JP2011233573A - 露光装置、それを用いたデバイスの製造方法、並びに気体供給装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加湿エア供給装置30は、気体32を加湿する気化式加湿器34と、気化式加湿器34を通過する第1の気体の流量を制御する第1の流体制御機器33aと、通過しない第2の気体の流量を制御する第2の流体制御機器33bと、気化式加湿器34の加湿能力を可変する加湿能力可変機器38、39と、湿度検出部45と、制御演算部46とを有し、制御演算部46は、湿度検出部45が検出した加湿エア41の湿度と、予め設定した目標湿度とに基づいて、第1及び第2の流体制御機器33a、33bを制御して第1及び第2の気体の流量比を調整し、第1の流体制御機器33aの操作量と、予め設定した目標湿度操作量に基づいて、加湿能力可変機器38、39を制御して気化式加湿器34に導入される第1の気体の流量を一定とする。
【選択図】図1
Description
まず、本発明の露光装置の構成について説明する。図1は、本発明の実施形態に係る露光装置の構成を示す概略図である。本実施形態における露光装置は、半導体デバイス製造工程に使用される、被処理基板であるウエハに対して露光処理を施す装置であり、ステップ・アンド・リピート方式、又はステップ・アンド・スキャン方式を採用した走査型投影露光装置である。露光装置1は、まず、照明光学系2と、レチクル3を保持するレチクルステージ4と、投影光学系5と、ウエハ6を保持するウエハステージ7と、露光装置1の各構成要素を制御する不図示の制御部とを備える。
相対湿度=(水蒸気分圧/飽和水蒸気圧)×(気圧/101.3kPa)
したがって、相対湿度を測定する場合には、湿度検出部45の設置場所が重要である。本実施形態では、湿度検出部45は、別系統の配管に設置された湿度測定BOX44内に設けられるので、温度、圧力共にブース13内の雰囲気と略等しくなり、湿度検出部45が測定する誤差量を極力抑えることができる。
次に、本発明の第2の実施形態に係る露光装置の加湿エア供給装置について説明する。
図4は、第2実施形態に係る露光装置における加湿エア供給装置60の構成を示す概略図である。なお、図4において、図1と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の特徴は、補助的加湿制御対象を加湿器34の表面温度ではなく、液体37に変更した点にある。即ち、第1実施形態では、加湿器34の表面温度を、物体用温度検出部39にて検出し、加熱器38を用いて調整したが、本実施形態では、加湿器34へ供給する液体37の温度を制御して、加湿器34の加湿能力を調整する。この場合、加湿エア供給装置60は、第1実施形態おける加熱器38及び物体用温度検出部39に代えて、媒体接続口下部配管34dに、加熱器(液体用ヒーター)61と、液体用温度検出部62とを備える。なお、液体37の供給圧力(若しくは、流量)は、加湿器34の能力を安定させるために、一定であることが望ましい。液体37の供給が安定しない場合は、媒体接続口下部配管34dに、例えば、レギュレータ等の圧力制御機器、若しくは、流量制御機器等を設置し、供給能力を安定させる。加湿エア供給装置60の制御は、第1実施形態にて説明した図3のブロック図において、加熱器38及び物体用温度検出部39をそれぞれ加熱器61及び液体用温度検出部62と変更し、加湿器目標温度53を液体37の目標温度と変更したものとなる。これにより、第1実施形態と同様の作用、効果を奏する。
次に、本発明の第3の実施形態に係る露光装置の加湿エア供給装置について説明する。
図5は、第3実施形態に係る露光装置における加湿エア供給装置70の構成を示す概略図である。なお、図5において、図1と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の特徴は、補助的加湿制御対象をCDA32とし、加湿器34へ供給するCDA32の温度を制御して加湿器34の加湿能力を調整する点にある。この場合、加湿エア供給装置70は、第1実施形態おける加熱器38及び物体用温度検出部39に代えて、CDA供給源31からの供給配管に、加熱器(気体用ヒーター)71と、気体用温度検出部72とを備える。なお、図5では、加熱器71及び気体用温度検出部72を、流体制御機器33aの上流側に配置しているが、流体制御機器33aの下流側に配置しても良い。図5のような配置とする場合、CDA供給源31の圧力は、気体用温度検出部72が正確に温度を検出できるように、安定させることが望ましい。CDA供給源31の圧力が安定しない場合は、気体用温度検出部72の上流側に圧力制御機器を設置し、圧力を安定させる。加湿エア供給装置70の制御は、第1実施形態にて説明した図3のブロック図において、加熱器38及び物体用温度検出部39をそれぞれ加熱器71及び気体用温度検出部72と変更し、加湿器目標温度53をCDA32の目標温度と変更したものとなる。これにより、第1実施形態と同様の作用、効果を奏する。
