JP2011234196A - Piezoelectric device and electronic equipment - Google Patents

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piezoelectric
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Yoshiaki Matsumoto
好明 松本
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric device and an electronic equipment that can be miniaturized while facilitating manufacture of the piezoelectric device.SOLUTION: The piezoelectric device includes: a base substrate 51 provided with an internal terminal pair 55; a piezoelectric substrate 21 fixed to the base substrate 51; an IDT (interdigital transducer) 22 provided on the piezoelectric substrate 21; a surface acoustic wave element piece 2 provided on the piezoelectric substrate 21 and having an extraction electrode pair 24 that are electrically connected to the IDT 22; a first passive component 31 joined so as to straddle one terminal of the internal terminal pair 55 and one terminal of the extraction electrode pair 24; and a second passive component 32 joined so as to straddle the other terminal of the internal terminal pair 55 and the other terminal of the extraction electrode pair 24.

Description

本発明は、圧電デバイスおよび電子機器に関するものである。   The present invention relates to a piezoelectric device and an electronic apparatus.

圧電デバイスとしては、弾性表面波(Surface Acoustic Wave:SAW)を利用した弾性表面波素子が知られている。
弾性表面波素子は、板状の圧電体基板と、この圧電体基板上に設けられたIDT(Interdigital Transducer)とを備える弾性表面波素子片を有している。
また、弾性表面波素子片の他に、能動機能を有するIC(集積回路)と、受動機能を有する受動部品とを備え、これらが発振回路を構成するものが知られている(例えば、特許文献1参照)。このような弾性表面波素子では、弾性表面波素子片、ICおよび受動部品がパッケージ内に収納されている。
As a piezoelectric device, a surface acoustic wave element using surface acoustic wave (SAW) is known.
The surface acoustic wave element includes a surface acoustic wave element including a plate-shaped piezoelectric substrate and an IDT (Interdigital Transducer) provided on the piezoelectric substrate.
In addition to the surface acoustic wave element piece, there is known an IC (integrated circuit) having an active function and a passive component having a passive function, which constitute an oscillation circuit (for example, a patent document). 1). In such a surface acoustic wave element, a surface acoustic wave element piece, an IC, and a passive component are housed in a package.

従来では、特許文献1に開示されているように、弾性表面波素子片と受動部品およびICをそれぞれワイヤーを介して電気的に接続している。
そのため、このような弾性表面波素子では、弾性表面波素子片を平面視したときに、弾性表面波素子片、受動部品およびICが互いに重ならないように配置しなければならないため、大型化を招くと言う問題があった。
また、従来では、前述したワイヤーをワイヤーボンディングにより形成するので、製造工程が複雑化すると言う問題もあった。
Conventionally, as disclosed in Patent Document 1, a surface acoustic wave element piece, a passive component, and an IC are electrically connected via wires.
Therefore, in such a surface acoustic wave element, when the surface acoustic wave element piece is viewed in plan, the surface acoustic wave element piece, the passive component, and the IC must be arranged so as not to overlap each other, resulting in an increase in size. There was a problem.
Further, conventionally, since the wire described above is formed by wire bonding, there is a problem that the manufacturing process becomes complicated.

特開2005−64868号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2005-64868

本発明の目的は、圧電デバイスの製造を容易なものとしつつ、小型化を図ることができる圧電デバイスおよび電子機器を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a piezoelectric device and an electronic apparatus that can be miniaturized while facilitating the manufacture of the piezoelectric device.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]
本発明の圧電デバイスは、第1の端子対が設けられた基体と、
前記基体に対して固定された圧電体基板と、該圧電体基板上に設けられた櫛歯電極と、前記圧電体基板上に設けられ、前記櫛歯電極に電気的に接続された第2の端子対とを備える弾性表面波素子片と、
前記第1の端子対の一方の端子と前記第2の端子対の一方の端子とにそれぞれ電気的に接続された第1の受動部品と、
前記第1の端子対の他方の端子と前記第2の端子対の他方の端子とにそれぞれ電気的に接続された第2の受動部品とを有し、
前記第1の受動部品は、前記第1の端子対の一方の端子と前記第2の端子対の一方の端子とに跨るように接合され、
前記第2の受動部品は、前記第1の端子対の他方の端子と前記第2の端子対の他方の端子とに跨るように接合されていることを特徴とする。
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.
[Application Example 1]
The piezoelectric device of the present invention includes a base provided with a first terminal pair,
A piezoelectric substrate fixed to the substrate; a comb electrode provided on the piezoelectric substrate; and a second electrode provided on the piezoelectric substrate and electrically connected to the comb electrode. A surface acoustic wave element including a terminal pair;
A first passive component electrically connected to one terminal of the first terminal pair and one terminal of the second terminal pair;
A second passive component electrically connected to the other terminal of the first terminal pair and the other terminal of the second terminal pair;
The first passive component is joined so as to straddle one terminal of the first terminal pair and one terminal of the second terminal pair,
The second passive component is joined so as to straddle the other terminal of the first terminal pair and the other terminal of the second terminal pair.

これにより、圧電体基板を平面視したときに、第1の受動部品および第2の受動部品の一部がそれぞれ圧電体基板と重なるように配置される。その結果、圧電デバイスの小型化を図ることができる。
また、第1の受動部品および第2の受動部品と第1の端子対および第2の端子対との接合は、ワイヤーボンディングのような複雑な方法を用いることなく、簡単に行うことができる。そのため、圧電デバイスの製造を容易なものとすることができる。
Thereby, when the piezoelectric substrate is viewed in plan, the first passive component and a part of the second passive component are arranged so as to overlap with the piezoelectric substrate, respectively. As a result, the piezoelectric device can be reduced in size.
Further, the joining of the first passive component and the second passive component to the first terminal pair and the second terminal pair can be easily performed without using a complicated method such as wire bonding. Therefore, the manufacture of the piezoelectric device can be facilitated.

[適用例2]
本発明の圧電デバイスでは、前記第1の受動部品および前記第2の受動部品は、それぞれ、チップ部品であることが好ましい。
チップ部品は、表面実装が可能であるため、第1の端子対および第2の端子対に導電性接着剤にて簡単かつ確実に接合することができる。
[Application Example 2]
In the piezoelectric device of the present invention, it is preferable that each of the first passive component and the second passive component is a chip component.
Since the chip component can be surface-mounted, it can be easily and reliably bonded to the first terminal pair and the second terminal pair with a conductive adhesive.

[適用例3]
本発明の圧電デバイスでは、前記チップ部品は、抵抗器、コンデンサ、コイルのうちのいずれかであることが好ましい。
これらの受動部品は、圧電デバイスの発振回路の一部を構成するものである。また、これらの受動部品は、ICのような電子部品(能動部品)内に組み込むことが難しいため、圧電デバイス内に発振回路を組み込む場合、ICのような電子部品とは別途圧電デバイスに搭載されることとなる。したがって、このような受動部品を第1の受動部品および第2の受動部品として用いることにより、圧電デバイス内に搭載される電子部品の実装面積を減らすことができる。その結果、圧電デバイスの小型化を効果的に図ることができる。
[Application Example 3]
In the piezoelectric device of the present invention, it is preferable that the chip component is any one of a resistor, a capacitor, and a coil.
These passive components constitute a part of the oscillation circuit of the piezoelectric device. In addition, since these passive components are difficult to be incorporated in electronic components (active components) such as ICs, when incorporating an oscillation circuit in a piezoelectric device, they are mounted on the piezoelectric device separately from electronic components such as ICs. The Rukoto. Therefore, by using such passive components as the first passive component and the second passive component, the mounting area of the electronic component mounted in the piezoelectric device can be reduced. As a result, it is possible to effectively reduce the size of the piezoelectric device.

[適用例4]
本発明の圧電デバイスでは、前記基体は、第1の面と、該第1の面よりも低い位置の第2の面とを形成する段差部を有し、
前記第1の端子対は、前記第1の面上に設けられ、
前記圧電体基板は、前記第2の面上に設けられ、
前記第2の端子対は、前記圧電体基板の前記第2の面とは反対側の面上に設けられていることが好ましい。
これにより、圧電体基板の厚さ方向における第1の電極対と第2の電極対との離間距離を小さくすることができる。そのため、第1の受動部品および第2の受動部品と第1の端子対および第2の端子対との接合を容易に行うことができる。
[Application Example 4]
In the piezoelectric device of the present invention, the base has a step portion that forms a first surface and a second surface at a position lower than the first surface,
The first terminal pair is provided on the first surface;
The piezoelectric substrate is provided on the second surface,
It is preferable that the second terminal pair is provided on a surface opposite to the second surface of the piezoelectric substrate.
Thereby, the separation distance between the first electrode pair and the second electrode pair in the thickness direction of the piezoelectric substrate can be reduced. Therefore, it is possible to easily join the first passive component and the second passive component to the first terminal pair and the second terminal pair.

[適用例5]
本発明の圧電デバイスでは、前記櫛歯電極は、前記圧電体基板の前記第2の面とは反対の面上に設けられていることが好ましい。
これにより、圧電体基板を基体上に設置した後においても、櫛歯電極に対して加工を施して弾性表面波素子片の周波数調整を行うことができる。
[Application Example 5]
In the piezoelectric device according to the aspect of the invention, it is preferable that the comb electrode is provided on a surface opposite to the second surface of the piezoelectric substrate.
As a result, even after the piezoelectric substrate is placed on the substrate, the comb-tooth electrode can be processed to adjust the frequency of the surface acoustic wave element.

[適用例6]
本発明の圧電デバイスでは、前記圧電体基板は、接着剤を介して前記第2の面に固定されていることが好ましい。
これにより、簡単かつ確実に、圧電体基板を基体に対して固定・支持することができる。また、圧電体基板を基体に対して固定・支持することにより、第1の受動部品および第2の受動部品と第1の端子対および第2の端子対との接合を安定化させることができる。このようなことから、圧電デバイスの信頼性を向上させることができる。
[Application Example 6]
In the piezoelectric device according to the aspect of the invention, it is preferable that the piezoelectric substrate is fixed to the second surface via an adhesive.
Accordingly, the piezoelectric substrate can be fixed and supported with respect to the base body easily and reliably. Further, by fixing and supporting the piezoelectric substrate with respect to the base body, it is possible to stabilize the bonding between the first passive component and the second passive component and the first terminal pair and the second terminal pair. . For this reason, the reliability of the piezoelectric device can be improved.

[適用例7]
本発明の圧電デバイスでは、前記接着剤は、前記圧電体基板を平面視したときに、前記第2の電極対の形成領域と重なる範囲に形成されていることが好ましい。
これにより、第1の受動部品および第2の受動部品と第1の端子対および第2の端子対との接合をより安定化させることができる。
[Application Example 7]
In the piezoelectric device according to the aspect of the invention, it is preferable that the adhesive is formed in a range that overlaps a formation region of the second electrode pair when the piezoelectric substrate is viewed in plan.
Thereby, joining of the 1st passive component and the 2nd passive component, and the 1st terminal pair and the 2nd terminal pair can be stabilized more.

[適用例8]
本発明の圧電デバイスでは、前記接着剤は、前記圧電体基板を平面視したときに、前記櫛歯電極と重ならない範囲に設けられていることが好ましい。
これにより、接着剤と弾性表面波素子片との間に生じた応力が櫛歯電極に悪影響を与えるのを防止することができる。そのため、圧電デバイスの振動特性を悪化させることがない。
[Application Example 8]
In the piezoelectric device according to the aspect of the invention, it is preferable that the adhesive is provided in a range that does not overlap the comb electrode when the piezoelectric substrate is viewed in plan.
Thereby, it is possible to prevent the stress generated between the adhesive and the surface acoustic wave element piece from adversely affecting the comb-tooth electrode. Therefore, the vibration characteristics of the piezoelectric device are not deteriorated.

[適用例9]
本発明の圧電デバイスでは、前記段差部の高さは、前記圧電体基板の厚さと同等であることが好ましい。
これにより、第1の端子対と第2の端子対とを面一とする(同一面に沿って配置する)ことができる。特に、段差部の高さを圧電体基板の厚さと同等とすると、第1の受動部品および第2の受動部品と第1の端子対および第2の端子対との接合を安定的に行うことができる。
[Application Example 9]
In the piezoelectric device according to the aspect of the invention, it is preferable that the height of the step portion is equal to the thickness of the piezoelectric substrate.
Thereby, the first terminal pair and the second terminal pair can be flush with each other (arranged along the same plane). In particular, when the height of the stepped portion is equal to the thickness of the piezoelectric substrate, the first passive component and the second passive component can be stably joined to the first terminal pair and the second terminal pair. Can do.

