JP2011247750A

JP2011247750A - Testing device and connection part

Info

Publication number: JP2011247750A
Application number: JP2010121382A
Authority: JP
Inventors: Akimasa Yuzurihara; 章政譲原; Ryota Oshima; 良太大島; Shinichi Oguma; 真一小熊
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2010-05-27
Filing date: 2010-05-27
Publication date: 2011-12-08

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a testing device which appropriately performs power supply and feedback.SOLUTION: The testing device is connected to a DUT (Device Under Test) board which has a DUT mounted thereon and has a force input terminal connected to a terminal of the DUT, to test the DUT. The testing device includes: a power supply part having a force output terminal for outputting a voltage to be applied to the DUT and a sense input terminal for sensing a voltage applied to the DUT; and a connection part which connects the force input terminal to the force output terminal and, in the case that the DUT board feeds back the voltage applied to the terminal of the DUT, supplies the fed-back voltage to the sense terminal and, and in the case that the DUT board does not feed back the voltage applied to the terminal of the DUT, supplies a voltage between the force output terminal and the force input terminal to the sense input terminal.

Description

本発明は、試験装置および当該試験装置に用いられる接続部に関する。 The present invention relates to a test apparatus and a connection portion used in the test apparatus.

複数の被試験デバイス（ＤＵＴと呼ぶ場合もある）を並行して試験する試験装置が知られている（例えば特許文献１参照）。また、試験装置からフォース線を介して電源電圧をＤＵＴに供給し、フォース線から分岐したセンス線を介して電源電圧を試験装置にフィードバックする試験装置が知られている（例えば特許文献２参照）。
特許文献１国際公開第２００８／０２０５５５号パンフレット
特許文献２特開２００９−９８０３４号公報 There is known a test apparatus that tests a plurality of devices under test (sometimes referred to as DUTs) in parallel (see, for example, Patent Document 1). There is also known a test apparatus that supplies a power supply voltage from a test apparatus to a DUT via a force line and feeds back the power supply voltage to the test apparatus via a sense line branched from the force line (see, for example, Patent Document 2). .
Patent Literature 1 Pamphlet of International Publication No. 2008/020555 Patent Literature 2 JP 2009-98034 A

ところで、ユーザは、試験対象のＤＵＴに対応したボードを作成して試験を行うことがある。ユーザによっては、１つのＤＵＴボードに複数のＤＵＴを搭載することもありうる。したがって、各種のＤＵＴボードが搭載された場合においても電源供給及びフィードバックを適切に行う試験装置の提供が望まれる。 By the way, a user may create a board corresponding to a DUT to be tested and perform a test. Depending on the user, a plurality of DUTs may be mounted on one DUT board. Therefore, it is desired to provide a test apparatus that appropriately supplies power and feeds back even when various DUT boards are mounted.

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、ＤＵＴ（被試験デバイス）を搭載し、ＤＵＴの端子に接続されるフォース入力端子を有するＤＵＴボードに接続されて、ＤＵＴを試験する試験装置であって、ＤＵＴに印加する電圧を出力するフォース出力端子およびＤＵＴに印加された電圧をセンスするセンス入力端子を有する電源部と、フォース入力端子をフォース出力端子に接続すると共に、ＤＵＴボードがＤＵＴの端子に印加された電圧をフィードバックする場合にはフィードバックされた電圧をセンス入力端子へと供給し、ＤＵＴボードがＤＵＴの端子に印加された電圧をフィードバックしない場合にはフォース出力端子およびフォース入力端子の間の電圧をセンス入力端子へと供給する接続部と、を備える試験装置を提供する。 In order to solve the above-described problem, in the first aspect of the present invention, a DUT (device under test) is mounted and connected to a DUT board having a force input terminal connected to a terminal of the DUT to test the DUT. A power supply unit having a force output terminal for outputting a voltage applied to the DUT and a sense input terminal for sensing a voltage applied to the DUT, and connecting the force input terminal to the force output terminal, and a DUT When the board feeds back the voltage applied to the terminal of the DUT, the fed back voltage is supplied to the sense input terminal, and when the DUT board does not feed back the voltage applied to the terminal of the DUT, the force output terminal and A test device comprising: a connection for supplying a voltage between the force input terminals to the sense input terminal; Subjected to.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 It should be noted that the above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.

本発明の実施形態に係る試験装置１００の構成を複数のＤＵＴ９００とともに示す。The structure of the test apparatus 100 which concerns on embodiment of this invention is shown with several DUT900. 本発明の実施形態に係る試験ボード１５０の構成を示す。1 shows a configuration of a test board 150 according to an embodiment of the present invention. 本実施形態に係るデバイス接続部１４０の構成例をＤＵＴボード５００とともに示す。The structural example of the device connection part 140 which concerns on this embodiment is shown with the DUT board 500. FIG. 本実施形態に係るデバイス接続部１４０とＤＵＴボード５００の構造の一例を示す。An example of the structure of the device connection unit 140 and the DUT board 500 according to the present embodiment is shown. 本実施形態に係るケーブルユニット３７０および接続ボード３８０の一例を示す。An example of the cable unit 370 and the connection board 380 according to the present embodiment is shown. 本実施形態に係る接続ボードが、単一のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に接続される場合の接続例を示す。A connection example when the connection board according to the present embodiment is connected to a DUT board 500 on which a single DUT 900 can be mounted is shown. 本実施形態に係る接続ボード３８０が複数のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に接続され、いずれも不良品でない２個のＤＵＴ９００を試験する場合の接続例を示す。A connection example in the case where the connection board 380 according to the present embodiment is connected to a DUT board 500 on which a plurality of DUTs 900 can be mounted, and two DUTs 900 that are not defective products are tested. 本実施形態に係る接続ボード３８０が複数のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に接続され、２個のＤＵＴ９００を試験する場合においてそのうち１個が不良品である場合の接続例を示す。A connection example in which the connection board 380 according to the present embodiment is connected to a DUT board 500 on which a plurality of DUTs 900 can be mounted and one of the two DUTs 900 is a defective product when tested.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.

