JP2011215913A - 流量コントローラ、流量コントローラを備える流量制御システム、流量コントローラ制御プログラム、及び、流量制御プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】全開時Duty算出プログラム43を実行することにより、比例電磁弁2を全開させる場合にコイル21に印加されるバルブ全開時コイル印加電圧が、比例電磁弁の定格電圧より高圧である場合に、比例電磁弁の定格電圧をバルブ全開時コイル印加電圧で割ることにより、比例電磁弁を全開状態とする場合における全開時のDutyの値を算出し、制御動作時流量制御プログラム44を実行することにより、算出された全開時のDutyの値を上限として、比例電磁弁のコイル21に印加する電圧のDutyを可変させることにより、比例電磁弁の開度を制御する。
【選択図】図4
Description
本発明は、上記問題点(2)を解決するためになされたものであり、電力消費量を削減できる流量コントローラ、流量制御システム、及び、流量制御プログラムを提供することを第2の目的とする。
図1は、本発明の実施形態に係る流量制御システム50の概略構成を示すブロック図である。
本実施形態に係る流量制御システム50は、流体の供給源51と、レギュレータ52と、開閉弁53と、流量コントローラ1と、コントローラ54と、ノズル55とが備わっている。この流量制御システム50では、供給源51からの流体がレギュレータ52により調圧された後に開閉弁53に供給されている。そして、開閉弁53が開閉されることにより、流体が流量コントローラ1を介してノズル55から噴出されるようになっている。このとき、流量コントローラ1によって、ノズル55から噴出される流体の流量が目標流量になるように、自動的に調整されるようになっている。尚、コントローラ54は、開閉弁53のON/OFF制御(開閉制御)および流量コントローラ1の統括制御を行うものである。
図2は、コントローラ54の制御系の概略構成を示すブロック図である。
コントローラ54は、周知のマイクロコンピュータであって、中央処理装置(CPU)56とメモリ57と入出力インターフェース58とを備える。入出力インターフェース58には、ノズル55から出力する流体の流量(以下「目標流量」という。)を設定する流量設定手段59と、プロセス動作を制御する制御動作モードとパージ動作を制御するパージ動作モードとを切り替えるモード切替手段60が接続される。
図3は、流量コントローラ1の概略構成を示す断面図である。
流量コントローラ1は、流体の流量を調整するための比例電磁弁2と、流体の流量を検出するための流量センサ3と、流量センサ3により検出される流量(以下「制御流量」という。)が所定の目標流量となるように比例電磁弁2を制御するための制御回路4とを備える。流量コントローラ1は、更に、ベースブロック5と、カバー6とを備える。ベースブロック5には、入口11と、出口12と、入口11と出口12との間に配置された流路13が形成される。そして、ベースブロック5には、比例電磁弁2と流量センサ3が固定される。ベースブロック5の入口11から流路13に入った流体は、流量センサ3に流れて流路13に戻り、更に比例電磁弁2を介して流路13を流れて出口12から流出するようになっている。カバー6は、比例電磁弁2と流量センサ3を覆うようにしてベースブロック5に固定される。制御回路4は、カバー6の内側に固定される。カバー6の上部には、外部配線用のコネクタ7が設けられる。比例電磁弁2及び流量センサ3は、それぞれ制御回路4に電気的に接続される。制御回路4は、コネクタ7に電気的に接続される。
この実施形態の制御回路4は、中央処理装置(CPU)41及びメモリ42等を内蔵して構成される。CPU41は、コネクタ7とコイル21と流量センサ3に接続されている。CPU41は、コネクタ7を介して図2に示すコントローラ54の入出力インターフェース58に電気的に接続され、コントローラ54を介して供給される電源電圧を利用して駆動する。そして、CPU41は、流量センサ3により計測された制御流量を受信しながら、比例電磁弁2のコイル21に供給する電力を制御する。この場合、コイル21に供給される電力は、メモリ42に格納されている各種制御プログラムを実行することにより、制御される。制御プログラムには、比例電磁弁2を全開状態にする場合におけるDutyの最大値を算出する全開時Duty算出プログラム43(全開時Duty算出手段の一例)と、プロセス動作時の流量を制御する制御動作時流量制御プログラム44(流量制御手段の一例)と、パージ動作時の流量を制御するパージ動作時流量制御プログラム45(流量制御手段の一例)とが、含まれる。CPU41は、メモリに格納されたプログラムに基づき比例電磁弁2を制御する信号を出力するようになっている。そして、制御回路4は、流量センサ3により検出される流量が所定の目標流量となるように比例電磁弁2を制御するようになっている。この実施形態では、制御回路4は、コイル21に供給する電力(特に電流)を可変させることにより、比例電磁弁2の開度を制御する。
