JP2011247680A - X-ray inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、Ｘ線検査装置に関し、特に、物品を上面に載置して搬送する回転テーブルを備えたＸ線検査装置に関する。 The present invention relates to an X-ray inspection apparatus, and more particularly to an X-ray inspection apparatus provided with a rotary table for placing and transporting an article on an upper surface.
従来、回転テーブルを備えた検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載の透視検査装置は、複数の区画に分割された回転テーブルと、この回転テーブルを所定角度ずつ間欠回転させる回転駆動装置とを備えている。
Conventionally, an inspection apparatus including a rotary table is known (see, for example, Patent Document 1). The fluoroscopic inspection apparatus described in
上記特許文献１の透視検査装置では、回転テーブルに載置される物品の重量により回転テーブルが歪んでしまうおそれがある。このため、回転テーブルの歪みに起因して当該回転テーブルに載置された物品位置がずれて、物品のＸ線検査を安定実施することができないという問題がある。また、回転テーブルの歪みを防止しようとすると、当該回転テーブルの厚みが大きくなり、Ｘ線の透過が阻害されるという問題が生じる。
In the fluoroscopic inspection apparatus of
そこで、本発明の目的は、物品のＸ線検査を安定実施することが可能なＸ線検査装置を提供することである。 Therefore, an object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus capable of stably performing an X-ray inspection of an article.
一局面に係るＸ線検査装置は、搬送ラインから物品を受け取る受取部と、受取部から受け取った物品を上面の外周端近傍に載置して搬送する回転テーブルと、回転テーブル上の物品に回転テーブルの回転軸方向からＸ線を照射するＸ線源と、回転テーブルの外周側に配置され、Ｘ線源からのＸ線を検知するＸ線検知手段と、Ｘ線検知手段からの検知信号に基づきＸ線透過画像を作成して物品の検査を行う検査部と、を有するＸ線検査装置であって、回転テーブルの外周端近傍かつＸ線検知手段の上流側および下流側のそれぞれに支持部を設けたものである。 An X-ray inspection apparatus according to an aspect includes a receiving unit that receives an article from a conveyance line, a rotary table that carries the article received from the receiving unit in the vicinity of the outer peripheral edge of the upper surface, and rotates to the article on the rotary table. An X-ray source that emits X-rays from the rotation axis direction of the table, an X-ray detection unit that is arranged on the outer peripheral side of the rotary table and detects X-rays from the X-ray source, and a detection signal from the X-ray detection unit An X-ray inspection apparatus that generates an X-ray transmission image based on the X-ray transmission image and inspects the article. Is provided.
この場合、回転テーブルの外周端近傍かつＸ線検知手段の上流側および下流側のそれぞれに支持部が設けられているので、物品の重量による回転テーブルの歪みを防止することができる。その結果、回転テーブル上に載置させた物品の位置がずれるのを防止することができる。その結果、確実に物品のＸ線検査を安定実施することができる。 In this case, since the support portions are provided in the vicinity of the outer peripheral end of the rotary table and on the upstream side and the downstream side of the X-ray detection means, the distortion of the rotary table due to the weight of the article can be prevented. As a result, it is possible to prevent the position of the article placed on the rotary table from shifting. As a result, the X-ray inspection of the article can be reliably performed.
Ｘ線検査装置において、支持部は、回転テーブルの下面を支持することが好ましい。 In the X-ray inspection apparatus, the support part preferably supports the lower surface of the rotary table.
この場合、支持部は、回転テーブルの下面を支持するので、物品の重みによる回転テーブルの歪みを防止することができる。すなわち、回転テーブルの外周端近傍に物品を載置させることにより、回転テーブルの外周端近傍において下方向に大きなモーメント力が発生しても、支持部により回転テーブルの歪みを防止することができる。 In this case, since the support portion supports the lower surface of the turntable, it is possible to prevent the turntable from being distorted due to the weight of the article. That is, by placing the article in the vicinity of the outer peripheral end of the rotary table, even if a large moment force is generated in the downward direction in the vicinity of the outer peripheral end of the rotary table, the support table can prevent the distortion of the rotary table.
