JP2011521161A - Multistage vacuum pump - Google Patents

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Abstract

【解決手段】本発明は、複数のポンプ段(18,24,26)を構成すべくポンプハウジング(10)内の共通の軸(12)に配置された複数のロータ要素(14,16) を備えた多段真空ポンプに関する。軸は電動機(40)によって駆動される。機械的に好ましい軸受配置が、軸受要素(42,44) の簡易な構成を用いて転がり軸受として実施されるように、内側軸受要素(42)が２つのロータ要素(14,16) 間に配置されている。これは特に、２つのロータ要素(14,16) への分割により可能になる。The present invention provides a plurality of rotor elements (14, 16) disposed on a common shaft (12) in a pump housing (10) to form a plurality of pump stages (18, 24, 26). The present invention relates to a multistage vacuum pump provided. The shaft is driven by an electric motor (40). The inner bearing element (42) is arranged between the two rotor elements (14, 16) so that a mechanically preferred bearing arrangement is implemented as a rolling bearing with a simple configuration of the bearing elements (42, 44). Has been. This is made possible in particular by the division into two rotor elements (14, 16).

Description

本発明は、多段真空ポンプに関する。   The present invention relates to a multistage vacuum pump.

多段真空ポンプは、例えば、少なくとも２つの入口及び１つの出口を有する複数入口式真空ポンプとして構成されている。前記入口は、複数入口式真空ポンプの異なる真空段に接続されて、様々な真空が各入口で生成される。通常、このような配置では、最も高い真空が複数入口式真空ポンプの第１段に接続された入口によって生成されて、２番目に高い真空が第２段に接続された入口によって生成されて、以下同様に夫々の真空が夫々の入口で生成される。複数の真空段を備えたこのような真空ポンプは、電動機によって駆動される軸をハウジング内に備えており、電動機は通常、前記軸周りに配置されている。   The multistage vacuum pump is configured, for example, as a multi-inlet vacuum pump having at least two inlets and one outlet. The inlets are connected to different vacuum stages of a multiple inlet vacuum pump so that various vacuums are generated at each inlet. Typically, in such an arrangement, the highest vacuum is generated by the inlet connected to the first stage of the multiple inlet vacuum pump, and the second highest vacuum is generated by the inlet connected to the second stage, Similarly, each vacuum is generated at each inlet. Such a vacuum pump having a plurality of vacuum stages includes a shaft driven by an electric motor in a housing, and the electric motor is usually arranged around the shaft.

独国特許出願公開第60313493号明細書German Patent Application Publication No. 60313493

現状の技術から、前記軸のための様々なタイプの軸受配置が知られている。特に、２つの玉軸受によって軸を支持することが知られており、電動機は前記２つの玉軸受間に配置されている。第１段の方向に、軸は軸延長部分を含んでいる。該軸延長部分には、ロータ要素が配置されている。従って、ロータは、突出する軸延長部分に配置されており、ひいては片持ち支持されている。ロータに作用する力の全てが、軸の片持ち支持する端部に伝えられるので、軸受は高い応力を受ける。更に、このように支持された軸では、軸の長さが制限されている。そうでなければ、軸受に生じる力を吸収することがこれ以上不可能になるか、又は、非常に複雑で高価な軸受を使用しなければならないからである。このような軸受配置の更なる欠点は、比較的小さな軸受間隔にある。   From the state of the art, various types of bearing arrangements for the shaft are known. In particular, it is known to support the shaft by two ball bearings, and the motor is arranged between the two ball bearings. In the direction of the first stage, the shaft includes an axial extension. A rotor element is disposed on the shaft extension. Therefore, the rotor is disposed on the projecting shaft extension portion, and as a result, cantilevered. Since all the forces acting on the rotor are transferred to the cantilevered end of the shaft, the bearings are subject to high stresses. Furthermore, the shaft supported in this way has a limited length. Otherwise, it is no longer possible to absorb the forces generated in the bearing, or very complex and expensive bearings must be used. A further disadvantage of such a bearing arrangement is the relatively small bearing spacing.