制御回路4は、図5に示すように、一定周期のパルス幅のデュ−ティ・サイクル(電圧を印加するON時間d1と電圧を印加しないOFF時間d2との比)を変え、比例電磁弁2の開度(電源からコイル21に印加される電圧)をPWM制御する。PWM制御時には、比例電磁弁2を全開させる場合にコイル21に印加される電圧(以下「バルブ全開時コイル印加電圧」という。)が、デューティ・サイクルに従ってパルス状にコイル21に印加される。このとき、コイル21に流れる電流は、コイル21のインピーダンスにより、パルス状に印加される電源電圧に追従して変化することができず、なまって出力される。そのため、コイル21を流れる電流は、デューティ・サイクル(ON時間d1の割合)に比例して増減される。よって、制御回路4は、デューティ・サイクルを可変させることによりコイル21に供給される電力を制御し、比例電磁弁2を任意の弁開度に応答性良く制御することができる。
図6は、流量コントローラ1のメモリ42に記憶されている全開時Duty算出プログラム43のフロー図である。
制御回路4は、流量コントローラ1が客先の流量制御システム50に組み付けられ、コネクタ7にコントローラ54を接続された後、コントローラ54がON状態にされると、図6に示す全開時Duty算出プログラム43を起動する。尚、制御回路4は、コントローラ54の電源がONされる間、全開時Duty算出プログラム43を常時実行し、電源電圧の変化に応じて、比例制御弁2を全開状態とする場合におけるDutyの値(以下「全開時のDutyの値」という。)を変更するようになっている。
図7は、流量コントローラ1のメモリ42に記憶されている制御動作時流量制御プログラム44のフロー図である。
制御回路4は、コントローラ54のモード切替手段60に制御動作モードが設定され、コントローラ54から流量指令信号を受信すると、図7に示す制御動作時流量制御プログラム44を起動する。これにより、流量制御システム50のノズル55が出力される制御流体の流量が制御される。
そして、制御回路4は、S13において、最低制御流量が制御流量より多いか否かを判断する。ここで、最低制御流量とは、制御流量の下限値となる流量をいう。更に詳しく言えば、最低制御流量は、比例電磁弁2の板ばね27の付勢力に打ち勝つ力を可動鉄心25に付与するように弁を開いた状態の流量をいう。最低制御流量をDutyにリミットをかける閾値とする理由は、制御流量が最低制御流量以上になった場合に、比例電磁弁2が、制御流量を目標流量に一致させるように可動鉄心25を応答性良く動させて流量制御を行えるようにするためである。最低制御流量は、流量コントローラ1の製造過程において制御回路4のメモリ42に予め記憶されている。
その後、S11に戻り、上記と同様の処理によって比例電磁弁2が制御する制御流体の流量を監視する。
Dutyにリミットをかける動作についてより具体的に説明する。例えば、図中実線に示すように最低制御流量に対応するDuty(d11,d12)が、図中太い点線に示す全開時のDutyの値(d1,d2)に対して90%であるとする場合、図中太い実線に示すように、Dutyのリミットは、全開時のDutyの値に対して80%であるとされ、最低制御流量に対応するDutyより小さく設定される(d21,d22)。
図8は、流量コントローラ1のメモリ42に記憶されているパージ動作時流量制御プログラム45のフロー図である。
制御回路4は、コントローラ54のモード切替手段60にパージ動作モードが設定され、コントローラ54から比例電磁弁2を全開させる全開動作信号を受信すると、図8に示すパージ動作時流量制御プログラム45を起動する。これにより、流量コントローラ1及び流量制御システム50では、配管内のパーティクルの除去や、残存する制御流体のパージ流体への置換等が行われる。
