JP2011247373A

JP2011247373A - 多段シリンダ装置

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Publication number: JP2011247373A
Application number: JP2010122746A
Authority: JP
Inventors: Takashi Okamoto; 隆岡本; Minehiko Nakahara; 峰彦中原; Seiichi Konno; 聖一今野
Original assignee: ISHIMORI SEISAKUSHO KK
Current assignee: ISHIMORI SEISAKUSHO KK
Priority date: 2010-05-28
Filing date: 2010-05-28
Publication date: 2011-12-08

Abstract

【課題】例えば、２段式シリンダ装置は１段式シリンダ装置よりも全高が高くなってしまうが、本発明では、径方向にシリンダを組み合わせているので、１段式シリンダ装置と略同じ高さに抑え低くすることができ、特別な制御や付加機構は必要とせず、圧力を作動方向にしかかからないように構成することで、ピストンロッドの出力ロスを防止することができる多段シリンダ装置を提供する。
【解決手段】同心円状に複数のシリンダが配置され、夫々が上下方向に気密状態を保ちながら摺動自在に構成され、これら各シリンダは、電磁弁を介して作動流体によって上記摺動作動が制御されるように配管接続され、これら各シリンダの上下駆動制御は、制御回路によってコントロール可能に構成した。
【選択図】図１

Description

この発明は、２段以上の必要段数からなるシリンダ装置に関する。

従来の多段シリンダ装置としては、１段ストローク式シリンダを直列に重ね合わせて２段ストロークとしたものや、１段ストローク式シリンダのロッドを中間停止位置でクランプするもの、或は、特許文献１に示す１段ストローク式シリンダを入れ子式に組み合わせて２段ストロークとしたもの、更には、特許文献２に示すような多段シリンダ装置が知られている。

特開平０５−２９６２１１号公報特許第３１６５４１９号公報

しかしながら、この従来技術のうち、１段ストローク式シリンダを直列に重ね合わせて２段ストロークとしたものは、シリンダを直列に接続しているためシリンダの高さが高くなる、という問題を有し、また、１段ストローク式シリンダのロッドを中間停止位置でクランプするものは、シリンダに加わる圧力をバランスさせたり、センサ等が必要となったり、といった特別な制御や付加機構が必要となり、装置が複雑化・高コスト化するという問題を有していた。

さらに、特許文献１のものは、ピストンロッド側の第１フランジ，第２フランジ、ヘッド側の第１フランジ，第２フランジと４つのフランジから構成されているため、高さが高くなる、という問題を有していた。

また、特許文献２に示すものは、文献図３に示すロッド１７には繰り出す方向の圧力と押し込む方向の圧力が加わっているが、このときは繰り出す方向に作動させたいのであるから、押し込む方向の圧力があるため、ロッド１７の出力がロスすることになる。同様に、文献図４におけるロッド１７や図５に示す第１のピストン１３Ａの出力もロスする、という問題を有していた。

この発明は、かかる現状に鑑み創案されたものであって、その目的とするところは、例えば、２段式シリンダ装置は１段式シリンダ装置よりも全高が高くなってしまうが、本発明では、径方向にシリンダを組み合わせているので、１段式シリンダ装置と略同じ高さに抑え低くすることができ、特別な制御や付加機構は必要とせず、圧力を作動方向にしかかからないように構成することで、ピストンロッドの出力ロスを防止することができる多段シリンダ装置を提供しようとするものである。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の多段シリンダ装置にあっては、同心円状に複数のシリンダが配置され、夫々が上下方向に気密状態を保ちながら摺動自在に構成され、これら各シリンダは、電磁弁を介して作動流体によって上記摺動作動が制御されるように配管接続され、これら各シリンダの上下駆動制御は、制御回路によってコントロール可能であることを特徴とする。

また、請求項２に記載の発明にあっては、請求項１に記載の多段シリンダ装置を技術的前提とし、前記多段シリンダ装置を２段で構成し、該シリンダ装置は、外シリンダーのシリンダーチューブと、第１のピストンと、ヘッド側フランジと、該ヘッド側フランジに開設された第１ポート及び第３ポートと、ピストンロッドと、ロッド側フランジと、該ロッド側フランジに開設された第２ポートと、第２のピストンと、３つの電磁弁を介して上記各ポートに作動流体を供給或は排出する配管と、上記電磁弁の作動を制御する制御回路と、から構成され、これら配管によって上記第１ポートへ作動流体が供給され、第２ポートと第３ポートと作動流体のタンクが接続された状態となったときに、第１のピストンが上昇し、一緒に第２のピストンも上昇すると共に、上記第２ポートと第３ポートと作動流体タンクが接続し、第２ポートから排出された作動流体が第３ポートへ供給されるように構成したことを特徴とする

