JP2011223324A - Sound pick-up device and capacitor microphone - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sound pick-up device and a capacitor microphone that can be easily stored in a narrow tubular space such as a sound conduction tube of an earphone microphone and pick up with high sensitivity sound propagating in the space.SOLUTION: A package 21 of an earphone microphone 14 has acoustic holes 26 and 27 on its bottom face 71. Electroacoustic transducer dies 23 and 24 are provided on the bottom face 71 of the package 21 to convert the sound propagating from the acoustic holes 26 and 27 toward vibration electrodes 34 and 35 into an electric signal. A bonding face 72 of the package 21 is bonded to a bonding face 73 of an external power distribution board 15. A sound conduction path 45 which communicates with the acoustic holes 26 and 27 and extends in the direction orthogonal to the direction from the vibration electrodes 34 and 35 to the acoustic holes 26 and 27 is formed in a gap between the bonding faces 72 and 73.

Description

本発明は、狭小なスペースに収容して利用されるマイクロホンに関する。   The present invention relates to a microphone that is housed and used in a narrow space.

狭小なスペース内に固定して利用される小型マイクロホンの1つに、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いてチップ化されたコンデンサマイクロホンがある。コンデンサマイクロホンには、次の2種類の構成のものがある。図15(A)に示すように、第1の種類のコンデンサマイクロホン50は、トレイ部52にカバー53を被せたパッケージ54におけるカバー53に孔55を穿設し、パッケージ54内におけるカバー53と対向する面56に電気音響変換ダイ57とインピーダンス変換ダイ58を固定した構成となっている。図15(B)に示すように、第2の種類のコンデンサマイクロホン51は、トレイ部52にカバー53を被せたパッケージ54におけるカバー53と対向する面56に孔55を穿設し、パッケージ54内における孔55と重なる位置とその隣の位置に電気音響変換ダイ57とインピーダンス変換ダイ58を固定した構成となっている。   One of the small microphones that are used by being fixed in a narrow space is a condenser microphone that is formed into a chip using MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technology. There are the following two types of condenser microphones. As shown in FIG. 15A, the first type of condenser microphone 50 has a hole 55 formed in the cover 53 of the package 54 in which the cover 53 is covered on the tray portion 52, and is opposed to the cover 53 in the package 54. The electroacoustic conversion die 57 and the impedance conversion die 58 are fixed to the surface 56 to be processed. As shown in FIG. 15B, the second type condenser microphone 51 has a hole 55 formed in a surface 56 facing the cover 53 in the package 54 in which the cover 53 is covered on the tray portion 52, and the inside of the package 54. The electroacoustic conversion die 57 and the impedance conversion die 58 are fixed to a position overlapping with the hole 55 in FIG.

これらのコンデンサマイクロホン50及び51において、孔55からパッケージ54内に伝わる音は、電気音響変換ダイ57の電極60及び61に到達し、電極60及び61間の容量を変化させる。そして、この容量の変化を示す電気信号がインピーダンス変換ダイ58によって取り出され、収音結果を示す信号として出力される。また、図15(A)及び図15(B)に示すように、これら2種類の構成のコンデンサマイクロホン50及び51のうちコンデンサマイクロホン50は、パッケージ54における電気音響変換ダイ57とインピーダンス変換ダイ58のある面56の裏側の面59に外部配電基板62が接合され、この状態で収容スペース内に固定される。また、コンデンサマイクロホン51は、パッケージ54における電気音響変換ダイ57とインピーダンス変換ダイ58のある面56の裏側の面59に、孔63を有する外部配電基板62が孔63及び55同士を重ねるようにして接合され、この状態で収容スペース内に固定される。これらのコンデンサマイクロホン50,51に関する技術を開示した文献として、例えば、特許文献1がある。   In these condenser microphones 50 and 51, the sound transmitted from the hole 55 into the package 54 reaches the electrodes 60 and 61 of the electroacoustic conversion die 57 and changes the capacitance between the electrodes 60 and 61. Then, an electric signal indicating the change in capacitance is taken out by the impedance conversion die 58 and output as a signal indicating the sound collection result. Further, as shown in FIGS. 15A and 15B, the capacitor microphone 50 of the two types of capacitor microphones 50 and 51 includes an electroacoustic conversion die 57 and an impedance conversion die 58 in the package 54. The external power distribution board 62 is bonded to the surface 59 on the back side of the certain surface 56, and is fixed in the accommodation space in this state. Further, the condenser microphone 51 has an external power distribution board 62 having a hole 63 overlapped with the holes 63 and 55 on the surface 59 on the back side of the surface 56 where the electroacoustic conversion die 57 and the impedance conversion die 58 of the package 54 are located. Bonded and fixed in the accommodation space in this state. As a document disclosing the technology related to these condenser microphones 50 and 51, for example, there is Patent Document 1.

特開2009−100425号公報JP 2009-1000042 A

ところで、コンデンサマイクロホン50,51は、イヤホンマイクにおけるイヤピースの中心を通る導音管内に収められ、イヤピースが挿入された耳内の音を収音する収音装置として利用される場合がある。この場合、図16(A)に示すように、コンデンサマイクロホン50,51(図16の例では、コンデンサマイクロホン51)と外部配電基板62とを接合したものを収音装置とし、電極60及び61から孔55に向かう方向がイヤホンマイク65の導音管66における音の入る側を向くような姿勢で導音管66内に収容する。このような姿勢で収容することにより、導音管66外から導音管66内に伝搬される音を高感度に収音できる。   By the way, the condenser microphones 50 and 51 may be housed in a sound guide tube that passes through the center of the earpiece in the earphone microphone, and may be used as a sound collecting device that collects sound in the ear into which the earpiece is inserted. In this case, as shown in FIG. 16A, a sound collecting device is formed by joining capacitor microphones 50 and 51 (capacitor microphone 51 in the example of FIG. 16) and external power distribution board 62, and from electrodes 60 and 61. The sound guide tube 66 is housed in a posture such that the direction toward the hole 55 faces the sound input side of the sound guide tube 66 of the earphone microphone 65. By accommodating in such a posture, the sound propagated from the outside of the sound guide tube 66 into the sound guide tube 66 can be collected with high sensitivity.

しかし、コンデンサマイクロホン51の面56(図15(B))には電気音響変換ダイ57とインピーダンス変換ダイ58が並べて接合されており、この面56における電気音響変換ダイ57とインピーダンス変換ダイ58が並ぶ方向の幅は他の方向の幅よりも大きくなっている。よって、収音装置を、孔55が導音管66における音の入る側を向くような姿勢にして収容する場合、音の入る側から見たときの断面積が大きくならざるを得ない。このため、細い口径の導音管66を持ったイヤホンマイクへの利用が難しくなる。   However, the electroacoustic conversion die 57 and the impedance conversion die 58 are arranged side by side on the surface 56 (FIG. 15B) of the condenser microphone 51, and the electroacoustic conversion die 57 and the impedance conversion die 58 on this surface 56 are arranged. The width in the direction is larger than the width in the other direction. Therefore, when the sound collecting device is accommodated in such a posture that the hole 55 faces the sound entering side of the sound guide tube 66, the cross-sectional area when viewed from the sound entering side must be large. This makes it difficult to use the earphone microphone having the sound guide tube 66 having a small diameter.

一方、図16(B)に示すように、収音装置を、電極60及び61から孔55に向かう方向が導音管66の内周壁を向くような姿勢とすれば、細い口径を有する導音管66内への収容は比較的容易である。しかし、この姿勢では、導音管66内に伝搬される音を高感度に収音できなくなる。   On the other hand, as shown in FIG. 16 (B), if the sound collection device is in such a posture that the direction from the electrodes 60 and 61 toward the hole 55 faces the inner peripheral wall of the sound guide tube 66, the sound guide having a small diameter is provided. Housing in the tube 66 is relatively easy. However, in this posture, the sound propagated into the sound guide tube 66 cannot be collected with high sensitivity.

本発明は、このような背景の下に案出されたものであり、イヤホンマイクの導音管などのような細い管状のスペースへの収納が容易であり、そのスペース内に伝搬される音を高感度に収音する収音装置を提供することを目的とする。   The present invention has been devised under such a background, and can be easily stored in a thin tubular space such as a sound guide tube of an earphone microphone, and the sound propagated in the space can be transmitted. An object of the present invention is to provide a sound collection device that collects sound with high sensitivity.

本発明は、内側が中空のパッケージと、互いに向き合って前記パッケージの内側に収容された板状の振動電極と静止電極とを有し、前記振動電極および静止電極間の容量変化を収音結果を示す電気信号として出力するコンデンサマイクロホンを具備し、前記振動電極に対して直交する方向に音を案内して前記振動電極に音を到達させる音響孔を前記パッケージに形成するとともに、外部から到来する音を前記振動電極および静止電極に対して平行な方向に沿って案内して前記音響孔内に到達させる中空な導音ガイドを形成したことを特徴とする収音装置を提供する。   The present invention includes a package having a hollow inside, a plate-like vibrating electrode and a stationary electrode that are accommodated inside the package so as to face each other, and a capacitance change between the vibrating electrode and the stationary electrode is obtained as a result of collecting sound. And an acoustic hole for guiding sound in a direction orthogonal to the vibrating electrode to reach the vibrating electrode and forming sound holes in the package, and for sound coming from outside A sound collecting device is provided in which a hollow sound guide is formed that guides along a direction parallel to the vibrating electrode and the stationary electrode to reach the acoustic hole.

本発明によると、電極から音響孔に向かう方向が収容スペースの内壁面を向き、且つ導音ガイドの出口が収容スペースにおける音の入る側を向くような姿勢で収容スペース内に収容できるので、収容スペース内に伝わる音を高感度に収音することができる。従って、収容スペースにおける音の入る側から見た収容スペースの断面積を大きくすることなく、収音の感度を高めることができる。   According to the present invention, since the direction from the electrode toward the acoustic hole faces the inner wall surface of the accommodation space and the outlet of the sound guide guides toward the side where sound enters in the accommodation space, it can be accommodated in the accommodation space. Sound transmitted in the space can be collected with high sensitivity. Therefore, the sensitivity of sound collection can be increased without increasing the cross-sectional area of the accommodation space as viewed from the sound input side in the accommodation space.

本発明の一実施形態である収音装置を含むイヤホンマイクの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the earphone microphone containing the sound collection device which is one Embodiment of this invention. 図1における導音管および導音管内の収音装置の拡大図、および図1におけるA−A’線及びB−B’線断面図である。FIG. 2 is an enlarged view of the sound guide tube in FIG. 1 and a sound collecting device in the sound guide tube, and a cross-sectional view taken along line A-A ′ and B-B ′ in FIG. 1. 図2における外部配電基板を剥がした状態のコンデンサマイクロホンの斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the condenser microphone in a state where an external power distribution board in FIG. 2 is peeled off. 本発明の他の実施形態である収音装置を示す図である。It is a figure which shows the sound collection device which is other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態である収音装置を示す図である。It is a figure which shows the sound collection device which is other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態である収音装置を示す図である。It is a figure which shows the sound collection device which is other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態である収音装置を示す図である。It is a figure which shows the sound collection device which is other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態である収音装置を示す図である。It is a figure which shows the sound collection device which is other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態である収音装置を示す図である。It is a figure which shows the sound collection device which is other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態である収音装置を示す図である。It is a figure which shows the sound collection device which is other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態である収音装置を示す図である。It is a figure which shows the sound collection device which is other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態である収音装置を示す図である。It is a figure which shows the sound collection device which is other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態である収音装置を示す図である。It is a figure which shows the sound collection device which is other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態である収音装置を示す図である。It is a figure which shows the sound collection device which is other embodiment of this invention. 従来のコンデンサマイクロホンの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the conventional condenser microphone. 従来のコンデンサマイクロホンの収容スペースへの収納の態様を示す図である。It is a figure which shows the aspect of the accommodation to the accommodation space of the conventional condenser microphone.

以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。
図1(A)及び図1(B)は、本発明の一実施形態である収音装置3を含むイヤホンマイク1の構成を示す図である。このイヤホンマイク1は、携帯電話機によるハンズフリー通話のためのオプション機器として利用される。イヤホンマイク1のハウジング11内には放音装置2が収容されている。ハウジング11からは円筒状の導音管12が突出しており、この導音管12内には収音装置3が収容されている。導音管12はイヤピース13により覆われている。イヤホンマイク1は、イヤピース13を利用者の耳の外耳道内に挿入することにより、利用者の耳に装着される。この装着状態において、放音装置2は、携帯電話機からケーブル70を介して供給される受話音信号SRCVを音に変換し、変換した音を出力する。この音は、導音管12を通って外耳道内に放音される。放音装置2の構成については、本願発明との関連性が希薄であるため、詳細な説明を割愛する。収音装置3は、利用者の声帯から頭蓋骨を介して外耳道内に伝わる音(利用者の話声)を示す送話音信号SSNDをケーブル70を介して携帯電話機に出力する。送話音信号SSNDは、出力先の携帯電話機から通話相手の携帯電話機に送信される。以下、収音装置3の構成の詳細について説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1A and FIG. 1B are diagrams showing a configuration of an earphone microphone 1 including a sound collection device 3 according to an embodiment of the present invention. The earphone microphone 1 is used as an optional device for hands-free calling using a mobile phone. A sound emitting device 2 is accommodated in the housing 11 of the earphone microphone 1. A cylindrical sound guide tube 12 protrudes from the housing 11, and the sound collecting device 3 is accommodated in the sound guide tube 12. The sound guide tube 12 is covered with an earpiece 13. The earphone microphone 1 is attached to the user's ear by inserting the earpiece 13 into the ear canal of the user's ear. In this wearing state, the sound emitting device 2 converts the received sound signal S RCV supplied from the mobile phone via the cable 70 into sound, and outputs the converted sound. This sound is emitted through the sound guide tube 12 into the ear canal. About the structure of the sound emission apparatus 2, since the relevance with this invention is thin, detailed description is omitted. The sound collection device 3 outputs a transmission sound signal SSND indicating a sound (user's speech) transmitted from the user's vocal cords through the skull to the external auditory canal via the cable 70 to the mobile phone. The transmitted sound signal S SND is transmitted from the output destination mobile phone to the other party's mobile phone. Hereinafter, details of the configuration of the sound collection device 3 will be described.