同様のタイプの別の軸受配置では、電動機は、２つの軸受間ではなく軸受の外側に配置されている。この場合も、ロータは、軸の片持ち支持する延長部分に配置されているので、片持ち支持する軸受配置に関する欠点がある。これは、好ましくない重心位置の原因になり、その結果、高い応力が軸受に作用する。   In another bearing arrangement of a similar type, the motor is located outside the bearing rather than between the two bearings. Also in this case, since the rotor is disposed in the extended portion of the shaft that cantilever-supports, there is a drawback regarding the bearing arrangement that cantilever-supports. This causes an unfavorable center of gravity position, and as a result, high stress acts on the bearing.

更に、独国特許出願公開第60313493号明細書から、軸を軸の両端部で支持することが知られている。このような配置に起因する大きな軸受間隔により、軸受に生じる力は均一化され低減され得る。しかしながら、ポンプの吸込み側に、つまり、第１段の領域に配置された軸受は、この領域の圧力が低いために磁気軸受として設計されなければならない。現状の技術によれば、圧力が低いため、軸受からグリースが吸い取られるので、グリースで潤滑された玉軸受は、この領域での使用に不適切である。磁気軸受の場合には通常、保持軸受として機能する別の玉軸受が更に設けられるが、この玉軸受は、力を吸収するために使用されず、非常用軸受としてのみ使用される。永久的磁気軸受と、更に保持軸受とを設ける必要があるため、このタイプの軸受配置は高価である。更に、永久的磁気軸受のために、流路開口部を有する星形の保持要素を設ける必要がある。この星形の保持要素である軸受シールドが高真空段の領域に配置されるので、コンダクタンスの損失が、流れの中の非常に好ましくない箇所で生じる。このようなコンダクタンスの損失により、真空ポンプの最大性能が低下する。   Furthermore, it is known from German Patent Application 60313493 to support the shaft at both ends of the shaft. Due to the large bearing spacing resulting from such an arrangement, the forces generated in the bearings can be made uniform and reduced. However, bearings arranged on the suction side of the pump, i.e. in the region of the first stage, must be designed as magnetic bearings because the pressure in this region is low. According to the state of the art, since the pressure is low and grease is sucked from the bearing, ball bearings lubricated with grease are unsuitable for use in this area. In the case of magnetic bearings, another ball bearing is usually provided which functions as a holding bearing, but this ball bearing is not used for absorbing force and is used only as an emergency bearing. This type of bearing arrangement is expensive because it is necessary to provide a permanent magnetic bearing and also a holding bearing. Furthermore, for permanent magnetic bearings it is necessary to provide a star-shaped holding element with a channel opening. Since this star-shaped holding element, the bearing shield, is placed in the region of the high vacuum stage, conductance losses occur at highly undesirable points in the flow. Such loss of conductance reduces the maximum performance of the vacuum pump.

本発明は、特に、多段真空ポンプの構造的長さの低減を可能にし、多段真空ポンプのための安価であり且つ効果的な軸受配置を提供することを目的とする。   The present invention is particularly aimed at providing a low-cost and effective bearing arrangement for a multistage vacuum pump that allows a reduction in the structural length of the multistage vacuum pump.

本発明によれば、上記の目的は、請求項１に定義された特徴によって達成される。   According to the invention, the above object is achieved by the features defined in claim 1.

