DE102011105455A1 - Conversion-layer-free components of vacuum pumps - Google Patents

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Abstract

Gegenstand der Erfindung sind konversionsschichtfreie Bauteile von Vakuumpumpen aus Ventilmetallen und deren Legierungen.The invention relates to conversion-layer-free components of vacuum pumps made of valve metals and their alloys.

Description

Gegenstand der Erfindung sind konversionsschichtfreie Bauteile von Vakuumpumpen aus Ventilmetallen und deren Legierungen.The invention relates to conversion-layer-free components of vacuum pumps made of valve metals and their alloys.

DE 101 63 864 A1 betrifft ein Verfahren zur Beschichtung von Gegenständen aus Ventilmetallen oder deren Legierungen mit einer dünnen Sperrschicht aus dem Metall und darauf befindlicher Oxidkeramikschicht, deren Oberfläche mit Fluorpolymeren beschichtet ist, die dadurch gekennzeichnet ist, dass man die Fluorpolymere in Form einer Lösung durch Vakuumimprägnierung in das Kapillarsystem der Oxidkeramikschicht einbringt und nach Entfernen der nicht benetzenden Lösungsanteile trocknet. Demnach umfasst die Gruppe der Ventilmetalle Aluminium, Magnesium, Titan, Niob oder Zirkonium sowie deren Legierungen. Darüber hinaus werden in dieser Druckschrift aber auch weitere Bauteile von Vakuumpumpen aus Ventilmetallen definiert, wie beispielsweise Rotoren und Statoren von Turbomolekularpumpen. DE 101 63 864 A1 relates to a process for coating articles of valve metals or their alloys with a thin barrier layer of the metal and oxide ceramic layer thereon, the surface of which is coated with fluoropolymers, characterized in that the fluoropolymers in the form of a solution are impregnated into the capillary system by vacuum impregnation Insert oxide ceramic layer and dried after removing the non-wetting solution components. Accordingly, the group of valve metals aluminum, magnesium, titanium, niobium or zirconium and their alloys. In addition, this document also defines other components of vacuum pumps made of valve metals, such as rotors and stators of turbomolecular pumps.

Unter Aluminium und dessen Legierungen werden hier und auch im Rahmen der vorliegenden Erfindung, Reinstaluminium und Legierungen AlMn; AlMnCu; AlMg1; AlMg1 , 5; E-AlMgSi; AlMgSi0,5; AlZnMgCu0,5; AlZnMgCu1,5; GAlSi1,2; G-AlSi5MG; G-AlSi8Cu3; G-AlCu4Ti; G-AlCu4TiMg verstanden. Für die Zwecke der Erfindung eignen sich ferner außer Reinmagnesium insbesondere die Magnesiumgusslegierungen der ASTM-Bezeichnungen AS41, AM60, AZ61, AZ63, AZ81; AZ91, HK31, QE22, ZE41, ZH62, ZK51, ZK61, EZ33, HZ32 sowie die Knetlegierungen AZ31, AZ61, AZ80, M1 ZK60, ZK40. Desweiteren lassen sich Reintitanium oder auch Titanlegierungen wie TiAl6V4, TiAl5Fe2,5 und andere einsetzen.Among aluminum and its alloys are here and in the context of the present invention, pure aluminum and AlMn alloys; AlMnCu; AlMg 1 ; AlMg 1 , 5 ; E-AlMgSi; AlMgSi 0.5 ; AlZnMgCu 0.5 ; AlZnMgCu 1.5 ; GAlSi 1,2 ; G-AlSi 5 MW; G-AlSi 8 Cu 3 ; G-AlCu 4 Ti; G-AlCu 4 TiMg understood. In addition to pure magnesium, the magnesium casting alloys of the ASTM designations AS41, AM60, AZ61, AZ63, AZ81 are also suitable for the purposes of the invention. AZ91, HK31, QE22, ZE41, ZH62, ZK51, ZK61, EZ33, HZ32 as well as the wrought alloys AZ31, AZ61, AZ80, M1 ZK60, ZK40. Furthermore, pure titanium or titanium alloys such as TiAl 6 V4, TiAl5Fe 2.5 and others can be used.