[適用例10]
本発明の圧電デバイスでは、前記第1の受動部品と前記第1の端子対および前記第2の端子対との接合、および、前記第2の受動部品と前記第1の端子対および前記第2の端子対との接合は、それぞれ、導電性接着剤により行われていることが好ましい。
これにより、簡単かつ確実に、これらの接合を行うことができる。
[Application Example 10]
In the piezoelectric device of the present invention, the first passive component is joined to the first terminal pair and the second terminal pair, and the second passive component is connected to the first terminal pair and the second terminal pair. Each of the terminal pairs is preferably joined with a conductive adhesive.
Thereby, these joining can be performed easily and reliably.

[適用例11]
本発明の圧電デバイスでは、前記弾性表面波素子片および前記受動部品を収納するパッケージを有し、
前記基体は、前記パッケージの一部を構成することが好ましい。
これにより、パッケージ化された小型な圧電デバイスを実現することができる。
[Application Example 11]
In the piezoelectric device of the present invention, it has a package for housing the surface acoustic wave element piece and the passive component,
The substrate preferably constitutes a part of the package.
Thereby, a small packaged piezoelectric device can be realized.

[適用例12]
本発明の圧電デバイスでは、前記第1の端子対の一方の端子は、前記第2の端子対の一方の端子近傍に設けられ、
前記第1の端子対の他方の端子は、前記第2の端子対の他方の端子近傍に設けられていることが好ましい。
これにより、第1の受動部品および第2の受動部品の寸法がそれぞれ比較的小さくても、第1の受動部品および第2の受動部品と第1の端子対および第2の端子対との接合を行うことができる。
[Application Example 12]
In the piezoelectric device of the present invention, one terminal of the first terminal pair is provided in the vicinity of one terminal of the second terminal pair,
The other terminal of the first terminal pair is preferably provided in the vicinity of the other terminal of the second terminal pair.
As a result, even if the dimensions of the first passive component and the second passive component are relatively small, the first passive component and the second passive component are joined to the first terminal pair and the second terminal pair. It can be performed.

[適用例13]
本発明の圧電デバイスでは、前記圧電体基板は、平面視にて矩形をなしており、
前記第2の端子対の両端子は、前記圧電体基板の1つの辺付近に設けられていることが好ましい。
これにより、第1の受動部品および第2の受動部品により圧電体基板を片持ち支持することができる。そのため、圧電体基板の熱膨張による不本意な変形や歪みの発生を防止することができる。その結果、圧電デバイスの信頼性を向上させることができる。
[Application Example 13]
In the piezoelectric device of the present invention, the piezoelectric substrate has a rectangular shape in plan view,
Both terminals of the second terminal pair are preferably provided near one side of the piezoelectric substrate.
Thereby, the piezoelectric substrate can be cantilevered by the first passive component and the second passive component. Therefore, it is possible to prevent unintentional deformation and distortion due to thermal expansion of the piezoelectric substrate. As a result, the reliability of the piezoelectric device can be improved.

[適用例14]
本発明の圧電デバイスでは、前記圧電体基板は、平面視にて矩形をなしており、
前記第2の端子対の一方の端子は、前記圧電体基板の互いに対向する1対の辺の一方の辺付近に設けられ、前記第2の端子対の他方の端子は、前記圧電体基板の前記1対の辺の他方の辺付近に設けられていることが好ましい。
これにより、第1の受動部品および第2の受動部品により圧電体基板を両持ち支持することができる。そのため、基体に対して圧電体基板を安定的に固定・支持することができる。
[Application Example 14]
In the piezoelectric device of the present invention, the piezoelectric substrate has a rectangular shape in plan view,
One terminal of the second terminal pair is provided in the vicinity of one side of the pair of opposite sides of the piezoelectric substrate, and the other terminal of the second terminal pair is provided on the piezoelectric substrate. It is preferable to be provided near the other side of the pair of sides.
Accordingly, the piezoelectric substrate can be supported at both ends by the first passive component and the second passive component. Therefore, the piezoelectric substrate can be stably fixed and supported with respect to the base.

[適用例15]
本発明の圧電デバイスでは、前記圧電体基板は、平面視にて矩形をなしており、
前記第2の端子対の一方の端子は、前記圧電体基板の1つの辺付近に設けられ、前記第2の端子対の他方の端子は、前記圧電体基板の前記1つの辺に隣接する辺付近に設けられていることが好ましい。
これにより、第1の受動部品および第2の受動部品の互いに大きさが異なる場合においても、容易に、第1の受動部品および第2の受動部品と第1の端子対および第2の端子対との接合を行うことができる。
[Application Example 15]
In the piezoelectric device of the present invention, the piezoelectric substrate has a rectangular shape in plan view,
One terminal of the second terminal pair is provided in the vicinity of one side of the piezoelectric substrate, and the other terminal of the second terminal pair is a side adjacent to the one side of the piezoelectric substrate. It is preferable to be provided in the vicinity.
Accordingly, even when the first passive component and the second passive component are different in size, the first passive component, the second passive component, the first terminal pair, and the second terminal pair can be easily obtained. Can be joined.

[適用例16]
本発明の圧電デバイスでは、前記第1の受動部品および前記第2の受動部品に電気的に接続された能動部品を有することが好ましい。
これにより、圧電デバイスに発振回路を組み込むことができる。
[適用例17]
本発明の圧電デバイスでは、前記能動部品は、前記圧電体基板を平面視したときに、前記第1の受動部品および前記第2の受動部品の少なくとも一部と重なるように配置されていることが好ましい。
これにより、発振回路が組み込まれた圧電デバイスの小型化を図ることができる。
[適用例18]
本発明の電子機器は、本発明の圧電デバイスを備えることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する電子機器を提供することができる。
[Application Example 16]
The piezoelectric device of the present invention preferably has an active component electrically connected to the first passive component and the second passive component.
Thereby, an oscillation circuit can be incorporated in the piezoelectric device.
[Application Example 17]
In the piezoelectric device of the present invention, the active component is disposed so as to overlap at least a part of the first passive component and the second passive component when the piezoelectric substrate is viewed in plan. preferable.
Thereby, it is possible to reduce the size of the piezoelectric device in which the oscillation circuit is incorporated.
[Application Example 18]
An electronic apparatus according to the present invention includes the piezoelectric device according to the present invention.
Thereby, an electronic device having excellent reliability can be provided.

本発明の圧電デバイスの第1実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 1st Embodiment of the piezoelectric device of this invention. 図1に示す圧電デバイスを示す上面図である。It is a top view which shows the piezoelectric device shown in FIG. 図2に示す圧電デバイスの部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the piezoelectric device shown in FIG. 図1に示す圧電デバイスの回路構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the circuit structure of the piezoelectric device shown in FIG. 本発明の圧電デバイスの第2実施形態を示す上面図である。It is a top view which shows 2nd Embodiment of the piezoelectric device of this invention. 本発明の圧電デバイスの第3実施形態を示す上面図である。It is a top view which shows 3rd Embodiment of the piezoelectric device of this invention. 本発明の圧電デバイスの第4実施形態を示す上面図である。It is a top view which shows 4th Embodiment of the piezoelectric device of this invention. 本発明の圧電デバイスを備える電子機器(ノート型パーソナルコンピュータ)である。It is an electronic apparatus (notebook type personal computer) provided with the piezoelectric device of this invention. 本発明の圧電デバイスを備える電子機器(携帯電話機)である。An electronic apparatus (cellular phone) including the piezoelectric device of the present invention. 本発明の圧電デバイスを備える電子機器(ディジタルスチルカメラ)である。It is an electronic device (digital still camera) provided with the piezoelectric device of the present invention.

以下、本発明の圧電デバイスおよび電子機器を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明の圧電デバイスの第1実施形態を示す断面図、図2は、図1に示す圧電デバイスを示す上面図、図3は、図2に示す圧電デバイスの部分拡大断面図、図4は、図1に示す圧電デバイスの回路構成を示す回路図である。なお、以下の説明では、説明の便宜上、図1中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
Hereinafter, a piezoelectric device and an electronic apparatus of the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the accompanying drawings.
1 is a sectional view showing a first embodiment of the piezoelectric device of the present invention, FIG. 2 is a top view showing the piezoelectric device shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a partially enlarged sectional view of the piezoelectric device shown in FIG. FIG. 4 is a circuit diagram showing a circuit configuration of the piezoelectric device shown in FIG. In the following description, for convenience of explanation, the upper side in FIG. 1 is referred to as “upper”, the lower side as “lower”, the right side as “right”, and the left side as “left”.

(圧電デバイス)
まず、本発明の圧電デバイスについて説明する。
図1に示す圧電デバイス1は、弾性表面波(Surface Acoustic Wave:SAW)を利用した弾性表面波素子であって、発振回路が組み込まれたものである。
このような圧電デバイス1は、弾性表面波素子片2、第1の受動部品31、第2の受動部品32および能動部品4と、これらを収納するパッケージ5とを有している。
(Piezoelectric device)
First, the piezoelectric device of the present invention will be described.
A piezoelectric device 1 shown in FIG. 1 is a surface acoustic wave element using a surface acoustic wave (SAW), and includes an oscillation circuit.
Such a piezoelectric device 1 includes a surface acoustic wave element piece 2, a first passive component 31, a second passive component 32, an active component 4, and a package 5 for housing them.

以下、このような圧電デバイス1を構成する各部について詳細に説明する。
[パッケージ]
次に、パッケージ5について説明する。
パッケージ5は、弾性表面波素子片2、第1の受動部品31、第2の受動部品32および能動部品4を収納するものである。これにより、パッケージ化された小型な圧電デバイス1を実現することができる。
このようなパッケージ5は、図1、2に示すように、上方に開口するトレイ状のベース基板51と、ベース基板51の開口を塞ぐように設けられた板状の蓋部材52とを有している。本実施形態では、パッケージ5は、その平面視にて、略長方形状をなしている。
Hereinafter, each part which comprises such a piezoelectric device 1 is demonstrated in detail.
[package]
Next, the package 5 will be described.
The package 5 accommodates the surface acoustic wave element piece 2, the first passive component 31, the second passive component 32, and the active component 4. Thereby, the packaged small piezoelectric device 1 can be realized.
As shown in FIGS. 1 and 2, the package 5 includes a tray-like base substrate 51 that opens upward, and a plate-like lid member 52 that is provided so as to close the opening of the base substrate 51. ing. In the present embodiment, the package 5 has a substantially rectangular shape in plan view.

ベース基板51と蓋部材52とは、接着剤あるいはろう材等により接合されている。そして、パッケージ5は、ベース基板51および蓋部材52で画成された内部空間Sに弾性表面波素子片2を収納している。
このようなベース基板51の構成材料としては、絶縁性(非導電性)を有しているものが好ましく、例えば、各種ガラス、酸化物セラミックス、窒化物セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックス、ポリイミド等の各種樹脂材料などを用いることができる。
The base substrate 51 and the lid member 52 are joined by an adhesive or a brazing material. The package 5 houses the surface acoustic wave element piece 2 in an internal space S defined by the base substrate 51 and the lid member 52.
As a constituent material of such a base substrate 51, those having insulating properties (non-conductive) are preferable. For example, various ceramics such as various glass, oxide ceramics, nitride ceramics, carbide ceramics, polyimide, and the like. Various resin materials such as can be used.

また、蓋部材52の構成材料としては、例えば、ベース基板51と同様の構成材料、Al、Cu等の各種金属材料、各種ガラス材料などを用いることができる。特に、蓋部材52の構成材料として、ガラス材料等の光透過性を有するものを用いた場合、弾性表面波素子片2をパッケージ5内に収容した後であっても、蓋部材52を介して、後述する弾性表面波素子片の圧電体基板21上の櫛歯電極22にレーザを照射し、その一部を除去して周波数調整を行うことができる。
また、ベース基板51の上面には、弾性表面波素子片2、能動部品4、内部端子対55および配線パターン(図示せず)が設けられている。
Further, as the constituent material of the lid member 52, for example, the same constituent material as that of the base substrate 51, various metal materials such as Al and Cu, various glass materials, and the like can be used. In particular, when a material having light transmissivity such as a glass material is used as a constituent material of the lid member 52, even after the surface acoustic wave element piece 2 is accommodated in the package 5, The frequency adjustment can be performed by irradiating the comb-teeth electrode 22 on the piezoelectric substrate 21 of the surface acoustic wave element piece to be described later with a laser and removing a part thereof.
A surface acoustic wave element piece 2, an active component 4, an internal terminal pair 55, and a wiring pattern (not shown) are provided on the upper surface of the base substrate 51.

より具体的に説明すると、ベース基板51の上面には、設置面(第1の面)58と、設置面58よりも低い位置の設置面(第2の面)59と、設置面58よりも高い位置の設置面61とを有している。
そして、設置面58と設置面59との間には、段差部57が形成され、また、設置面58と設置面61との間には、段差部60が形成されている。
More specifically, on the upper surface of the base substrate 51, there are an installation surface (first surface) 58, an installation surface (second surface) 59 at a position lower than the installation surface 58, and an installation surface 58. And an installation surface 61 at a high position.
A step 57 is formed between the installation surface 58 and the installation surface 59, and a step 60 is formed between the installation surface 58 and the installation surface 61.

ベース基板51の設置面59には、エポキシ系、ポリイミド系等の接着剤54を介して、弾性表面波素子片2(より具体的には、後述する圧電体基板21)が固定されている。これにより、簡単かつ確実に、圧電体基板21をベース基板51に対して固定・支持することができる。また、圧電体基板21をベース基板51に対して固定・支持することにより、後述するような第1の受動部品31および第2の受動部品32と引出電極対24および内部端子対55との接合を安定化させることができる。このようなことから、圧電デバイス1の信頼性を向上させることができる。   A surface acoustic wave element piece 2 (more specifically, a piezoelectric substrate 21 to be described later) is fixed to an installation surface 59 of the base substrate 51 via an adhesive 54 such as epoxy or polyimide. Thereby, the piezoelectric substrate 21 can be fixed and supported with respect to the base substrate 51 easily and reliably. Further, by fixing and supporting the piezoelectric substrate 21 with respect to the base substrate 51, the first passive component 31 and the second passive component 32, which will be described later, and the extraction electrode pair 24 and the internal terminal pair 55 are joined. Can be stabilized. For this reason, the reliability of the piezoelectric device 1 can be improved.

このように、設置面59上に弾性表面波素子片2(より具体的には、後述する圧電体基板21)を設けることにより、弾性表面波素子片2の上面(より具体的には、後述する圧電体基板21の上面)と、設置面58との上下方向での離間距離を小さくすることができる。すなわち、後述するように、引出電極対24を圧電体基板21の上面(前述した設置面59とは反対側の面)上に設けた場合、圧電体基板21の厚さ方向における内部端子対55と引出電極対24との離間距離を小さくすることができる。そのため、後述するような第1の受動部品31および第2の受動部品32と内部端子対55および引出電極対24との接合を容易に行うことができる。   Thus, by providing the surface acoustic wave element piece 2 (more specifically, a piezoelectric substrate 21 described later) on the installation surface 59, the upper surface (more specifically, described later) of the surface acoustic wave element piece 2. The distance between the upper surface of the piezoelectric substrate 21 and the installation surface 58 in the vertical direction can be reduced. That is, as will be described later, when the extraction electrode pair 24 is provided on the upper surface of the piezoelectric substrate 21 (surface opposite to the installation surface 59 described above), the internal terminal pair 55 in the thickness direction of the piezoelectric substrate 21. And the distance between the lead electrode pair 24 can be reduced. Therefore, the first passive component 31 and the second passive component 32, which will be described later, and the internal terminal pair 55 and the extraction electrode pair 24 can be easily joined.

このような設置面58、59を形成する段差部57の高さは、後述する圧電体基板21の厚さと同等である。これにより、内部端子対55と引出電極対24とを面一とする(同一面に沿って配置する)ことができる。特に、段差部57の高さを圧電体基板21の厚さと同等とすると、第1の受動部品31および第2の受動部品32と第1の端子対および第2の端子対との接合を安定的に行うことができる。   The height of the stepped portion 57 that forms the installation surfaces 58 and 59 is equal to the thickness of the piezoelectric substrate 21 described later. Thereby, the internal terminal pair 55 and the extraction electrode pair 24 can be flush with each other (arranged along the same plane). In particular, when the height of the stepped portion 57 is equal to the thickness of the piezoelectric substrate 21, the bonding of the first passive component 31 and the second passive component 32 to the first terminal pair and the second terminal pair is stabilized. Can be done automatically.

ここで、「段差部57の高さが圧電体基板21の厚さと同等」とは、段差部57の高さをD、圧電体基板21の厚さをTとしたときに、D/Tが0.9〜1.1であることを言う。
また、段差部57の高さは、圧電体基板21の厚さと接着剤54の厚さとの合計に等しくなるように設定される。
Here, “the height of the stepped portion 57 is equal to the thickness of the piezoelectric substrate 21” means that when the height of the stepped portion 57 is D and the thickness of the piezoelectric substrate 21 is T, D / T is Say 0.9-1.1.
The height of the stepped portion 57 is set to be equal to the sum of the thickness of the piezoelectric substrate 21 and the thickness of the adhesive 54.

本実施形態では、弾性表面波素子片2がIDT22等が形成された面を上側(蓋部材52側)にしてベース基板上に載置されている。なお、この接着剤54は、導電性粒子を含有した導電性接着剤であってもよい。
また、接着剤54は、後述する圧電体基板21を平面視したときに、後述する引出電極対24の形成領域と重なる範囲に形成されている。これにより、後述するような第1の受動部品31および第2の受動部品32と引出電極対24および内部端子対55との接合をより安定化させることができる。
また、接着剤54は、後述する圧電体基板21を平面視したときに、後述するIDT22と重ならない範囲に設けられている。これにより、接着剤54と圧電体基板21との間に生じる応力がIDT22に悪影響を与えるのを防止することができる。そのため、圧電デバイス1を振動特性に影響を与えることなく実装できる。
In the present embodiment, the surface acoustic wave element piece 2 is placed on the base substrate with the surface on which the IDT 22 and the like are formed facing upward (the lid member 52 side). The adhesive 54 may be a conductive adhesive containing conductive particles.
The adhesive 54 is formed in a range that overlaps with a formation region of the extraction electrode pair 24 described later when the piezoelectric substrate 21 described later is viewed in plan. Thereby, the joining of the 1st passive component 31 and the 2nd passive component 32 which are mentioned later, the extraction electrode pair 24, and the internal terminal pair 55 can be stabilized more.
The adhesive 54 is provided in a range that does not overlap with an IDT 22 described later when the piezoelectric substrate 21 described later is viewed in plan. As a result, it is possible to prevent the stress generated between the adhesive 54 and the piezoelectric substrate 21 from adversely affecting the IDT 22. Therefore, the piezoelectric device 1 can be mounted without affecting the vibration characteristics.

本実施形態では、弾性表面波素子片2は、ベース基板51に対して接着剤54を介して片持ち支持されている。
また、ベース基板51の設置面58には、1対の内部端子55a、55bからなる内部端子対(第1の端子対)55が設けられている。ここで、ベース基板51は、パッケージ5の一部を構成するものであって、内部端子対55が設けられた基体である。
In the present embodiment, the surface acoustic wave element piece 2 is cantilevered via an adhesive 54 with respect to the base substrate 51.
Further, the installation surface 58 of the base substrate 51 is provided with an internal terminal pair (first terminal pair) 55 including a pair of internal terminals 55a and 55b. Here, the base substrate 51 constitutes a part of the package 5 and is a base on which the internal terminal pair 55 is provided.

本実施形態では、設置面58は、平面視にて、弾性表面波素子片2を囲むように環状をなし、その内周縁が矩形をなしており、内部端子対55は、設置面58の内周縁の4つの辺のうち、後述する弾性表面波素子片2の引出電極対24が設けられた辺に対応する辺付近に設けられている。
また、ベース基板51の設置面61には、エポキシ系、ポリイミド系等の接着剤56を介して、能動部品4が載置されている。これにより、能動部品4がベース基板51上に対して固定されている。
In the present embodiment, the installation surface 58 has an annular shape so as to surround the surface acoustic wave element piece 2 in a plan view, and its inner peripheral edge is rectangular. Among the four peripheral edges, the surface is provided near the side corresponding to the side where the extraction electrode pair 24 of the surface acoustic wave element piece 2 described later is provided.
In addition, the active component 4 is placed on the installation surface 61 of the base substrate 51 via an adhesive 56 such as epoxy or polyimide. Thereby, the active component 4 is fixed on the base substrate 51.

このような能動部品4は、図示しないが、例えばワイヤーボンディングにより形成された金属ワイヤ(ボンディングワイヤー)を介して、前述した内部端子対55に電気的に接続された配線パターンの端子群(図示せず)に電気的に接続されている。なお、接着剤56および金属ワイヤに代えて、いわゆるフェイスダウンボンディングにより能動部品4をベース基板51上に固定するとともに端子群に電気的に接続してもよい。   Such an active component 4 is not shown, but a terminal group (not shown) of a wiring pattern electrically connected to the internal terminal pair 55 described above, for example, via a metal wire (bonding wire) formed by wire bonding. )). Instead of the adhesive 56 and the metal wire, the active component 4 may be fixed on the base substrate 51 and electrically connected to the terminal group by so-called face-down bonding.

一方、ベース基板51の下面には、その四隅に位置するように4つの外部端子53a、53b、53c、53dが設けられている。
これら4つの外部端子53a〜53dのうち、外部端子53a、53bは、それぞれ、ベース基板51に形成されたビアホールに設けられた導体ポストを介して、前述した内部端子対55に電気的に接続された配線パターン(図示せず)に電気的に接続されたホット端子である。他の2つの外部端子53c、53dは、それぞれ、パッケージ5を実装用基板上に実装するときに、接合強度を高めたり、パッケージ5と実装用基板との間の距離を均一化したりするためのダミー端子である。
On the other hand, four external terminals 53a, 53b, 53c, and 53d are provided on the lower surface of the base substrate 51 so as to be positioned at the four corners.
Out of these four external terminals 53a to 53d, the external terminals 53a and 53b are electrically connected to the internal terminal pair 55 described above via conductor posts provided in via holes formed in the base substrate 51, respectively. This hot terminal is electrically connected to a wiring pattern (not shown). The other two external terminals 53c and 53d are used to increase the bonding strength and equalize the distance between the package 5 and the mounting substrate when the package 5 is mounted on the mounting substrate, respectively. This is a dummy terminal.

なお、2つの外部端子53c、53dは、必要に応じて、能動部品4に電気的に接続された配線パターン(図示せず)に外部端子53a、53bと同様に電気的に接続され、能動部品4の特性検査や、能動部品4内の各種情報(例えば、圧電デバイス1の温度補償情報)の書き換え(調整)を行うための書込端子として用いてもよい。
このようなベース基板51上に設けられた外部端子53a〜53bおよび配線パターン等は、それぞれ、例えば、タングステンおよびニッケルメッキの下地層に、金メッキを施すことで形成することができる。
Note that the two external terminals 53c and 53d are electrically connected to a wiring pattern (not shown) electrically connected to the active component 4 as required, similarly to the external terminals 53a and 53b. 4 may be used as a writing terminal for rewriting (adjusting) various characteristics information (for example, temperature compensation information of the piezoelectric device 1) in the active component 4.
The external terminals 53a to 53b, the wiring pattern, and the like provided on the base substrate 51 can be formed, for example, by applying gold plating to a base layer of tungsten and nickel plating.

[弾性表面波素子片]
次に、弾性表面波素子片2について説明する。
本実施形態では、弾性表面波素子片(圧電振動片)2は、図1に示すように、圧電体基板21と、圧電体基板21上に設けられた励振電極としてのIDT(Interdigital Transducer:櫛歯電極)22と、IDT22の両側に配置された一対の反射器23a、23bとを有している。
[Surface acoustic wave element]
Next, the surface acoustic wave element piece 2 will be described.
In this embodiment, the surface acoustic wave element piece (piezoelectric vibrating piece) 2 includes a piezoelectric substrate 21 and an IDT (Interdigital Transducer: comb) as an excitation electrode provided on the piezoelectric substrate 21 as shown in FIG. Tooth electrode) 22 and a pair of reflectors 23a and 23b disposed on both sides of the IDT 22.

圧電体基板21は、水晶で構成されている。なお、圧電体基板21は、例えば、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム等の水晶以外の圧電材料で構成されていてもよい。
本実施形態では、圧電体基板21は、平面視にて矩形(より具体的には長方形)をなしている。
The piezoelectric substrate 21 is made of quartz. Note that the piezoelectric substrate 21 may be made of a piezoelectric material other than quartz, such as lithium tantalate, lithium niobate, and lithium borate.
In the present embodiment, the piezoelectric substrate 21 is rectangular (more specifically, rectangular) in plan view.

IDT22は、圧電体基板21の上面上に設けられている。このIDT22は、互いに平行な複数の電極指を有する1対の電極22a、22bで構成され、電極22aの複数の電極指と電極22bの電極指とが互いに噛み合うように配置されている。本実施形態では、各電極22a、22bの複数の電極指は、圧電体基板21の長手方向に配列されている。このようなIDT22の電極22a、22b間に周期的に変化する電圧が印加されると、圧電体基板21の圧電効果によって、電極22aの電極指と電極22bの電極指との間に周期的なひずみが生じ、圧電体基板21の上面付近に弾性表面波が励振される。励振した弾性表面波は、電極22a、22bの電極指の配列方向(すなわち、圧電体基板21の長手方向)に沿って伝搬する。
このようにIDT22は、圧電体基板21の上面に設けられているので、圧電体基板21をベース基板51上に設置した後においても、加工を施して弾性表面波素子片2の弾性表面波の周波数調整を行うことができる。
The IDT 22 is provided on the upper surface of the piezoelectric substrate 21. The IDT 22 includes a pair of electrodes 22a and 22b having a plurality of electrode fingers parallel to each other, and is arranged such that the plurality of electrode fingers of the electrode 22a and the electrode fingers of the electrode 22b are engaged with each other. In the present embodiment, the plurality of electrode fingers of the electrodes 22 a and 22 b are arranged in the longitudinal direction of the piezoelectric substrate 21. When such a periodically changing voltage is applied between the electrodes 22a and 22b of the IDT 22, the piezoelectric effect of the piezoelectric substrate 21 causes a periodical period between the electrode finger of the electrode 22a and the electrode finger of the electrode 22b. Strain occurs, and a surface acoustic wave is excited near the upper surface of the piezoelectric substrate 21. The excited surface acoustic wave propagates along the arrangement direction of the electrode fingers of the electrodes 22a and 22b (that is, the longitudinal direction of the piezoelectric substrate 21).
As described above, since the IDT 22 is provided on the upper surface of the piezoelectric substrate 21, even after the piezoelectric substrate 21 is placed on the base substrate 51, the surface acoustic wave of the surface acoustic wave element piece 2 is processed and processed. Frequency adjustment can be performed.

一対の反射器23a、23bは、前述した弾性表面波の伝搬方向において、IDT22を挟んでその両側に配置されている。このような反射器23a、23bは、圧電体基板21に伝搬する弾性表面波を反射して、反射器23aと反射器23bとの間に封じ込める機能を有する。
このようなIDT22および反射器23a、23bは、全体的に、圧電体基板21の長手方向の一端側(図2中右側の端側)にずれて形成されている。そして、圧電体基板21の他端側(図2中左側の端側)には、一対の引出電極24a、24bからなる引出電極対(第2の電極対)24が形成されている。引出電極24aは配線25aを介して電極22aに電気的に接続され、また、引出電極24bは配線25bを介して電極22bに電気的に接続されている。
The pair of reflectors 23a and 23b are arranged on both sides of the IDT 22 in the above-described propagation direction of the surface acoustic wave. Such reflectors 23a and 23b have a function of reflecting the surface acoustic wave propagating to the piezoelectric substrate 21 and confining it between the reflectors 23a and 23b.
The IDT 22 and the reflectors 23a and 23b are formed so as to be shifted to one end side in the longitudinal direction of the piezoelectric substrate 21 (right end side in FIG. 2). An extraction electrode pair (second electrode pair) 24 including a pair of extraction electrodes 24 a and 24 b is formed on the other end side (left end side in FIG. 2) of the piezoelectric substrate 21. The extraction electrode 24a is electrically connected to the electrode 22a via the wiring 25a, and the extraction electrode 24b is electrically connected to the electrode 22b via the wiring 25b.

また、引出電極対24は、前述した内部端子対55の近傍に設けられている。すなわち、内部端子対55の内部端子55aは、引出電極対24の引出電極24a近傍に設けられ、内部端子対55の内部端子55bは、引出電極対24の引出電極24b近傍に設けられている。これにより、第1の受動部品31および第2の受動部品32の寸法がそれぞれ比較的小さくても、後述するように第1の受動部品31および第2の受動部品32と内部端子対55および引出電極対24との接合を行うことができる。   The lead electrode pair 24 is provided in the vicinity of the internal terminal pair 55 described above. That is, the internal terminal 55 a of the internal terminal pair 55 is provided in the vicinity of the extraction electrode 24 a of the extraction electrode pair 24, and the internal terminal 55 b of the internal terminal pair 55 is provided in the vicinity of the extraction electrode 24 b of the extraction electrode pair 24. As a result, even if the dimensions of the first passive component 31 and the second passive component 32 are relatively small, the first passive component 31 and the second passive component 32, the internal terminal pair 55 and the drawer as described later. Bonding with the electrode pair 24 can be performed.

本実施形態では、内部端子対55の内部端子55aの中心と引出電極対24の引出電極24aの中心とを結ぶ線分と、内部端子対55の内部端子55b中心と引出電極対24の引出電極24bの中心とを結ぶ線分とが平行となっている。
また、引出電極対24の両端子(両電極)は、圧電体基板21の1つの辺付近に設けられている。これにより、第1の受動部品31および第2の受動部品32により圧電体基板21を片持ち支持することができる。そのため、IDT22の電極指が並ぶ方向における圧電体基板21の熱膨張による不本意な変形や歪みの発生を防止することができる。その結果、圧電デバイス1の信頼性を向上させることができる。
In the present embodiment, a line segment that connects the center of the internal terminal 55 a of the internal terminal pair 55 and the center of the extraction electrode 24 a of the extraction electrode pair 24, the center of the internal terminal 55 b of the internal terminal pair 55, and the extraction electrode of the extraction electrode pair 24. The line connecting the center of 24b is parallel.
Further, both terminals (both electrodes) of the extraction electrode pair 24 are provided in the vicinity of one side of the piezoelectric substrate 21. Thereby, the piezoelectric substrate 21 can be cantilevered by the first passive component 31 and the second passive component 32. Therefore, it is possible to prevent unintentional deformation and distortion due to thermal expansion of the piezoelectric substrate 21 in the direction in which the electrode fingers of the IDT 22 are arranged. As a result, the reliability of the piezoelectric device 1 can be improved.

このようなIDT22、反射器23a、23b、引出電極24a、24bおよび配線25a、25bは、それぞれ、アルミニウム、アルミニウム合金等の導電性の優れた金属材料により形成することができる。
このような圧電振動片2を備えることにより、圧電デバイス1は、SAW共振子やSAW発振器等のSAWデバイスを構成することができる。
The IDT 22, the reflectors 23a and 23b, the extraction electrodes 24a and 24b, and the wirings 25a and 25b can be formed of a metal material having excellent conductivity such as aluminum and aluminum alloy, respectively.
By providing such a piezoelectric vibrating piece 2, the piezoelectric device 1 can constitute a SAW device such as a SAW resonator or a SAW oscillator.

[第1の受動部品および第2の受動部品]
第1の受動部品31は、前述した引出電極対24(第1の端子対)の一方の端子である引出電極24aと、前述した内部端子対55(第2の端子対)の一方の端子である内部端子55aとにそれぞれ電気的に接続されている。
また、第2の受動部品32は、前述した引出電極対24(第1の端子対)の他方の端子である引出電極24bと、前述した内部端子対55(第2の端子対)の他方の端子である内部端子55bとにそれぞれ電気的に接続されている。
[First passive component and second passive component]
The first passive component 31 includes an extraction electrode 24a that is one terminal of the above-described extraction electrode pair 24 (first terminal pair) and one terminal of the above-described internal terminal pair 55 (second terminal pair). Each internal terminal 55a is electrically connected.
The second passive component 32 includes an extraction electrode 24b which is the other terminal of the extraction electrode pair 24 (first terminal pair) described above and the other of the internal terminal pair 55 (second terminal pair) described above. Each is electrically connected to an internal terminal 55b which is a terminal.

特に、第1の受動部品31は、引出電極24aと内部端子55aとに跨るように接合されている。より具体的には、図3に示すように、第1の受動部品31の一方の端子311が導電性接着剤62を介して内部端子55aに接合されるとともに、第1の受動部品31の他方の端子312が導電性接着剤63を介して引出電極24aに接合されている。ここで、導電性接着剤62、63としては、特に限定されないが、導電性粒子を含有したエポキシ系、ポリイミド系等の導電性接着剤を用いることができる。   In particular, the first passive component 31 is joined so as to straddle the extraction electrode 24a and the internal terminal 55a. More specifically, as shown in FIG. 3, one terminal 311 of the first passive component 31 is joined to the internal terminal 55 a through the conductive adhesive 62, and the other of the first passive component 31. The terminal 312 is joined to the extraction electrode 24 a through the conductive adhesive 63. Here, the conductive adhesives 62 and 63 are not particularly limited, but epoxy-based or polyimide-based conductive adhesives containing conductive particles can be used.

同様に、第2の受動部品32は、引出電極24bと内部端子55bとに跨るように接合されている。
このようにして第1の受動部品31および第2の受動部品32を配置することにより、圧電体基板21を平面視したときに、第1の受動部品31および第2の受動部品32の一部がそれぞれ圧電体基板21と重なるように配置される。その結果、圧電デバイス1の小型化を図ることができる。
Similarly, the second passive component 32 is joined so as to straddle the extraction electrode 24b and the internal terminal 55b.
By disposing the first passive component 31 and the second passive component 32 in this way, a part of the first passive component 31 and the second passive component 32 when the piezoelectric substrate 21 is viewed in plan view. Are arranged so as to overlap with the piezoelectric substrate 21, respectively. As a result, the piezoelectric device 1 can be downsized.

また、第1の受動部品31および第2の受動部品32と引出電極対24および内部端子対55との接合は、ワイヤーボンディングのような複雑な方法を用いることなく、簡単に行うことができる。そのため、圧電デバイス1の製造を容易なものとすることができる。
また、第1の受動部品31および第2の受動部品32は、それぞれ、長手形状をなしている。そして、本実施形態では、第1の受動部品31および第2の受動部品32が互いの長手方向が平行となるように配置されている。
また、第1の受動部品31と内部端子対55および引出電極対24との接合、および、第2の受動部品32と内部端子対55および引出電極対24との接合は、それぞれ、導電性接着剤62、63により行われているので、簡単かつ確実に、これらの接合を行うことができる。
Further, the first passive component 31 and the second passive component 32 and the extraction electrode pair 24 and the internal terminal pair 55 can be easily joined without using a complicated method such as wire bonding. Therefore, the manufacture of the piezoelectric device 1 can be facilitated.
Further, the first passive component 31 and the second passive component 32 each have a longitudinal shape. And in this embodiment, the 1st passive component 31 and the 2nd passive component 32 are arrange | positioned so that a mutual longitudinal direction may become parallel.
In addition, the bonding of the first passive component 31 to the internal terminal pair 55 and the extraction electrode pair 24 and the bonding of the second passive component 32 to the internal terminal pair 55 and the extraction electrode pair 24 are performed by conductive bonding. Since it is performed by the agents 62 and 63, these can be joined easily and reliably.

なお、第1の受動部品31および第2の受動部品32の種類、内部端子対55および引出電極対24の構成材料等によっては、これらの接続を例えば半田により行ってもよい。
このような第1の受動部品31および第2の受動部品32は、それぞれ、チップ部品である。チップ部品は、表面実装が可能であるため、内部端子対55および引出電極対24に簡単かつ確実に接合することができる。
Depending on the types of the first passive component 31 and the second passive component 32, the constituent materials of the internal terminal pair 55 and the extraction electrode pair 24, etc., these connections may be made by solder, for example.
Each of the first passive component 31 and the second passive component 32 is a chip component. Since the chip component can be surface-mounted, it can be easily and reliably joined to the internal terminal pair 55 and the extraction electrode pair 24.

第1の受動部品31および第2の受動部品32に用いるチップ部品は、特に限定されないが、抵抗器、コンデンサ、コイルのうちのいずれかである。
これらの受動部品(抵抗器、コンデンサ、コイル)は、後に詳述するが、圧電デバイス1の発振回路の一部を構成するものである(図4参照)。特に、コイルは、後述するICのような能動部品4内に組み込むことが難しいため、圧電デバイス1内に発振回路を組み込む場合、ICのような能動部品4とは別途に圧電デバイス1に搭載されることとなる。したがって、このような受動部品を第1の受動部品31および第2の受動部品32として用いる(有効利用する)ことにより、圧電デバイス1内に搭載される電子部品の実装面積を減らすことができる。その結果、圧電デバイス1の小型化を効果的に図ることができる。
The chip component used for the first passive component 31 and the second passive component 32 is not particularly limited, and is any one of a resistor, a capacitor, and a coil.
These passive components (resistors, capacitors, and coils) constitute a part of the oscillation circuit of the piezoelectric device 1 (see FIG. 4), which will be described in detail later. In particular, since the coil is difficult to be incorporated in an active component 4 such as an IC described later, when an oscillation circuit is incorporated in the piezoelectric device 1, it is mounted on the piezoelectric device 1 separately from the active component 4 such as an IC. The Rukoto. Therefore, by using (effectively using) such passive components as the first passive component 31 and the second passive component 32, the mounting area of the electronic components mounted in the piezoelectric device 1 can be reduced. As a result, the piezoelectric device 1 can be effectively downsized.

[能動部品]
能動部品(電子部品)4は、例えば集積回路素子(IC)であり、弾性表面波素子片2、第1の受動部品31および第2の受動部品32と協働して発振回路を構成する機能を有する。
このような能動部品4は、前述した第1の受動部品31および第2の受動部品32にそれぞれ電気的に接続されている。これにより、圧電デバイス1に発振回路を組み込むことができる。
[Active parts]
The active component (electronic component) 4 is, for example, an integrated circuit element (IC), and functions to constitute an oscillation circuit in cooperation with the surface acoustic wave element piece 2, the first passive component 31, and the second passive component 32. Have
Such an active component 4 is electrically connected to the first passive component 31 and the second passive component 32 described above. Thereby, an oscillation circuit can be incorporated in the piezoelectric device 1.

例えば、図4に示すように、能動部品4は、帰還抵抗R、インバーターInv、ゲート容量C、ドレイン容量Cを含んでいる。
そして、前述した第1の受動部品31および第2の受動部品32がそれぞれコイルである場合、弾性表面波素子片2、第1の受動部品31、第2の受動部品32および能動部品4は、図4(a)に示すような発振回路を構成する。
For example, as shown in FIG. 4, the active component 4 includes a feedback resistor R f, an inverter Inv, the gate capacitance C G, the drain capacitance C D.
When the first passive component 31 and the second passive component 32 described above are coils, the surface acoustic wave element piece 2, the first passive component 31, the second passive component 32, and the active component 4, An oscillation circuit as shown in FIG.

また、前述した第1の受動部品31が抵抗器、第2の受動部品32がコイルである場合、弾性表面波素子片2、第1の受動部品31、第2の受動部品32および能動部品4は、図4(b)に示すような発振回路を構成する。
また、前述した第1の受動部品31がコンデンサ、第2の受動部品32がコイルである場合、弾性表面波素子片2、第1の受動部品31、第2の受動部品32および能動部品4は、図4(c)に示すような発振回路を構成する。
本実施形態では、能動部品4は、圧電体基板21を平面視したときに、第1の受動部品31および第2の受動部品32の少なくとも一部と重なるように配置されている。これにより、発振回路が組み込まれた圧電デバイス1の小型化を図ることができる。
When the first passive component 31 is a resistor and the second passive component 32 is a coil, the surface acoustic wave element piece 2, the first passive component 31, the second passive component 32, and the active component 4 are used. Constitutes an oscillation circuit as shown in FIG.
When the first passive component 31 is a capacitor and the second passive component 32 is a coil, the surface acoustic wave element piece 2, the first passive component 31, the second passive component 32, and the active component 4 are Thus, an oscillation circuit as shown in FIG.
In the present embodiment, the active component 4 is disposed so as to overlap at least a part of the first passive component 31 and the second passive component 32 when the piezoelectric substrate 21 is viewed in plan. Thereby, size reduction of the piezoelectric device 1 incorporating the oscillation circuit can be achieved.

以上説明したような圧電デバイス1によれば、第1の受動部品31が内部端子55aと引出電極24aとに跨るように接合されるとともに、第2の受動部品32が内部端子55bと引出電極24bとに跨るように接合されているので、圧電体基板21を平面視したときに、第1の受動部品31および第2の受動部品32の一部がそれぞれ圧電体基板21と重なるように配置される。その結果、圧電デバイス1の小型化を図ることができる。
また、第1の受動部品31および第2の受動部品32と内部端子対55および引出電極対24との接合は、ワイヤーボンディングのような複雑な方法を用いることなく、簡単に行うことができる。そのため、圧電デバイス1の製造を容易なものとすることができる。
According to the piezoelectric device 1 as described above, the first passive component 31 is joined so as to straddle the internal terminal 55a and the extraction electrode 24a, and the second passive component 32 is connected to the internal terminal 55b and the extraction electrode 24b. Since the piezoelectric substrate 21 is viewed in plan, a part of the first passive component 31 and the second passive component 32 are arranged so as to overlap with the piezoelectric substrate 21, respectively. The As a result, the piezoelectric device 1 can be downsized.
Further, the first passive component 31 and the second passive component 32 can be easily joined to the internal terminal pair 55 and the extraction electrode pair 24 without using a complicated method such as wire bonding. Therefore, the manufacture of the piezoelectric device 1 can be facilitated.

<第2実施形態>
次に、本発明の圧電デバイスの第2実施形態について説明する。
図5は、本発明の圧電デバイスの第2実施形態を示す上面図である。
以下、第2実施形態の圧電デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
Second Embodiment
Next, a second embodiment of the piezoelectric device of the present invention will be described.
FIG. 5 is a top view showing a second embodiment of the piezoelectric device of the present invention.
Hereinafter, the piezoelectric device according to the second embodiment will be described focusing on the differences from the above-described embodiment, and description of similar matters will be omitted.

第2実施形態の圧電デバイスは、第1の端子対および第2の端子対の配置およびこれに関連する構成が異なる以外は、第1実施形態とほぼ同様である。なお、図5では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
本実施形態の圧電デバイス1Aは、図5に示すように、弾性表面波素子片2A、第1の受動部品31、第2の受動部品32および能動部品4と、これらを収納するパッケージ5Aとを有している。
The piezoelectric device of the second embodiment is substantially the same as the first embodiment except that the arrangement of the first terminal pair and the second terminal pair and the configuration related thereto are different. In FIG. 5, the same reference numerals are given to the same configurations as those in the above-described embodiment.
As shown in FIG. 5, the piezoelectric device 1A of the present embodiment includes a surface acoustic wave element piece 2A, a first passive component 31, a second passive component 32, an active component 4, and a package 5A that houses them. Have.

パッケージ5Aは、上方に開口するトレイ状のベース基板51Aと、ベース基板51Aの開口を塞ぐように設けられた板状の蓋部材52Aとを有している。
また、ベース基板51Aの上面には、弾性表面波素子片2A、能動部品4、内部端子対55Aおよび配線パターン(図示せず)が設けられている。
より具体的に説明すると、ベース基板51Aの上面には、設置面(第1の面)58Aと、設置面58Aよりも低い位置の設置面(第2の面)59Aとを有している。
そして、設置面58Aと設置面59Aとの間には、段差部57Aが形成されている。
The package 5A includes a tray-like base substrate 51A that opens upward, and a plate-like lid member 52A that is provided so as to close the opening of the base substrate 51A.
Further, the surface acoustic wave element piece 2A, the active component 4, the internal terminal pair 55A, and a wiring pattern (not shown) are provided on the upper surface of the base substrate 51A.
More specifically, the upper surface of the base substrate 51A has an installation surface (first surface) 58A and an installation surface (second surface) 59A at a position lower than the installation surface 58A.
A stepped portion 57A is formed between the installation surface 58A and the installation surface 59A.

ベース基板51Aの設置面59Aには、エポキシ系、ポリイミド系等の接着剤54a、54bを介して、弾性表面波素子片2Aが固定されている。
また、接着剤54a、54bは、後述する圧電体基板21Aを平面視したときに、後述する引出電極対24Aの形成領域と重なる範囲に形成されている。
本実施形態では、弾性表面波素子片2Aは、ベース基板51Aに対して接着剤54a、54bを介して両持ち支持されている。
また、ベース基板51Aの設置面58Aには、1対の内部端子55a、55bからなる内部端子対(第1の端子対)55Aが設けられている。
また、ベース基板51の設置面58Aには、エポキシ系、ポリイミド系等の接着剤56を介して、能動部品4が載置されている。
The surface acoustic wave element piece 2A is fixed to the installation surface 59A of the base substrate 51A via adhesives 54a, 54b such as epoxy or polyimide.
Further, the adhesives 54a and 54b are formed in a range that overlaps with a formation region of a later-described extraction electrode pair 24A when a later-described piezoelectric substrate 21A is viewed in plan.
In the present embodiment, the surface acoustic wave element piece 2A is supported on both sides of the base substrate 51A via adhesives 54a and 54b.
Further, the installation surface 58A of the base substrate 51A is provided with an internal terminal pair (first terminal pair) 55A including a pair of internal terminals 55a and 55b.
The active component 4 is placed on the installation surface 58 </ b> A of the base substrate 51 via an epoxy or polyimide adhesive 56.

一方、弾性表面波素子片2Aは、圧電体基板21Aと、圧電体基板21A上に設けられた励振電極としてのIDT22と、IDT22の両側に配置された一対の反射器23a、23bと、引出電極対(第2の電極対)24Aとを有している。
圧電体基板21Aは、平面視にて、矩形(具体的には長方形)をなしている。
そして、圧電体基板21Aの互いに対向する1対の辺(図5中左側の上側の辺と下側の辺)付近には、一対の引出電極24a、24bからなる引出電極対(第2の電極対)24Aが形成されている。
On the other hand, the surface acoustic wave element 2A includes a piezoelectric substrate 21A, an IDT 22 as an excitation electrode provided on the piezoelectric substrate 21A, a pair of reflectors 23a and 23b disposed on both sides of the IDT 22, and an extraction electrode. And a pair (second electrode pair) 24A.
The piezoelectric substrate 21A has a rectangular shape (specifically, a rectangular shape) in plan view.
An extraction electrode pair (second electrode) including a pair of extraction electrodes 24a and 24b is disposed in the vicinity of a pair of opposite sides of the piezoelectric substrate 21A (the upper side and the lower side on the left side in FIG. 5). Pair) 24A is formed.

より具体的には、引出電極対24Aの引出電極24aは、圧電体基板21Aの互いに対向する1対の辺の一方の辺付近に設けられ、引出電極対24Aの引出電極24bは、圧電体基板21Aの前記1対の辺の他方の辺付近に設けられている。
これにより、第1の受動部品31および第2の受動部品32により圧電体基板21Aを両持ち支持することができる。そのため、ベース基板51Aに対して圧電体基板21Aを安定的に固定・支持することができる。その結果、圧電デバイス1Aの信頼性(特に耐衝撃性)を向上させることができる。
特に、本実施形態では、引出電極対24Aの引出電極24aは、圧電体基板21Aの互いに対向する1対の辺の中央部付近に設けられ、引出電極対24Aの引出電極24bは、圧電体基板21Aの前記1対の辺の他方の辺の中央部付近に設けられている。そのため、ベース基板51Aに対して圧電体基板21Aを安定的に固定・支持することができる。
More specifically, the extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24A is provided in the vicinity of one side of the pair of opposite sides of the piezoelectric substrate 21A, and the extraction electrode 24b of the extraction electrode pair 24A is the piezoelectric substrate. 21A is provided near the other side of the pair of sides.
Accordingly, the piezoelectric substrate 21 </ b> A can be supported at both ends by the first passive component 31 and the second passive component 32. Therefore, the piezoelectric substrate 21A can be stably fixed and supported with respect to the base substrate 51A. As a result, the reliability (especially impact resistance) of the piezoelectric device 1A can be improved.
In particular, in the present embodiment, the extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24A is provided in the vicinity of the center part of a pair of opposite sides of the piezoelectric substrate 21A, and the extraction electrode 24b of the extraction electrode pair 24A is the piezoelectric substrate. 21A is provided near the center of the other side of the pair of sides. Therefore, the piezoelectric substrate 21A can be stably fixed and supported with respect to the base substrate 51A.