また、請求項３に記載の発明にあっては、請求項１に記載の多段シリンダ装置を技術的前提とし、前記多段シリンダ装置を３段で構成し、該シリンダ装置は、外シリンダーのシリンダーチューブと、第１ピストンと、ヘッド側フランジと、該ヘッド側フランジに開設された第１ポート、第２ポート及び第４ポートと、ピストンロッドと、ロッド側フランジと、該ロッド側フランジに開設された第３ポートと、第２のピストンと、第３のピストンと、５つの電磁弁を介して上記各ポートに作動流体を供給或は排出する配管と、上記電磁弁の作動を制御する制御回路と、から構成され、これら配管によって第１の電磁弁の第１のソレノイドがＯＮすると第１ポートに作動流体が供給され、第２ソレノイドがＯＮすると第３ポートに作動流体が供給され、第２電磁弁の第１ソレノイドがＯＮすると第２ポートに作動流体が供給され、第２ソレノイドがＯＮすると第３ポートに作動流体が供給され、第３電磁弁の第１のソレノイドがＯＮすると第４ポートに作動流体が供給され、第２ソレノイドがＯＮすると第３ポートに作動流体が供給され、第４電磁弁のソレノイドがＯＮすると第２ポートと第３ポートが接続され、第５電磁弁のソレノイドがＯＮすると第３ポートと第４のポートが接続された状態になるように構成され、上記第１ポートへ作動流体を供給し、第２ポート、第３ポート、第４ポートと作動流体のタンクをそれぞれ接続することで、第１ピストンが上昇し、同時に第２ピストン、第３ピストンも上昇させると共に、このとき、第２ポート、第３ポート、第４ポート、作動流体のタンクを接続し、第３ポートから排出された作動流体を第２ポート、第４ポートへと供給し、第１ピストンを最低位置から中間位置へ移動するように構成し、また、第１ポート、第２ポート、第４ポートへ作動流体を供給し、第３ポートから作動流体を排出することで、第１ピストン、第２ピストン、第３ピストンをそれぞれ上昇させて、最低位置から最高位置へ３段移動させるように構成したことを特徴とする。

以上説明したように、この発明に係る２段以上の多段シリンダ装置にあっては、径方向にシリンダを組み合わせているので、１段式シリンダ装置と略同じ高さに抑え低くすることができ、特別な制御や付加機構は必要とせず、圧力を作動方向にしかかからないように構成することで、ピストンロッドの出力ロスを防止することができる。

この発明の第１実施形態例を示す２段シリンダ装置の構成を示す断面図である。同シリンダ装置の配管例を示す説明図である。同シリンダ装置の中間位置に移動した状態の断面図である。同シリンダ装置の最上昇位置に移動した状態の断面図である。同シリンダ装置のピストンロッドの動きと各ポートへの流体の供給・排出の状態と電磁弁の制御状態を示す説明図である。この発明の第２実施形態例を示す３段シリンダ装置の構成を示す断面図である。同シリンダ装置の第１中間位置に移動した状態の断面図である。同シリンダ装置の第２中間位置に移動した状態の断面図である。同シリンダ装置の最上昇位置に移動した状態の断面図である。同シリンダ装置の配管例を示す説明図である。同シリンダ装置のピストンロッドの動きと各ポートへの流体の供給・排出の状態と電磁弁の制御状態を示す説明図である。

以下、添付図面に示す発明の実施形態例に基づき、この発明を詳細に説明する。

図１乃至図５は、この発明の第１実施形態例を示すものであって、図１は２段シリンダ装置の構成を示す断面図を、図２は同シリンダ装置の配管例を示す説明図を、図３は同シリンダ装置の中間位置に移動した状態の断面図を、図４は同シリンダ装置の最上昇位置に移動した状態の断面図を、図５は同シリンダ装置のピストンロッドの動きと各ポートへの流体の供給・排出の状態と電磁弁の制御状態を示す説明図である。

図１と図２に示すように、本第１実施形態例では、前記多段シリンダ装置を２段で構成し、該シリンダ装置は、外シリンダーのシリンダーチューブ１と、第１のピストン２と、ヘッド側フランジ３と、該ヘッド側フランジ３に開設された第１ポート７及び第３ポート９と、ピストンロッド４Ｂと、ロッド側フランジ６と、該ロッド側フランジ６に開設された第２ポート８と、第２のピストン４と、３つの電磁弁３３，３４，３５を介して上記各ポート７，８，９に作動流体を供給或は排出する配管３７，３８，３９，４０，４１，４２，４３と、上記電磁弁３３，３４，３５の作動を制御する制御回路３６と、から構成され、これら配管によって上記第１ポート７へ作動流体が供給され、第２ポート８と第３ポート９と作動流体のタンク３２が接続された状態となったときに、第１のピストン２が上昇し、一緒に第２のピストン４も上昇すると共に、上記第２ポート８と第３ポート９と作動流体タンクが接続し、第２ポート８から排出された作動流体が第３ポート９へ供給されるように構成されている。

即ち、シリンダチューブ１に第１のピストン２が挿入されており、該チューブ１の内周面１Ａと外周面２Ａとは気密を保って摺動し、小径内周面２Ｂとパイプ部３Ａは気密を保って摺動するように構成されている。そして、第２のピストン４は第１のピストン２に挿入されており、ピストン４の外周面４Ａは、大径内周面２Ｃと気密を保って摺動するように構成されている。

第１のピストン２の先端には第２のピストン４の作動を制限する第２のストッパ部材５が取り付けられており、第２のピストン４にはピストンロッド４Ｂが一体に形成されており、ピストンロッド４Ｂは、ロッド側フランジ６の中心穴６Ａと、気密を保って摺動する。

ヘッド側フランジ３には第１のポート７と第３のポート９が設けられており、ロッド側フランジ６には、第２のポート８が設けられている。

第１のポート７から供給された作動流体は、第１のピストン２のヘッド側に導かれ、第３のポート９から供給された作動流体はパイプ部３Ａを経由して、第２のピストン４のヘッド側に導かれる。

第２のポート８から供給された作動流体は、第１のピストン２と第２のピストン４のロッド側に導かれる。

また、ロッド側フランジ６には、第１のピストン２の作動を制限するストッパ部材６Ｂが形成されている。

図２に示すように、制御回路３６は第１の電磁弁３３の第１のソレノイド３３Ａに通電するか、第２のソレノイド３３Ｂに通電するか、あるいはどちらにも通電しないかを制御する。また、第１の電磁弁３３は通電の状態によって、第１のポート７と第２のポート８へ、作動流体を供給するか、排出するかあるいは保持するかを制御する。

同様に第２の電磁弁３４は通電の状態によって、、第３のポート９と第２のポート８へ、作動流体を供給するか、排出するかあるいは保持するかを制御する。

同様に第３の電磁弁３５は通電の状態によって、第２のポート８と第３のポート９とが接続されるか、あるいはされないかを制御する。

尚、図２では制御回路３６から電磁弁３３，３４，３５への配線は図が見にくくなるため省略してある。

図５は、ピストンロッドの作動状態に対して、各ポートと各電磁弁の状態を示した表説明図である。

表図のポートの欄の「Ｐ」は、所定のポートに作動流体が供給された状態を、「Ｔ」は所定のポートから作動流体が排出された状態を、「バイパス＋Ｔ」は第２のポートと第３のポートと作動流体タンクとが接続された状態を、「保持」は所定のポートで作動流体が供給も排出もされず、その所定のポートで作動流体が保持されている状態を示している。

また、電磁弁の欄の「第１ＯＮ」は第１の電磁弁あるいは第２の電磁弁の第１のソレノイドへ通電された状態を、「第２ＯＮ」は第１の電磁弁あるいは第２の電磁弁の第２のソレノイドへ通電された状態を、「ＯＮ」は第３の電磁弁のソレノイドへ通電された状態を、「ＯＦＦ」は各ソレノイドへ通電されないことを示している。

次に、動作を説明すると、図５の状態１（ピストンロッドが最低位置→中間位置）にあるときには、図２の第１のポート７へ作動流体が供給され、第２のポート８と第３のポート９と作動流体タンク３２が接続された状態になる。

