含む、請求項24に記載の電気コネクタ。
- 前記コネクタの前記パッドの前記周囲と前記パッド接地シールドとの間の最小距離は、約3hから約7hの範囲内、好適には約4hから約6hの範囲内、またはより好適には約5hであり、ただし、hは、前記ラミネートの前記平面に垂直な方向における前記プレートと前記パッド間の最小距離である、請求項24に記載の電気コネクタ。
- 前記外側絶縁層、前記内側絶縁層、および前記接地絶縁層の少なくとも1つはポリイミドを含む、請求項20に記載の電気コネクタ。
- 第1の電気コネクタおよび第2の電気コネクタを含み、それぞれ、外側シールド層、外側絶縁層、高電圧プレート、内側絶縁層、および高電圧供給パッドを順に有し、前記パッドは、前記プレートより小さく、また、前記ラミネートの平面に垂直な方向に見た場合に前記プレート内に実質的に全体的に位置し、
前記第1の電気コネクタの前記供給パッドは、前記第2の電気コネクタの前記供給パッドと電気的に接触する、高電圧電気接続システム。 - 外側シールド層、外側絶縁層、高電圧プレート、内側絶縁層、および高電圧供給パッドを順に有する電気コネクタであって、前記パッドは、前記プレートより小さく、また、前記ラミネートの平面に垂直な方向に見た場合に前記プレート内に実質的に全体的に位置する、電気コネクタと、
静電クランプの外部のコンポーネントに電気的に接続する高電圧受電パッドと、前記パッドと実質的に平行な高電圧プレートとを有する静電クランプであって、前記パッドは、前記プレートより小さく、また、前記プレートの平面に垂直な方向に見た場合に前記プレート内に実質的に全体的に位置する、静電クランプと、
を含み、
前記電気コネクタの前記供給パッドは、前記静電クランプの前記受電パッドに電気的に接触する、高電圧電気接続システム。 - 前記パッドの少なくとも一方の周囲の少なくとも一部分は、ガスと絶縁体の両方に接触する、請求項29に記載の電気接続システム。
- 絶縁シートが前記パッド間に挿入され、電気コンタクトが前記シートの中を延在して前記パッドに電気的に接触し、前記コンタクトは、前記パッドの平面に垂直な方向に見た場合に前記パッド内に実質的に全体的に位置し、好適には前記コンタクトはリーフバネであり、および/または、任意選択的に前記シートはエラストマーで作られる、請求項30に記載の電気接続システム。
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