Ｘ線検査装置において、支持部は、回転テーブルの少なくとも上面および下面を挟持することが好ましい。 In the X-ray inspection apparatus, it is preferable that the support portion sandwich at least the upper surface and the lower surface of the rotary table.
この場合、回転テーブルの上面および下面を挟持するので、回転テーブルの振動を防止することができる。すなわち、回転テーブルの上面および下面を挟持することにより、回転テーブルの上振れおよび下振れを防止することができる。 In this case, since the upper and lower surfaces of the rotary table are sandwiched, vibration of the rotary table can be prevented. That is, the upper and lower swings of the rotary table can be prevented by sandwiching the upper and lower surfaces of the rotary table.
Ｘ線検査装置において、支持部は、回転ローラからなることが好ましい。 In the X-ray inspection apparatus, it is preferable that the support portion is composed of a rotating roller.
この場合、支持部は、回転ローラからなるので、回転テーブルを支持しつつ、回転テーブルの回転を阻害することなく、円滑に回転テーブルを回転させることができる。 In this case, since the support portion is composed of a rotating roller, the rotating table can be smoothly rotated while the rotating table is supported without obstructing the rotation of the rotating table.
Ｘ線検査装置において、回転テーブルは、カーボンからなることが好ましい。 In the X-ray inspection apparatus, the rotary table is preferably made of carbon.
回転テーブルの材質を金属からなることとすると、金属は、Ｘ線を透過させることができず、Ｘ線検査装置に用いることができない。また、回転テーブルの材質を樹脂からなることとすると、回転テーブルの厚みが大きくなりＸ線の画像処理においてノイズが増加する。また、樹脂の種類によっては、Ｘ線による劣化が想定される。一方、本発明に係るカーボンを使用する場合、剛性が強く、Ｘ線を透過させることができ、Ｘ線による劣化が生じ難くなる。
また、回転テーブルがカーボンからなる場合、回転テーブルを支持することにより、回転テーブルの平面度を出すことができる。すなわち、カーボンからなる回転テーブルは、カーボンの多層体からなるので、平面度を出すことが難しいが、支持部により、Ｘ線検査部における平面度を担保することができる。
さらに、回転テーブルの上面および下面を挟持することにより、回転テーブルの平面度を確実に出すことができる。すなわち、Ｘ線検査部の上流側および下流側において、回転テーブルの上面および下面を挟持することにより、多層体からなる場合であっても、回転テーブルの平面度を確実に担保することができる。
If the material of the turntable is made of metal, the metal cannot transmit X-rays and cannot be used for an X-ray inspection apparatus. Further, if the material of the turntable is made of resin, the thickness of the turntable increases and noise increases in X-ray image processing. Further, depending on the type of resin, deterioration due to X-rays is assumed. On the other hand, when the carbon according to the present invention is used, the rigidity is strong, X-rays can be transmitted, and deterioration due to X-rays hardly occurs.
When the turntable is made of carbon, the flatness of the turntable can be obtained by supporting the turntable. That is, since the turntable made of carbon is made of a carbon multilayer, it is difficult to obtain flatness, but the flatness in the X-ray inspection part can be ensured by the support part.
Furthermore, the flatness of the rotary table can be reliably obtained by sandwiching the upper and lower surfaces of the rotary table. That is, by holding the upper and lower surfaces of the turntable on the upstream side and the downstream side of the X-ray inspection unit, the flatness of the turntable can be reliably ensured even in the case of a multilayer body.
この発明によるＸ線検査装置では、確実に物品のＸ線検査を安定実施することができる。 In the X-ray inspection apparatus according to the present invention, the X-ray inspection of articles can be reliably performed.