本発明によって提供されているように、ロータは少なくとも２つのロータ要素に分割されている。従って、２つのロータ要素は、互いに離れて配置されて、特には互いに離れて軸に接続されている。ここでは、多段真空ポンプの構成、特には入口の配置に応じて、一又は複数の段がロータ要素毎に設けられ得る。ロータを２つのロータ要素に分割するという発明性によって、２つのロータ要素間に、内側軸受要素、通常玉軸受のような転がり軸受を配置することが可能になる。このため、好ましくは、２つのロータ要素の内の１つ、特には高真空段を形成するか又は高真空段を含むロータ要素が、内側軸受要素の外側に配置されている。従って、ロータ要素は、内側軸受要素に対して突出している軸延長部分に配置されている。しかしながら、現状の技術とは対照的に、ロータ全体ではなく、少なくとも２つのロータ要素の内の１つのみが軸の片持ち支持する端部に配置されているので、片持ち支持する端部で軸に導入される力及び運動率が著しく低減される。第２のロータ要素は、例えば、内側軸受要素と外側軸受要素との間に配置されることが可能であり、特には、軸に固定して接続されている。   As provided by the present invention, the rotor is divided into at least two rotor elements. The two rotor elements are thus arranged away from each other, in particular away from each other and connected to the shaft. Here, depending on the configuration of the multistage vacuum pump, in particular the arrangement of the inlets, one or more stages can be provided for each rotor element. The inventiveness of dividing the rotor into two rotor elements makes it possible to arrange a rolling bearing such as an inner bearing element, usually a ball bearing, between the two rotor elements. For this reason, preferably one of the two rotor elements, in particular the rotor element forming or including the high vacuum stage, is arranged outside the inner bearing element. Thus, the rotor element is arranged in a shaft extension that projects relative to the inner bearing element. However, in contrast to current technology, only one of the at least two rotor elements, not the entire rotor, is located at the cantilevered end of the shaft, so at the cantilevered end. The forces and momentum introduced into the shaft are significantly reduced. The second rotor element can be arranged, for example, between the inner bearing element and the outer bearing element, in particular fixedly connected to the shaft.

本発明によれば、内側軸受要素が、好ましくは高真空の領域に配置されず、代わりに、高真空段を含む外側ロータ要素内に配置されているので、軸受は、高真空の領域の非常に低い圧力にさらされることはない。このため、例えば、玉軸受のような特にはグリースで潤滑される軸受が使用され得るという利点がある。特に、玉軸受が設けられることにより、玉軸受の構造的サイズが明らかに小さくなるという利点がある。更に、この領域に好ましくはグリースで潤滑された玉軸受が設けられることにより、追加の非常用軸受の必要性が除去される点が有利である。磁気軸受では、このような非常用軸受が確かに必要である。そうでなければ、磁気軸受が故障した場合に、緊急の際の動作特性が保証されない。   According to the present invention, the bearing is preferably located in the outer rotor element containing the high vacuum stage, instead of being located in the high vacuum region, so that the bearing is It is not exposed to low pressure. For this reason, there is an advantage that a bearing lubricated with grease, such as a ball bearing, can be used. In particular, the provision of a ball bearing has the advantage that the structural size of the ball bearing is clearly reduced. Furthermore, it is advantageous that a ball bearing, preferably lubricated with grease, is provided in this region, eliminating the need for an additional emergency bearing. For magnetic bearings, such an emergency bearing is certainly necessary. Otherwise, in the event of a magnetic bearing failure, the operating characteristics in an emergency are not guaranteed.