収音装置3は、外耳道内における音を収音するコンデンサマイクロホン14を、このコンデンサマイクロホン14の出力信号を送話音信号SSNDとしてケーブル70に伝える外部配電基板15上に搭載したものである。図2(A)は、図1(A)における導音管12及び同管12内の収音装置3の拡大図である。図2(B)は、図1(A)におけるA−A’線及び図1(B)におけるB−B’線の断面図である。また、図3は、図2(B)における外部配電基板15を剥がした状態のコンデンサマイクロホン14を示す斜視図である。 The sound collecting device 3 is a device in which a condenser microphone 14 that picks up sound in the ear canal is mounted on an external power distribution board 15 that transmits an output signal of the condenser microphone 14 to a cable 70 as a transmission sound signal SSND . FIG. 2A is an enlarged view of the sound guide tube 12 in FIG. 1A and the sound collection device 3 in the tube 12. 2B is a cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. 1A and line BB ′ in FIG. FIG. 3 is a perspective view showing the condenser microphone 14 with the external power distribution board 15 in FIG.

図2(A),図2(B),及び図3に示すように、コンデンサマイクロホン14は、幅W1(例えば、W1=2.9mm),厚さT1(例えば、T1=1.1mm),及び長さL1(例えば、L1=6.0mm)の寸法の直方体状をなしている。コンデンサマイクロホン14の外殻は内側が中空なパッケージ21により構成され、このパッケージ21内には2つの電気音響変換ダイ23及び24と1つのインピーダンス変換ダイ25がある。より詳細に説明すると、コンデンサマイクロホン14のパッケージ21は、一面が開放された箱状のトレイ部48とこのトレイ部48の開放された側を塞ぐカバー49とからなる。パッケージ21におけるカバー49と対向する底面71の中央には、長さL1方向に沿って離間した2つの音響孔26及び27がある。トレイ部48にカバー49が装着された状態において、パッケージ21の内部は中空であり、音響孔26及び27のみが空気の通り道となっている。図3に示すように、底面71の裏側の接合面72には、音響孔27から音響孔26を通り、パッケージ21における当該接合面72と交差する面の1つである端面97まで伸びる溝28が形成されている。この溝28は、パッケージ21の幅W1より十分に小さい幅W(例えば、W=0.25mm)とパッケージ21の厚さT1より十分に小さい深さD(例えば、D=0.15mm)を有している。 As shown in FIGS. 2A, 2B, and 3, the condenser microphone 14 has a width W1 (for example, W1 = 2.9 mm), a thickness T1 (for example, T1 = 1.1 mm), And a rectangular parallelepiped having a length L1 (for example, L1 = 6.0 mm). The outer shell of the condenser microphone 14 is constituted by a package 21 having a hollow inside, and the package 21 includes two electroacoustic conversion dies 23 and 24 and one impedance conversion die 25. More specifically, the package 21 of the condenser microphone 14 is composed of a box-shaped tray portion 48 that is open on one side and a cover 49 that closes the open side of the tray portion 48. In the center of the bottom surface 71 facing the cover 49 in the package 21, there are two acoustic holes 26 and 27 spaced along the length L1 direction. In a state where the cover 49 is attached to the tray portion 48, the interior of the package 21 is hollow, and only the acoustic holes 26 and 27 serve as air passages. As shown in FIG. 3, a groove 28 that extends from the acoustic hole 27 through the acoustic hole 26 to the end surface 97 that is one of the surfaces intersecting with the joint surface 72 of the package 21 is formed on the joint surface 72 on the back side of the bottom surface 71. Is formed. The groove 28 has a width W C (for example, W C = 0.25 mm) sufficiently smaller than the width W 1 of the package 21 and a depth D C (for example, D C = 0. 0) sufficiently smaller than the thickness T 1 of the package 21. 15 mm).

パッケージ21内の底面71における音響孔26と重なる位置には電気音響変換ダイ23が接合されている。また、底面71におけるもう1つの音響孔27と重なる位置には電気音響変換ダイ24が接合されている。電気音響変換ダイ23は、静止電極32及び振動電極34と支持部30とからなる。電気音響変換ダイ24は、静止電極33及び振動電極35と支持部31とからなる。静止電極32及び33と振動電極34及び35は、ドープトシリコンなどを素材とする円盤状の電極である。支持部30は、静止電極32及び振動電極34を平行な姿勢で互いに向かい合うように支持する役割を果たす部材である。また、支持部31は、静止電極33及び振動電極35を平行な姿勢で互いに向かい合うように支持する役割を果たす部材である。   An electroacoustic conversion die 23 is joined to a position overlapping the acoustic hole 26 on the bottom surface 71 in the package 21. In addition, the electroacoustic conversion die 24 is joined to a position overlapping the other acoustic hole 27 on the bottom surface 71. The electroacoustic conversion die 23 includes a stationary electrode 32, a vibrating electrode 34, and a support portion 30. The electroacoustic conversion die 24 includes a stationary electrode 33, a vibrating electrode 35, and a support portion 31. The stationary electrodes 32 and 33 and the vibrating electrodes 34 and 35 are disk-like electrodes made of doped silicon or the like. The support part 30 is a member that plays a role of supporting the stationary electrode 32 and the vibration electrode 34 so as to face each other in a parallel posture. The support portion 31 is a member that plays a role of supporting the stationary electrode 33 and the vibration electrode 35 so as to face each other in a parallel posture.

より具体的に説明すると、支持部30及び31は、音響孔26及び27の直径とほぼ同じ直径の内周を持った環状を成している。支持部30及び31は、音響孔26及び27の縁からカバー49に向かって延在している。静止電極32は、支持部30におけるカバー49側の縁を覆うようにして支持部30に支持されている。静止電極33は、支持部31におけるカバー49側の縁を覆うようにして支持部31に支持されている。静止電極32及び33には複数の後方通孔が形成されている。振動電極34は、支持部30内における静止電極32よりも音響孔26側を塞ぐようにして支持部30に支持されている。振動電極35は、支持部31内における静止電極33よりも音響孔27側を塞ぐようにして支持部31に支持されている。   More specifically, the support portions 30 and 31 have an annular shape having an inner circumference with substantially the same diameter as that of the acoustic holes 26 and 27. The support portions 30 and 31 extend from the edges of the acoustic holes 26 and 27 toward the cover 49. The stationary electrode 32 is supported by the support portion 30 so as to cover the edge of the support portion 30 on the cover 49 side. The stationary electrode 33 is supported by the support portion 31 so as to cover the edge of the support portion 31 on the cover 49 side. A plurality of rear through holes are formed in the stationary electrodes 32 and 33. The vibration electrode 34 is supported by the support portion 30 so as to close the acoustic hole 26 side relative to the stationary electrode 32 in the support portion 30. The vibration electrode 35 is supported by the support portion 31 so as to close the acoustic hole 27 side relative to the stationary electrode 33 in the support portion 31.

電気音響変換ダイ23及び24において、静止電極32及び振動電極34間と静止電極33及び振動電極35間には厚さT1方向の僅かな隙間が空いている。そして、静止電極32及び振動電極34と静止電極33及び振動電極35の各々によりコンデンサが形成される。パッケージ21内は、振動電極34及び35により、音響孔26及び27の外側に連通する空間(音響空間SSという)と音響空間SSの反対側の気密な空間(背部空気室BCという)とに隔てられる。   In the electroacoustic conversion dies 23 and 24, a slight gap in the thickness T1 direction is provided between the stationary electrode 32 and the vibrating electrode 34 and between the stationary electrode 33 and the vibrating electrode 35. A capacitor is formed by each of the stationary electrode 32 and the vibrating electrode 34 and the stationary electrode 33 and the vibrating electrode 35. The inside of the package 21 is separated by a vibrating electrode 34 and 35 into a space communicating with the outside of the acoustic holes 26 and 27 (referred to as acoustic space SS) and an airtight space (referred to as a back air chamber BC) on the opposite side of the acoustic space SS. It is done.

音響孔26は、当該音響孔26に伝わる音を静止電極32及び振動電極34に対して直交する方向(厚さT1方向)に導いて振動電極34に到達させる役割を果たす。また、音響孔27は、当該音響孔27に伝わる音を静止電極33及び振動電極35に対して直交する方向(厚さT1方向)に導いて振動電極35に到達させる役割を果たす。音響孔26及び27に導かれて振動電極34及び35に到達した音波は、振動電極34及び35を振動させる。振動電極34及び35が振動すると、静止電極32及び振動電極34間の隙間や静止電極33及び振動電極35間の隙間の大きさが変化し、静止電極32及び振動電極34の容量や静止電極33及び振動電極35の容量が変化する。この結果、静止電極32及び振動電極34と静止電極33及び振動電極35の容量変化は、振動電極34及び35に到達した音の波形に応じたものとなる。   The acoustic hole 26 plays a role of guiding sound transmitted to the acoustic hole 26 in a direction perpendicular to the stationary electrode 32 and the vibration electrode 34 (thickness T1 direction) and reaching the vibration electrode 34. The acoustic hole 27 plays a role of guiding the sound transmitted to the acoustic hole 27 in a direction orthogonal to the stationary electrode 33 and the vibration electrode 35 (thickness T1 direction) and reaching the vibration electrode 35. The sound waves that are guided to the acoustic holes 26 and 27 and reach the vibration electrodes 34 and 35 cause the vibration electrodes 34 and 35 to vibrate. When the vibrating electrodes 34 and 35 vibrate, the size of the gap between the stationary electrode 32 and the vibrating electrode 34 and the size of the gap between the stationary electrode 33 and the vibrating electrode 35 change, and the capacitance of the stationary electrode 32 and the vibrating electrode 34 and the stationary electrode 33 are changed. And the capacity of the vibrating electrode 35 changes. As a result, the capacitance changes of the stationary electrode 32 and the vibrating electrode 34 and the stationary electrode 33 and the vibrating electrode 35 correspond to the waveform of the sound that reaches the vibrating electrodes 34 and 35.

図2(B)において、底面71における電気音響変換ダイ23及び24の並び方向に沿って電気音響変換ダイ24から離れた位置にはインピーダンス変換ダイ25が配置されている。インピーダンス変換ダイ25には、静止電極32及び振動電極34からなるコンデンサと静止電極33及び振動電極35からなるコンデンサとが並列接続されている(接続状態は図示略)。インピーダンス変換ダイ25は、この並列接続された2個のコンデンサの容量変化に応じた電気信号を発生し、収音結果を示す信号として出力する。   In FIG. 2B, the impedance conversion die 25 is disposed at a position away from the electroacoustic conversion die 24 along the direction in which the electroacoustic conversion dies 23 and 24 are arranged on the bottom surface 71. A capacitor composed of a stationary electrode 32 and a vibrating electrode 34 and a capacitor composed of a stationary electrode 33 and a vibrating electrode 35 are connected in parallel to the impedance conversion die 25 (the connection state is not shown). The impedance conversion die 25 generates an electrical signal corresponding to the capacitance change of the two capacitors connected in parallel, and outputs it as a signal indicating the sound collection result.

図2(A)及び図2(B)に示すように、外部配電基板15は、幅W2(W2=W1),厚さT2(T2<T1),及び長さL2(L2>L1)の寸法の板状をなしている。外部配電基板15におけるコンデンサマイクロホン14に対向する接合面73には、インピーダンス変換ダイ25から出力される電気信号を送話音信号SSNDとして携帯電話機に出力するための回路パターンが形成されている。 As shown in FIGS. 2A and 2B, the external power distribution board 15 has dimensions of width W2 (W2 = W1), thickness T2 (T2 <T1), and length L2 (L2> L1). It has a plate shape. A circuit pattern for outputting an electrical signal output from the impedance conversion die 25 to the mobile phone as a transmission sound signal S SND is formed on the joint surface 73 of the external power distribution board 15 facing the condenser microphone 14.

図3に示すように、コンデンサマイクロホン14の接合面72における4隅の内側の4点と、接合面72における音響孔26及び27と溝28の縁の僅かに外側を包囲する部分には、半田40,41,42,43,及び44が配されており、この半田40,41,42,43,及び44の溶着によってコンデンサマイクロホン14及び外部配電基板15が接合されている。接合面72の4隅の内側の半田40,41,42,及び43は、コンデンサマイクロホン14の接合面72上の端子(不図示)と外部配電基板15の接合面73上の端子(不図示)を電気的に接続する役割を果たす。   As shown in FIG. 3, there are four points inside the four corners of the joint surface 72 of the condenser microphone 14 and a portion of the joint surface 72 that slightly surrounds the edges of the acoustic holes 26 and 27 and the groove 28 with solder. 40, 41, 42, 43, and 44 are arranged, and the condenser microphone 14 and the external power distribution board 15 are joined by welding the solders 40, 41, 42, 43, and 44. Solders 40, 41, 42, and 43 inside the four corners of the joint surface 72 are terminals (not shown) on the joint surface 72 of the condenser microphone 14 and terminals (not shown) on the joint surface 73 of the external power distribution board 15. It plays the role of electrically connecting.

