JP2011508449A - ヒートシンクを形成する方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
12 ビア
14 熱界面材料
100 TPG要素
102 外側表面
200 第1の金属材料
300 熱スペーサ
400 金属フィンアセンブリ
500 ヒートシンク
600 はんだ
Claims (26)
- 熱分解グラファイト(TPG)要素に少なくとも1つの孔を形成するステップと、
第1の金属材料に少なくとも1つのビアを形成するステップであって、前記少なくとも1つのビアを、それぞれ、前記少なくとも1つの孔のうちの対応する孔の中に位置させる、ステップと、
熱源要素を受けるように構成された、第2の金属材料で作製された熱スペーサを提供するステップと、
前記TPG要素の外側表面に、金属ベースの被覆を塗布するステップと、
前記少なくとも1つのビアおよび前記熱スペーサを前記TPG要素の前記被覆された外側表面に接合するステップであって、前記熱スペーサと前記TPG要素を接合することにより、前記熱源要素の熱を前記熱スペーサから対応する孔を介して各ビアへ伝導するのを促進するヒートシンクを形成するステップと、
を含むことを特徴とするヒートシンク形成方法。 - 前記少なくとも1つの孔を平面状のTPG要素に形成するステップを含むことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記少なくとも1つの孔を形成するステップが、前記TPG要素に複数の孔を形成するステップを含み、前記複数の孔が、円形、卵形、正方形、長方形、および三角形のうちの1つの形状で形成されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記第1の金属材料に複数のビアを形成するステップを含むことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記複数のビアが、互いに独立したビアであることを特徴とする請求項4記載の方法。
- 前記少なくとも1つのビアが、アルミニウム、銅、インジウム、およびそれらの組合せからなる群から選択された前記第1の金属材料に形成されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記少なくとも1つのビアが、金属フィンアセンブリに形成されることを特徴とする請求項6記載の方法。
- 前記少なくとも1つのビアが、伝導冷却ヒートフレームに形成されることを特徴とする請求項6記載の方法。
- 前記熱スペーサが、アルミニウム、銅、インジウム、およびそれらの組合せからなる群から選択された前記第2の金属材料で作製されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 銅/ニッケル被覆材料を、前記TPG要素の前記外側表面に塗布することを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記少なくとも1つのビアおよび前記熱スペーサが、熱伝導性接着剤を使用して、前記TPG要素の前記被覆された外側表面に接合されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記少なくとも1つのビアおよび前記熱スペーサが、はんだを使用して、前記TPG要素の前記被覆された外側表面に接合されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 熱分解グラファイト(TPG)要素に少なくとも1つの孔を形成するステップと、
第1の金属材料に少なくとも1つのビアを形成するステップであって、前記少なくとも1つのビアがそれぞれ、前記少なくとも1つの孔のうちの対応する孔の中に位置するように構成されるステップと、
熱源要素を受けるように構成された、第2の金属材料で作製された熱スペーサを提供するステップと、
各ビアおよび前記熱スペーサを電気めっきプロセスによって前記TPG要素に接合するステップであって、接合された各ビア、前記熱スペーサ、および前記TPG要素が、前記熱源の熱を前記熱スペーサから対応する孔を介して各ビアへ伝導するのを促進するように構成されたヒートシンクを形成するステップ、
とを含むことを特徴とするヒートシンクを形成する方法。 - 少なくとも1つの孔を形成するステップが、前記TPG要素に複数の孔を形成するステップを含み、前記複数の孔が、円形、卵形、正方形、長方形、および三角形のうちの1つの形状で形成されることを特徴とする請求項13記載の方法。
- 前記第1の金属材料に複数のビアを形成するステップを含むことを特徴とする請求項13記載の方法。
- 少なくとも1つのビアが、アルミニウム、銅、インジウム、およびそれらの組合せからなる群から選択された前記第1の金属材料に形成されることを特徴とする請求項13記載の方法。
- 前記少なくとも1つのビアが、金属フィンアセンブリに形成されることを特徴とする請求項16記載の方法。
- 前記熱スペーサが、アルミニウム、銅、インジウム、およびそれらの組合せからなる群から選択された前記第1の金属材料に形成されることを特徴とする請求項13記載の方法。
- 前記第1の金属材料の前記ビアの外側表面と前記第1の金属材料の前記金属フィンアセンブリとの間に熱界面を塗布するステップをさらに含むことを特徴とする請求項17記載の方法。
- 熱分解グラファイト(TPG)要素に少なくとも1つの孔を形成するステップと、
前記TPG要素の外側表面に金属ベースの被覆を塗布するステップと、
第1の金属材料の外側表面上に、前記少なくとも1つの孔のうちの対応する孔を埋めるように構成された少なくとも1つのはんだボールを堆積させるステップと、
前記はんだボールが前記対応する孔を実質的に埋めるように、前記第1の金属材料を前記TPG要素に押圧するステップと、
前記第1の金属材料を加熱して、前記第1の金属材料を前記TPG要素にはんだ付けするステップとを含む、ヒートシンクを形成する方法。 - 少なくとも1つの孔を形成するステップが、前記TPG要素に複数の孔を形成するステップを含み、前記複数の孔が、円形、卵形、正方形、長方形、および三角形のうちの1つの形状で形成されることを特徴とする請求項20記載の方法。
- 少なくとも1つのはんだボールを堆積させるステップが、前記第1の金属材料の前記外側表面に複数のはんだボールを堆積させるステップを含むことを特徴とする請求項20記載の方法。
- 少なくとも1つのはんだボールが、アルミニウム、銅、インジウム、およびそれらの組合せからなる群から選択された前記第1の金属材料の前記外側表面上に堆積されることを特徴とする請求項20記載の方法。
- 前記少なくとも1つのはんだボールを前記第1の金属材料の前記外側表面に堆積させるステップが、アルミニウム、銅、インジウム、およびそれらの組合せからなる群から選択された前記少なくとも1つのはんだボールを、前記第1の金属材料の前記外側表面に堆積させるステップを含むことを特徴とする請求項20記載の方法。
- 前記金属ベースの被覆を前記TPG要素の外側表面に塗布するステップが、銅/ニッケル被覆材料を前記TPG要素の前記外側表面に塗布するステップを含むことを特徴とする請求項20記載の方法。
- 前記第1の金属材料の前記外側表面と前記TPG要素の外側表面との間に熱界面材料を塗布するステップをさらに含むことを特徴とする請求項20記載の方法。
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