JP5260155B2 - 静電容量型圧力センサ及びその製造方法 - Google Patents
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2 ・・・固定電極
201・・・固定電極の対向面(一端面、ダイアフラム側面)
3 ・・・ダイアフラム
301・・・ダイアフラムの対向面(電極側面)
4 ・・・支持構造体
41 ・・・凹部
411・・・凹部の底面
42 ・・・電極固定孔
43 ・・・凹溝
5 ・・・ガラス材
6 ・・・治具
61 ・・・位置決め構造
Claims (4)
- 圧力により変位するダイアフラムと固定電極との間の静電容量の変化を検出して圧力を測定する静電容量型圧力センサであって、
前記固定電極と前記ダイアフラムとの対向面の距離を規定する凹部を有し、前記固定電極の対向面が、前記凹部の底面と略同一平面上に設けられ、前記ダイアフラムが、前記凹部を覆うように前記凹部の開口周縁部に溶接される一体成型された支持構造体を具備する静電容量型圧力センサ。 - 前記支持構造体が、前記固定電極を固定するための電極固定孔を有し、
前記固定電極が、前記固定電極の対向面が前記凹部の底面と略同一平面上になるように、前記電極固定孔に固定される請求項1記載の静電容量型圧力センサ。 - 圧力により変位するダイアフラムと固定電極との間の静電容量の変化を検出して圧力を測定する静電容量型圧力センサの製造方法であって、
基材に、前記固定電極と前記ダイアフラムとの対向面の距離を規定する凹部、及び当該凹部の底面に開口し、前記固定電極を固定するための電極固定孔を形成して、支持構造体を形成する構造体形成ステップと、
前記固定電極とともにガラス材を前記電極固定孔に入れ、前記凹部の底面に対して前記固定電極の対向面の位置決めを行う位置決め構造を有する治具により、前記支持構造体、前記固定電極及び前記ガラス材を仮固定する仮固定ステップと、
仮固定された前記支持構造体、前記固定電極及び前記ガラス材を炉内で加熱し、前記ガラス材を融解させて、前記支持構造体に前記固定電極をガラス融着する融着ステップと、
前記融着ステップにより前記固定電極がガラス融着された前記支持構造体の凹部を覆うように、前記凹部の開口周縁部に前記ダイアフラムを溶接する溶接ステップと、を具備する静電容量型圧力計の製造方法。 - 圧力により変位するダイアフラムと固定電極との間の静電容量の変化を検出して圧力を測定する静電容量型圧力センサの製造方法であって、
基材に、前記固定電極を固定するための電極固定孔を形成する固定孔形成ステップと、
前記固定電極とともにガラス材を前記電極固定孔に入れ、前記基材、固定電極及びガラス材を治具により仮固定する仮固定ステップと、
仮固定された前記基材、固定電極及びガラス材を炉内で加熱し、前記ガラス材を融解させて、前記基材に前記固定電極をガラス融着する融着ステップと、
前記融着ステップにより固定電極がガラス融着された基材において、前記電極固定孔が開口する一端面に凹部を形成するとともに、当該凹部の底面と前記固定電極の端面とが同一平面上となるように研磨する研磨ステップと、
前記研磨ステップにより形成された凹部を覆うように、前記凹部の開口周縁部に前記ダイアフラムを溶接する溶接ステップと、を具備する静電容量型圧力センサの製造方法。
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