特に、軸受間隔が比較的大きいため、軸受に作用する力がより有利に分配される。これは、ロータ力学の点で有利である。更に、軸の生じ得る角度ずれが低減されるので、軸受の機能的構造に関して有利である。角度ずれが低減されるという利点により、ポンプの効率の改善が可能になり、より高い終圧が達成され得るように、より小さな間隙が実現され得る。特に好ましい実施形態によれば、内側軸受要素が保持要素によって固定されている。前記保持要素は、少なくとも１つの貫流開口部を含んでいる。軸受を所定の位置に固定するために、特には、転がり軸受の場合外側軸受環を固定するために、保持要素は、ポンプハウジングに接続されていることが好ましい。特に好ましくは、保持要素は、複数の貫流開口部を含んでおり、特には星形の構成を有している。好ましくは規則的に配置されて好ましくは同一の形状を有する個別の貫流開口部が、部分リングセグメントとして構成されていることが好ましい。搬送方向に見たとき、内側軸受要素が高真空段を含むロータ要素内に配置されているので、媒体が、高真空段から出るとき、及び次の段に入るときのみ貫流開口部を通って流れる。従って、保持要素によって引き起こされるコンダクタンスの損失は、このような保持要素が、高真空段の領域に、つまり高真空段のガス流入領域に設けられている配置の場合より明らかに低減される。   In particular, because the bearing spacing is relatively large, the forces acting on the bearings are distributed more advantageously. This is advantageous in terms of rotor dynamics. Furthermore, the possible angular deviation of the shaft is reduced, which is advantageous with regard to the functional structure of the bearing. The advantage of reduced angular misalignment allows for improved pump efficiency and allows smaller gaps to be achieved so that higher final pressures can be achieved. According to a particularly preferred embodiment, the inner bearing element is fixed by a holding element. The retaining element includes at least one flow-through opening. In order to fix the bearing in place, in particular in the case of a rolling bearing, the holding element is preferably connected to the pump housing in order to fix the outer bearing ring. Particularly preferably, the holding element comprises a plurality of flow-through openings, in particular has a star-shaped configuration. The individual flow openings, which are preferably regularly arranged and preferably have the same shape, are preferably configured as partial ring segments. When viewed in the conveying direction, the inner bearing element is arranged in the rotor element containing the high vacuum stage, so that the medium passes through the through-flow opening only when leaving the high vacuum stage and entering the next stage. Flowing. Accordingly, the conductance loss caused by the holding elements is clearly reduced compared to the arrangement in which such holding elements are provided in the region of the high vacuum stage, ie in the gas inflow region of the high vacuum stage.

特に好ましい実施形態によれば、少なくとも２つのロータ要素が設けられてあり、内側軸受要素及び保持要素の両方がこれら２つのロータ要素間に配置されている。   According to a particularly preferred embodiment, at least two rotor elements are provided, both the inner bearing element and the holding element being arranged between these two rotor elements.

更に特に好ましい実施形態によれば、内側軸受要素は、軸方向に、ロータ要素内に少なくとも部分的に配置されている。特には、このロータ要素は高真空段を含むロータ要素である。また本実施形態では、ロータ要素が、流れ方向にみたとき、内側軸受要素の前に配置されているので、ここでも、内側軸受要素は、２つのロータ要素間に、特にはロータ要素が軸に固定されている２つの領域間に配置されている。ロータ要素の一部により内側軸受要素を少なくとも部分的に軸方向に覆うことにより、片持ち支持する軸延長部分が更に短くされ得る。このため、軸受の機能的構造が更に改善される。   According to a further particularly preferred embodiment, the inner bearing element is arranged at least partly in the rotor element in the axial direction. In particular, the rotor element is a rotor element that includes a high vacuum stage. Also in this embodiment, the rotor element is arranged in front of the inner bearing element when viewed in the flow direction, so here again the inner bearing element is between the two rotor elements, in particular with the rotor element on the shaft. It is arranged between two fixed areas. By at least partially axially covering the inner bearing element with a part of the rotor element, the shaft extension for cantilevering can be further shortened. For this reason, the functional structure of the bearing is further improved.

好ましくは、外側軸受要素は、ロータ要素が２つの軸受要素間に配置されて、ロータ要素が特には軸に固定して接続されているように配置されている。従って、２つのロータ要素が設けられているとき、外側軸受要素は、最下の真空段を形成するロータ要素の外側に配置されていることが好ましい。このような配置では、駆動部が、外側軸受要素と最下の真空段を形成するロータ要素との間に配置されていることが特に好ましい。このため、２つの軸受要素間の非常に大きな軸受間隔が可能になり、軸受の機能的構造が改善されるという利点がある。   Preferably, the outer bearing element is arranged in such a way that the rotor element is arranged between the two bearing elements and that the rotor element is in particular fixedly connected to the shaft. Thus, when two rotor elements are provided, the outer bearing element is preferably arranged outside the rotor element forming the lowest vacuum stage. In such an arrangement, it is particularly preferred that the drive is arranged between the outer bearing element and the rotor element forming the lowest vacuum stage. This has the advantage that a very large bearing spacing between the two bearing elements is possible and the functional structure of the bearing is improved.