以下、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、図１に示すように、既設のベルトコンベア９００に取り付けられ、該ベルトコンベア９００によって搬送される物品Ｂ中に含まれる異物の検査、物品Ｂが複数の個体から構成される場合の該個体数の検査（欠品検査）、および物品Ｂの割れおよび欠けの検査等を行う。図２に示すように、Ｘ線検査装置１００は、主として、受取部６００、Ｘ線検査部７００、受渡部８００、およびＸ線漏洩防止カバー９１０からなる。
As shown in FIG. 1, the
図２および図３に示すように、受取部６００は、受取テーブル６１１、回転軸６１２、第１モータ６１３、案内ガイド板６１４を有している。Ｘ線検査部７００は、Ｘ線源２００、表示部３００（図１参照）、ラインセンサ４００、制御部５００、検査テーブル７１１、回転軸７１２、第２モータ７１３、支持部７２０〜７７０、および不良品ボックス７８０（図１および図２参照）を有している。受渡部８００は、受渡テーブル８１１、回転軸８１２、第３モータ８１３、案内ガイド板８１４を有している。なお、図３における括弧書きの符号は、受取部６００と同様の構成からなる受渡部８００の関係を示すために記載している。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
（受取部）
図２および図３に示すように、受取部６００は、ベルトコンベア９００から物品Ｂを受け取るために設けられる。垂直に設けられた回転軸６１２の一端側に第１モータ６１３が取り付けられ、回転軸６１２の他端側に水平面を有する受取テーブル６１１が取り付けられる。本実施形態に係る受取テーブル６１１は、天板が円板形状からなる。また、受取テーブル６１１上には、ベルトコンベア９００上の物品を該受取テーブル６１１から検査テーブル７１１に案内する案内ガイド板６１４が設けられる。
(Receiver)
As shown in FIGS. 2 and 3, the
（Ｘ線検査部）
図２および図３に示すように、Ｘ線検査部７００は、受取部６００から受け取った物品ＢにＸ線を照射することにより、該物品ＢのＸ線検査を行うものである。垂直に設けられた回転軸７１２の一端側に第２モータ７１３が取り付けられ、回転軸７１２の他端側に水平面を有する検査テーブル７１１が取り付けられる。この検査テーブル７１１は、受取部６００から受け取った物品Ｂを上面の外周端近傍に載置して検査テーブル７１１の回転方向（−Ｒ１方向）に沿って搬送する。本実施形態に係る検査テーブル７１１は、カーボン材質からなる板材であって、天板が円板形状からなる。この検査テーブル７１１は、例えば、３ｍｍ〜５ｍｍの厚みを有する。
(X-ray inspection department)
As shown in FIGS. 2 and 3, the
（支持部）
図２および図３に示すように、本実施形態では、検査テーブル７１１の外周端近傍に６つの支持部７２０〜７７０が設けられている。具体的には、ラインセンサ４００に対して物品Ｂの搬送方向の上流側に３つの支持部７２０〜７４０が設けられると共に、ラインセンサ４００に対して物品の搬送方向の下流側に３つの支持部７５０〜７７０が設けられる。また、支持部７２０は、受取部６００から物品ＢがＸ線検査部７００に受け渡される位置Ｐ１よりベルトコンベア９００側に設けられると共に、支持部７３０および７４０は、該位置Ｐ１よりベルトコンベア９００の反対側に設けられる。同様に、支持部７５０および７６０は、Ｘ線検査部７００から物品Ｂが受渡部８００に受け渡される位置Ｐ２よりベルトコンベア９００の反対側に設けられると共に、支持部７７０は、該位置Ｐ２よりベルトコンベア９００側に設けられる。
また、支持部７４０および７５０は、ラインセンサ４００の近傍において、ランセンサ４００を挟んで上流側および下流側に設けられている。これらの支持部７４０および７５０は、検査テーブル７１１上の物品Ｂが該支持部７４０および７５０に接触しないように、検査テーブル７１１の外周端に配置されている。
(Support part)
As shown in FIGS. 2 and 3, in this embodiment, six
The
図４（ａ）に示すように、位置Ｐ１よりベルトコンベア９００側の支持部７２０は、支持台７２１と、支持台７２１に設けられる一対の回転軸７２２と、一対の回転軸７２２の各々に回転可能に取り付けられ、検査テーブル７１１の上面および下面を挟持する一対の回転ローラ７２３とを有している。また、同様に、位置Ｐ２よりベルトコンベア９００側の支持部７７０は、支持台７７１と、一対の回転軸７７２と、一対の回転ローラ７７３とを有している。