In der DE 101 63 864 A1 wird die Oxidkeramikschicht im Wesentlichen durch eine Konversionsschicht der Oberfläche des Bauteils gebildet, so dass hier praktisch ein Teil des Substratmaterials abgetragen und in die Oxidationssperrschicht umgewandelt wird.In the DE 101 63 864 A1 the oxide ceramic layer is formed essentially by a conversion layer of the surface of the component, so that here virtually a portion of the substrate material is removed and converted into the oxidation barrier layer.

Darüber hinaus sind bekanntermaßen auch konventionelle Anodisationsschichten (Eloxalschichten), plasmachemische Anodisationsverfahren (KEPLA-Coat®, KERONITE® und andere Verfahren) bekannt. Auch ist es bekannt, die oben genannten Ventilmetalle zu vernickeln.In addition are known and conventional Anodisationsschichten (anodic oxide layers), plasma chemical anodising (KEPLA-Coat ®, KERONITE ®, and other methods) are known. It is also known to nickel-plated the valve metals mentioned above.

Allen vorgenannten Beschichtungsverfahren liegt zugrunde, dass sie konturgetreue Schichtbildungen ermöglichen. Diese Schichtsysteme haben jedoch alle ihre spezifischen Nachteile in der vakuumtechnischen Anwendung. So enthalten die Anodisationsverfahren mehr oder weniger ausgeprägte Porenstrukturen, die den Korrosionsschutz einschränken. Auch die Chemisch-Nickelschichten weisen diesbezüglich sogenannte ”Pinholes” auf, die zumindest größere Schichtdicken erfordern, um die Zahl und Größe der ”Pinholes” zu minimieren. Auch ist das tribologische Verhalten von Chemisch-Nickelschichten insbesondere unter Vakuum ungenügend, da derartige Schichten bei Crashs zu Kaltverschweißungen tendieren.All of the abovementioned coating methods are based on the fact that they permit conformable layer formations. However, these coating systems all have their specific disadvantages in the vacuum technical application. For example, the anodization processes contain more or less pronounced pore structures, which limit corrosion protection. Also, the chemical nickel layers have in this regard so-called "pinholes" which require at least greater layer thicknesses in order to minimize the number and size of the "pinholes". Also, the tribological behavior of chemical nickel layers is insufficient, especially under vacuum, since such layers tend to cold welding in crashes.

Alternative Beschichtungen für Bauteile von Vakuumpumpen werden beispielsweise auch in der DE 10 2005 040 648 A1 beschrieben. Hier werden Gegenstände aus Ventilmetallen, insbesondere Bauteile von Vakuumpumpen mit einer aus dem Metall gebildeten oxidkeramischen Schicht, die eine dünne Sperrschicht als Grenzschicht zum Metall aufweist, mit einer weiteren polymeren Beschichtung versehen, die auf der Basis von Parylenen gebildet wird. Insoweit wird auf die DE 10 2005 040 648 A1 in Bezug auf die Zusammensetzung dieser Oberflächenbeschichtung und das Aufbringungsverfahren vollumfänglich Bezug genommen.Alternative coatings for components of vacuum pumps, for example, in the DE 10 2005 040 648 A1 described. Here are valve metal objects, in particular components of vacuum pumps with an oxide ceramic layer formed from the metal, which has a thin barrier layer as an interface to the metal, provided with a further polymeric coating, which is formed on the basis of parylenes. In that regard, on the DE 10 2005 040 648 A1 with respect to the composition of this surface coating and the application method fully incorporated by reference.