また、音響孔26及び27と溝28の縁の外側を包囲する部分の半田44は、当該半田44、接合面72の溝28、接合面72における当該半田44に囲まれた内側の部分、及び外部配電基板15の接合面73における当該半田44に囲まれた内側の部分とともに中空な導音経路45を形成する。導音経路45は、外部からパッケージ21の端面97側に到来する音(図2(B)の矢印方向に伝搬する音)を振動電極34,35及び静止電極32,33に対して平行な方向に沿って案内して音響孔26及び27に到達させる導音ガイドとしての役割を果たす経路である。そして、図2(A)及び図2(B)に示すように、収音装置3は、電気音響変換ダイ23及び24の振動電極34及び35から音響孔26及び27に向かう方向が導音管12の内壁面を向き、且つ導音経路45の出口が導音管12における音の入る側を向くような姿勢で導音管12内に収容される。   In addition, the solder 44 in the portion surrounding the outer edges of the acoustic holes 26 and 27 and the groove 28 includes the solder 44, the groove 28 in the joint surface 72, the inner portion of the joint surface 72 surrounded by the solder 44, and A hollow sound guide path 45 is formed together with an inner portion surrounded by the solder 44 in the joint surface 73 of the external power distribution board 15. The sound guide path 45 is a direction parallel to the vibrating electrodes 34 and 35 and the stationary electrodes 32 and 33 for the sound arriving on the end surface 97 side of the package 21 from the outside (sound propagating in the arrow direction in FIG. 2B). Is a path that serves as a sound guide that is guided along the sound path and reaches the acoustic holes 26 and 27. As shown in FIGS. 2A and 2B, the sound collection device 3 is such that the direction from the vibration electrodes 34 and 35 of the electroacoustic conversion dies 23 and 24 toward the acoustic holes 26 and 27 is the sound guide tube. 12 is accommodated in the sound guide tube 12 in such a posture that it faces the inner wall surface 12 and the outlet of the sound guide path 45 faces the sound input side of the sound guide tube 12.

以上説明した本実施形態によると、次の効果が得られる。
第1に、本実施形態の収音装置3では、電気音響変換ダイ23及び24とインピーダンス変換ダイ25とをパッケージ21の長さL1方向(すなわち、耳に対する挿入方向)に並べ、静止電極32及び振動電極34からなるコンデンサと静止電極33及び振動電極35からなるコンデンサを並列接続したものの容量変化を送話音信号SSNDとして取り出すようになっている。そして、パッケージ21の接合面72と外部配電基板15の接合面73の間の隙間に導音経路45が形成されている。パッケージ21の端面97側に到来する音(図2(B)の矢印方向に伝搬する音)は、この導音経路45によって、振動電極34,35及び静止電極32,33に対して平行な方向に沿って案内されて音響孔26及び27に到達する。よって、振動電極34及び35から音響孔26及び27に向かう方向が導音管12の内壁面を向き、且つ導音経路45の出口が導音管12における音の入る側を向くような姿勢で導音管12内に収容した場合でも、外耳道内から導音管12内に伝わる音を高感度に収音することができる。従って、イヤホンマイク1の導音管12における音の入る側から見た導音管12の断面積(図2(B)の矢印方向から見た導音管12の断面積)を大きくすることなく、収音の感度を高めることができる。
According to the embodiment described above, the following effects can be obtained.
First, in the sound collection device 3 of this embodiment, the electroacoustic conversion dies 23 and 24 and the impedance conversion die 25 are arranged in the length L1 direction of the package 21 (that is, the insertion direction with respect to the ear), and the stationary electrode 32 and The capacitance change of the capacitor composed of the vibration electrode 34 and the capacitor composed of the stationary electrode 33 and the vibration electrode 35 connected in parallel is extracted as the transmission sound signal S SND . A sound guide path 45 is formed in a gap between the bonding surface 72 of the package 21 and the bonding surface 73 of the external power distribution board 15. The sound arriving on the end surface 97 side of the package 21 (sound propagating in the direction of the arrow in FIG. 2B) is parallel to the vibrating electrodes 34 and 35 and the stationary electrodes 32 and 33 by the sound guide path 45. And reach the acoustic holes 26 and 27. Therefore, in such a posture that the direction from the vibrating electrodes 34 and 35 toward the acoustic holes 26 and 27 faces the inner wall surface of the sound guide tube 12 and the outlet of the sound guide path 45 faces the sound input side of the sound guide tube 12. Even when accommodated in the sound guide tube 12, the sound transmitted from the ear canal to the sound guide tube 12 can be collected with high sensitivity. Therefore, the cross-sectional area of the sound guide tube 12 as viewed from the sound input side of the sound guide tube 12 of the earphone microphone 1 (the cross-sectional area of the sound guide tube 12 viewed from the arrow direction in FIG. 2B) is not increased. , Can increase the sensitivity of sound collection.

第2に、本実施形態では、パッケージ21におけるカバー49と反対側の面71に音響孔26及び27を設けている。よって、音響孔26及び27をカバー49に設けたものよりも、背部空気室BCの容積を広くとることができる。従って、音響孔26及び27をカバー49に設けたものよりも高い感度及びS/Nで音を収音することができる。
第3に、本実施形態では、パッケージ21及び外部配電基板15間の隙間に導音経路45を形成するようにしたので、製造が容易であり、且つ、収音装置3全体の寸法を小さくすることができる。
Secondly, in the present embodiment, the acoustic holes 26 and 27 are provided in the surface 71 of the package 21 opposite to the cover 49. Therefore, the volume of the back air chamber BC can be made larger than that in which the acoustic holes 26 and 27 are provided in the cover 49. Therefore, it is possible to collect sound with higher sensitivity and S / N than those in which the acoustic holes 26 and 27 are provided in the cover 49.
Thirdly, in this embodiment, since the sound guide path 45 is formed in the gap between the package 21 and the external power distribution board 15, the manufacturing is easy and the overall size of the sound collecting device 3 is reduced. be able to.

以上、この発明の一実施形態について説明したが、この発明には他にも実施形態があり得る。例えば、以下の通りである。
(1)上記実施形態において、パッケージ21における音響孔26及び27および電気音響変換ダイ23及び24の組の数を1つにしてもよいし、3つ以上にしてもよい。
Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention may have other embodiments. For example, it is as follows.
(1) In the above embodiment, the number of sets of the acoustic holes 26 and 27 and the electroacoustic conversion dies 23 and 24 in the package 21 may be one, or may be three or more.

(2)上記実施形態では、パッケージ21の底面71に音響孔26及び27と電気音響変換ダイ23及び24が設けられ、この底面71の裏側の接合面72に外部配電基板15の接合面73が接合されていた。しかし、パッケージ21のカバー49側に音響孔26及び27と電気音響変換ダイ23及び24を設け、カバー49における電気音響変換ダイ23及び24の設けられた面の裏側に外部配電基板15を接合し、カバー49と外部配電基板15との間の隙間に導音経路45を形成してもよい。 (2) In the above embodiment, the acoustic holes 26 and 27 and the electroacoustic conversion dies 23 and 24 are provided on the bottom surface 71 of the package 21, and the joint surface 73 of the external power distribution board 15 is formed on the joint surface 72 on the back side of the bottom surface 71. It was joined. However, the acoustic holes 26 and 27 and the electroacoustic conversion dies 23 and 24 are provided on the cover 49 side of the package 21, and the external power distribution board 15 is joined to the back side of the cover 49 where the electroacoustic conversion dies 23 and 24 are provided. The sound guide path 45 may be formed in the gap between the cover 49 and the external power distribution board 15.