一方、図４（ｂ）に示すように、位置Ｐ１よりベルトコンベア９００の反対側の支持部７３０は、支持台７３１と、支持台７３１に設けられる回転軸７３２と、回転軸７３２に回転可能に取り付けられ、検査テーブル７１１の下面を支持する回転ローラ７３３とを有している。また、同様に、位置Ｐ２よりベルトコンベア９００側の支持部７６０は、支持台７６１と、回転軸７６２と、回転ローラ７６３とを有している。
また、図４（ｃ）に示すように、ラインセンサ４００の近傍に配置される支持部７４０および７５０は、支持部７２０および７７０と同様に、支持台７４１および７５１と、一対の回転軸７４２および７５２と、一対の回転ローラ７４３および７５３とを有している。
As shown in FIG. 4A, the
On the other hand, as shown in FIG. 4B, the
Further, as shown in FIG. 4C, the
上記した回転ローラ７２３，７３３，７４３，７５３，７６３，および７７３は、いずれも検査テーブル７１１に当接する部分がゴムからなる。なお、図４（ａ）〜図４（ｃ）における括弧書きの符号は、上流側の支持部７２０〜７４０と同様の構成からなる下流側の支持部７５０〜７７０の関係を示すために記載している。
The
図３に示すように、Ｘ線検査部７００に設けられたＸ線漏洩防止カバー９１０内には、制御部５００が内蔵される。さらに、検査テーブル７１１の上方には、Ｘ線源２００が設けられる。当該Ｘ線源２００は、検査テーブル７１１の回転軸方向から径方向外側に向かってＸ線を照射できるように設けられている。具体的には、Ｘ線源２００は、ベルトコンベア９００に近い方向から遠ざかる方向に向かって斜め下方にＸ線を照射できるよう配設されている。ラインセンサ４００は、Ｘ線源２００から照射されたＸ線が物品Ｂを透過し、当該透過したＸ線を受けることができる位置に設けられる。本実施形態では、ラインセンサ４００は、検査テーブル７１１の外周側に配置され、且つ、ラインセンサ４００の各センサが検査テーブル７１１の回転面に対して垂直方向に並んで配置されている。
As shown in FIG. 3, a
制御部５００は、第１モータ６１３、第２モータ７１３、第３モータ８１３との間で信号の送受信が可能なように設けられる。また、制御部５００は、Ｘ線源２００との間で信号の送受信、およびラインセンサ４００からの信号を受信できるように設けられる。この制御部５００は、ラインセンサ４００からの信号に基づきＸ線透過画像を作成して表示部３００（図１参照）に表示すると共に、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｂの検査を行う。この制御部５００によって検査された物品の内の不良品は、後述する受渡部８００に渡されずに、不良品ボックス７８０（図１および図２参照）に投入される。
The
（受渡部）
図２および図３に示すように、受渡部８００は、Ｘ線検査部７００によって良品と判断された物品Ｂを検査テーブル７１１からベルトコンベア９００に受け渡すために設けられる。垂直に設けられた回転軸８１２の一端側に第３モータ８１３が取り付けられ、回転軸８１２の他端側に水平面を有する受渡テーブル８１１が取り付けられる。本実施形態に係る受渡テーブル８１１は、天板が円板形状からなる。また、受渡テーブル８１１上には、検査テーブル７１１上の物品Ｂを該受渡テーブル８１１からベルトコンベア９００に案内する案内ガイド板８１４が設けられる。
(Delivery department)
As shown in FIGS. 2 and 3, the
（Ｘ線漏洩防止カバー）
図１および図２に示すように、Ｘ線漏洩防止カバー９１０は、Ｘ線源２００およびラインセンサ４００を外包するように設けられる。そのため、Ｘ線源２００から照射されたＸ線が乱反射した場合でも、該乱反射した大部分のＸ線をＸ線漏洩防止カバー９１０内に残留させることができる。その結果、ベルトコンベア９００側に漏洩することを防止することができる。
(X-ray leakage prevention cover)
As shown in FIGS. 1 and 2, the X-ray
（Ｘ線検査装置の動作）
次に、図２および図３に示したＸ線検査装置１００の動作の一例について説明を行う。
(Operation of X-ray inspection equipment)
Next, an example of the operation of the
