JP2011249276A - 固体酸化物型燃料電池用電解質薄膜製造装置およびその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体酸化物型燃料電池用電解質薄膜製造装置は、クラスター生成空間11aを有している装置ボデイ11と、クラスター生成空間11a内の酸素分圧を一定に保持する酸素分圧制御手段と、クラスター生成空間11a内に2種類のターゲット材料31、32を保持する保持手段と、各ターゲット材料31、32上の照射面の大きさを一定としかつ一定の大きさのネルギー密度をもつレーザ光L1、L2を、各ターゲット材料31、32を蒸発させてクラスターC1、C2に生成するように各ターゲット材料31、32に照射するレーザ手段と、両ターゲット材料31、32の少なくともいずれか一方の照射面の大きさを変化させうるように同ターゲット材料31、32に照射されるレーザ光L1、L2を部分的に遮断するスリット手段63とを備えている。
【選択図】図1
Description
第1ターゲット材料31:母相粒子用安定化ジルコニア[立方晶ジルコニア(ZrO2-8mol%Y2O3、以下8Y)]
第2ターゲット材料32:分散粒子用部分安定化ジルコニア[正方晶ジルコニア(ZrO2-3mol%Y2O3、以下3Y)]
<環境条件>
クラスター生成空間11A内酸素ガス雰囲気圧力:5.0×10−3(Pa)
<第1レーザ>
Nd:YAG第2高調波(波長532nm):励起電圧710V、スリット遮断無
(レーザ出力100mW:集光レンズ前)
<第2レーザ>
Nd:YAG第2高調波(波長532nm):励起電圧690V、スリット幅1.5mm
(レーザ出力13mW:集光レンズ前)
<第1および第2レーザ:共通>
照射面:円形8mm(スリット遮断無)
パルス周期:f=10Hz(第1および第2レーザ、交互)
照射時間:160min
<電解質薄膜>
以上の条件のもとに、基板20×20mm上に堆積させた電解質薄膜は、以下の通りである。
母相粒子サイズ:50〜200nm
分散粒子サイズ:10〜50nm
成分比:母相粒子サイズ対分散粒子サイズ=100対15(体積比)
最後に、電解質薄膜を最適に作製するための条件を探索するための実験を様々に行ったので、その結果を説明する。
11A クラスター生成空間
31、32 ターゲット材料
L1、L2 レーザ光
C1、C2 クラスター
63 スリット手段
Claims (8)
- クラスター生成空間を有している装置ボデイと、クラスター生成空間内の酸素分圧を一定に保持する酸素分圧制御手段と、クラスター生成空間内に2種類のターゲット材料を保持する保持手段と、各ターゲット材料上の照射面の大きさを一定としかつ一定の大きさのエネルギー密度をもつレーザ光を、各ターゲット材料を蒸発させてクラスターに生成するように各ターゲット材料に照射するレーザ手段と、両ターゲット材料の少なくともいずれか一方の照射面の大きさを変化させうるように同ターゲット材料に照射されるレーザ光を部分的に遮断する遮断手段とを備えている固体酸化物型燃料電池用電解質薄膜製造装置。
- 酸素分圧制御手段によって保持される酸素分圧の大きさが可変である請求項1に記載の固体酸化物型燃料電池用電解質薄膜製造装置。
- レーザ光が、一定間隔で両ターゲット材料に交互に照射される請求項1または2に記載の固体酸化物型燃料電池用電解質薄膜製造装置。
- 各ターゲット材料上の照射面の大きさが可変である請求項1〜3のいずれか1つに記載の固体酸化物型燃料電池用電解質薄膜製造装置。
- レーザ光のもつエネルギー密度の大きさが可変である請求項1〜3のいずれか1つに記載の固体酸化物型燃料電池用電解質薄膜製造装置。
- 遮断手段が、対応するレーザ光の軸線上に配置されかつスリット間隙を大小に変化させうる可動スリット部材よりなる請求項1〜5のいずれか1つに記載の固体酸化物型燃料電池用電解質薄膜製造装置。
- 請求項1に記載の固体酸化物型燃料電池用電解質薄膜製造装置において、クラスター生成空間内の酸素分圧を変化させることにより、生成されるクラスターの粒子サイズを制御する固体酸化物型燃料電池用電解質薄膜製造方法。
- 請求項1に記載の固体酸化物型燃料電池用電解質薄膜製造装置において、レーザ照射面の大きさを制御することにより、2種類のターゲット材料から生成される電解質薄膜の2種類のクラスター粒子の成分比を制御する固体酸化物型燃料電池用電解質薄膜製造方法。
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