WO 03/029529 A1 , WO 2006/047501 A2 und WO 2006/047526 A2 beschreiben die Herstellung eines Gegenstandes mit einer korrosions-, wärme- und abriebbeständigen keramischen Beschichtung aus Titan- und/oder Zirkoniumdioxid, die durch Gleich- oder Wechselstromanodisierung auf dem Gegenstand aus Aluminium und/oder Titan aufgebracht wird. Die in diesem Stand der Technik zugrunde liegenden Gegenstände werden nicht näher definiert. Auch sind keine Angaben über die Chemikalienbeständigkeit, insbesondere die Beständigkeit gegenüber Citronensäure oder Salz- und/oder Flußsäuredämpfen vorhanden. WO 03/029529 A1 . WO 2006/047501 A2 and WO 2006/047526 A2 describe the preparation of an article with a corrosion, heat and abrasion resistant ceramic coating of titanium and / or zirconia, which is applied to the aluminum and / or titanium article by DC or AC anodization. The objects underlying this prior art are not defined further. Also, no information on the chemical resistance, in particular the resistance to citric acid or hydrochloric and / or Flußsääuredämpfe present.

Dementsprechend besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, konversionsschichtfreie Bauteile von Vakuumpumpen aus Ventilmetallen und deren Legierungen zur Verfügung zu stellen, die neben Korrosions-, Hitze- und Abriebbeständigkeit eine galvanisch erzeugte konversionsschichtfreie Beschichtung aufweisen, die darüber hinaus auch chemikalienbeständig, insbesondere beständig ist gegen Citronensäure oder Salzsäuredämpfe. Dies ist besonders wichtig bei der Herstellung von Bauteilen von Vakuumpumpen, die insbesondere im Vakuumbereich mit aggressiven Gasen wie beispielsweise HCl- und/oder HF-Dampf/Gas in Kontakt treten.Accordingly, the object of the present invention is to provide conversion-layer-free components of vacuum pumps made of valve metals and their alloys, which in addition to corrosion, heat and abrasion resistance have a galvanically generated conversion coating coating, which is also resistant to chemicals, especially resistant to citric acid or hydrochloric acid vapors. This is particularly important in the manufacture of components of vacuum pumps that come in contact with aggressive gases, such as HCl and / or HF vapor / gas, especially in the vacuum range.

Die Lösung der vorgenannten Aufgabe besteht in einer ersten Ausführungsform aus konversionsschichtfreien Bauteile von Vakuumpumpen aus Ventilmetallen und deren Legierungen, die dadurch gekennzeichnet ist, dass deren Oberfläche eine galvanisch erzeugte Beschichtung wenigstens eines Oxids und/oder eines Oxifluorids eines Elements der Gruppe bestehend aus Bor, Germanium, Aluminium, Magnesium, Titan, Niob, Hafnium und/oder Zirkonium und deren Gemischen mit einer Schichtdicke im Bereich von 5 bis 50 μm, aufweist.The solution of the above object consists in a first embodiment of conversion-free components of vacuum pumps made of valve metals and their alloys, which is characterized in that the surface of a galvanically produced coating of at least one oxide and / or an oxifluoride of an element of the group consisting of boron, germanium , Aluminum, magnesium, titanium, niobium, hafnium and / or Zirconium and mixtures thereof with a layer thickness in the range of 5 to 50 microns having.

Die Lösung der vorgenannten Aufgabe nutzt einerseits die konturengetreue Abdeckung von Oberflächen, wie sie bei bekannten Konversionsschichten wie KEPLA-Coat® oder Anodisationsschichten möglich ist. Wesentlich im Sinne der vorliegenden Erfindung ist jedoch, dass hier kein Substratwerkstoff durch Umwandlung verloren geht, das heißt, keine Konversionsschicht erzeugt wird. Hierdurch kann im Bedarfsfall ohne Substratverluste die Beschichtung beliebig oft wiederholt werden, was besonders im Servicefall von großer Bedeutung ist.The solution of the above object, one hand uses the conformal coverage of surfaces, as is possible with known conversion coatings such as KEPLA-Coat ® or Anodisationsschichten. However, it is essential for the purposes of the present invention that no substrate material is lost by conversion here, that is, no conversion layer is produced. In this way, the coating can be repeated as often as required without substrate losses, which is particularly important in the case of service of great importance.

Verfahrenstechnische Details können den oben genannten Veröffentlichungen WO 03/029529 A1 , WO 2006/047501 A2 und WO 2006/047526 A2 im Einzelnen entnommen werden. Insoweit wird auch hier vollinhaltlich auf diese Schriften Bezug genommen.Procedural details can be found in the publications above WO 03/029529 A1 . WO 2006/047501 A2 and WO 2006/047526 A2 be taken in detail. In that regard, reference is also made here in full to these documents.

Aufgrund der hohen Abscheideraten reduzieren sich die Expositionszeiten auf etwa ein Drittel gegenüber den üblichen Anodisationsverfahren und sogar auf ein Sechstel (Viertel) gegenüber dem oben genannten KEPLA-Coat®-Verfahren. Dadurch wird ein bedeutsamer wirtschaftlicher Vorteil bereitgestellt. Darüber hinaus konnte gefunden werden, dass bei den erfindungsgemäß hergestellten konversionsschichtfreien Bauteilen von Vakuumpumpen aus Ventilmetallen und deren Legierungen kein Kanteneffekt aufgetreten ist. Insbesondere dieser Umstand ist aus den oben genannten Schriften nicht bekannt und stellt insofern einen überraschenden Vorteil der vorliegenden Erfindung dar.Due to the high deposition rates, the exposure times are reduced to about one-third compared to the usual anodization and even to a sixth (quarter) compared to the above-mentioned KEPLA-Coat ® method. This provides a significant economic benefit. In addition, it has been found that no edge effect has occurred in the conversion-layer-free components produced according to the invention of vacuum pumps made of valve metals and their alloys. In particular, this fact is not known from the above-mentioned documents and thus represents a surprising advantage of the present invention.

Aufgrund der gegenüber den Schichten, die durch Anodisationsverfahren oder mittels dem KEPLA-Coat®-Verfahren hergestellt werden, ist im Ergebnis ein höherer Widerstand gegen abrasiven Verschleiß vorgegeben. Die abgeschiedenen Schichten können dabei eine Härte von etwa 700 HV aufweisen.Due to the over the layers, which are prepared by anodization or by the KEPLA-coat ® method, a higher resistance to abrasive wear is given as a result. The deposited layers can have a hardness of about 700 HV.

Erfindungsgemäß konnten erhebliche Vorteile im Korrosionsschutz gegenüber den bekannten Schichtsystemen erarbeitet werden. Dies betrifft insbesondere den Schutz gegen Citronensäure und Salzsäure. Bekanntermaßen sind Anodisationsschichten empfindlich gegen die Einwirkung von Citronensäure während die KEPLA-Coat®-Beschichtungen keine ausreichende Stabilität gegenüber Salzsäure aufweisen.According to the invention, considerable advantages could be achieved in corrosion protection compared with the known layer systems. This concerns in particular the protection against citric acid and hydrochloric acid. As is known, Anodisationsschichten are sensitive exhibit against the action of citric acid while the KEPLA-Coat ® coatings sufficient stability to hydrochloric acid.