例えば、３つ以上の入口と、対応する数の真空段とを備えた実施形態では、外側軸受要素が２つのロータ要素間に配置されていることが好ましい。最下の真空段を形成する２つのロータ要素が設けられており、任意には、所与のロータ要素が複数の真空段を形成可能であることが好ましい。   For example, in an embodiment with more than two inlets and a corresponding number of vacuum stages, it is preferred that the outer bearing element is arranged between two rotor elements. Two rotor elements are provided that form the lowest vacuum stage, and optionally, a given rotor element is preferably capable of forming multiple vacuum stages.

特には、３つ以上の入口を備えた多段真空ポンプの場合、及び２つのロータ要素間の外側軸受要素の好ましい配置の場合には、外側軸受要素は保持要素によって固定されている。外側軸受要素のための保持要素は、貫流開口部を備えていることが好ましく、内側軸受要素のための保持要素に対応して設計されている。   In particular in the case of a multistage vacuum pump with more than two inlets and in the case of a preferred arrangement of the outer bearing element between two rotor elements, the outer bearing element is fixed by a holding element. The holding element for the outer bearing element is preferably provided with a flow-through opening and is designed to correspond to the holding element for the inner bearing element.

内側軸受要素は、転がり軸受として設計されていることが好ましい。しかしながら、磁気軸受、特には永久的磁気軸受を設けることが可能である一方、任意には更に、保持軸受が設けられ得る。   The inner bearing element is preferably designed as a rolling bearing. However, while it is possible to provide a magnetic bearing, in particular a permanent magnetic bearing, optionally a holding bearing can also be provided.

特に好ましい実施形態によれば、本発明の多段真空ポンプは複数入口式真空ポンプである。このポンプは、主入口以外に、少なくとも１つの追加の入口を備えている。該追加の入口は夫々、２つの隣り合う真空ポンプ間に配置されていることが好ましい。通常の複数入口式真空ポンプでは、１×10-9mbar乃至１×10-5mbarの圧力が高真空側で生成され得る。第１の中間入口では、１×10-5mbar乃至１×10-2mbarの圧力に達することが可能である。第２の中間入口が設けられている場合、第２の中間入口で１×10-2mbar乃至５×10-1mbarの圧力に達することが可能である。 According to a particularly preferred embodiment, the multistage vacuum pump of the present invention is a multiple inlet vacuum pump. This pump has at least one additional inlet in addition to the main inlet. Each of the additional inlets is preferably arranged between two adjacent vacuum pumps. In a typical multi-inlet vacuum pump, a pressure of 1 × 10 −9 mbar to 1 × 10 −5 mbar can be generated on the high vacuum side. At the first intermediate inlet it is possible to reach a pressure of 1 × 10 −5 mbar to 1 × 10 −2 mbar. If a second intermediate inlet is provided, it is possible to reach a pressure of 1 × 10 −2 mbar to 5 × 10 −1 mbar at the second intermediate inlet.

本発明を、好ましい実施形態により以下に更に詳細に説明する。   The invention is explained in more detail below by means of preferred embodiments.

２つのロータ要素を備えた第１の実施形態を示す断面略図である。1 is a schematic cross-sectional view showing a first embodiment with two rotor elements. ３つのロータ要素を備えた第２の実施形態を示す断面略図である。4 is a schematic sectional view showing a second embodiment with three rotor elements. 保持要素を示す平面略図である。2 is a schematic plan view showing a holding element.

本発明の多段真空ポンプの第１の実施形態を非常に簡略化した図面（図１）では、軸12が、ポンプハウジング10に配置されている。前記軸12はロータ要素14,16 を支持しており、該ロータ要素14,16 は、本発明によれば互いに別個に又は離れて配置されている。前記ロータ要素14,16 は、軸12に固定して接続されている。   In the highly simplified drawing (FIG. 1) of the first embodiment of the multistage vacuum pump according to the invention, the shaft 12 is arranged in the pump housing 10. The shaft 12 supports the rotor elements 14, 16, which are arranged separately or spaced apart from each other according to the invention. The rotor elements 14 and 16 are fixedly connected to the shaft 12.