図２および図３に示すように、ベルトコンベア９００上を矢印ＨＬ１の方向に沿って搬送される物品Ｂが受取部６００の案内ガイド板６１４により受取テーブル６１１側に移動される。この場合、物品Ｂは、矢印ＨＬ２の方向に沿って一対の案内ガイド板６１４の間を通過し、受取テーブル６１１に載置される。
As shown in FIGS. 2 and 3, the article B conveyed on the
受取テーブル６１１に載置された物品Ｂは、受取テーブル６１１が矢印Ｒ１の方向に回転することにより、矢印ＨＬ３の方向に移送され、検査テーブル７１１に受け渡される。 The article B placed on the receiving table 611 is transferred in the direction of the arrow HL3 when the receiving table 611 rotates in the direction of the arrow R1, and is delivered to the inspection table 711.
検査テーブル７１１が矢印−Ｒ１の方向に回転することにより、検査テーブル７１１に載置された物品Ｂは、検査テーブル７１１上を矢印ＨＬ４の方向に沿って移動し、Ｘ線源２００からＸ線が照射される。
When the inspection table 711 rotates in the direction of the arrow -R1, the article B placed on the inspection table 711 moves on the inspection table 711 along the direction of the arrow HL4, and X-rays are emitted from the
そして、Ｘ線検査が終了した物品Ｂは、検査テーブル７１１上を矢印ＨＬ５の方向に沿って移動する。この際、前述したＸ線検査によって不良品と判断された物品Ｂは、所定の手段により不良品ボックス７８０に投下される。一方、Ｘ線検査によって良品と判断された物品Ｂは、矢印ＨＬ６の方向に沿って一対の案内ガイド板８１４の間を通過し、受渡テーブル８１１に載置される。
受渡テーブル８１１に載置された物品Ｂは、受渡テーブル８１１が矢印Ｒの方向に回転することにより、矢印ＨＬ７の方向に移送される。この場合、物品Ｂは、一対の案内ガイド板８１４の間を通過し、ベルトコンベア９００上に戻される。
Then, the article B for which the X-ray inspection is completed moves on the inspection table 711 along the direction of the arrow HL5. At this time, the article B determined as a defective product by the above-described X-ray inspection is dropped into the
The article B placed on the delivery table 811 is transferred in the direction of the arrow HL7 as the delivery table 811 rotates in the direction of the arrow R. In this case, the article B passes between the pair of
次に、ベルトコンベア９００にＸ線検査装置１００を取り付ける状態について説明を行う。図５は、ベルトコンベア９００にＸ線検査装置１００を取り付ける一例を説明するための模式図である。
Next, a state where the
図５に示すように、ベルトコンベア９００に対してＸ線検査装置１００をベルトコンベア９００の搬送方向と垂直な方向（図中矢印Ｌ１の方向）から介挿する。それにより、図２に示したように、ベルトコンベア９００に対してＸ線検査工程を容易に追加することができる。
As shown in FIG. 5, the
なお、この場合、ベルトコンベア９００に対してＸ線検査装置１００の受取テーブル６１１、検査テーブル７１１、受渡テーブル８１１、Ｘ線源２００、およびラインセンサ４００等の高さを調整する高さ調整機構（図示せず）が設けられている。この高さ調整機構によりベルトコンベア９００の高さに合うように受取テーブル６１１、検査テーブル７１１、受渡テーブル８１１、Ｘ線源２００、およびラインセンサ４００等の高さ調整をし、ベルトコンベア９００にＸ線検査装置１００を介挿する。