次に、本発明の第4の実施形態に係る露光装置の加湿エア供給装置について説明する。
図6は、第4実施形態に係る露光装置における加湿エア供給装置80の構成を示す概略図である。なお、図6において、図1と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の特徴は、補助的加湿制御対象を液体37の流量とし、加湿器34へ供給する液体37の流量を制御して加湿器34の加湿能力を調整する点にある。この場合、加湿エア供給装置80は、第1実施形態おける加熱器38及び物体用温度検出部39に代えて、媒体接続口下部配管34dに設置される液体用流量可変器81と、媒体接続口上部配管34eに設置される液体用流量検出部82とを備える。なお、図6では、液体用流量検出部82を加湿器34の下流側に配置しているが、これは、加湿器34を通過する液体37が、不図示の排水ラインに接続されている場合に有効となる。一方、排水ラインを構成しない場合は、液体用流量検出部82を加湿器34の上流側に配置してもよいが、この場合は、液体用流量可変器81の下流側へ配置することが望ましい。加湿エア供給装置80の制御は、第1実施形態にて説明した図3のブロック図において、加熱器38及び物体用温度検出部39をそれぞれ液体用流量可変器81及び液体用流量検出部82と変更し、加湿器目標温度53を液体37の目標流量と変更したものとなる。これにより、第1実施形態と同様の作用、効果を奏する。
次に、本発明の第5の実施形態に係る露光装置の加湿エア供給装置について説明する。図7は、本実施形態の加湿エア供給装置における、加湿エア41の湿度制御を実行するブロック図である。なお、図7において、図3と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の特徴は、上記各実施形態では、加湿エア41の湿度制御をフィードバック制御で実行するのに対し、更に、フィードフォワード制御を追加した点にある。即ち、本実施形態では、新たに制御演算部46dが、加湿エア41の目標湿度50を温度量に変換した後、制御演算部46bへ加算する。このような、フィードフォワード制御は、上記第1〜第4の実施形態において、同時に適用可能である。これにより、各実施形態の効果をより正確なものとすることができる。
次に、本発明の第6の実施形態に係る露光装置の加湿エア供給装置について説明する。図8は、第6実施形態に係る露光装置における加湿エア供給装置90の構成を示す概略図である。なお、図8において、図1と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の特徴は、加湿エア供給装置に、装置が停止した場合の機器破損の防止のための機器を設置した点にある。加湿器34は、CDA32と液体37とを内部で混合させて加湿を行うため、誤動作や誤操作が発生した場合、液体37がCDA32の配管へ逆流する可能性がある。この場合、多くの気体用配管機器は、液体37が混入すると破損する。そこで、本実施形態では、各流体制御機器33a、33bの下流側配管に各1箇所の逆止弁91を設置し、CDA32の供給側配管への液体37の進入を防止する。なお、液体37の逆流を防止することが可能であれば、逆止弁91に限定するものではなく、開閉バルブと圧力計(流量計)の組み合わせ等、複数の構成としても良い。
次に、本発明の一実施形態のデバイス(半導体デバイス、液晶表示デバイス等)の製造方法について説明する。半導体デバイスは、ウエハに集積回路を作る前工程と、前工程で作られたウエハ上の集積回路チップを製品として完成させる後工程を経ることにより製造される。前工程は、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたウエハを露光する工程と、ウエハを現像する工程を含む。後工程は、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)と、パッケージング工程(封入)を含む。液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造される。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、ガラス基板を現像する工程を含む。本実施形態のデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
6 ウエハ
10 チャンバ
30 加湿エア供給装置
31 CDA供給源
32 CDA
33a 流体制御機器
33b 流体制御機器
34 気化式加湿器
37 液体
38 加熱器
39 物体用温度検出部
41 加湿エア
45 湿度検出部
46 制御演算部
Claims (14)
- 光学素子に接する空間を囲むチャンバと、前記光学素子の空気に触れる表面を加湿エアにて局所的にパージする加湿エア供給装置とを有する露光装置であって、
前記加湿エア供給装置は、
気体を供給する気体供給源と、
前記気体供給源から供給された気体を加湿する気化式加湿器と、