図１は、本実施形態に係る試験装置１００の構成を複数のＤＵＴ９００とともに示す。試験装置１００は、複数のＤＵＴ９００を並行して試験する。ＤＵＴ９００は、一例として、フラッシュメモリ等の不揮発性メモリである。 FIG. 1 shows a configuration of a test apparatus 100 according to this embodiment together with a plurality of DUTs 900. The test apparatus 100 tests a plurality of DUTs 900 in parallel. The DUT 900 is a non-volatile memory such as a flash memory as an example.

試験装置１００は、試験コントローラ１１０と、ネットワーク部１２０と、制御ボード１３０と、デバイス接続部１４０と、試験ボード１５０とを備える。試験コントローラ１１０は、制御ボード１３０および複数の試験ボード１５０に接続され、ＵＤＰ／ＩＰ（User Datagram Protocol/Internet Protocol）等の通信パケットを複数の試験ボード１５０および制御ボード１３０とやり取りして、複数の試験ボード１５０および制御ボード１３０を制御する。より具体的には、試験コントローラ１１０は、ワークステーション等の外部のコンピュータまたは記憶装置等から試験に用いる試験プログラムを取得して、もしくは、ユーザからの入力により試験プログラムを取得して、当該プログラムを実行することにより、制御ボード１３０および試験ボード１５０の動作を制御してよい。 The test apparatus 100 includes a test controller 110, a network unit 120, a control board 130, a device connection unit 140, and a test board 150. The test controller 110 is connected to the control board 130 and the plurality of test boards 150, and exchanges communication packets such as UDP / IP (User Datagram Protocol / Internet Protocol) with the plurality of test boards 150 and the control board 130. The test board 150 and the control board 130 are controlled. More specifically, the test controller 110 acquires a test program used for the test from an external computer such as a workstation or a storage device, or acquires a test program by an input from a user, and executes the program. By executing, the operations of the control board 130 and the test board 150 may be controlled.

試験コントローラ１１０は、試験プログラムにより指定される試験情報、試験シーケンス、および／または制御コマンド等を、ネットワーク部１２０を介して対応する制御ボード１３０または試験ボード１５０に送信してよい。また、試験コントローラ１１０は、一例として、複数の試験ボード１５０のそれぞれから試験結果を読み出す。これにより、試験コントローラ１１０は、複数のＤＵＴ９００のそれぞれの試験結果をユーザに表示したり、一の試験結果に応じて次の試験内容を変更したりすることができる。 The test controller 110 may transmit test information, a test sequence, and / or a control command specified by the test program to the corresponding control board 130 or test board 150 via the network unit 120. Moreover, the test controller 110 reads a test result from each of the plurality of test boards 150 as an example. Thereby, the test controller 110 can display each test result of the plurality of DUTs 900 to the user, or can change the next test content according to one test result.

ネットワーク部１２０は、試験コントローラ１１０と、制御ボード１３０と、複数の試験ボード１５０とを通信可能に接続する。ネットワーク部１２０は、汎用または専用のインターフェイスを介して試験コントローラ１１０と、制御ボード１３０と、複数の試験ボード１５０とを接続して、通信パケットをそれぞれ転送してよい。ネットワーク部１２０は、Ethernet（登録商標）、ＵＳＢ、Serial RapidIO等の汎用の高速シリアルインターフェースまたはパラレルインターフェースを用いてよい。 The network unit 120 connects the test controller 110, the control board 130, and the plurality of test boards 150 so that they can communicate with each other. The network unit 120 may transfer the communication packets by connecting the test controller 110, the control board 130, and the plurality of test boards 150 via a general-purpose or dedicated interface. The network unit 120 may use a general-purpose high-speed serial interface or parallel interface such as Ethernet (registered trademark), USB, or Serial RapidIO.

制御ボード１３０は、ＤＵＴ９００に対する電源供給の制御、および試験ボード１５０とＤＵＴ９００との間を接続／切断するスイッチのＯＮ／ＯＦＦ制御を実行する。制御ボード１３０は、試験の種類または項目、ＤＵＴ９００が不良品であることを示す情報等に応じて、試験ボード１５０とＤＵＴ９００との接続をデバイス接続部１４０に指示してよい。また、制御ボード１３０は、ＤＵＴ９００の種類および数、試験ボード１５０の種類および数等に応じて、複数の試験ボード１５０と複数のＤＵＴ９００との接続をデバイス接続部１４０に指示してよい。試験装置１００は、複数の制御ボード１３０を備えてもよい。複数の試験ボード１５０および制御ボード１３０は、一例として、当該試験装置１００の本体部であるテストヘッドの内部に収納される。 The control board 130 performs control of power supply to the DUT 900 and ON / OFF control of a switch for connecting / disconnecting between the test board 150 and the DUT 900. The control board 130 may instruct the device connection unit 140 to connect the test board 150 and the DUT 900 according to the type or item of the test, information indicating that the DUT 900 is defective, or the like. Further, the control board 130 may instruct the device connection unit 140 to connect the plurality of test boards 150 and the plurality of DUTs 900 according to the type and number of the DUTs 900, the type and number of the test boards 150, and the like. The test apparatus 100 may include a plurality of control boards 130. As an example, the plurality of test boards 150 and the control board 130 are accommodated in a test head which is a main body of the test apparatus 100.