また、内部端子対55Aの内部端子55aの中心と引出電極対24Aの引出電極24aの中心とを結ぶ線分と、内部端子対55Aの内部端子55b中心と引出電極対24Aの引出電極24bの中心とを結ぶ線分とが同一線分上となっている。
このような引出電極対24Aの引出電極24aは配線25cを介して電極22aに電気的に接続され、また、引出電極対24Aの引出電極24bは配線25dを介して電極22bに電気的に接続されている。
Further, a line segment connecting the center of the internal terminal 55a of the internal terminal pair 55A and the center of the extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24A, the center of the internal terminal 55b of the internal terminal pair 55A and the center of the extraction electrode 24b of the extraction electrode pair 24A. And the line segment connecting the two are on the same line segment.
The extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24A is electrically connected to the electrode 22a via the wiring 25c, and the extraction electrode 24b of the extraction electrode pair 24A is electrically connected to the electrode 22b via the wiring 25d. ing.

また、内部端子対55Aの内部端子55aは、引出電極対24Aの引出電極24a近傍に設けられ、内部端子対55Aの内部端子55bは、引出電極対24Aの引出電極24b近傍に設けられている。
そして、第1の受動部品31は、前述した引出電極対24A(第1の端子対)の一方の端子である引出電極24aと、内部端子対55A(第2の端子対)の一方の端子である内部端子55aとに跨るように接合されている。
The internal terminal 55a of the internal terminal pair 55A is provided in the vicinity of the extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24A, and the internal terminal 55b of the internal terminal pair 55A is provided in the vicinity of the extraction electrode 24b of the extraction electrode pair 24A.
The first passive component 31 includes an extraction electrode 24a which is one terminal of the extraction electrode pair 24A (first terminal pair) described above and one terminal of the internal terminal pair 55A (second terminal pair). It is joined so as to straddle a certain internal terminal 55a.

また、第2の受動部品32は、前述した引出電極対24A(第1の端子対)の他方の端子である引出電極24bと、内部端子対55A(第2の端子対)の他方の端子である内部端子55bとに跨るように接合されている。
以上説明したような第2実施形態に係る圧電デバイス1Aによっても、前述した第1実施形態に係る圧電デバイス1と同様の効果を発揮することができる。
The second passive component 32 includes an extraction electrode 24b which is the other terminal of the extraction electrode pair 24A (first terminal pair) described above and the other terminal of the internal terminal pair 55A (second terminal pair). It is joined so as to straddle a certain internal terminal 55b.
The piezoelectric device 1A according to the second embodiment as described above can also exhibit the same effects as those of the piezoelectric device 1 according to the first embodiment described above.

<第3実施形態>
次に、本発明の圧電デバイスの第3実施形態について説明する。
図6は、本発明の圧電デバイスの第3実施形態を示す上面図である。
以下、第3実施形態の圧電デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
<Third Embodiment>
Next, a third embodiment of the piezoelectric device of the present invention will be described.
FIG. 6 is a top view showing a third embodiment of the piezoelectric device of the present invention.
Hereinafter, the piezoelectric device according to the third embodiment will be described with a focus on differences from the above-described embodiments, and description of similar matters will be omitted.

第3実施形態の圧電デバイスは、第1の端子対および第2の端子対の配置およびこれに関連する構成が異なる以外は、第1、2実施形態とほぼ同様である。なお、図6では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
本実施形態の圧電デバイス1Bは、図6に示すように、弾性表面波素子片2B、第1の受動部品31、第2の受動部品32および能動部品4と、これらを収納するパッケージ5Bとを有している。
The piezoelectric device of the third embodiment is substantially the same as the first and second embodiments except that the arrangement of the first terminal pair and the second terminal pair and the configuration related thereto are different. In FIG. 6, the same reference numerals are given to the same configurations as those in the above-described embodiment.
As shown in FIG. 6, the piezoelectric device 1B of the present embodiment includes a surface acoustic wave element piece 2B, a first passive component 31, a second passive component 32, an active component 4, and a package 5B that houses them. Have.

パッケージ5Bは、上方に開口するトレイ状のベース基板51Aと、ベース基板51Aの開口を塞ぐように設けられた板状の蓋部材52Aとを有している。
また、ベース基板51Aの上面には、弾性表面波素子片2B、能動部品4、内部端子対55Bおよび配線パターン(図示せず)が設けられている。
ベース基板51Aの設置面59Aには、エポキシ系、ポリイミド系等の接着剤54c、54dを介して、弾性表面波素子片2Bが固定されている。
The package 5B includes a tray-like base substrate 51A that opens upward, and a plate-like lid member 52A that is provided so as to close the opening of the base substrate 51A.
Further, the surface acoustic wave element piece 2B, the active component 4, the internal terminal pair 55B, and a wiring pattern (not shown) are provided on the upper surface of the base substrate 51A.
The surface acoustic wave element piece 2B is fixed to the installation surface 59A of the base substrate 51A via adhesives 54c and 54d such as epoxy or polyimide.

また、接着剤54c、54dは、圧電体基板21Aを平面視したときに、後述する引出電極対24Bの形成領域と重なる範囲に形成されている。
本実施形態では、弾性表面波素子片2Bは、ベース基板51Aに対して接着剤54c、54dを介して片持ち支持されている。
また、ベース基板51Aの設置面58Aには、1対の内部端子55a、55bからなる内部端子対(第1の端子対)55Bが設けられている。
The adhesives 54c and 54d are formed in a range that overlaps with a formation region of an extraction electrode pair 24B described later when the piezoelectric substrate 21A is viewed in plan.
In the present embodiment, the surface acoustic wave element piece 2B is cantilevered via the adhesives 54c and 54d with respect to the base substrate 51A.
The installation surface 58A of the base substrate 51A is provided with an internal terminal pair (first terminal pair) 55B including a pair of internal terminals 55a and 55b.

一方、弾性表面波素子片2Bは、圧電体基板21Aと、圧電体基板21A上に設けられた励振電極としてのIDT22と、IDT22の両側に配置された一対の反射器23a、23bと、引出電極対(第2の電極対)24Bを有している。
そして、圧電体基板21Aの互いに隣り合う2つの辺(図6中左側の上側の辺と左側の辺)付近には、一対の引出電極24a、24bからなる引出電極対(第2の電極対)24Bが形成されている。
On the other hand, the surface acoustic wave element 2B includes a piezoelectric substrate 21A, an IDT 22 as an excitation electrode provided on the piezoelectric substrate 21A, a pair of reflectors 23a and 23b disposed on both sides of the IDT 22, and an extraction electrode. It has a pair (second electrode pair) 24B.
An extraction electrode pair (second electrode pair) composed of a pair of extraction electrodes 24a and 24b is located near two adjacent sides (the upper left side and the left side in FIG. 6) of the piezoelectric substrate 21A. 24B is formed.

より具体的には、引出電極対24Bの引出電極24aは、圧電体基板21Aの一つの辺付近に設けられ、引出電極対24Bの引出電極24bは、圧電体基板21Aの前記1つの辺に隣接する辺付近に設けられている。
これにより、第1の受動部品31および第2の受動部品32の互いに大きさが異なる場合においても、容易に、第1の受動部品31および第2の受動部品32と内部端子対55Bおよび引出電極対24Bとの接合を行うことができる。また、第1の受動部品31および第2の受動部品32の大きさを変更しても、第1の受動部品31および第2の受動部品32以外の構成を変更することなく、第1の受動部品31および第2の受動部品32と内部端子対55Bおよび引出電極対24Bとの接合を行うことができる。
More specifically, the extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24B is provided near one side of the piezoelectric substrate 21A, and the extraction electrode 24b of the extraction electrode pair 24B is adjacent to the one side of the piezoelectric substrate 21A. It is provided near the side to be.
Accordingly, even when the first passive component 31 and the second passive component 32 are different in size from each other, the first passive component 31 and the second passive component 32, the internal terminal pair 55B, and the extraction electrode can be easily obtained. Bonding with the pair 24B can be performed. Further, even if the sizes of the first passive component 31 and the second passive component 32 are changed, the first passive component 31 and the second passive component 32 can be changed without changing the configuration other than the first passive component 31 and the second passive component 32. The component 31 and the second passive component 32 can be joined to the internal terminal pair 55B and the extraction electrode pair 24B.

特に、本実施形態では、引出電極対24Bの引出電極24aは、圧電体基板21Aの1つの辺(図6中の左側の辺)の一端部(図6中下側の端部)に設けられ、引出電極対24Bの引出電極24bは、圧電体基板21Aの前記1つの辺の他端部(図6中上側の端部)に設けられている。そのため、第1の受動部品31および第2の受動部品32により圧電体基板21Aを片持ち支持することができる。   In particular, in the present embodiment, the extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24B is provided at one end (the lower end in FIG. 6) of one side (the left side in FIG. 6) of the piezoelectric substrate 21A. The extraction electrode 24b of the extraction electrode pair 24B is provided at the other end portion (the upper end portion in FIG. 6) of the one side of the piezoelectric substrate 21A. Therefore, the piezoelectric substrate 21A can be cantilevered by the first passive component 31 and the second passive component 32.

このような引出電極対24Bの引出電極24aは配線25eを介して電極22aに電気的に接続され、また、引出電極対24Bの引出電極24bは配線25fを介して電極22bに電気的に接続されている。
また、内部端子対55Bの内部端子55aは、引出電極対24Bの引出電極24a近傍に設けられ、内部端子対55Bの内部端子55bは、引出電極対24Bの引出電極24b近傍に設けられている。
The extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24B is electrically connected to the electrode 22a via the wiring 25e, and the extraction electrode 24b of the extraction electrode pair 24B is electrically connected to the electrode 22b via the wiring 25f. ing.
The internal terminal 55a of the internal terminal pair 55B is provided in the vicinity of the extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24B, and the internal terminal 55b of the internal terminal pair 55B is provided in the vicinity of the extraction electrode 24b of the extraction electrode pair 24B.

本実施形態では、内部端子対55Bの内部端子55aの中心と引出電極対24Bの引出電極24aの中心とを結ぶ線分と、内部端子対55Bの内部端子55b中心と引出電極対24Bの引出電極24bの中心とを結ぶ線分とが直交している。
そして、第1の受動部品31は、前述した引出電極対24B(第1の端子対)の一方の端子である引出電極24aと、内部端子対55B(第2の端子対)の一方の端子である内部端子55aとに跨るように接合されている。
In the present embodiment, a line segment connecting the center of the internal terminal 55a of the internal terminal pair 55B and the center of the extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24B, the center of the internal terminal 55b of the internal terminal pair 55B, and the extraction electrode of the extraction electrode pair 24B. The line segment connecting the center of 24b is orthogonal.
The first passive component 31 includes an extraction electrode 24a that is one terminal of the above-described extraction electrode pair 24B (first terminal pair) and one terminal of the internal terminal pair 55B (second terminal pair). It is joined so as to straddle a certain internal terminal 55a.

また、第2の受動部品32は、前述した引出電極対24B(第1の端子対)の他方の端子である引出電極24bと、内部端子対55B(第2の端子対)の他方の端子である内部端子55bとに跨るように接合されている。
以上説明したような第3実施形態に係る圧電デバイス1Bによっても、前述した第1実施形態に係る圧電デバイス1と同様の効果を発揮することができる。
The second passive component 32 includes an extraction electrode 24b which is the other terminal of the above-described extraction electrode pair 24B (first terminal pair) and the other terminal of the internal terminal pair 55B (second terminal pair). It is joined so as to straddle a certain internal terminal 55b.
The piezoelectric device 1B according to the third embodiment as described above can also exhibit the same effects as those of the piezoelectric device 1 according to the first embodiment described above.

<第4実施形態>
次に、本発明の圧電デバイスの第4実施形態について説明する。
図7は、本発明の圧電デバイスの第4実施形態を示す上面図である。
以下、第4実施形態の圧電デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
<Fourth embodiment>
Next, a fourth embodiment of the piezoelectric device of the present invention will be described.
FIG. 7 is a top view showing a fourth embodiment of the piezoelectric device of the present invention.
Hereinafter, the piezoelectric device according to the fourth embodiment will be described focusing on the differences from the above-described embodiment, and description of similar matters will be omitted.