In this case, a height adjustment mechanism that adjusts the height of the receiving table 611, the inspection table 711, the delivery table 811, the
（本実施形態における効果）
以上のように、本実施形態に係るＸ線検査装置１００においては、検査テーブル７１１の外周端近傍かつラインセンサ４００の上流側に支持部７２０，７３０および７４０が設けられると共に、検査テーブル７１１の外周端近傍かつラインセンサ４００の下流側に支持部７５０，７６０および７７０が設けられているので、物品Ｂの重量による検査テーブル７１１の歪みを防止することができる。その結果、検査テーブル７１１上に載置させた物品Ｂの位置がずれるのを防止することができる。その結果、確実に物品ＢのＸ線検査を安定実施することができる。
(Effect in this embodiment)
As described above, in the
また、本実施形態では、受取部６００から受け取った物品Ｂを検査テーブル７１１の上面の外周端近傍に載置させることにより、Ｘ線源２００から物品Ｂまでの距離をとることができ、Ｘ線源２００から照射される扇形のＸ線照射範囲内で高さのある物品Ｂの検査を容易に行うことができる。
Further, in this embodiment, by placing the article B received from the receiving
また、本実施形態では、支持部７３０および７６０は、検査テーブル７１１の下面を支持するので、物品Ｂの重みによる検査テーブル７１１の歪みを防止することができる。すなわち、検査テーブル７１１の外周端近傍に物品Ｂを載置させることにより、検査テーブル７１１の外周端近傍において下方向に大きなモーメント力が発生しても、支持部７３０および７６０により検査テーブル７１１の歪みを防止することができる。
In the present embodiment, the
また、本実施形態では、支持部７２０，７４０，７５０および７７０が検査テーブル７１１の上面および下面を挟持するので、検査テーブル７１１の振動を防止することができる。すなわち、一対の回転ローラ７２３，７４３，７５３および７７３を有する支持部７２０，７４０，７５０および７７０により検査テーブル７１１の上面および下面を挟持することにより、検査テーブル７１１の上振れおよび下振れを防止することができる。
In the present embodiment, since the
また、本実施形態では、支持部７２０〜７７０は、検査テーブル７１１との当接部がゴムからなる回転ローラ７２３〜７７３を有するので、検査テーブル７１１を支持しつつ、検査テーブル７１１の回動を阻害することなく、円滑に検査テーブル７１１を回転させることができる。
In the present embodiment, the
検査テーブル７１１の材質を金属からなることとすると、金属は、Ｘ線を透過させることができず、Ｘ線検査装置１００に用いることができない。また、検査テーブル７１１の材質を樹脂からなることとすると、検査テーブル７１１の厚みが大きくなりＸ線の画像処理においてノイズが増加する。また、樹脂の種類によっては、Ｘ線による劣化が想定される。一方、本実施形態に係るカーボンを使用する場合、剛性が強く、Ｘ線を透過させることができ、Ｘ線による劣化が生じ難くなる。
また、検査テーブル７１１がカーボンからなる場合、検査テーブル７１１を支持することにより、検査テーブル７１１の平面度を出すことができる。すなわち、カーボンからなる検査テーブル７１１は、カーボンの多層体からなるので、平面度を出すことが難しいが、支持部７２０〜７７０により、Ｘ線検査部７００における平面度を担保することができる。
さらに、検査テーブル７１１の上面および下面を支持部７２０，７４０，７５０および７７０によって挟持することにより、検査テーブル７１１の平面度を確実に出すことができる。すなわち、Ｘ線検査部７００の上流側および下流側において、検査テーブル７１１の上面および下面を挟持することにより、多層体からなる場合であっても、検査テーブル７１１の平面度を確実に担保することができる。
If the inspection table 711 is made of metal, the metal cannot transmit X-rays and cannot be used in the
