JP2011254691A - 静電式エネルギー変換装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】静電式エネルギー変換装置のうち、誘電体402の表面の帯電領域403に対して対向電極406,407が誘電体表面に平行に運動する型のものは、帯電領域を繰り返し(図4では4個)ストライプ状に集積した構造を使用する事により出力電流を大きくすることが出来る。帯電領域403と対向電極406,407との間のギャップ長さgが決まっている場合、繰返し周期の長さLをギャップ長さを基準として余り短くすると静電ポテンシャルの起伏が対向電極のある面に伝わらず発電効率が悪くなる。一方で周期Lが長すぎると集積する効果が顕著でなくなる。従って誘電体の厚みに応じて適切な繰返し周期Lとギャップ長さgの比が存在する。この比を使用する事によりエネルギー変換効率を向上する。
【選択図】図4
Description
図1は、本発明の第1実施形態による静電式エネルギー変換装置の構造を示した断面図である。絶縁体101とその上にパタニングされた複数の帯状エレクトレット102が帯電要素を構成する。帯状エレクトレット102の相対運動方向即ちx軸方向の長さはL/2程度である。また絶縁体又は半導体の基板103の上前面に接地電極104が設けられ、さらにその上に絶縁膜105が設けられ、さらにその上に複数の帯状に形成された対向電極106が形成され、全体として電極基板を構成している。該電極基盤は固定されており、前記帯電要素はx軸方向に移動する機構に固定されており、従って前記電極基板に相対的に運動する。図1の中でギャップ距離gは例えば100ミクロンであり、周期Lはギャップ距離gの5.84倍である。上記の例では前記周期Lは584ミクロンである。
図4は、本発明の第2実施形態による静電式エネルギー変換装置の構造を示した断面図である。接地された導体又は半導体の基板である401の上にエレクトレット膜402が形成され、更に該エレクトレットには複数の帯状領域403に正の電荷がコロナ放電法によって注入されて帯状帯電領域を構成し、全体として帯電要素を構成する。該帯状帯電領域のx軸方向に沿った幅はL/2程度である。また、半導体の基板404の上面に絶縁膜405が形成され、その上面に対向電極406、407が設けられ、全体として電極基板を構成する。該対向電極406と407は対を構成し、従って前記帯状帯電領域のそれぞれに対して2個の対向電極が配置される。前記帯電要素は固定されており、前記電極基板はX軸方向に移動する機構に固定されており、従って前記帯電要素に相対的に前記x軸方向に沿って運動する。図4の中でギャップ距離gは例えば100ミクロンであり、周期Lはギャップ距離gの3.15倍である。即ち上記の例では前記周期Lは315ミクロンである。尚、本実施形態のバリエーションとして、隣り合った前記帯状帯電領域403の間の領域に負の電荷を注入することにより効率を向上させてもよい。また、これらの例においてそれぞれの電荷の符号を反転させてもよい。
図6は、本発明の第3実施形態による静電式エネルギー変換装置の構造を示した断面図である。電池などの電圧源601が基板602上に形成された帯電電極603に接続される。該帯電電極の表面が帯状帯電領域を構成する。または、別に用意されたエレクトレットが前記電圧源の代わりに前記帯電電極603を分極させてもよい。この場合は前記帯電電極は必ずしも金属に限るものではなく、例えば半導体や誘電体であってもよい。また帯電電極603とx軸方向に同じ長さを持つ帯電要素接地電極604が該帯電電極の間に配置され、電気的に接地されている。それぞれの帯電電極603と前記ギャップ距離gを隔てて電極基板が配置されている。該電極基板の構造は第2実施形態のそれと同様である。図6の中でギャップ距離gは例えば100ミクロンであり、周期Lはギャップ距離gの3.15倍であるので、実際上はこの数を円周率と記憶すると便利である。即ち上記の例では前記周期Lは315ミクロンである。尚、前記電圧源601から出入りする電流は大変小さいので対応する消費電力は無視できる。
図6の構成の有効性を実証するために機械エネルギーを電気エネルギーに変換する振動発電実験を行った。前記電圧源601として市販の電圧源を用いた。前記帯電要素の基板602および前記電極基板の基板605として1.4mm程度の厚さを持ったガラスエポキシを使用した。帯状帯電領域は薄い銅版603の表面に形成された。一方で、同じく薄い銅版である604は接地された。更に、同じく薄い銅版である対向電極606および607が前記基板605上に形成された。前記周期Lは10mmであり、帯状帯電領域のz軸方向の長さであるL2は50mmであった。一方で、対向電極のz軸方向の長さは45mmであった。前記要素エネルギー変換装置は合計4個集積された。帯電要素は機械的に固定された。一方で、前記電極基板は積層ピエゾ素子を用いた振動発生器に固定された。