デバイス接続部１４０は、制御ボード１３０、試験ボード１５０、およびＤＵＴ９００の間を通信可能に接続する。デバイス接続部１４０は、制御ボード１３０の指示に応じて、制御ボード１３０、試験ボード１５０、およびＤＵＴ９００の間の接続を、スイッチによってＯＮ／ＯＦＦする。 The device connection unit 140 connects the control board 130, the test board 150, and the DUT 900 so that they can communicate with each other. The device connection unit 140 turns the connection between the control board 130, the test board 150, and the DUT 900 on and off with a switch in accordance with an instruction from the control board 130.

試験ボード１５０は、試験コントローラ１１０の試験パターン、試験シーケンス、および／または制御コマンド等に基づき、ＤＵＴ９００を試験する。試験装置１００は、同時に試験するＤＵＴ９００の数に応じて同種の試験ボード１５０を複数搭載してよい。複数の試験ボード１５０のそれぞれは、１つのＤＵＴ９００または複数のＤＵＴ９００にそれぞれデバイス接続部１４０を介して接続されてよい。 The test board 150 tests the DUT 900 based on the test pattern, test sequence, and / or control command of the test controller 110. The test apparatus 100 may mount a plurality of test boards 150 of the same type according to the number of DUTs 900 to be tested simultaneously. Each of the plurality of test boards 150 may be connected to one DUT 900 or a plurality of DUTs 900 via the device connection unit 140, respectively.

また、それぞれの試験ボード１５０は、試験装置１００と着脱できてよい。複数の試験ボード１５０のそれぞれは、１または複数のＤＵＴ９００と接続される。複数の試験ボード１５０のそれぞれは、接続された１または複数のＤＵＴ９００との間で信号を授受して、これら１または複数のＤＵＴ９００を試験する。 Each test board 150 may be detachable from the test apparatus 100. Each of the plurality of test boards 150 is connected to one or more DUTs 900. Each of the plurality of test boards 150 exchanges signals with one or more connected DUTs 900 to test the one or more DUTs 900.

図２は、本実施形態に係る試験ボード１５０の構成例を示す。試験ボード１５０は、ファンクション試験部２００と、コントローラ２１０と、信号端子２２０と、電源部２４０と、フォース出力端子２６０と、センス入力端子２８０、１又は複数の複数の制御ドライバ２９０と、１又は複数の複数の制御出力端子２９５とを備える。コントローラ２１０は、試験コントローラ１１０および／または制御ボード１３０と通信し、試験パターン、試験シーケンス、および／または制御コマンド等に基づき試験ボード１５０内の各部を制御する。また、コントローラ２１０は、試験結果、および／または試験ボードのステータス等を試験コントローラ１１０および／または制御ボード１３０へ送信する。また、コントローラ２１０は、制御ドライバ２９０および制御出力端子２９５を介してデバイス接続部１４０に制御信号を与える。制御ドライバ２９０はスイッチを駆動するリレードライバであってよい。 FIG. 2 shows a configuration example of the test board 150 according to the present embodiment. The test board 150 includes a function test unit 200, a controller 210, a signal terminal 220, a power supply unit 240, a force output terminal 260, a sense input terminal 280, one or more control drivers 290, and one or more. A plurality of control output terminals 295. The controller 210 communicates with the test controller 110 and / or the control board 130 and controls each part in the test board 150 based on a test pattern, a test sequence, and / or a control command. In addition, the controller 210 transmits a test result and / or a status of the test board to the test controller 110 and / or the control board 130. In addition, the controller 210 provides a control signal to the device connection unit 140 via the control driver 290 and the control output terminal 295. The control driver 290 may be a relay driver that drives a switch.

ファンクション試験部２００は、試験コントローラ１１０から提供される試験パターンを、コントローラ２１０を解して受け取り、該試験パターンに基づく試験信号を、信号端子２２０を介してＤＵＴ９００に供給し、試験信号に応じたＤＵＴ９００の出力信号を、信号端子２２０を介して受け取る。ＤＵＴ９００の出力信号が試験パターン中で定義された期待値と一致するか否かに基づき、ＤＵＴ９００の良否を判定する。 The function test unit 200 receives the test pattern provided from the test controller 110 via the controller 210, supplies a test signal based on the test pattern to the DUT 900 via the signal terminal 220, and responds to the test signal. The output signal of DUT 900 is received via signal terminal 220. The quality of the DUT 900 is determined based on whether the output signal of the DUT 900 matches the expected value defined in the test pattern.