When the inspection table 711 is made of carbon, the flatness of the inspection table 711 can be obtained by supporting the inspection table 711. That is, since the inspection table 711 made of carbon is made of a carbon multilayer, it is difficult to obtain flatness, but the flatness in the
Furthermore, the flatness of the inspection table 711 can be reliably obtained by sandwiching the upper and lower surfaces of the inspection table 711 by the
また、検査テーブル７１１がカーボン材質からなることによって、検査テーブル７１１は、Ｘ線を透過しやすく、Ｘ線の照射に影響を与えないというメリットがある。さらに、剛性も高く、金属と比較して軽量なので物品を確実に保持することができ、検査テーブル７１１の回転の安定性を向上することができる。特に、軽量であるので、検査テーブル７１１の偏芯等を防止することができる。また、剛性が高いので、重量増加した物品を検査対象に含めることができ、さらに駆動モータの容量を低減して、低コストおよび省電力を実現することができる。 Further, since the inspection table 711 is made of a carbon material, the inspection table 711 has an advantage that it easily transmits X-rays and does not affect the X-ray irradiation. In addition, since the rigidity is high and the weight is light compared to the metal, the article can be securely held, and the rotation stability of the inspection table 711 can be improved. In particular, since it is lightweight, eccentricity of the inspection table 711 can be prevented. Further, since the rigidity is high, an article whose weight has been increased can be included in the inspection object, and the capacity of the drive motor can be reduced to realize low cost and power saving.
＜請求項の各構成要素と上記実施形態の各部との対応関係＞
上記実施形態においては、Ｘ線検査装置１００が「Ｘ線検査装置」に相当し、ベルトコンベア９００が搬送ラインに相当し、物品Ｂが「物品」に相当し、受取部６００が「受取部」に相当し、検査テーブル７１１が「回転テーブル」に相当し、Ｘ線源２００が「Ｘ線源」に相当し、ラインセンサ４００が「Ｘ線検知手段」に相当し、Ｘ線検査部７００が「検査部」に相当し、支持部７２０〜７７０が「支持部」に相当する。
<Correspondence between each component of claims and each part of the embodiment>
In the above embodiment, the
以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described based on drawing, it should be thought that a specific structure is not limited to these embodiment. The scope of the present invention is shown not only by the above description of the embodiments but also by the scope of claims for patent, and further includes all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims for patent.
