JP2011243419A - Recovery method for recovering bulb from image tube and manufacturing method of image tube - Google Patents

Recovery method for recovering bulb from image tube and manufacturing method of image tube Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a recovery method for recovering a bulb from an image tube in which the bulb can be recovered from the image tube so as to be reusable, and also to provide a manufacturing method of the image tube reusing the bulb recovered by the recovery method.SOLUTION: In a recovery method for recovering a bulb from an image tube, an input window, an output window, an input part, an output part, a focusing electrode and an anode are removed from the bulb from the image tube, and the bulb is removed from the image tube (S2a), then a chromium oxide film is peeled off from the removed bulb (S3a).

Description

この発明は、イメージ管からバルブを回収する回収方法及びイメージ管の製造方法に関する。   The present invention relates to a collection method for collecting a valve from an image tube and a method for manufacturing an image tube.

イメージ管は、医療用診断装置や工業用非破壊検査装置等に使用されている（例えば、特許文献１及び２参照）。イメージ管としては、例えばＸ線イメージ管が知られている。Ｘ線イメージ管は、入力部と、集束電極と、陽極と、出力部と、真空外囲器とを備えている。入力部、陽極、集束電極及び出力部は、真空外囲器内に収容されている。   Image tubes are used in medical diagnostic devices, industrial nondestructive inspection devices, and the like (see, for example, Patent Documents 1 and 2). For example, an X-ray image tube is known as an image tube. The X-ray image tube includes an input unit, a focusing electrode, an anode, an output unit, and a vacuum envelope. The input part, the anode, the focusing electrode and the output part are accommodated in a vacuum envelope.

入力部は、入力蛍光面と、入力蛍光面に接した光電陰極（光電面）とを有している。出力部は、出力蛍光面を有している。集束電極としてはＧ１電極、Ｇ２電極、Ｇ３電極と呼ばれる３個程度の電極で形成されている。真空外囲器は、入力窓、出力窓及びバルブを有している。バルブは、金属管及びガラス管で形成されている。金属管は入力窓に接続されている。ガラス管は、金属管と出力窓に接続されている。   The input unit has an input phosphor screen and a photocathode (photocathode) in contact with the input phosphor screen. The output unit has an output phosphor screen. The focusing electrode is formed of about three electrodes called G1, G2, and G3 electrodes. The vacuum envelope has an input window, an output window, and a valve. The bulb is formed of a metal tube and a glass tube. The metal tube is connected to the input window. The glass tube is connected to the metal tube and the output window.

上記のＸ線イメージ管において、外部から入力窓を透過して入力部にＸ線が入射されると、入力蛍光面にＸ線像が作られる。Ｘ線像は入力蛍光面で可視光像に変換される。可視光像は光電陰極で電子像に変換される。光電陰極は、電子像から電子（光電子）を放出する。   In the above X-ray image tube, when X-rays enter the input unit through the input window from the outside, an X-ray image is created on the input phosphor screen. The X-ray image is converted into a visible light image on the input phosphor screen. The visible light image is converted into an electronic image by the photocathode. The photocathode emits electrons (photoelectrons) from the electron image.

光電陰極から放出される電子は、集束電極及び陽極により加速集束され、出力部に入力される。出力部に電子が入力されると、出力蛍光面に電子像が作られる。電子像は、出力蛍光面で可視光像に変換され、明るい画像として出力窓から外部に出力される。例えば、医療用としてＸ線ＴＶ（テレビジョン）として使用する場合、上記Ｘ線イメージ管は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像デバイスが組合される等され、利用される。   Electrons emitted from the photocathode are accelerated and focused by the focusing electrode and the anode and input to the output unit. When electrons are input to the output unit, an electronic image is created on the output phosphor screen. The electronic image is converted into a visible light image on the output phosphor screen, and is output to the outside from the output window as a bright image. For example, when used as an X-ray TV (television) for medical purposes, the X-ray image tube is used by being combined with an imaging device such as a CCD (Charge Coupled Device).

陽極や出力部は出力窓、またはその近傍に形成されている。陽極や出力部には＋数十ｋＶ前後の電圧が印加されるため、陽極や出力部の付近では放電が多く発生する。そこで、ガラス管の真空側の表面上に、酸化クロム及び水ガラスの混合物で形成された酸化クロム膜を形成し、放電の発生を抑制している。   The anode and the output part are formed at or near the output window. Since a voltage of about + several tens of kV is applied to the anode and the output portion, a large amount of discharge occurs near the anode and the output portion. Therefore, a chromium oxide film formed of a mixture of chromium oxide and water glass is formed on the vacuum side surface of the glass tube to suppress the occurrence of discharge.

