JP2011204787A - 半導体熱処理装置 - Google Patents
半導体熱処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011204787A JP2011204787A JP2010068642A JP2010068642A JP2011204787A JP 2011204787 A JP2011204787 A JP 2011204787A JP 2010068642 A JP2010068642 A JP 2010068642A JP 2010068642 A JP2010068642 A JP 2010068642A JP 2011204787 A JP2011204787 A JP 2011204787A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- heat treatment
- induction heating
- treatment apparatus
- heating coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 126
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims abstract description 47
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 17
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 22
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 3
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】水平配置されたサセプタ14上に載置されたウエハ30をサセプタ14を誘導加熱することで間接加熱する半導体熱処理装置10であって、サセプタ14の外周側に配置され、サセプタ14におけるウエハ載置面と平行な方向に交流磁束を形成する誘導加熱コイル20と、サセプタ14を水平回転させる回転テーブル18と、を備え、サセプタ14は、中心側に位置する薄肉部14aと、外縁側に位置する厚肉部14bとより構成することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
このような問題を鑑み、昇降温速度の急速化を望むことができ、かつコールドウォール化にも対応した誘導加熱を利用した半導体熱処理方法が注目されてきた。
このような構成とすることにより、被加熱物を載置する部位が薄肉部となるため、被加熱物載置部の熱伝導性を良好に保つことができる。
熱処理装置10は、ウエハ30とサセプタ14を多段に重ねたボート12と、サセプタ14を加熱する誘導加熱コイル20、および誘導加熱コイル20に電力を供給する電源部24とを基本として構成される。
また、温度検出センサによって検出された信号に基づく制御の場合、検出信号に基づいて、周波数切り替えや、出力電流を変化させるようにすれば良い。
その他の構成、作用、効果については、上述した第1の実施形態に係る熱処理装置10と同様である。
Claims (3)
- 水平配置されたサセプタ上に載置された被加熱物を前記サセプタを誘導加熱することで間接加熱する半導体熱処理装置であって、
前記サセプタの外周側に配置され、前記サセプタにおける前記被加熱物載置面と平行な方向に交流磁束を形成する誘導加熱コイルと、
前記サセプタを水平回転させる回転テーブルと、を備え、
前記サセプタは、中心側に位置する薄肉部と、外縁側に位置する厚肉部とより構成することを特徴とする半導体熱処理装置。 - 前記厚肉部は、前記被加熱物載置面と反対側に位置する主面に、外縁側ほど厚みを薄くする傾斜面を備え、前記厚肉部の最外周における厚みを前記薄肉部の厚みより厚くすると共に、
前記誘導加熱コイルに接続される電源部は、前記誘導加熱コイルを介して生ずる磁束による加熱効率が前記厚肉部における内周側において最も高くなる低周波電流と、前記誘導加熱コイルを介して生ずる磁束による加熱効率が前記厚肉部における外周側において最も高くなる高周波電流とを切替可能な構成としたことを特徴とする請求項1に記載の半導体熱処理装置。 - 前記被加熱物および前記サセプタの平面形状を共に円形とし、
前記薄肉部の直径を前記被加熱物の直径と同一または前記被加熱物の直径よりも大きくしたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010068642A JP5443228B2 (ja) | 2010-03-24 | 2010-03-24 | 半導体熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010068642A JP5443228B2 (ja) | 2010-03-24 | 2010-03-24 | 半導体熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011204787A true JP2011204787A (ja) | 2011-10-13 |
JP5443228B2 JP5443228B2 (ja) | 2014-03-19 |
Family
ID=44881163
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010068642A Active JP5443228B2 (ja) | 2010-03-24 | 2010-03-24 | 半導体熱処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5443228B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016012679A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-21 | 豊田合成株式会社 | サセプターとその製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08330397A (ja) * | 1995-06-02 | 1996-12-13 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 熱処理用基板保持具、熱処理方法および熱処理装置 |
JPH09330884A (ja) * | 1996-06-07 | 1997-12-22 | Sony Corp | エピタキシャル成長装置 |
JP2003100643A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-04 | Daiichi Kiden:Kk | 高温cvd装置 |
JP2010059490A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置 |
-
2010
- 2010-03-24 JP JP2010068642A patent/JP5443228B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08330397A (ja) * | 1995-06-02 | 1996-12-13 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 熱処理用基板保持具、熱処理方法および熱処理装置 |
JPH09330884A (ja) * | 1996-06-07 | 1997-12-22 | Sony Corp | エピタキシャル成長装置 |
JP2003100643A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-04 | Daiichi Kiden:Kk | 高温cvd装置 |
JP2010059490A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016012679A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-21 | 豊田合成株式会社 | サセプターとその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5443228B2 (ja) | 2014-03-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5063755B2 (ja) | 誘導加熱装置および誘導加熱方法 | |
JP4676567B1 (ja) | 半導体基板熱処理装置 | |
JP4980461B1 (ja) | 誘導加熱装置 | |
JP5297306B2 (ja) | 誘導加熱方法および誘導加熱装置 | |
JP5443228B2 (ja) | 半導体熱処理装置 | |
JP2010257891A (ja) | 誘導加熱調理器 | |
JP4918168B1 (ja) | 誘導加熱装置 | |
JP4980475B1 (ja) | 誘導加熱装置 | |
JP5616271B2 (ja) | 誘導加熱装置および磁極 | |
JP2011054318A (ja) | 誘導加熱方法および誘導加熱装置 | |
JP5461256B2 (ja) | 半導体基板熱処理装置および半導体基板熱処理装置による温度計測方法 | |
JP5596998B2 (ja) | 半導体基板熱処理装置および半導体基板熱処理装置による温度推定方法 | |
JP5628731B2 (ja) | 誘導加熱装置 | |
JP5297307B2 (ja) | 誘導加熱方法および誘導加熱装置 | |
JP5084069B2 (ja) | 誘導加熱装置および誘導加熱方法 | |
JP5005120B1 (ja) | 誘導加熱方法 | |
JP2012089775A (ja) | サセプタおよび半導体基板加熱装置 | |
JP5453072B2 (ja) | 半導体基板熱処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131017 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131031 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5443228 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |