JP2011247659A - 静電容量型圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】静電容量型圧力センサを小径化する。
【解決手段】ダイアフラムが接合される本体部21と、本体部21に形成された電極固定孔211に挿入される固定電極22と、小径部23a及び大径部23cを有するガード電極23と、ガード電極23の大径部23c及び固定電極22を連結する第1封止ガラス24と、ガード電極23の小径部23a及び本体部21を連結する第2封止ガラス25とを具備する。
【選択図】図1
【解決手段】ダイアフラムが接合される本体部21と、本体部21に形成された電極固定孔211に挿入される固定電極22と、小径部23a及び大径部23cを有するガード電極23と、ガード電極23の大径部23c及び固定電極22を連結する第1封止ガラス24と、ガード電極23の小径部23a及び本体部21を連結する第2封止ガラス25とを具備する。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧力により変位するダイアフラムと固定電極との間の静電容量の変化を検出して圧力を測定する静電容量型圧力センサに関するものである。
従来の静電容量型圧力センサは、例えば特許文献1に示すように、固定電極(電極132)と本体部(電極構造体110)との間に直円筒形状をなすガード電極(電極シールド134)を設けて、固定電極及び本体部の間に生じる浮遊容量の発生を抑制するものがある。
そして、この静電容量型圧力センサにおいて固定電極は、当該固定電極及びガード電極の間に設けられた第1の同心状絶縁体(第1封止ガラス)によって、ガード電極から絶縁されるとともにガード電極に固定される。また、ガード電極は、当該ガード電極及び本体部との間に設けられた第2の同心状絶縁体(第2封止ガラス)によって、本体部から絶縁されるとともに本体部に固定される。つまり、従来の静電容量型圧力センサは、それぞれ円筒形状をなすガード電極、第1封止ガラス及び第2封止ガラスが、径方向に同心円状に配置された構造である。
一方、近年において、静電容量型圧力センサがマスフローコントローラユニットに組み込まれて使用されるようになっている。また、ガスラインの省スペース化に伴って、マスフローコントローラは高性能化、低コスト化とともに、小型化が望まれている。このようなことから、1つのマスフローコントローラユニット内に静電容量型センサを組み込むに際して、ユニットの小型化のために、静電容量型センサの小径化が望まれている。さらに、マスフローコントローラユニットに組み込まれるその他の機器(例えば流量センサや流量制御バルブ等)の配置等の設計自由度を増す等の目的のためにも静電容量型センサの小径化が望まれている。
ここで上記構成の静電容量型圧力センサを小径化するためには、固定電極を小径化する方法又はガード電極や封止ガラスの肉厚を薄くする方法などが考えられる。
しかしながら、固定電極の小径化、ガード電極又は封止ガラスの肉薄化は、センサ感度の低下や加工コストの増大に繋がる恐れがあり、また、封止ガラスの肉薄化は、固定電極及びガード電極間、ガード電極及び本体部幹の封着の歩留まり悪化に繋がる恐れがあり、小径化に限界がある。
また別の方法としてガード電極を用いないことによって小径化を実現することも考えられるが、浮遊容量が発生することによって感度が著しく低下するため得策ではなく、特に高感度用途の圧力センサには適用できない。
そこで本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、センサ感度の低下、加工コストの増大及び封着歩留まりの悪化を招くことなく、静電容量型圧力センサを径方向に小型化することをその主たる課題とするものである。
すなわち本発明に係る静電容量型圧力センサは、圧力により変位するダイアフラムと固定電極との間の静電容量の変化を検出して圧力を測定する静電容量型圧力センサであって、ダイアフラムが接合される本体部と、前記本体部に形成された電極固定孔に挿入され、先端面が前記ダイアフラムに対向して設けられる固定電極と、前記固定電極及び前記本体部との間に設けられて浮遊容量の発生を抑制するものであり、小径部及び当該小径部に連続する大径部を有するガード電極と、前記固定電極及び前記ガード電極の間を絶縁するとともに、前記ガード電極の大径部及び前記固定電極を連結する第1封止ガラスと、前記ガード電極及び前記本体部の間を絶縁するとともに、前記ガード電極の小径部及び前記本体部を連結する第2封止ガラスとを具備することを特徴とする。
このようなものであれば、ガード電極が小径部及び大径部を有し、大径部においてガード電極及び固定電極を連結し、小径部においてガード電極及び本体部を連結する構成としており、第1封止ガラス及び第2封止ガラスが径方向ではなく軸方向に沿って配置される。これによって、静電容量型圧力センサを径方向に小型化することができる。
部品を共通化することによってコストダウンを図るとともに、組み立て時における作業性を向上させるためには、前記第1封止ガラス及び前記第2封止ガラスが同一形状をなすものであることが望ましい。
このように構成した本発明によれば、静電容量型圧力センサを小径化することができる。
以下に、本発明に係る静電容量型圧力センサの一実施形態について、図面を参照して説明する。