特開２００５−２６８１９７号公報JP 2005-268197 A 特開平９−２６５９２３号公報JP-A-9-265923

上記Ｘ線イメージ管において、製品寿命がきたＸ線イメージ管は回収され、分解及び分別される。酸化クロム膜の水ガラスは、真空雰囲気中では安定しているが、大気中では湿気により溶解してしまう。溶解した水ガラスは酸化クロムとともに流動するため、酸化クロム膜は、高抵抗を保つことができなくなってしまう。このため、酸化クロム膜が形成されたバルブは全て破棄されることになる。   In the X-ray image tube, the X-ray image tube whose product life has been reached is collected, disassembled and separated. Although the water glass of a chromium oxide film is stable in a vacuum atmosphere, it is dissolved in the atmosphere by moisture. Since the melted water glass flows together with chromium oxide, the chromium oxide film cannot maintain high resistance. For this reason, all the valves on which the chromium oxide film is formed are discarded.

この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、イメージ管からバルブを再利用可能に回収することのできるイメージ管からバルブを回収する回収方法及び上記回収方法によって回収されたバルブを再利用したイメージ管の製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a recovery method for recovering a valve from an image tube that can be recovered from the image tube in a reusable manner, and a valve recovered by the recovery method. It is to provide a method for manufacturing a reused image tube.

上記課題を解決するため、本発明の態様に係るイメージ管からバルブを回収する回収方法は、
電子を放出可能な光電陰極を有した入力部と、前記入力部に対向配置され、入力される電子を光に変換する出力部と、前記光電陰極から放出される電子を加速集束させて前記出力部に入力させる集束電極及び陽極と、前記入力部に対向した入力窓と、前記出力部に対向した出力窓と、導電材料で形成され前記入力窓に接続された第１管部と、絶縁材料で形成され前記第１管部及び出力窓間に接続された第２管部と、を有し、前記入力窓及び出力窓とともに前記入力部、集束電極、陽極及び出力部を収容した真空外囲器を形成するバルブと、前記第２管部の内側の表面上に設けられ、酸化クロム及び水ガラスの混合物で形成された酸化クロム膜と、を備えたイメージ管からバルブを回収する回収方法において、
前記イメージ管のバルブから前記入力窓、出力窓、入力部、出力部、集束電極及び陽極を取外し、前記イメージ管から前記バルブを取出し、
前記取出されたバルブから前記酸化クロム膜を剥離することを特徴としている。 In order to solve the above problems, a recovery method for recovering a valve from an image tube according to an aspect of the present invention includes:
An input unit having a photocathode capable of emitting electrons, an output unit arranged opposite to the input unit and converting input electrons into light, and the output emitted by accelerating and focusing electrons emitted from the photocathode A focusing electrode and an anode to be input to the unit; an input window facing the input unit; an output window facing the output unit; a first tube unit formed of a conductive material and connected to the input window; and an insulating material And a second tube portion connected between the first tube portion and the output window, and containing the input portion, the focusing electrode, the anode, and the output portion together with the input window and the output window. In a recovery method for recovering a valve from an image tube, comprising: a valve forming a vessel; and a chromium oxide film formed on the inner surface of the second tube portion and formed of a mixture of chromium oxide and water glass ,
Removing the input window, output window, input unit, output unit, focusing electrode and anode from the valve of the image tube, and removing the valve from the image tube;
The chromium oxide film is peeled off from the extracted valve.

また、本発明の他の態様に係るイメージ管の製造方法は、
上記イメージ管からバルブを回収する回収方法によって回収された前記バルブを用意し、
前記用意したバルブの第２管部の内側の表面上に、酸化クロム及び水ガラスの混合物で形成された酸化クロム膜を設け、
前記酸化クロム膜が設けられたバルブを用いてイメージ管を完成させることを特徴としている。 In addition, a method for manufacturing an image tube according to another aspect of the present invention includes:
Prepare the valve recovered by the recovery method of recovering the valve from the image tube,
A chromium oxide film formed of a mixture of chromium oxide and water glass is provided on the inner surface of the second pipe portion of the prepared valve,
The image tube is completed using a valve provided with the chromium oxide film.

この発明によれば、イメージ管からバルブを再利用可能に回収することのできるイメージ管からバルブを回収する回収方法及び上記回収方法によって回収されたバルブを再利用したイメージ管の製造方法を提供することができる。   According to the present invention, there are provided a recovery method for recovering a valve from an image tube in a reusable manner and a method for manufacturing an image tube that reuses a valve recovered by the recovery method. be able to.

