JP2012021853A - 半導体装置の測定方法 - Google Patents
半導体装置の測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012021853A JP2012021853A JP2010159076A JP2010159076A JP2012021853A JP 2012021853 A JP2012021853 A JP 2012021853A JP 2010159076 A JP2010159076 A JP 2010159076A JP 2010159076 A JP2010159076 A JP 2010159076A JP 2012021853 A JP2012021853 A JP 2012021853A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- measuring
- thermal resistance
- factor
- diode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】基準となる半導体装置の環境温度を変化量ΔT0変化させたときの前記基準となる半導体装置の順方向電圧の変化量ΔVf0を測定することにより、前記基準となる半導体装置のKファクタK0をK0=ΔT0/ΔVf0とするステップ(S22)と、基準となる半導体装置の順方向電流電圧測定から理想係数n0を測定するステップ(S24)と、熱抵抗を測定する半導体装置に電力Pを印加することにより前記電力を印加する前後での順方向電圧の変化量ΔVfを測定するステップ(S26)と、前記熱抵抗を測定する半導体装置の順方向電流電圧測定から理想係数nを測定するステップ(S28)と、前記熱抵抗を測定する半導体装置の熱抵抗RthをRth=n0/n×K0×ΔVf/Pから算出するステップ(S30)と、を含む半導体装置の測定方法。
【選択図】図3
Description
20 ケース
100 半導体装置
Claims (5)
- 基準となる半導体装置の環境温度を変化量ΔT0変化させたときの前記基準となる半導体装置の順方向電圧の変化量ΔVf0を測定することにより、前記基準となる半導体装置のKファクタK0をK0=ΔT0/ΔVf0とするステップと、
基準となる半導体装置の順方向電流電圧測定から理想係数n0を測定するステップと、
熱抵抗を測定する半導体装置に電力Pを印加することにより前記電力を印加する前後での順方向電圧の変化量ΔVfを測定するステップと、
前記熱抵抗を測定する半導体装置の順方向電流電圧測定から理想係数nを測定するステップと、
前記熱抵抗を測定する半導体装置の熱抵抗RthをRth=n0/n×K0×ΔVf/Pから算出するステップと、
を含むことを特徴とする半導体装置の測定方法。 - 前記熱抵抗を測定する半導体装置の前記熱抵抗が所定の範囲か否かに基づき、前記熱抵抗を測定する半導体装置を選別するステップを含むことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の測定方法。
- 前記順方向電圧の変化量ΔVf0およびΔVfはダイオードの順方向電圧の変化量ΔVf0であり、
前記理想係数n0およびnは前記ダイオードの理想係数であることを特徴とする請求項1または2記載の半導体装置の測定方法。 - 前記半導体装置はFETであり、前記ダイオードはゲートとソース間のダイオードであることを特徴とする請求項3記載の半導体装置の測定方法。
- 前記半導体装置はPD、LEDまたはLDであり、前記ダイオードはp−n接合ダイオードであることを特徴とする請求項3記載の半導体装置の測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010159076A JP5518610B2 (ja) | 2010-07-13 | 2010-07-13 | 半導体装置の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010159076A JP5518610B2 (ja) | 2010-07-13 | 2010-07-13 | 半導体装置の測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012021853A true JP2012021853A (ja) | 2012-02-02 |
JP5518610B2 JP5518610B2 (ja) | 2014-06-11 |
Family
ID=45776256
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010159076A Active JP5518610B2 (ja) | 2010-07-13 | 2010-07-13 | 半導体装置の測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5518610B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05203698A (ja) * | 1992-01-27 | 1993-08-10 | Oki Electric Ind Co Ltd | Mesfetの熱抵抗測定方法 |
JPH10300811A (ja) * | 1997-04-21 | 1998-11-13 | Canon Inc | Led直流熱抵抗測定方法および測定装置 |
JP2003194755A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-09 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体パッケージの試験方法 |
JP2007316052A (ja) * | 2006-04-25 | 2007-12-06 | Mitsuteru Kimura | ダイオード温度測定装置 |
-
2010
- 2010-07-13 JP JP2010159076A patent/JP5518610B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05203698A (ja) * | 1992-01-27 | 1993-08-10 | Oki Electric Ind Co Ltd | Mesfetの熱抵抗測定方法 |
JPH10300811A (ja) * | 1997-04-21 | 1998-11-13 | Canon Inc | Led直流熱抵抗測定方法および測定装置 |
JP2003194755A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-09 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体パッケージの試験方法 |
JP2007316052A (ja) * | 2006-04-25 | 2007-12-06 | Mitsuteru Kimura | ダイオード温度測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5518610B2 (ja) | 2014-06-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Bagnall et al. | Simultaneous measurement of temperature, stress, and electric field in GaN HEMTs with micro-Raman spectroscopy | |
Heller et al. | Electrical and structural dependence of operating temperature of AlGaN/GaN HEMTs | |
Pavlidis et al. | Transient thermal characterization of AlGaN/GaN HEMTs under pulsed biasing | |
Pavlidis et al. | Characterization of AlGaN/GaN HEMTs using gate resistance thermometry | |
EP3531146B1 (en) | Wire-bonded power semi-conductor module monitoring | |
Górecki et al. | The analysis of accuracy of selected methods of measuring the thermal resistance of IGBTs | |
Martin-Horcajo et al. | Transient thermoreflectance for gate temperature assessment in pulse operated GaN-based HEMTs | |
Hoffmann et al. | Evaluation of the VSD‐method for temperature estimation during power cycling of SiC‐MOSFETs | |
El Helou et al. | High-resolution thermoreflectance imaging investigation of self-heating in AlGaN/GaN HEMTs on Si, SiC, and diamond substrates | |
JP2015010866A (ja) | 熱抵抗計測方法及び熱抵抗計測装置 | |
Chatterjee et al. | Electro-thermal reliability study of GaN high electron mobility transistors | |
Arenas et al. | Electrothermal mapping of AlGaN/GaN HEMTs using microresistance thermometer detectors | |
Bahun et al. | Estimation of insulated-gate bipolar transistor operating temperature: simulation and experiment | |
Jones et al. | Thermal characterization and design for a high density GaN-based power stage | |
US20120181615A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor device and semiconductor device | |
JP5518610B2 (ja) | 半導体装置の測定方法 | |
JP2012145354A (ja) | 熱抵抗測定方法 | |
Zhang et al. | Determining drain current characteristics and channel temperature rise in GaN HEMTs | |
JP5641998B2 (ja) | 半導体装置の寿命推定方法 | |
Baczkowski et al. | Thermal characterization of high power AlGaN/GaN HEMTs using infra red microscopy and thermoreflectance | |
CN112526425B (zh) | 一种基于热阻标准件的热阻测量仪器校准方法及装置 | |
Kendig et al. | UV thermal imaging of RF GaN devices with GaN resistor validation | |
Yazawa et al. | Transient thermal characterization of HEMT devices | |
CN107622958A (zh) | 一种异质半导体器件纵向热阻的精确测量方法 | |
Siegal | An Introduction to diode thermal measurements |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130711 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140320 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140401 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140402 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5518610 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |