JP2011223208A - 弾性波フィルタ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】良好なバランス性を有するバランス型の弾性波フィルタ装置を提供する。
【解決手段】弾性波フィルタ装置１では、第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０，３０は、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０の最も第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部３０側に位置しているＩＤＴ電極２３と、第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部３０の最も第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０側に位置しているＩＤＴ電極３１とが同位相の信号を出力するように構成されている。ＩＤＴ電極２３と、第１の平衡信号端子１１ａとを接続している第１の配線１６の第１の平衡信号端子１１ａ側の部分と、ＩＤＴ電極３１と、第１の平衡信号端子１１ａとを接続している第２の配線１７の第１の平衡信号端子１１ａ側の部分とが共通化されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、弾性波フィルタ装置に関する。特には、本発明は、平衡−不平衡変換機能を有するバランス型の弾性波フィルタ装置に関する。

従来、携帯電話などの種々の電子機器において、平衡−不平衡変換機能を有するバランス型の弾性波フィルタ装置が広く用いられている。バランス型の弾性波フィルタ装置の一種として、例えば下記の特許文献１には、２つの縦結合共振子型弾性波フィルタ部を並列に接続したバランス型弾性波フィルタ装置が記載されている。

図６は、特許文献１に記載された弾性表面波装置の概略構成図である。図６に示すように、弾性表面波装置１００は、入力端子１０１と、第１及び第２の出力端子１０２ａ、１０２ｂとの間に並列に接続されている第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１０３，１０４を備えている。縦結合共振子型弾性波フィルタ部１０３，１０４のそれぞれは、所謂３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部である。縦結合共振子型弾性波フィルタ部１０３，１０４のそれぞれの弾性表面波伝搬方向における中央に位置しているＩＤＴ電極の一方のくし歯状電極が入力端子１０１に接続されている。縦結合共振子型弾性波フィルタ部１０３，１０４のそれぞれの弾性表面波伝搬方向における両側に位置しているＩＤＴ電極の一方のくし歯状電極が出力端子１０２ａ、１０２ｂに接続されている。縦結合共振子型弾性波フィルタ部１０３の弾性表面波伝搬方向における両側に位置しているＩＤＴ電極の一方のくし歯状電極と出力端子１０２ａとを接続している２つの配線１０３ａ、１０３ｂと、縦結合共振子型弾性波フィルタ部１０４の弾性表面波伝搬方向における両側に位置しているＩＤＴ電極の一方のくし歯状電極と出力端子１０２ｂとを接続している２つの配線１０４ａ、１０４ｂとは、位相が１８０°異なっている。

特開２００３−７８３８７号公報

上述のように、不平衡入力端子と、２つの平衡出力端子との間に２つの縦結合共振子型弾性波フィルタ部が並列に接続されている場合は、縦結合共振子型弾性波フィルタ部と平衡出力端子との間を接続している配線が４本必要となる。このため、例えば、バランス型ではなく、入力端子及び出力端子のそれぞれが不平衡信号端子である弾性波フィルタ装置とは異なり、多くの配線が必要となる。

なお、図６は、模式的に記載された図であり、図６では、４本の配線１０３ａ、１０３ｂ、１０４ａ、１０４ｂは、比較的間隔をおいて描画されている。しかしながら、弾性波フィルタ装置を小型化したいという要請などから、実際は、縦結合共振子型弾性波フィルタ部と平衡出力端子との間を接続している４本の配線は、図６に描画されているよりも、近接して配置されている。従って、２つの縦結合共振子型弾性波フィルタ部が並列に接続されている弾性波フィルタ装置においては、位相が１８０°異なる配線１０３ｂ及び１０４ａ間に寄生容量が発生し、帯域幅が狭くなってしまい、結果として、良好なバランス性が得られない場合があるという問題があった。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、良好なバランス性を有するバランス型の弾性波フィルタ装置を提供することにある。

本発明に係る弾性波フィルタ装置は、不平衡信号端子と、第１及び第２の平衡信号端子と、第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを備えている。本発明に係る弾性波フィルタ装置は、平衡−不平衡変換機能を有する。第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部のそれぞれは、不平衡信号端子と、第１及び第２の平衡信号端子との間に接続されている。第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部のそれぞれは、弾性波伝搬方向に沿って配列された複数のＩＤＴ電極を有する。第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の最も第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部側に位置しているＩＤＴ電極と、第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の最も第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部側に位置しているＩＤＴ電極とが同位相の信号を出力するように構成されている。本発明に係る弾性波フィルタ装置は、第１の配線と、第２の配線とをさらに備えている。第１の配線は、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の最も第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部側に位置しているＩＤＴ電極と、第１の平衡信号端子とを接続している。第２の配線は、第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の最も第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部側に位置しているＩＤＴ電極と、第１の平衡信号端子とを接続している。第１の配線の第１の平衡信号端子側の部分と、第２の配線の第１の平衡信号端子側の部分とは、共通化されている。

本発明に係る弾性波フィルタ装置のある特定の局面では、第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部のそれぞれは、弾性波伝搬方向に沿って配列された３つのＩＤＴ電極を有する。

本発明に係る弾性波フィルタ装置の他の特定の局面では、弾性波フィルタ装置は、第３及び第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部をさらに備えている。第３及び第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部と、第１及び第２の平衡信号端子との間に縦続接続されている。第１及び第２の配線は、第３及び第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部を介して第１及び第２の平衡信号端子に接続されている。このように、複数の縦結合共振子型弾性波フィルタ部を縦続接続することにより、阻止帯域における減衰量を大きくしたり、アイソレーション特性を向上したりすることができる。また、縦続接続している第1の配線の位相と第２の配線の位相が１８０°異なっているため、バランス性をより向上できる。

本発明に係る弾性波フィルタ装置の別の特定の局面では、第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部のそれぞれは、複数のＩＤＴ電極が設けられている領域の弾性波伝搬方向の両側に設けられている一対の反射器を備えている。

本発明に係る弾性波フィルタ装置のさらに他の特定の局面では、弾性波フィルタ装置は、第３の配線と、第４の配線とをさらに備えている。第３の配線は、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部と第２の平衡信号端子とを接続している。第４の配線は、第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部と第２の平衡信号端子とを接続している。第１及び第２の配線は、共通化されている部分において、第３及び第４の配線と交差している。

本発明では、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の最も第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部側に位置しているＩＤＴ電極と、第１の平衡信号端子とを接続している第１の配線の第１の平衡信号端子側の部分と、第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の最も第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部側に位置しているＩＤＴ電極と、第１の平衡信号端子とを接続している第２の配線の第１の平衡信号端子側の部分とが共通化されている。このため、寄生容量の発生を抑制することができる。従って、帯域幅の減少を防ぐことができる。その結果、良好なバランス性を実現することができる。

第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。 第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の一部分の模式的断面図である。 第２の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。 第３の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。 変形例に係る弾性波フィルタ装置の一部分の模式的断面図である。 特許文献１に記載された弾性表面波装置の概略構成図である。

以下、本発明を実施した好ましい形態について、図１及び図３，４に示す弾性波フィルタ装置１〜３を例に挙げて説明する。但し、弾性波フィルタ装置１〜３は、単なる例示である。本発明に係る弾性波フィルタ装置は、弾性波フィルタ装置１〜３に何ら限定されない。

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。図２は、第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の一部分の模式的断面図である。

図１及び図２に示す本実施形態の弾性波フィルタ装置１は、弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタ装置である。弾性波フィルタ装置１は、平衡−不平衡変換機能を有している。

図１に示すように、弾性波フィルタ装置１は、不平衡信号端子１０と、第１及び第２の平衡信号端子１１ａ、１１ｂとを備えている。

不平衡信号端子１０と、第１及び第２の平衡信号端子１１ａ、１１ｂとの間には、第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０，３０が並列に接続されている。第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０，３０のそれぞれは、平衡−不平衡変換機能を有している。第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０，３０のそれぞれは、弾性波伝搬方向ｘに沿って配列された複数のＩＤＴ電極２１〜２３，３１〜３３を備えている。

具体的には、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０は、弾性波伝搬方向ｘに沿ってこの順番で配列された第１〜第３のＩＤＴ電極２１〜２３を備えている。第１〜第３のＩＤＴ電極２１〜２３のそれぞれは、互いに間挿し合っている一対のくし歯状電極２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂを備えている。第１〜第３のＩＤＴ電極２１〜２３が設けられている領域の弾性波伝搬方向ｘの両側には、第１及び第２のグレーティング反射器２４，２５が配置されている。

第１〜第３のＩＤＴ電極２１〜２３は、第１のＩＤＴ電極２１の出力側のくし歯状電極２１ｂと、第３のＩＤＴ電極２３の出力側のくし歯状電極２３ｂとの位相が１８０°異なるように構成されている。

第１〜第３のＩＤＴ電極２１〜２３のうち、弾性波伝搬方向ｘの中央に位置している第２のＩＤＴ電極２２の一方側のくし歯状電極２２ａは、不平衡信号端子１０に接続されており、他方のくし歯状電極２２ｂは、グラウンド電位に接続されている。

第１〜第３のＩＤＴ電極２１〜２３のうち、弾性波伝搬方向ｘの両側に位置している第１及び第３のＩＤＴ電極２１，２３のそれぞれの一方側のくし歯状電極２１ａ、２３ａは、グラウンド電位に接続されている。第１のＩＤＴ電極２１のくし歯状電極２１ｂは、第２の平衡信号端子１１ｂに接続されている。第３のＩＤＴ電極２３のくし歯状電極２３ｂは、第１の平衡信号端子１１ａに接続されている。

第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部３０は、弾性波伝搬方向ｘに沿ってこの順番で配列された第１〜第３のＩＤＴ電極３１〜３３を備えている。第１〜第３のＩＤＴ電極３１〜３３のそれぞれは、互いに間挿し合っている一対のくし歯状電極３１ａ、３１ｂ、３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３３ｂを備えている。第１〜第３のＩＤＴ電極３１〜３３が設けられている領域の弾性波伝搬方向ｘの両側には、第１及び第２のグレーティング反射器３４，３５が配置されている。

第１〜第３のＩＤＴ電極３１〜３３は、第１のＩＤＴ電極３１の出力側のくし歯状電極３１ｂと、第３のＩＤＴ電極３３の出力側のくし歯状電極３３ｂとの位相が１８０°異なるように構成されている。

また、本実施形態では、第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０，３０は、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０の最も第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部３０側に位置している第３のＩＤＴ電極２３と、第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部３０の最も第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０側に位置している第１のＩＤＴ電極３１とが同位相の信号を出力するように構成されている。すなわち、本実施形態では、第３のＩＤＴ電極２３のくし歯状電極２３ｂと、第１のＩＤＴ電極３１のくし歯状電極３１ｂとが同位相とされている。

第１〜第３のＩＤＴ電極３１〜３３のうち、弾性波伝搬方向ｘの中央に位置している第２のＩＤＴ電極３２の一方側のくし歯状電極３２ａは、不平衡信号端子１０に接続されており、他方のくし歯状電極３２ｂは、グラウンド電位に接続されている。

第１〜第３のＩＤＴ電極３１〜３３のうち、弾性波伝搬方向ｘの両側に位置している第１及び第３のＩＤＴ電極３１，３３のそれぞれの一方側のくし歯状電極３１ａ、３３ａは、グラウンド電位に接続されている。第１のＩＤＴ電極３１のくし歯状電極３１ｂは、第１の平衡信号端子１１ａに接続されている。第３のＩＤＴ電極３３のくし歯状電極３３ｂは、第２の平衡信号端子１１ｂに接続されている。

上記第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０，３０は、図２に示すように、圧電基板１２と、第１の誘電体層１３と、第２の誘電体層１４と、電極構造１５とを備えている。第１の誘電体層１３は、圧電基板１２の上に形成されている。第２の誘電体層１４は、圧電基板１２と第１の誘電体層１３との間に配置されている。電極構造１５は、圧電基板１２と第２の誘電体層１４との間に形成されている。本実施形態では、この電極構造１５により、上述のＩＤＴ電極２１〜２３，３１〜３３や、グレーティング反射器２４，２５，３４，３５、各種配線などが構成されている。

圧電基板１２は、例えば、ＬｉＮｂＯ_３やＬｉＴａＯ_３などの適宜の圧電体により形成することができる。

第１及び第２の誘電体層１３，１４は、第２の誘電体層１４の音速が、第１の誘電体層１３の音速よりも遅くなる限りにおいて、特に限定されない。第１の誘電体層１３は、例えば、ＳｉＮ等の窒化ケイ素などにより形成することができる。一方、第２の誘電体層１４は、例えば、ＳｉＯ_２などの酸化ケイ素により形成することができる。

電極構造１５は、適宜の導電材料により形成することができる。具体的には、電極構造１５は、例えば、Ａｌ，Ｐｔ，Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｐｄ，Ｎｉ，Ｗなどの金属や、これらの金属のうちの一種以上を含む合金により形成することができる。また、電極構造１５は、複数の導電膜からなる積層体により構成されていてもよい。

さらに、本実施形態では、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０における第３のＩＤＴ電極２３と、第１の平衡信号端子１１ａとを接続している第１の配線１６の第１の平衡信号端子１１ａ側の部分と、第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部３０における第１のＩＤＴ電極３１と、第１の平衡信号端子１１ａとを接続している第２の配線１７の第１の平衡信号端子１１ａ側の部分とが共通化されている。すなわち、第３のＩＤＴ電極２３と第１の平衡信号端子１１ａとを接続している第１の配線１６の第１の平衡信号端子１１ａ側の部分と、第１のＩＤＴ電極３１と第１の平衡信号端子１１ａとを接続している第２の配線１７の第１の平衡信号端子１１ａ側の部分とが一本の配線により構成されている。このため、縦結合共振子型弾性波フィルタ部と平衡出力端子との間を接続している配線が複数本である、例えば特許文献１に開示されているような構成に比べて、寄生容量の発生を抑制することができる。配線間に寄生容量が発生すると、並列に容量が接続されることになる。容量が並列に接続されると帯域幅が狭くなるので、本実施形態のように、寄生容量の発生を抑制することができれば、帯域幅の減少を防ぐことができる。その結果、良好なバランス性を実現することができる。

なお、本実施形態では、第１及び第２の配線１６，１７は、共通化されている部分において、第１のＩＤＴ電極２１と第２の平衡信号端子１１ｂとを接続している第３の配線１８、及び第３のＩＤＴ電極３３と第２の平衡信号端子１１ｂとを接続している第４の配線１９と交差している。第１及び第２の配線１６，１７と、第３及び第４の配線１８，１９の立体交差している部分には、第１及び第２の配線１６，１７と、第３及び第４の配線１８，１９とを電気的に絶縁する絶縁層が形成されている。通常、この絶縁層の比誘電率は、圧電基板の比誘電率よりも小さい。このため、上記立体交差部においては、第１及び第２の平衡信号端子のそれぞれに接続されている配線を別個に設けた場合に発生する配線間の寄生容量ほど大きな寄生容量は発生しない。従って、配線が立体交差している場合であっても、良好なバランス性を実現することができる。また、配線を立体交差させることにより、弾性波フィルタ装置１を小型化することができる。

なお、本実施形態においては、第３の配線１８の第２の平衡信号端子１１ｂ側部分と、第４の配線１９の第２の平衡信号端子１１ｂ側部分とも共通化されている。

以下、本発明を実施した好ましい形態の別の例及び変形例について説明する。以下の説明において、上記第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。

（第２の実施形態）
図３は、第２の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。

本実施形態に係る弾性波フィルタ装置２は、上記第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置１と同様に、弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタ装置である。

図３に示すように、本実施形態の弾性波フィルタ装置２では、第３及び第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部６０，７０が、第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０，３０と、第１及び第２の平衡信号端子１１ａ、１１ｂとの間に縦続接続されている。第１及び第２の配線１６，１７は、第３及び第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部６０，７０を介して、第１及び第２の平衡信号端子１１ａ、１１ｂに接続されている。

具体的には、第３の縦結合共振子型弾性波フィルタ部６０は、弾性波伝搬方向ｘに沿ってこの順番で配列されている第１〜第３のＩＤＴ電極６１〜６３を備えている。第１〜第３のＩＤＴ電極６１〜６３が設けられている領域の弾性波伝搬方向ｘの両側には、第１及び第２のグレーティング反射器６４，６５が配置されている。