フォース出力端子２６０は、ＤＵＴ９００に印加する電圧を出力する。また、センス入力端子２８０は、ＤＵＴ９００に印加された電圧をセンスする。電源部２４０は、電圧源２４２とオペアンプ２４４を備える。電圧源２４２は、試験コントローラ１１０による設定に応じて、ＤＵＴ９００に供給すべき基準電圧をオペアンプ２４４に供給する。オペアンプ２４４が有する２つの入力端子は、それぞれ配線を介して電圧源２４２およびセンス入力端子２８０と接続される。また、オペアンプ２４４の出力端子は配線を介してフォース出力端子２６０と接続される。電圧源２４２から供給される基準電圧と、センス入力端子２８０を介してフィードバック入力されるセンス電圧とに応じて、ＤＵＴ９００に印加するデバイス電源電圧をフォース出力端子２６０から出力する。具体的には、オペアンプ２４４は、センス電圧を基準電圧に近付けるべく、センス電圧が基準電圧より低い場合には出力電圧を高め、センス電圧が基準電圧より高い場合には出力電圧を低下させる。なお、電源部２４０は、フォース線およびセンス線での電圧降下を考慮して基準電圧とセンス電圧とを比較してよい。ここで、電源部２４０は、センス電圧に応じて出力電圧をフィードバック制御する方式として、従来周知の各種の方法を適用しうる。 The force output terminal 260 outputs a voltage applied to the DUT 900. The sense input terminal 280 senses a voltage applied to the DUT 900. The power supply unit 240 includes a voltage source 242 and an operational amplifier 244. The voltage source 242 supplies a reference voltage to be supplied to the DUT 900 to the operational amplifier 244 according to the setting by the test controller 110. The two input terminals of the operational amplifier 244 are connected to the voltage source 242 and the sense input terminal 280 through wiring, respectively. The output terminal of the operational amplifier 244 is connected to the force output terminal 260 through a wiring. A device power supply voltage to be applied to the DUT 900 is output from the force output terminal 260 in accordance with the reference voltage supplied from the voltage source 242 and the sense voltage fed back via the sense input terminal 280. Specifically, the operational amplifier 244 increases the output voltage when the sense voltage is lower than the reference voltage, and decreases the output voltage when the sense voltage is higher than the reference voltage, in order to bring the sense voltage closer to the reference voltage. Note that the power supply unit 240 may compare the reference voltage and the sense voltage in consideration of voltage drops in the force line and the sense line. Here, the power supply unit 240 can apply various well-known methods as a method of feedback-controlling the output voltage according to the sense voltage.

図３は、本実施形態に係るデバイス接続部１４０の構成例を、ＤＵＴボード５００とともに示す。ＤＵＴボード５００は、少なくとも１つのＤＵＴ９００を搭載し、当該ＤＵＴ９００の端子に接続されるフォース入力端子５１０と、当該ＤＵＴ９００の端子９１０に印加される電圧を、デバイス接続部１４０を介して電源部２４０へとフィードバックするためのセンス出力端子５２０とを備える。例えば、ＤＵＴボード５００はＤＵＴ９００を搭載するためのソケットを備えてよい。また、ＤＵＴボード５００はＤＵＴ９００が供えるパッドと電気的接触を確保するためのプローブを備えてもよい。 FIG. 3 shows a configuration example of the device connection unit 140 according to the present embodiment together with the DUT board 500. The DUT board 500 is equipped with at least one DUT 900, and a voltage input terminal 510 connected to the terminal of the DUT 900 and a voltage applied to the terminal 910 of the DUT 900 are supplied to the power supply unit 240 via the device connection unit 140. And a sense output terminal 520 for feedback. For example, the DUT board 500 may include a socket for mounting the DUT 900. The DUT board 500 may include a probe for ensuring electrical contact with a pad provided by the DUT 900.

デバイス接続部１４０は、制御ボード１３０および試験ボード１５０からの電源および信号を集約し、ＤＵＴボード５００の対応する端子に接続する。デバイス接続部１４０は、バックボード３６０と、１又は複数のケーブルユニット３７０と、１又は複数の接続ボード３８０とを備える。バックボード３６０、ケーブルユニット３７０、および接続ボード３８０は、協働して、制御ボード１３０および試験ボード１５０とＤＵＴボード５００とを電気的に接続する。 The device connection unit 140 collects power and signals from the control board 130 and the test board 150 and connects them to corresponding terminals of the DUT board 500. The device connection unit 140 includes a back board 360, one or more cable units 370, and one or more connection boards 380. The back board 360, the cable unit 370, and the connection board 380 cooperate to electrically connect the control board 130, the test board 150, and the DUT board 500.

バックボード３６０は、制御ボード１３０及び試験ボード１５０が収容されるテストヘッド上に搭載され、一面において、制御ボード１３０および試験ボード１５０とコネクタ等を介して接続され、他の一面においてケーブルユニット３７０とコネクタ等を介して接続される。バックボード３６０は、制御ボード１３０および試験ボード１５０からの電源および信号をケーブルユニット３７０へと導き、各ケーブルユニット３７０に分配する。 The backboard 360 is mounted on a test head in which the control board 130 and the test board 150 are accommodated, and is connected to the control board 130 and the test board 150 via a connector or the like on one side, and to the cable unit 370 on the other side. Connected via a connector or the like. The backboard 360 guides the power and signals from the control board 130 and the test board 150 to the cable units 370 and distributes them to each cable unit 370.

ケーブルユニット３７０は、バックボード３６０と接続ボード３８０との間を電気的に接続する。ケーブルユニット３７０は、複数の同軸ケーブル等を有してよい。 The cable unit 370 electrically connects the back board 360 and the connection board 380. The cable unit 370 may include a plurality of coaxial cables and the like.