第4実施形態の圧電デバイスは、第1の端子対および第2の端子対の配置およびこれに関連する構成が異なる以外は、第1〜3実施形態とほぼ同様である。なお、図7では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
本実施形態の圧電デバイス1Cは、図7に示すように、弾性表面波素子片2C、第1の受動部品31、第2の受動部品32および能動部品4と、これらを収納するパッケージ5Cとを有している。
The piezoelectric device of the fourth embodiment is substantially the same as the first to third embodiments except that the arrangement of the first terminal pair and the second terminal pair and the configuration related thereto are different. In FIG. 7, the same reference numerals are given to the same components as those in the above-described embodiment.
As shown in FIG. 7, the piezoelectric device 1C of this embodiment includes a surface acoustic wave element piece 2C, a first passive component 31, a second passive component 32, an active component 4, and a package 5C that houses them. Have.

パッケージ5Cは、上方に開口するトレイ状のベース基板51Aと、ベース基板51Aの開口を塞ぐように設けられた板状の蓋部材52Aとを有している。
また、ベース基板51Aの上面には、弾性表面波素子片2C、能動部品4、内部端子対55Cおよび配線パターン(図示せず)が設けられている。
ベース基板51Aの設置面59Aには、エポキシ系、ポリイミド系等の接着剤54c、54d、54e、54fを介して、弾性表面波素子片2Cが固定されている。
また、接着剤54c、54fは、圧電体基板21Aを平面視したときに、後述する引出電極対24Cの形成領域と重なる範囲に形成されている。
また、ベース基板51Aの設置面58Aには、1対の内部端子55a、55bからなる内部端子対(第1の端子対)55Cが設けられている。
The package 5C includes a tray-like base substrate 51A that opens upward, and a plate-like lid member 52A that is provided so as to close the opening of the base substrate 51A.
Further, the surface acoustic wave element piece 2C, the active component 4, the internal terminal pair 55C, and a wiring pattern (not shown) are provided on the upper surface of the base substrate 51A.
A surface acoustic wave element piece 2C is fixed to the installation surface 59A of the base substrate 51A via adhesives 54c, 54d, 54e, 54f such as epoxy or polyimide.
The adhesives 54c and 54f are formed in a range that overlaps with a formation region of an extraction electrode pair 24C described later when the piezoelectric substrate 21A is viewed in plan.
Further, the installation surface 58A of the base substrate 51A is provided with an internal terminal pair (first terminal pair) 55C including a pair of internal terminals 55a and 55b.

一方、弾性表面波素子片2Cは、圧電体基板21Aと、圧電体基板21A上に設けられた励振電極としてのIDT22と、IDT22の両側に配置された一対の反射器23a、23bと、引出電極対(第2の電極対)24Cを有している。
そして、圧電体基板21Aの互いに隣り合う2つの辺(図7中左側の上側の辺と左側の辺)付近には、一対の引出電極24a、24bからなる引出電極対(第2の電極対)24Cが形成されている。
On the other hand, the surface acoustic wave element piece 2C includes a piezoelectric substrate 21A, an IDT 22 as an excitation electrode provided on the piezoelectric substrate 21A, a pair of reflectors 23a and 23b disposed on both sides of the IDT 22, and an extraction electrode. A pair (second electrode pair) 24C is provided.
An extraction electrode pair (second electrode pair) composed of a pair of extraction electrodes 24a and 24b is located near two adjacent sides (the upper left side and the left side in FIG. 7) of the piezoelectric substrate 21A. 24C is formed.

より具体的には、引出電極対24Cの引出電極24aは、圧電体基板21Aの一つの辺付近に設けられ、引出電極対24Cの引出電極24bは、圧電体基板21Aの前記1つの辺に隣接する辺付近に設けられている。
特に、本実施形態では、引出電極対24Cの引出電極24aは、圧電体基板21Aの1対の対角の一方の角部(図7中の左側かつ下側の角部)に設けられ、引出電極対24Cの引出電極24bは、圧電体基板21Aの前記1対の対角の他方の角部(図7中の右側かつ上側の角部)に設けられている。そのため、第1の受動部品31および第2の受動部品32により圧電体基板21Aを両持ち支持することができる。
More specifically, the extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24C is provided near one side of the piezoelectric substrate 21A, and the extraction electrode 24b of the extraction electrode pair 24C is adjacent to the one side of the piezoelectric substrate 21A. It is provided near the side to be.
In particular, in the present embodiment, the extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24C is provided at one corner of the pair of diagonals of the piezoelectric substrate 21A (left and lower corners in FIG. 7). The lead electrode 24b of the electrode pair 24C is provided at the other corner (the right and upper corner in FIG. 7) of the pair of diagonals of the piezoelectric substrate 21A. Therefore, both the piezoelectric substrate 21A can be supported by the first passive component 31 and the second passive component 32.

このような引出電極対24Cの引出電極24aは配線25eを介して電極22aに電気的に接続され、また、引出電極対24Cの引出電極24bは配線25gを介して電極22bに電気的に接続されている。
また、内部端子対55Cの内部端子55aは、引出電極対24Cの引出電極24a近傍に設けられ、内部端子対55Cの内部端子55bは、引出電極対24Cの引出電極24b近傍に設けられている。
The extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24C is electrically connected to the electrode 22a via the wiring 25e, and the extraction electrode 24b of the extraction electrode pair 24C is electrically connected to the electrode 22b via the wiring 25g. ing.
The internal terminal 55a of the internal terminal pair 55C is provided in the vicinity of the extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24C, and the internal terminal 55b of the internal terminal pair 55C is provided in the vicinity of the extraction electrode 24b of the extraction electrode pair 24C.

本実施形態では、内部端子対55Cの内部端子55aの中心と引出電極対24Cの引出電極24aの中心とを結ぶ線分と、内部端子対55Cの内部端子55b中心と引出電極対24Cの引出電極24bの中心とを結ぶ線分とが直交している。
そして、第1の受動部品31は、前述した引出電極対24C(第1の端子対)の一方の端子である引出電極24aと、内部端子対55C(第2の端子対)の一方の端子である内部端子55aとに跨るように接合されている。
In the present embodiment, a line segment connecting the center of the internal terminal 55a of the internal terminal pair 55C and the center of the extraction electrode 24a of the extraction electrode pair 24C, the center of the internal terminal 55b of the internal terminal pair 55C and the extraction electrode of the extraction electrode pair 24C. The line segment connecting the center of 24b is orthogonal.
The first passive component 31 includes an extraction electrode 24a which is one terminal of the extraction electrode pair 24C (first terminal pair) described above and one terminal of the internal terminal pair 55C (second terminal pair). It is joined so as to straddle a certain internal terminal 55a.

また、第2の受動部品32は、前述した引出電極対24C(第1の端子対)の他方の端子である引出電極24bと、内部端子対55C(第2の端子対)の他方の端子である内部端子55bとに跨るように接合されている。
以上説明したような第4実施形態に係る圧電デバイス1Bによっても、前述した第1実施形態に係る圧電デバイス1と同様の効果を発揮することができる。
上述したような圧電デバイス1は、各種の電子機器に組み込むことができる。このような圧電デバイス1を備える電子機器は、信頼性の高いものとなる。
The second passive component 32 includes an extraction electrode 24b which is the other terminal of the extraction electrode pair 24C (first terminal pair) described above and the other terminal of the internal terminal pair 55C (second terminal pair). It is joined so as to straddle a certain internal terminal 55b.
The piezoelectric device 1B according to the fourth embodiment as described above can also exhibit the same effects as those of the piezoelectric device 1 according to the first embodiment described above.
The piezoelectric device 1 as described above can be incorporated into various electronic devices. An electronic apparatus including such a piezoelectric device 1 is highly reliable.

ここで、本発明の圧電デバイスを備える電子機器について、図8〜図10に基づき、詳細に説明する。
図8は、本発明の圧電デバイスを備える電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部100を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピュータ1100には、フィルタ、共振器、基準クロック等として機能する圧電デバイス1が内蔵されている。
Here, an electronic apparatus including the piezoelectric device of the present invention will be described in detail with reference to FIGS.
FIG. 8 is a perspective view illustrating a configuration of a mobile (or notebook) personal computer to which an electronic apparatus including the piezoelectric device of the present invention is applied.
In this figure, a personal computer 1100 includes a main body portion 1104 provided with a keyboard 1102 and a display unit 1106 provided with a display portion 100. The display unit 1106 is rotated with respect to the main body portion 1104 via a hinge structure portion. It is supported movably.
Such a personal computer 1100 incorporates a piezoelectric device 1 that functions as a filter, a resonator, a reference clock, and the like.

図9は、本発明の圧電デバイスを備える電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部100が配置されている。
このような携帯電話機1200には、フィルタ、共振器等として機能する圧電デバイス1が内蔵されている。
FIG. 9 is a perspective view showing a configuration of a mobile phone (including PHS) to which an electronic apparatus including the piezoelectric device of the present invention is applied.
In this figure, a cellular phone 1200 includes a plurality of operation buttons 1202, an earpiece 1204, and a mouthpiece 1206, and the display unit 100 is disposed between the operation buttons 1202 and the earpiece 1204.
Such a cellular phone 1200 incorporates the piezoelectric device 1 that functions as a filter, a resonator, or the like.

図10は、本発明の圧電デバイスを備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
FIG. 10 is a perspective view illustrating a configuration of a digital still camera to which an electronic apparatus including the piezoelectric device of the present invention is applied. In this figure, connection with an external device is also simply shown.
Here, an ordinary camera sensitizes a silver halide photographic film with a light image of a subject, whereas a digital still camera 1300 photoelectrically converts a light image of a subject with an imaging device such as a CCD (Charge Coupled Device). An imaging signal (image signal) is generated.

ディジタルスチルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
A display unit is provided on the back of a case (body) 1302 in the digital still camera 1300, and is configured to display based on an imaging signal from the CCD. The display unit is a finder that displays an object as an electronic image. Function.
A light receiving unit 1304 including an optical lens (imaging optical system), a CCD, and the like is provided on the front side (the back side in the drawing) of the case 1302.

撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリ1308に転送・格納される。
また、このディジタルスチルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニタ1430が、デ−タ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピュータ1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリ1308に格納された撮像信号が、テレビモニタ1430や、パーソナルコンピュータ1440に出力される構成になっている。
When the photographer confirms the subject image displayed on the display unit and presses the shutter button 1306, the CCD image pickup signal at that time is transferred and stored in the memory 1308.
In the digital still camera 1300, a video signal output terminal 1312 and an input / output terminal 1314 for data communication are provided on the side surface of the case 1302. As shown in the figure, a television monitor 1430 is connected to the video signal output terminal 1312 and a personal computer 1440 is connected to the input / output terminal 1314 for data communication as necessary. Further, the imaging signal stored in the memory 1308 is output to the television monitor 1430 or the personal computer 1440 by a predetermined operation.

このようなディジタルスチルカメラ1300には、フィルタ、共振器等として機能する圧電デバイス1が内蔵されている。
なお、本発明の圧電デバイスを備える電子機器は、図8のパーソナルコンピュータ(モバイル型パーソナルコンピュータ)、図9の携帯電話機、図10のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンタ)、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシュミレータ等に適用することができる。
以上、本発明の圧電デバイスおよび電子機器について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。
Such a digital still camera 1300 incorporates a piezoelectric device 1 that functions as a filter, a resonator, or the like.
In addition to the personal computer (mobile personal computer) shown in FIG. 8, the mobile phone shown in FIG. 9, and the digital still camera shown in FIG. Inkjet printers), laptop personal computers, televisions, video cameras, video tape recorders, car navigation devices, pagers, electronic notebooks (including those with communication functions), electronic dictionaries, calculators, electronic game devices, word processors, workstations, televisions Telephone, crime prevention TV monitor, electronic binoculars, POS terminal, medical equipment (for example, electronic thermometer, blood pressure monitor, blood glucose meter, electrocardiogram measuring device, ultrasonic diagnostic device, electronic endoscope), fish detector, various measuring devices, instruments (For example, vehicle, aircraft, ship instrumentation) , It can be applied to a flight simulator or the like.
Although the piezoelectric device and the electronic apparatus of the present invention have been described based on the illustrated embodiments, the present invention is not limited to these.