第１〜第３のＩＤＴ電極６１〜６３のそれぞれは、互いに間挿し合う一対のくし歯状電極６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂを有する。第３のＩＤＴ６３の一方側のくし歯状電極６３ａは、第１及び第２の配線１６，１７を介して、ＩＤＴ電極２３，３１に接続されており、他方側のくし歯状電極６３ｂは、グラウンド電位に接続されている。第１のＩＤＴ電極６１の一方側のくし歯状電極６１ａは、第３の配線１８を介して第１のＩＤＴ電極２１に接続されており、他方側のくし歯状電極６１ｂは、グラウンド電位に接続されている。第２のＩＤＴ電極６２の一方側のくし歯状電極６２ａは、第５の配線４１を介して第１の平衡信号端子１１ａに接続されており、他方側のくし歯状電極６２ｂは、第７の配線４３を介して第２の平衡信号端子１１ｂに接続されている。

第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部７０は、弾性波伝搬方向ｘに沿ってこの順番で配列されている第１〜第３のＩＤＴ電極７１〜７３を備えている。第１〜第３のＩＤＴ電極７１〜７３が設けられている領域の弾性波伝搬方向ｘの両側には、第１及び第２のグレーティング反射器７４，７５が配置されている。

第１〜第３のＩＤＴ電極７１〜７３のそれぞれは、互いに間挿し合う一対のくし歯状電極７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７２ｂ、７３ａ、７３ｂを有する。第１のＩＤＴ電極７１の一方側のくし歯状電極７１ａは、第１及び第２の配線１６，１７を介して、ＩＤＴ電極２３，３１に接続されており、他方側のくし歯状電極７１ｂは、グラウンド電位に接続されている。第３のＩＤＴ電極７３の一方側のくし歯状電極７３ａは、第４の配線１９を介して第３のＩＤＴ電極３３に接続されており、他方側のくし歯状電極７３ｂは、グラウンド電位に接続されている。第２のＩＤＴ電極７２の一方側のくし歯状電極７２ａは、第６の配線４２を介して第１の平衡信号端子１１ａに接続されており、他方側のくし歯状電極７２ｂは、第８の配線４４を介して第２の平衡信号端子１１ｂに接続されている。

本実施形態においては、第５及び第６の配線４１，４２の第１の平衡信号端子１１ａ側の部分が共通化されている。また、第７及び第８の配線４３，４４の第２の平衡信号端子１１ｂ側の部分が共通化されている。

また、本実施形態では、第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０，３０と、第３及び第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部６０，７０とが縦続接続されている。このため、阻止帯域における減衰量をより大きくできる。また、アイソレーション特性をより向上することができる。また、本実施形態では、縦続接続されている段間の配線である第１の配線１６、第２の配線１７が共通化されているため、バランス性が改善されている。

（第３の実施形態）
図４は第３の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。

本実施形態に係る弾性波フィルタ装置３は、上記第２の実施形態に係る弾性波フィルタ装置２と同様に、弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタ装置である。弾性波フィルタ装置３は、第１及び第２の平衡信号端子１１ａ、１１ｂと、第３及び第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部６０，７０との接続態様を除いては、上記弾性波フィルタ装置２と実質的に同様の構成を有する。

具体的には、図４に示すように、弾性波フィルタ装置３では、ＩＤＴ電極６２の一方のくし歯状電極６２ａがグラウンド電位に接続されており、他方のくし歯状電極６２ｂが第２の平衡信号端子１１ｂに接続されている。ＩＤＴ電極７２の一方のくし歯状電極７２ａがグラウンド電位に接続されている、他方のくし歯状電極７２ｂが第１の平衡信号端子１１ａに接続されている。このようにすることにより、配線の立体交差をなくすことができるため、より良好なバランス性を実現することができる。

また、弾性波フィルタ装置３においても、上記第２の実施形態の弾性波フィルタ装置２と同様に、第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０，３０と、第３及び第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部６０，７０とが縦続接続されている。このため、阻止帯域における減衰量をより大きくできる。また、アイソレーション特性をより向上することができる。また、本実施形態では、縦続接続されている段間の配線である第１の配線１６、第２の配線１７が共通化されているため、寄生容量の発生を抑制することができる。従って、バランス性が改善されている。