(3)上記実施形態では、パッケージ21における底面71の裏側の面である接合面72に溝28が形成されていた。しかし、外部配電基板15の接合面73に、上記実施形態における溝28と同方向に延在する溝を設け、この接合面73の溝28の周囲を覆うように半田を配してもよい。また、上記実施形態では、コンデンサマイクロホン14の接合面72における4隅の内側の4点と接合面72における音響孔26及び27と溝28の縁の僅かに外側を包囲する部分に半田40,41,42,43,及び44が配されていた。しかし、4隅の半田40,41,42,43を別の位置に配してもよいし、溝28の縁の外側の半田44のみによってパッケージ21と外部配電基板15とを接合してもよい。要するに、パッケージ21の接合面72における少なくとも溝28を包囲する部分に半田が配され、接合面72がこの半田により外部配電基板15に接合されていればよい。 (3) In the above embodiment, the groove 28 is formed on the bonding surface 72 that is the surface on the back side of the bottom surface 71 of the package 21. However, a groove extending in the same direction as the groove 28 in the above embodiment may be provided on the joint surface 73 of the external power distribution board 15, and solder may be disposed so as to cover the periphery of the groove 28 of the joint surface 73. Further, in the above embodiment, the solder 40 and 41 are provided on the four points inside the four corners of the joint surface 72 of the condenser microphone 14 and the portions slightly surrounding the outer edges of the acoustic holes 26 and 27 and the groove 28 on the joint surface 72. , 42, 43, and 44 are arranged. However, the solders 40, 41, 42, and 43 at the four corners may be arranged at different positions, or the package 21 and the external power distribution board 15 may be joined only by the solder 44 outside the edge of the groove 28. . In short, it suffices that solder is disposed on at least a portion of the bonding surface 72 of the package 21 surrounding the groove 28 and the bonding surface 72 is bonded to the external power distribution board 15 by this solder.

(4)上記実施形態では、パッケージ21と外部配電基板15の間の隙間には、音響孔27から音響孔26の下を通ってパッケージ21の端面97に至る導音経路45が形成されていた。しかし、図4に示す収音装置3Aのように、音響孔26からパッケージ21の端面97に至る導音経路45と、音響孔27からパッケージ21における端面97と反対側の端面98に至る導音経路45’とを形成してもよい。この収音装置3Aでは、導音経路45及び45’が半田44及び44’によって各々封止され、導音経路45及び45’が空間的に隔てられている。この収音装置3Aでは、パッケージ21内における音響孔26を塞ぐ電気音響変換ダイ23が、パッケージ21の端面97側に到来する音(図4の矢印A方向に伝搬する音)を収音する。また、パッケージ21内における音響孔27を塞ぐ電気音響変換ダイ24が、パッケージ21の端面98側に到来する音(図4の矢印B方向に伝搬する音)を収音する。この収音装置3Aは、例えば、導音経路45の出口が導音管12における音の入る側(利用者の外耳道内の側)を向き、導音経路45’の出口がイヤホンマイク1のハウジング11の内部(利用者の耳の外と連通する空間の側)を向くような姿勢で導音管12内に収容される。これにより、利用者の声帯から頭蓋骨を経由して外耳道内を伝わる第1の音と、利用者の口から頬の周囲を経由して耳の外に伝わる第2の音を個別に収音し、第2の音の収音信号によって第1の音の収音信号を補正したものを送話音信号SSNDとする、といった制御が可能となる。 (4) In the above embodiment, the sound conduction path 45 extending from the acoustic hole 27 to the end surface 97 of the package 21 through the acoustic hole 26 is formed in the gap between the package 21 and the external power distribution board 15. . However, as in the sound collecting device 3A shown in FIG. 4, the sound guide path 45 extending from the acoustic hole 26 to the end face 97 of the package 21 and the sound guide leading from the acoustic hole 27 to the end face 98 opposite to the end face 97 of the package 21. You may form the path | route 45 '. In the sound collecting device 3A, the sound guide paths 45 and 45 ′ are sealed by the solders 44 and 44 ′, respectively, and the sound guide paths 45 and 45 ′ are spatially separated. In the sound collection device 3A, the electroacoustic conversion die 23 that closes the acoustic hole 26 in the package 21 collects sound that arrives on the end surface 97 side of the package 21 (sound that propagates in the direction of arrow A in FIG. 4). In addition, the electroacoustic conversion die 24 that closes the acoustic hole 27 in the package 21 collects sound that arrives on the end face 98 side of the package 21 (sound that propagates in the direction of arrow B in FIG. 4). In the sound collecting device 3A, for example, the outlet of the sound guide path 45 faces the sound input side (the side in the user's external auditory canal) in the sound guide tube 12, and the outlet of the sound guide path 45 'is the housing of the earphone microphone 1. 11 is accommodated in the sound guide tube 12 in such a posture as to face the inside (the side of the space communicating with the outside of the user's ear). As a result, the first sound transmitted from the user's vocal cords through the skull to the inside of the external auditory canal and the second sound transmitted from the user's mouth to the outside of the ears through the cheeks are individually collected. Then, it is possible to perform control such that the transmission sound signal SSND is obtained by correcting the sound collection signal of the first sound by the sound collection signal of the second sound.

(5)上記実施形態では、パッケージ21と外部配電基板15の間の隙間に導音経路45が形成されていた。しかし、図5に示す収音装置3Bのように、コンデンサマイクロホン14の外殻を収音装置3のものよりも大きな厚さT1”(T1”>T1)をもったパッケージ21”により形成し、このパッケージ21”内におけるカバー49と対向する面71と外側の面72の間に、音響孔27から音響孔26の下を通ってパッケージ21”の端面97に至る導音経路45”を設けてもよい。 (5) In the above embodiment, the sound guide path 45 is formed in the gap between the package 21 and the external power distribution board 15. However, like the sound collection device 3B shown in FIG. 5, the outer shell of the condenser microphone 14 is formed by a package 21 ″ having a thickness T1 ″ (T1 ″> T1) larger than that of the sound collection device 3. Between the surface 71 facing the cover 49 and the outer surface 72 in the package 21 ″, a sound guide path 45 ″ extending from the acoustic hole 27 under the acoustic hole 26 to the end surface 97 of the package 21 ″ is provided. Also good.