示された実施形態では、ロータ要素14は、最も高い真空が生成される第１の真空段18を形成している。送られるべきガスが、第１の入口開口部20を介して吸引される。示された実施形態では、第１の真空段18は、ターボ分子ポンプによって形成された真空段である。ポンプハウジング10に接続されたステータ22が、前記ロータ14と協働する。   In the embodiment shown, the rotor element 14 forms a first vacuum stage 18 where the highest vacuum is generated. The gas to be sent is sucked through the first inlet opening 20. In the illustrated embodiment, the first vacuum stage 18 is a vacuum stage formed by a turbomolecular pump. A stator 22 connected to the pump housing 10 cooperates with the rotor 14.

示された実施形態における第２のロータ要素16は、２つの真空段24,26 を形成すべく配置されている。また、第２の真空段24は、ターボ分子ポンプによって形成されて、ここでもステータ28がポンプハウジング10に接続されている。第３の真空段26は、ホルベック（Holweck ）段であり、ホルベック段では、螺旋状の延長部分30が、対応する螺旋状の凹部と係合して配置されている。第２の真空段24は入口開口部34を介して媒体を吸引して、第３の真空段26は入口開口部36を介して媒体を吸引する。吸引された媒体は、３つの全ての真空段18,24,26から排出開口部38に送られる。   The second rotor element 16 in the illustrated embodiment is arranged to form two vacuum stages 24,26. The second vacuum stage 24 is also formed by a turbomolecular pump, and again the stator 28 is connected to the pump housing 10. The third vacuum stage 26 is a Holweck stage, in which a helical extension 30 is disposed in engagement with a corresponding helical recess. The second vacuum stage 24 sucks the medium through the inlet opening 34 and the third vacuum stage 26 sucks the medium through the inlet opening 36. The sucked medium is sent to the discharge opening 38 from all three vacuum stages 18, 24, 26.

示された実施形態では、前記軸12を駆動するための電動機40が、第３の真空段26の領域に配置されている。好ましい実施形態によれば、前記電動機40は、軸12を囲むように配置されている。前記ホルベック段26は、軸方向50で電動機40を囲むことが好ましい。   In the embodiment shown, an electric motor 40 for driving the shaft 12 is arranged in the region of the third vacuum stage 26. According to a preferred embodiment, the electric motor 40 is arranged so as to surround the shaft 12. The Holbeck stage 26 preferably surrounds the electric motor 40 in the axial direction 50.

軸12の支持体が、内側軸受要素42及び外側軸受要素44によって実現されている。前記内側軸受要素42は、２つのロータ要素14,16 間に配置されている。内側軸受要素42が転がり軸受である場合、内側軸受環が、例えば、軸12に押圧されている。外側軸受環が、保持要素46によって固定されている。図３の平面図に示されているように、前記保持要素46は、部分リングセグメントとして形成された複数の貫流開口部48を含んでおり、該貫流開口部48は、特には第１の真空段18によって送られた媒体を通過させるために規則的に配置されている。   The support of the shaft 12 is realized by an inner bearing element 42 and an outer bearing element 44. The inner bearing element 42 is arranged between the two rotor elements 14,16. When the inner bearing element 42 is a rolling bearing, the inner bearing ring is pressed against the shaft 12, for example. The outer bearing ring is fixed by a holding element 46. As shown in the plan view of FIG. 3, the retaining element 46 includes a plurality of flow-through openings 48 formed as partial ring segments, which flow-through openings 48 are notably the first vacuum. Arranged regularly to pass the media sent by the stage 18.