これにより、第１のピストン２が上昇し、一緒に第２のピストン４も上昇する。このとき、第２のポート８と第３のポート９と作動流体タンク３２が接続されているので、第２のポート８から排出された作動流体が第３のポート９へ供給される。

従って、第１のピストン２の動きが妨げられることはないのでピストンロッド４Ｂの出力はロスはない。

そして、第１のピストン２は上昇し、ストッパ部材６Ｂに衝突し、図３に示すように、停止する。ピストンロッド４Ｂは繰り返し誤差も少なく、安定した位置に停止できる。

次に、図５の状態２（ピストンロッドが中間位置→最低位置）へと移動する場合には、図３の状態で、第１のポート７と第３のポート９から作動流体が排出され、第２のポート８から作動流体が供給され、第１のピストン２と第２のピストン４は、図１に示す位置まで下降する。

次に、図５の状態３（ピストンロッドが中間位置→最高位置）まで移動する場合には、図３の状態で、第１のポート７は作動流体が保持された状態となり、第３のポート９へ作動流体が供給され、第２のポート８から作動流体が排出される。

これにより、第２のピストン４は上昇し、第１のピストン２に設けられたストッパ部材５と衝突し、図４に示すように、停止する。ピストンロッド４Ｂは繰り返し誤差も少なく、安定した位置に停止できる。

次に、図５の状態４（ピストンロッドが最高位置→中間位置）へと移動する場合には、図４の状態で、前記第１のポート７は作動流体が保持された状態で、第２のポート８へ作動流体が供給され、第３のポート９から作動流体が排出されるため、図３に示す位置まで、第２のピストン４は下降する。

次に、図５の状態５（ピストンロッドが、最低位置→最高位置）へと移動する場合には、図１の状態で、第１のポート７と第３のポート９から作動流体が供給され、第２のポート８から作動流体が排出されるので、第１のピストン２と第２のピストン４は、図４に示す位置まで上昇する。

また、図５の状態６（ピストンロッドが、最高位置→最低位置）へと移動する場合には、図４の状態で、第１のポート７と第３のポート９から作動流体が排出され、第２のポート８から作動流体が供給されるため、第１のピストン２と第２のピストン４は、図１に示す位置まで下降する。

図６乃至図１１は、この発明の第２実施形態例を示すものであって、図６は３段シリンダ装置の構成を示す断面図を、図７は同シリンダ装置の第１中間位置に移動した状態の断面図を、図８は同シリンダ装置の第２中間位置に移動した状態の断面図を、図９は同シリンダ装置の最上昇位置に移動した状態の断面図を、図１０は同シリンダ装置の配管例を示す回路説明図、図１１は同シリンダ装置のピストンロッドの動きと各ポートへの流体の供給・排出の状態と電磁弁の制御状態を示す説明図である。である。

図６に示すように、本第２実施形態例では、前記多段シリンダ装置を３段で構成し、該シリンダ装置は、外シリンダーのシリンダーチューブ１０１と、第１ピストン１０２と、ヘッド側フランジ１０３と、該ヘッド側フランジ１０３に開設された第１ポート１０９、第２ポート１１０及び第４ポート１１２と、ピストンロッド１０５Ｂと、ロッド側フランジ１０８と、該ロッド側フランジ１０８に開設された第３ポート１１１と、第２のピストン１０４と、第３のピストン１０５と、５つの電磁弁１３３，１３４，１３５，１３６，１３７を介して上記各ポート１０９，１１０，１１１，１１２に作動流体を供給或は排出する配管１４０，１４１，１４２，１４３，１４４，１４５，１４６，１４７，１４８と、作動流体ポンプ１３１と、作動流体タンク１３２と、上記電磁弁１３３，１３４，１３５，１３６，１３７の作動を制御する制御回路１３８と、から構成され、これら配管によって第１の電磁弁１３３の第１のソレノイド１３３ＡがＯＮになると第１のポート１０９に作動流体が供給され、第２のソレノイド１３３ＢがＯＮになると第３のポート１１１に作動流体が供給される。

また、第２の電磁弁１３４の第１のソレノイド１３４ＡがＯＮになると第２のポート１１０に作動流体が供給され、第２のソレノイド１３４ＢがＯＮになると第３のポート１１１に作動流体が供給される。