Es konnte gefunden werden, dass die Grundstandzeit des Elektrolyten durch analytische Überwachung und gegebenenfalls Nachdosierung über erheblich längere Perioden eingestellt werden kann, als dies mit den bisher bekannten Verfahren zur Beschichtung von Bauteilen von Vakuumpumpen aus Ventilmetallen und deren Legierungen erforderlich ist. Im Gegensatz hierzu muss der Elektrolyt von KEPLA-Coat® aufgrund von Verunreinigungen, die aus dem Grundwerkstoff stammen, nutzungsabhängig verworfen werden. Dies trifft in ähnlicher Weise auch für Elektrolyten von Anodisationsschichten zu.It has been found that the basic service life of the electrolyte can be adjusted by analytical monitoring and, if appropriate, subsequent addition over considerably longer periods than is required with the hitherto known methods for coating components of vacuum pumps made of valve metals and their alloys. In contrast, KEPLA-Coat ® electrolyte has to be discarded depending on usage due to contaminants originating from the base material. This also applies in a similar way to electrolytes of anodization layers.

Erfindungsgemäße Bauteile von Vakuumpumpen aus Ventilmetallen und deren Legierungen umfassen insbesondere Rotoren, Statoren, Statorscheibenhälften, Gewindestufen, Gehäuse und Lagerschalen.Components according to the invention of vacuum pumps made of valve metals and their alloys include, in particular, rotors, stators, stator disk halves, threaded steps, housings and bearing shells.

Der Begriff der Ventilmetalle steht in Übereinstimmung mit dem Stand der Technik hier für Metalle der Gruppe Aluminium, Magnesium, Titan, Niob und/oder Zirkonium sowie deren Legierungen. Die in der Beschreibungseinleitung genannten speziellen Legierungen von Aluminium, Magnesium und Titan sind auch im Sinne der vorliegenden Erfindung besonders bevorzugt.The term of the valve metals is in accordance with the prior art here for metals of the group aluminum, magnesium, titanium, niobium and / or zirconium and their alloys. The special alloys of aluminum, magnesium and titanium mentioned in the introduction to the description are also particularly preferred for the purposes of the present invention.

Für die Oberflächenbeschichtung werden- besonders bevorzugt wenigstens ein Oxid und/oder Oxifluoride der Gruppe bestehend aus Aluminium, Titan und/oder Zirkonium ausgewählt. Damit lassen sich die erfindungsgemäßen Vorteile der vorliegenden Erfindung am Besten realisieren.For the surface coating, it is particularly preferable to select at least one oxide and / or oxfluorides of the group consisting of aluminum, titanium and / or zirconium. Thus, the advantages of the present invention can best be realized.

Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass die Dicke der Oberflächenbeschichtung 5 bis 50 μm beträgt. Besonders bevorzugt im Sinne der vorliegenden Erfindung beträgt die Dicke der Oberflächenbeschichtung 15 bis 30 μm. Wird die Dicke der Oberflächenbeschichtung zu dünn gewählt, so ist kein ausreichender Schutz gegen Korrosion, Hitze, Abrieb und Chemikalien gewährleistet. Wird hingegen die Dicke der Oberflächenbeschichtung zu groß gewählt, so neigen entsprechende Beschichtungen zum Abplatzen. Darüber hinaus sind entsprechend dicke Schichten unwirtschaftlich.An embodiment of the present invention is that the thickness of the surface coating is 5 to 50 μm. Particularly preferred according to the present invention, the thickness of the surface coating is 15 to 30 microns. If the thickness of the surface coating is chosen to be too thin, adequate protection against corrosion, heat, abrasion and chemicals is not guaranteed. If, however, the thickness of the surface coating chosen too large, so appropriate coatings tend to flake off. In addition, correspondingly thick layers are uneconomical.

Eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung besteht in dem Verfahren zur Herstellung von galvanisch erzeugten konversionsschichtfreien Bauteilen und von Vakuumpumpen aus Ventilmetallen und deren Legierungen, das dadurch gekennzeichnet ist, dass man