本実施形態の静電容量型圧力センサ100は、全圧真空計の絶対圧計測型に該当する静電容量型ダイアフラム真空計であり、圧力により変位するダイアフラム3と固定電極22との間の静電容量の変位量を検出して、その変位量を圧力に換算して圧力を測定するものである。なお、圧力に換算される静電容量は、ダイアフラム3と固定電極22との距離に反比例する。また、この静電容量型圧力センサ100は、マスフローコントローラユニットや圧力コントローラユニットに組み込まれて使用される。なお、本実施形態の静電容量型圧力センサ100は、圧力センサ単体で用いることも可能である。
具体的にこのものは、図1に示すように、センサ本体2と、センサ本体2に接合されるダイアフラム3とを備えている。
センサ本体2は、固定電極22が一端側である下端部に露出するように固定されたものであり、ダイアフラム3が接合される本体部21と、本体部21に形成された電極固定孔211に挿入され、先端面がダイアフラム3に対向して設けられる固定電極22と、固定電極22及び本体部21との間に設けられて浮遊容量の発生を抑制するガード電極23と、固定電極22及びガード電極23の間を絶縁するとともにそれらを連結する第1封止ガラス24と、ガード電極23及び本体部21の間を絶縁するとともにそれらを連結する第2封止ガラス25とを備えている。
本体部21は、概略円柱形状をなすものであり、その中心部分には固定電極22を挿入して固定するための電極固定孔211が形成されている。また、本体部21の一端側である下端部の周縁部にはダイアフラム3がレーザ溶接、電子ビーム溶接又はアーク溶接等により接合されている。本体部21は、耐食及び耐熱性を有する例えばステンレス鋼により形成されている。
ダイアフラム3は、固定電極22のダイアフラム側を向く端面である一端面とともにコンデンサを構成する円板形状をなすものである。このダイアフラム3は、外部の微小な圧力変化により弾性変形するものであり、耐食及び耐熱性に優れた例えば主成分をニッケル、コバルトとし、タングステン、モリブデン、チタン、クロム等を含むニッケル−コバルト合金等からなる金属薄板である。薄板の厚みは、外部の圧力変化に対する感度を上げるために例えば数十μmである。
固定電極22は、金又は白金等の簡単に腐食しない金属からなる導体から形成されるものである。本実施形態の固定電極22は、本体部21に形成された電極固定孔211に挿入されるため、概略円柱形状をなす。また、固定電極22の後端部には、静電容量の変化を検出するためのリード線(不図示)が接続されている。このリード線は、センサ本体2の例えば上部に形成された出力端子に接続されている。なお、この出力端子には、静電容量の変化量を圧力信号に変換する演算部(図示しない)が接続される。
ガード電極23は、固定電極22の側周面全周を囲むように設けられて、固定電極22及び本体部21の間に生じる浮遊容量を低減するものである。このガード電極23は、回転体形状であり、ダイアフラム3側から順に等断面の小径部23a及び当該小径部23aに段部23bを介して連続する等断面の大径部23cを有する段付きの概略円筒形状をなすものである。これら小径部23a及び大径部23cは、軸方向から見て同心円状となるように形成されている。また、小径部23aの内径は、固定電極22の外径よりも若干(例えば0.1mm程度)大きく設定されている。なお、段部形状としては、図1に示すように、断面直角形状の他、断面傾斜形状や断面湾曲形状等であってもよい。
第1封止ガラス24は、周壁が等厚の概略円筒形状をなすものであり、ガード電極23の上段部である大径部23cの内周面に嵌められて、当該大径部23c及び固定電極22を封着して連結する。なお、第1封止ガラス24によりガード電極23の大径部23c及び固定電極22が封着された状態で、ガード電極23の小径部23aと固定電極22とは全周に亘って間隙が形成されて接触しない。
第2封止ガラス25は、前記第1封止ガラス24と同様、周壁が等厚の概略円筒形状をなすものであり、ガード電極23の下段部である小径部23aの外周面に嵌められて、当該小径部23a及び本体部21を封着して連結する。なお、第2封着ガラスによりガード電極23の小径部23a及び本体部21が封着された状態で、ガード電極23の大径部23cと本体部21とは全周に亘って間隙が形成されて接触しない。
このようにガード電極23の大径部23cに第1封止ガラス24が嵌って固定電極22を封着するとともに、小径部23aに第2封止ガラス25が嵌って本体部21を封着することにより、第1封止ガラス24及び第2封止ガラス25は、ガード電極23の軸方向に沿って配置される構成となる。
また、本実施形態の第1封止ガラス24及び第2封止ガラス25は同一形状をなすものであり、また、第1封止ガラス24及び第2封止ガラス25を同一形状とできるように、ガード電極23の大径部23c及び小径部23aの径および本体部21の電極固定孔211の径等が規定されている。第1封止ガラス24及び第2封止ガラス25を共通化することによって、製造コストを削減できるだけでなく、組み立て時において部品の取り違いを防止することができる。
最後に静電容量型圧力センサ100の組み立て方法の一例について簡単に説明する。
まず、本体部21に形成された電極固定孔211に第2封止ガラス25を挿入するとともに、当該第2封止ガラス25にガード電極23の小径部23aを挿入する。また、ガード電極23の大径部23cに第1封止ガラス24を挿入するとともに、当該第1封止ガラス24に固定電極22を挿入する。そして、図示しない治具により本体部21に対して固定電極22、ガード電極23、第1封止ガラス24及び第2封止ガラス25を固定し、炉内で加熱して第1封止ガラス24及び第2封止ガラス25を融解させて、本体部21に固定電極22及びガード電極23をガラス融着により固定する。