実施例では、基板消費電圧が1Vで最高仕様温度が75℃の制御回路4と、定格電圧が13Vで最低仕様印加電圧が14Vの比例電磁弁2を内蔵し、制御回路4と比例電磁弁2の仕様周囲温度が5℃以上50℃以下の流量コントローラ1を、流量制御システム50の開閉弁53とノズル55との間に配置した。そして、流量制御システム50のコントローラ54を流量コントローラ1のコネクタ7に接続し、商用電源から比例電磁弁2へ16Vの電源電圧を印加するように構成した。実施例の流量コントローラ1は、コントローラ54の電源がONされると、制御回路4により、図6に示す全開時Duty算出プログラム43が実行される。制御回路4は、例えば、電源電圧が16Vであることを計測すると(S1)、上記数1に、基板消費電圧1Vと比例電磁弁2の定格電圧13Vと電源電圧16Vを代入し、全開時のDutyの値86.7%であることを計算する(S2)。そして、計算した全開時のDutyの値をメモリ42に記憶されている既存の全開時のDutyの値と書き換える(S3)。
実施例では、電源電圧を高圧にしても、コイル21に供給される電力は、比例電磁弁2の定格電力で一定にされた。
比較例では、コイル21には、電源電圧から基板消費電圧を減算したバルブ全開時コイル印加電圧に相当する電力が供給され、電源電圧が高くなるにつれて、コイル21に供給される電力も高くなった。
また、図12に示すように、比較例では流量コントローラ1の消費電力が1.99Wであったのに対して、実施例では流量コントローラ1の消費電力が1.27Wであった。よって、実施例によれば、消費電力が比較例の消費電力に対して36%削減された。
例えば、上記実施形態では、全開時Duty算出プログラム43と制御動作時流量制御プログラム44とパージ動作時流量制御プログラム45とを流量コントローラ1に内蔵される制御回路4のメモリ42に格納した。これに対して、全開時Duty算出プログラム43と制御動作時流量制御プログラム44とパージ動作時流量制御プログラム45とを非一時的な記憶媒体(CD−ROMやUSBメモリ等)に記憶させ、記憶媒体から流量制御システム50のコントローラ54にそれらのプログラム43,44,45をインストールさせて、コントローラ54から全開時のDutyの値や流量制御に関する信号を制御回路4に送信して比例電磁弁2の開度を調整するようにしても良い。この場合、バルブ全開時コイル印加電圧は、電源電圧から、流量制御システム50のコントローラ54が消費する電圧を減算することにより、算出することが望ましい。かかる構成の流量制御システムは、全開時のDutyの値の算出や流量制御を行う主体が、流量コントローラ1の制御回路4からコントローラ54に変わるだけで、制御回路4と同様の作用効果が得られる。
例えば、上記実施形態では、制御回路4に組み込まれるICチップによりPWM制御を行ったが、制御回路4のメモリ42に記憶させたソフトによってPWM制御を行っても良い。
例えば、上記実施形態では、熱式流量センサ3を流量コントローラ1に使用したが、温度変化によらない手法で流量を測定する流量センサを流量コントローラ1に適用しても良い。
例えば、上記実施形態の数1では、電源電圧から制御回路4の基板消費電圧を減算することにより、比例電磁弁2を全開させる場合にコイル21に印加されるバルブ全開時コイル印加電圧を算出した。これに対して、制御回路4の他に表示回路等の電源電圧を供給される部品がある場合には、電源電圧から、各部品が消費する消費電圧をトータルした値を減算することにより、比例電磁弁2を全開させる場合にコイル21に印加されるバルブ全開時コイル印加電圧を求め、そして、比例電磁弁2の定格電圧をバルブ全開時コイル印加電圧で割ることにより、全開時のDutyの値を求めるようにすると良い。
2 比例電磁弁
3 流量センサ
4 制御回路
21 コイル
42 メモリ(定格電圧記憶手段の一例)
43 全開時Duty算出プログラム(流量コントローラ制御プログラム、全開時Duty算出手段の一例)
44 制御動作時流量制御プログラム(流量制御手段、流量制御プログラムの一例)
45 パージ動作時流量制御プログラム(流量制御手段、流量制御プログラムの一例)
50 流量制御システム
Claims (8)
- 流体の流量を制御する流量コントローラにおいて、
流体の流量を計測する流量センサと、
コイルに供給される電力に比例して開度を調整される比例電磁弁と、