図１は、本発明の実施の形態に係るＸ線イメージ管を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing an X-ray image tube according to an embodiment of the present invention. 図２は、上記Ｘ線イメージ管からバルブを回収する回収方法を示すフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart showing a collecting method for collecting the valve from the X-ray image tube. 図３は、上記回収方法によって回収されたバルブを示す概略断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing the valve recovered by the recovery method. 図４は、上記回収方法によって回収されたバルブを再利用したＸ線イメージ管の製造方法を示すフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart showing a method of manufacturing an X-ray image tube that reuses the valve recovered by the recovery method. 図５は、上記回収方法によって回収されたバルブに酸化クロム膜が設けられた状態を示す概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a state in which a chromium oxide film is provided on the valve recovered by the recovery method.

以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態に係るＸ線イメージ管からバルブを回収する回収方法及びＸ線イメージ管の製造方法について詳細に説明する。始めに、Ｘ線イメージ管の構成について説明する。   Hereinafter, a collection method for collecting a valve from an X-ray image tube and a method for manufacturing an X-ray image tube according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First, the configuration of the X-ray image tube will be described.

図１に示しように、Ｘ線イメージ管は、入力部１０、出力部２０、集束電極３０、陽極４０、真空外囲器５０及び酸化クロム膜６０を備えている。真空外囲器５０は、入力窓５１、出力窓５２、第１管部として、導電材料としての金属で形成された金属管５３、第２管部として、絶縁材料としてのガラスで形成されたガラス管５４及び金属で形成されたフランジ５５、５６を有している。金属管５３及びガラス管５４は気密に接続され、バルブＢを形成している。例えば、金属管５３は、アルミ又はステンレスで形成されている。フランジ５５、５６は、コバールで形成されている。   As shown in FIG. 1, the X-ray image tube includes an input unit 10, an output unit 20, a focusing electrode 30, an anode 40, a vacuum envelope 50, and a chromium oxide film 60. The vacuum envelope 50 includes an input window 51, an output window 52, a metal tube 53 formed of a metal as a conductive material as a first tube portion, and a glass formed of glass as an insulating material as a second tube portion. It has the pipe | tube 54 and the flanges 55 and 56 formed with the metal. The metal tube 53 and the glass tube 54 are hermetically connected to form a bulb B. For example, the metal tube 53 is made of aluminum or stainless steel. The flanges 55 and 56 are made of Kovar.

入力部１０は、アルミ基板、入力蛍光面及び光電陰極を有している。アルミ基板は、入力窓５１と対向している。入力蛍光面は、アルミ基板上にＣｓＩ（ヨウ化セシウム）で形成された蛍光膜である。入力蛍光面上に、光電陰極（光電面）が形成されている。光電陰極は、真空蒸着により、アンチモン及びアルカリ金属で形成されている。光電陰極は接地されている。   The input unit 10 includes an aluminum substrate, an input phosphor screen, and a photocathode. The aluminum substrate faces the input window 51. The input phosphor screen is a phosphor film formed of CsI (cesium iodide) on an aluminum substrate. A photocathode (photocathode) is formed on the input phosphor screen. The photocathode is formed of antimony and alkali metal by vacuum deposition. The photocathode is grounded.

入力窓５１及びアルミ基板を透過したＸ線が入力蛍光面に入射されることにより、入力蛍光面にＸ線像が作られる。入力蛍光面は、Ｘ線像を可視光像に変換するものである。可視光像は光電陰極で電子像に変換される。光電陰極は、電子像から電子（光電子）を放出するものである。すなわち、光電陰極は、光が入射されることにより電子を放出可能である。   X-rays transmitted through the input window 51 and the aluminum substrate are incident on the input phosphor screen, whereby an X-ray image is created on the input phosphor screen. The input phosphor screen converts an X-ray image into a visible light image. The visible light image is converted into an electronic image by the photocathode. A photocathode emits electrons (photoelectrons) from an electron image. That is, the photocathode can emit electrons when light is incident thereon.

出力部２０は入力部１０に対向配置されている。出力部２０は、出力蛍光面２１を有している。出力蛍光面２１は出力窓５２と対向している。ここでは、出力蛍光面２１は、出力窓５２の真空側の表面上に形成されている。詳しくは、出力蛍光面２１は、出力窓５２の表面上に蛍光体を成膜することにより形成されている。出力部２０（出力蛍光面２１）には、数十ｋＶの電圧が印加される。   The output unit 20 is disposed to face the input unit 10. The output unit 20 has an output phosphor screen 21. The output phosphor screen 21 faces the output window 52. Here, the output phosphor screen 21 is formed on the vacuum side surface of the output window 52. Specifically, the output phosphor screen 21 is formed by depositing a phosphor on the surface of the output window 52. A voltage of several tens of kV is applied to the output unit 20 (output phosphor screen 21).