図４は、本実施形態に係るデバイス接続部１４０とＤＵＴボード５００の構造の一例を示す。バックボード３６０の一面にはコネクタが配置され、バックボード３６０は当該コネクタを介して制御ボード１３０および試験ボード１５０と接続される。バックボード３６０の他面にもコネクタが配置され、当該コネクタにはケーブルユニット３７０の一端に設けられたコネクタが接続される。ケーブルユニット３７０の他端は、接続ボード３８０に接続される。接続ボード３８０はコネクタを備え、当該コネクタにより、ＤＵＴボード５００と接続される。 FIG. 4 shows an example of the structure of the device connection unit 140 and the DUT board 500 according to this embodiment. A connector is disposed on one surface of the backboard 360, and the backboard 360 is connected to the control board 130 and the test board 150 via the connector. A connector is also arranged on the other surface of the backboard 360, and a connector provided at one end of the cable unit 370 is connected to the connector. The other end of the cable unit 370 is connected to the connection board 380. The connection board 380 includes a connector, and is connected to the DUT board 500 through the connector.

図５は、本実施形態に係るケーブルユニット３７０および接続ボード３８０の一例を示す。ケーブルユニット３７０は、システム電源ケーブル３７２、試験信号および／またはＤＵＴ９００の出力信号を伝送する信号ケーブル３７４、フォース出力端子２６０に接続されるフォース線ケーブル３７６、センス入力端子２８０に接続されるセンス線ケーブル３７８、試験ボード１５０の制御出力端子２９５からの制御信号を伝送する制御ケーブル３７９等を含む。 FIG. 5 shows an example of the cable unit 370 and the connection board 380 according to this embodiment. The cable unit 370 includes a system power cable 372, a signal cable 374 for transmitting a test signal and / or an output signal of the DUT 900, a force line cable 376 connected to the force output terminal 260, and a sense line cable connected to the sense input terminal 280. 378, a control cable 379 for transmitting a control signal from the control output terminal 295 of the test board 150, and the like.

接続ボードは、フォース配線３８２と、センス配線３８４と、複数のスイッチ３８６と、制御配線３８７と、接続素子３８８とを備える。接続ボード３８０は、接続部の一例であり、フォース入力端子５１０をフォース出力端子２６０に接続する。接続ボード３８０は、接続ボード３８０がＤＵＴ９００の端子に印加された電圧をフィードバックする場合にはフィードバックされた電圧をセンス入力端子２８０へと供給する。また、接続ボード３８０は、ＤＵＴボード５００がＤＵＴ９００の端子に印加された電圧をフィードバックしない場合にはフォース出力端子２６０およびフォース入力端子５１０の間の電圧をセンス入力端子２８０へと供給する。 The connection board includes a force wiring 382, a sense wiring 384, a plurality of switches 386, a control wiring 387, and a connection element 388. The connection board 380 is an example of a connection unit, and connects the force input terminal 510 to the force output terminal 260. The connection board 380 supplies the fed back voltage to the sense input terminal 280 when the connection board 380 feeds back the voltage applied to the terminal of the DUT 900. The connection board 380 supplies the voltage between the force output terminal 260 and the force input terminal 510 to the sense input terminal 280 when the DUT board 500 does not feed back the voltage applied to the terminal of the DUT 900.

接続ボード３８０は、一端がフォース線ケーブル３７６に接続され、他端がフォース入力端子５１０に接続されるフォース配線３８２と、一端がセンス線ケーブル３７８に接続され、他端がセンス出力端子５２０に接続されるセンス配線３８４とを備える。フォース線ケーブル３７６とフォース配線３８２は、フォース入力端子５１０をフォース出力端子２６０に接続するフォース線を構成する。また、センス線ケーブル３７８とセンス配線３８４は、フィードバックされる電圧をセンス入力端子２８０へと供給するセンス線を構成する。 The connection board 380 has one end connected to the force line cable 376, the other end connected to the force input terminal 510, one end connected to the sense line cable 378, and the other end connected to the sense output terminal 520. Sense wiring 384. The force line cable 376 and the force wiring 382 constitute a force line that connects the force input terminal 510 to the force output terminal 260. In addition, the sense line cable 378 and the sense wiring 384 constitute a sense line that supplies a feedback voltage to the sense input terminal 280.

接続ボード３８０は、フォース出力端子２６０に接続されるフォース線を分岐して、ＤＵＴボード上の複数のＤＵＴ９００に対応する複数のフォース入力端子５１０のそれぞれに接続してよい。この場合、フォース配線３８２は、一端と他端の間に、分岐を有し、単一の電源部２４０からの電圧を複数のＤＵＴ９００に供給できるように構成されてよい。このような構成により、一つの接続ボード３８０から複数のＤＵＴ９００に電圧を供給することができる。図５に示された例では、単一のＤＵＴ９００を試験するため、ＤＵＴ９００には単一のフォース入力端子５１０が設けられ、分岐後のフォース配線のうちの一つが当該フォース入力端子に接続される。 The connection board 380 may branch a force line connected to the force output terminal 260 and connect it to each of the plurality of force input terminals 510 corresponding to the plurality of DUTs 900 on the DUT board. In this case, the force wiring 382 may have a branch between one end and the other end so that a voltage from a single power supply unit 240 can be supplied to a plurality of DUTs 900. With such a configuration, a voltage can be supplied from one connection board 380 to a plurality of DUTs 900. In the example shown in FIG. 5, in order to test a single DUT 900, the DUT 900 is provided with a single force input terminal 510, and one of the branched force wirings is connected to the force input terminal. .

