JP2011508199A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. キャリアの結合面の結合位置と結合する標的粒子を検査するマイクロエレクトロニクスセンサデバイスであって：
   センサ信号を供するセンサユニットであって、前記センサ信号は当該センサユニットの感度領域内に標的粒子が存在することを示すセンサユニット；
   前記センサユニットの感度領域についての、前記結合面での結合した標的粒子の運動を選択的に誘起する作動ユニット；及び、
   前記作動ユニットによって誘起された前記の結合した標的粒子の回転を考慮するセンサ信号を評価する評価モジュール；
   を有するマイクロエレクトロニクスセンサデバイス。
2. キャリアの結合面の結合位置に結合する標的粒子を検査する方法であって：
   センサユニットによってセンサ信号を測定する手順であって、前記センサ信号は前記センサユニットの感度領域内に標的粒子が存在することを示す手順；
   前記センサユニットについての前記の結合した標的粒子の回転を作動ユニットによって選択的に誘起する手順；及び、
   前記標的粒子の誘起された回転を考慮しながら前記センサ信号を評価モジュールによって評価する手順；
   を有する方法。
3. 前記標的粒子が、前記感度領域内の前記センサユニットの各異なる感度の領域を通り抜けるように運動することを特徴とする、請求項1に記載のマイクロエレクトロニクスセンサデバイス又は請求項2に記載の方法。
4. 前記標的粒子が、磁場又は電場との相互作用によって運動することを特徴とする、請求項1に記載のマイクロエレクトロニクスセンサデバイス又は請求項2に記載の方法。
5. 前記の結合した標的粒子の誘起された運動が、好適には変調周波数によって周期的に変調されることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロエレクトロニクスセンサデバイス又は請求項2に記載の方法。
6. 前記の結合した標的粒子の誘起された運動が、非球形状を有するように設計された標的粒子の手段によって、前記標的粒子を貫通する軸の周りで変調されることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロエレクトロニクスセンサデバイス又は請求項2に記載の方法。
7. 前記センサ信号が、前記結合面での入射光ビームの減衰全内部反射から得られる光を有する出力光ビームから得られることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロエレクトロニクスセンサデバイス又は請求項2に記載の方法。
8. 前記入射光ビームが、好適には入力周波数で周期的に変調されることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロエレクトロニクスセンサデバイス又は請求項2に記載の方法。
9. 前記出力光ビームがカメラによって検出され、該カメラは、
   (a) 前記出力光ビームの変調周波数ωに位相ロックされるが、ωよりも小さい周波数；及び、
   (b) 前記出力光ビームの変調周期（T=2π/ω）よりも短い露光時間；
   の条件で露光される、
   請求項1に記載のマイクロエレクトロニクスセンサデバイス又は請求項2に記載の方法。
10. 前記センサ信号が、特に前記標的粒子の誘起された運動の変調、及び/又は入射光ビームの変調について復調されることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロエレクトロニクスセンサデバイス又は請求項2に記載の方法。
11. 前記標的粒子の誘起された運動の変調が、前記の復調されたセンサ信号において入射光ビームの変調に対する側帯域として現れることを特徴とする、請求項9に記載のマイクロエレクトロニクスセンサデバイス又は方法。
12. 前記センサ信号は、前記のセンサユニットの感度領域内での標的粒子の存在及び/又は量について、及び/又は前記標的粒子と前記結合表面との間の結合の結合特性について評価されることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロエレクトロニクスセンサデバイス又は請求項2に記載の方法。
13. 本発明はさらに、分子診断、生物学的な試料分析、又は化学的な試料分析についての請求項1及び3乃至12のいずれか1項に記載のマイクロエレクトロニクスセンサデバイスの利用。