その後、ダイアフラム3をセンサ本体2の一端側にレーザ溶接、電子ビーム溶接又はアーク溶接等により溶接して接合する。このようにして、静電容量型圧力センサ100が組み立てられる。
<本実施形態の効果>
このように構成した本実施形態の静電容量型圧力センサ100によれば、ガード電極23が小径部23a及び大径部23cを有し、大径部23cにおいてガード電極23及び固定電極22を連結し、小径部23aにおいてガード電極23及び本体部21を連結する構成としており、第1封止ガラス24及び第2封止ガラス25が径方向ではなく軸方向に沿って配置される。これによって、静電容量型圧力センサを径方向に小型化することができる。
このように構成した本実施形態の静電容量型圧力センサ100によれば、ガード電極23が小径部23a及び大径部23cを有し、大径部23cにおいてガード電極23及び固定電極22を連結し、小径部23aにおいてガード電極23及び本体部21を連結する構成としており、第1封止ガラス24及び第2封止ガラス25が径方向ではなく軸方向に沿って配置される。これによって、静電容量型圧力センサを径方向に小型化することができる。
<その他の変形実施形態>
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、前記実施形態のガード電極23は上段部が大径部23cであり下段部が小径部23aとなるように構成されているが、図2に示すように、上段部を小径部23aとし下段部を大径部23cとしても良い。このとき第1封止ガラス24が下側に位置し、第2封止ガラス25が上側に位置する構成となる。このように構成することで、本体部21及びダイアフラム3により形成される密閉空間(真空室)の容積を大きくすることができ、圧力測定の安定性を向上させることができる。
また、前記実施形態の第1封止ガラス24及び第2封止ガラス25が同一形状となるにガード電極23等を構成しているが、第1封止ガラス24及び第2封止ガラス25は同一形状でなくても良い。
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
100・・・静電容量型圧力センサ
3 ・・・ダイアフラム
21 ・・・本体部
211・・・電極固定孔
22 ・・・固定電極
23 ・・・ガード電極
23a・・・小径部
23c・・・大径部
24 ・・・第1封止ガラス
25 ・・・第2封止ガラス
3 ・・・ダイアフラム
21 ・・・本体部
211・・・電極固定孔
22 ・・・固定電極
23 ・・・ガード電極
23a・・・小径部
23c・・・大径部
24 ・・・第1封止ガラス
25 ・・・第2封止ガラス
Claims (3)
- 圧力により変位するダイアフラムと固定電極との間の静電容量の変化を検出して圧力を測定する静電容量型圧力センサであって、
ダイアフラムが接合される本体部と、
前記本体部に形成された電極固定孔に挿入され、先端面が前記ダイアフラムに対向して設けられる固定電極と、
前記固定電極及び前記本体部との間に設けられて浮遊容量の発生を抑制するものであり、小径部及び当該小径部に連続する大径部を有するガード電極と、
前記固定電極及び前記ガード電極の間を絶縁するとともに、前記ガード電極の大径部及び前記固定電極を連結する第1封止ガラスと、
前記ガード電極及び前記本体部の間を絶縁するとともに、前記ガード電極の小径部及び前記本体部を連結する第2封止ガラスとを具備する静電容量型圧力センサ。 - 前記第1封止ガラス及び前記第2封止ガラスが同一形状をなすものである請求項1記載の静電容量型圧力センサ。
- 請求項1又は2記載の静電容量型圧力センサを用いて構成されたマスフローコントローラ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010118967A JP2011247659A (ja) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 静電容量型圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010118967A JP2011247659A (ja) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 静電容量型圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011247659A true JP2011247659A (ja) | 2011-12-08 |
Family
ID=45413110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010118967A Pending JP2011247659A (ja) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 静電容量型圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2011247659A (ja) |
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2010
- 2010-05-25 JP JP2010118967A patent/JP2011247659A/ja active Pending
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