  • (a) eine anodisierende Lösung bereitstellt, die neben Wasser wenigstens eine weitere Komponente enthält, die ausgewählt ist aus der Gruppe der wasserdispergierbaren komplexen Fluoride und Oxifluoride von Elementen der Gruppe bestehend aus Bor, Germanium, Aluminium, Magnesium, Titan, Niob, Hafnium und/oder Zirkonium und deren Gemischen,
  • (b) eine Kathode in Kontakt mit der anodisierenden Lösung bringt,
  • (c) die Bauteile als Anode in die anodisierende Lösung einbringt und
  • (d) eine elektrische Spannung zwischen Anode und Kathode anlegt um eine Oberflächenbeschichtung auf den Bauteilen aufzubringen.
A further embodiment of the present invention consists in the method for the production of galvanically generated conversion-layer-free components and of vacuum pumps made of valve metals and their alloys, which is characterized in that
  • (a) providing an anodizing solution containing, in addition to water, at least one further component selected from the group of water-dispersible complex fluorides and oxifluorides of elements of the group consisting of boron, germanium, aluminum, magnesium, titanium, niobium, hafnium and / or zirconium and mixtures thereof,
  • (b) bringing a cathode into contact with the anodizing solution,
  • (C) introduces the components as an anode in the anodizing solution and
  • (D) applies an electrical voltage between the anode and cathode to apply a surface coating on the components.

Grundsätzlich ist dieses Verfahren bereits aus den genannten Schriften WO 03/029539 A1 , WO 2006/047501 A2 und WO 2006/047526 A2 bekannt. Die vorliegende Erfindung unterscheidet sich insofern durch die ausgewählten Bauteile von Vakuumpumpen aus Ventilmetallen und deren Legierungen.Basically, this method is already from the writings mentioned WO 03/029539 A1 . WO 2006/047501 A2 and WO 2006/047526 A2 known. The present invention differs in that the selected components of vacuum pumps of valve metals and their alloys.

Ausführungsbeispiele :Exemplary embodiments:

Beispiel 1:Example 1:

Ein Probeblech aus AlMgSi1 mit den Abmessungen von 100 × 50 × 1.5 mm wurde bei 400 Volt für 5 Minuten in einem nach WO 03/029529 , WO 2006/047501 A2 und WO 2006/047526 A2 beschriebenen Elektrolyten anodisch innerhalb einer Zeitdauer von 5 Minuten beschichtet. Die ermittelte Schichtdicke betrug etwa 10 μm.A sample plate of AlMgSi 1 with the dimensions of 100 × 50 × 1.5 mm was placed at 400 volts for 5 minutes in a WO 03/029529 . WO 2006/047501 A2 and WO 2006/047526 A2 electrolytes coated anodically over a period of 5 minutes. The determined layer thickness was about 10 μm.

Beispiel 2:Example 2:

Ein Probenblech wie unter Beispiel 2 beschrieben wurde analog innerhalb von 10 Minuten beschichtet. Die ermittelte Schichtdicke betrug etwa 12 μm.A sample sheet as described in Example 2 was coated analogously within 10 minutes. The determined layer thickness was about 12 μm.

Beispiel 3:Example 3:

Die nach Beispielen 1 und 2 beschichteten Probebleche wurden einer Salzsäureatmosphäre ausgesetzt die sich über einer Vorlage von 15 Gew.-%iger Salzsäurevorlage ausbildet. Die Oxidkeramikschicht auf den Probeblechen wurde nach 144 h und nach 300 h Versuchsdauer auf Ablösungen untersucht. Die Oxidkeramikschicht auf den Probeblechen war nach dieser Expositionszeit unversehrt.The test panels coated according to Examples 1 and 2 were exposed to a hydrochloric acid atmosphere which forms over an initial charge of 15% strength by weight hydrochloric acid master. The oxide ceramic layer on the sample plates was examined for detachment after 144 h and after a period of 300 h. The oxide ceramic layer on the sample plates was intact after this exposure time.