電源から印加される電源電圧をPWM制御することにより、前記流量センサが計測した制御流量を目標流量に制御するように前記電力を制御する制御回路と、を有し、
前記制御回路は、
前記比例電磁弁の定格電圧を記憶する定格電圧記憶手段と、
前記比例電磁弁を全開させる場合に前記コイルに印加されるバルブ全開時コイル印加電圧が、前記定格電圧記憶手段に記憶されている前記定格電圧より高圧である場合に、前記比例電磁弁の前記定格電圧を前記バルブ全開時コイル印加電圧で割ることにより、前記比例電磁弁を全開状態とする場合におけるDutyの値を算出する全開時Duty算出手段と、
前記全開時Duty算出手段により算出された前記Dutyの値を上限として、前記コイルに印加する電圧のDutyを可変させ、前記比例電磁弁の開度を制御する流量制御手段と、を有する
ことを特徴とする流量コントローラ。 - 請求項1に記載する流量コントローラにおいて、
前記流量制御手段は、前記流量センサが計測する制御流量が、制御流量の下限値となる最低制御流量より少なくなったことを検出すると、Dutyを、前記制御流量を前記最低制御流量に制御する場合のDuty未満に制限するリミット設定手段を有する
ことを特徴とする流量コントローラ。 - 請求項1又は請求項2に記載された流量コントローラを適用することを特徴とする流量制御システム。
- 配管上に設置された流量コントローラと、電源と前記流量コントローラに接続されて前記流量コントローラの動作を制御するコントローラと、を有する流量制御システムにおいて、
前記流量コントローラが、流体の流量を計測する流量センサと、コイルに供給される電力に比例して開度を調整される比例電磁弁と、前記比例電磁弁の定格電圧を記憶する定格電圧記憶手段と、を有すること、
前記コントローラが、
前記比例電磁弁を全開させる場合に前記コイルに印加されるバルブ全開時コイル印加電圧が、前記定格電圧記憶手段に記憶されている前記定格電圧より高圧である場合に、前記比例電磁弁の前記定格電圧を前記バルブ全開時コイル印加電圧で割ることにより、前記比例電磁弁を全開状態とする場合における全開時のDutyの値を算出する全開時Duty算出手段と、
前記全開時Duty算出手段により算出された前記Dutyの値を上限として、前記コイルに印加する電圧のDutyを可変させ、前記比例電磁弁の開度を制御する流量制御手段と、を有する
ことを特徴とする流量制御システム。 - 流量制御システムのコントローラに適用されるものであって、流量センサと、コイルを備える比例電磁弁とを内蔵する流量コントローラの動作を、前記コントローラが電源から前記コイルに印加する電圧をPWM制御することにより制御する流量コントローラ制御プログラムにおいて、
前記コントローラを、
前記比例電磁弁を全開させる場合に前記コイルに印加されるバルブ全開時コイル印加電圧が、前記比例電磁弁の定格電圧より高圧である場合に、前記比例電磁弁の前記定格電圧を前記バルブ全開時コイル印加電圧で割ることにより、前記比例電磁弁を全開状態とする場合における全開時のDutyの値を算出する全開時Duty算出手段と、
前記全開時Duty算出手段により算出されたDutyの値を上限として、前記コイルに印加する電圧のDutyを可変させ、前記比例電磁弁の開度を制御する流量制御手段と、して機能させる
ことを特徴とする流量コントローラ制御プログラム。 - 流体の流量を制御する流量コントローラにおいて、
流体の流量を計測する流量センサと、
コイルに供給される電力に比例して開度を調整される比例電磁弁と、
前記流量センサが計測した制御流量を目標流量に制御するように前記比例電磁弁に印加する電圧をPWM制御する制御回路と、を有し、
前記制御回路は、前記流量センサが計測する制御流量が、制御流量の下限値となる最低制御流量より少なくなったことを検出すると、Dutyを、前記制御流量を前記最低制御流量に制御する場合のDuty未満に制限するリミット手段を有する
ことを特徴とする流量コントローラ。 - 配管上に流量コントローラが設置され、前記流量コントローラの動作を制御するコントローラを有する流量制御システムにおいて、
前記流量コントローラが、流体の流量を計測する流量センサと、コイルに供給される電力に比例して開度を調整される比例電磁弁と、を有していること、
前記比例電磁弁の前記コイルに印加する電圧をPWM制御するものであって、前記流量センサが計測する制御流量が、制御流量の下限値となる最低制御流量より少なくなったことを検出すると、Dutyを、前記制御流量を前記最低制御流量に制御する場合のDuty未満に制限するリミット手段を有すること