さらに、第３の電磁弁１３５の第１のソレノイド１３５ＡがＯＮになると第４のポート１１２に作動流体が供給され、第２のソレノイド１３５ＢがＯＮになると第３のポート１１１に作動流体が供給される。

また、第４の電磁弁１３６のソレノイド１３６ＡがＯＮになると第２のポートと第３のポートが接続された状態となり、第５の電磁弁１３７のソレノイド１３７ＡがＯＮになると第３のポートと第４のポートが接続された状態となるように構成されている。

次に、図１１の状態１（ピストンロッドが最低位置→中間１位置）へと移動する場合には、図６の状態から、第１のポート１０９へ作動流体が供給され、第２のポート１１０、第３のポート１１１、第４のポート１１２と作動流体タンク１３２がそれぞれ接続された状態となり、第１のピストン１０２が上昇し、一緒に第２のピストン１０４、第３のピストン１０５も上昇する。

このとき、第２のポート１１０、第３のポート１１１、第４のポート１１２、作動流体タンク１３２が接続されているので、第３のポート１１１から排出された作動流体が第２のポート１１０、第４のポート１１２へ供給される。

よって、第１のピストン１０２の動きが妨げられることはないのでピストンロッド１０５Ｂの出力にロスはない。

第１のピストン１０２は上昇して、最低位置から中間位置へ移動し、ストッパ部材１０８Ｂにぶつかって図７に示すように、停止する。

ピストンロッド１０５Ｂは繰り返し誤差も少なく、安定した位置に停止できる。

次に、図１１の状態２（ピストンロッドが、中間１位置→最低位置）へと移動する場合、図７の状態から、第３のポート１１１に作動流体が供給され、第１のポート１０９と第２のポート１１０と第４のポート１１２から作動流体が排出される。

第１のピストン１０２と第２のピストン１０４と第３のピストン１０５は下降して、図６に示す中間１位置から最低位置へ移動する。

そして、図１１の状態３（ピストンロッドが、中間１位置→中間２位置）へと移動する場合、図７の状態で、第１のポート１０９は作動流体が保持された状態となり、第２のポート１１０へ作動流体が供給され、第３のポート１１１、第４のポート１１２と作動流体タンク１３２がそれぞれ接続された状態になる。

第２のピストン１０４は上昇して、中間１位置から中間２位置へ移動し、第１のピストン１０２に設けられたストッパ部材１０６Ｂとぶつかって図８に示す位置で停止する。勿論、第２のピストン１０４の上昇と一緒に第３のピストン１０５も上昇する。

このとき、第３のポート１１１、第４のポート１１２、作動流体タンク１３２が接続されているので、第３のポート１１１から排出された作動流体が第４のポート１１２へ供給される。

従って、第２のピストン１０４の動きが妨げられることはないのでピストンロッド１０５Ｂの出力のロスはない。ピストンロッド１０５Ｂは繰り返し誤差も少なく、安定した位置に停止できる。

次に、図１１の状態９（ピストンロッドが最低位置→最高位置）へと移動する場合、図６の状態で、第１のポート１０９、第２のポート１１０、第４のポート１１２へ作動流体が供給され、第３のポート１１１から作動流体が排出される。

第１のピストン１０２、第２のピストン１０４、第３のピストン１０５はそれぞれ上昇し、最低位置から最高位置へ移動し、第１のピストン１０２はストッパ部材１０８Ｂと、第２のピストン１０４はストッパ部材１０６Ｂと、第３のピストン１０５はストッパ部材１０７と、それぞれぶつかって、図９に示す位置で停止する。このとき、ピストンロッド１０５Ｂは繰り返し誤差も少なく、安定した位置に停止できる。

尚、図１１中の表記は、図５と同様であるので、その詳細な説明をここでは省略する。

また、上記第１・第２実施形態例では、段数を２段のものと３段のものを例にとり説明したが、この発明にあってはこれに限定されるものではなく、４段以上のものも、同様にして構成することができることは勿論である。