光電陰極から放出された電子（光電子）が出力蛍光面２１に入力されることにより、出力蛍光面２１に電子像が作られる。出力蛍光面２１は、電子像を可視光像に変換するものである。すなわち、出力蛍光面２１は、入力される電子（光電子）を光に変換するものである。出力蛍光面２１で変換された光は、出力窓５２を透過して、外部に放出される。   When electrons (photoelectrons) emitted from the photocathode are input to the output phosphor screen 21, an electron image is created on the output phosphor screen 21. The output phosphor screen 21 converts an electronic image into a visible light image. That is, the output fluorescent screen 21 converts input electrons (photoelectrons) into light. The light converted by the output phosphor screen 21 passes through the output window 52 and is emitted to the outside.

集束電極３０は、Ｇ１電極３１、Ｇ２電極３２、Ｇ３電極３３の３個の電極で形成されている。Ｇ１電極３１、Ｇ２電極３２及びＧ３電極３３は、それぞれ金属で筒状に形成されている。Ｇ３電極３３には、数ｋＶ乃至数十ｋＶ程度の電圧が印加される。   The focusing electrode 30 is formed of three electrodes, a G1 electrode 31, a G2 electrode 32, and a G3 electrode 33. Each of the G1 electrode 31, the G2 electrode 32, and the G3 electrode 33 is formed of a metal in a cylindrical shape. A voltage of about several kV to several tens of kV is applied to the G3 electrode 33.

陽極４０は、出力窓５２に取付けられている。陽極４０には、数十ｋＶの電圧が印加される。
集束電極３０及び陽極４０は、光電陰極から出力蛍光面２１に向かう電子の軌道を取り囲むように設けられている。集束電極３０及び陽極４０は、光電陰極から放出される電子を加速集束させて出力部２０に入力させるものである。 The anode 40 is attached to the output window 52. A voltage of several tens of kV is applied to the anode 40.
The focusing electrode 30 and the anode 40 are provided so as to surround an electron trajectory from the photocathode toward the output phosphor screen 21. The focusing electrode 30 and the anode 40 are for accelerating and focusing electrons emitted from the photocathode and inputting them to the output unit 20.

入力窓５１は、外縁部に金属製のフランジ５１ａを有している。フランジ５１ａは例えばコバールで形成されている。金属管５３は、一端部に金属製のフランジ５３ａを有している。フランジ５１ａ、５３ａは、例えばコバールで形成されている。フランジ５１ａ及びフランジ５３ａの端部同士は、溶接され、気密に封着されている。フランジ５１ａ及びフランジ５３ａの溶接部Ｗ１は、後で説明するように、バルブＢを回収する際に切除され、入力窓５１がバルブＢから取外される。   The input window 51 has a metal flange 51a at the outer edge. The flange 51a is made of Kovar, for example. The metal tube 53 has a metal flange 53a at one end. The flanges 51a and 53a are made of, for example, kovar. The ends of the flange 51a and the flange 53a are welded and hermetically sealed. As will be described later, the welded portion W1 of the flange 51a and the flange 53a is removed when the valve B is recovered, and the input window 51 is removed from the valve B.

フランジ５５は、出力窓５２の外縁部に接続されている。フランジ５６は、ガラス管５４の一端部に接続されている。フランジ５５及びフランジ５６の端部同士は、溶接され、気密に封着されている。フランジ５５及びフランジ５６の溶接部Ｗ２は、後で説明するように、バルブＢを回収する際に切除され、出力窓５２がバルブＢから取外される。   The flange 55 is connected to the outer edge of the output window 52. The flange 56 is connected to one end of the glass tube 54. The ends of the flange 55 and the flange 56 are welded and hermetically sealed. As will be described later, the flange 55 and the welded portion W2 of the flange 56 are removed when the valve B is recovered, and the output window 52 is removed from the valve B.

上記のように、真空外囲器５０は構成部材同士が溶接され気密に形成されている。真空外囲器５０の内部は、真空状態に保持されている。真空外囲器５０は、入力部１０、出力部２０、集束電極３０及び陽極４０を収容している。   As described above, the vacuum envelope 50 is formed hermetically by welding the components. The inside of the vacuum envelope 50 is maintained in a vacuum state. The vacuum envelope 50 accommodates the input unit 10, the output unit 20, the focusing electrode 30, and the anode 40.

ガラス管５４は、金属管５３及び出力窓５２（出力部２０，陽極４０）間を絶縁している。また、ガラス管５４には、Ｇ３電極３３が接続されている。ガラス管５４は、金属管５３及びＧ３電極３３間を絶縁している。ガラス管５４は、Ｇ３電極３３及び出力窓５２（出力部２０，陽極４０）間を絶縁している。   The glass tube 54 insulates between the metal tube 53 and the output window 52 (the output unit 20 and the anode 40). Further, the G3 electrode 33 is connected to the glass tube 54. The glass tube 54 insulates between the metal tube 53 and the G3 electrode 33. The glass tube 54 insulates between the G3 electrode 33 and the output window 52 (the output unit 20 and the anode 40).