図9は、本発明の第4実施形態による静電式エネルギー変換装置の構造を示した断面図である。前記帯電要素を構成するための基板901と前記電極基板の一部である基板906が機械的に相対運動する。この図の場合は前記電極基板が左右に動く。基板901には絶縁層902が形成される。前記帯電要素上には第2対向電極904と、それらの間に接地電極903とが形成されている。更に、該接地電極903の上には帯電したエレクトレット膜905が形成されている。ここで、エレクトレットは例えば前記第2対向電極904の上に形成されていても同じことである。一方で、前記電極基板906上には絶縁層907が設けられ、更にその上面に対向電極908と、それらの間に接地電極909とが形成されている。更に、該対向電極908の上には第2帯電要素である帯電したエレクトレット膜910が形成されている。
102 帯状エレクトレット
103 絶縁体または半導体の基板
104 接地電極
105 絶縁膜
106 対向電極
201 線電荷
202 線電荷
203 等静電ポテンシャル面
301 線電荷
401 導体又は半導体の基板
402 エレクトレット膜
403 帯状領域
404 半導体の基板
405 絶縁膜
406 対向電極
407 対向電極
501 線電荷
502 接地金属板
503 接地金属板
601 電圧源
602 基板
603 帯電電極
604 帯電要素接地電極
605 基板
606 対向電極
607 対向電極
608 等ポテンシャル面
701 帯電電極
702 接地金属
703 接地金属
704 接地金属
901 基板
902 絶縁層
903 接地電極
904 第2対向電極
905 エレクトレット膜
906 基板
907 絶縁層
908 対向電極
909 接地電極
910 エレクトレット膜
Claims (9)
- 表面が帯電した帯電要素と、
該帯電要素の表面からギャップ距離gで前記帯電要素の表面に平行に相対運動する電極基板とを備え、
前記帯電要素は前記相対運動の方向に前記長さgの1.5倍以上かつ13倍以下であるような周期Lで複数形成された帯状帯電領域を備え、
前記電極基板は基板と、
前記帯状帯電領域それぞれに対向した対向電極とを具備してなることを特徴とする静電式エネルギー変換装置。 - 前記相対運動の方向および前記帯電要素の表面の法線方向の、両方の方向と直角な方向の長さが前記周期Lの3倍より大きい前記帯状帯電領域を備えていることを特徴とする請求項1に記載の静電式エネルギー変換装置。
- 導体または半導体である基板と、
該基板に固定された要素上に形成された前記帯状帯電領域と、
からなる前記帯電要素を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の静電式エネルギー変換装置。 - 絶縁体または半導体である基板と、
該基板に固定された金属表面に形成された前記帯状帯電領域と、
からなる前記帯電要素を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の静電式エネルギー変換装置。 - 前記周期Lが前記長さgの6.5倍以下であるような前記帯電要素を備えていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の静電式エネルギー変換装置。
- エレクトレット上に形成された前記帯状帯電領域を備えていることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の静電式エネルギー変換装置。
- 前記帯状帯電領域それぞれについて、対向した2個の前記対向電極を備えていることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の静電式エネルギー変換装置。
- 前記相対運動の方向に沿った長さが前記周期Lの0.25倍以上かつ0.75倍以下であるような前記帯状帯電領域を備えていることを特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載の静電式エネルギー変換装置。
- 前記帯電要素上に形成された1つまたは複数の第2対向電極と、
前記電極基板上に形成され、電気的に帯電した1つまたは複数の第2帯電要素と、
を備えていることを特徴とする請求項1〜8の何れか一項に記載の静電式エネルギー変換装置。
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