(6)上記実施形態では、導音経路45は、パッケージ21の接合面72における音響孔27から音響孔26の下を通ってパッケージ21の先の端面97まで延びる一直線状をなしていた。しかし、導音経路45の代わりに、2つの音響孔26及び27の各々と繋がる個別の導音経路を形成してもよいし、一直線状でない導音経路を形成してもよい。導音経路の態様としては、例えば、次のようなものがある。 (6) In the above-described embodiment, the sound guide path 45 has a straight line extending from the acoustic hole 27 in the bonding surface 72 of the package 21 to the end surface 97 of the package 21 through the acoustic hole 26. However, instead of the sound guide path 45, an individual sound guide path connected to each of the two acoustic holes 26 and 27 may be formed, or a sound guide path that is not linear may be formed. Examples of the sound guide path include the following.

図6に示す第1の態様では、音響孔27から音響孔26の下を通ってパッケージ21の端面97に至る導音経路145が形成されている。この導音経路145における音響孔27から音響孔26までの区間の幅は音響孔27及び26の直径より僅かに大きくなっている。そして、音響孔26から端面97までの区間の幅は端面97に近づくに従って大きくなっている。   In the first mode shown in FIG. 6, a sound guide path 145 is formed from the acoustic hole 27 through the bottom of the acoustic hole 26 to the end surface 97 of the package 21. The width of the section from the acoustic hole 27 to the acoustic hole 26 in the sound guide path 145 is slightly larger than the diameter of the acoustic holes 27 and 26. The width of the section from the acoustic hole 26 to the end surface 97 increases as the end surface 97 is approached.

図7に示す第2の態様では、音響孔26からパッケージ21の端面97に至る導音経路245と音響孔27からパッケージ21の端面98(端面97の反対側の端面98)に至る導音経路245’とが形成されている。そして、導音経路245の幅は端面97に近づくに従って大きくなっており、導音経路245’の幅は端面98に近づくに従って大きくなっている。   In the second mode shown in FIG. 7, the sound guide path 245 from the acoustic hole 26 to the end face 97 of the package 21 and the sound guide path from the acoustic hole 27 to the end face 98 of the package 21 (end face 98 opposite to the end face 97). 245 ′. The width of the sound guide path 245 increases as it approaches the end face 97, and the width of the sound guide path 245 ′ increases as it approaches the end face 98.

図8に示す第3の態様では、音響孔26から端面97に至る導音経路345と音響孔27から端面98に至る導音経路345’とが形成されている。導音経路345及び345’の幅は音響孔26及び27の直径より僅かに大きくなっている。そして、導音経路345は、音響孔26から、端面97及び接合面72の両方に直交する2つの端面99及び100のうち一方の端面100と端面97との交差位置に向かって延在し、その交差位置に至る途中の位置で端面97側に屈曲している。また、導音経路345’は、音響孔27から、端面99及び100のうち他方の端面99と端面98との交差位置に向かって延在し、その交差位置に至る途中の位置で端面98側に屈曲している。   In the third mode shown in FIG. 8, a sound guide path 345 from the acoustic hole 26 to the end face 97 and a sound guide path 345 'from the acoustic hole 27 to the end face 98 are formed. The width of the sound guide paths 345 and 345 'is slightly larger than the diameter of the acoustic holes 26 and 27. The sound guide path 345 extends from the acoustic hole 26 toward the intersecting position between one end surface 100 and the end surface 97 of the two end surfaces 99 and 100 orthogonal to both the end surface 97 and the joint surface 72. It is bent toward the end face 97 at a position midway up to the intersection position. Further, the sound guide path 345 ′ extends from the acoustic hole 27 toward the intersecting position between the other end face 99 and the end face 98 of the end faces 99 and 100, and is located on the end face 98 side at a position on the way to the intersecting position. Is bent.

図9に示す第4の態様では、音響孔26及び27の各々からパッケージ21の端面99に至る導音経路445及び445’が形成されている。導音経路445及び445’の幅は音響孔26及び27の直径より僅かに大きくなっている。   In the fourth mode shown in FIG. 9, sound guide paths 445 and 445 ′ from the acoustic holes 26 and 27 to the end surface 99 of the package 21 are formed. The width of the sound guide paths 445 and 445 ′ is slightly larger than the diameter of the acoustic holes 26 and 27.

図10に示す第5の態様では、音響孔26からパッケージ21の端面99に至る導音経路545と音響孔27からパッケージ21の端面100に至る導音経路545’とが形成されている。導音経路545及び545’の幅は音響孔26及び27の直径より僅かに大きくなっている。   In the fifth mode shown in FIG. 10, a sound guide path 545 from the acoustic hole 26 to the end face 99 of the package 21 and a sound guide path 545 ′ from the acoustic hole 27 to the end face 100 of the package 21 are formed. The width of the sound guide paths 545 and 545 ′ is slightly larger than the diameter of the acoustic holes 26 and 27.

図11に示す第6の態様では、音響孔26からパッケージ21の端面99に至る導音経路645と音響孔27からパッケージ21の端面100に至る導音経路645’とが形成されている。導音経路645の幅は端面99に近づくに従って大きくなっており、導音経路645’の幅は端面100に近づくに従って大きくなっている。   In the sixth mode shown in FIG. 11, a sound guide path 645 extending from the acoustic hole 26 to the end face 99 of the package 21 and a sound guide path 645 ′ extending from the acoustic hole 27 to the end face 100 of the package 21 are formed. The width of the sound guide path 645 increases as it approaches the end face 99, and the width of the sound guide path 645 ′ increases as it approaches the end face 100.

図12に示す第7の態様では、音響孔26及び27からパッケージ21の端面99に至る導音経路745が形成されている。導音経路745の幅は、音響孔26及び27間の距離(より具体的には、音響孔26における端面99と直交する2つの接線のうち端面97側の接線から音響孔27における端面99と直交する2つの接線のうち端面98側の接線までの距離)と同じである。   In the seventh mode shown in FIG. 12, a sound guide path 745 extending from the acoustic holes 26 and 27 to the end face 99 of the package 21 is formed. The width of the sound guide path 745 is the distance between the acoustic holes 26 and 27 (more specifically, of the two tangents orthogonal to the end surface 99 in the acoustic hole 26 to the end surface 99 in the acoustic hole 27 from the tangent on the end surface 97 side. It is the same as the distance to the tangent on the end face 98 side of two orthogonal tangents.

図13に示す第8の態様では、音響孔26及び27からパッケージ21の端面99に至る導音経路845が形成されている。導音経路845の幅は端面99に近づくに従って大きくなっている。   In the eighth mode shown in FIG. 13, a sound guide path 845 extending from the acoustic holes 26 and 27 to the end surface 99 of the package 21 is formed. The width of the sound guide path 845 increases as it approaches the end face 99.

図14に示す第9の態様では、音響孔26及び27からパッケージ21の端面99に至る導音経路945が形成されている。導音経路945の幅は端面99に近づくに従って小さくなっている。   In the ninth mode shown in FIG. 14, a sound guide path 945 extending from the acoustic holes 26 and 27 to the end face 99 of the package 21 is formed. The width of the sound guide path 945 decreases as the end face 99 is approached.