複数のスイッチ３８６は、フォース出力端子２６０と複数のフォース入力端子５１０のそれぞれとの間を個別に接続または切断する。例えば、フォース配線３８２は、分岐されたフォース配線３８２のそれぞれにおいて、当該分岐とＤＵＴボード５００側の端部との間に、試験ボード１５０とＤＵＴ９００との間の接続をＯＮ／ＯＦＦするスイッチ３８６を備えてよい。ＤＵＴボード５００がスイッチを備える必要が無く、ＤＵＴの品種、試験項目等毎にユーザが準備をする必要があるＤＵＴボード５００の部品点数を抑制し構造を簡素化できる。 The plurality of switches 386 individually connect or disconnect between the force output terminal 260 and each of the plurality of force input terminals 510. For example, the force wiring 382 includes a switch 386 for turning on / off the connection between the test board 150 and the DUT 900 between the branch and the end on the DUT board 500 side in each of the branched force wirings 382. You may be prepared. There is no need for the DUT board 500 to include a switch, and the number of parts of the DUT board 500 that the user needs to prepare for each type of DUT, test items, etc. can be suppressed, and the structure can be simplified.

試験装置１００は、複数のＤＵＴ９００のうち試験により不良が検出されたＤＵＴ９００に接続されるフォース入力端子５１０とフォース出力端子２６０との間のスイッチ３８６を切断する制御部を備えてよい。例えば、試験ボード１５０上に設けられたコントローラ２１０が制御部として機能してもよく、これに代えて、試験コントローラ１１０が制御部として機能してもよい。また、制御ボード１３０が制御部として機能してもよい。例えば、コントローラ２１０が、制御ドライバ２９０に、スイッチ３８６のＯＮ／ＯＦＦを制御するスイッチ制御信号を、制御出力端子２９５および制御ケーブル３７９を介して接続ボード３８０に供給させてよい。スイッチ制御信号は接続ボード３８０に設けられた制御配線３８７を通じてスイッチ３８６に与えられ、スイッチ３８６のＯＮ／ＯＦＦが制御される。このような構成により、試験の種類または項目、ＤＵＴ９００が不良品であることを示す情報等に基づき、各スイッチ３８６を適宜接続または切断することができる。 The test apparatus 100 may include a control unit that disconnects the switch 386 between the force input terminal 510 and the force output terminal 260 that are connected to the DUT 900 in which a failure is detected by the test among the plurality of DUTs 900. For example, the controller 210 provided on the test board 150 may function as a control unit, or instead, the test controller 110 may function as a control unit. Further, the control board 130 may function as a control unit. For example, the controller 210 may cause the control driver 290 to supply a switch control signal for controlling ON / OFF of the switch 386 to the connection board 380 via the control output terminal 295 and the control cable 379. The switch control signal is given to the switch 386 through the control wiring 387 provided on the connection board 380, and ON / OFF of the switch 386 is controlled. With such a configuration, each switch 386 can be appropriately connected or disconnected based on the type or item of the test, information indicating that the DUT 900 is defective, or the like.

接続素子３８８は、フォース出力端子２６０およびフォース入力端子５１０の間を接続するフォース線と、ＤＵＴ９００の端子に印加された電圧をセンス入力端子２８０へとフィードバックするセンス線との間に接続される。接続素子３８８は、抵抗又はダイオードであってよい。ＤＵＴボード５００がＤＵＴ９００の端子に印加された電圧をフィードバックしない場合には、接続素子３８８を介してフォース出力端子２６０およびフォース入力端子５１０の間の電圧がセンス入力端子２８０へと供給される。接続素子３８８が抵抗である場合、抵抗値は当該抵抗における電圧降下が測定に大きな影響を与えないように、低い抵抗値に定められることが好ましい。抵抗又はダイオードで構成される接続素子３８８がフォース線とセンス線の間に接続されることにより、ＤＵＴボード５００がＤＵＴ９００の端子に印加された電圧をフィードバックするか否かに応じて、ＤＵＴ９００の端子又はフォース線における電圧を、特段の設定を要することなくフィードバックすることができる。 The connection element 388 is connected between a force line connecting the force output terminal 260 and the force input terminal 510 and a sense line that feeds back a voltage applied to the terminal of the DUT 900 to the sense input terminal 280. The connecting element 388 may be a resistor or a diode. When the DUT board 500 does not feed back the voltage applied to the terminal of the DUT 900, the voltage between the force output terminal 260 and the force input terminal 510 is supplied to the sense input terminal 280 via the connection element 388. When the connection element 388 is a resistor, the resistance value is preferably set to a low resistance value so that a voltage drop in the resistor does not greatly affect the measurement. A connection element 388 formed of a resistor or a diode is connected between the force line and the sense line, so that the terminal of the DUT 900 depends on whether the DUT board 500 feeds back the voltage applied to the terminal of the DUT 900 or not. Alternatively, the voltage on the force line can be fed back without requiring any special setting.