示された実施形態では、外側軸受要素44は、最下の、つまり第３の真空段26の外側に配置されている。更に、外側軸受要素44は、転がり軸受として設計されていることが好ましい。   In the embodiment shown, the outer bearing element 44 is arranged at the bottom, ie outside the third vacuum stage 26. Furthermore, the outer bearing element 44 is preferably designed as a rolling bearing.

示された実施形態の内側軸受要素42は、軸方向50でロータ要素14内に配置されている。このために、ロータ要素14は、略円形断面の凹部52を含んでいる。   The inner bearing element 42 of the illustrated embodiment is arranged in the rotor element 14 in the axial direction 50. For this purpose, the rotor element 14 includes a recess 52 with a substantially circular cross section.

第２の好ましい実施形態では、上述された構成要素と同様の、又は同一の構成要素に、同一の参照番号が付与されている。説明を容易にするために、ポンプハウジングは示されていない。ガス流が、矢印54,56,58,60 によって示されている。代替のガス流が、矢印62,64,56,58,60によって示されている。   In the second preferred embodiment, the same reference numerals are assigned to the same or identical components as those described above. For ease of explanation, the pump housing is not shown. The gas flow is indicated by arrows 54, 56, 58, 60. Alternative gas flows are indicated by arrows 62, 64, 56, 58, 60.

図２に示されている実施形態では、３つのロータ要素14,66,68が、軸64に設けられている。示された実施形態（図２）では、全てのロータ要素14,66,68が分子ポンプのロータ要素として示されているが、言うまでもなく、ロータ要素は異なるタイプであってもよい。更に、本実施形態でも、単一のロータ要素が複数の真空段を形成することが可能である。   In the embodiment shown in FIG. 2, three rotor elements 14, 66, 68 are provided on the shaft 64. In the embodiment shown (FIG. 2), all rotor elements 14, 66, 68 are shown as molecular pump rotor elements, but it goes without saying that the rotor elements may be of different types. Furthermore, also in this embodiment, a single rotor element can form a plurality of vacuum stages.

図１に示された実施形態と同様に、内側軸受要素42が、２つのロータ要素14,66 間に配置されて、ここでも保持要素46（図３）によってポンプハウジングに固定又は接続されている。示された実施形態では、駆動モータ40が２つのロータ要素14,66 間に配置されている。   Similar to the embodiment shown in FIG. 1, an inner bearing element 42 is arranged between the two rotor elements 14, 66 and is again fixed or connected to the pump housing by means of a holding element 46 (FIG. 3). . In the embodiment shown, a drive motor 40 is arranged between the two rotor elements 14,66.

第２の軸受要素、つまり外側軸受要素44が、２つのロータ要素66,68 間に配置されており（図２）、示された実施形態では、保持要素46によって固定されている。   A second bearing element, the outer bearing element 44, is arranged between the two rotor elements 66, 68 (FIG. 2) and is secured by the holding element 46 in the embodiment shown.

矢印54,56,58,60 によって示された第１の流路を介して、流れが、ロータ要素14,66,68によって形成された個別の真空段を連続的に通過する。   Via a first flow path indicated by arrows 54, 56, 58, 60, the flow continuously passes through individual vacuum stages formed by the rotor elements 14, 66, 68.

矢印62,64,56,58,60によって示された第２の流路内で、ガスが、別の入口開口部を介して矢印62によって示された方向に更に吸引される。バイパス又は接続通路（矢印64）を介して、矢印62の方向及び矢印54の方向の両方に吸引されるガスが、次の真空段（ロータ要素66）に送られる。   Within the second flow path indicated by arrows 62, 64, 56, 58, 60, gas is further drawn in the direction indicated by arrow 62 via another inlet opening. Via a bypass or connecting passage (arrow 64), gas drawn in both the direction of arrow 62 and in the direction of arrow 54 is sent to the next vacuum stage (rotor element 66).

矢印54,62,56,58 は、入口開口部及び出口開口部に夫々対応する。矢印60は排出開口部に対応する。   Arrows 54, 62, 56, 58 correspond to the inlet opening and the outlet opening, respectively. Arrow 60 corresponds to the discharge opening.