１：シリンダーチューブ
１Ａ：内周面
２：第１のピストン
２Ａ：外周面
２Ｂ：小径内周面
２Ｃ：大径内周面
３：ヘッド側フランジ
３Ａ：パイプ部
４：第２のピストン
４Ａ：外周面
４Ｂ：ピストンロッド
５：第２のストッパ部材
６：ロッド側フランジ
６Ａ：中心穴
６Ｂ：ストッパ部材
７：第１ポート
８：第２ポート
９：第３ポート
３３，３４，３５：電磁弁
３６：制御回路
３７，３８，３９，４０，４１，４２，４３：配管
１０１：シリンダーチューブ
１０２：第１ピストン
１０３：ヘッド側フランジ
１０４：第２のピストン
１０５：第３のピストン
１０５Ｂ：ピストンロッド
１０６Ｂ：ストッパ部材
１０７：ストッパ部材
１０８：ロッド側フランジ
１０８Ｂ：ストッパ部材
１０９：第１ポート
１１０：第２ポート
１１１：第３ポート
１１２：第４ポート
１３１：作動流体ポンプ
１３２：作動流体タンク
１３３，１３４，１３５，１３６，１３７：電磁弁
１３３Ａ，１３４Ａ，１３５Ａ，１３６Ａ：１３７Ａ：ソレノイド
１３３Ｂ，１３４Ｂ，１３５Ｂ：ソレノイド
１３８：制御回路
１４０〜１４８：配管

Claims

同心円状に複数のシリンダが配置され、夫々が上下方向に気密状態を保ちながら摺動自在に構成され、これら各シリンダは、電磁弁を介して作動流体によって上記摺動作動が制御されるように配管接続され、これら各シリンダの上下駆動制御は、制御回路によってコントロール可能であることを特徴とする多段シリンダ装置。
前記多段シリンダ装置を２段で構成し、該シリンダ装置は、外シリンダーのシリンダーチューブと、第１のピストンと、ヘッド側フランジと、該ヘッド側フランジに開設された第１ポート及び第３ポートと、ピストンロッドと、ロッド側フランジと、該ロッド側フランジに開設された第２ポートと、第２のピストンと、３つの電磁弁を介して上記各ポートに作動流体を供給或は排出する配管と、上記電磁弁の作動を制御する制御回路と、から構成され、これら配管によって上記第１ポートへ作動流体が供給され、第２ポートと第３ポートと作動流体のタンクが接続された状態となったときに、第１のピストンが上昇し、一緒に第２のピストンも上昇すると共に、上記第２ポートと第３ポートと作動流体タンクが接続し、第２ポートから排出された作動流体が第３ポートへ供給されるように構成したことを特徴とする請求項１に記載の多段シリンダ装置。
前記多段シリンダ装置を３段で構成し、該シリンダ装置は、外シリンダーのシリンダーチューブと、第１ピストンと、ヘッド側フランジと、該ヘッド側フランジに開設された第１ポート、第２ポート及び第４ポートと、ピストンロッドと、ロッド側フランジと、該ロッド側フランジに開設された第３ポートと、第２のピストンと、第３のピストンと、５つの電磁弁を介して上記各ポートに作動流体を供給或は排出する配管と、上記電磁弁の作動を制御する制御回路と、から構成され、これら配管によって第１の電磁弁の第１のソレノイドがＯＮすると第１ポートに作動流体が供給され、第２ソレノイドがＯＮすると第３ポートに作動流体が供給され、第２電磁弁の第１ソレノイドがＯＮすると第２ポートに作動流体が供給され、第２ソレノイドがＯＮすると第３ポートに作動流体が供給され、第３電磁弁の第１のソレノイドがＯＮすると第４ポートに作動流体が供給され、第２ソレノイドがＯＮすると第３ポートに作動流体が供給され、第４電磁弁のソレノイドがＯＮすると第２ポートと第３ポートが接続され、第５電磁弁のソレノイドがＯＮすると第３ポートと第４のポートが接続された状態になるように構成され、上記第１ポートへ作動流体を供給し、第２ポート、第３ポート、第４ポートと作動流体のタンクをそれぞれ接続することで、第１ピストンが上昇し、同時に第２ピストン、第３ピストンも上昇させると共に、このとき、第２ポート、第３ポート、第４ポート、作動流体のタンクを接続し、第３ポートから排出された作動流体を第２ポート、第４ポートへと供給し、第１ピストンを最低位置から中間位置へ移動するように構成し、また、第１ポート、第２ポート、第４ポートへ作動流体を供給し、第３ポートから作動流体を排出することで、第１ピストン、第２ピストン、第３ピストンをそれぞれ上昇させて、最低位置から最高位置へ３段移動させるように構成したことを特徴とする請求項１に記載の多段シリンダ装置。