を特徴とする流量制御システム。 - 流量センサと、コイルを備える比例電磁弁とを内蔵する流量コントローラの動作を制御する流量制御プログラムにおいて、
前記流量コントローラを、
前記比例電磁弁の前記コイルに印加する電圧をPWM制御するように機能させること、
前記流量センサが計測する制御流量が、制御流量の下限値となる最低制御流量より少なくなったことを検出すると、Dutyを、前記制御流量を前記最低制御流量に制御する場合のDuty未満に制限するように、機能させること
を特徴とする流量制御プログラム。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020079822A1 (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | 日立ジョンソンコントロールズ空調株式会社 | 弁駆動装置、及び、これを備える冷凍サイクル装置 |
CN111765287A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-10-13 | 瑞纳智能设备股份有限公司 | 一种内嵌人工智能计算模块的阀门及其调节方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5970212U (ja) * | 1982-11-02 | 1984-05-12 | ダイキン工業株式会社 | 流量制御装置 |
JPH0728529A (ja) * | 1993-07-12 | 1995-01-31 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 流量制御弁装置 |
JP2005207523A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Yamatake Corp | 流量制御装置 |
JP2009180348A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Honda Motor Co Ltd | リニアソレノイドバルブの電流制御方法 |
-
2010
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5970212U (ja) * | 1982-11-02 | 1984-05-12 | ダイキン工業株式会社 | 流量制御装置 |
JPH0728529A (ja) * | 1993-07-12 | 1995-01-31 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 流量制御弁装置 |
JP2005207523A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Yamatake Corp | 流量制御装置 |
JP2009180348A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Honda Motor Co Ltd | リニアソレノイドバルブの電流制御方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020079822A1 (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | 日立ジョンソンコントロールズ空調株式会社 | 弁駆動装置、及び、これを備える冷凍サイクル装置 |
JPWO2020079822A1 (ja) * | 2018-10-19 | 2021-09-16 | 日立ジョンソンコントロールズ空調株式会社 | 弁駆動装置、及び、これを備える冷凍サイクル装置 |
JP7133638B2 (ja) | 2018-10-19 | 2022-09-08 | 日立ジョンソンコントロールズ空調株式会社 | 弁駆動装置、及び、これを備える冷凍サイクル装置 |
CN111765287A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-10-13 | 瑞纳智能设备股份有限公司 | 一种内嵌人工智能计算模块的阀门及其调节方法 |
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