＜変形例＞
例えば、上記実施形態では、ラインセンサ４００の上流側に３つの支持部７２０，７３０および７４０を設けると共に、ラインセンサ４００の下流側に３つの支持部７５０，７６０および７７０を設ける例について説明したが、本発明はこれに限定されず、ラインセンサ４００の上流側および下流側のそれぞれに１つまたは２つの支持部を設けても良いし、ラインセンサ４００の上流側および下流側のそれぞれに４つ以上の支持部を設けても良い。また、ラインセンサ４００の上流側の支持部の個数と、ラインセンサ４００の下流側の支持部の個数とは、必ずしも同じで無くても良い。
<Modification>
For example, in the above embodiment, an example in which the three
また、上記実施形態では、検査テーブル７１１の上面および下面を支持する一対の回転ローラ７２３，７４３，７５３および７７３を有する支持部７２０，７４０，７５０および７７０を用いたが、本発明はこれに限定されず、検査テーブル７１１の下面のみを支持する支持部のみを用いても良い。
In the above embodiment, the
また、上記実施形態では、ラインセンサ４００の各センサが、検査テーブル７１１の回転面に対して垂直に並んで配置される例について説明したが、当該ラインセンサ４００の配置は検査テーブル７１１の回転面に対して斜めでも良いし、検査テーブル７１１の回転面に対して平行でも良い。
In the above-described embodiment, the example in which the sensors of the
また、上記実施形態では、回転ローラ７２３〜７７３を有する支持部７２０〜７７０を用いる例について説明したが、この発明はこれに限らず、図６に示した変形例に係る支持部７２０ａ〜７５０ａを用いても良い。すなわち、この変形例では、図６（ａ）に示すように、検査テーブル７１１の上面および下面を支持する支持部７２０ａは、検査テーブル７１１を挟んで上下一対に設けられる支持台７２１ａと、一対の支持台７２１ａのそれぞれの先端において回転可能に設けられる一対のボール７２３ａとを有している。
一方、図６（ｂ）に示すように、検査テーブル７１１の下面のみを支持する支持部７３０ａは、検査テーブル７１１の下側に設けられる支持台７３１ａと、支持台７３１の先端において回転可能に設けられるボール７３３ａとを有している。
Moreover, although the said embodiment demonstrated the example using the support parts 720-770 which have the rotating rollers 723-773, this invention is not limited to this, The
On the other hand, as shown in FIG. 6B, the
本発明を利用すれば、物品のＸ線検査を安定実施することが可能なＸ線検査装置を得ることができる。 By utilizing the present invention, an X-ray inspection apparatus capable of stably performing X-ray inspection of articles can be obtained.
１００ Ｘ線検査装置
２００ Ｘ線源
４００ ラインセンサ（Ｘ線検知手段）
６００ 受取部
７００ Ｘ線検査部（検査部）
７１１ 検査テーブル（回転テーブル）
７２０〜７７０，７２０ａ，７３０ａ 支持部
９００ ベルトコンベア（搬送ライン）
100
600 receiving
711 Inspection table (rotary table)
720-770, 720a, 730a Supporting
Claims (5)
前記受取部から受け取った物品を上面の外周端近傍に載置して搬送する回転テーブルと、
前記回転テーブル上の物品に前記回転テーブルの回転軸方向からＸ線を照射するＸ線源と、
前記回転テーブルの外周側に配置され、前記Ｘ線源からのＸ線を検知するＸ線検知手段と、
前記Ｘ線検知手段からの検知信号に基づきＸ線透過画像を作成して前記物品の検査を行う検査部と、
を有するＸ線検査装置であって、
前記回転テーブルの外周端近傍かつ前記Ｘ線検知手段の上流側および下流側のそれぞれに支持部を設けたことを特徴とするＸ線検査装置。 A receiving section for receiving articles from the transport line;
A rotary table for carrying the article received from the receiving unit in the vicinity of the outer peripheral edge of the upper surface;
An X-ray source for irradiating the article on the rotary table with X-rays from the rotation axis direction of the rotary table;
X-ray detection means arranged on the outer peripheral side of the rotary table and detecting X-rays from the X-ray source;
An inspection unit for inspecting the article by creating an X-ray transmission image based on a detection signal from the X-ray detection unit;
An X-ray inspection apparatus having
An X-ray inspection apparatus characterized in that support portions are provided in the vicinity of the outer peripheral end of the rotary table and on the upstream side and the downstream side of the X-ray detection means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010119445A JP2011247680A (en) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | X-ray inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010119445A JP2011247680A (en) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | X-ray inspection device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011247680A true JP2011247680A (en) | 2011-12-08 |
Family
ID=45413130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010119445A Pending JP2011247680A (en) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | X-ray inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2011247680A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016021031A1 (en) * | 2014-08-07 | 2016-02-11 | 株式会社ニコン | X-ray apparatus and structure production method |
-
2010
- 2010-05-25 JP JP2010119445A patent/JP2011247680A/en active Pending
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