Claims (10)

多段真空ポンプにおいて、
複数のポンプ段(18,24,26)を構成すべくポンプハウジング(10)内の共通の軸(12,64) に配置された複数のロータ要素(14,16;14,66,68)、
前記軸(12,64) を駆動するための駆動要素(40)、及び
２つのロータ要素(14,16;14,66) 間に配置された内側軸受要素(42)
を備えていることを特徴とする多段真空ポンプ。 In multi-stage vacuum pumps,
A plurality of rotor elements (14, 16; 14, 66, 68) arranged on a common shaft (12, 64) in the pump housing (10) to form a plurality of pump stages (18, 24, 26);
A drive element (40) for driving the shaft (12,64) and an inner bearing element (42) arranged between the two rotor elements (14,16; 14,66)
A multi-stage vacuum pump comprising: 前記内側軸受要素(42)は、少なくとも１つの貫流開口部(48)を含む保持要素(46)によって固定されていることを特徴とする請求項１に記載の多段真空ポンプ。   The multistage vacuum pump according to claim 1, characterized in that the inner bearing element (42) is fixed by a holding element (46) comprising at least one flow-through opening (48). 前記内側軸受要素(42)は、前記保持要素(46)によって前記ポンプハウジング(10)に接続されていることを特徴とする請求項２に記載の多段真空ポンプ。   The multistage vacuum pump according to claim 2, wherein the inner bearing element (42) is connected to the pump housing (10) by the holding element (46). 前記保持要素(46)は、略円形であり、特には部分リングセグメントとして形成された複数の貫流開口部(48)を好ましくは含んでいることを特徴とする請求項２又は３に記載の多段真空ポンプ。   A multi-stage according to claim 2 or 3, characterized in that the holding element (46) is substantially circular and in particular comprises a plurality of flow-through openings (48) formed as partial ring segments. Vacuum pump. 前記保持要素(46)は、２つのロータ要素(14,16;14,66) 間に配置されていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の多段真空ポンプ。   5. A multi-stage vacuum pump according to any one of claims 2 to 4, characterized in that the holding element (46) is arranged between two rotor elements (14, 16; 14, 66). 前記内側軸受要素(42)は、軸方向(50)に、少なくとも部分的に前記ロータ要素(14)内に配置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の多段真空ポンプ。   6. The multistage vacuum according to claim 1, wherein the inner bearing element is arranged at least partially in the rotor element in the axial direction. pump. 前記ロータ要素(16,66) は、前記内側軸受要素(42)と外側軸受要素(44)との間に配置されており、前記ロータ要素は、前記軸(64)に好ましくは密に接続されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の多段真空ポンプ。   The rotor element (16, 66) is disposed between the inner bearing element (42) and the outer bearing element (44), and the rotor element is preferably tightly connected to the shaft (64). The multistage vacuum pump according to any one of claims 1 to 6, wherein the multistage vacuum pump is provided. 前記外側軸受要素(44)は、２つのロータ要素(66,68)間に配置されて、好ましくは貫流開口部(48)を含む保持要素(46)によって固定されていることを特徴とする請求項７に記載の多段真空ポンプ。   The outer bearing element (44) is arranged between two rotor elements (66, 68) and is preferably fixed by a holding element (46) comprising a flow-through opening (48). Item 8. The multistage vacuum pump according to Item 7. 前記内側軸受要素(42)及び／又は前記外側軸受要素(44)は、転がり軸受として、特には玉軸受として構成されていることを特徴とする請求項７に記載の多段真空ポンプ。   8. The multistage vacuum pump according to claim 7, wherein the inner bearing element (42) and / or the outer bearing element (44) are configured as rolling bearings, in particular as ball bearings. 前記転がり軸受は、グリースで潤滑されていることを特徴とする請求項９に記載の多段真空ポンプ。   The multistage vacuum pump according to claim 9, wherein the rolling bearing is lubricated with grease.
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