酸化クロム膜６０は、ガラス管５４の内側（真空側）の表面上に設けられている。酸化クロム膜６０は、酸化クロム及び水ガラスの混合物で形成されている。すなわち、酸化クロムは水ガラスを媒体としてガラス管５４に設けられている。酸化クロムとしては、例えば三酸化二クロム（Ｃｒ２Ｏ３）が挙げられる。酸化クロム膜６０は、高い電気抵抗を保つことができる。酸化クロム膜６０は、ガラス管５４に生じる恐れのある放電の発生を抑制できるため、放電に伴う不所望な光が光電陰極に入射し、不所望な電子が光電陰極から放出され、出力蛍光面２１が不所望に発光する現象を抑制することができる。
上記のようにＸ線イメージ管が形成されている。 The chromium oxide film 60 is provided on the inner (vacuum side) surface of the glass tube 54. The chromium oxide film 60 is formed of a mixture of chromium oxide and water glass. That is, chromium oxide is provided in the glass tube 54 using water glass as a medium. An example of chromium oxide is dichromium trioxide (Cr 2 O 3 ). The chromium oxide film 60 can maintain high electrical resistance. Since the chromium oxide film 60 can suppress the occurrence of a discharge that may occur in the glass tube 54, undesired light associated with the discharge is incident on the photocathode, undesired electrons are emitted from the photocathode, and the output phosphor screen. The phenomenon that 21 emits light undesirably can be suppressed.
An X-ray image tube is formed as described above.

次に、上記Ｘ線イメージ管からバルブを回収する回収方法について説明する。
図１及び図２に示すように、使用済みのＸ線イメージ管からバルブＢを回収する回収がスタートすると、まず、ステップＳ１ａにおいて、Ｘ線イメージ管の溶接部Ｗ１、Ｗ２をそれぞれ切除し、ステップＳ２ａにおいて、Ｘ線イメージ管のバルブＢから、入力窓５１、出力窓５２、入力部１０、出力部２０、集束電極３０及び陽極４０を取外し、Ｘ線イメージ管からバルブＢを取出す。詳しくは、Ｘ線イメージ管のバルブＢから、入力窓５１及び入力部１０、並びに出力窓５２、出力部２０及び陽極４０を取外した後、集束電極３０を取外す。なお、バルブＢはフランジ５６が接続された状態で取出される。 Next, a recovery method for recovering the valve from the X-ray image tube will be described.
As shown in FIGS. 1 and 2, when the collection of the valve B from the used X-ray image tube is started, first, in step S1a, the welded portions W1 and W2 of the X-ray image tube are respectively excised. In S2a, the input window 51, the output window 52, the input unit 10, the output unit 20, the focusing electrode 30 and the anode 40 are removed from the valve B of the X-ray image tube, and the valve B is extracted from the X-ray image tube. Specifically, after removing the input window 51 and the input unit 10 and the output window 52, the output unit 20 and the anode 40 from the valve B of the X-ray image tube, the focusing electrode 30 is removed. The valve B is taken out with the flange 56 connected.

次いで、ステップＳ３ａにおいて、バルブＢから酸化クロム膜６０を剥離する。この際、酸化クロム膜６０は、ウエットエッチングを行うことにより剥離される。詳しくは、バルブＢをフッ素系の溶液中に浸漬し、２乃至５分程度洗うことで、酸化クロム膜６０は大まかに剥離される。上記フッ素系の溶液（薬品）としては、アクタン、フッ化アンモニウム等が挙げられる。   Next, the chromium oxide film 60 is peeled from the valve B in step S3a. At this time, the chromium oxide film 60 is peeled off by performing wet etching. Specifically, the chromium oxide film 60 is roughly peeled off by immersing the valve B in a fluorine-based solution and washing it for about 2 to 5 minutes. Examples of the fluorine-based solution (chemical) include actin and ammonium fluoride.

その後、ステップＳ４ａにおいて、バルブＢに残留している酸化クロム膜６０の残留物を除去する。酸化クロム膜６０の残留物は、ガラス管５４及びフランジ５６の接続部分（溶着部分）及びバルブＢの凹凸部分などに存在する。このため、酸化クロム膜６０の残留物を除去する際、ブラシなどを用いて除去（剥離）する。   Thereafter, in step S4a, the residue of the chromium oxide film 60 remaining on the valve B is removed. Residues of the chromium oxide film 60 are present at the connecting portion (welded portion) of the glass tube 54 and the flange 56, the uneven portion of the bulb B, and the like. For this reason, when removing the residue of the chromium oxide film 60, it is removed (peeled) using a brush or the like.