1‥‥圧電デバイス 1A‥‥圧電デバイス 1B‥‥圧電デバイス 1C‥‥圧電デバイス 2‥‥弾性表面波素子片 2A‥‥弾性表面波素子片 2B‥‥弾性表面波素子片 2C‥‥弾性表面波素子片 4‥‥能動部品 5‥‥パッケージ 5A‥‥パッケージ 5B‥‥パッケージ 5C‥‥パッケージ 21‥‥圧電体基板 21A‥‥圧電体基板 22‥‥櫛歯電極 22a‥‥電極 22b‥‥電極 23a‥‥反射器 23b‥‥反射器 24‥‥引出電極対 24A‥‥引出電極対 24B‥‥引出電極対 24C‥‥引出電極対 24a‥‥引出電極 24b‥‥引出電極 25a‥‥配線 25b‥‥配線 25c‥‥配線 25d‥‥配線 25e‥‥配線 25f‥‥配線 25g‥‥配線 31‥‥第1の受動部品 32‥‥第2の受動部品 51‥‥ベース基板 51A‥‥ベース基板 52‥‥蓋部材 52A‥‥蓋部材 53a‥‥外部端子 53b‥‥外部端子 53c‥‥外部端子 53d‥‥外部端子 54‥‥接着剤 54a‥‥接着剤 54b‥‥接着剤 54c‥‥接着剤 54d‥‥接着剤 54e‥‥接着剤 54f‥‥接着剤 55‥‥内部端子対 55A‥‥内部端子対 55B‥‥内部端子対 55C‥‥内部端子対 55a‥‥内部端子 55b‥‥内部端子 56‥‥接着剤 57‥‥段差部 57A‥‥段差部 58‥‥設置面 58A‥‥設置面 59‥‥設置面 59A‥‥設置面 60‥‥段差部 61‥‥設置面 62‥‥導電性接着剤 63‥‥導電性接着剤 100‥‥表示部 311‥‥端子 312‥‥端子 1100‥‥パーソナルコンピュータ 1102‥‥キーボード 1104‥‥本体部 1106‥‥表示ユニット 1200‥‥携帯電話機 1202‥‥操作ボタン 1204‥‥受話口 1206‥‥送話口 1300‥‥ディジタルスチルカメラ 1302‥‥ケース 1304‥‥受光ユニット 1306‥‥シャッタボタン 1308‥‥メモリ 1312‥‥ビデオ信号出力端子 1314‥‥入出力端子 1430‥‥テレビモニタ 1440‥‥パーソナルコンピュータ C‥‥ドレイン容量 C‥‥ゲート容量 Inv‥‥インバーター R‥‥帰還抵抗 S‥‥内部空間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Piezoelectric device 1A ... Piezoelectric device 1B ... Piezoelectric device 1C ... Piezoelectric device 2 ... Surface acoustic wave element piece 2A ... Surface acoustic wave element piece 2B ... Surface acoustic wave element piece 2C ... Surface acoustic wave Element 4 ... Active parts 5 ... Package 5A ... Package 5B ... Package 5C ... Package 21 ... Piezoelectric substrate 21A ... Piezoelectric substrate 22 ... Comb electrode 22a ... Electrode 22b ... Electrode 23a Reflector 23b Reflector 24 Extractor electrode pair 24A Extractor electrode pair 24B Extractor electrode pair 24C Extractor electrode pair 24a Extractor electrode 24b Extractor electrode 25a Wiring 25b Wiring 25c ... Wiring 25d ... Wiring 25e ... Wiring 25f ... Wiring 25g ... Wiring 31 ... First passive component 32 ... Second passive component 51 ... Base base 51A ... Base substrate 52 ... Lid member 52A ... Lid member 53a ... External terminal 53b ... External terminal 53c ... External terminal 53d ... External terminal 54 ... Adhesive 54a ... Adhesive 54b ... Adhesive 54c ... Adhesive 54d ... Adhesive 54e ... Adhesive 54f ... Adhesive 55 ... Internal terminal pair 55A ... Internal terminal pair 55B ... Internal terminal pair 55C ... Internal terminal pair 55a ... Internal terminal 55b ... Internal terminal 56 ... Adhesive 57 ... Step part 57A ... Step part 58 ... Installation surface 58A ... Installation surface 59 ... Installation surface 59A ... Installation surface 60 ... Step part 61 ... Installation surface 62 ... Conductive adhesive 63 ... Conductive adhesive 100 ... Display 311 ... Terminal 312 ... Terminal 1100 ... Personal computer 1102 ... Keyboard 1104 ... Body 11 6 ... Display unit 1200 ... Mobile phone 1202 ... Operation buttons 1204 ... Earpiece 1206 ... Mouthpiece 1300 ... Digital still camera 1302 ... Case 1304 ... Light receiving unit 1306 ... Shutter button 1308 ... Memory 1312 ‥‥ video signal output terminal 1314 ‥‥ output terminal 1430 ‥‥ television monitor 1440 ‥‥ personal computer C D ‥‥ drain capacitance C G ‥‥ gate capacitance Inv ‥‥ inverter R f ‥‥ feedback resistor S ‥‥ interior space

Claims (18)

第1の端子対が設けられた基体と、
前記基体に対して固定された圧電体基板と、該圧電体基板上に設けられた櫛歯電極と、前記圧電体基板上に設けられ、前記櫛歯電極に電気的に接続された第2の端子対とを備える弾性表面波素子片と、
前記第1の端子対の一方の端子と前記第2の端子対の一方の端子とにそれぞれ電気的に接続された第1の受動部品と、
前記第1の端子対の他方の端子と前記第2の端子対の他方の端子とにそれぞれ電気的に接続された第2の受動部品とを有し、
前記第1の受動部品は、前記第1の端子対の一方の端子と前記第2の端子対の一方の端子とに跨るように接合され、
前記第2の受動部品は、前記第1の端子対の他方の端子と前記第2の端子対の他方の端子とに跨るように接合されていることを特徴とする圧電デバイス。
A base body provided with a first terminal pair;
A piezoelectric substrate fixed to the substrate; a comb electrode provided on the piezoelectric substrate; and a second electrode provided on the piezoelectric substrate and electrically connected to the comb electrode. A surface acoustic wave element including a terminal pair;
A first passive component electrically connected to one terminal of the first terminal pair and one terminal of the second terminal pair;
A second passive component electrically connected to the other terminal of the first terminal pair and the other terminal of the second terminal pair;
The first passive component is joined so as to straddle one terminal of the first terminal pair and one terminal of the second terminal pair,
The piezoelectric device is characterized in that the second passive component is joined so as to straddle the other terminal of the first terminal pair and the other terminal of the second terminal pair.
前記第1の受動部品および前記第2の受動部品は、それぞれ、チップ部品である請求項1に記載の圧電デバイス。   The piezoelectric device according to claim 1, wherein each of the first passive component and the second passive component is a chip component. 前記チップ部品は、抵抗器、コンデンサ、コイルのうちのいずれかである請求項2に記載の圧電デバイス。   The piezoelectric device according to claim 2, wherein the chip component is one of a resistor, a capacitor, and a coil. 前記基体は、第1の面と、該第1の面よりも低い位置の第2の面とを形成する段差部を有し、
前記第1の端子対は、前記第1の面上に設けられ、
前記圧電体基板は、前記第2の面上に設けられ、
前記第2の端子対は、前記圧電体基板の前記第2の面とは反対側の面上に設けられている請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電デバイス。
The base has a step portion that forms a first surface and a second surface at a position lower than the first surface;
The first terminal pair is provided on the first surface;
The piezoelectric substrate is provided on the second surface,
4. The piezoelectric device according to claim 1, wherein the second terminal pair is provided on a surface opposite to the second surface of the piezoelectric substrate. 5.
前記櫛歯電極は、前記圧電体基板の前記第2の面とは反対の面上に設けられている請求項4に記載の圧電デバイス。   The piezoelectric device according to claim 4, wherein the comb electrode is provided on a surface opposite to the second surface of the piezoelectric substrate. 前記圧電体基板は、接着剤を介して前記第2の面に固定されている請求項4または5に記載の圧電デバイス。   The piezoelectric device according to claim 4 or 5, wherein the piezoelectric substrate is fixed to the second surface via an adhesive. 前記接着剤は、前記圧電体基板を平面視したときに、前記第2の電極対の形成領域と重なる範囲に形成されている請求項6に記載の圧電デバイス。   The piezoelectric device according to claim 6, wherein the adhesive is formed in a range that overlaps a formation region of the second electrode pair when the piezoelectric substrate is viewed in plan. 前記接着剤は、前記圧電体基板を平面視したときに、前記櫛歯電極と重ならない範囲に設けられている請求項6または7に記載の圧電デバイス。   The piezoelectric device according to claim 6 or 7, wherein the adhesive is provided in a range that does not overlap the comb-tooth electrode when the piezoelectric substrate is viewed in plan. 前記段差部の高さは、前記圧電体基板の厚さと同等である請求項4ないし8のいずれかに記載の圧電デバイス。   The piezoelectric device according to claim 4, wherein a height of the stepped portion is equal to a thickness of the piezoelectric substrate. 前記第1の受動部品と前記第1の端子対および前記第2の端子対との接合、および、前記第2の受動部品と前記第1の端子対および前記第2の端子対との接合は、それぞれ、導電性接着剤により行われている請求項1ないし9のいずれかに記載の圧電デバイス。   The junction between the first passive component and the first terminal pair and the second terminal pair, and the junction between the second passive component and the first terminal pair and the second terminal pair are as follows: The piezoelectric device according to claim 1, wherein each of the piezoelectric devices is performed with a conductive adhesive. 前記弾性表面波素子片および前記受動部品を収納するパッケージを有し、
前記基体は、前記パッケージの一部を構成する請求項1ないし10のいずれかに記載の圧電デバイス。
A package containing the surface acoustic wave element piece and the passive component;
The piezoelectric device according to claim 1, wherein the base constitutes a part of the package.
前記第1の端子対の一方の端子は、前記第2の端子対の一方の端子近傍に設けられ、
前記第1の端子対の他方の端子は、前記第2の端子対の他方の端子近傍に設けられている請求項1ないし11のいずれかに記載の圧電デバイス。
One terminal of the first terminal pair is provided in the vicinity of one terminal of the second terminal pair,
The piezoelectric device according to claim 1, wherein the other terminal of the first terminal pair is provided in the vicinity of the other terminal of the second terminal pair.
前記圧電体基板は、平面視にて矩形をなしており、
前記第2の端子対の両端子は、前記圧電体基板の1つの辺付近に設けられている請求項1ないし12のいずれかに記載の圧電デバイス。
The piezoelectric substrate has a rectangular shape in plan view,
The piezoelectric device according to claim 1, wherein both terminals of the second terminal pair are provided near one side of the piezoelectric substrate.
前記圧電体基板は、平面視にて矩形をなしており、
前記第2の端子対の一方の端子は、前記圧電体基板の互いに対向する1対の辺の一方の辺付近に設けられ、前記第2の端子対の他方の端子は、前記圧電体基板の前記1対の辺の他方の辺付近に設けられている請求項1ないし12のいずれかに記載の圧電デバイス。
The piezoelectric substrate has a rectangular shape in plan view,
One terminal of the second terminal pair is provided in the vicinity of one side of the pair of opposite sides of the piezoelectric substrate, and the other terminal of the second terminal pair is provided on the piezoelectric substrate. The piezoelectric device according to claim 1, wherein the piezoelectric device is provided near the other side of the pair of sides.
前記圧電体基板は、平面視にて矩形をなしており、
前記第2の端子対の一方の端子は、前記圧電体基板の1つの辺付近に設けられ、前記第2の端子対の他方の端子は、前記圧電体基板の前記1つの辺に隣接する辺付近に設けられている請求項1ないし12のいずれかに記載の圧電デバイス。
The piezoelectric substrate has a rectangular shape in plan view,
One terminal of the second terminal pair is provided in the vicinity of one side of the piezoelectric substrate, and the other terminal of the second terminal pair is a side adjacent to the one side of the piezoelectric substrate. The piezoelectric device according to claim 1, wherein the piezoelectric device is provided in the vicinity.
前記第1の受動部品および前記第2の受動部品に電気的に接続された能動部品を有する請求項1ないし15のいずれかに記載の圧電デバイス。   The piezoelectric device according to claim 1, further comprising an active component electrically connected to the first passive component and the second passive component. 前記能動部品は、前記圧電体基板を平面視したときに、前記第1の受動部品および前記第2の受動部品の少なくとも一部と重なるように配置されている請求項16に記載の圧電デバイス。   The piezoelectric device according to claim 16, wherein the active component is disposed so as to overlap at least part of the first passive component and the second passive component when the piezoelectric substrate is viewed in plan. 請求項1ないし17のいずれかに記載の圧電デバイスを備えることを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the piezoelectric device according to claim 1.
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