前記気体供給源から供給された気体のうち、前記気化式加湿器を通過する第1の気体の流量を制御する第1の流体制御機器と、前記気化式加湿器を通過しない第2の気体の流量を制御する第2の流体制御機器と、
前記気化式加湿器の加湿能力を可変する加湿能力可変機器と、
前記加湿エアの湿度を計測する湿度検出部と、
前記第1の流体制御機器、前記第2の流体制御機器、及び前記加湿能力可変機器を制御する制御演算部と、を有し、
前記制御演算部は、前記湿度検出部が検出した前記加湿エアの湿度と、予め設定した目標湿度とに基づいて、前記第1及び第2の流体制御機器を制御して前記第1及び第2の気体の流量比を調整し、更に、前記第1の流体制御機器の操作量と、予め設定した目標湿度操作量に基づいて、前記加湿能力可変機器を制御して前記気化式加湿器に導入される前記第1の気体の流量を一定とすることを特徴とする露光装置。 - 前記制御演算部は、前記加湿エアの湿度制御をフィードバック制御で実行することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記制御演算部は、前記加湿エアの湿度制御を前記フィードバック制御に加えて、フィードフォワード制御で実行することを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 前記加湿能力可変機器は、前記気化式加湿器の外郭に設置された加熱器と、前記気化式加湿器の外郭の表面温度を検出する物体用温度検出部とで構成され、前記気化式加湿器の表面温度を変更することにより加湿能力を変更することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記加湿能力可変機器は、前記気化式加湿器の媒体となる液体の供給配管に設置された加熱器と、前記液体の温度を検出する液体用温度検出部とで構成され、前記液体の温度を変更することにより加湿能力を変更することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記加湿能力可変機器は、前記気体供給源からの供給配管に設置された加熱器と、前記気体の温度を検出する気体用温度検出部7とで構成され、前記気体の温度を変更することにより加湿能力を変更することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記加湿能力可変機器は、前記気化式加湿器の媒体となる液体の配管に設置された液体用流量可変器と、前記液体の流量を検出する液体用流量検出部とで構成され、前記液体の流量を変更することにより加湿能力を変更することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記加湿エア供給装置は、前記第1及び第2の流体制御機器の下流側配管に、装置が停止した場合に前記気体の供給配管への前記液体の進入を防止する逆止弁を備えることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記加湿エア供給装置は、前記気体の供給配管における前記第1及び第2の流体制御機器とは異なる分岐路に、装置が停止した場合に、前記第1及び第2の流体制御機器の開閉状態を問わず、前記気化式加湿器の内部に残留する前記液体を排出するパージ弁を備えることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記加湿エア供給装置は、前記気化式加湿器の前記液体の配管に対して、前記気体を供給する経路を備え、かつ、前記経路上に排水弁を備えることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記加湿エアの露点温度は、前記チャンバの内部の空気の温度よりも低く設定することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記加湿エアの湿度は、前記光学素子の周辺の湿度に調整されることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の露光装置。
- 請求項1〜12のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイスの製造方法。 - 光学素子に接する空間に気体を供給する気体供給装置において、
前記空間に供給される気体の湿度を計測する湿度計測手段と、
前記空間に供給される気体の湿度を調整可能な湿度調整手段と、を備え、
前記湿度調整手段は、
第1流路と、
前記第1流路を通過する気体を加湿可能な加湿器と、
前記加湿器の上流及び下流にて、前記第1流路に接続される第2流路と、
前記湿度計測手段の出力に基づいて、前記第1及び第2流路を通過する気体の流量を制御可能な流量制御手段と、
前記第1流路を通過する気体の流量に応じて、前記加湿器の能力を変化させる加湿制御手段と、
を備えることを特徴とする気体供給装置。
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