（変形例）
上記第１及び第２の実施形態では、本発明を実施した弾性波フィルタ装置の例として、弾性境界波を利用した所謂３媒質型の弾性境界波フィルタ装置を挙げた。但し、本発明に係る弾性波フィルタ装置は、３媒質型の弾性境界波フィルタ装置に限定されない。本発明に係る弾性波フィルタ装置は、例えば、第２の誘電体層を有さない所謂２媒質型の弾性境界波フィルタ装置であってもよい。また、本発明に係る弾性波フィルタ装置は、弾性表面波を利用した弾性表面波フィルタ装置であってもよい。その場合は、図５に示すように、電極構造１５が形成されている圧電基板１２の表面上には、酸化ケイ素などからなる誘電体層が形成されないか、または、弾性波が境界に閉じこもらない程度の薄さの誘電体層が形成される。

上記第１及び第２の実施形態では、第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部２０，３０や、第３及び第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部６０，７０が、３つのＩＤＴ電極を有する所謂３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部である例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。本発明においては、第１〜第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、例えば、ＩＤＴ電極を５つまたは７つ有する、所謂５ＩＤＴ型または７ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部であってもよい。

１，２，３…弾性波フィルタ装置
１０…不平衡信号端子
１１ａ…第１の平衡信号端子
１１ｂ…第２の平衡信号端子
１２…圧電基板
１３…第１の誘電体層
１４…第２の誘電体層
１５…電極構造
１６…第１の配線
１７…第２の配線
１８…第３の配線
１９…第４の配線
２０…第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部
３０…第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部
６０…第３の縦結合共振子型弾性波フィルタ部
７０…第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部
２１〜２３、３１〜３３、６１〜６３、７１〜７３…ＩＤＴ電極
２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂ、３１ａ、３１ｂ、３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３３ｂ、６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂ、７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７２ｂ、７３ａ、７３ｂ…くし歯状電極
２４，２５，３４，３５，６４，６５，７４，７５…グレーティング反射器

Claims (5)

1. 不平衡信号端子と、
   第１及び第２の平衡信号端子と、
   それぞれ、前記不平衡信号端子と、前記第１及び第２の平衡信号端子との間に接続されており、弾性波伝搬方向に沿って配列された複数のＩＤＴ電極を有する第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部とを備える平衡−不平衡変換機能を有する弾性波フィルタ装置であって、
   前記第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部は、前記第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の最も前記第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部側に位置しているＩＤＴ電極と、前記第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の最も前記第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部側に位置しているＩＤＴ電極とが同位相の信号を出力するように構成されており、
   前記第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の最も前記第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部側に位置しているＩＤＴ電極と、前記第１の平衡信号端子とを接続している第１の配線と、
   前記第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の最も前記第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部側に位置しているＩＤＴ電極と、前記第１の平衡信号端子とを接続している第２の配線とをさらに備え、
   前記第１の配線の前記第１の平衡信号端子側の部分と、前記第２の配線の前記第１の平衡信号端子側の部分とが共通化されている、弾性波フィルタ装置。
2. 前記第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部のそれぞれは、弾性波伝搬方向に沿って配列された３つのＩＤＴ電極を有する、請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
3. 前記第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部と、前記第１及び第２の平衡信号端子との間に縦続接続されている第３及び第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部をさらに備え、
   前記第１及び第２の配線は、前記第３及び第４の縦結合共振子型弾性波フィルタ部を介して前記第１及び第２の平衡信号端子に接続されている、請求項１または２に記載の弾性波フィルタ装置。
4. 前記第１及び第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部のそれぞれは、前記複数のＩＤＴ電極が設けられている領域の弾性波伝搬方向の両側に設けられている一対の反射器を備えている、請求項１〜３のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。
5. 前記第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部と前記第２の平衡信号端子とを接続している第３の配線と、
   前記第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部と前記第２の平衡信号端子とを接続している第４の配線とをさらに備え、
   前記第１及び第２の配線は、前記共通化されている部分において、前記第３及び第４の配線と交差している、請求項１〜４のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。

Images