接続ボード３８０は、ＤＵＴボード５００および電源部２４０の間において、ＤＵＴボード５００寄りに設けられる。例えば接続ボード３８０はコネクタを備え、ＤＵＴボード５００が備える対応するコネクタに嵌合し、電源部２４０との間はケーブルユニット３７０を介して接続してもよい。このような構成により、フォース配線３８２からＤＵＴ９００までの配線長が抑制できるので、ＤＵＴ９００の端子に印加された電圧をフィードバックしない場合でも、電圧をセンスしている箇所からＤＵＴ９００までの間の配線における電圧降下を抑制できる。 The connection board 380 is provided near the DUT board 500 between the DUT board 500 and the power supply unit 240. For example, the connection board 380 may include a connector, may be fitted into a corresponding connector included in the DUT board 500, and may be connected to the power supply unit 240 via the cable unit 370. With such a configuration, the wiring length from the force wiring 382 to the DUT 900 can be suppressed. Therefore, even when the voltage applied to the terminal of the DUT 900 is not fed back, the voltage in the wiring between the voltage sensing point and the DUT 900 The descent can be suppressed.

図６は、本実施形態に係る接続ボード３８０が、単一のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に接続される場合の接続例を示す。接続ボード３８０において、フォース配線３８２のＤＵＴボード５００側の端部のうちの１つが、ＤＵＴボード５００のフォース入力端子５１０に接続される。フォース入力端子５１０と接続されないフォース配線に対応するスイッチ３８６は開放状態とされてよい。ＤＵＴボード５００において、フォース入力端子５１０が配線を介してＤＵＴ９００の端子９１０と接続される。端子９１０は、センス出力端子５２０へとつながる配線にも接続される。ＤＵＴ９００の端子９１０に印加される電圧は、センス出力端子５２０からデバイス接続部１４０を介して電源部２４０へとフィードバックされる。フォース入力端子５１０から端子９１０への配線と、端子９１０からセンス出力端子５２０への配線は、端子９１０の直近で分岐していることが好ましい。なお、ＤＵＴボード５００が、フォース配線３８２のＤＵＴボード５００側の端部のうちの複数個又は全てに対応するフォース入力端子を備えてもよい。この場合、複数のフォース入力端子の一部のみを端子９１０に配線してもよいし、複数のフォース入力端子の全てを端子９１０に配線してもよいこのような構成により、単一のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に搭載されたＤＵＴ９００に対して、ＤＵＴ９００の直近での電圧を電源部２４０にフィードバックし、ＤＵＴ９００の端子９１０における電圧を高精度に設定できる。 FIG. 6 shows a connection example when the connection board 380 according to the present embodiment is connected to a DUT board 500 on which a single DUT 900 can be mounted. In the connection board 380, one of the end portions of the force wiring 382 on the DUT board 500 side is connected to the force input terminal 510 of the DUT board 500. The switch 386 corresponding to the force wiring not connected to the force input terminal 510 may be opened. In the DUT board 500, the force input terminal 510 is connected to the terminal 910 of the DUT 900 via a wiring. The terminal 910 is also connected to a wiring connected to the sense output terminal 520. The voltage applied to the terminal 910 of the DUT 900 is fed back from the sense output terminal 520 to the power supply unit 240 via the device connection unit 140. The wiring from the force input terminal 510 to the terminal 910 and the wiring from the terminal 910 to the sense output terminal 520 are preferably branched in the immediate vicinity of the terminal 910. Note that the DUT board 500 may include force input terminals corresponding to a plurality or all of the end portions of the force wiring 382 on the DUT board 500 side. In this case, only a part of the plurality of force input terminals may be wired to the terminal 910, or all of the plurality of force input terminals may be wired to the terminal 910. With such a configuration, a single DUT 900 is formed. With respect to the DUT 900 mounted on the mountable DUT board 500, the voltage immediately before the DUT 900 can be fed back to the power supply unit 240, and the voltage at the terminal 910 of the DUT 900 can be set with high accuracy.

図７は、本実施形態に係る接続ボード３８０が複数のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に接続され、いずれも不良品でない２個のＤＵＴ９００を試験する場合の接続例を示す。ＤＵＴボード５００が、複数のＤＵＴ９００を搭載する場合、ＤＵＴボード５００は、センス出力端子５２０からセンス入力端子２８０へと接続されるセンス線におけるセンス出力端子５２０側の端部を開放端とする。この接続状態においては、ＤＵＴボード５００内部での電圧は接続ボード３８０のセンス配線３８４に与えられず、接続素子３８８を介してフォース配線３８２における電圧がセンス入力端子２８０へと供給される。このような構成により、一つの接続ボード３８０から複数のＤＵＴ９００に電圧を供給する場合でも、フォース線ケーブル３７６およびセンス線ケーブル３７８は接続ボード毎にそれぞれ１本あれば十分なので、ケーブルユニット３７０が含むケーブルの数を抑制できる。 FIG. 7 shows a connection example when the connection board 380 according to the present embodiment is connected to a DUT board 500 on which a plurality of DUTs 900 can be mounted, and two DUTs 900 that are not defective are tested. When the DUT board 500 includes a plurality of DUTs 900, the DUT board 500 has an open end on the sense output terminal 520 side of the sense line connected from the sense output terminal 520 to the sense input terminal 280. In this connection state, the voltage inside the DUT board 500 is not applied to the sense wiring 384 of the connection board 380, and the voltage in the force wiring 382 is supplied to the sense input terminal 280 via the connection element 388. With such a configuration, even when a voltage is supplied from a single connection board 380 to a plurality of DUTs 900, the cable unit 370 includes only one force line cable 376 and one sense line cable 378 for each connection board. The number of cables can be reduced.