続いて、ステップＳ５ａにおいて、酸化クロム膜６０が除去されたバルブＢを洗浄する。図１乃至図３に示すように、これにより、Ｘ線イメージ管からバルブＢが回収され、上記回収方法は終了する。   Subsequently, in step S5a, the valve B from which the chromium oxide film 60 has been removed is washed. As shown in FIGS. 1 to 3, the valve B is recovered from the X-ray image tube, and the recovery method is completed.

次に、上記Ｘ線イメージ管からバルブを回収する回収方法によって回収されたバルブＢを再利用したＸ線イメージ管の製造方法について説明する。
図３及び図４に示すように、上記回収されたバルブＢを再利用したＸ線イメージ管の製造がスタートすると、まず、ステップＳ１ｂにおいて、上記回収されたバルブＢを用意した後、ステップＳ２ｂにおいて、バルブＢの内側の表面に表面処理としてのホーニングを施す。ホーニングを施す際、バルブＢの金属管５３又はガラス管５４は図示しない治具で予め固定されている。なお、この治具は、バルブＢを回転可能である。ホーニングを施す位置は、酸化クロム膜６０を形成したい位置である。これにより、バルブＢの内側のホーニングが施された表面は粗面化される。 Next, a method of manufacturing an X-ray image tube that reuses the valve B recovered by the recovery method of recovering the valve from the X-ray image tube will be described.
As shown in FIGS. 3 and 4, when the manufacture of the X-ray image tube using the collected valve B is started, first, in step S1b, the collected valve B is prepared, and then in step S2b. Then, honing as a surface treatment is performed on the inner surface of the valve B. When honing is performed, the metal tube 53 or the glass tube 54 of the valve B is fixed in advance with a jig (not shown). This jig can rotate the valve B. The position where honing is performed is the position where the chromium oxide film 60 is to be formed. Thereby, the surface to which the honing inside the valve | bulb B was given is roughened.

次いで、ステップＳ３ｂにおいて、上記ホーニングによってバルブＢの内側の表面に付着した付着物を取除くため、バルブＢの内側の表面に酸処理（酸洗浄）を施す。これにより、バルブＢの内側の表面に付着した付着物は取除かれ、バルブＢの内側に凹凸状の面である粗面が形成される。その後、ステップＳ４ｂにおいて、バルブＢの内側の表面（粗面）上に、用意した酸化クロム及び水ガラスの混合物を塗布する。   Next, in step S3b, an acid treatment (acid cleaning) is performed on the inner surface of the valve B in order to remove deposits attached to the inner surface of the valve B by the honing. Thereby, the adhering matter adhering to the inner surface of the bulb B is removed, and a rough surface which is an uneven surface is formed inside the bulb B. Thereafter, in step S4b, the prepared mixture of chromium oxide and water glass is applied on the inner surface (rough surface) of the valve B.

続いて、ステップＳ５ｂにおいて、バルブＢに真空加熱処理を施す。図４及び図５に示すように、これにより、バルブＢの内側の表面上に酸化クロム膜６０が形成される。真空加熱処理を施す際、例えば、上記治具から取外したバルブＢを図示しない真空チャンバ内に搬入し、真空雰囲気中でバルブＢを加熱すればよい。   Subsequently, in step S5b, the valve B is subjected to vacuum heat treatment. As a result, a chromium oxide film 60 is formed on the inner surface of the valve B as shown in FIGS. When performing the vacuum heat treatment, for example, the valve B removed from the jig may be carried into a vacuum chamber (not shown) and the valve B may be heated in a vacuum atmosphere.

図１及び図４に示すように、その後、ステップＳ６ｂにおいて、酸化クロム膜６０が設けられたバルブＢに、集束電極３０を取付けた後、入力窓５１及び入力部１０、並びに出力窓５２、出力部２０及び陽極４０を取付ける。集束電極３０は、新品を用いてもよいが、バルブＢと同様、再利用してもよい。入力窓５１、入力部１０、出力窓５２、出力部２０及び陽極４０は、それぞれ新品が用いられる。   As shown in FIG.1 and FIG.4, after attaching the focusing electrode 30 to the valve | bulb B in which the chromium oxide film | membrane 60 was provided in step S6b after that, the input window 51, the input part 10, the output window 52, and output The part 20 and the anode 40 are attached. The focusing electrode 30 may be a new one, but may be reused like the valve B. New ones are used for the input window 51, the input unit 10, the output window 52, the output unit 20, and the anode 40, respectively.