1…イヤホンマイク、2…放音装置、3…収音装置、11…ハウジング、12…導音管、13…イヤピース、70…ケーブル、14…コンデンサマイクロホン、15…外部配電基板、21,52…パッケージ、23,24…電気音響変換ダイ、25…インピーダンス変換ダイ、26,27…音響孔、30,31…支持部、32,33…静止電極、34,35…振動電極、45,145,245,345,445,545,645,745,845,945…導音経路。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Earphone microphone, 2 ... Sound emission device, 3 ... Sound collection device, 11 ... Housing, 12 ... Sound pipe, 13 ... Earpiece, 70 ... Cable, 14 ... Condenser microphone, 15 ... External power distribution board, 21, 52 ... Package, 23, 24 ... Electroacoustic conversion die, 25 ... Impedance conversion die, 26, 27 ... Acoustic hole, 30, 31 ... Supporting part, 32, 33 ... Static electrode, 34, 35 ... Vibration electrode, 45, 145, 245 , 345, 445, 545, 645, 745, 845, 945...

Claims (6)

内側が中空のパッケージと、
互いに向き合って前記パッケージの内側に収容された板状の振動電極と静止電極とを有し、前記振動電極および静止電極間の容量変化を収音結果を示す電気信号として出力するコンデンサマイクロホンを具備し、
前記振動電極に対して直交する方向に音を案内して前記振動電極に音を到達させる音響孔を前記パッケージに形成するとともに、
外部から到来する音を前記振動電極および静止電極に対して平行な方向に沿って案内して前記音響孔内に到達させる中空な導音ガイドを形成したことを特徴とする収音装置。
A package with a hollow inside,
It has a plate-like vibrating electrode and a stationary electrode that face each other and are accommodated inside the package, and includes a condenser microphone that outputs a capacitance change between the vibrating electrode and the stationary electrode as an electric signal indicating a sound collection result. ,
Forming an acoustic hole in the package that guides sound in a direction orthogonal to the vibrating electrode and allows the sound to reach the vibrating electrode;
A sound collecting device, characterized in that a hollow sound guide is formed in which sound coming from outside is guided along a direction parallel to the vibrating electrode and the stationary electrode to reach the acoustic hole.
前記導音ガイドを前記パッケージと前記パッケージを搭載するための基板との間の隙間に形成したことを特徴とする請求項1に記載の収音装置。   The sound collecting device according to claim 1, wherein the sound guide is formed in a gap between the package and a substrate for mounting the package. 前記パッケージにおける前記音響孔が設けられた面に、当該音響孔から当該パッケージにおける音響孔が設けられた面と交差する面の1つに至る溝が形成されるとともに、当該音響孔が設けられた面における少なくとも前記溝の外側を包囲する部分が半田により前記基板に接合されており、当該半田、及び前記パッケージと前記基板における当該半田に囲まれた内側の部分により前記導音ガイドが形成されていることを特徴とする請求項2に記載の収音装置。   A groove extending from the acoustic hole to one of the surfaces intersecting with the surface provided with the acoustic hole in the package is formed on the surface provided with the acoustic hole in the package, and the acoustic hole is provided. A portion of the surface surrounding at least the outside of the groove is joined to the substrate by solder, and the sound guide is formed by the solder and an inner portion of the package and the substrate surrounded by the solder. The sound collecting device according to claim 2, wherein 各々前記振動電極および静止電極からなる2個の電気音響変換ダイと、
前記2個の電気音響変換ダイの振動電極および静止電極により構成される各コンデンサを並列接続したものの容量変化を電気信号に変換するインピーダンス変換ダイとを有し、
前記2個の電気音響変換ダイの振動電極および静止電極が互いに平行であり、
前記インピーダンス変換ダイは、前記2個の電気音響変換ダイの並び方向に沿って配置されており、
前記パッケージは、前記2個の電気音響変換ダイの振動電極に音を案内する2個の音響孔を有し、
前記導音ガイドは、外部から到来する音を前記2個の音響孔内に到達させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1の請求項に記載の収音装置。
Two electroacoustic transducer dies each comprising a vibrating electrode and a stationary electrode;
An impedance conversion die that converts a change in capacitance of the two electroacoustic conversion dies, each of which is composed of a vibrating electrode and a stationary electrode connected in parallel, into an electric signal;
The vibrating electrode and stationary electrode of the two electroacoustic transducer dies are parallel to each other;
The impedance conversion die is arranged along the direction in which the two electroacoustic conversion dies are arranged,
The package has two acoustic holes for guiding sound to the vibrating electrodes of the two electroacoustic conversion dies,
The sound collection device according to any one of claims 1 to 3, wherein the sound guide guides sound coming from the outside into the two acoustic holes.
各々前記振動電極および静止電極からなる2個の電気音響変換ダイと、
前記2個の電気音響変換ダイの振動電極および静止電極により構成される各コンデンサの各容量変化を電気信号に各々変換するインピーダンス変換ダイとを有し、
前記2個の電気音響変換ダイの振動電極および静止電極が互いに平行であり、
前記パッケージは、前記2個の電気音響変換ダイの振動電極に音を案内する2個の音響孔を有し、
前記導音ガイドは、外部から到来する音を前記2個の音響孔の一方に到達させる第1の導音ガイドと、外部から到来する音を前記第1の導音ガイドとは異なる方向に沿って案内して前記2個の音響孔の他方に到達させる第2の導音ガイドとからなることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1の請求項に記載の収音装置。
Two electroacoustic transducer dies each comprising a vibrating electrode and a stationary electrode;
An impedance conversion die for converting each capacitance change of each capacitor constituted by the vibration electrode and stationary electrode of the two electroacoustic conversion dies into an electric signal,
The vibrating electrode and stationary electrode of the two electroacoustic transducer dies are parallel to each other;
The package has two acoustic holes for guiding sound to the vibrating electrodes of the two electroacoustic conversion dies,
The sound guide is a first sound guide that causes sound coming from outside to reach one of the two acoustic holes, and a sound that comes from outside along a direction different from that of the first sound guide. The sound collecting device according to claim 1, further comprising a second sound guide that guides and reaches the other of the two acoustic holes.
当該パッケージの1つの面に音響孔が設けられた中空なパッケージと、
互いに向き合って前記パッケージの内側に収容された板状の振動電極および静止電極と、
前記振動電極および静止電極間の容量変化を電気信号に変換するインピーダンス変換ダイと
を有し、
前記パッケージにおける音響孔が設けられた面に、当該音響孔から当該パッケージにおける音響孔が設けられた面と交差する面の1つに向かって伸びる溝が形成されていることを特徴とするコンデンサマイクロホン。
A hollow package provided with acoustic holes on one side of the package;
A plate-like vibrating electrode and stationary electrode housed inside the package facing each other;
An impedance conversion die for converting a capacitance change between the vibrating electrode and the stationary electrode into an electrical signal;
A capacitor microphone characterized in that a groove extending from the acoustic hole toward one of surfaces intersecting the surface of the package provided with the acoustic hole is formed on the surface of the package provided with the acoustic hole. .
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