図８は、本実施形態に係る接続ボード３８０が複数のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に接続され、２個のＤＵＴ９００を試験する場合においてそのうち１個が不良品である場合の接続例を示す。当該ＤＵＴ９００の不良モードによっては、不良品のＤＵＴ９００にデバイス電源電圧を供給した場合に他のＤＵＴ９００の試験に悪影響を及ぼす可能性がある。このため、制御ボード１３０の制御に基づき、当該不良品のＤＵＴ９００に対応するフォース配線３８２に設けられたスイッチ３８６を切断し、不良品のＤＵＴ９００にデバイス電源電圧を供給しない状態で、他のＤＵＴ９００を試験する。このような構成及び制御により、不良品のＤＵＴ９００が他のＤＵＴの試験に影響を及ぼすことを防ぐことができる。 FIG. 8 shows a connection example when the connection board 380 according to the present embodiment is connected to a DUT board 500 on which a plurality of DUTs 900 can be mounted, and one of the two DUTs 900 is a defective product. . Depending on the failure mode of the DUT 900, when a device power supply voltage is supplied to a defective DUT 900, there is a possibility of adversely affecting tests of other DUTs 900. For this reason, based on the control of the control board 130, the switch 386 provided in the force wiring 382 corresponding to the defective DUT 900 is disconnected, and the other DUT 900 is connected to the defective DUT 900 without supplying the device power supply voltage. test. Such a configuration and control can prevent the defective DUT 900 from affecting other DUT tests.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。 As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。 The order of execution of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before” or “prior to”. It should be noted that the output can be realized in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.

１００試験装置、１１０試験コントローラ、１２０ネットワーク部、１３０制御ボード、１４０デバイス接続部、１５０試験ボード、２００ファンクション試験部、２１０コントローラ、２２０信号端子、２４０電源部、２６０フォース出力端子、２８０センス入力端子、２９０制御ドライバ、２９５制御出力端子、３６０バックボード、３７０ケーブルユニット、３７２システム電源ケーブル、３７４信号ケーブル、３７６フォース線ケーブル、３７８センス線ケーブル、３７９制御ケーブル、３８０接続ボード、３８２フォース配線、３８４センス配線、３８６スイッチ、３８７制御配線、３８８接続素子、５００ＤＵＴボード、５１０フォース入力端子、５２０センス出力端子、９００ＤＵＴ 100 test equipment, 110 test controller, 120 network section, 130 control board, 140 device connection section, 150 test board, 200 function test section, 210 controller, 220 signal terminal, 240 power supply section, 260 force output terminal, 280 sense input terminal 290 Control driver, 295 Control output terminal, 360 Back board, 370 Cable unit, 372 System power cable, 374 Signal cable, 376 Force line cable, 378 Sense line cable, 379 Control cable, 380 Connection board, 382 Force wiring, 384 Sense wiring, 386 switch, 387 control wiring, 388 connecting element, 500 DUT board, 510 force input terminal, 520 sense output terminal, 900 D T

Claims

A test apparatus equipped with a DUT (device under test), connected to a DUT board having a force input terminal connected to a terminal of the DUT, and testing the DUT,
A power supply unit having a force output terminal for outputting a voltage applied to the DUT and a sense input terminal for sensing a voltage applied to the DUT;
The force input terminal is connected to the force output terminal, and when the DUT board feeds back the voltage applied to the terminal of the DUT, the fed back voltage is supplied to the sense input terminal, and the DUT board Connecting a voltage between the force output terminal and the force input terminal to the sense input terminal when the voltage applied to the terminal of the DUT is not fed back,
A test apparatus comprising:

The connection portion is connected between a force line that connects between the force output terminal and the force input terminal, and a sense line that feeds back a voltage applied to the terminal of the DUT to the sense input terminal. A resistor or a diode, and when the DUT board does not feed back the voltage applied to the terminal of the DUT, the voltage between the force output terminal and the force input terminal is input to the sense input via the resistor or the diode. The test apparatus according to claim 1, wherein the test apparatus is supplied to a terminal.

The said connection part branches the force line connected to the said force output terminal, It connects to each of the said several force input terminal corresponding to the said several DUT on the said DUT board. Testing equipment.

The test apparatus according to claim 3, wherein the connection unit includes a plurality of switches that individually connect or disconnect between the force output terminal and each of the plurality of force input terminals.

The test apparatus according to claim 4, further comprising a control unit that disconnects a switch between the force input terminal and the force output terminal connected to the DUT in which a defect is detected by testing among the plurality of DUTs.

The test apparatus according to claim 1, wherein the connection unit is provided near the DUT board between the DUT board and the power supply unit.

The first DUT including the one DUT, the force input terminal connected to the terminal of the DUT, and a sense output terminal that feeds back a voltage applied to the terminal of the DUT to the connection unit. The test apparatus according to claim 1, further comprising a board.

A plurality of the force input terminals mounted with the plurality of DUTs and connected to the respective terminals of the plurality of DUTs, and a sense output terminal connected to the sense input terminal via the connection unit 8. The second DUT board according to claim 1, further comprising a second DUT board having an open end at an end on the sense output terminal side of a sense line connected from the sense output terminal to the sense input terminal. Testing equipment.

The connection part used for the test apparatus in any one of Claim 1 to 8.