Beispiel 4:Example 4:

Die nach den Beispielen 1 und 2 beschichteten Probebleche wurden Citronensäurelösungen mit Konzentrationen von 2%, 3,5% und 5% ausgesetzt. Die Oxidkeramikschicht auf den Probeblechen wurde nach 90 h Versuchsdauer auf Ablösungen untersucht. Die Oxidkeramikschicht auf den Probeblechen war nach dieser Expositionszeit unversehrt.The test panels coated according to Examples 1 and 2 were exposed to citric acid solutions at concentrations of 2%, 3.5% and 5%. The oxide ceramic layer on the test panels was examined for detachment after 90 h of the test. The oxide ceramic layer on the sample plates was intact after this exposure time.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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  • WO 03/029529 [0023] WO 03/029529 [0023]

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Konversionsschichtfreie Bauteile von Vakuumpumpen aus Ventilmetallen und deren Legierungen dadurch gekennzeichnet, dass deren Oberfläche eine galvanisch erzeugte Beschichtung wenigstens eines Oxids eines Elements der Gruppe bestehend aus Bor, Germanium, Aluminium, Magnesium, Titan, Niob, Hafnium und/oder Zirkonium und deren Gemische einer Schichtdicke im Bereich von 5 bis 50 μm aufweist.Conversion-layer-free components of vacuum pumps made of valve metals and their alloys, characterized in that the surface of a galvanically produced coating of at least one oxide of an element selected from boron, germanium, aluminum, magnesium, titanium, niobium, hafnium and / or zirconium and their mixtures of a layer thickness in the range of 5 to 50 microns. Bauteile nach Anspruch 1 umfassend Rotoren, Statoren, Statorscheibenhälften, Gewindestufen, Gehäuse und Lagerschalen.Components according to claim 1 comprising rotors, stators, stator halves, threaded rungs, housings and bearing shells. Bauteile nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Ventilmetall ausgewählt ist aus Aluminium, Magnesium, Titan, Niob und/oder Zirkonium sowie deren Legierungen.Components according to claim 1 or 2, characterized in that the valve metal is selected from aluminum, magnesium, titanium, niobium and / or zirconium and their alloys. Bauteile nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung aus wenigstens einem Oxid und/oder Oxifluorid der Gruppe bestehend aus Aluminium, Titan und/oder Zirkonium besteht.Components according to one of claims 1 to 3, characterized in that the coating consists of at least one oxide and / or oxifluoride of the group consisting of aluminum, titanium and / or zirconium. Bauteile nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Oberflächenbeschichtung 15 bis 30 μm beträgt.Components according to one of claims 1 to 4, characterized in that the thickness of the surface coating is 15 to 30 microns. Verfahren zur Herstellung von galvanisch erzeugten konversionsschichtfreien Bauteilen von Vakuumpumpen aus Ventilmetallen und deren Gemischen, dadurch gekennzeichnet, dass man (a) eine anodisierende Lösung bereitstellt, die neben Wasser wenigstens eine weitere Komponente enthält, die ausgewählt ist aus der Gruppe der wasserdispergierbaren komplexen Fluoride und Oxifluoride von Elementen der Gruppe bestehend aus Bor, Germanium, Aluminium, Magnesium, Titan, Niob, Hafnium und/oder Zirkonium und deren Legierungen, (b) eine Kathode in Kontakt mit der anodisierenden Lösung bringt, (c) die Bauteile als Anode in die anodisierende Lösung einbringt und (d) eine elektrische Spannung zwischen Anode und Kathode anlegt, um eine Oberflächenbeschichtung auf den Bauteilen aufzubringen.Process for the preparation of galvanically generated conversion-layer-free components of vacuum pumps made of valve metals and mixtures thereof, characterized in that (a) providing an anodizing solution containing, besides water, at least one further component selected from the group of water-dispersible complex fluorides and oxifluorides of elements of the group consisting of boron, germanium, aluminum, magnesium, titanium, niobium, hafnium and / or zirconium and its alloys, (b) bringing a cathode into contact with the anodizing solution, (C) introduces the components as an anode in the anodizing solution and (D) applies an electrical voltage between the anode and cathode to apply a surface coating on the components.
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