上記取付ける際、必要に応じて入力窓５１のフランジ５１ａの端部がフランジ５３ａの端部と面一となるよう加工などした後、フランジ５１ａ及びフランジ５３ａの端部同士を溶接する。また、必要に応じて出力窓５２に接続されたフランジ５５の端部がフランジ５６の端部と面一となるよう加工などした後、フランジ５５及びフランジ５６の端部同士を溶接する。   At the time of mounting, after processing the end of the flange 51a of the input window 51 to be flush with the end of the flange 53a as necessary, the ends of the flange 51a and the flange 53a are welded together. Moreover, after processing so that the edge part of the flange 55 connected to the output window 52 may become flush | planar with the edge part of the flange 56 as needed, the edge parts of the flange 55 and the flange 56 are welded.

次いで、上記のように組立てられたＸ線イメージ管の真空外囲器５０の内部を真空排気し、光電陰極を形成する。これにより、回収したバルブＢを用いたＸ線イメージ管が完成し、上記製造方法は終了する。   Next, the inside of the vacuum envelope 50 of the X-ray image tube assembled as described above is evacuated to form a photocathode. Thereby, the X-ray image tube using the collected valve B is completed, and the manufacturing method is completed.

以上のように構成されたＸ線イメージ管からバルブＢを回収する回収方法及びＸ線イメージ管の製造方法によれば、バルブＢを回収する際、回収したＸ線イメージ管のバルブＢから入力窓５１、出力窓５２、入力部１０、出力部２０、集束電極３０及び陽極４０を取外し、Ｘ線イメージ管からバルブＢを取出した後、バルブＢから酸化クロム膜６０を剥離している。   According to the recovery method for recovering the valve B from the X-ray image tube configured as described above and the method for manufacturing the X-ray image tube, when the valve B is recovered, the input window is opened from the valve B of the recovered X-ray image tube. 51, the output window 52, the input unit 10, the output unit 20, the focusing electrode 30 and the anode 40 are removed, and the valve B is taken out from the X-ray image tube, and then the chromium oxide film 60 is peeled off from the valve B.

Ｘ線イメージ管を製造する際、上記回収されたバルブＢのガラス管５４の内側の表面上に、酸化クロム及び水ガラスの混合物で形成された酸化クロム膜６０を設けた後、このバルブＢを用いてＸ線イメージ管を完成させている。
従来破棄していたバルブＢを再利用することができるため、環境的側面の向上に寄与するだけでなく、材料費の低減にも繋げることができる。 When an X-ray image tube is manufactured, a chromium oxide film 60 formed of a mixture of chromium oxide and water glass is provided on the inner surface of the collected glass tube 54 of the bulb B, and then the bulb B is formed. An X-ray image tube has been completed.
Since the previously discarded valve B can be reused, it not only contributes to the improvement of the environmental aspect, but can also lead to a reduction in material costs.

ウエットエッチングを用いてバルブＢから酸化クロム膜６０を剥離する際、バルブＢをフッ素系の溶液中に浸漬している。これにより、酸化クロム膜６０をバルブＢから良好に剥離することができる。   When the chromium oxide film 60 is peeled from the bulb B using wet etching, the bulb B is immersed in a fluorine-based solution. Thereby, the chromium oxide film 60 can be favorably peeled from the valve B.

酸化クロム膜６０は、上記回収されたバルブＢに形成された場合でも、ガラス管５４に生じる恐れのある放電の発生を抑制できるため、放電に伴う不所望な光が光電陰極に入射し、不所望な電子が光電陰極から放出され、出力蛍光面２１が不所望に発光する現象を抑制することができる。   Even when the chromium oxide film 60 is formed on the recovered bulb B, it is possible to suppress the occurrence of a discharge that may occur in the glass tube 54, so that undesired light accompanying the discharge is incident on the photocathode, A phenomenon in which desired electrons are emitted from the photocathode and the output phosphor screen 21 emits light undesirably can be suppressed.

上記したことから、Ｘ線イメージ管からバルブＢを再利用可能に回収することのできるＸ線イメージ管からバルブを回収する回収方法及び上記回収方法によって回収されたバルブＢを再利用したＸ線イメージ管の製造方法を得ることができる。   As described above, the valve B can be recovered from the X-ray image tube in a reusable manner. The recovery method for recovering the valve from the X-ray image tube, and the X-ray image that reuses the valve B recovered by the recovery method. A tube manufacturing method can be obtained.

なお、この発明は上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化可能である。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and can be embodied by modifying the components without departing from the scope of the invention in the implementation stage. Various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiments. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment.

この発明は、上記Ｘ線イメージ管からバルブを回収する回収方法及び上記回収方法によって回収されたバルブを再利用したＸ線イメージ管の製造方法に限らず、各種イメージ管からバルブを回収する回収方法及び上記回収方法によって回収されたバルブを再利用した各種イメージ管の製造方法に適用可能である。   The present invention is not limited to a recovery method for recovering a valve from the X-ray image tube and a method for manufacturing an X-ray image tube that reuses a valve recovered by the recovery method, and a recovery method for recovering a valve from various image tubes. In addition, the present invention can be applied to various image tube manufacturing methods that reuse the valves recovered by the recovery method.

１０…入力部、２０…出力部、２１…出力蛍光面、３０…集束電極、４０…陽極、５０…真空外囲器、５１…入力窓、５２…出力窓、５３…金属管、５４…ガラス管、６０…酸化クロム膜、Ｂ…バルブ。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Input part, 20 ... Output part, 21 ... Output fluorescent screen, 30 ... Focusing electrode, 40 ... Anode, 50 ... Vacuum envelope, 51 ... Input window, 52 ... Output window, 53 ... Metal tube, 54 ... Glass Tube, 60 ... chromium oxide film, B ... bulb.

Claims (5)

電子を放出可能な光電陰極を有した入力部と、前記入力部に対向配置され、入力される電子を光に変換する出力部と、前記光電陰極から放出される電子を加速集束させて前記出力部に入力させる集束電極及び陽極と、前記入力部に対向した入力窓と、前記出力部に対向した出力窓と、導電材料で形成され前記入力窓に接続された第１管部と、絶縁材料で形成され前記第１管部及び出力窓間に接続された第２管部と、を有し、前記入力窓及び出力窓とともに前記入力部、集束電極、陽極及び出力部を収容した真空外囲器を形成するバルブと、前記第２管部の内側の表面上に設けられ、酸化クロム及び水ガラスの混合物で形成された酸化クロム膜と、を備えたイメージ管からバルブを回収する回収方法において、
前記イメージ管のバルブから前記入力窓、出力窓、入力部、出力部、集束電極及び陽極を取外し、前記イメージ管から前記バルブを取出し、
前記取出されたバルブから前記酸化クロム膜を剥離することを特徴とするイメージ管からバルブを回収する回収方法。 An input unit having a photocathode capable of emitting electrons, an output unit arranged opposite to the input unit and converting input electrons into light, and the output emitted by accelerating and focusing electrons emitted from the photocathode A focusing electrode and an anode to be input to the unit; an input window facing the input unit; an output window facing the output unit; a first tube unit formed of a conductive material and connected to the input window; and an insulating material And a second tube portion connected between the first tube portion and the output window, and containing the input portion, the focusing electrode, the anode, and the output portion together with the input window and the output window. In a recovery method for recovering a valve from an image tube, comprising: a valve forming a vessel; and a chromium oxide film formed on the inner surface of the second tube portion and formed of a mixture of chromium oxide and water glass ,
Removing the input window, output window, input unit, output unit, focusing electrode and anode from the valve of the image tube, and removing the valve from the image tube;
A recovery method for recovering a valve from an image tube, wherein the chromium oxide film is peeled off from the extracted valve. 前記酸化クロム膜が剥離されたバルブに残留している前記酸化クロム膜の残留物を除去し、
前記酸化クロム膜の残留物を除去した後、前記バルブを洗浄することを特徴とする請求項１に記載のイメージ管からバルブを回収する回収方法。 Removing the residue of the chromium oxide film remaining on the valve from which the chromium oxide film has been peeled;
2. The recovery method for recovering a valve from an image tube according to claim 1, wherein the valve is washed after removing the residue of the chromium oxide film. 前記バルブから前記酸化クロム膜を剥離する際、ウエットエッチングを行うことを特徴とする請求項１又は２に記載のイメージ管からバルブを回収する回収方法。   The recovery method for recovering a valve from an image tube according to claim 1, wherein wet etching is performed when the chromium oxide film is peeled from the valve. 前記ウエットエッチングを行う際、前記バルブをフッ素系の溶液中に浸漬することを特徴とする請求項３に記載のイメージ管からバルブを回収する回収方法。   4. The recovery method for recovering a valve from an image tube according to claim 3, wherein when performing the wet etching, the valve is immersed in a fluorine-based solution. 請求項１に記載のイメージ管からバルブを回収する回収方法によって回収された前記バルブを用意し、
前記用意したバルブの第２管部の内側の表面上に、酸化クロム及び水ガラスの混合物で形成された酸化クロム膜を設け、
前記酸化クロム膜が設けられたバルブを用いてイメージ管を完成させることを特徴とするイメージ管の製造方法。 Preparing the valve recovered by the recovery method of recovering the valve from the image tube according to claim 1;
A chromium oxide film formed of a mixture of chromium oxide and water glass is provided on the inner surface of the second pipe portion of the prepared valve,
A method of manufacturing an image tube, wherein the image tube is completed using a valve provided with the chromium oxide film.
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